KR100475354B1 - 유전체 배리어 방전램프 광원장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 유전체 배리어 방전에 의해 엑시머 분자를 생성하는 방전용 가스가 충전된 방전 플라즈마 공간(G)이 있고, 상기 방전용 가스에 방전현상을 유기시키기 위한 양극의 전극(Ea, Eb) 중 적어도 한쪽과 상기 방전용 가스의 사이에 유전체(D)가 끼워진 구조를 가지는 유전체 배리어 방전램프(B, B1, B2,‥)와,상기 유전체 배리어 방전램프의 상기 전극(Ea, Eb)에 고전압을 인가하기 위한 급전수단을 가지는 유전체 배리어 방전램프 광원장치에 있어서,상기 급전수단은 전압 가변 DC 전압원을 가지는 급전수단 전단부(M)와, 스위치 소자로 이루어지는 인버터 회로, 인버터 회로의 게이트 신호를 생성하는 제어 회로(42), 스위치 소자의 교번 주파수를 결정하는 주파수 설정 수단(43), 인버터 회로에 의하여 전압이 인가되는 승압 트랜스(T)를 가지는 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)로 구성되고,상기 급전수단 전단부(M)는 공통의 DC 전원전압(1)을 상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각에 대해 공급하고,상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각은 상기 유전체 배리어 방전 램프(B,B1,B2...)의 각각에 대응하여 설치되고, 스위치 소자와 승압 트랜스(T)에 의해 상기 DC 전원전압(1)을 급준한 전압 변화를 가지는 개략 주기적인 파형의 교류 고전압(H)으로 변환하여, 상기 유전체 배리어 방전램프(B, B1, B2,‥)의 전극(Ea, Eb)에 상기 교류 고전압(H)을 인가하는 것으로서,상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각은 상기 교류 고전압(H)의 주파수를 주파수 설정 수단(43)에 의해 독립적으로 조정할 수 있고,상기 급전수단 전단부(M)는 상기 공통의 DC 전원전압(1)을 조정할 수 있는 것에 의해 조광가능한 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프 광원장치.
- 제1항에 있어서, 상기 급전수단 전단부(M)는 공통의 DC 전원전압으로서 정상 점등용 DC 전원전압(2)과 점등 기동용 DC 전원전압(3)의 양쪽을 상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각에 대해 공급하고,상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각은 상기 정상 점등용 DC 전원전압(2)과 상기 점등 기동용 DC 전원전압(3) 중 어느것을 선택하기 위한 점등전압 선택 스위치회로(X)를 가지고,유전체 배리어 방전램프의 점등 기동시에는 상기 점등 기동용 DC 전원전압(3)을, 또 정상 점등시에는 상기 정상 점등용 DC 전원전압(2)을, 점등전압 선택 스위치회로(X)에 의해 선택하고, 선택된 전압에 따라 상기 개략 주기적인 파형의 교류 고전압(H)으로 변환하는 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프 광원장치.
- 제1항에 있어서, 상기 급전수단 전단부(M)는 공통의 DC 전원전압으로서 변조 로우레벨용 DC 전원전압(4)과 변조 하이레벨용 DC 전원전압(5)을 상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각에 대해 공급하고,상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각은 상기 변조 로우레벨용 DC 전원전압(4)과 상기 변조 하이레벨용 DC 전원전압(5) 중 어느것을 선택하기 위한 변조전압 선택 스위치회로(Y)를 가지고,또한 상기 급전수단 후단부(S, S1, S2,‥)의 각각은 변조전압 선택 스위치회로(Y)에 관한 두 개의 상태, 즉 상기 변조 로우레벨용 DC 전원전압(4)을 선택하는 상태와, 상기 변조 하이레벨용 DC 전원전압(5)을 선택하는 상태를 교호로 개략 주기적으로 반복하고, 선택된 전압에 의해 상기 개략 주기적인 파형의 교류 고전압(H)으로 변환시키며, 또한 상기 두 개 상태의 계속시간 길이의 비를 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프 광원장치.
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