KR100529558B1 - 컬러필터기판의제조방법 - Google Patents

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Abstract

투명한 절연 기판 위에 투과하는 빛을 차단하는 블랙 매트릭스를 소정의 간격으로 형성하고, 분광 특성을 가지는 음성의 감광성 레지스트를 반복적으로 도포하고 패터닝하여 적, 녹, 청색의 컬러 필터를 형성한다. 이어, 이후에 형성되는 ITO막과의 접착력을 향상시키기 위하여 블랙 매트릭스 및 적, 녹, 청색의 컬러 필터의 표면에 자외선 및 적외선을 조사하여 표면 처리를 실시한다. 이때, 적외선 표면 처리에서는 컬러 필터 내에 잔류하는 수분 또는 기체 성분이 제거되며, 자외선 표면 처리에서는 주입된 오존의 산소 원자 또는 분자와 컬러 필터 또는 블랙 매트릭스의 표면에 잔류하는 유기물의 레디칼(radical)이나 여기 상태의 분자와 결합하여 휘발성 물질로 변하게 된다.

Description

컬러 필터 기판의 제조 방법
본 발명은 컬러 필터 기판의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 액정 표시 장치에서 박막 트랜지스터 기판과 마주하는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 장치는 투명 전극이 형성되어 있는 두 투명 기판 및 두 유리 기판 사이의 액정 물질로 이루어지며, 두 기판은 가장자리에 인쇄된 봉인재로 결합되어 있다.
여기서, 두 기판 중 한 기판은 원하는 색을 표시하기 위한 적, 녹, 청의 컬러 필터 및 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 컬러 필터 기판이며, 나머지 다른 기판은 다수의 화소 영역에 다수의 화소 전극과 박막 트랜지스터(thin film transistor : TFT)가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판이다.
이러한 액정 표시 장치에서 봉인재가 형성되어 있는 가장자리 부분에 대하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1에서 보는 바와 같이, 일반적인 액정 표시 장치는, 컬러 필터 기판(1)의 상부에 블랙 매트릭스(2)가 형성되어 있고, 표시 영역(P)의 블랙 매트릭스(2) 및 컬러 필터 기판(1)의 상부에는 컬러 필터(3)가 형성되어 있고, 컬러 필터 기판(1)의 상부에는 블랙 매트릭스(2) 및 컬러 필터(3)를 덮는 ITO막(4)이 형성되어 있다.
한편, 컬러 필터 기판(1)과 마주하는 박막 트랜지스터 기판(5)의 상부에는 보호막(6)이 형성되어 있다.
또한, 두 기판(1, 5) 사이 블랙 매트릭스(2)의 ITO막(4) 상부에는 두 기판(1, 5)을 지지하며, 두 기판(1, 5) 사이의 표시 영역(P)에 주입되어 있는 액정 물질(7)을 봉인하는 봉인재(8)가 형성되어 있다.
여기서, 컬러 필터 기판의 제조 방법을 중심으로, 종래의 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.
우선, 투명한 절연 기판(1) 위에 박막 트랜지스터(TFT : thin film transistor)의 열화 방지를 방지하기 위해 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(2)를 형성한다.
이때, 블랙 매트릭스(2)는 크롬 또는 다른 불투명 금속막으로 500~2000Å 정도의 두께로 스퍼터링 방법을 통하여 형성하거나 수지막을 이용하여 형성하기도 한다.
다음, 블랙 매트릭스(2)가 형성되어 있는 기판(1) 상부에 분광 특성을 가지는 감광성 레지스트를 도포하고 노광 및 현상시켜 제1 색의 컬러 필터층(3)을 형성한다.
동일한 방법으로 제2 및 제3 색의 컬러 필터층(3)을 형성한다.
이어, 삼색의 컬러 필터층(3)이 형성되어 있는 기판(1)의 상부에 ITO막(4)을 형성하여 컬러 필터 기판을 완성한다.
마지막으로, 완성된 컬러 필터 기판(1)과 박막 트랜지스터 기판(5)의 가장자리 봉인재(8)를 도포한 다음, 두 기판(1, 5)을 정렬하여 부착하고 액정 주입 공정을 액정 물질(7)을 주입하여 액정 표시 장치를 완성한다.
그러나, 이러한 종래의 공정을 통하여 제작된 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스(2)의 표면에 잔류하는 찌꺼기와 ITO막(4) 형성시 컬러 필터층(3) 내에 잔류하는 수분이나 기체가 증발되어 컬러 필터(3) 및 블랙 매트릭스(2)와 ITO막(4)의 접착력이 떨어진다. 특히, 봉인재(8)가 형성되어 있는 부분에서 블랙 매트릭스(2)와 ITO막(4)의 들뜸 불량으로 인하여 두 기판(1, 5)이 분리되는 현상이 발생하게 된다.
본 발명의 과제는 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스와 ITO막 사이의 접착력을 향상시키는 데 있다.
이러한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는 블랙 매트릭스 및 컬러 필터를 자외선 및 적외선으로 표면 처리한 후 ITO막을 형성한다.
여기서, 적외선 표면 처리는 자외선 표면 처리를 실시하기 전에 예열하는 과정이며, 이때, 컬러 필터 내에 잔류하는 수분 또는 기체 성분의 일부가 제거된다.
또한, 자외선 표면 처리는 고농도의 오존(O3) 분자를 자외선 챔버(chamber)에 주입시켜 이루어지며, 이때 유기 잔류물은 산소 원자 또는 분자와 반응하여 분해된다.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 실시예를 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 기술을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.
도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법을 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이다.
우선, 도 2a에서 보는 바와 같이, 투명한 절연 기판(100) 위에 투과하는 빛을 차단하여 마주하는 기판에 형성되는 박막 트랜지스터(TFT: thin film transistor)의 열화 방지를 방지하기 위해 블랙 매트릭스(200)를 소정의 간격으로 형성한다.
이때, 블랙 매트릭스(200)는 크롬 또는 다른 불투명 금속막으로 500~2000Å 정도의 두께로 스퍼터링 방법을 통하여 형성하거나 수지막을 이용하여 형성하기도 한다.
다음, 도 2b에서 보는 바와 같이, 블랙 매트릭스(200)가 형성되어 있는 기판(100) 상부에 분광 특성을 가지는 음성의 감광성 레지스트(300)를 도포한다.
이때, 감광성 레지스트(300)는 적색(R) 파장대의 빛만을 투과시키고, 나머지 파장대의 빛은 흡수하는 컬러 필터의 기능을 가지며, 안료를 분산시킨 착색 아크릴 감광성 수지로 만들어진다.
이어, 도 2c에서 보는 바와 같이, 개구부(910)를 가지는 마스크(900)를 기판(100)의 상부에 정렬하고 노광 공정을 실시한다.
이때, 개구부(910)는 서로 이웃하는 블랙 매트릭스(200)의 가장자리 부분까지 형성되어 있다.
다음, 현상 공정을 실시하면, 도 2d에서 보는 바와 같이 빛이 조사된 부분에만 R-감광성 레지스트를 남기어 적색의 컬러 필터(310)를 형성한다.
이어, 도 2e에서 보는 바와 같이, 기판(100)의 상부에 녹, 청색의 감광성 레지스트를 도포하고 도 2c 내지 도 2d의 공정을 반복적으로 실시하여 녹, 청색의 컬러 필터(320, 330)를 차례로 형성한다.
이때, 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330)는 서로 분리되어 있으며, 이들의 가장자리 부분은 서로 이웃하는 블랙 매트릭스(200)의 가장자리 부분까지 형성한다.
다음, 이후에 형성되는 ITO막과의 접착력을 향상시키기 위하여 블랙 매트릭스(200) 및 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330)의 표면에 자외선 및 적외선을 조사하여 표면 처리를 실시한다.
이때, 적외선 표면 처리에서는 자외선 표면 처리를 실시하기 전에 예열하는 과정이며, 이때, 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330) 내에 잔류하는 수분 또는 기체 성분이 제거된다.
또한, 자외선 표면 처리는 고농도의 오존(O3) 분자를 자외선 챔버(chamber)에 주입시켜 이루어지며, 이때, 주입된 오존의 산소 원자 또는 분자는 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330) 또는 블랙 매트릭스(200)의 표면에 잔류하는 유기물을 분해시키게 된다.
이러한 적외선 및 자외선 표면 처리를 통하여 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330)의 표면 거칠기는 1,000Å 이하로 형성된다.
이어, 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330) 및 블랙 매트릭스(200)가 형성되어 있는 기판(100)의 상부에 ITO막(400)을 형성하여 컬러 필터 기판을 완성한다.
이때, ITO막(400)의 두께는 500~2500Å 정도의 두께로 형성한다.
실제로, ITO막(400)을 증착한 다음, 스크레치 테스터(scratch tester)를 이용하여 하중력 평가를 실시한 결과, 적외선 및 자외선 표면 처리를 하지 않은 경우에는 15gf 이하의 측정치가 나타났으며, 적외선 및 자외선 표면 처리를 실시한 경우에는 15gf 이상에서 30~50gf 정도의 측정치가 나타났다.
또한, 블랙 매트릭스(200)의 표면에 잔류하는 안료 찌꺼기를 제거함으로써, ITO막(400)과 블랙 매트릭스(200) 사이에 통전 효과를 높일 수 있어 저저항화를 달성할 수 있다. 이때, 적외선 및 자외선 표면 처리를 하지 않은 경우보다 0.5배 정도의 저저항화를 달성하였다.
이러한 제조 공정을 통하여 완성된 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 구조에 대하여 상세하게 설명한다.
기판(100)의 상부에 일정한 간격으로 블랙 매트릭스(200)가 형성되어 있으며, 각각의 블랙 매트릭스(200) 사이 기판(100)의 상부에는 감광성 레지스트로 이루어진 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330)가 형성되어 있다. 이때, 각각의 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330)의 양단은 블랙 매트릭스(200)의 양단 상부에 형성되어 있다. 또한, 기판(100)의 상부에는 적, 녹, 청색의 컬러 필터(310, 320, 330) 및 블랙 매트릭스(200)를 덮는 ITO막(400)이 형성되어 있다.
이러한, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는 블랙 매트릭스 및 컬러 필터를 형성한 다음, 적외선 및 자외선 표면 처리를 실시하여 블랙 매트릭스 및 컬러 필터의 내부 또는 표면에 잔류하는 기체 또는 안료 찌꺼기를 제거하였다. 따라서, 이후에 형성되는 ITO막의 접착력을 향상시켜 막들의 들뜸 불량을 제거하고, 상하 기판의 분리 현상을 제거하여 공정의 신뢰성을 향상시켰다. 또한, 블랙 매트릭스의 표면에 잔류하는 안료 찌꺼기를 제거함으로써, ITO막과 블랙 매트릭스 사이에 통전 효과를 높일 수 있어 저저항화를 달성할 수 있다.
도 1은 일반적인 액정 표시 장치에서 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 기판이 접합되는 부분을 도시한 단면도이고,
도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법을 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이다.

Claims (5)

  1. 투명한 절연 기판 위에 불투명막을 증착하고 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계,
    상기 기판 상부에 분광 특성을 가지는 감광성 레지스트를 반복적으로 도포하고 패터닝하여 적, 녹 및 청색의 컬러 필터를 형성하는 단계,
    상기 블랙 매트릭스 및 적, 녹, 청색의 컬러 필터 표면에 적외선을 조사하여 표면 처리를 실시하는 단계,
    상기 블랙 매트릭스 및 적, 녹, 청색의 컬러 필터 표면에 자외선을 조사하여 표면 처리를 실시하는 단계, 그리고
    상기 적, 녹, 청색의 컬러 필터 및 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 기판의 상부에 ITO막을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  2. 제1항에서,
    상기 자외선 표면 처리에서는 오존(O3) 분자를 주입하는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  3. 제1항에서,
    상기 적, 녹, 청색의 컬러 필터의 표면 거칠기는 1,000Å 이하로 하는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  4. 제1항에서,
    상기 ITO막의 두께는 500~2500Å인 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  5. 제1항에서,
    상기 블랙 매트릭스의 두께는 500~2000Å인 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법.
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