KR100497072B1 - A memory device - Google Patents

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KR100497072B1
KR100497072B1 KR10-2002-0046132A KR20020046132A KR100497072B1 KR 100497072 B1 KR100497072 B1 KR 100497072B1 KR 20020046132 A KR20020046132 A KR 20020046132A KR 100497072 B1 KR100497072 B1 KR 100497072B1
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우에무라데쯔야
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닛뽕덴끼 가부시끼가이샤
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Abstract

메모리 셀은, 게이트가 워드선에 접속되고 드레인이 비트선에 접속되는 FET, 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원에 접속되는 커패시터, 워드선과 FET의 소스 사이에 제공되는 제 1 부성 미분 저항소자, 및 FET의 소스와 제 2 전원 사이에 제공되는 제 2 부성 미분 저항소자에 의해 형성된다. The memory cell includes a FET having a gate connected to a word line and a drain connected to a bit line, a capacitor having one end connected to a source of the FET and the other end connected to a first power source, and a first provided between the word line and the source of the FET. And a second negative differential resistance element provided between the source of the FET and the second power supply.

Description

메모리 장치{A MEMORY DEVICE}Memory device {A MEMORY DEVICE}

본 발명은 메모리 장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는, 터널링 다이오드와 같은 부성 미분 저항소자를 가진 메모리에 관한 것이다. The present invention relates to a memory device, and more particularly, to a memory having a negative differential resistance element such as a tunneling diode.

반도체 랜덤 액세스 메모리 (이하, RAM 이라 함), 특히, 복수의 셀로 형성되고 그 셀 각각은 하나의 트랜지스터와 하나의 커패시터 소자로 구성되는 1T/1C (1-트랜지스터/1-커패시터) 다이나믹 램 (DRAM) 의 경우, 메모리 구성의 간략화가 현재 기가비트 레벨에 이르는 집적도를 발생시켰다. 그러나, 1T/1C DRAM에서는, 누설전류로 인해, 커패시터 소자내에 축적되는 전하가 고정 레이트로 손실되기 때문에, 커패시터 소자에 대해 초당 대략 수번 내지 수십번의 레이트로 리프레시 동작을 주기적으로 수행할 필요가 있다. Semiconductor Random Access Memory (hereinafter referred to as RAM), in particular, a 1T / 1C (1-transistor / 1-capacitor) dynamic RAM (DRAM) formed of a plurality of cells, each of which consists of one transistor and one capacitor element ), The simplification of the memory configuration has resulted in densities reaching current gigabit levels. However, in 1T / 1C DRAM, since the charge current accumulated in the capacitor element is lost at a fixed rate due to the leakage current, it is necessary to periodically perform the refresh operation at a rate of about several times to several tens of times per second for the capacitor element.

스테이틱 RAM (SRAM) 에서는, 리프레시 동작이 필요없고 얻어지는 속도가 일반적으로 DRAM보다 고속이지만, SRAM이 플립플롭 회로를 필요로 한다는 점은 이를 DRAM보다 더욱 복잡하게 하고, 통상, 6 개의 트랜지스터 또는 4 개의 트랜지스터 및 2 개의 폴리실리콘 부성 미분 저항소자를 이용하는 메모리와 같이 구성되기 때문에, DRAM의 경우보다 집적도가 낮아진다.In static RAM (SRAM), no refresh operation is required and the speed obtained is generally faster than DRAM, but the fact that SRAM requires flip-flop circuitry makes this more complicated than DRAM, and typically, six transistors or four Since it is constructed like a memory using a transistor and two polysilicon negative differential resistance elements, the degree of integration is lower than in the case of DRAM.

따라서, SRAM과 같이 리프레시동작을 요하지 않으면서 DRAM과 동일한 정도의 집적도를 가질 수 있는 메모리 구성이 요구된다. Therefore, a memory configuration that can have the same degree of integration as DRAM without requiring a refresh operation like SRAM is required.

이러한 메모리 구성은, 예를 들면, 일본 특개평10-69766호에 공진 터널링 다이오드 (RTD) 를 이용하는 SRAM 형태로 개시되어 있다. Such a memory configuration is disclosed, for example, in SRAM form using a resonant tunneling diode (RTD) in Japanese Patent Laid-Open No. 10-69766.

첨부된 도면 도 8은 종래의 메모리 셀의 구성을 나타내는 회로도이고, 도 9는 대기상태에서 있는 도 8의 회로 동작을 나타내는 도면이다. 8 is a circuit diagram illustrating the configuration of a conventional memory cell, and FIG. 9 is a diagram illustrating the circuit operation of FIG. 8 in a standby state.

도 8에 도시된 바와 같이, 메모리 셀은 게이트 및 드레인이 워드선 (101) 및 비트선 (102) 에 각각 접속되는 N 채널 FET (103), N 채널 FET (103) 와 셀 플레이트 (CP) 사이에 접속되는 셀 커패시턴스 (104), 및 전원 전위 VDD와 VSS 사이에 직렬로 접속되는 제 1 및 제 2 부성 미분 저항소자 (105 및 106) 를 갖는다. 부성 미분 저항 소자 (105 및 106) 의 셀 노드 (SN) 는 N 채널 FET (103) 의 소스에 접속된다.As shown in Fig. 8, the memory cell is provided between the N-channel FET 103, the N-channel FET 103, and the cell plate CP, whose gate and drain are connected to the word line 101 and the bit line 102, respectively. And a cell capacitance 104 connected to the first and second negative differential resistance elements 105 and 106 connected in series between the power supply potentials VDD and VSS. The cell nodes SN of the negative differential resistance elements 105 and 106 are connected to the source of the N channel FET 103.

메모리 셀이 대기 상태에 있는 경우, 즉, 워드선 전위가 로우에 있고, N 채널 FET (43) 가 오프 상태에 있는 경우, 메모리 셀은 셀 커패시턴스 (104) 내에 저장된 전하에 의해 메모리의 컨텐츠를 유지한다. 종래의 DRAM에서는, 누설 전류로 인하여, 메모리 셀내에 저장된 전하량이 변하여, 정보를 정적으로 유지할 수 없다. 반면, 부성 미분 저항 소자 (105 및 106) 에 의해 형성되는 직렬회로는 도 9의 111 및 112 로 도시된 2 개의 안정적인 동작점을 갖는다. 따라서, 셀 노드 (SN) 전압은 2개의 안정적인 동작점 (111 및 112) 에 대응하는 2 개의 전압중 어느 하나로서 결정되기 때문에, 정보의 정적인 유지가 가능하다. When the memory cell is in the standby state, that is, when the word line potential is low and the N channel FET 43 is in the off state, the memory cell retains the contents of the memory by the charge stored in the cell capacitance 104. do. In conventional DRAM, due to the leakage current, the amount of charge stored in the memory cell changes, and information cannot be kept static. On the other hand, the series circuit formed by the negative differential resistance elements 105 and 106 has two stable operating points shown by 111 and 112 in FIG. Therefore, since the cell node SN voltage is determined as one of two voltages corresponding to the two stable operating points 111 and 112, it is possible to maintain static information.

그러나, 상술한 종래의 메모리 셀에서는, 부성 미분 저항 소자를 구동하기 위하여, 각각의 메모리 셀에 전원 전압 (VDD 및 VSS) 을 공급하기 위한 상호접속부를 필요로 하기 때문에, 셀의 표면적이 증가할 뿐만 아니라 셀 레이아웃에서의 가능한 자유도를 감소시킨다. However, in the above-described conventional memory cell, in order to drive the negative differential resistance element, since the interconnects for supplying the power supply voltages VDD and VSS to each memory cell are required, only the surface area of the cell is increased. Rather it reduces the possible degrees of freedom in cell layout.

따라서, 본 발명의 목적은 작은 셀 표면적 및 셀 레이아웃에서의 높은 자유도를 가진 메모리 장치를 제공함으로써 상술한 문제를 해결하는 것이다.It is therefore an object of the present invention to solve the above problems by providing a memory device having a small cell surface area and a high degree of freedom in cell layout.

상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음의 기본 기술구성을 채용한다. In order to achieve the above object, the present invention adopts the following basic technical configuration.

본 발명의 제 1 태양은 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서, 이 메모리 소자는 게이트가 워드선에 접속되고 드레인이 비트선에 접속되는 FET, 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원에 접속되는 커패시터, 워드선과 FET의 소스 사이에 제공되는 제 1 부성 미분 저항소자, 및 FET의 소스와 제 2 전원 사이에 제공되는 제 2 부성 미분 저항소자를 구비한다. A first aspect of the invention is a memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, the memory element comprising a FET whose gate is connected to a word line and a drain is connected to a bit line, one end of which is connected to a source of the FET. And a first negative differential resistance element provided between the capacitor and the other end connected to the first power source, the word line and the source of the FET, and a second negative differential resistance element provided between the source of the FET and the second power source.

본 발명의 제 2 태양에서는, FET 는 N 채널 FET이고 제 2 전원의 전위는 0 V 보다 큰 소정의 전위이다. In a second aspect of the invention, the FET is an N-channel FET and the potential of the second power supply is a predetermined potential that is greater than 0V.

본 발명의 제 3 태양에서는, FET 는 P 채널 FET이고 제 2 전원의 전위는 0 V이다. In a third aspect of the invention, the FET is a P channel FET and the potential of the second power supply is 0 V.

본 발명의 제 4 태양에서, 부성 미분 저항소자는 에자키 (Esaki) 다이오드 또는 공명 터널링 다이오드이다. In a fourth aspect of the present invention, the negative differential resistance element is an Esaki diode or a resonance tunneling diode.

본 발명의 제 5 태양은 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서, 이 메모리 소자는 게이트가 워드선에 접속되고 드레인이 비트선에 접속되는 FET, 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 전원에 접속되는 커패시터, 워드선과 FET의 소스 사이에 제공되는 제 1 부성 미분 저항소자, 및 FET의 소스와 전원 사이에 제공되는 제 2 부성 미분 저항소자를 구비한다. A fifth aspect of the invention is a memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, the memory element comprising a FET whose gate is connected to a word line and a drain is connected to a bit line, one end of which is connected to a source of the FET. And a first negative differential resistance element provided between the capacitor and the other end connected to the power source, the word line and the source of the FET, and a second negative differential resistance element provided between the source of the FET and the power source.

본 발명의 제 6 태양은 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 가진 메모리 장치로서, 이 메모리 소자는 게이트가 워드선에 접속되고 드레인이 비트선에 접속되는 FET, 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원에 접속되는 커패시터, 워드선과 FET의 소스 사이에 제공되는 저항소자, 및 FET의 소스와 제 2 전원 사이에 제공되는 부성 미분 저항소자를 구비한다. A sixth aspect of the present invention is a memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, the memory element comprising a FET having a gate connected to a word line and a drain connected to a bit line, and one end connected to a source of the FET. And a capacitor having the other end connected to the first power source, a resistor element provided between the word line and the source of the FET, and a negative differential resistance element provided between the source of the FET and the second power source.

본 발명의 제 7 태양은 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 가진 메모리 장치로서, 이 메모리 소자는 게이트가 워드선에 접속되고 드레인이 비트선에 접속되는 FET, 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 전원에 접속되는 커패시터, 워드선과 FET의 소스 사이에 제공되는 저항소자, 및 FET의 소스와 전원 사이에 제공되는 부성 미분 저항소자를 구비한다. A seventh aspect of the present invention is a memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, the memory element comprising a FET having a gate connected to a word line and a drain connected to a bit line, and one end connected to a source of the FET. And a capacitor having the other end connected to the power supply, a resistance element provided between the word line and the source of the FET, and a negative differential resistance element provided between the source of the FET and the power source.

본 발명의 제 8 태양은 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 가진 메모리 장치로서, 이 메모리 소자는 게이트가 워드선에 접속되고 드레인이 비트선에 접속되는 FET, 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원에 접속되는 커패시터, 워드선과 FET의 소스 사이에 제공되는 부성 미분 저항소자, 및 FET의 소스와 제 2 전원 사이에 제공되는 저항소자를 구비한다. An eighth aspect of the present invention is a memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, the memory element comprising a FET having a gate connected to a word line and a drain connected to a bit line, one end of which is connected to a source of the FET And a capacitor having the other end connected to the first power source, a negative differential resistance element provided between the word line and the source of the FET, and a resistance element provided between the source of the FET and the second power source.

본 발명의 제 9 태양은 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 가진 메모리 장치로서, 이 메모리 소자는 게이트가 워드선에 접속되고 드레인이 비트선에 접속되는 FET, 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 전원에 접속되는 커패시터, 워드선과 FET의 소스 사이에 제공되는 부성 미분 저항소자, 및 FET의 소스와 전원 사이에 제공되는 저항소자를 구비한다. A ninth aspect of the present invention is a memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, the memory element comprising a FET having a gate connected to a word line and a drain connected to a bit line, and one end connected to a source of the FET. And a capacitor having the other end connected to the power source, a negative differential resistance element provided between the word line and the source of the FET, and a resistance element provided between the source of the FET and the power source.

이하, 첨부된 도면을 통하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

(제 1 실시형태)(1st embodiment)

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 메모리 장치를 형성하는 메모리 셀을 나타내는 회로도이다. 도 2는 도 1a 및 도 1b의 회로에 이용되는 부성 미분 저항소자의 전압 대 전류 정적 특성을 나타내는 그래프이며, 도 3a는 대기 상태인 도 1a의 회로의 등가회로도이고, 도 3b는 그 동작을 나타내는 그래프이다.1A and 1B are circuit diagrams showing memory cells forming a memory device according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a graph showing the voltage versus current static characteristics of the negative differential resistance element used in the circuits of FIGS. 1A and 1B, FIG. 3A is an equivalent circuit diagram of the circuit of FIG. 1A in a standby state, and FIG. It is a graph.

도 1a에 도시된 바와 같이, 본 실시형태의 메모리 장치는 비트선과 워드선의 교차점에 배치되는 메모리 셀을 갖는다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 이들 메모리 셀의 각각은 게이트와 드레인이 워드선 (1) 과 비트선 (2) 에 각각 접속되는 N 채널 FET (103), N 채널 FET (103) 의 소스와 셀 플레이트 (CP) 사이에 접속되는 셀 커패시턴스 (4), 및 워드선 (1) 과 기준전압선 사이에 직렬로 접속되는 제 1 및 제 2 부성 미분 저항소자 (5, 6) 에 의해 형성되는 부성 미분 저항소자 쌍 (15) 을 갖는다. 부성 미분 저항소자 (5, 6) 사이의 노드 (MN) 는 N 채널 FET (3) 의 소스와 셀 커패시턴스 (4) 의 한 단자에 접속된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 부성 미분 저항소자 (5, 6) 는 각각 N 형 (전압제어형) 부성 미분 저항 특성을 가진다. 에자키 다이오드 및 RTD와 같은 터널링 다이오드는 부성 미분 저항소자의 예가 될 수 있다. As shown in Fig. 1A, the memory device of this embodiment has a memory cell disposed at an intersection of a bit line and a word line. As shown in Fig. 1A, each of these memory cells has an N-channel FET 103, a source and a cell of the N-channel FET 103, whose gate and drain are connected to the word line 1 and the bit line 2, respectively. Negative differential resistance formed by the cell capacitance 4 connected between the plates CP and the first and second negative differential resistance elements 5 and 6 connected in series between the word line 1 and the reference voltage line. Device pair 15. The node MN between the negative differential resistance elements 5, 6 is connected to the source of the N-channel FET 3 and one terminal of the cell capacitance 4. As shown in Fig. 2, the first and second negative differential resistance elements 5 and 6 each have an N type (voltage controlled type) negative differential resistance characteristic. Tunneling diodes such as Ezaki diodes and RTDs can be examples of negative differential resistance elements.

이하, 상술한 메모리 셀의 동작을 설명한다. The operation of the above-described memory cell is described below.

도 3a에 도시된 바와 같이, 메모리 셀이 대기상태에 있는 경우, N 채널 FET (103) 가 오프 상태에 있기 때문에, 워드 선의 전위는 0V로 유지된다. 도 3a에서는, 도 1a의 회로소자에 대응하는 회로소자를 도 1a와 동일한 참조 부호를 이용하여 나타낸다. 전류원 (8) 은 메모리 셀 노드 (MN) 내에 흐르는 전류 또는 메모리 셀 노드 (MN) 로부터 외부로 흐르는 누설전류를 나타낸다. 이 경우에, 제 2 부성 미분 저항소자 (6) 가 접속되는 접속점 (7) 에서의 전위는 VDD로 설정된다. 부성 미분 저항소자 (5 및 6) 사이의 메모리 셀 노드 (MN) 에서의 전위가 0 V 로부터 전원전위 VDD 로 변화하는 경우, 도 3b 의 곡선 (9 및 8) 에 의해 지시되는 전류가 부성 미분 저항소자 (5) 에 흐른다. 부성 미분 저항소자 (5) 에 흐르는 전류를 나타내는 곡선 (9) 은 누설 전류 (IL) 가 가산되어 있다. 부성 미분 저항 소자 (5 및 6) 에 의해 형성되는 부성 미분 저항소자 쌍 (15) 은 곡선 9 및 10 의 2개의 교차점 (11 및 12) 에 의해 지시되는 전류에서 안정적으로 동작한다. As shown in Fig. 3A, when the memory cell is in the standby state, since the N-channel FET 103 is in the off state, the potential of the word line is kept at 0V. In FIG. 3A, a circuit element corresponding to the circuit element of FIG. 1A is shown using the same reference numerals as in FIG. 1A. The current source 8 represents a current flowing in the memory cell node MN or a leakage current flowing outward from the memory cell node MN. In this case, the potential at the connection point 7 to which the second negative differential resistance element 6 is connected is set to VDD. When the potential at the memory cell node MN between the negative differential resistance elements 5 and 6 changes from 0 V to the power supply potential VDD, the current indicated by the curves 9 and 8 in FIG. 3B is the negative differential resistance. It flows into the element 5. In the curve 9 showing the current flowing through the negative differential resistance element 5, the leakage current IL is added. The negative differential resistance element pairs 15 formed by the negative differential resistance elements 5 and 6 operate stably at the current indicated by the two crossing points 11 and 12 of the curves 9 and 10.

종래의 DRAM에서는, 전류원 (8) 에 의해 제공되는 누설 전류 (IL) 에 대응하는 누설 전류가 셀 커패시턴스 내에 저장되는 전하의 변동을 일으켜, 정보를 정적으로 유지시킬 수 없게 한다. In the conventional DRAM, the leakage current corresponding to the leakage current IL provided by the current source 8 causes variations in the charge stored in the cell capacitance, so that information cannot be kept static.

그러나, 본 발명의 본 실시형태에 따른 메모리 장치에서는, 상술한 바와 같이, 누설전류가 있는 경우에도, 부성 미분 저항소자 쌍 (15) 이 2 개의 안정적인 동작점 (11 및 12) 중 하나에서 안정적으로 동작한다. 따라서, 메모리 셀 노드 (MN) 상에서의 전위는 2개의 안정적인 동작점 (11 및 12) 에서의 전위인 VL 및 VH 중 하나로 고정되어, 전원전압이 공급되는 한, 동일 상태를 유지한다. 이러한 이유로, 셀 커패시턴스 (4) 에 저장되는 전하량은 메모리 셀 노드 (MN) 의 안정 전위 (VL 및 VH) 에 대응하는 전하의 2개의 레벨중 하나로 되며, 전원 전압이 공급되는 한, 이 전하 레벨이 동일 상태로 유지되어, 정보의 안정적인 유지가 가능하다. However, in the memory device according to the present embodiment of the present invention, as described above, even when there is a leakage current, the negative differential resistance element pair 15 is stably at one of the two stable operating points 11 and 12. It works. Therefore, the potential on the memory cell node MN is fixed to one of the potentials VL and VH at the two stable operating points 11 and 12, and remains the same as long as the power supply voltage is supplied. For this reason, the amount of charge stored in the cell capacitance 4 is one of two levels of charge corresponding to the stable potentials VL and VH of the memory cell node MN, and as long as the power supply voltage is supplied, this charge level is It remains in the same state, so that stable information can be maintained.

부성 미분 저항소자 (5 및 6) 의 전류 레벨에 대해서는, 전력소비의 관점에서, 가능한 낮은 것이 바람직하다. 그러나, 누설 전류 (IL) 가 부성 미분 저항 소자의 피크 전류값을 초과하는 경우, 안정점 (12) 이 더 이상 존재하지 않게 된다. 따라서, 부성 미분 저항소자의 피크 전류값을 적어도 누설 전류 (IL) 보다 크게 확장하여, 상술한 쌍안정성 (bistability) 을 보장하는 것이 필요하다. 누설 전류값과 동일한 레벨의 밸리 전류를 갖는 부성 미분 저항소자를 이용함으로써 이러한 조건을 만족시킬 수 있다. 그러나, 부성 미분 저항소자의 피크 전류값과 밸리 전류 사이의 비를 대략 10 일 때, 메모리 셀들 사이의 누설 전류값 특성의 변동을 고려하는 경우, 부성 미분 저항소자의 피크 전류 레벨이, 평균 누설 전류값 (대략 1 내지 10 fA) 의 대략 50 내지 100 배로 되는 것이 바람직하다. 부성 미분 저항소자 쌍 (15) 의 쌍안정성은 종래의 DRAM 에서 요구되던 주기적인 리프레시 동작에 대한 필요성을 제거하여, 대기 상태에서의 전력 소비를 감소시킨다. 예를 들면, VDD 가 3.3V, 비트선의 기생 커패시턴스와 셀 커패시턴스는 각각 270 fF 및 27 fF 이고, 평균 누설 전류 레벨은 1 fA 이며, 부성 미분 저항소자 피크 전류값과 피크/밸리 전류비는 각각 100 fA 및 10 인 경우, 동일 VDD, 동일 비트선 기생 커패시턴스, 동일 셀 커패시턴스 및 동일 평균 누설 전류 레벨을 가지며, 128 밀리초마다 리프레시동작을 수행하는 DRAM과 비교할 때, 절대값 2 오더 정도의 대기상태 전력 소비 감소가 존재한다.The current levels of the negative differential resistance elements 5 and 6 are preferably as low as possible from the viewpoint of power consumption. However, when the leakage current IL exceeds the peak current value of the negative differential resistance element, the stable point 12 no longer exists. Therefore, it is necessary to extend the peak current value of the negative differential resistance element at least larger than the leakage current IL to ensure the above-mentioned bistability. This condition can be satisfied by using a negative differential resistance element having a valley current at the same level as the leakage current value. However, when the ratio between the peak current value and the valley current of the negative differential resistance element is approximately 10, when the variation of the leakage current value characteristic between the memory cells is taken into consideration, the peak current level of the negative differential resistance element is the average leakage current. It is preferred to be approximately 50 to 100 times the value (approximately 1 to 10 fA). The bi-stability of the negative differential resistance element pair 15 eliminates the need for the periodic refresh operation required in conventional DRAM, thereby reducing power consumption in the standby state. For example, VDD is 3.3V, the parasitic capacitance and cell capacitance of the bit line are 270 fF and 27 fF, respectively, and the average leakage current level is 1 fA, and the negative differential resistor peak current value and peak / valley current ratio are 100, respectively. In the case of fA and 10, the standby power is approximately 2 orders of magnitude when compared to DRAM having the same VDD, the same bit line parasitic capacitance, the same cell capacitance, and the same average leakage current level, and refreshing every 128 milliseconds. There is a reduction in consumption.

메모리 셀 판독/기록 동작 및 상술한 메모리의 기억 동작은 종래기술의 1T/1C DRAM 과 실질적으로 동일하다. 즉, 판독 동작에서는, 비트선을 특정 전위로 사전 충전시킨 상태에서, 선택 워드선의 전압이 VDD 로 상승되어 N 채널 FET가 온상태로 된다. 이를 수행했을 때, 셀 커패시턴스 내에 저장되는 전하에 의해 비트선에서 전위변화가 발생하고, 이는 셀 외부에 배치되는 차동 증폭기에 의해 증폭된다. 차동 증폭기에 의해 증폭되는 비트선 데이터는 메모리 커패시턴스 내에 기억되어 있던 전하량에 따라 하이 상태 또는 로우 상태로서 메모리 외부에서 판독되고 또한, N 채널 FET를 통하여 셀 내로 복귀되어, 데이터의 재기록을 수행한다. 기록 동작에서는, 판독 동작의 경우와 유사하게, 각각의 메모리 셀로부터 판독된 데이터를 비트선 상에 유지시킨 상태에서, 덮어 쓸 (overwrite) 셀만의 비트선 전압을 입력 정보에 따라 강제로 변화시켜, 셀 정보를 덮어 쓴다.The memory cell read / write operation and the storage operation of the above-described memory are substantially the same as in the conventional 1T / 1C DRAM. That is, in the read operation, while the bit line is precharged to a specific potential, the voltage of the selected word line is raised to VDD so that the N channel FET is turned on. When this is done, a potential change occurs in the bit line by the charge stored in the cell capacitance, which is amplified by a differential amplifier disposed outside the cell. The bit line data amplified by the differential amplifier is read out of the memory as a high state or a low state depending on the amount of charge stored in the memory capacitance, and also returned to the cell through the N-channel FET to rewrite the data. In the write operation, similarly to the read operation, while maintaining the data read from each memory cell on the bit line, the bit line voltage of only the overwrite cell is forcibly changed in accordance with the input information, Overwrite cell information.

판동 동작 동안 및 기록 동작 동안에, 워드선의 전위를 VDD로 변화시키는 경우, 부성 미분 저항소자 (5 및 6) 각각의 한 단자의 전위가 VDD 가 되고, 부성 미분 저항소자 쌍 (15) 은 메모리 셀 노드 (MN) 의 전위를 VDD 로 상승시킨다. 그러나, 부성 미분 저항소자에서의 전류 레벨을, N 채널 FET 또는 센스 증폭기 구동 전류보다도 충분히 작도록 선택하기 때문에, 메모리 셀 노드 (MN) 의 전위를 VDD 로 상승시키는 시정수 값은 메모리 셀 액세스 시간보다 더 크다. 예를 들면, 부성 미분 저항소자에 대한 100 fA 의 피크전류 레벨과 270 fF 의 비트선 기생 커패시턴스의 경우, 메모리 셀 노드 (MN) 의 전위를 상승시키기 위한 시정수 값은 3 초보다 크다. 이는, 80 나노초의 평균 셀 액세스 시간보다 충분히 길기 때문에, 이들 조건하에서는, 메모리 셀 액세스 시간에 대한 부성 미분 저항소자 쌍 (15) 의 영향은 무시할 수 있다. During the panning operation and during the writing operation, when the potential of the word line is changed to VDD, the potential of one terminal of each of the negative differential resistance elements 5 and 6 becomes VDD, and the negative differential resistance element pair 15 is a memory cell node. The potential of (MN) is raised to VDD. However, since the current level in the negative differential resistance element is selected to be sufficiently smaller than the N-channel FET or sense amplifier driving current, the time constant value for raising the potential of the memory cell node MN to VDD is greater than the memory cell access time. Bigger For example, in the case of a peak current level of 100 fA and a bit line parasitic capacitance of 270 fF for the negative differential resistance element, the time constant value for raising the potential of the memory cell node MN is greater than 3 seconds. Since this is sufficiently longer than the average cell access time of 80 nanoseconds, under these conditions, the influence of the negative differential resistance element pair 15 on the memory cell access time can be ignored.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시형태에 따른 메모리 장치에서, 쌍안정성이 희생되지 않는 범위 내에서는, 부성 미분 저항소자의 전류 레벨이 가능한 작도록 형성된다. 그 결과, 본 실시형태에 따른 메모리 장치에서는, 판독 및 기록 동작에 대한 부성 미분 저항소자의 영향을 무시할 수 있기 때문에, 본 장치는 DRAM 액세스 시간과 동일한 액세스 시간을 갖고, DRAM보다 더 낮은 대기상태에서의 전력소비를 달성할 수 있다. As described above, in the memory device according to the embodiment of the present invention, within the range where the bi-stability is not sacrificed, the current level of the negative differential resistance element is formed as small as possible. As a result, in the memory device according to the present embodiment, since the influence of the negative differential resistance element on the read and write operations can be ignored, the device has the same access time as the DRAM access time, and in a lower standby state than the DRAM. Can achieve power consumption.

상술한 바와 같이, 본 발명의 메모리 장치는 게이트가 워드선 (1) 에 접속되고 드레인이 비트선 (2) 에 접속되는 FET (3), 일단부가 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원 (31) 에 접속되는 커패시터 (4), 워드선 (1) 과 FET의 소스 사이에 제공되는 제 1 부성 미분 저항소자 (5), 및 FET의 소스와 제 2 전원 (32) 사이에 제공되는 제 2 부성 미분 저항소자 (6) 를 구비한다. As described above, the memory device of the present invention has a FET 3 whose gate is connected to the word line 1 and the drain is connected to the bit line 2, one end of which is connected to the source of the FET and the other end of which is the first power source. A capacitor (4) connected to the 31, a first negative differential resistance element 5 provided between the word line 1 and the source of the FET, and a second provided between the source of the FET and the second power supply 32. A two negative differential resistance element 6 is provided.

셀 플레이트 전압은 종래의 DRAM과 마찬가지로, VDD/2가 되도록 설정될 수 있다. 그러나, VDD 이상의 셀 커패시턴스 허용 전압에서, 셀 플레이트의 전압을 도 1b에 도시된 바와 같이 VDD로 설정할 수 있다. 이렇게 하면, 셀 플레이트 전위의 값과, 부성 미분 저항소자 (6) 가 접속되는 기준전압선의 전위가 동일하기 때문에, 셀 플레이트와 기준전압선을 결합할 수 있어, 별도의 기준전압선에 대한 필요성을 제거하는 이점을 제공한다. The cell plate voltage can be set to be VDD / 2, as in conventional DRAM. However, at a cell capacitance allowable voltage of VDD or more, the voltage of the cell plate can be set to VDD as shown in FIG. 1B. In this case, since the value of the cell plate potential and the potential of the reference voltage line to which the negative differential resistance element 6 is connected are the same, the cell plate and the reference voltage line can be combined, thereby eliminating the need for a separate reference voltage line. Provide an advantage.

(제 2 실시형태)(2nd embodiment)

도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 반도체 장치를 형성하는 메모리 셀의 회로도를 나타낸다. 4 is a circuit diagram of a memory cell forming a semiconductor device according to the second embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시형태의 메모리 장치는 비트선과 워드선의 교차점에 배치되는 메모리 셀을 갖는다. 도 4에 도시된 바와 같이, 이들 메모리 셀의 각각은 게이트 및 드레인이 각각 워드선 (21) 과 비트선 (22) 에 접속되는 P 채널 FET (23), P 채널 FET (23) 의 소스와 셀 플레이트 (CP) 사이에 접속되는 셀 커패시턴스 (24), 워드선 (21) 과 기준전압선 사이에 직렬로 접속되는 제 1 및 제 2 부성 미분 저항소자 (25, 26) 에 의해 형성되는 부성 미분 저항소자 쌍 (35) 을 갖는다. 부성 미분 저항소자 (25 및 26) 사이의 노드 (MN) 는 P 채널 FET (23) 의 소스 및 셀 커패시턴스 (24) 의 한 단자에 접속된다. 기준전압선 전위는 0 V로 설정된다. 즉, 제 2 실시형태의 메모리 장치는, 제 1 실시형태의 메모리 장치의 N 채널 FET를 P 채널 FET로 교체하고 기준전압선의 전위를 0 V 로 설정하도록 구성한 것이다. 이 경우에, P 채널 FET는 대기 상태에서 오프 상태이기 때문에, 워드선 (21) 의 전위가 VDD로 유지된다. 그 결과, 전압 0 V 및 VDD가, 제 1 부성 미분 저항소자 (25) 및 제 2 부성 미분 저항소자 (26) 의 직렬접속에 의해 형성되는 부성 미분 저항소자 쌍 (35) 의 단자들로 인가되어, 제 1 실시형태에 대한 도 3b에 도시된 바와 같은 동일한 형태의 쌍안정 동작이 얻어진다. 그러나, 이 경우에, 제 1 부성 미분 저항소자의 동작 곡선과 제 2 부성 미분 저항소자의 동작곡선이 서로 바뀌어진다.  As shown in Fig. 4, the memory device of this embodiment has a memory cell disposed at an intersection of a bit line and a word line. As shown in Fig. 4, each of these memory cells has a P-channel FET 23, a source and a cell of the P-channel FET 23, whose gate and drain are connected to the word line 21 and the bit line 22, respectively. Negative differential resistance elements formed by cell capacitance 24 connected between plates CP, first and second negative differential resistance elements 25 and 26 connected in series between word line 21 and reference voltage line. Has a pair 35. The node MN between the negative differential resistance elements 25 and 26 is connected to one terminal of the source and the cell capacitance 24 of the P channel FET 23. The reference voltage line potential is set to 0V. That is, the memory device of the second embodiment is configured to replace the N-channel FET of the memory device of the first embodiment with a P-channel FET and to set the potential of the reference voltage line to 0V. In this case, since the P-channel FET is in the off state from the standby state, the potential of the word line 21 is maintained at VDD. As a result, voltages 0 V and VDD are applied to the terminals of the negative differential resistance element pair 35 formed by the series connection of the first negative differential resistance element 25 and the second negative differential resistance element 26. The same type of bistable operation as shown in Fig. 3B for the first embodiment is obtained. However, in this case, the operating curve of the first negative differential resistance element and the operating curve of the second negative differential resistance element are interchanged with each other.

제 2 실시형태에 따른 메모리 장치에서는, 제 1 실시형태의 메모리 장치의 경우와 유사하게, 부성 미분 저항소자의 전류 레벨을, 쌍안정 동작이 손실되지 않는 범위에서 가능한 작도록 설정한다. 그 결과, 제 2 실시형태의 메모리 장치에서는, 제 1 실시형태의 메모리 장치에 적용하는 이유와 동일하게, 이 장치가 DRAM의 액세스 시간과 동일한 액세스 시간을 갖고, 대기 상태에서는 DRAM의 보다 더욱 낮은 전력 소비를 달성할 수 있다. 셀 플레이트 전압을 0V 로 설정하는 경우, 제 2 부성 미분 저항소자 (26) 의 단자를 셀 플레이트 (CP) 에 접속할 수 있어, 기준전압선의 필요성을 제거할 수 있다. In the memory device according to the second embodiment, similarly to the memory device of the first embodiment, the current level of the negative differential resistance element is set to be as small as possible in a range in which the bistable operation is not lost. As a result, in the memory device of the second embodiment, the device has the same access time as the access time of the DRAM, for the same reason as applied to the memory device of the first embodiment, and even lower power of the DRAM in the standby state. Consumption can be achieved. When the cell plate voltage is set to 0 V, the terminal of the second negative differential resistance element 26 can be connected to the cell plate CP, thereby eliminating the need for a reference voltage line.

(제 3 실시형태)(Third embodiment)

도 5는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 메모리 셀을 나타내는 회로도이고, 도 6은 대기상태에서의 도 5의 회로의 동작을 나타내는 도면이다. FIG. 5 is a circuit diagram showing a memory cell according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a diagram showing the operation of the circuit of FIG.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 메모리 장치는 비트선과 워드선의 교차점에 배치되는 메모리 셀을 갖는다. 도 5에 도시된 바와 같이, 이들 메모리 셀의 각각은 게이트와 드레인이 워드선 (41) 과 비트선 (42) 에 각각 접속되는 N 채널 FET (43), N 채널 FET (43) 의 소스와 셀 플레이트 (CP) 사이에 접속되는 셀 커패시턴스 (44), 및 워드선 (41) 및 기준전압선 사이에 직렬로 접속되는 저항소자 (45) 와 부성 미분 저항소자 (46) 를 갖는다. 직렬로 접속된 저항 소자 (45) 와 부성 미분 저항소자 (46) 사이의 노드 (MN) 는 N 채널 FET (43) 의 소스와 셀 커패시턴스 (44) 의 한 단자에 접속된다. 기준전압선 전위는 VDD로 설정된다. 즉, 제 3 실시형태의 메모리 셀은, 제 1 실시형태의 제 1 부성 미분 저항소자가 저항소자로 교체되도록 구성한 것이다. As shown in Fig. 5, the memory device according to the third embodiment of the present invention has a memory cell disposed at an intersection point of a bit line and a word line. As shown in Fig. 5, each of these memory cells has an N-channel FET 43, a source and a cell of the N-channel FET 43, whose gate and drain are connected to the word line 41 and the bit line 42, respectively. The cell capacitance 44 connected between the plates CP, and the resistance element 45 and the negative differential resistance element 46 connected in series between the word line 41 and the reference voltage line are provided. The node MN between the resistance element 45 and the negative differential resistance element 46 connected in series is connected to the source of the N-channel FET 43 and one terminal of the cell capacitance 44. The reference voltage line potential is set to VDD. That is, the memory cell of the third embodiment is configured such that the first subdifferential differential resistance element of the first embodiment is replaced with a resistance element.

도 6 에 도시된 바와 같이, 저항 소자 (45) 와 부성 미분 저항소자 (46) 사이의 접속점인 메모리 셀 노드 (MN) 의 전위가 0 V로부터 전원전위 (VDD) 로 변화하는 경우에, 저항 소자 (45) 의 저항값을 조정함으로써, 저항소자 (45) 의 전류곡선 (49) 과 부성 미분 저항소자 (46) 의 전류곡선 (50) 의 3 개의 교차점을 얻는다. 이 경우, 누설 전류 (IL) 는 저항 소자 (45) 의 전류곡선 (49) 에 가산되어 있다. 저항 소자의 전류곡선 (49) 과 부성 미분 저항소자 (46) 의 전류곡선 (50) 사이의 교차점인 2 개의 점 (51 및 52) 은 안정적인 동작점이다. 따라서, 메모리 셀 노드 (MN) 의 전위는 동작점 (51 및 52) 에서의 전압 VL 과 VH 중 하나로 고정되고, 전원전압이 공급되는 한 동일 상태를 유지한다. 이러한 이유로, 셀 커패시턴스 (44) 내에 저장되는 전하량은 메모리 셀 노드의 안정전위 (VL 및 VH) 에 대응하는 두 전하량 중 하나이며, 전원전압이 공급되는 한 이 상태를 유지하여, 정보를 안정적으로 유지할 수 있다. 부성 미분 저항소자 (46) 의 피크 전류값과 밸리 전류값 사이의 비가 크지 않은 경우에도, 저항소자 (45) 의 저항값을 정확하게 제어하여, 안정적인 동작을 할 수 있다. 본 실시형태는 본 발명의 제 1 및 제 2 실시형태에 도시된 회로에 비해, 부성 미분 저항소자의 개수를 감소시킬 수 있다는 이점을 갖는다. As shown in Fig. 6, in the case where the potential of the memory cell node MN, which is the connection point between the resistance element 45 and the negative differential resistance element 46, changes from 0 V to the power supply potential VDD, the resistance element By adjusting the resistance value of (45), three intersection points of the current curve 49 of the resistance element 45 and the current curve 50 of the negative differential resistance element 46 are obtained. In this case, the leakage current IL is added to the current curve 49 of the resistance element 45. The two points 51 and 52 which are the intersection points between the current curve 49 of the resistance element and the current curve 50 of the negative differential resistance element 46 are stable operating points. Therefore, the potential of the memory cell node MN is fixed to one of the voltages VL and VH at the operating points 51 and 52, and remains the same as long as the power supply voltage is supplied. For this reason, the amount of charge stored in the cell capacitance 44 is one of two charge amounts corresponding to the stable potentials VL and VH of the memory cell node, and maintains this state as long as the power supply voltage is supplied, thereby keeping the information stable. Can be. Even when the ratio between the peak current value and the valley current value of the negative differential resistance element 46 is not large, the resistance value of the resistance element 45 can be precisely controlled and stable operation can be performed. This embodiment has the advantage that the number of negative differential resistance elements can be reduced as compared with the circuits shown in the first and second embodiments of the present invention.

다른 방법으로서, N 채널 FET (43) 를 P 채널 FET로 교체하고 기준전압선의 전위를 0 V 로 설정함으로써 상술한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 다른 방법으로는, 도 7에 도시된 바와 같이, 저항 소자 (45) 를 부성 미분 저항소자 (51) 로 교체하고, 부성 미분 저항소자 (46) 를 저항 소자 (52) 로 교체하는 것도 가능하다. As another method, the above-described effect can be obtained by replacing the N-channel FET 43 with the P-channel FET and setting the potential of the reference voltage line to 0V. Alternatively, as shown in FIG. 7, it is also possible to replace the resistance element 45 with the negative differential resistance element 51 and the negative differential resistance element 46 with the resistance element 52. Do.

본 발명의 바람직한 실시형태를 예를 들어 설명하였지만, 이는 단지 예시적인 실시형태에 불과하며, 본 발명의 범위를 제한하는 것이 아니고 본 발명의 범위내에서 다양한 형태의 변경를 취할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 예를 들면, 에자키 다이오드, 공명 터널링 다이오드 또는 다른 터널링 다이오드 및 N 형 건 (Gunn) 다이오드와 같은 부성 미분 저항 소자를 이용할 수도 있다. 또한, 공명 터널링 트랜지스터 또는 공명 터널링 열전자 트랜지스터의 3 개의 단자들 중 2 개의 단자를 이용할 수도 있다. 또한, 메모리 셀에 이용되는 FET 는 바이폴라 트랜지스터가 될 수 있고, 더욱이, 부성 미분 저항소자에 충분히 높은 커패시턴스를 제공할 수 있는 경우, 셀 커패시턴스 (4) 를 생략할 수도 있다.While the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, it will be appreciated that these are merely exemplary embodiments and do not limit the scope of the invention and that various modifications may be made within the scope of the invention. . For example, negative differential resistance elements such as Ezaki diodes, resonant tunneling diodes or other tunneling diodes and N-type Gunn diodes may be used. It is also possible to use two of the three terminals of the resonance tunneling transistor or the resonance tunneling hot electron transistor. In addition, the FET used for the memory cell may be a bipolar transistor, and furthermore, the cell capacitance 4 may be omitted if it is possible to provide a sufficiently high capacitance to the negative differential resistance element.

상술한 바와 같이, 본 발명은, 메모리 셀 노드와 워드선 사이에 또는 메모리 셀 노드와, 종래의 1T/1C DRAM 을 형성하는 메모리 셀의 기준전압선 사이에 각각 하나 이상의 부성 미분 저항소자를 제공함으로서, 메모리 커패시턴스내에 저장되는 전하의 쌍안정성을 달성하여, 정보를 정적으로 유지시킬 수 있다. As described above, the present invention provides at least one negative differential resistance element between a memory cell node and a word line or between a memory cell node and a reference voltage line of a memory cell forming a conventional 1T / 1C DRAM. Bi-stability of the charge stored in the memory capacitance can be achieved to keep the information static.

또한, 본 발명은, 기준전압선과 셀 플레이트가 동일 전위를 갖게 함으로써, 별도의 기준 전압선에 대한 필요성이 제거되어, 부성 미분 저항소자의 완전한 셀 내에서의 접속을 가능하게 하고, 셀 레이아웃에서의 자유도를 희생시키지 않으면서 종래의 DRAM과 거의 동일한 집적도를 얻을 수 있다.In addition, the present invention eliminates the need for a separate reference voltage line by allowing the reference voltage line and the cell plate to have the same potential, thereby enabling the connection of the negative differential resistance element in the complete cell, and the degree of freedom in the cell layout. The same degree of integration as conventional DRAM can be achieved without sacrificing the cost.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 메모리 장치의 메모리 셀을 나타내는 회로도. 1A and 1B are circuit diagrams showing memory cells of a memory device according to the first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1a의 회로에 이용되는 부성 미분 저항소자의 전압 대 전류 정적 특성을 나타내는 그래프. FIG. 2 is a graph showing the voltage versus current static characteristics of the negative differential resistance element used in the circuit of FIG. 1A. FIG.

도 3a는 대기 상태인 도 1a의 회로의 등가회로도이고, 도 3b는 그 동작을 나타내는 그래프.3A is an equivalent circuit diagram of the circuit of FIG. 1A in a standby state, and FIG. 3B is a graph showing its operation.

도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 메모리 장치의 메모리 셀을 나타내는 회로도. 4 is a circuit diagram showing a memory cell of the memory device according to the second embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 메모리 장치의 메모리 셀을 나타내는 회로도.Fig. 5 is a circuit diagram showing a memory cell of the memory device according to the third embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 회로의 동작을 나타내는 도면.6 illustrates the operation of the circuit of FIG.

도 7은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 메모리 셀의 다른 회로도.7 is another circuit diagram of a memory cell according to the third embodiment of the present invention.

도 8은 종래의 메모리 셀을 나타내는 회로도.8 is a circuit diagram showing a conventional memory cell.

도 9는 대기상태인 도 8의 회로의 동작을 나타내는 도면.9 illustrates the operation of the circuit of FIG. 8 in a standby state.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1, 21, 41, 101 : 워드선 2, 22, 42, 102 : 비트선1, 21, 41, 101: word line 2, 22, 42, 102: bit line

3, 43, 103 : FET 4, 24, 44, 104 : 커패시터3, 43, 103: FET 4, 24, 44, 104: capacitor

5, 25, 105 : 제 1 부성 미분 저항소자5, 25, 105: first negative differential resistance element

6, 26, 106 : 제 2 부성 미분 저항소자6, 26, 106: second negative differential resistance element

7, 27, 47 : 기준전압선으로의 접속점7, 27, 47: connection point to reference voltage line

8 : 전류원8: current source

45 : 저항소자45: resistance element

Claims (13)

워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서,A memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, 상기 메모리 소자는, The memory device, 게이트가 상기 워드선에 접속되고 드레인이 상기 비트선에 접속된 FET;A FET having a gate connected to the word line and a drain connected to the bit line; 일단부가 상기 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원에 접속된 커패시터;A capacitor having one end connected to a source of the FET and the other end connected to a first power source; 일단부가 상기 워드선에 접속되고 타단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속된 제 1 부성 미분 저항소자; 및 A first negative differential resistance element having one end connected to the word line and the other end connected to the source of the FET; And 일단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속되고 타단부가 제 2 전원에 접속된 제 2 부성 미분 저항소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.And a second negative differential resistance element having one end connected to the source of the FET and the other end connected to a second power source. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 FET는 N 채널 FET이고, 상기 제 2 전원의 전위는 0 V 보다 큰 소정의 전위인 것을 특징으로 하는 메모리 장치.The FET is an N-channel FET, and the potential of the second power supply is a predetermined potential that is greater than 0V. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 FET는 P 채널 FET이고, 상기 제 2 전원의 전위는 접지 전위인 것을 특징으로 하는 메모리 장치. The FET is a P-channel FET, and the potential of the second power supply is a ground potential. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 부성 미분 저항소자는 에자키 다이오드 또는 공명 터널링 다이오드인 것을 특징으로 하는 메모리 장치.And the negative differential resistance element is an Ezaki diode or a resonance tunneling diode. 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서,A memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, 상기 메모리 소자는,The memory device, 게이트가 상기 워드선에 접속되고 드레인이 상기 비트선에 접속된 FET;A FET having a gate connected to the word line and a drain connected to the bit line; 일단부가 상기 FET의 소스에 접속되고 타단부가 전원에 접속된 커패시터; A capacitor having one end connected to a source of the FET and the other end connected to a power source; 일단부가 상기 워드선에 접속되고 타단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속된 제 1 부성 미분 저항소자; 및 A first negative differential resistance element having one end connected to the word line and the other end connected to the source of the FET; And 일단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속되고 타단부가 상기 전원에 접속된 제 2 부성 미분 저항소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치. And a second negative differential resistance element having one end connected to the source of the FET and the other end connected to the power supply. 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서,A memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, 상기 메모리 소자는, The memory device, 게이트가 상기 워드선에 접속되고 드레인이 상기 비트선에 접속된 FET;A FET having a gate connected to the word line and a drain connected to the bit line; 일단부가 상기 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원에 접속된 커패터;A capacitor having one end connected to a source of the FET and the other end connected to a first power source; 일단부가 상기 워드선에 접속되고 타단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속된 저항소자; 및 A resistance element having one end connected to the word line and the other end connected to the source of the FET; And 일단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속되고 타단부가 제 2 전원에 접속된 부성 미분 저항소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.And a negative differential resistance element having one end connected to the source of the FET and the other end connected to a second power source. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 FET는 N 채널 FET이고, 상기 제 2 전원의 전위는 0 V 보다 큰 소정의 전위인 것을 특징으로 하는 메모리 장치.The FET is an N-channel FET, and the potential of the second power supply is a predetermined potential that is greater than 0V. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 FET는 P 채널 FET이고, 상기 제 2 전원의 전위는 접지 전위인 것을 특징으로 하는 메모리 장치. The FET is a P-channel FET, and the potential of the second power supply is a ground potential. 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서, A memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, 상기 메모리 소자는, The memory device, 게이트가 상기 워드선에 접속되고 드레인이 상기 비트선에 접속된 FET;A FET having a gate connected to the word line and a drain connected to the bit line; 일단부가 상기 FET의 소스에 접속되고 타단부가 전원에 접속된 커패시터;A capacitor having one end connected to a source of the FET and the other end connected to a power source; 일단부가 상기 워드선에 접속되고 타단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속된 저항소자; 및A resistance element having one end connected to the word line and the other end connected to the source of the FET; And 일단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속되고 타단부가 상기 전원에 접속된 부성 미분 저항소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.And a negative differential resistance element having one end connected to the source of the FET and the other end connected to the power supply. 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서, A memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, 상기 메모리 소자는, The memory device, 게이트가 상기 워드선에 접속되고 드레인이 상기 비트선에 접속된 FET;A FET having a gate connected to the word line and a drain connected to the bit line; 일단부가 상기 FET의 소스에 접속되고 타단부가 제 1 전원에 접속된 커패시터;A capacitor having one end connected to a source of the FET and the other end connected to a first power source; 일단부가 상기 워드선에 접속되고 타단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속된 부성 미분 저항소자; 및 A negative differential resistance element having one end connected to the word line and the other end connected to the source of the FET; And 일단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속되고 타단부가 제 2 전원에 접속된 저항소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.And a resistance element having one end connected to the source of the FET and the other end connected to a second power source. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 FET는 N 채널 FET이고, 상기 제 2 전원의 전위는 0 V 보다 큰 소정의 전위인 것을 특징으로 하는 메모리 장치.The FET is an N-channel FET, and the potential of the second power supply is a predetermined potential that is greater than 0V. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 FET는 P 채널 FET이고, 상기 제 2 전원의 전위는 접지 전위인 것을 특징으로 하는 메모리 장치. The FET is a P-channel FET, and the potential of the second power supply is a ground potential. 워드선과 비트선의 교차점에 제공되는 메모리 소자를 갖는 메모리 장치로서, A memory device having a memory element provided at an intersection of a word line and a bit line, 상기 메모리 소자는, The memory device, 게이트가 상기 워드선에 접속되고 드레인이 상기 비트선에 접속된 FET;A FET having a gate connected to the word line and a drain connected to the bit line; 일단부가 상기 FET의 소스에 접속되고 타단부가 전원에 접속된 커패시터;A capacitor having one end connected to a source of the FET and the other end connected to a power source; 일단부가 상기 워드선에 접속되고 타단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속된 부성 미분 저항소자; 및A negative differential resistance element having one end connected to the word line and the other end connected to the source of the FET; And 일단부가 상기 FET의 상기 소스에 접속되고 타단부가 상기 전원에 접속된 저항소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치. And a resistance element having one end connected to the source of the FET and the other end connected to the power supply.
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