KR100484862B1 - Indexer plate of roadlock - Google Patents
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Abstract
본 발명은 로드락의 인덱스 플레이트에 관한 것이다. The present invention relates to an index plate of a load lock.
본 발명 로드락의 인덱스 플레이트는, 인덱스 샤프트와, 상기 인덱스 샤프트의 상부에 설치되는 고정판과; 상기 고정판에 고정 설치되며, 피스톤이 하부 인덱스 플레이트를 관통하여 상부 인덱스 플레이트의 하면을 지지하는 에어실린더와; 상기 에어실린더의 피스톤을 내부에 포함하며 상부 인덱스 플레이트와 하부 인덱스 플레이트 사이에 설치되어 상기 상부 인덱스 플레이트를 원위치 시키는 스프링과; 상기 상부 인덱스 플레이트와 하부 인텍스 플레이트를 연결하는 다수개의 세트스크류와; 상기 세트스크류의 하부에 스크류 체결되어 상부 인덱스 플레이트의 상승 레벨을 제한하는 너트로; 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서 인덱스 플레이트의 잦은 눌림 작동에도 기울기가 변형되지 않도록 에어실린더를 사용함으로써, SMIF의 로딩 위치와 SMIF 에러를 방지하는 효과가 있다.The index plate of the load lock of the present invention, the index shaft, and the fixing plate which is installed on the index shaft; An air cylinder fixed to the fixed plate, the piston passing through the lower index plate to support the lower surface of the upper index plate; A spring including a piston of the air cylinder therein and installed between an upper index plate and a lower index plate to return the upper index plate to its original position; A plurality of set screws connecting the upper index plate and the lower index plate; A nut which is screwed into the lower part of the set screw to limit the rising level of the upper index plate; Characterized in that configured. Therefore, by using the air cylinder so that the inclination does not deform even during frequent pressing operation of the index plate, there is an effect of preventing the loading position of the SMIF and the SMIF error.
Description
본 발명은 웨이퍼 이송 공정에 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템(Standard Mechanical Interface System:이하, SMIF라 약칭함)에서 장비의 로드락(loadlock)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼카세트가 놓이는 인덱스 플레이트가 위치 변형되는 것을 방지한 로드락의 인덱스 플레이트에 관한 것이다. The present invention relates to a loadlock of equipment in a standard mechanical interface system (hereinafter referred to as SMIF) used in a wafer transfer process, and more particularly, an index plate on which a wafer cassette is placed is located. It relates to an index plate of a load lock which is prevented from being deformed.
SMIF 시스템은 반도체 제조공정에서 청정실 등 협소한 공간에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 반도체 장비의 주변장치로서, 다수의 웨이퍼가 저장된 카세트를 반도체 장비에 장전하거나 인출하는데 이용된다.SMIF system is a peripheral device for semiconductor equipment to prevent human error during air control and process processing in a narrow space such as a clean room in the semiconductor manufacturing process, and is used to load or withdraw cassettes in which a plurality of wafers are stored in the semiconductor equipment. .
도 1은 종래의 로드락에 웨이퍼카세트가 인덱스에 안착된 상태의 개략도이다. 도시된 바와 같이, 인덱스 샤프트(2)와 인덱스 샤프트(2)와 연결되어 로드락(1)내부에 위치하는 2단의 상, 하부 인덱스 플레이트(3a)(3b)가 설치되고, 상부 인덱스 플레이트(3a)의 상부 중심면에는 웨이퍼카세트(4)가 안착된다.1 is a schematic view of a wafer cassette mounted on an index in a conventional load lock. As shown, the upper and lower index plates 3a and 3b, which are connected to the index shaft 2 and the index shaft 2 and positioned inside the load lock 1, are installed, and the upper index plate ( The wafer cassette 4 is seated on the upper center surface of 3a).
상기 상, 하부 인덱스 플레이트(3a)(3b)를 연결하기 위하여 4 개소에 세트스크류(5)가 설치된다. 세트스크류(5)는 하부 인텍스 플레이트(3b)에 고정되고, 상부 인덱스 플레이트(3a)의 내부에 이동 공간을 남겨두고 설치된다.In order to connect the upper and lower index plates 3a and 3b, four setscrews 5 are provided. The set screw 5 is fixed to the lower index plate 3b and is installed leaving a moving space inside the upper index plate 3a.
그리고 4개의 세트스크류(5) 중 3개의 세트스크류(5)에 스프링(6)이 설치되어 레벨을 조절할 수 있다.And the spring (6) is installed in three of the set screw (5) of the four set screw (5) can adjust the level.
SMIF의 로드시 상부 인덱스 플레이트(3a)위에 웨이퍼카세트(4)가 놓인 것을 이동 아암(미도시)에 있는 센서가 눌러져야 로딩된 것으로 센싱하기 ??문에 상부 인덱스 플레이트(3a)를 누르게 되고, 상부 인덱스 플레이트(3a)는 어느 정도 유동 가능하게 설치된다.When the SMIF is loaded, the wafer cassette 4 is placed on the upper index plate 3a so that the sensor on the moving arm (not shown) must be pressed to sense that it is loaded, so the upper index plate 3a is pressed. The upper index plate 3a is installed to be able to flow to some extent.
상부 인텍스 플레이트(3a)의 하부 이동에 따라 스프링(6)이 압축되었다가 SMIF가 빠지면 다시 이완하게 된다.As the bottom of the upper index plate 3a moves, the spring 6 is compressed and then relaxed again when the SMIF is removed.
그러나 이 때, 잦은 눌림 동작에 의하여 스프링(6)의 변형이 발생하여 기울기가 변하게 된다. 이로 인해 SMIF의 로드 위치가 변하여 에로를 발생시키고 로봇의 레벨과 다르게 되어 웨이퍼에 스크래치(scratch)를 발생시키게 된다.At this time, however, the deformation of the spring 6 occurs due to the frequent pressing operation, thereby changing the inclination. As a result, the load position of the SMIF is changed to generate an error, and it is different from the level of the robot, causing scratches on the wafer.
본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 인덱스 플레이트의 잦은 눌림 작동으로 기울기가 변형되는 것을 방지한 로드락의 인덱스 플레이트를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an index plate of a load lock, which is devised to solve the above-described drawbacks and which prevents the inclination from being deformed due to frequent pressing of the index plate.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 웨이퍼카세트가 놓여지는 로드락의 인덱스 플레이트에 있어서; 인덱스 샤프트와, 상기 인덱스 샤프트의 상부에 설치되는 고정판과; 상기 고정판에 고정 설치되며, 피스톤이 하부 인덱스 플레이트를 관통하여 상부 인덱스 플레이트의 하면을 지지하는 에어실린더와; 상기 에어실린더의 피스톤을 내부에 포함하며 상부 인덱스 플레이트와 하부 인덱스 플레이트 사이에 설치되어 상기 상부 인덱스 플레이트를 원위치 시키는 스프링과; 상기 상부 인덱스 플레이트와 하부 인텍스 플레이트를 연결하는 다수개의 세트스크류와; 상기 세트스크류의 하부에 스크류 체결되어 상부 인덱스 플레이트의 상승 레벨을 제한하는 너트로; 구성된 것을 특징으로 하는 로드락의 인덱스 플레이트를 제공한다. The present invention for achieving the above object is an index plate of a load lock on which a wafer cassette is placed; An index shaft and a fixed plate installed on an upper portion of the index shaft; An air cylinder fixed to the fixed plate, the piston passing through the lower index plate to support the lower surface of the upper index plate; A spring including a piston of the air cylinder therein and installed between an upper index plate and a lower index plate to return the upper index plate to its original position; A plurality of set screws connecting the upper index plate and the lower index plate; A nut which is screwed into the lower part of the set screw to limit the rising level of the upper index plate; It provides an index plate of a load lock, characterized in that configured.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 로드락의 인덱스 플레이트의 구성도이다.2 is a configuration diagram of an index plate of a load lock according to the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이 로드락의 인덱스 플레이트는, 2단의 상부 인덱스 플레이트(20)와 하부 인덱스 플레이트(22)로 구성된다.As shown in FIG. 2, the index plate of the load lock includes two upper index plates 20 and a lower index plate 22.
하부 인덱스 플레이트(22)의 하부로 인덱스 샤프트(10)가 설치되고, 인덱스 샤프트(10)와 하부 인덱스 플레이트(22)의 사이에 고정판(30)이 설치된다.An index shaft 10 is installed below the lower index plate 22, and a fixing plate 30 is installed between the index shaft 10 and the lower index plate 22.
고정판(30)에는 에어실린더(40)가 설치된다. 에어실린더(40)는 에어에 의하여 습동하는 피스톤(42)이 하부 인덱스 플레이트(22)를 관통하여 상부 인덱스 플레이트(20)의 하면을 지지하게 설치된다.The air cylinder 40 is installed in the fixed plate 30. The air cylinder 40 is installed such that a piston 42 which slides by air passes through the lower index plate 22 to support the lower surface of the upper index plate 20.
그리고 에어실린더(40)의 피스톤(42)을 내부에 포함하며 상부 인덱스 플레이트(20)와 하부 인덱스 플레이트(22) 사이에 스프링(44)이 설치된다.The piston 42 of the air cylinder 40 is included therein, and a spring 44 is installed between the upper index plate 20 and the lower index plate 22.
스프링(44)은 웨이퍼카세트(60)의 안착시 하방으로 압축되었다가 에어실린더(40)의 상승과 같이 원위치 된다.The spring 44 is compressed downward when the wafer cassette 60 is seated and then returned to its original position as the air cylinder 40 is raised.
그리고 상부 인덱스 플레이트(20)와 하부 인텍스 플레이트(22)를 연결하는 세트스크류(50)가 사각의 4개소에 설치된다.And the set screw 50 which connects the upper index plate 20 and the lower index plate 22 is installed in four places of a square.
하부 인덱스 플레이트(22)와 체결되는 세트스크류(50)의 하부에 너트(52)가 체결되어 상부 인덱스 플레이트(20)의 상승 레벨을 제한하게 된다.The nut 52 is fastened to the lower portion of the set screw 50 that is fastened to the lower index plate 22 to limit the level of lift of the upper index plate 20.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 로드락의 인덱스 플레이트의 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the index plate of the load lock according to the present invention configured as described above are as follows.
다시 도 2를 참조하면, 웨이퍼카세트(60)가 로딩되기 전에는 상부 인덱스 플레이트(20)를 스프링(44)에서 받히고 있는 상태로 상부 인덱스 플레이트(20)는 이동 가능한 상태이다.Referring back to FIG. 2, the upper index plate 20 is movable while the upper index plate 20 is supported by the spring 44 before the wafer cassette 60 is loaded.
상기 상태에서 상부 인덱스 플레이트(20)의 상면에 웨이퍼카세트(60)가 로딩되면, 스프링(44)이 압축된 상태에서 에어실린더(40)의 피스톤(42)이 상승하여 상부 인덱스 플레이트(20)를 강하게 지지하게 된다.When the wafer cassette 60 is loaded on the upper surface of the upper index plate 20 in the above state, the piston 42 of the air cylinder 40 is lifted while the spring 44 is compressed to lift the upper index plate 20. Strong support
이 때, 세트스크류(50)에 체결된 너트(52)는 사전에 사용자가 높이 레벨을 조절하여 상승 높이가 제한된다.At this time, the nut 52 fastened to the set screw 50 is limited by the height of the user by adjusting the height level in advance.
웨이퍼카세트(60)가 언로딩되면, 에어실린더(40)의 작동 정지로 상부 인덱스 플레이트(20)는 스프링(44)과 같이 원위치 된다.When the wafer cassette 60 is unloaded, the upper index plate 20 is returned to its original position with the spring 44 by the operation stop of the air cylinder 40.
따라서 에어실린더(40)를 이용하여 지지되는 인덱스 플레이트는 잦은 사용에도 기울어짐이 없이 안정적으로 웨이퍼카세트(60)를 로딩할 수 있다.Therefore, the index plate supported by the air cylinder 40 can load the wafer cassette 60 stably without inclination even in frequent use.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다. In the above description, it should be understood that those skilled in the present invention can only make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention as merely illustrative of a preferred embodiment of the present invention.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 로드락의 인덱스 플레이트는, 인덱스 플레이트의 잦은 눌림 작동에도 기울기가 변형되지 않도록 에어실린더를 사용함으로써, SMIF의 로딩 위치와 SMIF 에러를 방지하는 효과가 있다. As described above, the load lock index plate according to the present invention has an effect of preventing the loading position of the SMIF and the SMIF error by using an air cylinder so that the inclination does not deform even when the index plate is frequently pressed.
도 1은 종래의 로드락에 웨이퍼카세트가 인덱스에 안착된 상태의 개략도이고,1 is a schematic view of a wafer cassette seated on an index in a conventional load lock,
도 2는 본 발명에 따른 로드락의 인덱스 플레이트의 구성도이다.2 is a configuration diagram of an index plate of a load lock according to the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10 : 인덱스 샤프트(indexer shaft) 20 : 상부 인덱스 플레이트10: indexer shaft 20: upper index plate
22 : 하부 인덱스 플레이트 30 : 고정판22: lower index plate 30: fixed plate
40 : 에어실린더 42 : 피스톤40: air cylinder 42: piston
44 : 스프링 50 : 세트스크류44: spring 50: set screw
52 : 너트52: Nut
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2003-0006781A KR100484862B1 (en) | 2003-02-04 | 2003-02-04 | Indexer plate of roadlock |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040070608A KR20040070608A (en) | 2004-08-11 |
| KR100484862B1 true KR100484862B1 (en) | 2005-04-22 |
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ID=37358843
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100484862B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2003-02-04 KR KR10-2003-0006781A patent/KR100484862B1/en not_active IP Right Cessation
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| KR20040070608A (en) | 2004-08-11 |
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