KR100802309B1 - Exhaust Prevention Device of Photo Resist - Google Patents
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Abstract
본 발명은 포토레지스트의 배출 방지장치에 관한 것으로, 포토레지스트 용기를 교체하기 위하여 포토레지스트 캡부로부터 분리시, 센서가 이를 감지하여 튜브라인에 잔류하는 포토레지스트 액이 배출되지 않도록 함으로써, 장비 및 주변의 오염을 방지하고, 파티클의 발생에 의한 오염을 방지하도록 한 것이다.The present invention relates to a device for preventing the discharge of photoresist, and when the sensor is separated from the photoresist cap to replace the photoresist container, the sensor detects this and prevents the photoresist liquid remaining in the tube line from being discharged. It is to prevent contamination and to prevent contamination by the generation of particles.
본 발명은, 포토레지스트 캡부에 연결되어 포토레지스트 액이 튜브라인을 따라 수용되는 포토레지스트 용기 캡부와; 상기 포토레지스트 캡부와 포토레지스트 용기 캡부의 연결 상태를 전기적으로 센싱하도록 연결되는 센서부와; 상기 센서부와 연결되어 해당 신호에 따라 튜브라인으로부터 포토레지스트 액의 배출을 제어하는 제어부;로 이루어진 포토레지스트의 배출 방지장치가 제공된다.
The present invention provides a photoresist container cap unit connected to a photoresist cap unit for receiving a photoresist liquid along a tube line; A sensor unit connected to electrically sense a connection state of the photoresist cap unit and the photoresist container cap unit; And a control unit connected to the sensor unit to control the discharge of the photoresist liquid from the tube line according to the corresponding signal.
포토레지스트, 센서, 배출, 오염, 용기, 교환Photoresist, sensor, discharge, contamination, container, exchange
Description
도 1은 본 발명의 포토레지스트의 배출방지장치를 도시한 도면
1 is a view showing a device for preventing the discharge of the photoresist of the present invention
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 튜브라인
10: tube line
본 발명은 포토레지스트의 배출방지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 배출되는 포토레지스트 액을 수용하는 포토레지스트 용기를 교체하기 위하여 포토레지스트 캡부로부터 분리시, 센서가 이를 감지하여 튜브라인에 잔류하는 포토레지스트 액이 배출되지 않도록 하고, 이에 따라 장비 및 주변의 오염과 파티클의 발생에 의한 오염이 방지되록 한 것이다.
The present invention relates to a device for preventing the discharge of photoresist, and more particularly, when the sensor is separated from the photoresist cap to replace the photoresist container containing the discharged photoresist liquid, the sensor detects this and remains in the tube line. This prevents the resist liquid from being discharged, thereby preventing contamination of the equipment and surroundings and contamination by the generation of particles.
일반적으로, 반도체 장비 중 포토 트랙장비의 역할은, 기판의 패턴을 형성하 기 위해 포토레지스트을 도포하고, 노광된 기판을 현상하는 장비이다.In general, the role of the photo track device of the semiconductor equipment is a device that applies a photoresist to form a pattern of the substrate, and develops the exposed substrate.
현재 사용되고 있는 포토레지스트 액은 각각의 특성에 따라 종류가 다양하며, 이에 따라 포토레지스트를 일정한 포토레지스트 용기에 보관하여 작업자에 의해 수동으로 포토레지스트 용기가 장착 및 교환이 이루어지게 된다.Currently used photoresist liquids are varied according to their characteristics, and accordingly, the photoresist containers are manually mounted and exchanged by an operator by storing the photoresist in a predetermined photoresist container.
그런데, 사용이 완료된 포토레지스트 용기를 교환하는 과정에 있어 포토레지스트 용기와 고정되는 캡을 오픈 후, 튜브라인에 내에 잔류하는 포토레지스트 액이 흘러내리게 되고, 이에 따라 파티클이 발생되는 문제점이 있다.However, in the process of exchanging the used photoresist container, after opening the cap fixed with the photoresist container, the photoresist liquid remaining in the tube line flows down, and thus there is a problem in that particles are generated.
또한, 상기와 같이 튜브라인에서 잔류하는 포토레지스트 액이 장비에 묻게 되면, 장비의 오염과 주변 환경에 악영향을 미치게 되고, 아울러 포토레지스트 용액이 낭비되는 문제점이 있다.
In addition, if the photoresist liquid remaining in the tube line as it is on the equipment as described above, it has a bad effect on the contamination of the equipment and the surrounding environment, and there is a problem that the photoresist solution is wasted.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 발명된 것으로, 포토레지스트 용기를 교체하고자 포토레지스트 캡부로부터 포토레지스트용기 캡부가 분리시에, 센서가 이를 감지하여 포토레지스트 배출 캡의 튜브라인에 잔류하는 포토레지스트 액이 배출되지 않도록 함으로써, 장비 및 주변의 오염을 방지하고, 파티클의 발생에 의한 오염이 방지되록 하는 점에 목적이 있다.
The present invention has been invented to solve the above problems, when the photoresist container cap portion is separated from the photoresist cap portion to replace the photoresist container, the sensor detects it and remains in the tube line of the photoresist discharge cap The purpose is to prevent the resist liquid from being discharged, thereby preventing contamination of the equipment and surroundings, and preventing contamination due to particle generation.
본 발명은 포토레지스트 캡부에 연결되어 포토레지스트 액이 튜브라인을 따 라 수용되는 포토레지스트 용기 캡부와; 상기 포토레지스트 캡부와 포토레지스트 용기 캡부의 연결 상태를 전기적으로 센싱하도록 연결되는 센서부와; 상기 센서부와 연결되어 해당 신호에 따라 튜브라인으로부터 포토레지스트 액의 배출을 제어하는 제어부;로 이루어진 포토레지스트의 배출방지장치에 기술적 특징이 있다.The present invention relates to a photoresist cap unit, comprising: a photoresist container cap unit for receiving a photoresist liquid along a tube line; A sensor unit connected to electrically sense a connection state of the photoresist cap unit and the photoresist container cap unit; The control unit connected to the sensor unit for controlling the discharge of the photoresist liquid from the tube line in accordance with the corresponding signal; has a technical feature in the apparatus for preventing the discharge of photoresist.
또한, 상기 센서부는, 포토레지스트 캡부와 포토레지스트 용기 캡부가 분리시에 경고음이 발생되도록 알람부와 연결된 구조이다.In addition, the sensor unit is connected to the alarm unit to generate a warning sound when the photoresist cap unit and the photoresist container cap unit is separated.
또한, 상기 제어부는, 해당 신호에 따라 오픈 또는 클로스되는 밸브인 구조이다.
In addition, the controller is a structure that is a valve that is opened or closed in accordance with the signal.
이하 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 설명하기로 한다. 첨부된 예시도면 도 1은 포토레지스트의 배출방지장치를 도시한 것이다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is a view illustrating an apparatus for preventing the discharge of photoresist.
도면을 참조하면, 포토레지스트 캡부와 포토레지스트용기 캡부가 서로 분리 가능하게 결합되고, 상기 포토레지스트 캡부에 연결되는 튜브라인을 통하여 배출되는 포토레지스트액이 포토레지스트 용기에 수용된다.Referring to the drawings, the photoresist cap portion and the photoresist vessel cap portion are detachably coupled to each other, and the photoresist liquid discharged through the tube line connected to the photoresist cap portion is received in the photoresist container.
그리고, 상기 포토레지스트 캡부와 포토레지스트 용기 캡부의 연결 상태를 감지하도록 센서가 연결되어 있는데, 이때 센서는, 상기 튜브라인에 설치된 제어부와 연결되고, 아울러 알람부와도 연결되어 있다. 여기서 제어부는 밸브가 사용된다.In addition, a sensor is connected to detect a connection state of the photoresist cap unit and the photoresist container cap unit. In this case, the sensor is connected to a control unit installed in the tube line and is also connected to an alarm unit. Here, the control unit is a valve.
따라서, 포토레지스트 캡부로부터 배출되는 포토레지스트 액은 튜브라인을 따라 제어부를 통하여 포토레지스트 용기 캡부로 유입된다. Therefore, the photoresist liquid discharged from the photoresist cap portion flows into the photoresist container cap portion through the control portion along the tube line.
그리고, 사용자가 포토레지스트 용기를 교체하고자 상기 포토레지스트 배출캡부로부터 포토레지스트 용기 캡부를 분리하게 되면, 이 포토레지스트 배출 캡부로부터 포토레지스트 용기 캡부의 연결 상태를 전기적으로 감지하는 센서부가 전기적으로 단락되면서 상기 튜브라인의 제어부에 신호를 주게 된다.When the user separates the photoresist container cap from the photoresist discharge cap to replace the photoresist container, the sensor unit electrically detecting the connection state of the photoresist container cap from the photoresist discharge cap is electrically shorted. Signal to the control part of the tube line.
상기 센서부로부터 신호를 받은 제어부는, 튜브라인을 차단하여 튜브라인에 존재하는 포토레지스트 액의 배출을 막게 된다. 동시에 센서부와 연결된 알람부가 경고음을 발생하여 작업자에게 알려주게 된다.The control unit receiving the signal from the sensor unit blocks the tube line to prevent the discharge of the photoresist liquid present in the tube line. At the same time, the alarm unit connected to the sensor unit generates a warning sound to inform the operator.
한편, 상기 포토레지스트 배출 캡부에 교체된 포토레지스트 용기의 캡부를 다시 연결시키게 되면, 이 포토레지스트 배출 캡부와 포토레지스트 용기의 캡부가 전기적으로 연결되어 센서가 센싱하게 되고, 이에 따라 제어부가 자동적으로 오픈되면서 튜브라인을 통해 포토레지스트 액을 용기에 수용시키게 되며, 아울러 알람부의 경고음이 중단된다.On the other hand, when the cap part of the photoresist container replaced with the photoresist discharge cap part is connected again, the photoresist discharge cap part and the cap part of the photoresist container are electrically connected, so that the sensor is sensed. As a result, the photoresist solution is received in the container through the tube line, and the alarm sound of the alarm unit is stopped.
따라서, 본 발명은 포토레지스트 배출 캡부와 포토레지스트 용기 캡부간에 연결상태를 감지하고, 감지된 신호에 따라 제어부를 오픈 또는 클로스시켜 튜브라인에 잔류하는 용액이 장비로 떨어지지 않도록 한 것이다.
Therefore, the present invention is to detect the connection state between the photoresist discharge cap portion and the photoresist container cap portion, and to open or close the control unit according to the detected signal so that the solution remaining in the tube line does not fall into the equipment.
본 발명은 배출되는 포토레지스트 액을 수용하기 위한 포토레지스트 용기를 교체하기 위하여 포토레지스트 캡부로부터 포토레지스트용기 캡부가 분리시에, 센서가 이를 감지하여 포토레지스트 배출 캡의 튜브라인으로부터 잔류하는 포터레지 스트 액이 배출되지 않도록 하고, 이에 따라 장비 및 주변의 오염과 파티클의 발생에 의한 오염이 방지되는 효과가 있다.According to the present invention, when the photoresist container cap portion is separated from the photoresist cap portion to replace the photoresist container for accommodating the discharged photoresist liquid, a sensor detects this and remains from the tube line of the photoresist discharge cap. The liquid is not discharged, thereby preventing pollution of the equipment and surroundings and generation of particles.
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| KR200247991Y1 (en) * | 2001-06-28 | 2001-10-17 | 동부전자 주식회사 | Apparatus for auto venting bubble in thinner line |
| KR20030062272A (en) * | 2002-01-16 | 2003-07-23 | 가부시키가이샤 히라마리카겐큐죠 | Method and apparatus for preparing and feeding treatment liquid |
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