KR100507596B1 - Gas Interception device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가스 유출 발생시 더 이상의 가스가 유출되는 것을 방지하기 위해 가스의 공급을 자동적으로 차단할 수 있도록 한 가스차단장치를 제공하는 것을 목적으로 하며,It is an object of the present invention to provide a gas shutoff device that can automatically cut off the supply of gas in order to prevent further gas leakage when a gas leakage occurs.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예는, 주공급라인에서 분기된 분기라인을 통해 제조설비로 공급되는 가스가 유출될 경우 가스의 유출을 감지하는 감지기와, 상기 분기라인상에 설치되는 전자개폐수단과, 상기 감지기의 신호를 입력받아 가스가 유출된 경우에 상기 전자개폐수단을 작동시켜 상기 분기라인내의 가스 유동을 차단하도록 제어하는 제어수단으로 구성되어 상기 가스를 차단하도록 구성된 가스차단장치에 있어서, 상기 전자개폐수단은,An embodiment of the present invention for achieving the above object, and a sensor for detecting the outflow of gas when the gas supplied to the manufacturing facility through the branch line branched from the main supply line, and on the branch line A gas configured to block the gas, the electronic switch being installed and a control means for controlling the gas flow in the branch line by operating the electronic switch when the gas is leaked by receiving a signal from the detector. In the blocking device, the electronic switching means,
유체를 가압 공급하는 유체 공급수단과;Fluid supply means for supplying pressurized fluid;
상기 분기라인내로 유동되는 가스를 개폐하기 위해 전후진하는 피스톤 로드를 갖는 실린더와;A cylinder having a piston rod that moves back and forth to open and close gas flowing into the branch line;
상기 유체 공급수단에 의해 공급된 유체를 상기 실린더로 공급하여 상기 피스톤 로드가 전후진하도록 상기 제어수단에 의해 제어되는 4포트형 전자밸브로 이루어진 것을 특징으로 한다.And a four-port solenoid valve controlled by the control means to supply the fluid supplied by the fluid supply means to the cylinder so that the piston rod moves forward and backward.
Description
본 발명은 가스차단장치에 관한 것으로, 가스 유출 발생시 더 이상의 가스가 유출되는 것을 방지하기 위해 가스의 공급을 자동적으로 차단할 수 있도록 한 가스차단장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas shutoff device, and more particularly to a gas shutoff device that can automatically cut off the supply of gas in order to prevent any further gas from flowing out when a gas leakage occurs.
일반적으로 반도체 제조공정에는 예들들어 웨이퍼상에 여러가지 화학반응을 유발하기 위하여 전기적으로 물성치가 다른 박막들을 형성하고, 회로를 구성하는 일련의 과정이 있다.In general, a semiconductor manufacturing process includes a series of processes for forming circuits, for example, forming thin films having different electrical properties in order to cause various chemical reactions on a wafer.
이러한 반도체 공정에는 화학적 친화력이 높은 극히 민감한 반응가스들을 취급하게 되므로 반도체 공정이 이루어지는 공정챔버내로 반응가스를 공급하는 가스공급시스템은 정확한 공급기능과 더불어 가스공급부에서부터 공정챔버에 이르는 가스공급라인에 이르기까지 가스의 누출을 막는 밀폐의 기능이 매우 중요하다.In this semiconductor process, extremely sensitive reaction gases with high chemical affinity are handled, so the gas supply system for supplying the reaction gas into the process chamber in which the semiconductor process is carried out has a precise supply function and the gas supply line from the gas supply unit to the process chamber. The function of sealing to prevent the leakage of gas is very important.
또한, 대부분의 반도체 반응가스는 유출시에 인체에 치명적임은 물론이고 높은 가연성을 가지므로 가스공급시스템에는 가스누출로 인한 인명살상이나 화재가 발생하여 막대한 손실을 초래하는 위험성을 항상 내포하고 있다.In addition, since most semiconductor reaction gases are not only fatal to the human body at the time of leakage, but also have high flammability, the gas supply system always carries a risk of causing massive loss due to personal injury or fire due to gas leakage.
종래 기술에 의한 가스공급시스템은 도 1에 도시된 바와 같이 제조설비(1)에서 가스가 유출되는 것을 감지기(2)에 감지하여 이 신호를 제어수단(3)으로 보내며, 제어수단(3)에서는 경고수단(4)을 작동시켜 작업자가 이를 인식할 수 있도록 한다.The gas supply system according to the prior art detects the outflow of gas from the manufacturing facility 1 to the detector 2 and sends this signal to the control means 3, as shown in FIG. Activate the warning means (4) so that the operator can recognize it.
종래 기술에서는 만일 가스가 유출되면 작업자는 수동밸브(5)를 긴급히 조작하여 주공급라인(6)에서 분기된 분기라인(7)으로 가스가 공급되어 제조설비(1)측으로 흐르는 것을 막았다.In the prior art, if the gas leaked out, the operator urgently operated the manual valve 5 to prevent the gas from being supplied to the branch line 7 branched from the main supply line 6 to flow to the manufacturing facility 1 side.
그런데, 상기와 같은 종래 기술에서는 수동밸브(5)를 조작하는 데 소요되는 시간이 오래 걸려 신속하게 가스 유출을 차단할 수 없는 문제점이 있었다.By the way, in the prior art as described above, there is a problem in that it takes a long time to operate the manual valve 5 so that the gas outflow cannot be shut off quickly.
그리고, 수동밸브(5)가 작업장의 천장등 높은 위치에 설치되어 있기 때문에 작업자가 조작하는데 불편한점이 있었다.In addition, since the manual valve 5 is installed at a high position such as the ceiling of the workplace, there is an inconvenience for the operator to operate.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 가스 유출 발생시 더 이상의 가스가 유출되는 것을 방지하기 위해 가스의 공급을 자동적으로 차단할 수 있도록 한 가스차단장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a gas shutoff device that can automatically cut off the supply of gas in order to prevent the further outflow of gas when a gas outflow occurs.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예는, 주공급라인에서 분기된 분기라인을 통해 제조설비로 공급되는 가스가 유출될 경우 가스의 유출을 감지하는 감지기와, 상기 분기라인상에 설치되는 전자개폐수단과, 상기 감지기의 신호를 입력받아 가스가 유출된 경우에 상기 전자개폐수단을 작동시켜 상기 분기라인내의 가스 유동을 차단하도록 제어하는 제어수단으로 구성되어 상기 가스를 차단하도록 구성된 가스차단장치에 있어서, 상기 전자개폐수단은,유체를 가압 공급하는 유체 공급수단과;상기 분기라인내로 유동되는 가스를 개폐하기 위해 전후진하는 피스톤 로드를 갖는 실린더와;상기 유체 공급수단에 의해 공급된 유체를 상기 실린더로 공급하여 상기 피스톤 로드가 전후진하도록 상기 제어수단에 의해 제어되는 4포트형 전자밸브로 이루어진 것을 특징으로 한다.An embodiment of the present invention for achieving the above object, and a sensor for detecting the outflow of gas when the gas supplied to the manufacturing facility through the branch line branched from the main supply line, and on the branch line A gas configured to block the gas, the electronic switch being installed and a control means for controlling the gas flow in the branch line by operating the electronic switch when the gas is leaked by receiving a signal from the detector. In the blocking device, The electromagnetic opening and closing means, Fluid supply means for supplying the pressurized fluid; Cylinder having a piston rod forward and backward to open and close the gas flowing into the branch line; And supplied by the fluid supply means Four-port type electronic bell controlled by the control means to supply fluid to the cylinder to move the piston rod forward and backward That consisting of features.
이하, 본 발명에 의한 가스차단장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of the gas shutoff device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 주공급라인(6)에서 분기된 분기라인(7)을 통해 제조설비(1)로 공급되는 가스가 유출될 경우 이를 차단하도록 구성된 가스차단장치에 있어서, 가스의 유출을 감지하는 감지기(2)와, 상기 분기라인(7)상에 설치되는 전자개폐수단(10)(30)과, 상기 감지기(2)의 신호를 입력받아 가스가 유출된 경우에 상기 전자개폐수단(10)(30)을 작동시켜 상기 분기라인(7)내의 가스 유동을 차단하도록 제어하는 제어수단(3)을 포함하는 이루어진다.The present invention is a gas shutoff device configured to block when the gas supplied to the manufacturing facility 1 through the branch line (7) branched from the main supply line (6), a detector for detecting the outflow of gas ( 2), the electronic switching means 10 and 30 installed on the branch line 7, and the electronic switching means 10 and 30 when the gas is leaked by receiving a signal from the detector 2; Control means (3) for controlling to block the flow of gas in the branch line (7).
상기 전자개폐수단(10)의 제1 실시예는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 유체를 가압 공급하는 유체 공급수단(11)과, 상기 분기라인(7)내로 유동되는 가스를 개폐하기 위해 전후진하는 피스톤 로드(12a)를 갖는 실린더(12)와, 상기 유체 공급수단(11)에 의해 공급된 유체를 상기 실린더(12)로 공급하여 상기 피스톤 로드(12a)가 전후진하도록 상기 제어수단(3)에 의해 제어되는 4포트형 전자밸브(20)로 이루어진다.As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the first embodiment of the electronic opening and closing means 10 opens and closes a fluid supply means 11 for pressurizing and supplying a fluid and a gas flowing into the branch line 7. To control the cylinder 12 having the piston rod 12a forward and backward, and the fluid supplied by the fluid supply means 11 to the cylinder 12 so that the piston rod 12a moves forward and backward. It consists of a four-port solenoid valve 20 controlled by means 3.
상기와 같이 구성된 전자개폐수단(10)의 제1 실시예에 대한 작용을 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.An operation of the first embodiment of the electronic switch 10 configured as described above will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 4포트형 전자밸브(20)의 코일(21)이 소자되면 실린더(12)의 피스톤 로드(12a)의 반대측 유체(13)는 대기로 배출되고, 피스톤 로드(12a)측 유체(14)는 유체가 피스톤(12b)에 작용하여 피스톤 로드(12a)를 후퇴시키게 되며, 이로 인해 분기라인(7)내의 유로(7a)를 개방시키게 된다.First, as shown in FIG. 2, when the coil 21 of the four-port solenoid valve 20 is demagnetized, the fluid 13 on the opposite side of the piston rod 12a of the cylinder 12 is discharged to the atmosphere, and the piston rod The fluid 14 on the (12a) side causes the fluid to act on the piston 12b to retract the piston rod 12a, thereby opening the flow path 7a in the branch line 7.
따라서, 주공급라인(6)에서 분기된 가스는 상기 분기라인(7)내를 통해 유동되어 제조설비(1)로 공급되는 것이다.Accordingly, the gas branched from the main supply line 6 flows through the branch line 7 and is supplied to the manufacturing facility 1.
한편, 상기와 같은 상태에서 감지기(2)에 의해 가스의 유출이 감지될 경우가 발생되면, 제어수단(3)은 먼저 경고수단(4)을 작동시켜 작업자에게 가스의 유출을 알린다.On the other hand, when the outflow of the gas is detected by the detector 2 in the above state, the control means 3 first operates the warning means (4) to inform the operator of the outflow of gas.
이와 동시에 도 3에 도시된 바와 같이, 4포트형 전자밸브(20)에 전원을 인가하면, 4포트형 전자밸브(20)의 코일(21)이 여자되며, 이로 인해 실린더(12)의 피스톤 로드(12a)측 유체(14)는 배출되고, 피스톤 로드(12a) 반대측 유체(13)가 피스톤(12b)에 작용하여 피스톤 로드(12a)를 전진시킨다.At the same time, as shown in FIG. 3, when power is applied to the four-port solenoid valve 20, the coil 21 of the four-port solenoid valve 20 is excited, thereby causing the piston rod of the cylinder 12. The fluid 14 on the (12a) side is discharged, and the fluid 13 on the opposite side of the piston rod 12a acts on the piston 12b to advance the piston rod 12a.
따라서, 상기 피스톤 로드(12a)의 전진에 따라 분리가인(7)내의 유로(7a)는 폐쇄되어 가스의 공급은 차단되는 것이다.Therefore, as the piston rod 12a is advanced, the flow path 7a in the separation guide 7 is closed and gas supply is cut off.
이제까지의 설명은 본 발명의 제1 실시예에 대하여 설명하였다.The foregoing description has described the first embodiment of the present invention.
한편, 상기 전자개폐수단(30)의 제2 실시예는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 유체를 가압 공급하는 유체 공급수단(11)과, 상기 분기라인(7)내로 유동되는 가스를 개폐하기 위해 회전하는 샤프트(41)를 갖는 액츄에이터(40)와, 상기 유체 공급수단(11)에 의해 공급된 유체를 상기 액츄에이터(40)로 공급하여 상기 샤프트(41)가 전후진하도록 상기 제어수단(3)에 의해 제어되는 4포트형 전자밸브(35)로 이루어진다.Meanwhile, as shown in FIGS. 4 and 5, the second embodiment of the electron-opening means 30 includes fluid supply means 11 for pressurizing and supplying fluid and gas flowing into the branch line 7. Actuator 40 having a shaft 41 that rotates to open and close, and the control means to supply the fluid supplied by the fluid supply means 11 to the actuator 40 so that the shaft 41 is moved back and forth It consists of a 4-port solenoid valve 35 controlled by (3).
상기와 같이 구성된 본 발명의 제2 실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the second embodiment of the present invention configured as described above are as follows.
도 4에 도시된 바와 같이, 4포트형 전자밸브(35)의 코일(36)이 소자되면 액츄에이터(40)의 제1 포트(미도시)를 통해 유체가 유입된 후 제2 포트(미도시)를 통해 배출되는 과정에서 유체의 유동 압력에 의해 액츄에이터(40)의 샤프트(41)는 소정 각도 임의의 방향으로 회전되어 분기라인(7)내의 유로(7a)를 개방시킨다.As shown in FIG. 4, when the coil 36 of the four-port solenoid valve 35 is demagnetized, a fluid is introduced through a first port (not shown) of the actuator 40 and then a second port (not shown). The shaft 41 of the actuator 40 is rotated in an arbitrary direction by a flow pressure of the fluid in the process of being discharged through the opening to open the flow path 7a in the branch line 7.
즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 분기라인(7)의 유로(7a)와 샤프트(41)의 단부에 형성된 관통공(41a)과 일치하는 경우에 유로가 개방되는 것이다.That is, as shown in FIG. 6, the flow path is opened when the flow path 7a of the branch line 7 coincides with the through hole 41a formed at the end of the shaft 41.
따라서, 주공급라인(6)에서 분기된 가스는 상기 분기라인(7)내를 통해 유동되어 제조설비(1)로 공급되는 것이다.Accordingly, the gas branched from the main supply line 6 flows through the branch line 7 and is supplied to the manufacturing facility 1.
한편, 상기와 같은 상태에서 감지기(2)에 의해 가스의 유출이 감지될 경우가 발생되면, 제어수단(3)은 먼저 경고수단(4)을 작동시켜 작업자에게 가스의 유출을 알린다.On the other hand, when the outflow of the gas is detected by the detector 2 in the above state, the control means 3 first operates the warning means (4) to inform the operator of the outflow of gas.
이와 동시에 도 5에 도시된 바와 같이, 4포트형 전자밸브(35)에 전원을 인가하면, 4포트형 전자밸브(35)의 코일(36)이 여자되며, 이로 인해 액츄에이터(40)의 제1 포트(미도시)를 통해 유체가 배출되고, 제2 포트(미도시)를 통해 유체가 유입되는 과정에서 유체의 유동 압력에 의해 액츄에이터(40)의 샤프트(41)는 전술한 도 4에 도시된 바와는 반대 방향으로 소정 각도 회전되어 분기라인(7)내의 유로(7a)를 폐쇄시킨다.At the same time, as shown in Figure 5, when the power is applied to the four-port solenoid valve 35, the coil 36 of the four-port solenoid valve 35 is excited, thereby causing the first of the actuator 40 As the fluid is discharged through the port (not shown), and the fluid is introduced through the second port (not shown), the shaft 41 of the actuator 40 is moved by the flow pressure of the fluid. A predetermined angle is rotated in the opposite direction to the bar to close the flow path 7a in the branch line 7.
즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 분기라인(7)의 유로(7a)와 샤프트(41)의 단부에 형성된 관통공(41a)이 서로 불일치하는 경우에 유로가 폐쇄되는 것이다.That is, as shown in FIG. 7, the flow path is closed when the flow path 7a of the branch line 7 and the through hole 41a formed at the end of the shaft 41 are inconsistent with each other.
따라서, 주공급라인(6)에서 분기된 가스는 차단되어 상기 분기라인(7)내로 유동도지 못함과 아울러 제조설비(1)로 공급되지 못하게 되는 것이다.Therefore, the gas branched from the main supply line (6) is blocked so that it cannot flow into the branch line (7) and cannot be supplied to the manufacturing facility (1).
이상 살펴본 바와 같이 본 발명에 의한 가스차단장치는, 가스 유출 발생시 더 이상의 가스가 유출되는 것을 방지하기 위해 가스의 공급을 자동적으로 차단할 수 있게 된다.As described above, the gas shutoff device according to the present invention may automatically cut off the supply of gas in order to prevent further gas from flowing out when a gas leak occurs.
도 1은 종래 기술에 의한 가스차단장치를 나타낸 도면.1 is a view showing a gas shutoff device according to the prior art.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1 실시예를 나타낸 도면.2 and 3 show a first embodiment of the present invention.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제2 실시예를 나타낸 도면.4 and 5 show a second embodiment of the present invention;
도 6 및 도 7은 본 발명의 제2 실시예의 작동 상태를 나타낸 도면.6 and 7 show an operating state of the second embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
1 : 제조설비1: Manufacturing Equipment
2 : 감지기2: detector
3 : 제어수단3: control means
6 : 공급라인6: supply line
7 : 분기라인7: branch line
10,30 : 전자개폐수단10,30: Electronic switch
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| Date | Code | Title | Description |
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| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |