KR100503274B1 - Defect test method and apparatus for gray-tone mask - Google Patents
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Abstract
본 발명은 차광부, 투과부, 및 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크에 대하여 일괄 검사를 실현할 수 있는 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치를 제공한다. 마스크 내에 형성된 동일 패턴을 서로 비교함으로써 결함을 검출하는 비교 검사 수법을 이용하여, 패턴이 서로 다름에 따라 나타나는 정보의 임계값으로서, 통상의 차광부 및 투과부의 추출 결함 임계값에 부가하여, 그레이톤부 전용의 결함 추출 임계값을 새롭게 설정하고, 또한, 차광부와 투과부, 및 그레이톤부 중 어떤 영역을 검사하고 있는지를 식별하며, 차광부 또는 투과부를 검사하고 있는 경우는 차광부·투과부용 결함 추출 임계값을 이용하여 통상의 결함 검사를 행하고, 그레이톤부를 검사하고 있는 경우는 그레이톤부 전용의 결함 추출 임계값을 이용하여 그레이톤부의 결함 검사를 행한다.The present invention provides a defect inspection method and a defect inspection apparatus that can realize collective inspection of a gray tone mask having a light shielding portion, a transmission portion, and a gray tone portion. By using a comparison inspection technique for detecting defects by comparing the same pattern formed in the mask with each other, as a threshold value of the information appearing as the patterns differ from each other, in addition to the extraction defect threshold values of ordinary light-shielding portions and transmissive portions, the gray-tone portion When a dedicated defect extraction threshold is newly set, and which area of the light shielding part, the transmission part, and the gray tone part is being inspected, and the light shielding part or the transmission part is inspected, the defect extraction threshold for the light shielding part and the transmission part is checked. Normal defect inspection is performed using the value, and when the gray tone portion is being inspected, defect inspection of the gray tone portion is performed using a defect extraction threshold value dedicated to the gray tone portion.
Description
본 발명은 그레이톤 마스크의 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치 등에 관한 것이다. The present invention relates to a defect inspection method, a defect inspection apparatus, and the like of a gray tone mask.
최근, 대형 LCD용 마스크의 분야에 있어서, 그레이톤 마스크를 이용하여 마스크 매수를 삭감하는 시도가 이루어지고 있다.(월간 FPD Intelligence, 1999년 5월).In recent years, in the field of masks for large LCDs, attempts have been made to reduce the number of masks using gray tone masks (monthly FPD Intelligence, May 1999).
여기서, 그레이톤 마스크는, 도 4(1)에 도시된 바와 같이, 투명 기판 상에 차광부(1), 투과부(2), 및 그레이톤부(3)를 갖는다. 그레이톤부(3)는, 예를 들면, 그레이톤 마스크를 사용하는 대형 LCD용 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴(3a)을 형성한 영역으로서, 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하고, 이 영역에 의한 조사량을 저감하여 포토레지스터의 막 두께를 선택적으로 변화시키는 것을 목적으로 형성된다. 3b는 그레이톤부(3)에서의 노광기의 해상 한계 이하의 미세 투과부이다. 차광부(1)와 차광 패턴(3a)은 함께 크롬이나 크롬 화합물 등의 동일 재료로 이루어지는 동일 두께의 막으로 통상 형성된다. 투과부(2)와 미세 투과부(3b)는 함께 투명 기판 상에 있어서 차광 막 등이 형성되지 않은 투명 기판의 부분이다.Here, the gray tone mask has a light shielding portion 1, a transmission portion 2, and a gray tone portion 3 on a transparent substrate, as shown in Fig. 4 (1). The gray tone part 3 is an area | region which formed the light shielding pattern 3a below the resolution limit of the large size LCD exposure machine which uses a gray tone mask, for example, and reduces the transmission amount of the light which permeate | transmits this area | region, It is formed for the purpose of reducing the irradiation amount by and selectively changing the film thickness of the photoresist. 3b is a fine transmission portion below the resolution limit of the exposure machine in the gray tone portion 3. The light shielding portion 1 and the light shielding pattern 3a are usually formed of a film having the same thickness made of the same material such as chromium or a chromium compound. The transmissive portion 2 and the fine transmissive portion 3b together are portions of a transparent substrate on which no light shielding film or the like is formed on the transparent substrate.
그레이톤 마스크를 사용하는 대형 LCD용 노광기의 해상 한계는 스테퍼 방식의 노광기에서 약 3㎛, 미러 프로젝션 방식의 노광기에서 약 4㎛이다. 이 때문에, 예를 들면, 도 4(1)에서 그레이톤부(3)의 투과부(3b)의 스페이스 폭을 3㎛ 미만, 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴(3a)의 라인 폭을 3㎛ 미만으로 한다. 상기 대형 LCD용 노광기에 의해 노광한 경우, 그레이톤부(3)를 통과한 노광 광은 전체로서 노광량이 부족하게 되기 때문에, 이 그레이톤부(3)를 통하여 노광한 포지티브 (positive)형 포토레지스터는 막 두께가 얇게 될 뿐 기판 상에 남는다. 즉, 레지스터는 노광량의 차이에 따라 통상의 차광부(1)에 대응하는 부분과 그레이톤부(3)에 대응하는 부분에서 현상액에 대한 용해성에 차가 생기기 때문에, 현상 후의 레지스터 형상은, 도 4(2)에 도시된 바와 같이, 통상의 차광부(1)에 대응하는 부분(1')이, 예를 들면, 약 1.3㎛, 그레이톤부(3)에 대응하는 부분(3')이, 예를 들면, 약 0.3㎛, 투과부(2)에 대응하는 부분은 레지스터가 없는 부분(2')으로 된다. 또한, 레지스트가 없는 부분(2')에 피가공 기판의 제 1 에칭을 행하고, 그레이톤부(3)에 대응하는 얇은 부분(3')의 레지스터를 애싱(ashing) 등에 의하여 제거하여 그 부분에 제 2 에칭을 행함으로써, 1매의 마스크로 종래의 마스크 2매분의 공정을 행하여 마스크 매수를 삭감한다.The resolution limit of a large LCD exposure machine using a gray tone mask is about 3 mu m in a stepper type exposure machine and about 4 mu m in a mirror projection type exposure machine. For this reason, for example, in FIG. 4 (1), the line width of the light shielding pattern 3a below the resolution limit of the exposure machine and the space width of the transmissive portion 3b of the gray tone portion 3 is less than 3 μm. do. In the case of exposing with the large-scale LCD exposure machine, since the exposure light passing through the gray tone unit 3 is insufficient as a whole, the positive photoresist exposed through the gray tone unit 3 is a film. It becomes thin and remains on the substrate. That is, since the register differs in solubility in the developer in the portion corresponding to the normal light shielding portion 1 and the portion corresponding to the gray tone portion 3 according to the difference in the exposure amount, the register shape after development is shown in Fig. 4 (2). ), The portion 1 'corresponding to the normal light shielding portion 1 is, for example, about 1.3 mu m, and the portion 3' corresponding to the gray tone portion 3 is, for example, About 0.3 占 퐉, and the portion corresponding to the transmissive portion 2 becomes a portion 2 'without a resistor. In addition, a first etching of the substrate to be processed is performed on the resist-free portion 2 ', and the resist of the thin portion 3' corresponding to the gray tone portion 3 is removed by ashing or the like to remove the resist from the portion. By performing two etchings, the number of masks is reduced by performing the process of two conventional masks with one mask.
차광부 및 투과부만으로 이루어진 종래의 마스크의 검사 방법에 대하여 설명한다.The inspection method of the conventional mask which consists only of a light shielding part and a transmission part is demonstrated.
도 7(1)은 차광부(1)에 백결함(핀 홀; 4), 투과부(2)에 흑결함(스포트; 5)이 발생한 상태를 도시하고, 화살표는 비교 검사 장치의 한 쪽 렌즈(이하, 상렌즈라고 함)의 주사의 모양을 도시한다. Fig. 7 (1) shows a state where white defects (pin holes) 4 are formed in the light blocking portion 1, and black defects (spots) 5 are generated in the transmission portion 2, and an arrow indicates one lens ( Hereinafter, the state of scanning of an image lens) is shown.
도 7(2)는 상기 렌즈의 주사선에 따라 얻어지는 투과량 신호(7)를 도시한다. 투과량 신호(7)는, 예를 들면, 각 렌즈 유니트 내에 배치된 CCD 라인 센서에 의해 검출된다. 투과량 신호(7)의 레벨은 차광부(1)에서 B, 투과부(2)에서 W이고, 차광부(1)의 투과율을 0%, 투과부(2)의 투과율을 100%로 각각 설정한다. 투과량 신호 (7)는 패턴의 에지(차광부와 투과부의 경계)에서 발생하는 패턴 에지 라인 신호(패턴 형상 신호)로 기본적으로 구성되고, 결함이 발생한 경우는, 차광부(1)에 발생한 백결함 신호(4'), 투과부(2)에 발생한 흑결함 신호(5')가 나타난다.Fig. 7 (2) shows a transmission signal 7 obtained along the scanning line of the lens. The transmittance signal 7 is detected by, for example, a CCD line sensor disposed in each lens unit. The level of the transmittance signal 7 is B in the light shielding portion 1 and W in the light transmitting portion 2, and sets the transmittance of the light blocking portion 1 to 0% and the transmittance of the transparent portion 2 to 100%, respectively. The transmission amount signal 7 is basically composed of a pattern edge line signal (pattern shape signal) generated at the edge of the pattern (the boundary between the light shielding portion and the transmission portion), and in the case where a defect occurs, the white defect generated in the light shielding portion 1 The signal 4 'and the black defect signal 5' generated in the transmission part 2 appear.
도 7(3)은 도 7(1)과 동일 패턴으로서 결함이 발생하지 않은 경우에 다른 쪽 렌즈(이하, 하렌즈라고 함)에 의해 얻어지는 투과량 신호(7')를 도시한다.FIG. 7 (3) shows a transmission signal 7 'obtained by the other lens (hereinafter referred to as a lower lens) when no defect occurs in the same pattern as in FIG. 7 (1).
도 7(4)는 각 렌즈에 의해 얻어진 투과량 신호를 뺄셈(차분)하여 구한 차 신호(8)이다. 보다 구체적으로는, 도 7(2)의 투과량 신호(7)에서 도 7(3)의 투과량 신호(7')를 뺄셈하여 구한 차 신호이다. 차 신호(8)는 각 렌즈의 투과량 신호에서 패턴 에지 라인 신호가 제거되어 결함 신호(4',5')만이 추출된다.Fig. 7 (4) shows the difference signal 8 obtained by subtracting (differencing) the transmittance signal obtained by each lens. More specifically, it is a difference signal obtained by subtracting the transmission amount signal 7 'of FIG. 7 (3) from the transmission amount signal 7 of FIG. In the difference signal 8, the pattern edge line signal is removed from the transmission amount signal of each lens so that only the defect signals 4 'and 5' are extracted.
도 7(5)는, 결함 신호만을 추출한 차 신호에 있어서, 차광부(1) 및 투과부 (2)의 결함을 추출하는데 필요한 임계값을 설정하고, 플러스측의 임계값(9a)에 의해 백결함이, 마이너스측의 임계값(9b)에 의해 흑결함이 각각 검출된 상태를 도시한다. 임계값이 낮으면 검출 감도는 올라가지만, 의사(疑似) 결함을 골라내지 않는 레벨로 설정할 필요가 있다. 어느 쪽의 렌즈에 어떤 결함이 발생했는지를 판별하기 위해서는, 예를 들면, 상렌즈의 회로에서는 하렌즈의 신호와 비교하고(상렌즈의 신호에서 하렌즈의 신호를 뺄셈하고), 상렌즈의 차광부(1)에 백결함이 발생한 경우는 플러스측, 상렌즈의 투과부(2)에 흑결함이 발생한 경우는 마이너스측에 결함 신호가 출력됨으로써, 상렌즈의 백결함, 흑결함을 검출한다(상기 도 7(2) ~ (5)). 마찬가지로, 예를 들면, 하렌즈의 회로에서는 상렌즈의 신호와 비교하고(하렌즈의 신호에서 상렌즈의 신호를 뺄셈하고), 하렌즈의 차광부(1)에 백결함이 발생한 경우는 플러스측, 하렌즈의 투과부(2)에 흑결함이 발생한 경우는 마이너스측에 결함 신호가 출력됨으로써, 하렌즈의 백결함, 흑결함을 검출한다.Fig. 7 (5) sets a threshold value necessary for extracting the defects of the light shielding portion 1 and the transmission portion 2 in the difference signal from which only the defect signal is extracted, and whitening by the threshold value 9a on the positive side. This shows a state where black defects are respectively detected by the threshold value 9b on the negative side. If the threshold value is low, the detection sensitivity is increased, but it is necessary to set the level at which the pseudo defect is not picked out. In order to determine which defect occurred in which lens, for example, in the circuit of the image lens, the signal of the image is compared with the signal of the lower lens (subtracting the signal of the lower lens from the signal of the image lens). In the case where white defects occur in the light portion 1, a defect signal is output on the positive side when black defects occur in the transmissive portion 2 of the image lens, thereby detecting white defects and black defects in the image lens (the above). 7 (2)-(5)). Similarly, for example, in the circuit of the lower lens, the signal of the upper lens is compared with the signal of the upper lens (subtracted from the signal of the lower lens). When black defects occur in the transmission portion 2 of the lower lens, a defect signal is output to the negative side, thereby detecting white defects and black defects of the lower lens.
상술한 종래의 비교 검사 장치는 차광부 및 투과부만으로 구성된 종래의 마스크를 검사하기 위한 장치이기 때문에, 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크를 검사할 수 없다.Since the conventional comparative inspection apparatus described above is an apparatus for inspecting a conventional mask composed only of the light shielding portion and the transmissive portion, the gray tone mask having the gray tone portion cannot be inspected.
상세하게는, 상술한 바와 같이, 차광부 및 투과부의 결함을 추출하는데 필요한 임계값으로 맞춘 경우, 그레이톤부의 결함 신호는 그레이톤부를 구성하는 패턴이 미세하고, 통상 결함 자체가 미소하기 때문에 약하며, 임계값이 너무 높아서 그레이톤부의 결함을 추출할 수 없다.Specifically, as described above, when the threshold value necessary for extracting the defects of the light shielding part and the transmission part is set to the threshold value, the defect signal of the gray tone part is weak because the pattern constituting the gray tone part is fine, and the defect itself is usually minute, The threshold value is too high to extract defects in the gray tone part.
반대로, 그레이톤부의 결함을 추출하는데 필요한 임계값으로 맞춘 경우, 차광부 및 투과부의 의사 결함을 골라내버리기 때문에 차광부 및 투과부의 결함을 추출할 수 없을 뿐만 아니라, 이들 의사 결함과 그레이톤부의 결함을 구별할 수 없고, 따라서, 그레이톤부의 결함을 검사할 수 없다.On the contrary, when the threshold value necessary for extracting the defects of the gray tone part is set to the threshold value, since the pseudo defects of the light shielding part and the transmission part are picked out, not only the defects of the light shielding part and the transmission part can be extracted, but also these pseudo defects and the defects of the gray tone part. Cannot be distinguished from each other, and therefore, a defect in the gray tone portion cannot be inspected.
또한, 종래의 장치는 결함 추출 임계값을 플러스측, 마이너스측에 각각 라인 별로 밖에 설정할 수 없다.In addition, the conventional apparatus can set the defect extraction threshold only on the plus side and the minus side for each line.
본 발명은 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크의 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치의 제공을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a defect inspection method and a defect inspection apparatus for a gray tone mask having a gray tone portion.
본 발명은 이하의 구성을 갖는다.This invention has the following structures.
본 발명의 제 1 양태는 차광부, 투과부, 및 투과량을 조정한 영역으로서 상기 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 해당 영역을 노광한 포토레지스트의 막 두께를 선택적으로 변화시키는 것을 목적으로 하는 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크의 결함 검사 방법으로서, 차광부 및 투과부가 형성되어 있는 영역과 그레이톤부가 형성되어 있는 영역을 식별하고, 각각의 영역에 전용의 결함 검출을 위한 기준을 이용하여 각각의 영역의 결함을 검출하는 것을 특징으로 한다.The first aspect of the present invention is a region in which a light shielding portion, a transmission portion, and a transmission amount are adjusted to reduce the amount of light passing through the region to selectively change the film thickness of the photoresist exposing the region. A defect inspection method of a gray tone mask having a portion, the region in which the light shielding portion and the transmission portion are formed, and the region in which the gray tone portion is formed are identified, and each region is used by using a criterion for detecting a dedicated defect. It is characterized by detecting a defect.
본 발명의 제 2 양태는 상기 그레이톤부가 그레이톤 마스크를 사용하는 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴을 형성한 영역인 것을 특징으로 한다.A second aspect of the present invention is characterized in that the gray tone portion is a region in which a light shielding pattern is formed at or below the resolution limit of an exposure machine using a gray tone mask.
본 발명의 제 3 양태는 차광부, 투과부, 및 투과량을 조정한 영역으로서 상기 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토레지스트의 막 두께를 선택적으로 변화시키는 것을 목적으로 하는 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크의 결함 검사 방법으로서, 마스크 내에 형성된 동일 패턴을 서로 비교하여 결함을 검출하는 비교 검사 수법을 이용하고, 패턴이 서로 다름에 따라 나타나는 정보의 임계값으로서, 통상의 차광부 및 투과부의 결함 추출 임계값에 부가하여, 그레이톤부 전용의 결함 추출 임계값을 새롭게 설정하고, 또한, 차광부와 투과부, 및 그레이톤부 중 어떤 영역을 검사하고 있는지를 식별하며, 차광부 또는 투과부를 검사하고 있는 경우는 차광부·투과부용 결함 추출 임계값을 이용하여 통상의 결함 검사를 행하고, 그레이톤부를 검사하고 있는 경우는 그레이톤부 전용의 결함 추출 임계값을 이용하여 그레이톤부의 결함 검사를 행하는 것을 특징으로 한다.A third aspect of the present invention is a gray tone mask having a light shield, a transmissive portion, and a gray tone portion for the purpose of reducing the amount of light passing through the region to selectively change the film thickness of the photoresist as a region in which the amount of transmission is adjusted. As a defect inspection method, a defect inspection threshold value of a normal light shielding part and a transmission part is used as a threshold value of the information displayed as the patterns differ from each other by using a comparison inspection method for comparing a same pattern formed in the mask with each other. In addition to this, a new defect extraction threshold dedicated to the gray tone part is newly set, and the area of the light shielding part, the transmissive part, and the gray tone part is inspected, and the light shielding part is inspected when the light shielding part or the transmissive part is being inspected. Normal defect inspection using the defect extraction threshold for the permeable section, and the gray tone section is inspected If there is, it is characterized by performing a defect inspection of a gray tone part using the defect extraction threshold value dedicated to a gray tone part.
본 발명의 제 4 양태는 상기 그레이톤부가 그레이톤 마스크를 사용하는 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴을 형성한 영역으로서, 상기 그레이톤부에 특유의 베이스 신호 레벨을 넘는 레벨로 상기 결함 추출 임계값을 설정하는 것을 특징으로 한다.A fourth aspect of the present invention is a region in which the gray tone portion forms a light shielding pattern below a resolution limit of an exposure machine using a gray tone mask, wherein the defect extraction threshold is set at a level exceeding a base signal level peculiar to the gray tone portion. It is characterized by setting.
본 발명의 제 5 양태는 상기 그레이톤부가 막을 투과하는 광의 투과량을 제어할 수 있는 반투과막을 형성한 영역으로서, 상기 그레이톤부의 허용 투과량을 넘는 레벨로 상기 결함 추출 임계값을 설정하는 것을 특징으로 한다.A fifth aspect of the present invention is a region in which the gray tone portion forms a semi-transmissive film capable of controlling the amount of light passing through the film, wherein the defect extraction threshold is set at a level exceeding the allowable transmission amount of the gray tone portion. do.
본 발명의 제 6 양태는 차광부, 투과부, 및 투과량을 조정한 영역으로서 상기 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토레지스트의 막 두께를 선택적으로 변화시키는 것을 목적으로 하는 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크의 결함 검사 장치로서, 마스크 내에 형성된 동일 패턴 부분을 평행 광선 및 수광 렌즈에 의해 각각 주사하여 투과량 신호를 각각 검출하는 수단; 투과량 신호들 끼리를 서로 비교하여 차 신호를 얻는 수단; 차광부·투과부와 그레이톤부 중 어떤 영역을 검사하고 있는지를 식별하는 수단; 차광부·투과부를 검사하고 있다고 판단한 경우, 차광부·투과부용 결함 추출 임계값을 이용하여 상기 차 신호가 차광부·투과부용 결함 추출 임계값을 넘는 경우 결함이라고 판정하는 수단; 및 그레이톤부를 검사하고 있다고 판단한 경우, 그레이톤부 전용 결함 추출 임계값을 이용하여 상기 차 신호가 그레이톤부 전용 결함 추출 임계값을 넘는 경우 결함이라고 판정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.A sixth aspect of the present invention is a gray tone mask having a light shielding portion, a transmitting portion, and a gray tone portion for the purpose of reducing the amount of light passing through the region to selectively change the film thickness of the photoresist as a region in which the amount of transmission is adjusted. A defect inspection apparatus of claim 1, comprising: means for respectively scanning the same pattern portion formed in the mask with a parallel light ray and a light receiving lens to respectively detect a transmission amount signal; Means for comparing the transmittance signals with each other to obtain a difference signal; Means for identifying which area of the light shielding portion, the transparent portion, and the gray tone portion is inspected; Means for judging that the light shielding part / transmitting part is inspected, and determining that it is a defect when the difference signal exceeds the light shielding part / transmitting part defect extraction threshold value using the light shielding part / transmitting part defect extraction threshold value; And means for determining that the difference signal is a defect when the difference signal exceeds the graytone portion dedicated defect extraction threshold using the graytone portion dedicated defect extraction threshold when it is determined that the graytone portion is being inspected.
본 발명의 제 7 양태는 그레이톤 마스크가 표시 장치 제조용 마스크인 것을 특징으로 한다.According to a seventh aspect of the present invention, the gray tone mask is a mask for manufacturing a display device.
본 발명의 제 1 양태 및 제 2 양태에 따르면, 차광부 및 투광부가 형성되어 있는 영역과 그레이톤부가 형성되어 있는 영역을 식별하고, 각각의 영역에 적합한 결함 검사 수단을 이용하여 각각의 영역을 검사함으로써, 차광부와 투과부, 및 그레이톤부를 개별로 검사할 수 있기 때문에, 각각의 영역의 결함을 고정밀도로 검출할 수 있고, 그레이톤부를 포함하는 마스크 전체를 고정밀도로 검사할 수 있다. 여기서, 각각의 영역에 적합한 결함 검사 수단으로는 동종의 검사 방법(예를 들면, 비교 검사 수단)을 이용하고, 결함 검출을 위한 기준(임계값)을 각각의 영역에 적합한 기준으로 한 것이나, 각각의 영역에 적합한 별도의 검사 방법을 이용하는 것도 포함한다. 또한, 각각의 영역에 적합한 결함 검사 수단을 이용하여 각각의 영역을 검사하는 경우, 한 쪽 영역의 검사의 경우에 다른 쪽 영역을 검사 대상에서 제외한 다음 행하는 것이 검사 정밀도를 높게 하는데 바람직하다. 이 경우, 한 쪽 영역의 검사와 다른 쪽 영역의 검사를 순차로 행하여도 바람직하지만, 동시에 행함으로써 검사 시간을 단축할 수 있다. 본 발명의 방법은, 특히 그레이톤부가 그레이톤 마스크를 사용하는 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴을 형성한 영역인 경우, 차광부와 투과부, 및 그레이톤부의 결함을 동일 결함 검사 수단(예를 들면, 비교 검사 수단에 있어서 동일 결함 검출 임계값을 사용한 경우)을 이용한 경우에, 의사 결함이 발생해버려서 양쪽 영역의 결함을 고정밀도로 검출하는 것이 매우 곤란하기 때문에 대단히 유효하다.According to the first and second aspects of the present invention, the area in which the light shielding part and the light transmitting part are formed and the area in which the gray tone part is formed are identified, and each area is inspected by using a defect inspection means suitable for each area. By doing so, the light shielding part, the transmissive part, and the gray tone part can be inspected separately, so that defects in each region can be detected with high accuracy, and the entire mask including the gray tone part can be inspected with high accuracy. Here, as the defect inspection means suitable for each region, the same inspection method (for example, comparative inspection means) is used, and the criteria (critical value) for defect detection are used as criteria suitable for each region, respectively. It also includes using a separate inspection method suitable for the area of. In the case of inspecting each region by using a defect inspection means suitable for each region, it is preferable to increase the inspection accuracy by removing the other region from the inspection object in the case of inspection of one region. In this case, the inspection of one region and the inspection of the other region may be performed in sequence, but the inspection time can be shortened by performing simultaneously. In the method of the present invention, particularly in the case where the gray tone part is formed in a light shielding pattern below the resolution limit of an exposure machine using a gray tone mask, defects of the light shielding part, the transmission part, and the gray tone part are determined by the same defect inspection means (for example, In the case of using the same defect detection threshold value in the comparison inspection means), since pseudo defects occur and it is very difficult to accurately detect defects in both regions, it is very effective.
본 발명의 제 3 양태에 따르면, 통상의 차광부 및 투과부의 결함 추출 임계값에 부가하여, 그레이톤부 전용의 결함 추출 임계값을 새롭게 설정하고, 또한, 현재 검사(주사)를 행하고 있는 위치가 차광부 및 투과부인지, 그레이톤부인지를 투과율 등에 의하여 판정하고, 어떤 임계값을 이용하여 결함 판정하는지를 할당함으로써, 차광부, 투과부 및 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크에 대하여 일괄 검사를 실현할 수 있다. 따라서, 그레이톤부를 포함한 마스크 전체의 결함 검사 보증이 가능하게 된다.According to the third aspect of the present invention, in addition to the defect extraction thresholds of the normal light-shielding section and the transmission section, the defect extraction threshold value dedicated to the gray-tone section is newly set, and the position at which the current inspection (scanning) is performed is different. By determining whether the light portion, the transmissive portion, or the gray tone portion is determined by transmittance or the like, and assigning which threshold value a defect is determined, a collective inspection can be realized for the gray tone mask having the light shielding portion, the transmissive portion, and the gray tone portion. Therefore, defect inspection assurance of the entire mask including the gray tone portion can be enabled.
본 발명의 제 4 양태에 따르면, 그레이톤부가 그레이톤 마스크를 사용하는 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴을 형성한 영역인 경우, 이 그레이톤부에 특유의 베이스 신호 레벨을 넘는 레벨로 결함 추출 임계값을 설정함으로써, 그레이톤부에 특유의 베이스 신호 레벨의 영향을 배제할 수 있다. 또한, 그레이톤부의 허용 투과량을 넘는 레벨로 결함 추출 임계값을 설정함으로써, 그레이톤부의 투과량 보증이 가능하게 된다.According to the fourth aspect of the present invention, in the case where the gray tone part is formed in a light shielding pattern below the resolution limit of an exposure machine using a gray tone mask, the defect extraction threshold value is a level exceeding the base signal level peculiar to this gray tone part. By setting, the influence of the base signal level peculiar to the gray tone portion can be eliminated. In addition, by setting the defect extraction threshold at a level that exceeds the allowable transmission amount of the gray tone part, the transmission amount of the gray tone part can be guaranteed.
본 발명의 제 5 양태에 따르면, 그레이톤부가 막을 투과하는 광의 투과량을 제어할 수 있는 반투과막을 형성한 영역인 경우에, 이 그레이톤부의 허용 투과량을 넘는 레벨로 상기 결함 추출 임계값을 설정함으로써, 그레이톤부의 투과량 보증이 가능하게 된다. 또한, 핀 홀 등의 검출이 가능하게 된다.According to the fifth aspect of the present invention, in the case where the gray tone portion is a region in which a semi-transmissive film capable of controlling the amount of light passing through the membrane is formed, the defect extraction threshold is set at a level exceeding the allowable transmission amount of the gray tone portion. This guarantees the transmission amount of the gray tone portion. In addition, detection of a pinhole or the like becomes possible.
본 발명의 제 6 양태에 따르면, 차광부·투과부와 그레이톤부 중 어떤 영역을 검사하고 있는지를 식별하는 수단, 이 판단 결과에 따라서 차광부·투과부용 결함 추출 임계값과 그레이톤부 전용 결함 추출 임계값 중에서 어떤 임계값을 이용하여 결함 판정하는지를 할당하는 수단을 갖음으로써, 차광부와 투과부, 및 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크에 대하여 일괄 검사할 수 있는 자동 검사 장치를 실현할 수 있다.According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a means for identifying which area of the light shielding portion, the transparent portion, and the gray tone portion is inspected, and the defect extraction threshold value for the light shielding portion and the transparent portion and the defect extraction threshold value dedicated to the gray tone portion in accordance with the determination result. By having a means for assigning which threshold value is used to determine defects among them, an automatic inspection apparatus capable of collectively inspecting a gray tone mask having a light shielding portion, a transmission portion, and a gray tone portion can be realized.
본 발명의 제 7 양태에 따르면, 통상의 반도체용 그레이톤 마스크는 사이즈가 작으므로 어느 정도 수고나 시간이 걸려도 현미경 등에 의한 육안 검사 등에 의해 그레이톤부의 검사를 행하는 것이 가능하지만, 예를 들면, TFT(박막 트랜지스터) 제조용 그레이톤 마스크와 같은 LCD 제조용 그레이톤 마스크나 PDP 등의 다른 표시 장치 제조용 그레이톤 마스크의 경우, 사이즈가 크고 그만큼 결함 위치도 많기 때문에 이와 같은 검사 방법은 공정 부담이 매우 크며 실제상 이와 같은 검사는 곤란하고, 따라서, 본 발명의 결함 검사 방법은 LCD용 그레이톤 마스크를 실용화하는 것에 필요 불가결하다.According to the seventh aspect of the present invention, since a normal gray tone mask for semiconductors is small in size, it is possible to inspect the gray tone part by visual inspection with a microscope or the like even if it takes some effort or time. (Thin Film Transistor) In the case of a gray tone mask for LCD manufacture such as a gray tone mask for manufacture, or a gray tone mask for manufacture of other display devices such as a PDP, such an inspection method is very burdensome and practical because of its large size and many defect locations. Such inspection is difficult, and therefore, the defect inspection method of the present invention is indispensable for practical use of the gray tone mask for LCD.
이하, 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크의 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the defect inspection method and the defect inspection apparatus of the gray tone mask which have a gray tone part are demonstrated concretely.
도 1(1)은 차광부(1)에 백결함(핀 홀; 4), 투과부(2)에 흑결함(스포트; 5), 그레이톤부(3)에 백결함(패턴 결핍; 6)이 발생한 상태를 도시하고, 화살표는 비교 검사 장치의 한 쪽 렌즈(상렌즈)의 주사의 모양을 도시한다.FIG. 1 (1) shows white defects (pinholes) 4 in the light blocking portion 1, black defects (spots) 5 in the transmission portion 2, and white defects (pattern deficiency; 6) in the gray tone portion 3 The state is shown, and the arrow shows the shape of the scanning of one lens (image lens) of the comparison inspection device.
도 1(2)는 상기 주사선에 따라서 얻어지는 투과량 신호(7)를 도시한다. 투과량 신호(7)의 레벨은 차광부(1)에서 B, 투과부(2)에서 W, 그레이톤부(3)에서 G이고, 차광부(1)의 투과율을 0%, 투과부(2)의 투과율을 100%로 각각 설정한다. 투과량 신호(7)는 패턴의 에지(차광부, 투과부, 그레이톤부의 각 경계)에서 발생하는 패턴 에지 라인 신호(패턴 형상 신호)로 기본적으로 구성되고, 결함이 발생한 경우는 차광부(1)에 발생한 백결함 신호(4'), 투과부(2)에 발생한 흑결함 신호(5'), 그레이톤부(3)에 발생한 백결함 신호(6') 등이 나타난다.1 (2) shows a transmission signal 7 obtained along the scan line. The level of the transmittance signal 7 is B in the light blocking portion 1, W in the transmitting portion 2, and G in the gray tone portion 3, 0% transmittance of the light blocking portion 1, and transmittance of the transmitting portion 2 Set each to 100%. The transmission amount signal 7 basically consists of a pattern edge line signal (pattern shape signal) generated at the edges of the pattern (each boundary between the light shielding part, the transmission part, and the gray tone part), and when a defect occurs, the light shielding part 1 The generated white defect signal 4 ', the black defect signal 5' generated in the transmission part 2, the white defect signal 6 'generated in the gray tone part 3, etc. are shown.
도 1(3)은 도 1(1)과 동일 패턴으로서 결함이 발생하지 않은 경우에, 다른 쪽 렌즈(하렌즈)에 의해 얻어지는 투과량 신호(7')를 도시한다. 또한, 그레이톤부 (3)는 미세 L 및 S 패턴이기 때문에, 이 미세 패턴에 대응하여 도 5에 도시된 바와 같이 그레이톤부에 특유의 베이스 신호 레벨(노이즈 밴드; 6'')을 발생한다.FIG. 1 (3) shows a transmission signal 7 'obtained by the other lens (lower lens) when no defect occurs in the same pattern as in FIG. 1 (1). In addition, since the gray tone portion 3 is a fine L and S pattern, a base signal level (noise band; 6 '') peculiar to the gray tone portion is generated as shown in Fig. 5 in correspondence with this fine pattern.
도 1(4)는 각 렌즈에 의해 얻어진 투과량 신호를 뺄셈(차분)하여 구한 차 신호이다. 보다 구체적으로는, 도 1(2)의 투과량 신호(7)에서 도 1(3)의 투과량 신호 (7')를 뺄셈하여 구한 차 신호(8)이다. 차 신호(8)는 각 렌즈의 투과량 신호에서 패턴 에지 라인 신호가 제거되어 결함 신호(4',5',6')만이 추출된다.1 (4) is a difference signal obtained by subtracting (differential) the transmission amount signal obtained by each lens. More specifically, it is a difference signal 8 obtained by subtracting the transmission amount signal 7 'of FIG. 1 (3) from the transmission amount signal 7 of FIG. In the difference signal 8, the pattern edge line signal is removed from the transmission amount signal of each lens so that only the defect signals 4 ', 5', 6 'are extracted.
도 1(5)는, 결함 신호만을 추출한 차 신호(8)에 있어서, 차광부(1) 및 투과부(2)의 결함을 추출하는데 필요한 임계값(플러스측 9a, 마이너스측 9b), 및 그레이톤부(3)의 결함을 추출하는데 필요한 임계값(플러스측 10a, 마이너스측 10b)을 각각 설정한 상태를 도시한다. 이와 같이, 단지 임계값을 할당하여 설정한 것만으로는 그레이톤 마스크의 검사는 할 수 없다. 이것은, 상술한 바와 같이, 그레이톤부(3)의 결함을 추출하는데 필요한 임계값이 차광부·투과부의 의사 결함을 골라내버리기 때문이다.FIG. 1 (5) shows a threshold value (plus side 9a, minus side 9b) and gray tone portion necessary for extracting defects of the light shielding portion 1 and the transmission portion 2 in the difference signal 8 in which only the defect signal is extracted. The state which set the threshold value (plus side 10a and negative side 10b) which are necessary for extracting the defect of (3), respectively is shown. In this way, the gray tone mask cannot be inspected only by assigning and setting a threshold value. This is because, as described above, the threshold required for extracting the defect of the gray tone part 3 picks out the pseudo defect of the light shielding part and the transmission part.
본 발명은 현재 검사(주사)를 행하고 있는 위치가, 차광부(1) 및 투과부(2)인지, 그레이톤부(3)인지를 투과율 등에 의하여 판정하고, 차광부·투과부용 결함 추출 임계값과 그레이톤부 전용 결함 추출 임계값 중에서 어떤 어떤 임계값을 이용하여 결함 판정하는지를 할당함으로써, 차광부, 투과부 및 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크에 대하여 일괄 검사가 가능하게 된다. 또한, 그레이톤부만을 갖는 그레이톤 마스크에 대하여도 임계값의 변경 없이 검사할 수 있고, 차광부 및 투과부만으로 이루어진 통상의 마스크와 차광부, 투과부 및 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크가 혼재하는 경우에도 검사할 수 있다.The present invention determines whether the position currently being inspected (scanned) is the light shielding portion 1, the transmission portion 2, or the gray tone portion 3 by the transmittance or the like, and the defect extraction threshold value for the light shielding portion and the transmission portion and the gray portion. By assigning which threshold value among the tone part exclusive defect extraction threshold values is used to determine the defect, the collective inspection can be performed on the gray tone mask having the light shielding part, the transmission part and the gray tone part. In addition, the gray tone mask having only the gray tone portion can be inspected without changing the threshold value, and the inspection is also performed when a normal mask composed only of the light shielding portion and the transmissive portion and a gray tone mask having the light shielding portion, the transmissive portion and the gray tone portion are mixed. can do.
본 발명에 있어서, 상기 그레이톤부가 그레이톤 마스크를 사용하는 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴을 형성한 영역인 경우, 도 2에 도시되는 그레이톤부에 특유의 베이스 신호 레벨(6'')을 넘는 레벨로 결함 추출 임계값(플러스측 10a, 마이너스측 10b)을 설정한다. 이것에 의해, 그레이톤부에 특유의 베이스 신호 레벨의 영향을 배제할 수 있다. 이 경우, 결함 추출 임계값은 베이스 신호 레벨(6')의 중심 값을 기준으로 설정하는 것이 바람직하다. 또한, 그레이톤부의 허용 투과량을 넘는 레벨로 결함 추출 임계값을 설정함으로써, 그레이톤부의 투과량 보증이 가능하게 된다.In the present invention, when the gray tone portion is a region in which a light shielding pattern is formed below the resolution limit of an exposure machine using a gray tone mask, the gray tone portion exceeding the base signal level 6 ″ peculiar to the gray tone portion shown in FIG. 2 is exceeded. The defect extraction threshold value (plus side 10a, negative side 10b) is set at the level. This can eliminate the influence of the base signal level peculiar to the gray tone portion. In this case, the defect extraction threshold is preferably set based on the center value of the base signal level 6 '. In addition, by setting the defect extraction threshold at a level that exceeds the allowable transmission amount of the gray tone part, the transmission amount of the gray tone part can be guaranteed.
상기 그레이톤부가 막을 투과하는 광의 투과량을 제어할 수 있는 반투과막을 형성한 영역인 경우에 있어서, 그레이톤부의 허용 투과량을 넘는 레벨로 결함 추출 임계값을 설정한다. 이것에 의해, 그레이톤부의 투과량 보증이 가능하게 된다. 또한, 핀 홀이나 하프 결함의 검출이 가능하게 된다.In the case where the gray tone part is a region in which a semi-permeable film is formed that can control the amount of light passing through the film, the defect extraction threshold is set at a level that exceeds the allowable amount of light in the gray tone part. This makes it possible to guarantee the transmission amount of the gray tone part. In addition, pinholes and half defects can be detected.
다음으로, 본 발명의 비교 검사 장치에 대하여 설명한다.Next, the comparative inspection apparatus of this invention is demonstrated.
본 발명의 비교 검사 장치는 마스크 내에 형성된 동일 패턴 부분을 평행 광원 및 수광 렌즈에 의하여 각각 주사하여 투과량 신호를 각각 검출하는 수단을 갖는다. 구체적으로는, 예를 들면, 마스크의 일측에 설치된 평행 광원(렌즈에 대응하는 스포트 광원 또는 마스크 전면 조사 광원), 마스크의 타측에 설치된 2개의 렌즈, 및 마스크와 렌즈를 상대적으로 이동시켜 마스크의 전 영역을 주사하는 수단(통상은 마스크 스테이지 이동 수단)을 갖고, 이들에 따라서, 마스크 내에 형성된 동일 패턴 부분을 각각 주사하며 투과광을 렌즈에 의해 수광한다. 또한, 예를 들면, 각 렌즈 유니트 내에 배치된 CCD 라인 센서에 의하여 투과량 신호를 각각 검출한다. 마스크 내에 형성된 동일 패턴 부분에 각 렌즈의 배치를 맞추는 기구를 갖는다.The comparative inspection apparatus of the present invention has means for respectively scanning the same pattern portion formed in the mask by the parallel light source and the light receiving lens to detect the transmittance signal. Specifically, for example, a parallel light source (spot light source corresponding to the lens or a mask front irradiation light source) provided on one side of the mask, two lenses provided on the other side of the mask, and the mask and the lens are relatively moved to move the mask. It has a means for scanning a region (usually a mask stage moving means), and accordingly, it scans the same pattern part formed in the mask, respectively, and receives the transmitted light by a lens. Further, for example, the transmission amount signal is detected by a CCD line sensor arranged in each lens unit. It has a mechanism for matching the arrangement of each lens to the same pattern portion formed in the mask.
투과량 신호들 끼리를 서로 비교하는 수단은, 구체적으로는, 투과량 신호를 서로 뺄셈(차분)하여 차 신호를 얻는 회로(차분 회로)이다. The means for comparing the transmittance signals with each other is specifically a circuit (differential circuit) which subtracts (differentiates) the transmittance signals from each other to obtain a difference signal.
차광부·투과부 및 그레이톤부 중에서 어떤 영역을 검사하고 있는지를 식별하는 수단은, 예를 들면, 상기 투과량 신호에 기초하여 어떤 렌즈에서의 투과량 신호의 레벨이 차광부 레벨(투과율 0%), 투과부 레벨(투과율 100%), 그레이톤 레벨(투과율 50% 전후)에 있으면, 각각의 영역을 검사하고 있다고 판정하는 회로이다. 이 회로는 검사 영역에 따라서, 예를 들면, 임계값 할당용의 트리거 신호를 출력한다. 또한, 어느 쪽이든 한 쪽 렌즈에서의 투과량 신호의 레벨로부터 영역을 판정하여도 바람직하지만, 그 렌즈에서 결함 부분을 수광하고 있는 경우, 판단의 오류를 발생하는 것을 고려하면, 양쪽 렌즈로부터의 정보에 기초하여 영역을 판정하는 것이 바람직하다.The means for identifying which area is inspected among the light shielding part, the transmission part and the gray tone part is, for example, based on the transmission signal, the level of the transmission signal in which lens is the light shielding part level (transmittance 0%), the transmission part level. (100% transmittance) and gray tone level (around 50% transmittance), the circuit judges that each area is inspected. This circuit outputs a trigger signal for threshold assignment, for example, according to the inspection area. Either way, it is preferable to determine the area from the level of the transmission amount signal in one lens. However, in the case where a defective portion is received by the lens, it is based on the information from both lenses in consideration of generating an error of judgment. It is preferable to determine the area.
할당에 대하여 도 3을 이용하여 설명한다. 어떤 렌즈에서의 투과율 신호의 레벨이, 차광부 레벨, 투과부 레벨, 또는 그레이톤 레벨에 있으면, 각각의 영역을 검사하고 있다고 판정한다. 이 경우, 검사 영역에 따라서, 예를 들면, 임계값 할당용의 트리거 신호를 출력한다. 차 신호는 트리거 신호에 의하여 그레이톤 결함 추출 임계값을 갖는 결함 검출 회로 또는 통상 결함 추출 임계값을 갖는 결함 검출 회로로 할당되고, 할당된 결함 검출 회로에 의하여 결함 판정된다. 통상 결함 추출 임계값을 갖는 결함 검출 회로는 차 신호가 차광부·투과부용 결함 추출 임계값을 넘는 경우 통상 결함이라고 판정한다. 그레이톤 결함 추출 임계값을 갖는 결함 검출 회로는 차 신호가 그레이톤부 전용 결함 추출 임계값을 넘는 경우 그레이톤 결함이라고 판정한다. 각 결함 검출 회로는 각 임계값을 임의의 값으로 설정 가능하다. 또한, 결함의 자동 검사가 가능하다.The allocation will be described with reference to FIG. 3. If the level of the transmittance signal in a certain lens is at the light shielding level, the transmission level, or the gray tone level, it is determined that each area is inspected. In this case, for example, a trigger signal for threshold assignment is output in accordance with the inspection area. The difference signal is assigned to a defect detection circuit having a gray tone defect extraction threshold or a defect detection circuit having a normal defect extraction threshold by a trigger signal, and the defect is determined by the assigned defect detection circuit. The defect detection circuit having the normal defect extraction threshold determines that the difference signal is a normal defect when the difference signal exceeds the defect extraction threshold for the light shielding part and the transmission part. The defect detection circuit having the gray tone defect extraction threshold determines that the difference signal is a gray tone defect when the difference signal exceeds the gray tone part exclusive defect extraction threshold. Each defect detection circuit can set each threshold to an arbitrary value. In addition, automatic inspection of defects is possible.
또한, 차 신호를 양 회로로 보내고, 트리거 신호에 의하여 각 결함 검출 회로의 ON, OFF를 행하는 방식이어도 무방하다.In addition, a method may be used in which a difference signal is sent to both circuits, and the defect detection circuit is turned on and off by a trigger signal.
어느 쪽 렌즈에 어떤 결함이 발생했는지를 판단하기 위해서는, 예를 들면, 상렌즈의 회로에서는 하렌즈의 신호와 비교하고(상렌즈의 신호에서 하렌즈의 신호를 뺄셈하고), 상렌즈의 차광부(1) 또는 그레이톤부(3)에 백결함이 발생한 경우는 플러스측, 상렌즈의 투과부(2) 또는 그레이톤부(3)에 흑결함이 발생한 경우는 마이너스측에 결함 신호가 출력됨으로써, 상렌즈의 백결함, 흑결함을 검출한다(상기 도 1(2) ~ (5)). 마찬가지로, 예를 들면, 하렌즈의 회로에서는 상렌즈의 신호와 비교하고(하렌즈의 신호에서 상렌즈의 신호를 뺄셈하고), 하렌즈의 차광부(1) 또는 그레이톤부(3)에 백결함이 발생한 경우는 플러스측에, 하렌즈의 투과부(2) 또는 그레이톤부(3)에 흑결함이 발생한 경우는 마이너스측에 결함 신호가 출력됨으로써, 하렌즈의 백결함, 흑결함을 검출한다.In order to determine which defect occurred in which lens, for example, the circuit of the image lens compares the signal of the lower lens (subtracts the signal of the lower lens from the signal of the image lens), and the light shielding part of the image lens. (1) Or, in the case where white defects occur in the gray tone part 3, in the case where black defects occur in the transmissive part 2 or the gray tone part 3 of the image lens, a defect signal is output to the negative side, whereby the image lens Detects white defects and black defects (Fig. 1 (2) to (5) above). Similarly, for example, in the circuit of the lower lens, the signal of the upper lens is compared with the signal of the lower lens (subtracted from the signal of the lower lens) and whitened to the light shielding portion 1 or the gray tone portion 3 of the lower lens. In this case, when a black defect occurs in the transmissive portion 2 or the gray tone portion 3 of the lower lens on the positive side, a defect signal is output on the negative side, whereby white and black defects of the lower lens are detected.
또한, 본 발명은 상술한 실시예 등에 한정되는 것이 아니다.In addition, this invention is not limited to the Example mentioned above.
예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 그레이톤부(3)에서의 차광 패턴(3a)이 점선 타입의 경우나, 도 6에 도시된 바와 같이, 그레이톤부(3)가 반투과막(11)으로 구성되는 경우에도 본 발명의 적용이 가능하다.For example, as shown in FIG. 5, when the light shielding pattern 3a in the gray tone part 3 is of a dotted line type type, or as shown in FIG. 6, the gray tone part 3 is a semi-transmissive film 11. The present invention can also be applied to the case of the present invention.
또한, 1개의 렌즈에 의해 얻어지는 패턴 신호와 패턴의 설계 데이터 등을 비교하는 타입의 장치에 대해서도 적용 가능하다. 또한, 마스크를 세로로 놓고 검사하는 타입이나 마스크를 가로로 놓고 검사하는 타입 중 어느 것도 가능하다.The present invention can also be applied to an apparatus of a type for comparing a pattern signal obtained by one lens with a design data of a pattern. In addition, either the type of inspecting the mask vertically or the type of inspecting the mask horizontally is possible.
또한, 차광부·투과부와 그레이톤부 중 어떤 영역을 검사하고 있는지를 식별하는 수단은 반사광(반사율 신호)에 의하여도 가능하다.In addition, the means for identifying which area of the light shielding part, the transmission part, and the gray tone part is inspected can also be reflected light (reflectance signal).
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 그레이톤 마스크의 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치에 따르면, 차광부, 투과부 및 그레이톤부를 갖는 그레이톤 마스크에 대하여 고정밀도로 일괄 검사를 실현할 수 있다. 따라서, 그레이톤부를 포함한 마스크 전체의 결함 검사 보증이 가능하게 된다.As described above, according to the defect inspection method and the defect inspection apparatus of the gray tone mask of the present invention, it is possible to realize the batch inspection with high accuracy for the gray tone mask having the light shielding portion, the transmission portion, and the gray tone portion. Therefore, defect inspection assurance of the entire mask including the gray tone portion can be enabled.
특히, 본 발명의 검사 방법은 LCD 등 표시 장치 제조용 그레이톤 마스크를 실용화하는데 필요 불가결하다.In particular, the inspection method of the present invention is indispensable for practical use of gray tone masks for manufacturing display devices such as LCDs.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 결함 검사 방법을 설명하기 위한 도면.1 is a view for explaining a defect inspection method according to an embodiment of the present invention.
도 2는 그레이톤(gray-tone)부에 특유의 베이스(base) 신호 레벨을 설명하기 위한 도면.FIG. 2 is a diagram for explaining a base signal level peculiar to a gray-tone part. FIG.
도 3은 어떤 임계값을 이용하여 결함 판정하는지의 할당을 행하는 순서 등을 설명하기 위한 도면.FIG. 3 is a diagram for explaining a procedure for assigning which threshold value is used to determine a defect and the like. FIG.
도 4는 그레이톤 마스크를 설명하기 위한 도면이고, (1)은 부분 평면도, (2)는 부분 단면도.4 is a view for explaining a gray tone mask, (1) is a partial plan view, (2) is a partial sectional view;
도 5는 그레이톤부의 다른 양태를 설명하기 위한 부분 평면도.5 is a partial plan view for explaining another embodiment of the gray tone part.
도 6은 그레이톤부의 또 다른 양태를 설명하기 위한 부분 평면도.Fig. 6 is a partial plan view for explaining still another aspect of the gray tone portion.
도 7은 종래의 결함 검사 방법을 설명하기 위한 도면.7 is a view for explaining a conventional defect inspection method.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1 ; 차광부 2 ; 투과부One ; Shading part 2; Penetration
3 ; 그레이톤부 3a ; 차광 패턴3; Gray tone portion 3a; Shading pattern
3b ; 투과부 4 ; 백결함3b; Transmission part 4; Whiteness
4' ; 결함 신호 5 ; 흑결함4' ; Fault signal 5; Black defect
5' ; 결함 신호 6 ; 백결함5 '; Fault signal 6; Whiteness
6' ; 결함 신호 7 ; 투과량 신호6 '; Fault signal 7; Transmission signal
8 ; 차 신호 8 ; Car signal
9a ; 차광부·투과부용 결함 추출 임계값(플러스측)9a; Defect extraction threshold value (shielding side) for light shielding part
9b ; 차광부·투과부용 결함 추출 임계값(마이너스측)9b; Defect extraction threshold value (minus side) for light shielding part, transmissive part
10a ; 그레이톤부 전용 결함 추출 임계값(플러스측)10a; Defect extraction threshold dedicated to gray tone part (plus side)
10b ; 그레이톤부 전용 결함 추출 임계값(마이너스측)10b; Defect extraction threshold dedicated to the gray tone part (minus side)
11 ; 반투과막11; Semi-permeable membrane
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