KR100487204B1 - Microwave dielectric ceramic composition and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

우수한 유전 상수 및 품질 계수를 가지면서도 비교적 낮은 온도에서도 소결 가능한 고주파용 BMT 조성물 및 그 제조 방법이 개시된다. 상기 유전체 조성물은 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ(0.01<x<0.03, 0.01<y<0.03, 0<δ<1)의 화학 조성을 갖는다. 상기 유전체 조성물은 위성 통신에 사용하기에 적합한 유전율 및 작은 공진 주파수의 온도 계수를 나타내며, 유전 손실의 척도인 품질 계수(Q×f)의 값은 기존 유전체의 경우 보다 훨씬 우수한 특성을 가진다.Disclosed are a high frequency BMT composition and a method for producing the same, which have excellent dielectric constant and quality factor and are sinterable even at relatively low temperatures. The dielectric composition has a chemical composition of Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ (0.01 <x <0.03, 0.01 <y <0.03, 0 <δ <1). The dielectric composition exhibits a temperature coefficient of dielectric constant and small resonant frequency suitable for use in satellite communication, and the value of the quality factor (Q × f), which is a measure of dielectric loss, is much better than that of conventional dielectrics.

Description

고주파용 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조 방법{Microwave dielectric ceramic composition and method for manufacturing the same}High frequency dielectric ceramic composition and method for manufacturing same

본 발명은 저손실 고주파용 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 우수한 유전 상수 및 품질 계수를 가지면서도 비교적 낮은 온도에서도 소결 가능한 고주파용 BMT 조성물 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a low loss high frequency dielectric ceramic composition and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a high frequency BMT composition capable of sintering at a relatively low temperature while having excellent dielectric constant and quality factor.

최근 통신 기술의 발달과 더불어 마이크로파 대역에서 작동하는 소자에 대한 관심이 증가하고 있다. 마이크로파는 라디오나 텔레비전 방송의 송ㆍ수신에 사용되는 ㎑ 내지 ㎒ 대역의 주파수를 가지는 라디오파(radio wave)에 비하여 상대적으로 짧은 파장을 갖기 때문에 광대역폭과 높은 수취ㆍ방향성을 필요로 하는 안테나에 이용할 수 있으므로 휴대 전화 또는 차량 전화 등의 이동 통신이나 고주파 디지털(digital) 통신 또는 위성 통신 등에 적용할 수 있다. Recently, with the development of communication technology, interest in devices operating in the microwave band is increasing. Microwaves have a relatively short wavelength compared to radio waves with frequencies of ㎑ to ㎒, which are used for transmitting and receiving radio and television broadcasts. Therefore, microwaves are used for antennas that require wide bandwidth and high reception and directivity. Therefore, the present invention can be applied to mobile communication such as a mobile phone or a vehicle phone, high frequency digital communication or satellite communication.

현재 고주파 통신 장치의 개발은 부품의 소형화, 박형화, SMD(Surface Mount Device)화, 고성능 고주파화 및 저전압 저전력화 등을 추구하는 방향으로 추진되고 있으며, 이와 같은 목적 하에서 저렴하고 견고하며 높은 온도 안정성을 갖는 동시에 저전압에서 동작하는 유전체 공진기가 대역통과 필터, 듀플렉서(duplexer), 전압 제어 발진기(VCO) 등에 다양하게 연구 및 개발되고 있다. Currently, the development of high frequency communication devices has been pursued in the direction of miniaturization, thinning, surface mount device (SMD), high performance high frequency, and low voltage and low power. Dielectric resonators, which operate at low voltages while operating at low voltages, have been researched and developed in various ways such as bandpass filters, duplexers, and voltage controlled oscillators (VCOs).

통상적으로 고주파 대역(high-frequency region)에 적용할 수 있는 유전체로는 Ba(Zn1/3 Ta2/3)O3(BZT)나 Ba(Mg1/3 Ta2/3)O 3(BMT)의 실험식으로 대표되는 BaO-ZnO-Ta2O5 또는 BaO-MgO-Ta2O5가 주로 사용되고 있다. 상기 고주파용 유전체는 대체로 유전율(εr), 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)라는 세 요소가 소자의 특성을 좌우하게 되며, 고주파용 유전체는 고주파 대역에서 높은 유전율, 공진 주파수의 온도 안정성 및 높은 품질 계수 등을 가질 것이 요구되는 바, 근래 들어서는 가장 우수한 유전 특성을 갖는 Ba(B'1/3 B"2/3)O3로 표현되는 Ba계 복합 페로브스카이트(complex perovskite)가 품질 계수 및 공진 주파수의 온도 계수 면에서 다른 물질보다 훨씬 우수한 특성을 보이기 때문에 고주파용 유전체의 재료로서 활발하게 연구되고 있다. 특히, Ba(Mg1/3 Ta2/3)O3(BMT)는 약 25 정도의 유전율, 10㎓의 주파수에서 약 20000 정도의 품질 계수 및 거의 0에 가까운 공진 주파수 온도 계수를 가짐으로써 SHF(Super High Frequency) 대역의 고주파 통신 부품용 소재로서 관심이 집중되고 있다.Conventional dielectrics that can be applied to high-frequency regions include Ba (Zn 1/3 Ta 2/3 ) O 3 (BZT) or Ba (Mg 1/3 Ta 2/3 ) O 3 (BMT BaO-ZnO-Ta 2 O 5 or BaO-MgO-Ta 2 O 5 typified by the empirical formula of) is mainly used. The high frequency dielectric generally has three factors, the dielectric constant (ε r ), the quality factor (Q × f), and the temperature coefficient (T cf ) of the resonant frequency. The high frequency dielectric material has a high dielectric constant in the high frequency band. It is required to have a temperature stability of the resonant frequency and a high quality factor, etc. In recent years, a Ba-based composite perovskite represented by Ba (B ' 1/3 B " 2/3 ) O 3 having the best dielectric properties. Since complex perovskite shows much better properties than other materials in terms of quality factor and temperature coefficient of resonance frequency, it is actively studied as a material for high frequency dielectrics, especially Ba (Mg 1/3 Ta 2/3 ). O 3 (BMT) is the dielectric constant at a frequency of about 25 10㎓ of about 20,000 and degree of quality factor substantially by having near the resonance frequency temperature coefficient to 0 SHF (Super High frequency) of interest as a material for high-frequency components of the band Focus has been.

상술한 바와 같은 BMT를 사용한 유전체 조성물과 그 제조 방법 및 이를 이용한 유전체 공진기의 제조 방법이 Hitoshi Yokoi 등에게 허여된 미합중국 특허 제 6,117,806호에 개시되어 있다. 상기 미국특허에 있어서, BaCO3, Ta2O5 및 MgO의 혼합 분말에 에탄올(ethanol)을 첨가하고 볼 밀(ball mill)을 이용하여 습식 분쇄한 다음, 얻어진 슬러리(slurry)를 1,100℃에서 2시간 정도 하소한다. 이어서, 분산제를 첨가하고 다시 분쇄한 후, 성형 공정을 거친 다음 1600℃ 정도에서 소결하여 유전체 시편을 제작한다. 그러나, BMT가 높은 품질 계수를 갖도록 하기 위해서 이와 같은 고온의 공정을 거칠 경우에는 그 제조 비용이 지나치게 높아지기 때문에 상기 공정을 적용하기에는 현실적으로 어려움이 있다.A dielectric composition using BMT as described above, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing a dielectric resonator using the same are disclosed in US Pat. No. 6,117,806 to Hitoshi Yokoi et al. In the U.S. patent, ethanol was added to a mixed powder of BaCO 3 , Ta 2 O 5 and MgO, and wet pulverized using a ball mill, and then the slurry was obtained at 1,100 ° C. Calculate time. Subsequently, a dispersant is added and pulverized again, and then subjected to a molding process, followed by sintering at about 1600 ° C. to prepare a dielectric specimen. However, when the BMT undergoes such a high temperature process in order to have a high quality factor, the manufacturing cost thereof is excessively high, which makes it difficult to apply the process.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 국내 공개특허공보 제 2000-49524호에는 비교적 저온에서 BMT를 소결하여 유전체를 제조하는 저손실 고주파 유전체 조성물 및 그 제조 방법이 개시되어 있다. 상기 국내 특허에 의하면, BaCO3, Ta2O5 및 MgO를 반응시켜 얻어진 BMT 분말과 BaCO3 및 Ta2O5를 약 1100∼1200℃에서 반응시켜 얻어진 BaO-Ta2O5 이원계 화합물을 소정의 비율로 혼합한 후, 약 1400∼1600℃에서 소결하여 유전체 조성물을 제조한다. 그러나, 이와 같이 유전체 조성물을 성형할 경우에도 BaO-Ta2O5 이원계 화합물을 마련해야 하는 별도의 공정이 요구되기 때문에 유전체의 제조 비용과 시간이 증가하여 실질적으로는 공정 상의 이점이 크게 대두되지 않는다.In order to solve this problem, Korean Laid-Open Patent Publication No. 2000-49524 discloses a low loss high frequency dielectric composition and a method of manufacturing the same, which manufacture a dielectric by sintering BMT at a relatively low temperature. According to the domestic patent, a BMT powder obtained by reacting BaCO 3 , Ta 2 O 5 and MgO and a BaO-Ta 2 O 5 binary compound obtained by reacting BaCO 3 and Ta 2 O 5 at about 1100 to 1200 ° C. After mixing in proportion, it is sintered at about 1400-1600 ° C. to prepare a dielectric composition. However, even when molding the dielectric composition, since a separate process of preparing a BaO-Ta 2 O 5 binary compound is required, the manufacturing cost and time of the dielectric are increased, so the practical advantages are not large.

전술한 문제점을 해결하기 위하여 두 단계로 나누어 BMT의 하소를 진행하는 방법이나 MgO를 첨가하지 않거나 Ba를 과량 첨가하는 등과 같은 비화학양론적 조성을 사용함으로써 BMT의 소결 온도를 낮추거나 유전 특성을 향상시키려는 방법이 시도되고 있다. In order to solve the above problems, it is necessary to reduce the sintering temperature or improve the dielectric properties of the BMT by using a non-stoichiometric composition such as calcination of BMT in two steps or no addition of MgO or excessive addition of Ba. The method is being tried.

따라서, 본 발명의 일 목적은 우수한 유전 상수 및 품질 계수를 가지면서도 비교적 낮은 온도에서 소결 가능한 고주파용 BMT계 유전체 조성물을 제공하는 것이다. Accordingly, one object of the present invention is to provide a high frequency BMT dielectric composition capable of sintering at a relatively low temperature while having excellent dielectric constant and quality factor.

본 발명의 다른 목적은 우수한 유전 상수 및 품질 계수를 가지면서도 낮은 온도에서 소결할 수 있는 고주파용 BMT계 유전체 조성물에 특히 적합한 고주파용 BMT계 유전체 조성물의 제조 방법을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a method for producing a high frequency BMT based dielectric composition which is particularly suitable for high frequency BMT based dielectric compositions capable of sintering at low temperatures while having excellent dielectric constant and quality factor.

상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, 화학식 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ(여기서, 0.01<x<0.03 0.01<y<0.03 0<δ<1)에 따른 BMT계 고주파용 유전체 조성물이 제공된다.According to the present invention in order to achieve the above object of the present invention, the formula Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ (where 0.01 <x <0.03 0.01 <y There is provided a BMT-based high frequency dielectric composition according to &lt; 0.03 0 &lt;

바람직하게는, 상기 유전체 조성물은 MgO와 Ta2O5로 이루어진 MgTa(2+y)O 6+δ및 BaCO3를 포함하며, 상기 MgTa(2+y)O6+δ는 MgO와 Ta2O5 를 약 1100∼1200℃의 온도에서 약 2∼12 시간 동안 반응시켜 제조된다. 이 경우, BMT계 고주파용 유전체 조성물은 상기 MgTa(2+y)O6+δ및 BaCO3를 약 1100∼1200℃의 온도에서 약 2∼12 시간 동안 반응시켜 제조되며, 약 1500∼1650℃의 온도에서 소결되어 약 150,000∼230,000의 품질 계수를 가진다.Preferably, the dielectric composition comprises MgTa (2 + y) O 6 + δ and BaCO 3 consisting of MgO and Ta 2 O 5 , wherein MgTa (2 + y) O 6 + δ is MgO and Ta 2 O 5 is prepared by reacting at a temperature of about 1100 to 1200 ° C. for about 2 to 12 hours. In this case, the BMT-based high frequency dielectric composition is prepared by reacting the MgTa (2 + y) O 6 + δ and BaCO 3 for about 2 to 12 hours at a temperature of about 1100 ~ 1200 ℃, about 1500 ~ 1650 ℃ Sintered at temperature has a quality factor of about 150,000-230,000.

또한, 상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, MgO 및 Ta2O5를 반응시켜 MgTa(2+y)O6+δ(0.01<y<0.03, 0<δ<1)분말을 형성하는 단계, 상기 MgTa(2+y)O6+δ분말 및 BaCO3를 반응시켜 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ(0.01<x<0.03)분말을 형성하는 단계, 그리고 상기 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말을 소결하는 단계를 포함하는 BMT계 고주파용 유전체 조성물의 제조 방법이 제공된다.In addition, according to the present invention in order to achieve the above-described other object of the present invention, by reacting MgO and Ta 2 O 5 MgTa (2 + y) O 6 + δ (0.01 <y <0.03, 0 <δ <1) Forming a powder, reacting the MgTa (2 + y) O 6 + δ powder and BaCO 3 Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) 0 3 + δ (0.01 <x <0.03) forming a powder, and sintering the Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder This is provided.

바람직하게는, 상기 MgTa(2+y)O6+δ분말은 상기 MgO와 Ta2O5를 평량한 후, 약 1100∼1200℃의 온도에서 약 2∼12 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 형성되며, 상기 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말은 상기 MgTa(2.01)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 후, 약 1100∼1200℃의 온도에서 약 2∼11 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 형성된다. 이 때, 상기 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말을 소결하는 단계는 약 1500∼1650℃의 온도에서 약 5∼10 시간 동안 수행된다.Preferably, the MgTa (2 + y) O 6 + δ powder is formed by synthesizing the phase by reacting the MgO and Ta 2 O 5 for about 2 to 12 hours at a temperature of about 1100 ~ 1200 ℃ The Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder is weighed about 1100 to 1200 ° C. after the MgTa (2.01) O 6 + δ powder and BaCO 3 are weighed. It is formed by synthesizing the phases by reacting at a temperature of about 2 to 11 hours. At this time, the step of sintering the Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder is performed at a temperature of about 1500 to 1650 ° C. for about 5 to 10 hours.

본 발명에 따르면, 먼저 Ta2O5를 과량 첨가하여 MgTa(2+y)O6+δ를 제조한 다음, BaCO3를 과량 첨가하여 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ를 제조함으로써, 약 1500℃ 정도의 저온에서도 우수한 유전 특성을 갖는 BMT 분말의 소결이 가능하기 때문에, 종래의 경우에 비하여 훨씬 저렴한 비용으로 BMT계 유전체 조성물을 제조할 수 있다. 또한, Ba(Mg1/3 Ta2/3)O3의 조성을 두 단계를 거쳐 하소하여 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ로 나타내어지는 조성으로 제조할 수 있기 때문에 BMT 유전체의 장점인 높은 품질 계수 값 및 안정한 공진 주파수의 온도 계수 등을 그대로 유지하면서 낮은 온도에서도 소결이 가능하다.According to the present invention, MgTa (2 + y) O 6 + δ is prepared by first adding an excess of Ta 2 O 5 , and then Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) by adding an excess of BaCO 3 . / 3) by preparing an O 3 + δ, because it can be sintered in BMT powder having excellent dielectric characteristics even at a low temperature of about 1500 ℃, at a much lower cost than the conventional case can be produced BMT-based dielectric compositions . In addition, the composition of Ba (Mg 1/3 Ta 2/3 ) O 3 is calcined in two steps to obtain a composition represented by Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ . Since it can be manufactured, it is possible to sinter even at low temperatures while maintaining the high quality coefficient value and the temperature coefficient of stable resonance frequency, which are advantages of the BMT dielectric material.

BMT는 지금까지 개발된 마이크로파 유전체 가운데 가장 높은 품질 계수를 가지므로 위성 통신과 같이 마이크로파 영역에서 작동하여야하는 통신 시스템에 적합한 재료이다. 또한, BMT는 B-site 규칙화를 하는 재료로 알려져 있으며, 규칙화 전에는 입방정(cubic) 페로브스카이트 구조를, 규칙화 후에는 육방정(hexagonal) 페로브스카이트 구조를 가지게 된다. 이러한 B자리의 이온들의 규칙화는 마이크로파 특성 향상에 매우 중요한 역할을 하기 때문에 이에 대하여 많은 연구가 진행중이다. 그러나, Ba계 복합 페로브스카이트의 특징인 높은 소결 온도와 전술한 규칙화를 위하여 비교적 고온에서 긴 시간 동안 열처리 과정이 요구되기 때문에 향후 이에 대한 개선이 요망된다.Since BMT has the highest quality factor among microwave dielectrics developed so far, it is a suitable material for communication systems that must operate in the microwave region such as satellite communication. In addition, BMT is known as a material for B-site regularization, and has a cubic perovskite structure before regularization and a hexagonal perovskite structure after regularization. Since the ordering of these B sites ions plays a very important role in improving the microwave properties, much research is being conducted. However, since the heat treatment process is required for a long time at a relatively high temperature for the high sintering temperature and the above-mentioned regularization characteristic of the Ba-based composite perovskite is desired improvement in the future.

본 발명에 따른 고주파 유전체 조성물의 제조 방법은 MgTa(2+y)O6+δ분말을 제조하는 공정, 제조된 MgTa(2+y)O6+δ분말을 사용하여 BMT 분말을 제조하는 공정 그리고 제조된 BMT 분말을 가압 성형한 다음 소결하는 공정 등의 크게 세 단계의 공정으로 구분될 수 있다.Production method of a high-frequency dielectric material composition according to the invention MgTa (2 + y) O 6 + (2 + y) δ step of preparing a powder, manufactured MgTa O 6 + δ step of preparing a BMT powder using a powder and The BMT powder may be divided into three steps, such as pressing and sintering the prepared BMT powder.

먼저, MgTa(2+y)O6+δ분말을 제조하는 공정에 있어서, 초기 원료인 MgO와 Ta2 O5 를 조성에 맞게 평량한 다음, 약 1100∼1300℃ 정도의 온도, 바람직하게는 약 1200℃의 온도에서 약 2∼12 시간 정도 반응시켜 상을 합성함으로써 MgTa(2+y)O6+δ분말을 제조하였다. 이 경우, 0.001<y<0.003이 되며, 0<δ<1이 된다.First, in the process of preparing MgTa (2 + y) O 6 + δ powder, MgO and Ta 2 O 5 as initial raw materials are weighed to suit the composition, and then the temperature is about 1100 to 1300 ° C., preferably about MgTa (2 + y) O 6 + δ powder was prepared by synthesizing the phase by reacting at a temperature of 1200 ° C. for about 2 to 12 hours. In this case, 0.001 <y <0.003, and 0 <δ <1.

다음으로, 제조된 MgTa(2+y)O6+δ분말을 사용하여 BMT 분말을 제조하는 공정에 있어서는, MgTa(2+y)O6+δ분말과 BaCO3를 적절한 조성으로 평량한 다음, 약 1100℃∼1200℃ 정도의 온도에서 약 2∼12시간 동안 반응시켜 상을 합성함으로써 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말을 제조하였다. 여기서, 0.01<x<0.03이 된다.And then to, in using the produced MgTa (2 + y) O 6 + δ powder for producing a BMT powder process, the basis weight of the MgTa (2 + y) O 6 + δ powder and BaCO 3 in an appropriate composition, and then, Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder was prepared by synthesizing the phase by reacting at a temperature of about 1100 ° C. to 1200 ° C. for about 2 to 12 hours. Here, 0.01 <x <0.03.

그리고, 제조된 BMT 분말을 가압 성형한 후, 약 1500℃∼1650℃ 정도의 온도에서 소성하여 고주파용 유전체 조성물을 제조하였다. Then, the prepared BMT powder was press-molded and then fired at a temperature of about 1500 ° C to 1650 ° C to prepare a dielectric composition for high frequency.

본 발명에 따르면, Ta2O5를 과량 첨가하여 MgTa(2+y)O6+δ를 먼저 제조한 다음, 여기에 BaCO3를 과량 첨가하여 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ를 제조하기 때문에 비교적 저온인 약 1500℃ 정도의 온도에서 BMT 분말의 소결이 가능하다.In accordance with the present invention, Ta 2 by the addition of excess O 5 MgTa (2 + y) O 6 + δ for preparing a first, and then here the excess addition of BaCO 3 Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2+ Since y) / 3 ) O 3 + δ is produced, the BMT powder can be sintered at a temperature of about 1500 ° C. at a relatively low temperature.

본 발명에 따라 제조된 고주파용 유전체 조성물은 약 1500℃ 정도의 소결 온도에서도 약 97% 이상의 소결 밀도를 가지며, 약 150,000GHz 이상의 품질 계수(Q×f)를 나타내었다. 특히, BMT 분말의 몰비에 따라 약 1650℃ 정도의 온도에서 소결 하였을 경우에는 230,000GHz 정도의 우수한 품질 계수를 나타내었다. 이와 같은 뛰어난 품질 계수 값은 종래의 BMT계 유전체들에 비하여 약 30,000GHz 정도 높은 값으로서 기존의 유전체 제품 보다 매우 우수한 특성을 나타내는 것이다. 또한, 본 발명에 따른 고주파용 유전체 조성물은 약 1500℃ 정도의 온도로 소성 온도를 낮추어 소결한 경우도 약 150,000GHz 이상의 우수한 품질 계수 값을 나타내었다.The high frequency dielectric composition prepared according to the present invention has a sintered density of about 97% or more even at a sintering temperature of about 1500 ° C., and exhibits a quality factor (Q × f) of about 150,000 GHz or more. In particular, when sintered at a temperature of about 1650 ℃ depending on the mole ratio of BMT powder showed an excellent quality factor of about 230,000GHz. This excellent quality factor value is about 30,000 GHz higher than that of conventional BMT dielectrics, which is much better than conventional dielectric products. In addition, the high-frequency dielectric composition according to the present invention exhibited excellent quality factor values of about 150,000 GHz or more even when the firing temperature was lowered to a temperature of about 1500 ° C.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 Ba(Mg1/3 Ta2/3)O3의 조성을 두 단계를 거쳐 하소함으로써 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ로 나타내어지는 조성으로 제조하기 때문에 BMT 유전체의 장점인 높은 품질 계수 값 및 안정한 공진 주파수의 온도 계수 등을 그대로 유지하면서 낮은 온도에서도 소결이 가능하다.As described above, according to the present invention, Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 by calcining the composition of Ba (Mg 1/3 Ta 2/3 ) O 3 in two steps. Since it is manufactured with the composition represented by + δ , sintering is possible at low temperatures while maintaining the high quality coefficient value and the temperature coefficient of stable resonance frequency, which are advantages of the BMT dielectric material.

이하, 본 발명의 바람직한 실험예들을 통하여 본 발명에 따른 고주파 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조 방법을 상세하게 설명하지만 본 발명이 하기의 실험예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the high frequency dielectric ceramic composition and its manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to preferred examples of the present invention, but the present invention is not limited or limited by the following examples.

실험예 1Experimental Example 1

초기 원료인 MgO와 Ta2O5를 평량한 다음, 약 1200℃ 정도의 온도에서 약 5 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.01)O6+δ분말을 제조하였다. 이 때, 0<δ<1이었다.MgO and Ta 2 O 5 were initially weighed and then reacted at a temperature of about 1200 ° C. for about 5 hours to synthesize phases to prepare MgTa (2.01) O 6 + δ powder. At this time, it was 0 <δ <1.

이어서, 제조된 MgTa(2.01)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 다음 약 1190℃ 정도의 온도에서 약 8 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.01(Mg1/3 Ta(2.01)/3)O3+δ분말을 제조하였다.Subsequently, the prepared MgTa (2.01) O 6 + δ powder and BaCO 3 were weighed and then reacted at a temperature of about 1190 ° C. for about 8 hours to synthesize a phase, thereby obtaining Ba 1.01 (Mg 1/3 Ta (2.01) / 3 ) O 3 + δ powder was prepared.

다음으로, 제조된 Ba1.01(Mg1/3 Ta(2.01)/3)O3+δ분말을 가압 성형하여 4개의 시편( sample)을 만든 후, 각 시편을 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃에서 각기 약 5∼10 시간 동안 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 1, 시편 2, 시편 3 및 시편 4를 제작하였다.Next, four specimens were prepared by press molding the prepared Ba 1.01 (Mg 1/3 Ta (2.01) / 3 ) O 3 + δ powder, and then, each specimen was subjected to 1500 ° C., 1550 ° C., 1600 ° C. and Sintering was performed at 1650 ° C. for about 5 to 10 hours, respectively, to prepare specimens 1, 2, 3, and 4 for the high frequency dielectric composition.

다음의 표 1은 상기 시편 1 내지 4의 소결 온도, 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 그리고 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값을 나타낸 것이다. 표 1에서, 유전율(εr)과 품질 계수(Q×f)는 각기 TE11 공진 모드를 이용한 Hakki-Coleman 방법 및 공진기 섭동 방법을 이용하여 측정하였고, 공진 주파수의 온도 계수는 -30∼70까지의 변화를 고주파 회로 분석기를 이용하여 측정하여 나타내었다.Table 1 below shows the measured values of the sintering temperature, permittivity (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonance frequency of the specimens 1 to 4. In Table 1, the dielectric constant (ε r ) and the quality factor (Q × f) were measured using the Hakki-Coleman method and the resonator perturbation method using the TE11 resonant mode, respectively. The change is measured and shown using a high frequency circuit analyzer.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 1Psalm 1 15001500 24.524.5 97.097.0 150,000150,000 2.822.82 시편 2Psalm 2 15501550 24.524.5 97.397.3 160,000160,000 3.433.43 시편 3Psalm 3 16001600 24.524.5 97.897.8 168,000168,000 3.443.44 시편 4Psalm 4 16501650 24.524.5 98.398.3 167,000167,000 3.753.75

표 1에 나타낸 바와 같이, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 소성 온도에 따라 150,000∼167,000의 범위 내에서 증가하는 우수한 품질 계수를 가지며, 공진 주파수의 온도 계수도 2.82∼3.75 사이의 값을 나타내었다.As shown in Table 1, the dielectric composition according to the present experimental example had excellent quality coefficients increasing in the range of 150,000 to 167,000 depending on the firing temperature, and the temperature coefficient of the resonance frequency also showed a value between 2.82 and 3.75.

실험예 2Experimental Example 2

먼저, MgO와 Ta2O5를 평량한 다음, 약 1190℃ 정도의 온도에서 약 7 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.02)O6+δ분말을 제조하였다. 이 때, δ의 범위는 실험예 1의 경우와 동일하다.First, MgO and Ta 2 O 5 were weighed and then reacted at a temperature of about 1190 ° C. for about 7 hours to synthesize a phase to prepare MgTa (2.02) O 6 + δ powder. At this time, the range of δ is the same as in the case of Experimental Example 1.

제조된 MgTa(2.02)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 다음, 약 1190℃ 정도의 온도에서 약 6 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.01(Mg1/3 Ta(2.02)/3)O3+δ분말을 제조하였다.The MgTa (2.02) O 6 + δ powder prepared was weighed with BaCO 3 , and then reacted at a temperature of about 1190 ° C. for about 6 hours to synthesize a phase, thereby obtaining Ba 1.01 (Mg 1/3 Ta (2.02) / 3 ). O 3 + δ powder was prepared.

계속하여, 제조된 Ba1.01(Mg1/3 Ta(2.02)/3)O3+δ분말을 가압 성형하여 시편 5 내지 8을 제작한 후, 각 시편을 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 각기 약 5∼10 시간 동안 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 5 내지 8을 제조하였다.Subsequently, by pressing the prepared Ba 1.01 (Mg 1/3 Ta (2.02) / 3 ) O 3 + δ powder to prepare specimens 5 to 8, each specimen was subjected to 1500 ° C, 1550 ° C, 1600 ° C, and 1650. The high frequency dielectric composition specimens 5 to 8 were prepared by sintering at a temperature of about 5 to 10 hours, respectively.

하기의 표 2는 시편 5 내지 8의 소결 온도에 따른 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값을 나타낸 것이다. 이 때, 유전율, 품질 계수 및 공진 주파수의 온도 계수는 전술한 실험예 1과 동일한 방법으로 측정하였다.Table 2 below shows the measured values of the dielectric constant (ε r ), the density, the quality factor (Q × f), and the temperature coefficient (T cf ) of the resonant frequency according to the sintering temperature of the specimens 5 to 8. At this time, the dielectric constant, the quality factor and the temperature coefficient of the resonance frequency were measured in the same manner as in Experimental Example 1 described above.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 5Psalm 5 15001500 24.524.5 97.097.0 150,000150,000 2.832.83 시편 6Psalm 6 15501550 24.524.5 97.397.3 160,000160,000 3.463.46 시편 7Psalm 7 16001600 24.524.5 98.098.0 185,000185,000 3.433.43 시편 8Psalm 8 16501650 24.524.5 98.498.4 190,000190,000 3.793.79

상기 표 2를 참조하면, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 1500∼1650℃ 범위의 소결 온도에 따라 150,000∼190,000의 범위 내에서 증가하는 뛰어난 품질 계수를 갖는 동시에 공진 주파수의 온도 계수도 2.83∼3.79 사이의 우수한 값을 나타내었다.Referring to Table 2, the dielectric composition according to the present Experimental Example has an excellent quality coefficient which increases in the range of 150,000 to 190,000 according to the sintering temperature in the range of 1500 to 1650 ° C, and the temperature coefficient of the resonance frequency is also between 2.83 and 3.79 Excellent value of.

실험예 3Experimental Example 3

MgO와 Ta2O5를 평량한 후, 약 1185℃ 정도의 온도에서 약 8 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.03)O6+δ분말을 제조하였다. 이 때, δ의 범위는 실험예 1과 동일하다.After weighing MgO and Ta 2 O 5 , the reaction was performed at a temperature of about 1185 ° C. for about 8 hours to synthesize phases, thereby preparing MgTa (2.03) O 6 + δ powder. At this time, the range of δ is the same as in Experimental Example 1.

제조된 MgTa(2.03)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 다음, 약 1160℃ 정도의 온도에서 약 11 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.01(Mg1/3 Ta(2.03)/3)O3+δ분말을 제조하였다.The MgTa (2.03) O 6 + δ powder prepared was weighed with BaCO 3 , and then reacted at a temperature of about 1160 ° C. for about 11 hours to synthesize a phase. Ba 1.01 (Mg 1/3 Ta (2.03) / 3 ) O 3 + δ powder was prepared.

계속하여, 제조된 Ba1.01(Mg1/3 Ta(2.03)/3)O3+δ분말을 가압 성형하여 시편 9 내지 12를 제작한 후, 각 시편을 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 각기 5∼10 시간 동안 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 9 내지 12를 제조하였다.Subsequently, by pressing the prepared Ba 1.01 (Mg 1/3 Ta (2.03) / 3 ) O 3 + δ powder to prepare specimens 9 to 12, each specimen was subjected to 1500 ° C, 1550 ° C, 1600 ° C, and 1650. Sintering was performed at a temperature of 5 ° C. for 5 to 10 hours to prepare high frequency dielectric composition specimens 9 to 12.

하기의 표 3은 시편 9 내지 12의 소결 온도에 따른 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값이다. 이 경우, 유전율, 품질 계수 및 공진 주파수의 온도 계수의 측정 방법은 전술한 실험예 1과 동일하다.Table 3 below is a value obtained by measuring the dielectric constant (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonant frequency according to the sintering temperature of specimens 9 to 12. In this case, the measurement method of the dielectric constant, the quality factor, and the temperature coefficient of the resonance frequency is the same as in Experimental Example 1 described above.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 9Psalm 9 15001500 24.524.5 97.097.0 155,000155,000 2.842.84 시편 10Psalm 10 15501550 24.524.5 97.397.3 160,000160,000 3.453.45 시편 11Psalm 11 16001600 24.524.5 98.198.1 195,000195,000 3.463.46 시편 12Psalm 12 16501650 24.524.5 98.598.5 200,000200,000 3.763.76

상기 표 3에 나타낸 바와 같이, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 1500∼1650℃ 범위의 소결 온도에 따라 150,000∼200,000의 범위 내에서 대체로 실험예 1에 따른 시편들 보다 우수한 품질 계수를 가지며, 공진 주파수의 온도 계수도 2.84∼3.76 사이의 값을 나타내었다.As shown in Table 3, the dielectric composition according to the present Experimental Example has a better quality coefficient than the specimens according to Experimental Example 1 in the range of 150,000 to 200,000 according to the sintering temperature of 1500 to 1650 ℃ range, the resonance frequency The temperature coefficient of was also shown the value between 2.84 and 3.76.

실험예 4Experimental Example 4

먼저, MgO와 Ta2O5를 평량한 후, 약 1160℃ 정도의 온도에서 약 10 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.01)O6+δ분말을 제조하였다. 이 때, δ의 범위는 실험예 1과 동일하다.First, after weighing MgO and Ta 2 O 5 , and reacted for about 10 hours at a temperature of about 1160 ℃ to synthesize a phase to prepare a MgTa (2.01) O 6 + δ powder. At this time, the range of δ is the same as in Experimental Example 1.

제조된 MgTa(2.01)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 다음, 약 1180℃ 정도의 온도에서 약 9 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.02(Mg1/3 Ta(2.01)/3)O3+δ분말을 제조하였다.The MgTa (2.01) O 6 + δ powder prepared was weighed with BaCO 3 , and then reacted at a temperature of about 1180 ° C. for about 9 hours to synthesize a phase. Ba 1.02 (Mg 1/3 Ta (2.01) / 3 ) O 3 + δ powder was prepared.

계속하여, 제조된 Ba1.02(Mg1/3 Ta(2.01)/3)O3+δ분말을 가압 성형하여 시편 13 내지 16을 만든 후, 각 시편을 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 각기 5∼10 시간 동안 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 13 내지 16을 제조하였다.Subsequently, by pressing the prepared Ba 1.02 (Mg 1/3 Ta (2.01) / 3 ) O 3 + δ powder to make specimens 13 to 16, each specimen was subjected to 1500 ° C, 1550 ° C, 1600 ° C, and 1650 ° C. Sintering was carried out at a temperature of 5 to 10 hours for each to prepare high frequency dielectric composition specimens 13 to 16.

표 4는 시편 9 내지 12의 소결 온도에 따른 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값이다. 이 때, 유전율, 품질 계수 및 공진 주파수의 온도 계수의 측정 방법은 전술한 실험예 1과 동일하다.Table 4 shows measured values of permittivity (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonant frequency according to the sintering temperature of specimens 9 to 12. At this time, the measurement method of the dielectric constant, the quality factor and the temperature coefficient of the resonance frequency is the same as in Experimental Example 1 described above.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 13Psalm 13 15001500 24.524.5 97.197.1 150,000150,000 2.872.87 시편 14Psalm 14 15501550 24.524.5 97.397.3 160,000160,000 3.433.43 시편 15Psalm 15 16001600 24.524.5 98.298.2 180,000180,000 3.423.42 시편 16Psalm 16 16501650 24.524.5 98.698.6 210,000210,000 3.703.70

표 4를 참조하면, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 소성 온도에 따라 150,000∼210,000의 범위 내에서 대체로 실험예 1이나 실험예 2에 따른 시편들 보다 뛰어난 품질 계수를 가지며, 공진 주파수의 온도 계수도 2.87∼3.70 사이의 우수한 값을 나타내었다.Referring to Table 4, the dielectric composition according to the present Experimental Example has a better quality coefficient than the specimens according to Experimental Example 1 or Experimental Example 2 in the range of 150,000 to 210,000 depending on the firing temperature, the temperature coefficient of the resonance frequency Excellent values between 2.87 and 3.70 are shown.

실험예 5Experimental Example 5

MgO와 Ta2O5를 평량한 다음, 약 1120℃ 정도의 온도에서 약 12 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.02)O6+δ분말을 제조하였다. 여기서, δ의 범위는 전술한 바와 동일하다.MgO and Ta 2 O 5 were weighed and then reacted at a temperature of about 1120 ° C. for about 12 hours to synthesize phases to prepare MgTa (2.02) O 6 + δ powder. Here, the range of δ is the same as described above.

제조된 MgTa(2.02)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 후, 약 1140℃ 정도의 온도에서 약 12 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.02(Mg1/3 Ta(2.02)/3)O3+δ분말을 제조하였다.After weighing the prepared MgTa (2.02) O 6 + δ powder and BaCO 3 , and reacted for about 12 hours at a temperature of about 1140 ℃ to synthesize a phase Ba 1.02 (Mg 1/3 Ta (2.02) / 3 ) O 3 + δ powder was prepared.

계속하여, 제조된 Ba1.02(Mg1/3 Ta(2.02)/3)O3+δ분말을 가압 성형하고, 각기 각기 5∼10 시간 동안 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 17 내지 20을 제조하였다. Subsequently , the prepared Ba 1.02 (Mg 1/3 Ta (2.02) / 3 ) O 3 + δ powder was press-molded, respectively, at temperatures of 1500 ° C., 1550 ° C., 1600 ° C. and 1650 ° C. for 5 to 10 hours, respectively. Sintering to prepare the high frequency dielectric composition specimens 17 to 20.

표 5는 상기 시편 17 내지 20의 소결 온도, 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값이다. 이 때, 유전율, 품질 계수 및 공진 주파수의 온도 계수의 측정 방법은 전술한 실험예 1과 동일하다.Table 5 shows measured values of the sintering temperature, permittivity (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonance frequencies of the specimens 17 to 20. At this time, the measurement method of the dielectric constant, the quality factor and the temperature coefficient of the resonance frequency is the same as in Experimental Example 1 described above.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 17Psalm 17 15001500 24.524.5 97.197.1 180,000180,000 2.832.83 시편 18Psalm 18 15501550 24.524.5 97.397.3 190,000190,000 3.443.44 시편 19Psalm 19 16001600 24.524.5 98.298.2 200,000200,000 3.443.44 시편 20Psalm 20 16501650 24.524.5 98.498.4 220,000220,000 3.733.73

상기 표 5를 참조하면, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 소성 온도에 따라 150,000∼220,000의 범위 내에서 전술한 실험예들에 따른 시편들에 비하여 우수한 품질 계수를 보였다. 또한, 공진 주파수의 온도 계수도 2.83∼3.73 사이에서 대체로 우수한 값을 나타내었다.Referring to Table 5, the dielectric composition according to the present experimental example showed an excellent quality factor compared to the specimens according to the above-described experimental examples in the range of 150,000 to 220,000 depending on the firing temperature. In addition, the temperature coefficient of the resonant frequency was also generally excellent between 2.83 and 3.73.

실험예 6Experimental Example 6

MgO와 Ta2O5를 평량한 다음, 약 1190℃ 정도의 온도에서 약 4 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.03)O6+δ분말을 제조하였다. 제조된 MgTa(2.03)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 후, 약 1195℃ 정도의 온도에서 약 3 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.02(Mg1/3 Ta(2.03)/3)O3+δ분말을 제조하였다.MgO and Ta 2 O 5 were weighed and then reacted at a temperature of about 1190 ° C. for about 4 hours to synthesize phases to prepare MgTa (2.03) O 6 + δ powder. After weighing the prepared MgTa (2.03) O 6 + δ powder and BaCO 3 , and reacted for about 3 hours at a temperature of about 1195 ℃ to synthesize a phase Ba 1.02 (Mg 1/3 Ta (2.03) / 3 ) O 3 + δ powder was prepared.

이어서, Ba1.02(Mg1/3 Ta(2.03)/3)O3+δ분말을 가압 성형한 후, 각기 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 각기 5∼10 시간 동안 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 21 내지 24를 제조하였다.Subsequently, Ba 1.02 (Mg 1/3 Ta (2.03) / 3 ) O 3 + δ powder was press-molded, and then sintered at temperatures of 1500 ° C., 1550 ° C., 1600 ° C. and 1650 ° C. for 5 to 10 hours, respectively. High frequency dielectric composition specimens 21 to 24 were prepared.

다음의 표 6은 상기 시편 21 내지 24의 소결 온도, 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값이다. 이 때, 유전율, 품질 계수 및 공진 주파수의 온도 계수의 측정 방법은 전술한 실험예들과 동일하다.Table 6 below shows the measured values of the sintering temperature, permittivity (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonance frequencies of the specimens 21 to 24. At this time, the measuring method of the dielectric constant, the quality coefficient and the temperature coefficient of the resonance frequency is the same as the above-described experimental examples.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 21Psalm 21 15001500 24.524.5 97.297.2 200,000200,000 2.872.87 시편 22Psalm 22 15501550 24.524.5 98.098.0 210,000210,000 3.453.45 시편 23Psalm 23 16001600 24.524.5 98.198.1 220,000220,000 3.443.44 시편 24Psalm 24 16501650 24.524.5 98.798.7 230,000230,000 3.793.79

표 6을 참조하면, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 소성 온도에 따라 150,000∼230,000의 범위 내에서 상술한 실험예들에 따른 시편들에 비하여 매우 뛰어난 품질 계수를 보였으며, 공진 주파수의 온도 계수도 2.87∼3.79 사이에서 대체로 우수한 값을 나타내었다.Referring to Table 6, the dielectric composition according to the present Experimental Example showed a very good quality factor compared to the specimens according to the Experimental Example in the range of 150,000 to 230,000 depending on the firing temperature, the temperature coefficient of the resonance frequency A good value was generally obtained between 2.87 and 3.79.

실험예 7Experimental Example 7

MgO와 Ta2O5를 평량하고, 약 1200℃ 정도의 온도에서 약 3 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.01)O6+δ분말을 제조한 다음, 제조된 MgTa(2.01)O6+δ분말과 BaCO3를 평량하고, 약 1130℃ 정도의 온도에서 약 12 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.03(Mg1/3 Ta(2.01)/3)O3+δ분말을 제조하였다. 이어서, Ba1.03(Mg1/3 Ta(2.01)/3)O3+δ분말을 가압 성형한 후, 각기 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 각기 5∼10 시간 동안 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 25 내지 28을 제조하였다.MgO and Ta 2 O 5 were weighed and reacted at a temperature of about 1200 ° C. for about 3 hours to synthesize phases to prepare MgTa (2.01) O 6 + δ powder, and then prepared MgTa (2.01) O 6+ δ basis weight of the powder and BaCO 3, and by reacting at a temperature of about 1130 ℃ for about 12 hours to prepare a composite of the Ba 1.03 (Mg 1/3 Ta (2.01 ) / 3) O 3 + δ powder. Subsequently, Ba 1.03 (Mg 1/3 Ta (2.01) / 3 ) O 3 + δ powder was press-molded, followed by sintering at temperatures of 1500 ° C., 1550 ° C., 1600 ° C. and 1650 ° C. for 5 to 10 hours, respectively. High frequency dielectric composition specimens 25 to 28 were prepared.

하기의 표 7에 상기 시편 25 내지 28의 소결 온도, 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값을 나타내었다.Table 7 below shows the measured values of the sintering temperature, permittivity (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonance frequency of the specimens 25 to 28.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 25Psalm 25 15001500 24.524.5 96.896.8 155,000155,000 2.822.82 시편 26Psalm 26 15501550 24.524.5 97.297.2 165,000165,000 3.443.44 시편 27Psalm 27 16001600 24.524.5 98.298.2 190,000190,000 3.473.47 시편 28Psalm 28 16501650 24.524.5 98.498.4 215,000215,000 3.773.77

상기 표 7을 참조하면, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 소성 온도에 따라 150,000∼215,000의 범위 내에서 우수한 품질 계수를 보였으며, 공진 주파수의 온도 계수도 2.82∼3.77 사이에서 대체로 우수한 값을 나타내었다.Referring to Table 7, the dielectric composition according to the present experimental example showed excellent quality coefficients in the range of 150,000 to 215,000 depending on the firing temperature, and the temperature coefficient of the resonant frequency was also generally excellent between 2.82 and 3.77. .

실험예 8Experimental Example 8

MgO와 Ta2O5를 평량하고, 약 1120℃ 정도의 온도에서 약 12 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.02)O6+δ분말을 제조한 다음, MgTa(2.02)O6+δ분말과 BaCO3를 평량하고, 약 1170℃ 정도의 온도에서 약 10 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.03(Mg1/3 Ta(2.02)/3)O3+δ분말을 제조하였다. 이어서, Ba1.03(Mg1/3 Ta(2.02)/3)O3+δ분말을 가압 성형한 후, 각기 각기 5∼10 시간 동안 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 소결하여 고주파용 유전체 조성물 시편 29 내지 32를 제작하였다.MgO and Ta 2 O 5 were weighed and reacted at a temperature of about 1120 ° C. for about 12 hours to synthesize phases to prepare MgTa (2.02) O 6 + δ powder, and then MgTa (2.02) O 6 + δ powder BaCO 3 was weighed and reacted at a temperature of about 1170 ° C. for about 10 hours to synthesize a phase, thereby preparing Ba 1.03 (Mg 1/3 Ta (2.02) / 3 ) O 3 + δ powder. Subsequently, Ba 1.03 (Mg 1/3 Ta (2.02) / 3 ) O 3 + δ powder was press-molded, followed by sintering at temperatures of 1500 ° C., 1550 ° C., 1600 ° C. and 1650 ° C. for 5 to 10 hours, respectively. High frequency dielectric composition specimens 29 to 32 were prepared.

하기의 표 8은 상기 시편 29 내지 32의 소결 온도, 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값이다.Table 8 below measures the sintering temperature, permittivity (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonant frequency of the specimens 29 to 32.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 29Psalm 29 15001500 24.524.5 96.796.7 180,000180,000 2.882.88 시편 30Psalm 30 15501550 24.524.5 97.397.3 195,000195,000 3.483.48 시편 31Psalm 31 16001600 24.524.5 98.398.3 205,000205,000 3.483.48 시편 32Psalm 32 16501650 24.524.5 98.498.4 220,000220,000 3.793.79

표 8에 나타낸 바와 같이, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 소성 온도에 따라 150,000∼220,000의 범위 내의 우수한 품질 계수를 보였으며, 공진 주파수의 온도 계수도 2.88∼3.79 사이의 값을 나타내었다.As shown in Table 8, the dielectric composition according to the present experimental example showed excellent quality coefficients in the range of 150,000 to 220,000 depending on the firing temperature, and the temperature coefficient of the resonance frequency also showed a value between 2.88 to 3.79.

실험예 9Experimental Example 9

MgO와 Ta2O5를 평량하고, 약 1200℃ 정도의 온도에서 약 4 시간 정도 반응시켜 상을 합성하여 MgTa(2.03)O6+δ분말을 제조한 다음, MgTa(2.03)O6+δ분말과 BaCO3를 평량하고, 약 1190℃ 정도의 온도에서 약 6 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 Ba1.03(Mg1/3 Ta(2.03)/3)O3+δ분말을 제조하였다. 계속하여, Ba1.03(Mg1/3 Ta(2.03)/3)O3+δ분말을 가압 성형한 후, 각기 1500℃, 1550℃, 1600℃ 및 1650℃의 온도에서 각기 5∼10 시간 동안 소결함으로써 고주파용 유전체 조성물 시편 33 내지 36을 제작하였다.MgO and Ta 2 O 5 were weighed and reacted at a temperature of about 1200 ° C. for about 4 hours to synthesize phases to prepare MgTa (2.03) O 6 + δ powder, and then MgTa (2.03) O 6 + δ powder BaCO 3 was weighed and reacted at a temperature of about 1190 ° C. for about 6 hours to synthesize a phase to prepare Ba 1.03 (Mg 1/3 Ta (2.03) / 3 ) O 3 + δ powder. Subsequently, Ba 1.03 (Mg 1/3 Ta (2.03) / 3 ) O 3 + δ powder was press-molded, followed by sintering at temperatures of 1500 ° C., 1550 ° C., 1600 ° C. and 1650 ° C. for 5 to 10 hours, respectively. Thus, high frequency dielectric composition specimens 33 to 36 were prepared.

다음의 표 9는 상기 시편 33 내지 36의 소결 온도에 따른 유전율(εr), 밀도, 품질 계수(Q×f) 및 공진 주파수의 온도 계수(Tcf)를 측정한 값을 나타내었다.Table 9 below shows the measured values of dielectric constant (ε r ), density, quality factor (Q × f), and temperature coefficient (T cf ) of the resonant frequency according to the sintering temperatures of the specimens 33 to 36.

소결 온도(℃)Sintering Temperature (℃) 유전율(εr)Permittivity (ε r ) 밀도(%)density(%) Q×f(10㎓)Q × f (10㎓) Tcf (ppm/℃)T cf (ppm / ℃) 시편 33Psalm 33 15001500 24.524.5 97.097.0 155,000155,000 2.842.84 시편 34Psalm 34 15501550 24.524.5 97.397.3 160,000160,000 3.493.49 시편 35Psalm 35 16001600 24.524.5 98.298.2 200,000200,000 3.493.49 시편 36Psalm 36 16501650 24.524.5 98.398.3 220,000220,000 3.703.70

상기 표 9를 참조하면, 본 실험예에 따른 유전체 조성물은 소성 온도에 따라 150,000∼220,000의 범위 내의 우수한 품질 계수를 보였으며, 공진 주파수의 온도 계수도 2.88∼3.79 사이의 값을 가짐을 알 수 있다.Referring to Table 9, the dielectric composition according to the present experimental example showed an excellent quality factor in the range of 150,000 to 220,000 according to the firing temperature, it can be seen that the temperature coefficient of the resonance frequency also has a value between 2.88 to 3.79. .

본 발명에 따르면, 먼저 Ta2O5를 과량 첨가하여 MgTa(2+y)O6+δ를 제조한 다음, BaCO3를 과량 첨가하여 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ를 제조함으로써, 약 1500℃ 정도의 저온에서도 우수한 유전 특성을 갖는 BMT 분말의 소결이 가능하기 때문에, 종래의 경우에 비하여 훨씬 저렴한 비용으로 BMT계 유전체 조성물을 제조할 수 있다.According to the present invention, MgTa (2 + y) O 6 + δ is prepared by first adding an excess of Ta 2 O 5 , and then Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) by adding an excess of BaCO 3 . / 3) by preparing an O 3 + δ, because it can be sintered in BMT powder having excellent dielectric characteristics even at a low temperature of about 1500 ℃, at a much lower cost than the conventional case can be produced BMT-based dielectric compositions .

또한, Ba(Mg1/3 Ta2/3)O3의 조성을 두 단계를 거쳐 하소하여 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ로 나타내어지는 조성으로 제조할 수 있기 때문에 BMT 유전체의 장점인 높은 품질 계수 값 및 안정한 공진 주파수의 온도 계수 등을 그대로 유지하면서 낮은 온도에서도 소결이 가능하다.In addition, the composition of Ba (Mg 1/3 Ta 2/3 ) O 3 is calcined in two steps to obtain a composition represented by Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ . Since it can be manufactured, it is possible to sinter even at low temperatures while maintaining the high quality coefficient value and the temperature coefficient of stable resonance frequency, which are advantages of the BMT dielectric material.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실험예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. As described above, although described with reference to the preferred experimental examples of the present invention, those skilled in the art various modifications and variations of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be appreciated that it can be changed.

Claims (10)

하기 화학식에 따른 BMT계 고주파용 유전체 조성물.BMT based high frequency dielectric composition according to the formula. [화학식][Formula] Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ 상기 화학식에서, 0.01<x<0.03이고, 0.01<y<0.03이며, 0<δ<1이다.In the above formula, 0.01 <x <0.03, 0.01 <y <0.03, and 0 <δ <1. 제 1 항에 있어서, 상기 유전체 조성물의 품질계수(Q ×f)가 150,000 내지 230,000 인 것을 특징으로 하는 BMT계 고주파용 유전체 조성물.The dielectric composition for a high frequency BMT system of claim 1, wherein a quality factor (Q × f) of the dielectric composition is 150,000 to 230,000. 삭제delete 삭제delete 삭제delete MgO 및 Ta2O5를 반응시켜 MgTa(2+y)O6+δ분말을 형성하는 단계;Reacting MgO and Ta 2 O 5 to form an MgTa (2 + y) O 6 + δ powder; 상기 MgTa(2+y)O6+δ분말을 BaCO3과 반응시켜 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말을 형성하는 단계; 및Reacting the MgTa (2 + y) O 6 + δ powder with BaCO 3 to form Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder; And 상기 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말을 소결하는 단계Sintering the Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder 를 포함하는 BMT계 고주파용 유전체 조성물의 제조 방법으로서, 상기에서, x, y 및 δ는 각각 0.01<x<0.03, 0.01<y<0.03, 및 0<δ<1 인 것을 특징으로 하는 BMT계 고주파용 유전체 조성물의 제조 방법.A method of manufacturing a BMT-based high frequency dielectric composition comprising: wherein, x, y, and δ are 0.01 <x <0.03, 0.01 <y <0.03, and 0 <δ <1, respectively Method for producing a dielectric composition for. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 MgTa(2+y)O6+δ분말은 상기 MgO와 Ta2O5를 평량한 후, 1100∼1200℃의 온도에서 2∼12 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 형성되는 것을 특징으로 하는 BMT계 고주파용 유전체 조성물의 제조 방법.The MgTa (2 + y) O 6 + δ powder is formed by weighing the MgO and Ta 2 O 5 , and then reacting at a temperature of 1100 to 1200 ° C. for 2 to 12 hours to synthesize a phase. Method for producing a dielectric composition for high frequency system. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말은 상기 MgTa(2.01)O6+δ분말과 BaCO3를 평량한 후, 1100∼1200℃의 온도에서 2∼11 시간 동안 반응시켜 상을 합성하여 형성되는 것을 특징으로 하는 BMT계 고주파용 유전체 조성물의 제조 방법.The Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder is weighed from the MgTa (2.01) O 6 + δ powder and BaCO 3 , and then at a temperature of 1100 to 1200 ° C. A method for producing a BMT-based dielectric composition for high frequency, characterized in that to form a phase by reacting for 2 to 11 hours. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 Ba1+x(Mg1/3 Ta(2+y)/3)O3+δ분말을 소결하는 단계는 1500∼1650℃의 온도에서 5∼10 시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 BMT계 고주파용 유전체 조성물의 제조 방법.The step of sintering the Ba 1 + x (Mg 1/3 Ta (2 + y) / 3 ) O 3 + δ powder is performed at a temperature of 1500-1650 ° C. for 5-10 hours. Method for producing a dielectric composition for. 삭제delete
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