KR100546004B1

KR100546004B1 - Pneumatic conveyor

Info

Publication number: KR100546004B1
Application number: KR1020040010812A
Authority: KR
Inventors: 이대길; 이학구; 김병중
Original assignee: 한국과학기술원
Priority date: 2004-02-18
Filing date: 2004-02-18
Publication date: 2006-01-25
Also published as: KR20050082371A

Abstract

본 발명의 공압 컨베이어는 소정 압력이상을 갖는 공기의 흐름을 계속적으로 발생시키는 공기공급장치, 상기 공기공급장치에 의하여 발생된 소정 압력이상의 공기가 이동하며 윗면에 복수개의 리스트릭터가 형성된 매니폴드, 상기 매니폴드 위쪽에 설치되고 상기 각각의 리스트릭터를 통해 매니폴드부터 빠져나가는 공기가 전체 단면에 걸쳐 실질적으로 균일한 압력을 갖도록 상기 리스트릭터의 상부 공간을 일정한 부피를 갖는 공간으로 구획하는 공기포켓, 상기 공기포켓에 형성된 공기압력이 상기 판형부재의 가장자리로 갈수록 서서히 작아지는 압력구배를 형성시키고 상기 공기포켓과 상기 공기포켓 위에 부상된 상기 판형부재의 틈새로 빠져나가는 압축공기량이 최소화되도록 하는 길이만큼 공기포켓의 상부 가장자리로부터 상기 판형부재와 평행하게 돌출된 플랜지, 및 상기 매니폴드의 측면에 설치되어 상기 판형부재를 일 측으로 이송시키는 이송장치를 포함한다. 이 공압 컨베이어는 공기포켓을 통해 판형부재 밑면의 공기압력을 균일하게 분산시켜 적은 량의 공기로 판형부재를 부상시킬 수 있다.The pneumatic conveyor of the present invention is an air supply device for continuously generating a flow of air having a predetermined pressure or more, a manifold in which a plurality of restrictors are formed on the upper surface of the air moving above the predetermined pressure generated by the air supply device, An air pocket installed above the manifold and partitioning the upper space of the restrictor into a space having a constant volume such that the air flowing out of the manifold through the respective restrictors has a substantially uniform pressure over the entire cross section; The air pocket is formed to a pressure gradient which gradually decreases as the air pressure formed in the air pocket reaches the edge of the plate member and minimizes the amount of compressed air escaping into the gap between the air pocket and the plate member floating on the air pocket. The plate member from the upper edge of the It is installed on the flange, and the side of the manifold protruding performed and a transfer device for transferring the one side of the plate-shaped member. The pneumatic conveyor can evenly distribute the air pressure at the bottom of the plate member through the air pocket to float the plate member with a small amount of air.

Description

Pneumatic Conveyor {AIR CONVEYER}

도 1은 출원인이 선 출원한 공압 컨베이어의 단면을 나타낸 것이고,1 shows a cross-section of a pneumatic conveyor filed by the applicant,

도 2는 본 발명 공압 컨베이어의 설치상태를 나타낸 것이며,Figure 2 shows the installation of the pneumatic conveyor of the present invention,

도 3은 도 2에 도시된 공압 컨베이어의 단면을 나타낸 것이고,Figure 3 shows a cross section of the pneumatic conveyor shown in Figure 2,

도 4는 도 2와 같이 배열된 매니폴드의 플랜지연결상태에 따른 압력분포를 나타낸 것이며,Figure 4 shows the pressure distribution according to the flange connection state of the manifold arranged as shown in FIG.

도 5와 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 공압 컨베이어를 나타낸 것이다.5 and 6 show a pneumatic conveyor according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100 : 매니폴드 110 : 공기포켓100: manifold 110: air pocket

120 : 미소채널판 130 : 플랜지120: microchannel plate 130: flange

200 : 공기공급장치 300 : 판형부재200: air supply device 300: plate member

본 발명은 공압을 이용하여 판형부재를 이송시키는 컨베이어에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 판형부재를 부상시키는데 사용되는 공기소모와 에너지소모를 최소화할 수 있는 공압 컨베이어에 관한 것이다.The present invention relates to a conveyor for conveying a plate member using pneumatics, and more particularly to a pneumatic conveyor that can minimize the air consumption and energy consumption used to float the plate member.

공압 컨베이어는 공기의 압력을 이용하여 물체를 부상시킨 후 적절한 이송장치를 사용하여 부상된 물체를 이송하는 장비이다. 이러한 공압 컨베이어는 제품 및 원료의 이송에 널리 사용되고 있으며 제품 및 원자재의 형상에 따라 다양한 형태로 개발되고 있는데, 최근 들어 디스플레이 (Display), 반도체 등의 생산성을 높이기 위하여 LCD 패널, 실리콘 웨이퍼 (Wafer)의 면적을 증가시키는 추세여서 대면적 판형부재를 이송시킬 수 있는 공압 컨베이어의 개발이 절실히 필요하다.A pneumatic conveyor is a device that floats an object using air pressure and then transfers the injured object using an appropriate conveying device. These pneumatic conveyors are widely used for the transportation of products and raw materials, and are being developed in various forms according to the shape of products and raw materials. Recently, in order to increase productivity of displays and semiconductors, LCD panels and silicon wafers are used. As the area is increasing, there is an urgent need to develop a pneumatic conveyor capable of transferring large area plate members.

현재까지 개발된 공압 컨베이어로는 다음과 같은 것이 있다.Pneumatic conveyors developed to date include the following.

독일특허등록 제19917143 A1호는 원형의 구멍과 유량조절장치를 가지는 구조로서, 원형구멍을 통해 압축공기를 분사하여 판형부재를 부상시키는 방식이다. 이와 같은 방식은 원형구멍을 통해 분사되는 공기압력이 비교적 높으나 실질적으로 판형부재에 전달되는 압력이 국소적이고 공기압력이 원형구멍으로부터 멀어질수록 급속히 약해지는 단점이 있기 때문에 판형부재의 이송이 불안정하고 불균형한 공기압력으로 인해 판형부재가 변형되는 문제점이 있다.German Patent No. 19917143 A1 is a structure having a circular hole and a flow control device, a method of floating the plate member by spraying compressed air through the circular hole. This method is relatively unstable and unbalanced because the air pressure injected through the circular hole is relatively high, but the pressure delivered to the plate member is local and the air pressure is weakened rapidly as the air pressure moves away from the circular hole. There is a problem that the plate member is deformed due to one air pressure.

미국특허 제5,503,505호에는 깡통과 같은 원통형의 물체를 이송시키는 컨베이어가 개시되어 있다. 이 미국특허는 깡통의 측면과 밑면에서 공기를 분사하여 깡통을 이송시키는 방식으로 분사되는 공기압력이 매우 높고 일정하지 않아 두께가 얇은 판형부재를 이송시키기에는 적합하지 않다.U. S. Patent No. 5,503, 505 discloses a conveyor for conveying a cylindrical object such as a can. This U.S. patent is not suitable for conveying a thin plate member because the air pressure is very high and inconsistent, which is injected in such a way as to transport the can by injecting air from the side and bottom of the can.

일본특허출원번호 제1999021713호에는 분말과 같은 원자재를 이송하기 위한 공압 컨베이어가 개시되어 있다. 그러나, 이 일본특허출원은 U자 형상의 굽은 판과 이를 부상시키기 위한 공기채널 및 구멍을 구비한 장치에 관한 것으로서 굽은 판에 한하여 적용이 가능하다. 따라서, 이 일본특허출원은 웨이퍼와 같은 판형부재를 이송하는데 적합하지 않다.Japanese Patent Application No. 1999021713 discloses a pneumatic conveyor for transferring raw materials such as powder. However, this Japanese patent application relates to a device having a U-shaped curved plate and an air channel and a hole for floating the same, and is applicable only to the curved plate. Therefore, this Japanese patent application is not suitable for transferring a plate-like member such as a wafer.

유럽특허등록 제0905064 A1호에는 다수의 반도체칩을 이송시키기 위한 공압 컨베이어가 개시되어 있다. 그러나, 이 유럽특허는 반도체칩이 이송되는 통로에 수개의 구멍을 형성하고 이 구멍을 통해 압축공기를 공급하여 반도체 칩을 이송시키는 방식이어서, 독일특허와 마찬가지로 판형부재를 안정적으로 이송시키는데 어려움이 있다.EP 0905064 A1 discloses a pneumatic conveyor for transferring a plurality of semiconductor chips. However, this European patent is a method of forming a plurality of holes in the passage through which the semiconductor chip is transferred and supplying compressed air through the holes to transfer the semiconductor chip, which is difficult to stably transfer the plate member like the German patent. .

대한민국특허출원번호 제2000-53776호에는 다공성 패드를 이용한 공압 컨베이어가 개시되어 있다. 이 특허출원은 다공성 패드를 리스트릭터로 사용하여 공기를 분사시켜 공급하므로 비교적 균일한 압력을 발생시킨다. 그러나, 다공성 패드의 제조단가가 높아 공압 컨베이어의 생산단가 높아지는 단점이 있으며, 이로 인해 산업분야에 걸쳐 폭 넓게 이용하는데 한계가 있다.Korean Patent Application No. 2000-53776 discloses a pneumatic conveyor using a porous pad. This patent application uses a porous pad as a restrictor to inject air to generate a relatively uniform pressure. However, there is a disadvantage in that the production cost of the pneumatic conveyor is high due to the high production cost of the porous pad, and thus there is a limit to the wide use in the industrial field.

이러한 문제점을 해결하기 위해 출원인은 대한민국특허출원 제2003-44162호에 개시된 바와 같이 공기포켓을 이용한 공압 컨베이어를 제안하였다. 도 1에 도시된 바와 같이 선 출원된 공압 컨베이어는 매니폴드(100)의 상부에 리스트릭터(120)와 공기포켓(110)이 형성된 구조로서, 리스트릭터(120)를 통해 공급된 공기가 공기포켓(110)내에서 분산되어 균일한 압력이 발생되며, 이로 인하여 판형부재(300)에 실질적으로 균등한 힘을 작용시키는 특징이 있다. 따라서, 위에서 열거한 다른 발명과 같이 판형부재에 변형이나 파손이 발생하지 않으며 고가의 다공성 패드도 필 요 없다. 그러나, 이 발명은 공기포켓(110)에 의해 형성된 압력과 그 주변간의 압력 편차가 급격하게 이루어져 공기포켓(110)과 판형부재(300)의 틈새로 다량의 공기가 빠져나가는 문제점이 있다. In order to solve this problem, the applicant has proposed a pneumatic conveyor using an air pocket as disclosed in Korean Patent Application No. 2003-44162. As shown in FIG. 1, the pneumatic conveyor previously applied has a structure in which a restrictor 120 and an air pocket 110 are formed on an upper portion of the manifold 100, and air supplied through the restrictor 120 is provided in the air pocket. Dispersed within the 110 to generate a uniform pressure, due to which there is a feature to apply a substantially even force to the plate member 300. Therefore, as in the other inventions enumerated above, no deformation or breakage occurs in the plate member, and no expensive porous pad is required. However, the present invention has a problem in that a large pressure deviation between the pressure formed by the air pocket 110 and its surroundings is sharp, and a large amount of air escapes through the gap between the air pocket 110 and the plate member 300.

한편, 공압 컨베이어에는 압축공기를 발생시키기 위한 공기공급장치가 필수적으로 구비되어 있으며, 공기공급장치가 공압 컨베이어의 소비전력 중 상당히 많은 부분을 차지한다. 그러나, 현재까지 공압 컨베이어와 관련하여 개발된 발명은 이송대상물의 부상방법에 관한 것이었을 뿐 부상에 필요한 공기 소모량과 에너지 소모량을 줄이기 위한 것이 없다. On the other hand, the pneumatic conveyor is essentially provided with an air supply device for generating compressed air, the air supply device occupies a significant portion of the power consumption of the pneumatic conveyor. However, to date, the inventions developed in relation to the pneumatic conveyor have only been related to the method of floating the conveyed object, and there is no purpose to reduce the air consumption and energy consumption required for the injury.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 판형부재를 안정적으로 부상시키면서 공기 소모량과 에너지 소모량을 최소화하는 공압 컨베이어를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above point, an object of the present invention is to provide a pneumatic conveyor that minimizes air consumption and energy consumption while stably floating the plate-shaped member.

본 발명의 한 실시예에 따르면 판형부재를 이송시키기 위한 공압 컨베이어로서, 소정 압력이상을 갖는 공기의 흐름을 계속적으로 발생시키는 공기공급장치, 상기 공기공급장치에 의하여 발생된 소정 압력이상의 공기가 이동하며 윗면에 복수개의 리스트릭터가 형성된 매니폴드, 상기 매니폴드 위쪽에 설치되고 상기 각각의 리스트릭터를 통해 매니폴드부터 빠져나가는 공기가 전체 단면에 걸쳐 실질적으로 균일한 압력을 갖도록 상기 리스트릭터의 상부 공간을 일정한 부피를 갖는 공간으로 구획하는 공기포켓, 상기 공기포켓에 형성된 공기압력이 상기 판형부재의 가장자리 로 갈수록 서서히 작아지는 압력구배를 형성시키고 상기 공기포켓과 상기 공기포켓 위에 부상된 상기 판형부재의 틈새로 빠져나가는 압축공기량이 최소화되도록 하는 길이만큼 공기포켓의 상부 가장자리로부터 상기 판형부재와 평행하게 돌출된 플랜지, 및 상기 매니폴드의 측면에 설치되어 상기 판형부재를 일 측으로 이송시키는 이송장치를 포함하는 공압 컨베이어가 제공된다.According to one embodiment of the invention as a pneumatic conveyor for conveying the plate-like member, an air supply device for continuously generating a flow of air having a predetermined pressure or more, the air of a predetermined pressure generated by the air supply device is moved A manifold having a plurality of restrictors formed on an upper surface thereof, and having an upper space of the restrictor installed on the manifold so that the air flowing out of the manifold through the respective restrictors has a substantially uniform pressure over the entire cross section. An air pocket partitioning into a space having a constant volume, and an air pressure formed in the air pocket forms a pressure gradient that gradually decreases toward the edge of the plate member, and a gap between the air pocket and the plate member floated on the air pocket; Only the length to minimize the amount of compressed air exiting The pneumatic conveyor including a transfer device for transferring the one side of the plate-shaped member is provided is installed on a side of the flange, and the manifold parallel to the protrusion and the plate-like member from the upper edge of the air pocket.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명 대면적 판형부재를 옮기기 위한 공압 컨베이어의 설치상태의 일부를 나타낸 것이고, 도 3은 도 2에 도시된 공압 컨베이어의 단면과 플랜지의 유무에 따른 압력분포를 나타낸 것이며, 도 4는 도 2와 같이 배열된 매니폴드의 플랜지연결상태에 따른 압력분포를 나타낸 것이다.Figure 2 shows a part of the installation state of the pneumatic conveyor for moving the large area plate-shaped member of the present invention, Figure 3 shows the pressure distribution according to the cross section of the pneumatic conveyor shown in FIG. Figure 2 shows the pressure distribution according to the flange connection state of the manifold arranged.

도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 공압 컨베이어는 매니폴드(100), 공기포켓(110), 리스트릭터(120), 및 플랜지(130)로 구성되어 있다. 매니폴드(100)의 내부에는 일정한 압력을 갖는 공기가 채워져 있으며, 윗면에는 매니폴드(100) 내부의 공기가 빠져나갈 수 있도록 리스트릭터(120)가 형성되어 있다. 한편, 본 실시예의 리스트릭터(120)는 원형의 구멍형태로 되어 있으나 이러한 형태로 한정되는 것은 아니며 사각, 육각 등 다른 형태로의 변경이 가능하다.As shown in FIG. 2, the pneumatic conveyor of the present invention includes a manifold 100, an air pocket 110, a restrictor 120, and a flange 130. The inside of the manifold 100 is filled with air having a constant pressure, and the top 120 is formed with a restrictor 120 to allow the air inside the manifold 100 to escape. On the other hand, the restrictor 120 of the present embodiment is in the form of a circular hole, but is not limited to this form, it is possible to change to other forms, such as square, hexagon.

매니폴드(100)의 위쪽에는 반 밀폐공간으로 된 공기포켓(110)이 형성되어 있다. 이 공기포켓(110)은 리스트릭터(120)를 매개로 매니폴드(100)의 내부공간과 연결되며, 리스트릭터(120)를 통해 빠져 나온 공기의 압력을 전체적으로 균등하게 분산시키는 역할을 한다. 따라서, 판형부재(300)가 복수개의 공기포켓(110)이 마련된 매니폴드(100) 위를 지나는 경우, 공기포켓(110)의 공기압력으로 인하여 소정 높이로 부상한다. 이때, 판형부재(300)와 공기포켓(110)의 틈새에는 공기흐름이 존재하는데, 이 공기흐름은 공기포켓(110)과 컨베이어 외부 사이의 압력 차에 의해 발생된 것으로서 압력구배에 비례하여 발생된다.An air pocket 110 is formed in a semi-closed space above the manifold 100. The air pocket 110 is connected to the internal space of the manifold 100 via the restrictor 120, and serves to evenly distribute the pressure of the air exiting through the restrictor 120 as a whole. Therefore, when the plate member 300 passes over the manifold 100 in which the plurality of air pockets 110 are provided, the plate member 300 rises to a predetermined height due to the air pressure of the air pocket 110. At this time, there is an air flow in the gap between the plate member 300 and the air pocket 110, which is generated by the pressure difference between the air pocket 110 and the outside of the conveyor in proportion to the pressure gradient. .

대면적의 판형부재(300)를 운반하는 경우에는 도 2와 같이 다수의 컨베이어 라인이 필요하게 되며 대면적 판형부재(300)의 변형을 최소화하기 위하여 이송장치의 반력을 고려한 컨베이어 라인의 위치 및 치수를 최적화하여 결정할 수 있다. 아울러, 본 발명에서는 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 공기포켓(110)의 상부에 판형부재(300)의 폭 방향과 평행하게 돌출된 플랜지(130)를 형성시켜 판형부재(300)에 발생되는 압력구배를 작게 하였다.When carrying a large area plate member 300, a plurality of conveyor lines are required as shown in Figure 2 in order to minimize the deformation of the large area plate member 300, the position and dimensions of the conveyor line considering the reaction force of the transfer device Can be determined by optimizing. In addition, in the present invention, as shown in (a) of Figure 3 by forming a flange 130 protruding in parallel with the width direction of the plate member 300 on the upper portion of the air pocket 110 to the plate member 300 The pressure gradient generated was made small.

플랜지(130)는 공기포켓(110)과 판형부재(300)에 사이 선형적으로 감소하는 압력구배를 형성시키는데, 이때 압력구배는 플랜지(130)의 길이가 길어질수록 작아진다. 도 3의 (b)와 (c)는 각각 플랜지(130)가 없는 경우와 있는 경우의 압력분포를 나타낸다. 플랜지(130)가 없는 경우 최적화 과정으로 구해진 컨베이어 라인의 위치 및 치수로부터 공기포켓(110)의 압력 분포가 결정된다. 압력분포에 의한 합력이 판형부재(300)를 부상시키게 되므로 플랜지(130)가 있는 경우에도 압력분포의 합력이 같아야 한다. 따라서 도 3의 (c)와 같이 공기포켓(110)의 부피를 감소시켜 사다리꼴 형태의 압력분포를 만들어야 한다.The flange 130 forms a linearly decreasing pressure gradient between the air pocket 110 and the plate member 300, where the pressure gradient becomes smaller as the length of the flange 130 becomes longer. (B) and (c) of FIG. 3 show the pressure distribution in the case where there is no flange 130, respectively. If there is no flange 130, the pressure distribution of the air pocket 110 is determined from the position and dimensions of the conveyor line obtained by the optimization process. Since the force due to the pressure distribution causes the plate member 300 to rise, the force of the pressure distribution should be the same even when the flange 130 is present. Therefore, to reduce the volume of the air pocket 110 as shown in Figure 3 (c) to make a trapezoidal pressure distribution.

도 2와 같이 다수의 컨베이어 라인을 사용하면, 각 매니폴드(100)에 형성된 플랜지(130)의 길이와 연결상태에 따라 판형부재(300)와 플랜지(130) 사이로 배출 되는 공기량이 달라진다.When a plurality of conveyor lines are used as shown in FIG. 2, the amount of air discharged between the plate member 300 and the flange 130 varies according to the length and the connection state of the flange 130 formed in each manifold 100.

즉, 도 4의 (a)와 같이 플랜지(130)가 짧으면 플랜지(130) 위에 발생되는 압력 구배가 크기 때문에 판형부재(300)와 플랜지(130)의 틈새로 다량의 공기가 배출되어 공기소모량이 많아지나, 도 4의 (b)와 같이 플랜지(130)가 길어지면 플랜지(130) 위에 발생되는 압력 구배가 작아져 플랜지(130)와 판형부재(300)의 틈새로 비교적 적은 량의 공기가 배출되어 공기소모량이 줄어든다. 그러나, 도 4의 (c)와 같이 인접된 플랜지(130)가 연결되면 압력분포가 합쳐져서 판형부재(300)의 중앙부근에서의 휘어짐이 커진다. 따라서, 다수의 매니폴드(100)를 배열할 때에는 도 4의 (b)와 같이 소량의 공기가 매니폴드(100)의 사이 사이로 배출될 수 있도록 플랜지(130)와 플랜지(130)를 완전히 연결하지 않는 것이 판형부재(300)의 폭 방향으로의 변형을 줄이는데 효과적이다.That is, when the flange 130 is short as shown in Figure 4 (a) because the pressure gradient generated on the flange 130 is large, a large amount of air is discharged to the gap between the plate member 300 and the flange 130, the air consumption amount However, as shown in FIG. 4B, when the flange 130 is long, a pressure gradient generated on the flange 130 decreases, so that a relatively small amount of air is discharged into the gap between the flange 130 and the plate member 300. This reduces air consumption. However, when the adjacent flange 130 is connected as shown in (c) of FIG. 4, the pressure distributions are combined to increase the deflection near the center of the plate member 300. Therefore, when arranging a plurality of manifolds 100, as shown in FIG. 4 (b), the flange 130 and the flange 130 may not be completely connected so that a small amount of air may be discharged between the manifolds 100. Not effective is effective in reducing the deformation in the width direction of the plate member 300.

한편, 종래에는 공기공급장치로(200)로 공기압축펌프를 사용하였다. 공기압축펌프는 고압의 압축공기를 매니폴드(100) 내부에 공급하므로 매니폴드(100) 내부의 압력을 수십만 파스칼에 이르게 할 수 있다. 그러나, 실질적으로 판형부재(300)를 부상시키는데 필요한 공기압력의 크기는 수십 파스칼이므로, 구태여 수십만 파스칼에 이르는 압력을 매니폴드(100) 내부에 형성시킬 필요가 없다. 오히려 공기압축펌프는 필요이상의 동력을 소모하므로 전체적인 공압컨베이어의 효율을 떨어뜨린다. Meanwhile, conventionally, an air compression pump was used as the air supply device 200. Since the air compression pump supplies high pressure compressed air into the manifold 100, the pressure inside the manifold 100 may reach hundreds of thousands of Pascals. However, since the air pressure required to substantially float the plate member 300 is several tens of Pascals, it is not necessary to form a pressure within the manifold 100 to reach several hundred thousand Pascals. Rather, the air compression pump consumes more power than necessary, reducing the efficiency of the overall pneumatic conveyor.

때문에, 본 발명에서는 공기압축펌프에 비하여 작은 압력을 발생시키지만 동력소모가 매우 작은 송풍기를 매니폴드(100)의 밑면에 하나 또는 다수 개를 일정간 격으로 배열 설치하여 매니폴드(100) 내부에 압력을 발생시켰다. 송풍기에서 발생되는 공기압력은 수천 파스칼로 공기압축펌프에 비하여 상당히 작으나, 리스트릭터(120)를 미소 채널판으로 이용하면 판형부재(300)를 부상시키기에 충분한 양의 공기를 공기포켓에 공급할 수 있다. 이는 공기압축펌프를 사용할 때보다 에너지 소모량을 크게 줄일 수 있다.Therefore, the present invention generates a small pressure compared to the air compression pump, but the power consumption is very small by installing one or a plurality of blowers arranged on the bottom of the manifold 100 at regular intervals to pressure inside the manifold 100 Generated. The air pressure generated in the blower is thousands of Pascals, which is considerably smaller than that of the air compression pump. However, when the restrictor 120 is used as a micro channel plate, the air pocket can supply a sufficient amount of air to float the plate member 300. . This can significantly reduce energy consumption than when using an air compression pump.

일반적으로 공기포켓(110)을 좌우로 동일하게 정렬하여 배열하면 낮은 공진주파수가 발생되는데, 이 경우 낮은 공진주파수를 갖는 대면적의 판형부재(300)를 이송하는데 어려움이 있다. 이는 판형부재(300)가 갖는 공유주파수가 매니폴드(100)에서 발생되는 공진주파수에 근접할 가능성이 높아 심한 진동현상을 가져오기 때문이다.In general, when the air pocket 110 is arranged in the same direction from left to right, a low resonance frequency is generated. In this case, it is difficult to transport the large-area plate member 300 having a low resonance frequency. This is because the shared frequency of the plate member 300 is likely to be close to the resonance frequency generated in the manifold 100, resulting in severe vibration.

그러나, 도 5에 도시된 바와 같이 인접한 매니폴드(100)의 공기포켓(110)이 서로 엇갈리도록 매니폴드(100)를 배열하면 공기포켓(110)을 균일하게 배열할 때보다 높은 가진 주파수가 발생된다. 따라서, 대면적의 판형부재(300)를 이송할 때에는 도 5에 도시된 바와 같이 공기포켓(110)의 엇갈리게 배치되도록 매니폴드(100)을 배열하여 판형부재(300)의 이송 시 발생되는 진동특성을 높이는 것이 좋다.However, as shown in FIG. 5, when the manifolds 100 are arranged such that the air pockets 110 of the adjacent manifolds 100 intersect with each other, a higher excitation frequency is generated than when the air pockets 110 are uniformly arranged. do. Therefore, when transferring the large-area plate member 300, as shown in Figure 5 arranged the manifold 100 so as to be staggered of the air pocket 110, vibration characteristics generated during the transfer of the plate member 300 It is good to increase.

본 발명의 또 다른 실시예는 리스트릭터(120)로 다수의 미소공이 형성된 미소채널판(121)과 다공성 패드(122)를 이용하였다. 도 6의 (a)와 (b)에 각각 도시된 바와 같이 매니폴드(100)의 상부에 일정간격으로 미소채널판(121)과 다공성 패드(122)를 설치 결합하고 이들 부재 위에 공기포켓(110)을 형성시키고 공기포켓(110)의 양 옆으로 플랜지(130)를 돌출시켰다. 이와 같이 리스트릭터로 미소채널판(121)과 다공성 패드(122)를 사용하면 공기포켓(110)밑면의 전체에 공기가 유입되므로 보다 작은 부피의 공기포켓(110)으로도 균일한 압력분포를 발생시킬 수 있다. 따라서 외란 발생 시 보다 단 시간 내에 공기포켓(110)의 내부압력이 커지게 되므로 판형부재(300)의 부상력을 높일 수 있다. Another embodiment of the present invention used the microchannel plate 121 and the porous pad 122 in which a plurality of micropores are formed as the restrictor 120. As shown in (a) and (b) of FIG. 6, the microchannel plate 121 and the porous pad 122 are installed and coupled to the upper portion of the manifold 100 at predetermined intervals, and the air pocket 110 is disposed on these members. ) And protruding the flange 130 to both sides of the air pocket (110). As such, when the microchannel plate 121 and the porous pad 122 are used as the restrictor, air is introduced into the entire bottom surface of the air pocket 110, thereby generating a uniform pressure distribution even with a smaller volume air pocket 110. You can. Therefore, the internal pressure of the air pocket 110 is increased within a shorter time when the disturbance occurs, it is possible to increase the floating force of the plate member 300.

한편, 각 도면에서는 생략되어 있으나 매니폴드(100)의 측면에는 공기압력에 의해 부상된 판형부재(300)를 일 측으로 이송시킬 수 있는 롤러와 같은 이송장치가 설치된다.On the other hand, although omitted in each drawing, the side of the manifold 100 is provided with a conveying device such as a roller that can convey the plate-shaped member 300, which is floated by air pressure to one side.

본 발명은 공기포켓을 통해 분사되는 공기압력을 보다 넓게 분산시켜 적은 량의 공기로 판형부재를 부상시킬 수 있다. 아울러, 본 발명은 구조가 간단한 공압 컨베이어를 제공하므로 컨베이어의 제조공정 및 그에 따른 제조생산비용을 줄일 수 있으며 보다 넓은 산업분야에 적용할 수 있다.The present invention can more widely disperse the air pressure injected through the air pocket to float the plate member with a small amount of air. In addition, since the present invention provides a pneumatic conveyor with a simple structure, it is possible to reduce the manufacturing process of the conveyor and its production cost accordingly, and to apply to a wider industrial field.

이상에서 공압 컨베이어에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.The technical idea of the pneumatic conveyor has been described above with the accompanying drawings, but this is by way of example only for describing the best embodiment of the present invention and not for limiting the present invention. In addition, it is obvious that any person skilled in the art can make various modifications and imitations without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

Claims

Pneumatic conveyor for conveying plate-shaped members,

Air supply device for continuously generating a flow of air having a predetermined pressure or more,

A manifold in which air above a predetermined pressure generated by the air supply device moves and a plurality of restrictors are formed on an upper surface thereof;

An air pocket installed above the manifold and partitioning the upper space of the restrictor into a space having a constant volume such that air exiting from the manifold through the respective restrictors has a substantially uniform pressure over the entire cross section;

The air pressure formed in the air pocket forms a pressure gradient that gradually decreases toward the edge of the plate member, and the air has a length such that the amount of compressed air escaping into the gap between the air pocket and the plate member floated on the air pocket is minimized. A flange protruding in parallel with the plate member from the upper edge of the pocket, and

Is installed on the side of the manifold pneumatic conveyor comprising a conveying device for transporting the plate-like member to one side.

The method according to claim 1,

The restrictor is a pneumatic conveyor, characterized in that the microchannel plate is formed with a plurality of micro holes.

The method according to claim 1,

The restrictor is a pneumatic conveyor, characterized in that the porous pad.

The method according to any one of claims 1 to 3,

The air supply device is a pneumatic conveyor, characterized in that the blower.

The method according to claim 4,

The blower is a pneumatic conveyor, characterized in that installed on the bottom of the manifold at a predetermined interval.

A pneumatic conveyor apparatus comprising a plurality of pneumatic conveyors according to claim 1,

Each of the pneumatic conveyors are disposed adjacent to each other, the end of the flange of each pneumatic conveyor is characterized in that the pneumatic conveyor device does not contact each other.

The method according to claim 6,

Each of the pneumatic conveyors adjacent to each other is installed so that the air pockets are alternately arranged.