KR100481154B1 - Stereoscopic observation equipment which has two polarizers - Google Patents
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Abstract
본 발명은 편광자를 구비한 2광로 관찰장치에 관한 것으로서, 광원과 좌우측 대물렌즈와 좌우측 반투명경과 좌우측 접안렌즈를 구비한 동축낙사조명의 2축 실체현미경에 있어서, 조명광과 관찰광이 공존하는 좌우측 부위에 좌우측 편광자를 설치하여 한쪽계에서 그계의 편광자를 지나 관찰면으로 공급된 조명광을 관찰계의 편광자에 의해 차단하고 관찰면의 결함부에 의해 생기는 산란광이 편광자를 투과하여 직접조명에 의한 암시야효과(暗視野效果)를 얻게 되는 것이다.The present invention relates to a two-beam observation device having a polarizer, wherein in a two-axis stereoscopic microscope having a light source, left and right objective lenses, left and right translucent mirrors, and left and right eyepieces, the left and right portions in which illumination light and observation light coexist. The left and right polarizers are installed at each side to block the illumination light supplied from the observation system past the polarizer of the system to the observation plane by the polarizer of the observation system, and the scattered light generated by the defect part of the observation plane is transmitted through the polarizer so that the dark field effect by direct illumination is achieved. (暗 視野 效果) is to be obtained.
따라서 조명광의 대부분을 편광자로 차단하고, 미소결함으로 부터 산란하는 산란광을 편광자로 투과시킴으로써 광원의 조도를 높여 고 정밀도로 관찰면의 결함을 관찰할 수 있고, 편광자의 편광위상을 조절하여 편광자를 투과하는 광을 조절함으로써 관찰면의 관찰을 용이하게 하면서도 세밀하게 관찰할 수 있으며, 관찰되는 관찰면을 촬영하여 영상신호처리한 후 컴퓨터의 모니터와 같은 디스플레이부로 나타낼 수 있으므로 관찰면의 관찰내용의 기록이나 활용을 용이하게 할 수 있는 것이다.Therefore, the majority of the illumination light is blocked by the polarizer, and the scattered light scattered from the microdefects is transmitted by the polarizer, thereby increasing the illuminance of the light source and observing defects on the observation surface with high precision, and controlling the polarization phase of the polarizer to transmit the polarizer. By controlling the light to be observed, the observation surface can be easily observed in detail, and the observation surface can be recorded and processed by image processing, and then displayed by a display unit such as a computer monitor. It can be easy to use.
Description
본 발명은 실체현미경이나 실체쌍안경과 같은 관찰장치에 관한 것으로서, 더욱상세하게는 좌우로 독립한 광학계에 편광자를 구비하여 조명광의 대부분을 편광자로 차단함과 더불어 관찰면의 미소 결함으로 부터 산란하는 산란광을 편광자로 투과시켜 조도가 높은 조명광으로 관찰물을 정밀하게 관찰할 수 있는 편광자를 구비한 2광로 관찰장치에 관한 것이다.The present invention relates to an observation apparatus such as a stereomicroscope or a stereoscopic binocular, and more particularly, having a polarizer in the left and right independent optical system to block most of the illumination light with a polarizer, and scattered light scattered from the microscopic defects of the observation surface The present invention relates to a two-light path observing device having a polarizer capable of transmitting the light through a polarizer and observing the observation with high illumination light.
최근에 각종 산업계에서 초고정밀 가공면의 이용이 많아짐에 따라 웨이퍼가공 등 초정밀 가공면을 관찰하여야 할 필요성이 급격히 증가하고 있다. 그러나 초정밀 가공면의 거의 대부분은 광학적인 거울면의 조건에 가까운 상태를 이루고 있기 때문에 이 면의 미소결함을 광학적으로 관찰하는 것은 매우 어렵게 된다. 왜냐하면 관찰면이 광학경으로 되어 조명광을 직접관찰하는 것과 동일한 결과가 되기 때문에 관찰면의 미소결함에 대한 관찰정보를 얻는 것이 극히 어려워 지게 된다. 따라서 초정밀 가공면의 관찰은 특별한 조명조건의 설정을 필요로 하게 되며, 종래의 동축낙사(同軸落射) 조명의 적용이 곤란하게 된다. 이것이 관찰장치의 적용을 상당히 제한하게 되는 원인으로 된다.Recently, as the use of ultra-high precision processing surfaces in various industries increases, the necessity to observe ultra-precision processing surfaces such as wafer processing is rapidly increasing. However, since almost all of the ultra-precision surfaces are close to the conditions of the optical mirror surface, it is very difficult to optically observe the microdefects on the surface. Because the observation surface becomes the optical mirror, the same result as the direct observation of the illumination light, it becomes extremely difficult to obtain observation information on the micro-defect of the observation surface. Therefore, the observation of the ultra-precision machining surface requires the setting of special illumination conditions, and it becomes difficult to apply the conventional coaxial fall illumination. This causes the application of the observation apparatus to be considerably limited.
상기한 실정을 감안하여 개발된 실체 현미경이 공지되어 있는바, 이 실체 현미경은 광원에서 조사된 광이 광학계의 광축상으로 입사되는 공축 조명 시스템으로 이루어진 실체 현미경으로서, 강한 광선이 렌즈로 입사된 경우에 렌즈 내면에서 반사되어 화면에 발생되는 흐린상인 고스트 이미지를 제거하기 위하여,광원 즉, 램프에서 광이 조사되는 부분과 조사된 광이 광학계를 통하여 접안쪽으로 입사되기 전의 위치에 고스트 필터를 장착하여 사용하였다.A stereo microscope developed in view of the above situation is known. The stereo microscope is a stereo microscope composed of a coaxial illumination system in which light emitted from a light source is incident on an optical axis of an optical system. In order to remove the ghost image, which is a blurry image generated on the screen reflected from the inner surface of the lens, the ghost filter is mounted at a position before the light source, that is, the portion of the lamp is irradiated and the irradiated light is incident to the eyepiece through the optical system. It was.
그러나 상기한 바와 같이 고스트 필터를 장착하여 사용하는 경우에는, 고스트 필터를 임의 위치에 고정시키기 위한 고정 장치와, 고스트 필터의 필터링 방향을 조절하기 위한 조절 장치, 방향을 조절한 다음 고정시키기 위한 장치 등 별도의부수 장치들이 필요하여 시스템구조가 더욱 복잡해지는 단점이 있을 뿐만 아니라 시스템 구조가 복잡해짐에 따라 조립성과 생산성이 떨어지고, 부품 관리가 어려워지는 단점이 발생한다.However, when the ghost filter is mounted and used as described above, a fixing device for fixing the ghost filter at an arbitrary position, an adjusting device for adjusting the filtering direction of the ghost filter, a device for adjusting the direction and then fixing the ghost filter, etc. In addition to the need for additional devices, the system structure becomes more complicated, and as the system structure becomes more complicated, assembly and productivity decrease, and parts management becomes difficult.
또한 최근에는 동축낙사조명을 채용함과 더불어 현미경의 경통을 관찰면에 수직방향으로 하여 양안으로 관찰하는 관찰면과 양안이 이루는 각도를 서로 동일각도가 되도록 하여 관찰하는 쌍안 실체 현미경이나 2축 실체 현미경이 일반적으로 사용되고 있다.Recently, binocular stereoscopic and biaxial stereoscopic microscopes have been adopted, and the microscope tube is placed perpendicular to the observation plane to observe the binocular stereoscopic angle and the angle between the binocular and binocular stereomicroscopes. This is commonly used.
이러한 2축 실체 현미경에 있어서는 도 1에 도시한 바와 같이 광원(1)의 조명광이 우측반투명경(3)에서 반사된 후 우측대물렌즈(2)를 거쳐 관찰면(A)으로 투사되고, 관찰면(A)에서 반사되어 좌측대물렌즈(2')와 좌측반투명경(3') 및 좌측접안렌즈(4')를 거쳐 좌측눈으로 전달되고, 이와 대응하여 광원(1)의 조명광이 좌측반투명경(3')에서 반사된 후 좌측대물렌즈(2')를 거쳐 관찰면(A)으로 투사되고, 관찰면(A)에서 반사되어 우측대물렌즈(2)와 우측반투명경(3) 및 우측접안렌즈(4)를 거쳐 우측눈으로 전달되다. 그에 따라 관찰면(A)을 관찰할 수 있게 된다.In this biaxial stereo microscope, as shown in FIG. 1, the illumination light of the light source 1 is reflected by the right semi-transparent mirror 3, and then is projected to the observation plane A via the right objective lens 2 and the observation plane. Reflected from (A) and transmitted to the left eye through the left objective lens 2 ', the left semitransparent mirror 3' and the left eyepiece 4 ', and correspondingly, the illumination light of the light source 1 is transmitted to the left semitransparent mirror. Reflected at (3 ') and then projected through the left objective lens (2') to the observation plane (A), and reflected from the observation plane (A) to reflect the right objective lens (2) and the right semitransparent mirror (3) and right eyepiece Passed through the lens 4 to the right eye. Thereby, the observation surface A can be observed.
그러나 상기한 종래 실체 현미경의 동축낙사조명에서는 조명광이 많은 한쪽의 조명광을 다른쪽의 관찰계에 효과적으로 취입하도록 구성된 것이어서 관찰광의 대부분이 배경광이 되어 버리게 된다. 즉, 광원(1)의 조명광이 우측반투명경(3)에서 반사된 후 우측대물렌즈(2)를 거쳐 관찰면(A)으로 투사되고, 관찰면(A)에서 반사되어 좌측대물렌즈(2')와 좌측반투명경(3') 및 좌측접안렌즈(4')를 거쳐 좌측눈으로 전달될 때 관찰면(A)이 초고정밀 가공면인 경우 관찰면(A)이 광학적인 경면으로 되어 관찰면(A)에 투사되는 조명광이 그대로 반사되어 좌측대물렌즈(2')와 좌측반투명경(3') 및 좌측접안렌즈(4')를 거쳐 좌측눈으로 전달되므로(우측눈으로 전달되는 조명광의 경우도 이와 동일함) 즉, 명시야조명(明視野照明)을 위한 강한 조명광의 대부분이 그대로 관찰안구로 전달되기 때문에 강한 조명광을 그대로 보는 것과 같이 되므로 초고정밀 가공면의 미소결함을 정밀하게 관찰할 수 없게 되는 결점이 있다.However, in the coaxial falloff light of the conventional stereoscopic microscope, one of the illumination lights having a large amount of illumination light is effectively taken into the other observation system, so that most of the observation light becomes the background light. That is, the illumination light of the light source 1 is reflected by the right semi-transparent mirror 3 and then projected through the right objective lens 2 to the observation surface A, and reflected from the observation surface A to the left objective lens 2 '. ) When the observation plane A is an ultra-high precision surface when transmitted to the left eye through the left translucent mirror 3 'and the left eyepiece 4', the observation plane A becomes the optical mirror Since the illumination light projected on (A) is reflected as it is and is transmitted to the left eye through the left objective lens 2 ', the left semi-transparent mirror 3', and the left eyepiece 4 '(in the case of the illumination light transmitted to the right eye) In other words, since most of the strong illumination light for bright field illumination is transmitted to the observation eye as it is, it is as if the strong illumination light is seen as it is, so that fine defects of the ultra-high precision surface can be precisely observed. There is a flaw that is missing.
본 발명은 상기한 종래 관찰장치의 단점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 좌우로 독립한 광학계에 편광자를 구비하여 조명광의 대부분을 편광자로 차단하고, 미소결함으로 부터 산란하는 산란광을 편광자로 투과시켜 광원의 조도가 높은 조명광으로 관찰면의 미소결함을 정밀하게 관찰할 수 있는 편광자를 구비한 2광로 관찰장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the above-mentioned disadvantages of the conventional observing apparatus, and includes a polarizer in the left and right independent optical system to block most of the illumination light as a polarizer, and transmits the scattered light scattered from the fine particles as a polarizer. It is an object of the present invention to provide a two-beam observation device having a polarizer capable of precisely observing microdefects on the observation surface with high illumination light of.
본 발명의 다른 목적은 편광자의 편광위상을 상대적으로 조절하여 편광자를 투과하는 광을 조절함으로써 관찰면의 관찰을 용이하게 하면서도 세밀하게 관찰할 수 있는 관찰장치를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention to provide an observation apparatus which can observe the observation surface in detail while controlling the light passing through the polarizer by controlling the polarization phase of the polarizer relatively.
본 발명의 또다른 목적은 관찰되는 관찰면을 촬영하여 영상신호처리한 후 컴퓨터의 모니터와 같은 디스플레이부로 나타낼수 있도록 하는 것이다.Still another object of the present invention is to photograph the observed observation surface and process the image signal so that it can be represented by a display unit such as a computer monitor.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 편광자를 구비한 2광로 관찰장치는 광원과 좌우측 대물렌즈와 좌우측 반투명경과 좌우측 접안렌즈를 구비한 동축낙사조명의 2축 실체현미경에 있어서, 조명광과 관찰광이 공존하는 좌우측 부위에 좌우측 편광자를 설치하여 한쪽계에서 그계의 편광자를 지나 관찰면으로 공급된 조명광을 관찰계의 편광자에 의해 차단하고 관찰면의 결함부에 의해 생기는 산란광이 편광자를 투과하여 직접조명에 의한 암시야효과(暗視野效果)를 얻게 되는 것을 특징으로 한다.The two-optical observation device provided with the polarizer of the present invention for achieving the above object is a two-axis stereo microscope of a coaxial projection light having a light source, left and right objective lenses, left and right translucent mirrors, and left and right eyepieces, wherein illumination light and observation light coexist. The left and right polarizers are installed in the left and right parts of the system, and the illumination light supplied to the observation plane from one system is blocked by the polarizer of the observation system, and the scattered light generated by the defects of the observation plane is transmitted through the polarizer. It is characterized by obtaining a dark field effect (暗 視野 效果).
상기한 편광자는 편광위상의 상대적 조절로 관찰면에서 반사하는 조명광중 P편광 혹은 S편광 성분의 광을 투과시키게 된다.The polarizer transmits the light of the P-polarized light or the S-polarized light component among the illumination light reflected from the observation plane by the relative adjustment of the polarization phase.
또한 좌우측 접안렌즈에서 투사되는 광신호를 촬영하는 좌우측 CCD카메라와 촬영한 영상신호를 처리하는 영상신호 처리부 및 디스플레이부를 더 구성하여 관찰면의 미소결함의 영상을 디스플레이 할 수도 있다. 이경우 디스플레이부는 영상을 화면으로 나타내는 것이면 되고, 컴퓨터의 모니터를 사용하는 것이 바람직하며, 이는 영상신호의 데이터처리를 용이하게 하고, 기록 및 활용 또한 용이하게 할 수 있기 때문이다.In addition, the left and right CCD camera for photographing the optical signal projected from the left and right eyepieces, the image signal processing unit and the display unit for processing the captured image signal may be further configured to display an image of the microscopic defect of the observation surface. In this case, it is preferable that the display unit displays an image on a screen, and it is preferable to use a monitor of a computer because it can facilitate the data processing of the image signal, and also facilitate the recording and utilization.
이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명 편광자를 구비한 2광로 관찰장치의 블록구성도, 도 3은 본 발명 편광자를 구비한 2광로 관찰장치의 렌즈배치상태를 보여주는 도면으로서, 관찰면(A)으로 부터 대물렌즈, 편광자, 반투명경, 접안렌즈를 순차적으로 배치 설치하며, 이들은 각각 좌우 동일하고 관찰면(A)에 수직한 면에 대칭으로 배치한다.Figure 2 is a block diagram of a two-light channel observation device having a polarizer of the present invention, Figure 3 is a view showing a lens arrangement state of the two-light channel observation device having a polarizer of the present invention, the objective lens from the observation surface (A), The polarizer, the translucent mirror, and the eyepiece are arranged in sequence, and they are arranged symmetrically on a plane which is the same on the left and right and perpendicular to the observation plane A, respectively.
즉, 우측대물렌즈(2)와 좌측대물렌즈(2'), 우측편광자(5)와 좌측편광자(5'), 우측 반투명경(3)과 좌측 반투명경(3'), 우측 접안렌즈(4)와 좌측 접안렌즈(4')는 서로 동일한 것이고, 관찰면(A)에 수직한 면에 대칭으로 배치한다. 따라서 관찰면 (A)은 좌우관찰계에 의해 동시에 관찰할 수 있게 된다.That is, the right objective lens 2 and the left objective lens 2 ', the right polarizer 5 and the left polarizer 5', the right semitransparent mirror 3 and the left semitransparent mirror 3 ', and the right eyepiece 4 ) And the left eyepiece 4 'are identical to each other, and are arranged symmetrically on a plane perpendicular to the observation plane A. FIG. Therefore, the observation surface A can be observed simultaneously by the left and right observation system.
도 4는 본 발명 편광자를 구비한 2광로 관찰장치로 물체를 관찰하는 상태를보여주는 도면으로서, 도 4에 도시한 바와 같이 광원(1)의 발광 빛은 우측 반투명경(3)에서 반사된후 우측편광자(5)와 우측대물렌즈(2)를 거쳐 관찰면(A)으로 투사되고, 관찰면(A)에서 반사되어 좌측대물렌즈(2')를 거쳐 좌측편광자(5')로 입사하게 된다. 이와 같이 좌측편광자(5')로 입사되는 조명광(L)의 대부분은 우측편광자에 대하여 90°로 설치된 좌측편광자( 5')의 편광작용에 의해 차단되고, 이와 더불어 조명광(L)에 의해 관찰면(A)의 미소결함으로 부터는 산란현상이 일어나게 되어 산란광(D)이 좌측대물렌즈(2')를 거쳐 좌측편광자(5')로 입사되게 되는데 이 산란광은 좌측편광자(5')의 편광작용으로 좌측편광자 (5')를 통과 하여 좌측반투명경( 3')과 좌측접안렌즈(4')를 거쳐 좌측안구로 입사된다.4 is a view showing a state of observing an object with a two-path observation device having a polarizer according to the present invention, as shown in FIG. 4, the emitted light of the light source 1 is reflected from the right semi-transparent mirror 3 and then to the right. The light is projected onto the observation plane A via the polarizer 5 and the right objective lens 2, and is reflected by the observation plane A to enter the left polarizer 5 'via the left objective lens 2'. In this way, most of the illumination light L incident on the left polarizer 5 'is blocked by the polarization action of the left polarizer 5' installed at 90 ° with respect to the right polarizer, and at the same time, the observation surface is illuminated by the illumination light L. From the microdefect of (A), scattering phenomenon occurs and scattered light (D) enters the left polarizer (5 ') through the left objective lens (2'). The scattered light is polarized by the left polarizer (5 '). It enters the left eye through the left polarizer 5 'and through the left semitransparent mirror 3' and the left eyepiece 4 '.
이와 마찬가지로 광원(1)의 발광 빛은 좌측 반투명경(3')에서 반사된후 좌측편광자(5')와 좌측대물렌즈(2')를 거쳐 관찰면(A)으로 투사되고, 관찰면(A)에서 반사되어 우측대물렌즈(2)를 거쳐 우측편광자(5)로 입사하게 된다. 이와 같이 우측편광자(5)로 입사되는 조명광(L)의 대부분은 좌측편광자( 5')에 대하여 90°로 설치된 우측편광자(5)의 편광작용에 의해 차단되고, 이와 더불어 조명광에 의해 관찰면 (A)의 미소결함으로 부터 발생한 산란광이 우측대물렌즈 (2)를 거쳐 우측편광자(5)로 입사되게 되는데 이 산란광은 우측편광자(5)의 편광작용으로 우측편광자 (5)를 통과 하여 우측반투명경(3)과 우측접안렌즈(4)를 거쳐 우측안구로 입사된다.Similarly, the emitted light of the light source 1 is reflected by the left translucent mirror 3 'and then is projected onto the observation plane A via the left polarizer 5' and the left objective lens 2 ', and then the observation plane A And is incident on the right polarizer 5 via the right objective lens 2. In this way, most of the illumination light L incident on the right polarizer 5 is blocked by the polarization action of the right polarizer 5 provided at 90 ° with respect to the left polarizer 5 ', and the observation surface ( The scattered light generated by the microdefect of A) enters the right polarizer 5 through the right objective lens 2, and the scattered light passes through the right polarizer 5 by the polarizing action of the right polarizer 5 and then the right semitransparent mirror. It enters into a right eye through (3) and the right eyepiece (4).
본 발명은 상기한 바와 같이 관찰면(A)을 관찰하게 되는데 편광자의 편광작용으로 광원(1)의 조도를 높여도 관찰면(A)에서 반사되는 조명광(L)의 대부분은 좌우측편광자(5')(5)의 편광작용에 의해 차단되고, 관찰면(A)의 미소결함으로부터 산란되는 산란광은 좌우측편광자(5')(5)를 통과할 수 있기 때문에 조도가 높은 조명광으로 초고정밀 가공면의 미소결함을 정밀하게 관찰할 수 있게 된다.As described above, the present invention observes the observation plane A. Even though the illuminance of the light source 1 is increased by the polarization of the polarizer, most of the illumination light L reflected from the observation plane A is left and right polarizer 5 '. Scattered light is blocked by the polarization of the (5) and scattered from the micro-defects of the observation surface (A) can pass through the left and right polarizers (5 ') (5), so that the illumination light of the high Fine defects can be observed precisely.
상기한 바와 같이 작용하는 본 발명은 좌우로 독립한 광학계에 편광자를 구비하여 조명광의 대부분을 편광자로 차단하고, 미소결함으로 부터 산란하는 산란광을 편광자로 투과시킴으로써 광원의 조도를 높여 고 정밀도로 관찰면의 결함을 관찰할 수 있는 장점이 있다.The present invention, which operates as described above, includes a polarizer in the left and right optical systems, blocks most of the illumination light with the polarizer, and transmits the scattered light scattered from the fine particles with the polarizer to increase the illuminance of the light source with high accuracy. There is an advantage to observe the defects.
뿐만아니라 편광자의 위상을 통상적인 현미경에서 사용하는 방법으로 조절하여 편광자를 투과하는 광을 조절함으로써 관찰면의 관찰을 용이하게 하면서도 세밀하게 관찰할 수 있고, 관찰되는 관찰면을 촬영하여 영상신호처리한 후 컴퓨터의 모니터와 같은 디스플레이부로 나타낼 수 있으므로 관찰면의 관찰내용의 기록이나 활용을 용이하게 할 수 있는 장점이 있다.In addition, by adjusting the phase of the polarizer by a method used in a conventional microscope, it is possible to observe the observation surface in detail while making it easy to observe the observation surface by adjusting the light transmitted through the polarizer, and to take an image signal processing by photographing the observed observation surface. Since it can be represented by a display unit such as a computer monitor, there is an advantage of facilitating the recording or utilization of the observation contents of the observation surface.
도 1은 종래 일반적인 2축 실체 현미경에서의 관찰원리를 설명하기 위한 도1 is a view for explaining the principle of observation in a conventional general biaxial stereo microscope
면, if,
도 2는 본 발명 편광자를 구비한 2광로 관찰장치의 블록구성도,2 is a block diagram of a two-light path observation device having a polarizer of the present invention;
도 3은 본 발명 편광자를 구비한 2광로 관찰장치의 렌즈배치상태를 보여주는 Figure 3 shows the lens arrangement state of the two-light observation apparatus equipped with a polarizer of the present invention
도면, drawing,
도 4는 본 발명 편광자를 구비한 2광로 관찰장치로 물체를 관찰하는 상태를Figure 4 shows the state of observing an object with a two-path observation device having a polarizer of the present invention
보여주는 도면이다. Figure showing.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
1 : 광원 2, 2' : 대물렌즈1: light source 2, 2 ': objective lens
3, 3' : 반투명경 4, 4' : 접안렌즈3, 3 ': translucent mirror 4, 4': eyepiece
5, 5' : 편광자 6, 6' : CCD 카메라5, 5 ': polarizer 6, 6': CCD camera
7 : 영상신호 처리부 8 : 디스플레이부7: Image signal processing unit 8: Display unit
A : 관찰면 L : 조명광A: observation surface L: illumination light
D : 산란광D: scattered light
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| KR10-2002-0043909A KR100481154B1 (en) | 2002-07-25 | 2002-07-25 | Stereoscopic observation equipment which has two polarizers |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100481154B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821222A (en) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | Binocular stereoscopic microscope |
| JPH0593870A (en) * | 1991-10-02 | 1993-04-16 | Nikon Corp | Coaxial downward lighting type lighting device for stereoscopic microscope |
| JPH05256795A (en) * | 1991-10-31 | 1993-10-05 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for detecting defect, inspecting magnetic head and manufacturing line of magnetic head |
| KR980010522A (en) * | 1996-07-24 | 1998-04-30 | 정치섭 | An alignment film inspection apparatus and an alignment film inspection method using the apparatus |
| KR20000016881A (en) * | 1998-08-31 | 2000-03-25 | 이토오 도요아키 | A detection device for pattern defects and a correction device thereof |
-
2002
- 2002-07-25 KR KR10-2002-0043909A patent/KR100481154B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821222A (en) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | Binocular stereoscopic microscope |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20040010880A (en) | 2004-02-05 |
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