KR100489995B1 - 웨이퍼 디마운트 장치 - Google Patents

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KR100489995B1
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 디마운트 장치에 관한 것으로서, 특히, 왁스 마운팅(Wax mouting)된 웨이퍼를 디마운팅(demounting)하여 웨이퍼 카세트에 삽입하는 웨이퍼 디마운트 장치에 관한 것이다.
본 발명인 웨이퍼 디마운트 장치는 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅 시킬 수 있도록 끝단이 날카로운 웨이퍼 분리날이 일단에 형성되고, 상기 분리된 웨이퍼가 상부에 놓여져서 슬라이딩하여 웨이퍼 카세트에 삽입 할 수 있도록 설치된 미끄럼판과, 상기 미끄럼판이 상기 미끄럼판의 하부에 설치된 회전축을 중심으로 회전이 가능하도록 상기 미끄럼판의 하부에 형성된 회전 조인트와, 상기 미끄럼판의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 상기 미끄럼판의 양쪽 가장자리로 이탈하지 않도록, 상기 미끄럼판의 양쪽 가장자리에 부착 설치된 'ㄱ' 자 형태의 웨이퍼 이탈 방지 리브와, 상기 미끄럼판의 하부에 설치된 초순수 분사 장치와, 상기 초순수 분사 장치와 연결되어, 상기 미끄럼판의 표면으로 초순수를 분사하도록 상기 미끄럼판의 표면에 설치된 초순수 분사구를 포함하여 이루어진다.

Description

웨이퍼 디마운트 장치{A device for demounting a wafer}
본 발명은 웨이퍼 디마운트 장치에 관한 것으로서, 특히, 왁스 마운팅(Wax mouting)된 웨이퍼를 디마운팅(demounting)하여 웨이퍼 카세트에 삽입하는 웨이퍼 디마운트 장치에 관한 것이다.
왁스로 블럭에 고정되어 있는 웨이퍼를 분리하기 위하여서는 날카로운 칼날을 이용하여 분리해 내고, 이를 웨이퍼 카세트에 바로 삽입하게 되는데, 여기에서 웨이퍼는 웨이퍼 블록에 왁스로 견고하게 접착이 되어 있기 때문에 이를 직접 분리시키기에는 어려움이 있었다. 따라서, 종래에는 웨이퍼와 블럭 사이에 날카로운 칼날 형상의 웨이퍼 분리날을 끼워 넣은 후, 웨이퍼를 미끄럼판까지 밀게 되면 웨이퍼가 블럭으로부터 분리가 되고, 이렇게 분리된 웨이퍼를 그대로 미끄럼판의 상부까지 밀어서 미끄럼판의 상부에 얹힌다. 이렇게 웨이퍼가 미끄럼판의 상부에 올라왔을 때, 미끄럼판을 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 안착용 홈의 중심선과 일치하는 각도로 기울어서 자유낙하에 의하여 웨이퍼를 미끄럼판에 슬라이딩시킴으로서, 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 삽입시키게 되는 것이다.
이러한 종래의 웨이퍼 디마운트 장치는 웨이퍼가 미끄럼판과 면 접촉을 한 상태에서 미끄럼판의 상부를 슬라이딩을 하게 되므로, 웨이퍼 하부면과 미끄럼판 상부면 사이에 매우 큰 마찰력이 작용하게 되고, 이에 따라 웨이퍼의 하부면에 스크래치가 발생하는 문제점이 있었던 것이다.
본 발명은 블럭에 고정된 웨이퍼를 분리하여 웨이퍼 카세트에 삽입함에 있어서, 웨이퍼에 스크래치 등의 불량 발생 요소를 제거 할 수 있는 웨이퍼 디마운트 장치를 제공하려는 것이다.
이를 위한 본 발명인 웨이퍼 디마운트 장치는 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅 시킬 수 있도록 끝단이 날카로운 웨이퍼 분리날이 일단에 형성되고, 상기 분리된 웨이퍼가 상부에 놓여져서 슬라이딩하여 웨이퍼 카세트에 삽입 할 수 있도록 설치된 미끄럼판과, 상기 미끄럼판이 상기 미끄럼판의 하부에 설치된 회전축을 중심으로 회전이 가능하도록 상기 미끄럼판의 하부에 형성된 회전 조인트와, 상기 미끄럼판의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 상기 미끄럼판의 양쪽 가장자리로 이탈하지 않도록, 상기 미끄럼판의 양쪽 가장자리에 부착 설치된 'ㄱ' 자 형태의 웨이퍼 이탈 방지 리브와, 상기 미끄럼판의 하부에 설치된 초순수 분사 장치와, 상기 초순수 분사 장치와 연결되어, 상기 미끄럼판의 표면으로 초순수를 분사하도록 상기 미끄럼판의 표면에 설치된 초순수 분사구를 포함하여 이루어진다. 그리고, 상기 웨이퍼 이탈 방지 리브는 상기 미끄럼판에 웨이퍼가 도입되는 부분에서, 두부분으로 분리되어, 일정 간격으로 이격 설치됨으로서, 상기 블록에 고정된 웨이퍼를 디마운팅시켜 상기 미끄럼판의 상부로 상기 웨이퍼가 도입 될 때, 상기 미끄럼판이 휘어질 수 있도록 형성된 것이 바람직하며, 또한, 상기 미끄럼판은 상기 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 분리되어 일정 간격으로 이격 설치된 것이 더욱 바람직하다.
그리고, 본 발명인 웨이퍼 디마운트 장치는 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅 시킬 수 있도록 끝단이 날카로운 웨이퍼 분리날이 일단에 형성되고, 상기 분리된 웨이퍼가 상부에 놓여져서 슬라이딩할 수 있도록 설치된 제 1 미끄럼판과, 상기 제 1 미끄럼판이 회전을 할 수 있도록 상기 제 1 미끄럼판의 하부에 설치된 회전 조인트와, 상기 제 1 미끄럼판이 상기 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅한 후, 회전에 의하여 위로 젖혀졌을 때, 상기 제 1 미끄럼판과 동일 평면이 되어 상기 제 1 미끄럼판의 상부에서 슬라이딩하는 상기 웨이퍼가 제 1 미끄럼판에 이어서 슬라이딩하여 웨이퍼 카세트에 삽입할 수 있도록 소정의 각도로 기울어져서 고정 설치된 제 2 미끄럼판과, 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 양쪽 가장자리로 이탈하지 않도록, 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 양쪽 가장자리에 각각 부착 설치된 'ㄱ'자 형태의 웨이퍼 이탈 방지 리브와;
상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 하부에 각각 설치된 초순수 분사 장치와, 상기 초순수 분사 장치와 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 표면으로 초순수를 분사하도록 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 표면에 각각 설치된 초순수 분사구를 포함하여 이루어진다. 그리고, 상기 제 1 미끄럼판에 설치된 웨이퍼 이탈 방지 리브는 상기 제 1 미끄럼판에서 웨이퍼가 도입되는 부분에서 두부분으로 분리되어 일정 간격으로 이격 설치되어, 상기 블록에 고정된 웨이퍼를 디마운팅시켜 상기 제 1 미끄럼판의 상부로 상기 웨이퍼가 도입 될 때, 상기 제 1 미끄럼판이 휘어지도록 형성된 것이 바람직하며, 또한, 상기 제 1 미끄럼판은 상기 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 분리되어 일정 간격 이격 설치된 것이 더욱 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명의 제 1 실시예로서 웨이퍼 디마운트 장치는, 도 1a 내지 도 1c에 도시된 바와 같이, 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅 시킬 수 있도록 끝단이 날카로운 웨이퍼 분리날(111)이 일단에 형성되고, 블럭에서 분리된 웨이퍼가 상부에 놓여져서 슬라이딩하여 웨이퍼 카세트에 삽입 할 수 있도록 설치된 미끄럼판(110)과, 미끄럼판(110)의 하부에 설치된 회전축(141)을 중심으로 미끄럼판(110)이 회전할 수 있도록 미끄럼판(110)의 하부에 형성된 회전 조인트(140)와, 미끄럼판(110)의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 미끄럼판(110)의 양쪽 가장자리로 이탈하지 않도록, 미끄럼판(110)의 양쪽 가장자리에 부착 설치된 'ㄱ'자 형태의 웨이퍼 이탈 방지 리브(120)와, 미끄럼판(110)의 하부에 설치된 초순수 분사 장치(130)와, 초순수 분사 장치(130)와 연결되어, 미끄럼판(110)의 표면으로 초순수를 분사하도록 미끄럼판(110)의 표면에 설치된 초순수 분사구(131)를 포함하는 것이 특징이다.
이때, 웨이퍼 이탈 방지 리브(120)는 미끄럼판(110)에 웨이퍼가 도입되는 부분에서, 두부분으로 분리되어 일정 간격으로 이격 설치됨으로서, 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅시켜 미끄럼판(110)의 상부로 웨이퍼가 도입 될 때, 미끄럼판(110)이 휘어질 수 있도록 형성된 것이 바람직하다. 그리고, 미끄럼판(110)은 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 분리되어 일정 간격 이격되어 설치된 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 제 1 실시예를 사용하여 블럭에 마운팅 되어 있는 웨이퍼를 분리하여 웨이퍼 카세트에 삽입하는 과정을 살펴보면, 도 2a 내지 도 2d에 도시된 바와 같다.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 블럭(B)에 고정되어 있는 웨이퍼(W)를 분리하기 위하여 웨이퍼 분리용 칼날(10)을 본 발명의 제 1실시예가 설치된 쪽의 반대편에서 웨이퍼(W)와 블럭(B) 사이에 밀어 넣으면서, 동시에 본 발명의 제 1 실시예인 웨이퍼 디마운트 장치를 블럭(B)에 고정된 웨이퍼(W) 쪽으로 기울여서, 웨이퍼 분리 날(111)을 블럭(B)에 고정된 웨이퍼(W)의 하단으로 밀어 넣음으로서, 블럭(B)에 고정된 웨이퍼(W)를 블럭(B)으로부터 분리시킨다.
그 후, 도 2b에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 분리용 칼날(10)을 이용해 블럭(B)으로부터 분리된 웨이퍼(W)를 본 발명의 제 1실시예 쪽으로 계속 밀면서, 웨이퍼(W)를 본 발명의 제 1 실시예의 미끄럼판(110)의 상부면으로 이동시킨다.
이 때, 웨이퍼 이탈 방지 리브(120)는 미끄럼판(110)에 웨이퍼(W)가 도입되는 부분에서, 일정 간격 분리 이격되어 설치됨으로서, 블럭(B)에 고정된 웨이퍼(W)가 디마운팅 되어, 미끄럼판(110)의 상부로 도입 될 때, 미끄럼판(110)이 소정의 각도(θ)로 휘어지도록 형성되었기 때문에, 웨이퍼(W)가 미끄럼판(110)의 상부로 도입되는 과정에서, 웨이퍼(W)의 가장자리 부분만이 미끄럼판(110)과 점 접촉을 한 상태로 도입된다. 따라서, 웨이퍼(W)가 미끄럼판(110)의 상부로 도입되는 과정에서 웨이퍼(W)의 하부면이 미끄럼판(110)과 접촉하지 않으면서 도입되므로, 웨이퍼(W)의 하부면에 스크래치 등의 불량이 발생할 수 있는 위험을 방지 할 수 있는 것이다.
그리고, 미끄럼판(110)은 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 일정 간격 분리 이격되어 설치되어 있음으로서, 웨이퍼(W)가 미끄럼판(110)의 상부로 도입되는 과정에서 웨이퍼(W)의 가장자리와 미끄럼판(110)의 상부면이 점접촉하는 부분은, 도 3 에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W) 가장자리의 중심 부분(A1)이 아닌 양쪽 대각 위치의 부분(A2)으로 두 부분이 된다. 따라서, 미끄럼판(110)의 상부로 웨이퍼(W)가 도입되는 과정에서 도 3에 도시된 A2의 두 부분이 미끄럼판(110)과 점접촉을 한 상태로 도입이 되므로, 웨이퍼(W) 가장자리의 중심부분(A1)의 한 부분만이 점접촉을 하여 도입되는 것보다 마찰력을 훨씬 적게 받는 것이다. 즉, 웨이퍼(W) 도입 과정에서 마찰력 감소에 의하여 웨이퍼(W)의 손상을 줄일 수 있는 것이다.
도 2b에서와 같이 웨이퍼(W)를 미끄럼판(110)의 상부로 이동시킨 후에는, 도 2c에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 배출구(Out)가 웨이퍼 카세트(300)의 웨이퍼 안착용 홈(301)의 중심선과 일치하도록 미끄럼판(110)을 회전시켜 본 발명의 제 1 실시예인 웨이퍼 디마운트 장치를 기울인다.
이 후, 도 2d 에 도시된 바와 같이, 미끄럼판(110)의 하부에 설치된 초순수 분사 장치(130)를 작동시켜 미끄럼판(110)의 표면에 설치된 초순수 분사구(131)를 통하여 초순수를 분사함으로서, 미끄럼판(110)의 상부에 놓여진 웨이퍼(W)의 하부면에 수막(D)을 형성시킨다. 즉, 미끄럼판(110)의 상부면과 웨이퍼(W)의 하부면 사이에 형성된 수막(D)에 의하여 미끄럼판(110)의 상부에 놓여진 웨이퍼(W)는 수막(D)의 형성 두께만큼 미끄럼판(110)으로부터 이격되고, 이 때, 미끄럼판(110)은 웨이퍼 카세트(300)를 향하여 기울어져 있는 상태이며, 수막(D)에 의하여 웨이퍼(W) 하부면과 미끄럼판(110) 상부면 사이의 마찰력 거의 사라진 상태이므로, 웨이퍼(W)가 자유낙하를 통하여 슬라이딩하여 웨이퍼 카세트(300)에 자동으로 삽입하게 되는 것이다. 따라서, 웨이퍼(W)가 웨이퍼 카세트(300)까지 슬라이딩을 함에 있어서, 미끄럼판(110)의 상부면과 웨이퍼(W)의 하부면 사이에 형성된 수막(D)을 따라 슬라이딩을 하게 되므로, 웨이퍼(W)의 하부면과 미끄럼판(110)의 상부면 사이에 직접적인 접촉이 없어져, 웨이퍼(W)의 하부면에 스크래치 등이 발생하지 않으면서 미끄럼판(110)의 상부면을 슬라이딩할 수 있게 되는 것이다.
블록(B)으로부터 분리된 웨이퍼(W)를 상술한 바와 같은 작동에 의하여 웨이퍼 카세트(300)에 삽입을 시킨 후에는, 다시 블럭(B)에 고정된 웨이퍼를 분리하기 위하여 도 2a에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 분리날(111) 쪽이 블럭(B)에 고정된 웨이퍼 쪽으로 향하도록 기울여서 상술한 작동을 반복하여 블럭(B)에 마운팅(mounting)되어 있는 웨이퍼(W)를 연속적으로 디마운팅(demounting)시켜 웨이퍼 카세트(300)에 삽입시킬 수 있는 것이다.
다음으로, 본 발명의 제 2실시예에 대하여 살펴보면, 도 4a 내지 도 4c와 같다.
즉, 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅 시킬 수 있도록 끝단이 날카로운 웨이퍼 분리날(211)이 일단에 형성되고, 분리된 웨이퍼가 상부에 놓여져서 슬라이딩할 수 있도록 설치된 제 1 미끄럼판(210-1)과, 제 1 미끄럼판(210-1)이 회전을 할 수 있도록 제 1 미끄럼판(210-1)의 하부에 설치된 회전 조인트(240)와, 제 1 미끄럼판(210-1)이 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅한 후, 회전에 의하여 위로 젖혀졌을 때, 제 1 미끄럼판(210-1)과 동일 평면이 되어 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 제 1 미끄럼판(210-1)에 이어서 웨이퍼 카세트까지 슬라이딩하여 삽입할 수 있도록 소정의 각도로 기울어져서 고정 설치된 제 2 미끄럼판(210-2)과, 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 양쪽 가장자리로 이탈하지 않도록, 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 양쪽 가장자리에 각각 부착 설치된 'ㄱ'자 형태의 웨이퍼 이탈 방지 리브(220-1, 220-2)와, 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 하부에 각각 설치된 초순수 분사 장치(230-1, 230-2)와, 초순수 분사 장치(230-1, 230-2)와 연결되어, 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 표면으로 초순수를 분사하도록 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 표면에 각각 설치된 초순수 분사구(231-1, 231-2)를 포함하는 것이 특징이다.
여기에서, 제 1 미끄럼판(210-1)에 설치된 웨이퍼 이탈 방지 리브(220-1)는 제 1 미끄럼판(210-1)에서 웨이퍼가 도입되는 부분에서, 두 부분으로 분리되어 일정 간격 이격 설치되어, 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅시켜 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부로 웨이퍼가 도입 될 때, 제 1 미끄럼판(210-1)이 휘어지도록 형성된 것이 바람직하다. 그리고, 제 1 미끄럼판(210-1)은 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 분리되어 일정 간격 이격 설치된 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 제 2 실시예를 사용하여 블록에 마운팅 되어 있는 웨이퍼를 분리하여 웨이퍼 카세트에 삽입하는 과정을 살펴보면, 도 5a 내지 도 5d에 도시된 바와 같다.
먼저, 블럭(B)에 고정되어 있는 웨이퍼(W)를 분리하기 위하여, 도 5a에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 분리용 칼날(10)을 본 발명의 제 2실시예가 설치된 쪽의 반대편에서 웨이퍼(W)와 블럭(B) 사이에 밀어 넣으면서, 동시에 본 발명의 제 2 실시예인 웨이퍼 디마운트 장치의 제 1미끄럼판(210-1)을 블럭(B)에 고정된 웨이퍼(W) 쪽으로 기울여서, 웨이퍼 분리 날(211)을 블럭(B)에 고정된 웨이퍼(W)의 하단으로 밀어 넣음으로서, 블럭(B)에 고정된 웨이퍼(W)를 블럭(B)으로부터 분리시킨다. 이 때, 제 2 미끄럼판(210-2)은 웨이퍼 카세트(300)의 안착용 홈(301)의 중심선과 일치하도록 기울어 진 상태로 고정 설치되어 있다.
그 후, 도 5b 에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 분리용 칼날(10)을 이용해 블럭(B)으로부터 분리된 웨이퍼(W)를 본 발명의 제 2실시예 쪽으로 계속 밀면서, 웨이퍼(W)를 본 발명의 제 2 실시예의 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부면으로 이동시킨다.
이 때, 제 1 미끄럼판(210-1)에 부착 설치된 웨이퍼 이탈 방지 리브(220-1)는 제 1 미끄럼판(210-1)에 웨이퍼(W)가 도입되는 부분에서, 일정 간격 분리 이격되어 설치됨으로서, 블럭(B)에 고정된 웨이퍼를 디마운팅시켜 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부로 웨이퍼(W)가 도입 될 때, 제 1 미끄럼판(210-1)이 소정의 각도(θ)로 휘어지도록 형성되었기 때문에, 웨이퍼(W)가 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부로 도입되는 과정에서, 웨이퍼(W)의 가장자리 부분만이 제 1 미끄럼판(210-1)과 점 접촉을 한 상태로 도입된다. 따라서, 웨이퍼(W)가 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부로 도입되는 과정에서 웨이퍼(W)의 하부면이 제 1 미끄럼판(210-1)과 접촉하지 않으면서 도입되므로, 웨이퍼(W)의 하부면에 스크래치 등의 불량이 발생할 수 있는 위험을 방지 할 수 있는 것이다.
그리고, 제 1 미끄럼판(210-1)은 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 일정 간격 분리 이격되어 설치되어 있음으로서, 웨이퍼(W)가 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부로 도입되는 과정에서 웨이퍼(W)의 가장자리와 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부면이 점접촉하는 부분은, 도 3 에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W) 가장자리의 중심 부분(A1)이 아닌 양쪽 대각 위치의 부분(A2)으로 두 부분이 된다. 따라서, 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부로 웨이퍼(W)가 도입되는 과정에서 도 3 에 도시된 A2의 두 부분이 제 1 미끄럼판(210-1)과 점접촉을 한 상태로 도입이 되므로, 웨이퍼(W) 가장자리의 중심부분(A1)의 한 부분만이 점접촉을 하여 도입되는 것보다 마찰력을 훨씬 적게 받는 것이다. 즉, 웨이퍼(W) 도입 과정에서 마찰력 감소에 의하여 웨이퍼(W)의 손상을 줄일 수 있는 것이다.
도 5b 에서와 같이 웨이퍼(W)를 미끄럼판(110)의 상부로 이동시킨 후에는, 도 5c 에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 카세트(300)의 웨이퍼 안착용 홈(301)의 중심선과 일치하도록 일정한 각도로 기울어져서 고정 설치되어 있는 제 2 미끄럼판(210-2)과 제 1 미끄럼판(210-1)을 동일 평면으로 만들기 위하여 제 1 미끄럼판(210-1)을 회전시킨다.
이 후, 도 5d 에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 하부에 설치된 초순수 분사 장치(230-1, 230-2)를 작동시켜 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 표면에 설치된 초순수 분사구(231-1, 231-2)를 통하여 초순수를 분사함으로서, 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부에 놓여진 웨이퍼(W)의 하부면에 수막(D)을 형성시킨다. 즉, 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부면과 웨이퍼(W)의 하부면 사이에 형성된 수막(D)에 의하여 제 1 미끄럼판(210-1)의 상부에 놓여진 웨이퍼(W)는 수막(D)의 형성 두께만큼 제 1 미끄럼판(210-1)으로부터 이격되고, 이 때, 제 1 미끄럼판(210-1)은 제 2 미끄럼판(210-2)을 향하여 기울어져 있는 상태이며, 수막(D)에 의하여 웨이퍼(W) 하부면과 제 1 미끄럼판(210-1) 상부면 사이의 마찰력은 거의 사라진 상태이므로, 웨이퍼(W)가 자유낙하를 통하여 슬라이딩하여 제 2 미끄럼판(210-2)으로 슬라이딩하게 된다. 이 때, 제 2 미끄럼판(210-2)의 상부면 또한 초순수 분사구(231-2)를 통하여 분사된 초순수에 의하여 수막(D)이 형성되어 있는 상태이기 때문에, 제 1 미끄럼판(210-1)을 통하여 슬라이딩된 웨이퍼(W)는 제 2 미끄럼판(210-2)을 통하여 웨이퍼 카세트(300)까지 슬라이딩하여 자동으로 삽입하게 되는 것이다. 따라서, 웨이퍼(W)가 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)을 통하여 웨이퍼 카세트(300)까지 슬라이딩을 함에 있어서, 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 상부면과 웨이퍼(W)의 하부면 사이에 형성된 수막(D)을 따라 슬라이딩을 하게 되므로, 웨이퍼(W)의 하부면과 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 상부면 사이에 직접적인 접촉이 없어져, 웨이퍼(W)의 하부면에 스크래치 등이 발생하지 않으면서 제 1 및 제 2 미끄럼판(210-1, 210-2)의 상부면을 슬라이딩할 수 있게 되는 것이다.
블럭(B)으로부터 분리된 웨이퍼(W)를 상술한 바와 같은 작동에 의하여 웨이퍼 카세트(300)에 삽입을 시킨 후에는, 다시 블럭(B)에 고정된 웨이퍼를 분리하기 위하여 도 5a에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 분리날(211) 쪽이 블럭(B)에 고정된 웨이퍼 쪽으로 향하도록 제 1 미끄럼판(210-1)을 기울여서 상술한 작동을 반복하여 블럭(B)에 마운팅(mounting)되어 있는 웨이퍼(W)를 연속적으로 디마운팅(demounting)시켜 웨이퍼 카세트(300)에 삽입시킬 수 있는 것이다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리 범위는 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리 범위에 속하는 것이다.
본 발명은 블럭에 고정된 웨이퍼를 분리하여 웨이퍼 카세트에 삽입함에 있어서, 웨이퍼에 스크래치 등의 불량 발생 요소를 제거한 웨이퍼 디마운트 장치를 제공하였다.
도 1a는 본 발명의 제 1 실시예의 상면도.
도 1b는 본 발명의 제 1 실시예의 정면도.
도 1c는 본 발명의 제 1 실시예의 좌측면도.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 제 1실시예의 작동을 나타낸 개략적인 설명도.
도 3는 본 발명인 웨이퍼 디마운트 장치의 상부에 올려지는 웨이퍼의 상면도.
도 4a는 본 발명의 제 2 실시예의 상면도.
도 4b는 본 발명의 제 2 실시예의 정면도.
도 4c는 본 발명의 제 2 실시예의 좌측면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 제 2 실시예의 작동에 따른 개략적인 설명도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
110, 210-1, 210-2 : 미끄럼판 111, 211 : 웨이퍼 분리날
120, 220-1, 220-2 : 웨이퍼 이탈 방지 리브 130, 230-1, 230-2 : 초순수 분사 장치
131, 231-1, 231-2 : 초순수 분사구 140, 240 : 회전 조인트
141, 241 : 회전축 In : 웨이퍼 인입구
Out : 웨이퍼 배출구 10 : 웨이퍼 분리용 칼날
W : 웨이퍼 B : 블록
D : 수막
300 : 웨이퍼 카세트 301 : 웨이퍼 삽입 홈
A1, A2 : 웨이퍼 접촉 면

Claims (6)

  1. 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅 시킬 수 있도록 끝단이 날카로운 웨이퍼 분리날이 일단에 형성되고, 상기 분리된 웨이퍼가 상부에 놓여져서 슬라이딩하여 웨이퍼 카세트에 삽입 할 수 있도록 설치된 미끄럼판과;
    상기 미끄럼판이 상기 미끄럼판의 하부에 설치된 회전축을 중심으로 회전이 가능하도록 상기 미끄럼판의 하부에 형성된 회전 조인트와;
    상기 미끄럼판의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 상기 미끄럼판의 양쪽 가장자리로 이탈하지 않도록, 상기 미끄럼판의 양쪽 가장자리에 부착 설치된 'ㄱ' 자 형태의 웨이퍼 이탈 방지 리브와;
    상기 미끄럼판의 하부에 설치된 초순수 분사 장치와;
    상기 초순수 분사 장치와 연결되어, 상기 미끄럼판의 표면으로 초순수를 분사하도록 상기 미끄럼판의 표면에 설치된 초순수 분사구를 포함하는 것이 특징인 웨이퍼 디마운트 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 이탈 방지 리브는 상기 미끄럼판에 웨이퍼가 도입되는 부분에서, 두부분으로 분리되어, 일정 간격으로 이격 설치됨으로서,
    상기 블록에 고정된 웨이퍼를 디마운팅시켜 상기 미끄럼판의 상부로 상기 웨이퍼가 도입 될 때, 상기 미끄럼판이 휘어질 수 있도록 형성된 것이 특징인 웨이퍼 디마운트 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 미끄럼판은 상기 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 분리되어 일정 간격으로 이격 설치된 것이 특징인 웨이퍼 디마운트 장치.
  4. 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅 시킬 수 있도록 끝단이 날카로운 웨이퍼 분리날이 일단에 형성되고, 상기 분리된 웨이퍼가 상부에 놓여져서 슬라이딩할 수 있도록 설치된 제 1 미끄럼판과;
    상기 제 1 미끄럼판이 회전을 할 수 있도록 상기 제 1 미끄럼판의 하부에 설치된 회전 조인트와;
    상기 제 1 미끄럼판이 상기 블럭에 고정된 웨이퍼를 디마운팅한 후, 회전에 의하여 위로 젖혀졌을 때, 상기 제 1 미끄럼판과 동일 평면이 되어 상기 제 1 미끄럼판의 상부에서 슬라이딩하는 상기 웨이퍼가 제 1 미끄럼판에 이어서 슬라이딩하여 웨이퍼 카세트에 삽입할 수 있도록 소정의 각도로 기울어져서 고정 설치된 제 2 미끄럼판과;
    상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 상부에서 슬라이딩하는 웨이퍼가 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 양쪽 가장자리로 이탈하지 않도록, 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 양쪽 가장자리에 각각 부착 설치된 'ㄱ'자 형태의 웨이퍼 이탈 방지 리브와;
    상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 하부에 각각 설치된 초순수 분사 장치와;
    상기 초순수 분사 장치와 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 표면으로 초순수를 분사하도록 상기 제 1 및 제 2 미끄럼판의 표면에 각각 설치된 초순수 분사구를 포함하는 것이 특징인 웨이퍼 디마운트 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1 미끄럼판에 설치된 웨이퍼 이탈 방지 리브는 상기 제 1 미끄럼판에서 웨이퍼가 도입되는 부분에서 두부분으로 분리되어 일정 간격으로 이격 설치되어,
    상기 블록에 고정된 웨이퍼를 디마운팅시켜 상기 제 1 미끄럼판의 상부로 상기 웨이퍼가 도입 될 때, 상기 제 1 미끄럼판이 휘어지도록 형성된 것이 특징인 웨이퍼 디마운트 장치.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1 미끄럼판은 상기 웨이퍼가 도입되어 슬라이딩하는 방향으로 중앙 부분이 분리되어 일정 간격 이격 설치된 것이 특징인 웨이퍼 디마운트 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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