KR100500757B1 - 유기 이·엘(el) 디스플레이 제조용 캡 접합장치 - Google Patents

유기 이·엘(el) 디스플레이 제조용 캡 접합장치 Download PDF

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KR100500757B1 KR10-2003-0042608A KR20030042608A KR100500757B1 KR 100500757 B1 KR100500757 B1 KR 100500757B1 KR 20030042608 A KR20030042608 A KR 20030042608A KR 100500757 B1 KR100500757 B1 KR 100500757B1
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Abstract

본 발명은 기존의 캡 접합 장치와는 달리 UV 마스크가 필요없이 다품종의 패턴에 경화장치가 대응 가능하고, UV 산란광 및 발열로부터 EL소자를 보호할 수 있도록 한 새로운 구조의 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치를 제공하기 위한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 캡을 지지하는 트레이와; UV를 발생시키는 UV발생기와; 상기 UV발생기에서 발생된 UV를 상기 트레이 상부에 위치하게 되는 기판의 소정위치로 안내하는 라이트 가이드와; 상기 라이트 가이드의 조사구와 기판과의 상대 위치를 가변시키는 라이트 가이드 이동수단과; 상기 라이트 가이드 이동수단의 동작을 페이스트 패턴 데이터에 따라 제어하는 컨트롤러;를 포함하여 구성되는 캡 접합장치가 제공된다.

Description

유기 이·엘(EL) 디스플레이 제조용 캡 접합장치{cap joining device for fabricating Organic Electro-Luminescence Display}
본 발명은 유기EL 디스플레이(Organic Electro-Luminescence Display) 제조용 캡 접합장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 UV 마스크(Ultraviolet Mask)가 필요없이 다품종의 패턴에 경화장치가 대응 가능하고, UV(Ultraviolet) 산란광 및 발열로부터 EL소자를 보호할 수 있는 캡 접합장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기EL소자는 휴대폰 및 PDA등의 휴대용 단말기의 컬러 표시장치, 차량 탑재용 표시장치, 휴대용 게임기 등의 표시장치로 사용가능한 것으로서, 이를 이용한 유기EL 디스플레이는 차세대 디스플레이로 떠오르고 있다.
그리고, 상기 유기EL소자는 자체 발광형으로 백라이트가 필요없어 소비전력을 줄일 수 있고, LCD대비 약 1000배의 빠른 응답속도, 경량/ 박형 등의 특성으로 영상, 데이터, 음성, 인터넷 등이 요구되는 개인휴대단말기(PDA)나 핸드PC등의 표시장치에도 적용할 수 있다.
이와 같은 유기EL소자를 이용한 디스플레이 제조 과정중에는 유기EL소자에 보호용 캡을 씌우는 공정이 필요한데, 이에 적용되는 캡 접합장치 구성 및 캡 접합 과정을 메탈 캡의 경우를 예로 들어 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하여 기존의 캡 접합장치 구성을 살펴보면, 기존의 캡 접합장치는, 챔버(C)와, 상기 챔버(C) 내부의 최상부층에 위치하는 UV램프(UV lamp; Ultraviolet lamp)(14)와, 그 하부에 위치하는 냉각장치(13)와, 냉각장치(13) 하부에 위치하는 UV 마스크(12)와, 유기EL 보호용 캡(7)이 안착되는 트레이(2)와, 상기 트레이(2)에 안착된 캡(7)을 기판(3) 하단면에 접합될 수 있도록 밀어올리는 푸셔(15)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 UV 램프(14)는 페이스트(Paste) 경화를 위해 구비되며, 냉각장치(13)는 UV램프(14)로부터 발생되는 열에 의해 야기되는 유기EL소자(11)의 안정성 저하 및 특성 저하를 방지함과 더불어 수명이 단축되는 현상을 방지하기 위해 구비된다.
그리고, 상기 UV 마스크(12)는 UV가 페이스트(8)가 도포된 부분을 제외한 다른 부분에 영향을 미치지 않도록 하기 위해 구비된다.
이와 같이 구성된 종래의 캡 접합 장치를 이용한 유기EL소자의 캡(7) 접합과정은 다음과 같다.
먼저, 페이스트(8)가 도포된 캡(7)이 트레이(2)(Tray)에 안착 되고, 그 상단에 페이스트(8)와 미소한 간격을 두고 기판(3)(즉, 패턴 글라스)이 안착되며, 트레이(2)(Tray)와 기판(3)은 물리적인 얼라인 유닛에 의해 정렬되어 있는 상태에서 챔버 내부로 공급된다.
그 후, 유기EL소자 보호용 캡(7)을 소자 패턴에 맞추어 정밀하게 접합시키기 위해서는 캡(7)이 안착된 트레이(2)(Tray)와, 발광소자가 형성된 기판(3)과, UV 마스크(12)를 3단 얼라인하게 된다.
이 때, 챔버 내부로 공급된 트레이(2)는 상부에 위치한 UV 마스크(12)와 핀 얼라인 방식에 의해 정렬된다.
즉, 트레이(2)와 기판(3)은 기구적 얼라인먼트에 의해 사전에 얼라인 된 상태에서 캡 접합장치로 투입되고, 얼라인 핀(도시는 생략함)이 부착된 트레이(2)가 상승하면서 트레이(2)의 얼라인 홀에 1차 삽입되고 트레이(2)의 재상승으로 UV 마스크(12)의 얼라인 홀에 2차 삽입된다.
이렇게 기구적 얼라인먼트와 얼라인 핀을 사용하여 트레이(2)와 패턴글라스와 UV 마스크(12)를 얼라인한다.
이어, 상기와 같이 3단 얼라인된 상태에서 트레이(2) 하부에 위치하고 있는 푸셔(15)가 상승하여 트레이(2) 상에 안착된 캡(7)을 상승시켜 페이스트(8)가 도포된 캡(7)이 상단의 기판(3)에 접착되도록 한 후, 창을 개방하여 UV램프(14)로부터 조사(照射)된 UV에 의해 페이스트 패턴이 수분동안 경화되도록 함으로써 캡(7)의 접합을 완료한다.
한편, 도 2는 단위 유기EL(전계발광) 소자의 단면도로서, 이러한 종래의 유기EL소자의 구성을 살펴보면, 유리나 필름으로 제작된 기판(3)상에 ITO전극, 절연체, 절연체 사이에는 전자주입층/전자수송층이 형성되고, 그 위에 발광층 및 전자수송층이 차례로 형성된다.
이렇게 형성된 유기EL소자(11)는 유리 또는 스테인레스 스틸(SUS)를 사용하는 캡(7)에 의해 둘러 쌓여지고, 캡(7)과 기판(3) 사이에는 밀봉용 페이스트(8)가 빈틈없이 재개된다.
그리고, 상기 캡(7) 내부에는 잔류 가스 및 수분을 제거하기 위한 게터(getter)(9)가 구비된다.
그러나, 이와 같은 종래 기술에 따른 캡 접합장치는 다음과 같은 단점 및 문제점을 내포하고 있었다.
먼저, 종래 기술에 따른 캡 접합장치는 도포된 페이스트 패턴과 UV 마스크(12)가 기구적인 핀 얼라인 방식으로 정렬되는 구조여서, 그 얼라인 정도가 정밀하지 않아 UV 산란광에 의한 영향으로 유기EL소자의 수명이 단축될 수 있다.
그리고, 종래에는 다품종의 유기EL소자 패턴에 따라 품종수 만큼의 UV 마스크(12)를 제작 비용이 소요되며, UV 마스크 교체 작업으로 인하여 제품 생산성이 저하되는 단점이 있다.
또한, 기존 캡 접합장치는 전면 노광(全面 露光) 방식에 의해 페이스트를 경화시키므로 불필요한 부분에 UV가 조사되는 문제점이 있으며, UV 조사시 발생되는 열로 인하여 열에 취약한 발광소자의 안정성에 악영향을 줄 수 있는 등 많은 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기존의 캡 접합 장치와는 달리 UV 마스크가 필요없이 다품종의 패턴에 경화장치가 대응 가능하고, UV 산란광 및 발열로부터 EL소자를 보호할 수 있도록 한 새로운 구조의 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 UV발생기와, 상기 UV발생기에서 발생된 UV를 상기 트레이(Tray) 상부에 위치하게 되는 기판의 소정위치로 안내하는 라이트 가이드(Lighe guide)와, 상기 라이트 가이드의 조사구와 기판과의 상대 위치를 가변시키는 라이트 가이드 이동수단과, 상기 라이트 가이드 이동수단의 동작을 페이스트 패턴 데이터(Paste pattern data)에 따라 제어하는 컨트롤러를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치가 제공된다.
이하, 본 발명의 실시예들을 첨부도면 도 4 내지 도 6을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 캡 접합장치 구성 및 캡 접합 과정을 메탈 캡의 경우를 예로 들어 설명한다.
도 4는 본 발명의 캡 접합장치 구성을 보여주는 모식도이고, 도 5는 라이트 가이드에 집광렌즈가 구비된 경우의 조사광(照射光) 형태를 예시한 참고도로서, 본 발명의 메탈 캡 접합장치는, 캡(7)이 안착되는 안착홈을 구비하며 그 상부에 기판(3)이 위치하게 되는 트레이(2)와, UV발생기(5)와, 상기 UV발생기(5)에서 발생된 UV를 상기 트레이(2) 상부에 위치하게 되는 기판(3)의 소정위치로 안내하는 라이트 가이드(4)와, 상기 라이트 가이드(4)의 조사구(照射口)와 기판(3)과의 상대 위치를 가변시키는 라이트 가이드 이동수단(도시는 생략함)과, 상기 라이트 가이드 이동수단의 동작을 페이스트 패턴 데이터에 따라 제어하는 컨트롤러(6)를 포함하여 구성된다.
이와 같이 구성되면, 본 발명의 캡 접합장치는 전(前) 공정 장비인 페이스트 도포기(도시는 생략함)로부터 페이스트 패턴 데이터를 받아 이를 그대로 이용할 수 있게 된다.
이 때, 상기 라이트 가이드(4)는 광섬유(Optical fiber)임이 바람직하다.
상기 라이트 가이드 이동수단은, 라이트 가이드(4) 선단을 기판(3)의 전후 및 좌우 방향에 대해 이동시킴과 더불어 상하방향으로 이동시키는 공지(公知)의 리니어 모션(Linear motion) 방식의 장치로서, 그 구체적 예로서는 볼스크류 구동에 의한 리니어 모션 방식의 장치 혹은 리니어 모터 구동에 의한 의한 리니어 모션 방식의 장치가 적용될 수 있다.
즉, 볼스크류 구동에 의한 리니어 모션 방식의 장치의 경우에는, 볼스크류 타입의 경우, 구동모터 및 이에 연결되어 회전하는 볼스크류, 그리고 상기 볼스크류 회전시 직선운동하며 라이트 가이드(4)가 부착되는 볼스크류 블록으로 이루어지게 된다.
그리고, 리니어 모터 구동에 의한 리니어 모션 방식의 장치의 경우에는, 직선형태로 펼쳐진 스테이터와, 상기 스테이터에 전원이 인가됨에 따라 직선 이동하며 라이트 가이드(4)가 부착되는 무버(mover)로 이루어지는 리니어 모터와, 상기 무버의 직선운동을 안내하는 리니어 가이드로 이루어지게 된다.
한편, 상기 라이트 가이드 이동수단으로서는 공지의 벨트 또는 체인 구동 방식의 장치도 적용 가능하며, 상기 라이트 가이드 이동수단은, 라이트 가이드(4) 선단을 기판(3)의 전후 및 좌우 방향에 대해 이동시킴과 더불어 상하방향으로 이동시키는 공지의 리니어 모션 방식의 장치이다.
그리고, 상기 라이트 가이드(4) 선단에는 상기 라이트 가이드(4)를 통해 조사되는 UV의 조사강도를 높임과 더불어 조사면적을 결정짓는 집광렌즈(10)가 구비됨이 바람직하다.
한편, 본 발명의 캡 접합장치는 트레이(2)가 안착되는 스테이지(1)가 구비되고, 상기 스테이지(1)에 대한 트레이(2)의 위치정렬을 위한 비젼 카메라(도시는 생략함)가 구비된다.
이 때, 상기 스테이지(1)는 트레이(2)의 외곽을 지지하며 얼라인 핀을 구비한 외측파트와, 트레이(2)에 형성된 홀을 통해 메탈 캡을 밀어주는 푸셔(pusher)가 구비되며 승강하는 내측파트로 구성된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 캡 접합장치의 작용은 다음과 같다.
먼저, 페이스트(8)가 도포된 캡(7)이 트레이(2)에 안착 되고, 그 상단에 페이스트(8)와 미소한 간격을 두고 기판(즉, 패턴 글라스)(3)이 안착되며, 상기 트레이(2)와 기판(3)은 비젼 얼라인 방식에 의해 미리 정렬되어 있는 상태에서 캡 접합 장치로 공급된다.
한편, 트레이(2)와 기판(3)이 공급되기에 앞서 페이스트(8)를 도포시의 패턴대로 정확히 경화시키기 위해 UV가 조사되는 라이트 가이드(4)의 이동 경로 정보를 전(前) 공정 장비인 페이스트 도포기로부터 받아 둔다.
즉, 상기 페이스트 도포기에 의해 캡(7)에 도포된 페이스트(8)의 패턴 데이터는 UV 조사를 위한 라이트 가이드(4)의 이동 경로 데이터와 동일하기 때문에, 컨트롤러(6)에서는 상기 페이스트 도포기에서의 페이스트 패턴 데이터를 그대로 받아들여 라이트 가이드 이동수단의 동작을 제어하는데 사용하게 된다.
한편, 캡 접합 챔버로 반입된 기판(3) 및 트레이(2)는 스테이지(1)에 안착되고, 상기 스테이지(1) 상에서의 트레이(2) 위치를 얼라인용 비젼 카메라를 이용하여 정렬한다.
이와 같이 하여, 트레이(2)의 정렬이 완료된 후에는 캡(7) 하부에 위치한 푸셔(15)를 상승시켜 캡(7)을 기판(3)에 일정 압력으로 합착시켜 캡(7) 상에 도포된 페이스트(8)가 기판(3)에 접합될 수 있도록 한다.
이 때, 트레이(2) 상에 안착된 캡(7)은 상부의 기판(3)의 패턴에 맞추어 정해진 위치에 합착된다.
이어, 캡(7)과 기판(3)이 합착된 상태에서 컨트롤러(6)에서는 미리 입수된 페이스트 패턴 데이터에 따라 라이트 가이드 이동수단을 제어함으로써, 기판(3) 및 트레이(2)가 탑재된 스테이지(1)와 UV가 조사되는 라이트 가이드(4)를 상대적으로 이동시켜 페이스트(8)를 경화시킨다.
이 때, 본 발명에서는 페이스트 패턴 데이터에 따라 좌우 및 전후방향으로 라이트 가이드(4)를 이동시킬 뿐만 아니라 상기 라이트 가이드의 조사구와 기판(3)과의 상대거리, 즉 수직방향으로의 거리를 조절할 수 있도록하는 라이트 가이드 이동수단이 구비됨으로 인해 컨트롤러(6)의 제어에 의해 최적의 거리에서 UV를 조사함으로써, UV의 산란 면적을 최소화하도록 한다.
한편, 라이트 가이드(4)는 광섬유로 이루어지며, 기판(3)에 형성된 패턴의 전체 사이즈 및 택트 타임(Tact time)등을 고려하여 필요에 따라 복수개로 구성될 수 있다.
이와 더불어, 본 발명의 캡 접합 장치는 라이트 가이드(4) 선단에 집광렌즈(10)를 장착하여 UV를 조사할 수도 있어 조사강도를 높여 페이스트 경화 시간을 단축시킬 수 있으며, 또한 원하는 형태의 모양으로 조사할 수 있어 불필요한 면적에 조사되지 않도록 할 수 있다.
요컨대, 본 발명은 유기EL소자의 특성을 저하시키지 않기 위해 광섬유로 된 라이트 가이드(4)를 이용하여 UV를 원하는 부위에만 정밀 조사하여 도포된 페이스트(8)를 경화시킴으로써 기판(3)과 캡(7)을 정확히 접합시키게 된다.
한편, 상기 실시예와는 달리, 유기EL 소자 보호를 위해 메탈 캡을 씌우는 것이 아니라 글래스 캡(7a)(도 6 참조)을 씌우는 경우에는, 트레이(7a) 상면에 기판(2)에 형성된 각 유기EL에 대응하는 사각형 홈(70a)이 에칭(etching)에 의해 형성된다.
즉, 글래스 캡(7a)은 금속 재질인 메탈 캡과는 달리 낱개로 분리되어 있지 않고 일체 성형되는 구조물이어서, 에칭에 의해 사각형 홈(70a)만이 메트릭스 배열 구조를 갖도록 상부면에 형성될 뿐이므로, 글래스 캡(7a)의 하면은 평평하다.
그리고, 상기 글래스 캡(7a)이 안착되는 지지용 트레이(도시는 생략함) 또한 상면이 평평한 평판 형태를 이룰 수 있게 된다.
따라서, 글래스 캡(7a)의 접합 시에는 트레이가 안착된 스테이지의 상승 동작만으로 캡(7)이 기판(3)에 접합시킬 수 있게 된다. 이 경우, 상기 스테이지에는 푸셔가 없음은 물론이다.
한편, 상기한 바와 같이 트레이가 구비되는 경우와는 달리, 아예 트레이없이 캡 접합 장치를 구성하여, 접합 챔버 내부로 글래스 캡(7a)만을 1차적으로 투입하여 스테이지 상면에 안착시키고, 그 다음 2차적으로 패턴 글래스가 투입되어 챔버 내에서 비젼 얼라인이 이루어지도록 한 다음, 스테이지의 상승에 의해 캡(7a)이 기판(3)에 접합되도록 할 수 있다.
또한, 메탈 캡(7)에 있어서도, 메탈 캡 가장자리에 기판 지지를 위해 형성한 지지턱을 없앨 경우에는 푸셔(15)가 밀어주지 않더라도 스테이지(1)의 상승 동작만으로 캡(7)이 기판(3)에 접착되도록 할 수 있어, 푸셔(15)를 삭제할 수 있게 된다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하고, 본 발명의 기술사상의 범주를 벗어나지 않는 한, 여러 가지 다양한 형태로의 변경 및 수정이 가능함은 물론이다.
상술한 본 발명에 따른 효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에서는 라이트 가이드를 사용하여 페이스트를 경화시킴으로써 UV 조사시 발열이 적어 EL소자에 영향이 없으며 UV 차단용 마스크도 불필요하게 된다.
그리고, 본 발명에서는 라이트 가이드의 조사구와 기판과의 상대거리, 즉 수직방향으로의 거리를 유지할 수 있도록하는 라이트 가이드 이동수단이 구비됨으로 인해 최적의 거리에서 UV를 조사함으로써, UV의 산란 면적을 최소화 할 수 있다.
즉, 본 발명은 라이트 가이드를 사용하여 UV를 조사함으로써 발열 및 산란광으로부터 EL소자를 보호할 수 있으며, 라이트 가이드와 기판을 상대적으로 이동시켜 페이스트 패턴을 따라 경화함으로써 다품종의 패턴에 상관없이 모두 대응되어 UV 차단용 마스크가 필요없어 마스크 제작 비용 절감의 효과와 마스크 교체 시간이 없어져서 생산성을 그만큼 높일 수 있게 된다.
또한, 기판과 UV 차단용 마스크와의 얼라인 단계가 없어 공정이 간단해진다.
이와 더불어, 전공정의 페이스트 도포기로부터 페이스트 패턴 데이터를 그대로 전송받아 페이스트 경화를 위한 조사광 위치 제어용 테이터로 사용함으로써 별도의 패턴 데이터를 설정하여 입력할 필요가 없게 됨으로써, 작업성이 향상된다.
도 1은 종래 기술에 따른 캡 접합장치의 구성을 보여주는 모식도
도 2는 유기EL소자 단면도
도 3a 및 도 3b는 종래 기술에 따른 캡 접합과정을 나타낸 도 1의 A부 확대도로서,
도 3a는 캡의 패턴글래스 접합전 상태도
도 3b는 캡의 패턴글래스 접합후 상태도
도 4는 본 발명의 캡 접합장치 구성을 보여주는 모식도
도 5는 라이트 가이드에 집광렌즈가 구비된 경우의 조사광 형태를 예시한 참고도
도 6은 글래스 캡의 구조를 나타낸 사시도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1:스테이지 2:트레이
3:기판 4:라이트 가이드
5:UV조사장치 6:컨트롤러
7:캡 8:페이스트
9:게터 10:집광렌즈
11:유기EL소자

Claims (10)

  1. 캡 지지용 트레이와,
    UV를 발생시키는 UV발생기와;
    상기 UV발생기에서 발생된 UV를 상기 트레이 상부에 위치하게 되는 기판의 소정위치로 안내하는 라이트 가이드와;
    상기 라이트 가이드의 조사구와 기판과의 상대 위치를 가변시키는 라이트 가이드 이동수단과;
    상기 라이트 가이드 이동수단의 동작을 페이스트 패턴 데이터에 따라 제어하는 컨트롤러를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 라이트 가이드는 광섬유임을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 라이트 가이드 이동수단은,
    라이트 가이드 선단을 기판의 전후 및 좌우 방향에 대해 이동시킴과 더불어 상하방향으로 이동시키는 공지의 리니어 모션 방식의 장치임을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 라이트 가이드 이동수단은,
    모터 및 이에 연결되어 회전하는 볼스크류, 그리고 상기 볼스크류 회전시 직선운동하며 라이트 가이드가 부착되는 볼스크류 블록으로 이루어짐을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 라이트 가이드 이동수단은,
    직선형의 스테이터와, 상기 스테이터에 전원이 인가됨에 따라 직선 이동하며 라이트 가이드가 부착되는 무버(mover)로 이루어지는 리니어 모터와,
    상기 무버의 직선운동을 안내하는 리니어 가이드로 이루어짐을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 라이트 가이드 선단에,
    상기 라이트 가이드를 통해 조사되는 UV의 조사강도를 높임과 더불어 조사면적을 결정짓는 집광렌즈가 구비됨을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이 하부에 상기 트레이 탑재를 위한 스테이지가 구비되고,
    상기 트레이 상부 일측에는 스테이지에 대한 트레이의 위치정렬을 위한 비젼 카메라가 구비됨을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이는 캡 안착홈을 구비한 메탈 캡 지지용 트레이임을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이는,
    캡 지지면이 평평한 평판 형태의 글래스 캡 지지용 트레이임을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
  10. 글래스 캡이 안착되며, 승강가능하도록 설치되는 스테이지와;
    UV발생기와;
    상기 UV발생기에서 발생된 UV를 기판의 소정위치로 안내하는 라이트 가이드(Lighe guide)와;
    상기 라이트 가이드의 조사구와 기판과의 상대 위치를 가변시키는 라이트 가이드 이동수단과;
    상기 라이트 가이드 이동수단의 동작을 페이스트 패턴 데이터(Paste pattern data)에 따라 제어하는 컨트롤러를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 유기EL 디스플레이 제조용 캡 접합장치.
KR10-2003-0042608A 2003-06-27 2003-06-27 유기 이·엘(el) 디스플레이 제조용 캡 접합장치 KR100500757B1 (ko)

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