KR100509431B1 - A supply device for photo resist and its supply method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 포토 레지스트의 공급 방법을 개선하여 잔류 포토 레지스트의 낭비를 방지하도록 하는 것에 관한 것이다.The present invention is directed to improving the method of supplying photoresist to prevent waste of residual photoresist.
본 발명의 포토 레지스트 공급장치 및 그 방법은 포토 레지스트를 공급하는 장치에 있어서, 상부면에 공급부(8)가 구비되고, 하부면에 배출 호스(2)가 연결되어 있는 포토 레지스트 저장 용기(1); 상기 저장 용기(1)의 안쪽에 구비되어 있고 상기 저장 용기(1)의 포토 레지스트의 잔류량을 감지하는 센서(5); 상기 센서(5)와 연결된 제어부(6); 및 상기 제어부(6)에 연결된 알람부(7)를 포함하여 이루어지는 포토 레지스트 공급장치를 이용하여 저장 용기(1)의 포토 레지스트(3)의 잔류량을 센서(5)가 감지하는 제 1단계; 기준 잔류량보다 작을 경우 제어부(6)로 정보를 보내는 제 2단계; 상기 제어부(6)에서 알람부(7)를 작동시키는 제 3단계; 알람이 작동되면 공급부(8)를 통하여 포토 레지스트를 공급하는 제 4단계를 포함하는 공급 방법으로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.In the photoresist supply apparatus and method thereof of the present invention, a photoresist supply container (1) having a supply portion (8) on an upper surface and a discharge hose (2) connected to a lower surface in an apparatus for supplying a photoresist ; A sensor (5) provided inside the storage container (1) for sensing a residual amount of the photoresist of the storage container (1); A control unit 6 connected to the sensor 5; And a first step of the sensor 5 detecting a residual amount of the photoresist 3 of the storage container 1 by using a photoresist supply device comprising an alarm unit 7 connected to the control unit 6. A second step of sending information to the control unit 6 when less than the reference residual amount; A third step of operating the alarm unit 7 in the control unit 6; The technical feature is that the alarm is activated to a supply method including a fourth step of supplying the photoresist through the supply unit (8).
따라서, 본 발명의 포토 레지스트 공급장치 및 그 방법은 웨이퍼에 공급되는 포토 레지스트를 연속적으로 공급할 수 있다는 장점이 있고, 잔류되어 폐기처분 해야할 포토 레지스트의 생성을 없앨 수 있기 때문에 비용이 절감되고 환경 보호에도 큰 도움이 될 수 있다.Therefore, the photoresist supply apparatus and method thereof of the present invention have the advantage of continuously supplying the photoresist supplied to the wafer, and can reduce the cost and the environmental protection by eliminating the generation of the photoresist to be discarded and disposed of. It can be a big help.
Description
본 발명은 포토 레지스트 공급장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 포토 레지스트 저장 용기(1)에 센서(5)를 설치하고, 하부면에 배출 호스(2)를 설치함으로써 잔류 포토 레지스트의 낭비를 방지하기 위한 포토 레지스트 공급 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photoresist supply device and a method thereof, and more particularly, to install a sensor (5) in the photoresist storage container (1) and to discharge the residual photoresist by installing a discharge hose (2) in the lower surface. It relates to a photoresist supply device for preventing.
도 1은 종래의 포토 레지스트 공급 장치를 나타낸 것으로, 포토 레지스트가 담긴 용기의 윗부분에 공급 호스(2)가 연결되어 있고 뚜껑으로 덮여 있다. 적정량 이하의 포토 레지스트(3)가 남게 될 경우 알람이 울리고 새로운 포토 레지스트 용기로 교환하게 된다. 포토 레지스트가 원활하게 공급되지 않으면 제조되는 웨이퍼에 손상을 주기 때문에, 한국공개특허 특2002-0083296호, 한국공개특허 특2000-0056606호 및 한국등록특허 10-0289465호에서는 포토 레지스트를 연속적으로 공급하고 저장 용기의 교체 시기를 적절히 조절하는 방법에 대하여 개시하였다.Fig. 1 shows a conventional photoresist supply apparatus, in which a supply hose 2 is connected to an upper portion of a container containing a photoresist and is covered with a lid. If less than the appropriate amount of photoresist 3 remains, an alarm sounds and a new photoresist container is replaced. If the photoresist is not supplied smoothly, it may damage the wafer to be manufactured, and therefore, Korean Patent Laid-Open No. 2002-0083296, Korean Patent Laid-Open No. 2000-0056606, and Korean Patent No. 10-0289465 continuously supply photoresist. Disclosed is a method for appropriately controlling the replacement timing of the storage container.
그러나, 상기와 같은 종래의 기술들은 도 1에서 나타낸 것과 같이 잔류하는 포토 레지스트(3)를 폐기 처분해야 하기 때문에 비용이 증가하고 환경에 악영향을 미치게 되는 문제점이 있다.However, the conventional techniques as described above have a problem in that the cost increases and adversely affects the environment because the remaining photoresist 3 has to be disposed of as shown in FIG. 1.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 저장 용기의 하부면으로 포토 레지스트를 공급하도록 설계한 공급 장치를 이용하여 포토 레지스트를 안정적으로 공급하고, 잔류되어 폐기 처분 해야 할 포토 레지스트를 없애도록 하는 포토 레지스트 공급 장치와 그 방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다. Therefore, the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, by using a supply device designed to supply the photoresist to the lower surface of the storage container to supply the photoresist stably, to remain and disposed of SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a photoresist supply apparatus and a method for removing the photoresist.
본 발명의 상기 목적은 포토 레지스트 공급장치 및 그 방법은 포토 레지스트를 공급하는 장치에 있어서, 상부면에 제어부와 연결되어 공급호스(4)와 상기 공급호스(4)의 개폐를 조절할 수 있는 개폐 밸브(9)를 포함한 수동으로 개폐가 가능한 공급부(8)가 구비되고, 하부면에 배출 호스(2)가 연결되어 있는 포토레지스트 저장 용기(1); 상기 저장 용기(1)의 안쪽에 구비되어 있고 상기 저장 용기(1)의 포토레지스트의 잔류량을 감지하는 센서(5); 상기 센서(5)와 연결된 제어부(6); 및 상기 제어부(6)에 연결된 알람부(7)를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 포토레지스트 공급장치를 이용하여 저장 용기(1)의 포토레지스트(3)의 잔류량을 센서(5)가 감지하는 제 1단계; 기준 잔류량보다 작을 경우 제어부(6)로 정보를 보내는 제 2단계; 상기 제어부(6)에서 알람부(7)를 작동시키는 제 3단계; 알람이 작동되면 공급부(8)를 통하여 수동으로 공급 또는 제어부(6)가 개폐 밸브(9)를 조절함으로써 공급 호스(4)를 통해 포토레지스트를 자동 공급하는 제 4단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 방법으로 이루어진 포토 레지스트 공급장치 및 방법에 의해 달성된다.The object of the present invention is a photoresist supply device and a method for supplying a photoresist, the opening and closing valve which is connected to the control unit on the upper surface to control the opening and closing of the supply hose (4) and the supply hose (4) A photoresist storage container (1) having a manually openable opening (8) including a (9) and having a discharge hose (2) connected to a lower surface thereof; A sensor (5) provided inside the storage container (1) for detecting a residual amount of the photoresist of the storage container (1); A control unit 6 connected to the sensor 5; And a sensor (5) for detecting the residual amount of the photoresist (3) of the storage container (1) using a photoresist supply device, characterized in that it comprises an alarm unit (7) connected to the control unit (6). Stage 1; A second step of sending information to the control unit 6 when less than the reference residual amount; A third step of operating the alarm unit 7 in the control unit 6; And a fourth step of automatically supplying the photoresist through the supply hose 4 by manually supplying or controlling the control valve 6 through the supply unit 8 when the alarm is activated. The photoresist supply apparatus and method which consist of a photoresist supply method are achieved.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 도 2는 본 발명에 의한 포토 레지스트 공급 장치를 나타낸 것이다.First, Figure 2 shows a photoresist supply apparatus according to the present invention.
본 발명에 의한 포토 레지스트 저장 용기(1)는 상부면에 공급부(8)가 구비되고, 하부면에 배출 호스(2)가 연결되어 있다. 이 공급부(8)는 수동으로 개폐가 가능하여 필요에 따라 포토 레지스트를 저장 용기(1)에 공급할 수도 있는데, 도 2에서는 상기 공급부(8)에 포토 레지스트 공급원(10)에서부터 연결된 공급 호스(4)와 이 공급 호스(4)의 개폐를 조절하는 개폐 밸브(9)가 구비된 포토 레지스트의 자동 공급 장치를 나타내었다. 상기 저장 용기(1)의 안쪽에는 저장 용기(1)의 포토 레지스트의 잔류량을 감지하는 센서(5)가 구비되어 있고, 상기 센서(5)와 연결된 제어부(6) 및 상기 제어부(6)에 연결된 알람부(7)를 포함하여 이루어져 있는데, 제어부(6)는 알람부(7)를 작동시키는 역할과 상기 개폐 밸브(9)를 조절하는 역할을 한다.In the photoresist storage container 1 according to the present invention, a supply part 8 is provided on an upper surface thereof, and a discharge hose 2 is connected to a lower surface thereof. The supply part 8 can be opened and closed manually to supply the photoresist to the storage container 1 as necessary. In FIG. 2, the supply hose 4 connected to the supply part 8 from the photoresist supply source 10. And the automatic supplying device of the photoresist provided with the opening / closing valve 9 for controlling opening and closing of the supply hose 4. The inside of the storage container (1) is provided with a sensor (5) for detecting the residual amount of the photoresist of the storage container (1), connected to the control unit 6 and the control unit (6) connected to the sensor (5) It includes an alarm unit 7, the control unit 6 serves to operate the alarm unit 7 and to control the opening and closing valve (9).
다음, 도 3은 본 발명에 의한 포토 레지스트 공급 방법을 나타낸 플로우 차트로서, 도 2에서 나타낸 본 발명에 의한 공급 장치를 이용하여 포토 레지스트를 공급하는 방법을 나타낸 것이다.Next, FIG. 3 is a flowchart showing a photoresist supply method according to the present invention, which shows a method of supplying a photoresist using the supply apparatus according to the present invention shown in FIG.
저장 용기(1)의 포토 레지스트(3)의 잔류량을 센서(5)가 감지하는 제 1단계; 기준 잔류량보다 작을 경우 제어부(6)로 정보를 보내는 제 2단계; 상기 제어부(6)에서 알람부(7)를 작동시키는 제 3단계; 알람이 작동되면 공급부(8)를 통하여 포토 레지스트를 공급하는 제 4단계로 이루어지게 되는데, 이 때 포토 레지스트가 공급되는 제 4단계는 수동으로 공급되거나, 상기의 제어부(6)가 개폐 밸브(9)를 조절함으로써 공급 호스(4)를 통해 포토 레지스트가 공급되는 자동 공급 방법 중의 어느 한 방법이 사용된다.A first step of the sensor 5 detecting the remaining amount of the photoresist 3 of the storage container 1; A second step of sending information to the control unit 6 when less than the reference residual amount; A third step of operating the alarm unit 7 in the control unit 6; When the alarm is activated, the fourth step of supplying the photoresist through the supply unit 8 is performed. In this case, the fourth step of supplying the photoresist is manually supplied, or the control unit 6 is configured to open / close the valve 9. Is used in any of the automatic feeding methods in which the photoresist is supplied through the supply hose 4.
따라서, 본 발명의 포토 레지스트 공급장치 및 그 방법은 포토 레지스트 저장 용기(1)에 센서(5)를 설치하고, 하부면에 배출 호스(2)를 설치함으로써 포토 레지스트를 안정적으로 공급하고, 잔류 포토 레지스트의 낭비를 방지하여 비용 절감과 환경 보호에 효과가 있다.Therefore, the photoresist supply apparatus and method thereof of the present invention stably supply the photoresist by providing the sensor 5 in the photoresist storage container 1 and the discharge hose 2 in the lower surface thereof, and the remaining photo. It is effective in reducing costs and protecting the environment by preventing the waste of resist.
도 1은 종래의 포토 레지스트 공급 장치.1 is a conventional photoresist supply apparatus.
도 2는 본 발명에 의한 포토 레지스트 공급 장치.2 is a photoresist supply apparatus according to the present invention.
도 3은 본 발명에 의한 포토 레지스트 공급 방법을 나타낸 플로우 차트.3 is a flow chart showing a photoresist supply method according to the present invention.
((도면의 주요부분에 대한 부호의 설명))((Explanation of symbols for main parts of drawing))
1 : 저장 용기 2 : 배출 호스1: storage container 2: discharge hose
3 : 포토 레지스트 4 : 공급 호스3: photoresist 4: supply hose
5 : 센서 6 : 제어부5 sensor 6 controller
7 : 알람부 8 : 공급부7: alarm unit 8: supply unit
9 : 개폐 밸브 9: on-off valve
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