KR100471427B1 - Exposer with multi lamp - Google Patents
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Abstract
본 발명에 의한 이중램프 노광장치는 광을 출사하는 2개의 램프와, 각각의 램프에서 출사된 광을 노광면에 수직하게 반사시키는 2개의 콜리메이트 반사경과, 각각의 램프에서 출사된 빛을 독립하는 상기 콜리메이트 반사경으로 전사시키는 광학계로 구성되어, 대면적, 고휘도 광원의 조사가 가능하여 생산성 및 품질 향상에 효과가 있다.The dual lamp exposure apparatus according to the present invention comprises two lamps for emitting light, two collimator reflectors for reflecting the light emitted from each lamp perpendicular to the exposure surface, and independent of the light emitted from each lamp. It is composed of an optical system to be transferred to the collimated reflector, it is possible to irradiate a large area, a high brightness light source, it is effective in improving productivity and quality.
Description
본 발명은 노광장치에 관한 것으로서, 특히 감광재료가 도포된 패널에 빛을 조사하여 상기 패널에 패턴이 형성되도록 하는 노광장치에 다수의 램프를 사용하여 대면적, 고휘도의 광원을 생성하는 이중램프 노광장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure apparatus, and in particular, a double lamp exposure that generates a large-area, high-brightness light source by using a plurality of lamps in an exposure apparatus that irradiates light onto a panel coated with a photosensitive material to form a pattern on the panel. Relates to a device.
평면 디스플레이 장치 등에서 사용되는 패널에 패턴을 형성하기 위하여 상기 패널에 감광재료를 도포한 후 광을 조사하여 패턴을 형성시키는 방법이 많이 사용되고 있다. 따라서, 상기 패널에 광을 조사하는 노광장치에서는 광을 조사하는 조사영역에 높은 조도를 확보하는 것과 넓은 면적을 균일하게 조사하는 것이 매우 중요하다.In order to form a pattern on a panel used in a flat panel display device or the like, a method of forming a pattern by applying light to the panel and then irradiating light is widely used. Therefore, in the exposure apparatus for irradiating light to the panel, it is very important to ensure high illuminance and to irradiate a large area uniformly to the irradiated area to irradiate light.
일반적으로 노광장치에서 높은 조도를 확보와 대면적 조사를 위해 고출력 램프를 사용한다. 그러나 램프의 출력을 무한정 크게 하는 것은 현재의 기술로서 불가능하며, 램프의 크기가 커짐에 따라 광의 손실 또한 커지고 있다.In general, high-output lamps are used for high illumination and large area irradiation in the exposure apparatus. However, increasing the lamp output indefinitely is not possible with current technology, and as the size of the lamp increases, the loss of light also increases.
도 1은 종래 기술에 의한 이중램프 노광장치가 도시된 예시도이다.1 is an exemplary view showing a dual lamp exposure apparatus according to the prior art.
따라서, 도 1에 도시된 노광장치(일본 특개2000-250223호)와 같이, 2 개의 노광램프를 사용하는 시스템이 개발되었다. 상기한 종래 노광장치는 구형 모양의 렌즈 유닛이 종횡 방향에 각각 복수개 병렬 배치되어 구성된 복합 렌즈인 플라이 아이 렌즈(Fly Eye Lens; 1)와, 상기 플라이 아이 렌즈(1)의 긴 변 방향에 따라 배치된 복수개의 광원(2a,2b)과, 상기 광원(2a,2b)에 각각 대응되도록 설치되어 상기 플라이 아이 렌즈(1)로 상기 광원(2a,2b)의 광을 조사하는 타원경(3a,3b)과, 상기 광원(2a,2b)과 타원경(3a,3b)에서 조사되는 광의 경로를 조정하여 상기 조사된 광이 상기 플라이 아이 렌즈(1)로 입사되도록 하는 제1 미러(4)와, 상기 플라이 아이 렌즈(1)를 통과한 광이 상기 패널(P)로 조사되도록 하는 제2, 3 미러(5,6)를 포함하여 구성된다. Therefore, a system using two exposure lamps, such as the exposure apparatus shown in Fig. 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-250223), has been developed. The conventional exposure apparatus has a fly's eye lens (Fly Eye Lens) 1, a composite lens composed of a plurality of spherical lens units arranged in parallel in the longitudinal and horizontal directions, and arranged along the long side direction of the fly's eye lens 1. Ellipsoids 3a and 3b which are installed to correspond to the plurality of light sources 2a and 2b and the light sources 2a and 2b, respectively, and irradiate the light of the light sources 2a and 2b to the fly's eye lens 1. And a first mirror 4 for adjusting the path of the light irradiated from the light sources 2a and 2b and the ellipsoids 3a and 3b to allow the irradiated light to enter the fly's eye lens 1; And second and third mirrors 5 and 6 which allow the light passing through the fly's eye lens 1 to be irradiated to the panel P.
그러나, 상기한 종래 노광장치는 다수의 램프에서 방사되는 광을 1개의 플라이 아이 렌즈를 통해 노광면에 전사하는 방식으로 구성되기 때문에 다수의 램프가 서로 간섭되어 상기 플라이 아이 렌즈와 직교하도록 설치하는 것이 불가능하므로, 상기 플라이 아이 렌즈를 통과하는 많은 양의 광이 조사 영역 밖으로 나가게 됨으로 광의 손실이 발생한다는 문제점이 있다.즉, 광원 또는 타원경에서 플라이 아이 렌즈로 입사되는 광의 각도가 직각일 때 광손실이 최소화되나, 종래 이중램프 노광장치는 도 7에 도시된 바와 같이 두 개의 광원(2a,2b) 또는 타원경(3a,3b)이 배치 구조상 하나의 플라이 아이 렌즈(1)로 입사되는 광의 각도가 광축으로부터 일정 각도(θ) 기울어질 수 밖에 없기 때문에 많은 양의 광손실이 발생되고, 이에 따라 대면적, 고휘도 노광을 실현하기는 어려운 문제점이 있다. However, since the conventional exposure apparatus is configured in such a manner that the light emitted from the plurality of lamps is transferred to the exposure surface through one fly-eye lens, it is preferable to install the lamps so that the plurality of lamps interfere with each other and orthogonal to the fly-eye lens. Since it is impossible, there is a problem that a large amount of light passing through the fly's eye lens is out of the irradiation area, so that a loss of light occurs. That is, the light loss when the angle of light incident from the light source or the ellipsoid to the fly's eye lens is at right angles. Although this is minimized, in the conventional dual lamp exposure apparatus, as shown in FIG. 7, the angle of light incident on one fly's eye lens 1 by the two light sources 2a and 2b or the ellipsoids 3a and 3b is disposed in the arrangement structure. Due to the inclination of the lens at an angle (θ) from the optical axis, a large amount of light loss is generated, thereby realizing a large area and high brightness exposure. There is a difficult problem to do.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다수의 램프에 수직한 렌즈면을 갖는 각각의 플라이 아이 렌즈를 사용하여 광원의 손실을 저감시켜 대면적, 고휘도 노광을 발생하는 이중램프 노광장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and uses a respective fly's eye lens having a lens plane perpendicular to a plurality of lamps to reduce the loss of a light source to generate a large area and high brightness exposure. It is to provide a lamp exposure apparatus.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 이중램프 노광장치는, 광을 출사하는 램프와, 상기 램프에서 출사된 광을 집광시켜 반사시키는 반사 집광경과, 상기 램프 및 반사 집광경으로부터 전달되는 광을 노광면에 균일한 광의 세기로 전사시키는 플라이 아이 렌즈와, 상기 플라이 아이 렌즈에서 발산된 광을 상기 노광면에 평행광 형태로 전환시켜 반사시키는 콜리메이트 반사경을 포함하고;상기 각 구성 요소는 복수개로 이루어지되, 상기 각 램프에서 출사된 광을 각각의 경로를 거쳐 하나의 노광면에 각각 전달할 수 있도록 각 구성 요소가 일대일로 대응되어 구성되고, 상기 플라이 아이 렌즈는 자신의 렌즈면이 상기 반사 집광경에서 반사된 광과 수직하도록 배치된 것을 특징으로 한다.The dual lamp exposure apparatus of the present invention for achieving the above object is an exposure surface for a lamp that emits light, a reflection condenser for condensing and reflecting the light emitted from the lamp, and the light transmitted from the lamp and the reflection condenser A fly's eye lens for transferring at a uniform intensity of light, and a collimator reflector for converting the light emitted from the fly's eye lens into a parallel light form on the exposure surface to reflect the light; Each component is configured to correspond one-to-one so as to transmit light emitted from each lamp to one exposure surface through each path, and the fly's eye lens has its lens surface reflected from the reflective condenser. And is disposed to be perpendicular to the light.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치가 도시된 예시도이다.2 is an exemplary view showing a double lamp exposure apparatus according to the present invention.
본 발명에 의한 이중램프 노광장치는, 하나의 노광면에 광을 투영하는 광학수단들인 램프, 반사 집광경, 플라이 아이 렌즈, 콜리메이트 반사경이 모두 복수개로 이루어지고, 상기 각 램프에서 출사된 광을 각각의 광 경로를 거쳐 하나의 노광면에 각각 전달할 수 있도록 상기 각 구성 요소가 일대일로 대응되도록 구성된다.도 2를 참조하여 상기 각 구성 요소들이 2개씩 구비된 것을 예시하여 설명한다.도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 이중램프 노광장치는, 좌, 우 양측에 설치되어 광을 조사하는 제 1, 2 램프(12)(22)와, 상기 램프(12)(22)의 후방으로 조사된 광이 반사되어 손실없이 전방으로 집광되도록 상기 제 1, 2 램프(12)(22)에 설치되는 타원형태의 제 1, 2 반사 집광경(13)(23)과, 상기 제 1, 2 램프(12)(22)와 제 1, 2 반사 집광경(13)(23)으로부터 조사된 광이 감광재료가 도포된 패널(P)이 위치된 하나의 노광면(30)에 직교하는 평행광으로 반사되는 제 1, 2 콜리메이트 반사경(14)(24)으로 구성된다.In the dual lamp exposure apparatus according to the present invention, a lamp, a reflective condenser, a fly's eye lens, and a collimator reflector, which are optical means for projecting light onto one exposure surface, are all formed in plural, and the light emitted from each lamp is respectively Each of the components is configured to correspond one-to-one so as to be transmitted to one exposure surface through an optical path of FIG. 2. FIG. 2 will be described with reference to FIG. 2. As described above, the dual lamp exposure apparatus according to the present invention is provided on both the left and right sides and irradiates to the rear of the first and second lamps 12 and 22 for irradiating light and the lamps 12 and 22. Elliptical first and second reflective focusing mirrors 13 and 23 installed in the first and second lamps 12 and 22 so that the reflected light is reflected and focused forward without loss, and the first and second lamps ( 12) (22) and the light irradiated from the first and second reflection concentrators (13, 23) Consists of the first and second collimating reflectors 14, 24 that is reflected into parallel light perpendicular to the one exposed surface 30 of the panel (P) with a photosensitive material coating is located.
한편, 상기 제 1, 2 램프(12)(22)와 제 1, 2 콜리메이트 반사경(14)(24) 사이에 각각 위치되어 상기 제 1, 2 램프(12)(22)와 상기 제 1, 2 반사 집광경(13)(23)에서 조사된 광이 외곽으로 퍼지며 균일한 세기로 발산되며 전사되는 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)로 구성되며, 상기 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)는 자신의 렌즈면이 상기 제 1, 2램프(12)(22)와 제 1, 2 반사 집광경(13)(23)으로부터 조사된 광과 수직하도록 배치된 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the first and second lamps 12 and 22 and the first and second collimator reflectors 14 and 24 are respectively located between the first and second lamps 12 and 22 and the first and second lamps 12 and 22. 2 is composed of first and second fly's eye lenses 11 and 21, which are emitted from the reflective condensing mirrors 13 and 23 and spread out to the outside, and are transferred with uniform intensity, and the first and second fly's eye lenses. (11) and (21) are characterized in that their lens surfaces are arranged so as to be perpendicular to the light irradiated from the first and second lamps 12 and 22 and the first and second reflection concentrators 13 and 23. .
다시말하면, 상기 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)를 통과한 광은 중심부를 기준으로 외부로 확장되며 굴절되어 상기 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)와 제 1, 2 콜리 콜리메이트 반사경(14)(24) 사이의 거리가 멀수록 대면적 노광이 가능하다.In other words, the light passing through the first and second fly's eye lenses 11 and 21 is extended and refracted to the outside with respect to the center of the first and second fly's eye lenses 11 and 21. The larger the distance between two collimating collimating reflectors 14 and 24, the larger area exposure is possible.
상기 제 1, 2 콜리메이트 반사경(14)(24)은 상기 제 1, 2 램프(12)(22)에서 조사된 광이 반사되는 각각의 면이 오목하고, 적어도 일측이 상호 접합되어 구성된다.Each of the first and second collimator reflectors 14 and 24 has a concave surface at which the light irradiated from the first and second lamps 12 and 22 is reflected, and at least one side is joined to each other.
여기서, 제 1, 2 콜리메이트 반사경(14)(24)은 단면이 '∨' 형태로 상호 접합되어 구성될 수 있다.Here, the first and second collimator reflectors 14 and 24 may be configured by mutually bonding cross-sections in a '∨' shape.
상기와 같이 구성된 본 발명의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the present invention configured as described above are as follows.
상기 제 1, 2 램프(12)(22)에서 전방으로 조사된 광과, 상기 제 1, 2 램프(12)(22)에서 후방으로 조사되어 상기 제 1, 2 반사 집광경(13)(23)에 반사된 광을 상기 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)로 투사시킨다.The light irradiated to the front from the first and second lamps 12 and 22 and the back to the rear from the first and second lamps 12 and 22 to the first and second reflection concentrators 13 and 23. The reflected light is projected onto the first and second fly's eye lenses 11 and 21.
상기 제 1, 2 램프(12)(22)와 상기 제 1, 2 반사 집광경(13)(23)으로부터 조사된 광은 상기 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)를 거쳐 균일한 세기로 외곽으로 발산된다.Light irradiated from the first and second lamps 12 and 22 and the first and second reflecting concentrators 13 and 23 is uniformly intensityd through the first and second fly-eye lenses 11 and 21. Radiates outwards.
상기 플라이 아이 렌즈(11)(21)를 통과한 광은 투사면이 오목면으로 형성된 상기 제 1, 2 콜리메이트 반사경(14)(24)에 반사되어 상기 노광면(30)에 직교하는 평행광으로 투사된다.Light passing through the fly's eye lenses 11 and 21 is reflected by the first and second collimating reflectors 14 and 24 having a projection surface formed as a concave surface and is parallel to the exposure surface 30 orthogonally. Is projected to.
도 3a는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 콜리메이트에 광원이 반사된 예시도이고, 도 3b는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 광원의 면적에 대한 조도비를 나타낸 그래프이며, 도 3c는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치에서 광원의 면적에 대한 합성된 조도비를 나타낸 그래프이다.3A is an exemplary view in which a light source is reflected on a collimator of a dual lamp exposure apparatus according to the present invention, and FIG. 3B is a graph showing an illuminance ratio with respect to the area of a light source of the dual lamp exposure apparatus according to the present invention. It is a graph showing the synthesized illuminance ratio with respect to the area of the light source in the dual lamp exposure apparatus according to the invention.
상기 제 1, 2 콜리메이트 반사경(14)(24)에 반사되지 않은 음영구역(A)은 도 3a에 도시된 바와 같이, 광의 합성의 원리에 의해 광의 조도를 노광영역의 다른부분의 위치와 동일하게 한다.As shown in FIG. 3A, the shaded areas A which are not reflected by the first and second collimator reflectors 14 and 24 have the same illumination intensity as the position of the other part of the exposure area by the principle of light synthesis. Let's do it.
상기한 광의 합성의 원리를 살펴보면 다음과 같다.Looking at the principle of the synthesis of the light as follows.
상기 제 1, 2콜리메이트 반사경(14)(24)에 반사된 광은 도 3b에 도시된 바와 같이 평행광으로 이루어진 알파(α)영역과, 평행광과 산란광으로 이루어진 베타(δ), 감마(ω)의 세 영역으로 나눠진다.The light reflected by the first and second collimator reflectors 14 and 24 is an alpha (α) region consisting of parallel light, beta (δ), gamma ( ω) is divided into three areas.
상기 산란광은 상기 평행광에 비해 낮은 조도를 갖는다.The scattered light has a lower illuminance than the parallel light.
도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 제 1콜리메이트 반사경(14)에 반사된 감마(ω)영역과 상기 제 2콜리메이트 반사경(24)에 반사된 알파(α)영역의 중첩되는 부분은 광의 합성에 의하여 평균적인 조도와 동일한 조도를 갖는다.As shown in FIG. 3C, the overlapping portion of the gamma (ω) region reflected by the first collimator reflector 14 and the alpha (α) region reflected by the second collimator reflector 24 is composed of light. It has the same roughness as the average roughness.
도 4에는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 제 2실시예가 도시되어 있다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 부재를 가리킨다.4 shows a second embodiment of the double lamp exposure apparatus according to the present invention. Here, the same reference numerals as in the above-described drawings indicate the same members.
본 제 2실시예의 특징에 따르면, 상기 콜리메이트 반사경은 단면이 '∧' 형태로 형성되어, 상기 제 1, 2램프(12)(22)의 배치공간을 최소화 할 수 있다.According to the second embodiment of the present invention, the collimator reflector may have a cross section having a '∧' shape, thereby minimizing an arrangement space of the first and second lamps 12 and 22.
도 5에는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 제 3실시예가 도시되어 있다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 부재를 가리킨다.5 shows a third embodiment of the double lamp exposure apparatus according to the present invention. Here, the same reference numerals as in the above-described drawings indicate the same members.
본 발명에 의한 제 3실시예의 특징에 따르면, 제 1실시예의 이중램프 노광장치에 제 1, 2 램프(12)(22)에 대응하는 경로 조정수단이 포함된 것을 특징으로 한다.According to a feature of the third embodiment of the present invention, the dual lamp exposure apparatus of the first embodiment is characterized by including path adjusting means corresponding to the first and second lamps 12 and 22.
상기 경로 조정수단은 동일 공간내에 광이 투사되는 거리를 늘릴 수 있어 대면적 노광에 유리하다.The path adjusting means can increase the distance that light is projected in the same space, which is advantageous for large area exposure.
상기 경로 조정수단은 상기 제 1, 2 램프(12)(22) 및 제 1, 2 반사 집광경(13)(23)으로부터 조사된 광을 상기 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)에 반사하는 제 1반사경(16)(26)과, 상기 제 1, 2 플라이 아이 렌즈(11)(21)에서 투사된 광을 상기 제 1, 2콜리메이트 반사경(14)(24)에 반사하는 제 2반사경(17)(27)으로 구성된다.The path adjusting means transmits the light irradiated from the first and second lamps 12 and 22 and the first and second reflection concentrators 13 and 23 to the first and second fly-eye lenses 11 and 21. A first reflecting mirror 16 and 26 reflecting the first and second fly-eye lenses 11 and 21 to reflect the light projected on the first and second collimating reflectors 14 and 24; It consists of two reflecting mirrors 17 and 27.
도 6에는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 제 4실시예가 도시되어 있다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 부재를 가리킨다.6 shows a fourth embodiment of the double lamp exposure apparatus according to the present invention. Here, the same reference numerals as in the above-described drawings indicate the same members.
본 제 4실시예의 특징에 따르면, 제 2실시예의 이중램프 노광장치에 제 1, 2 램프에 대응하는 경로 조정수단이 포함된 것을 특징으로 한다.According to a feature of the fourth embodiment, the dual lamp exposure apparatus of the second embodiment is characterized by including path adjusting means corresponding to the first and second lamps.
이상과 같이 본 발명에 따른 이중램프 노광장치를 예시된 도면을 참조로 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명은 한정되지 않으며 그 발명의 기술사상 범위내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.As described above, the dual lamp exposure apparatus according to the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed herein, and various modifications may be made by those skilled in the art within the technical scope of the present invention. Of course this can be done.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 이중램프 노광장치는 각각의 램프에서 출사된 빛을 독립하는 상기 콜리메이트 반사경으로 전사시키는 광학계로 구성되어, 대면적, 고휘도 광원의 조사가 가능하여 생산성 및 품질 향상에 효과가 있다.The double lamp exposure apparatus of the present invention configured as described above is composed of an optical system for transferring the light emitted from each lamp to the independent collimator reflector, which enables irradiation of a large area and a high brightness light source to improve productivity and quality. It works.
도 1은 종래 기술에 의한 이중램프 노광장치가 도시된 예시도,1 is an exemplary view showing a double lamp exposure apparatus according to the prior art,
도 2는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치가 도시된 예시도,2 is an exemplary view showing a double lamp exposure apparatus according to the present invention,
도 3a는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 콜리메이트에 광원이 반사된 예시도,3A is an exemplary view in which a light source is reflected on a collimator of a dual lamp exposure apparatus according to the present invention;
도 3b는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 광원의 면적에 대한 조도비를 나타낸 그래프,Figure 3b is a graph showing the illuminance ratio with respect to the area of the light source of the dual lamp exposure apparatus according to the present invention,
도 3c는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치에서 합성된 광원의 면적에 대한 조도비를 나타낸 그래프,Figure 3c is a graph showing the illuminance ratio with respect to the area of the light source synthesized in the dual lamp exposure apparatus according to the present invention,
도 4는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 제 2실시예가 도시된 예시도,4 is an exemplary view showing a second embodiment of a double lamp exposure apparatus according to the present invention;
도 5는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 제 3실시예가 도시된 예시도,5 is an exemplary view showing a third embodiment of a double lamp exposure apparatus according to the present invention;
도 6는 본 발명에 의한 이중램프 노광장치의 제 4실시예가 도시된 예시도,도 7은 종래 기술에 의한 이중램프 노광장치의 광손실 상태가 도시된 개략도이다.6 is an exemplary view showing a fourth embodiment of the double lamp exposure apparatus according to the present invention, Figure 7 is a schematic diagram showing the light loss state of the double lamp exposure apparatus according to the prior art.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>
11 : 제 1플라이 아이 렌즈 12 : 제 1램프11: first fly's eye lens 12: first lamp
13 : 제 1반사 집광경 14 : 제 1콜리메이트 반사경13: First reflecting condenser 14: First collimator reflector
16, 26 : 제 1반사경 17, 27 : 제 2반사경16, 26: first reflecting mirror 17, 27: second reflecting mirror
21 : 제 2플라이 아이 렌즈 22 : 제 2램프21: 2nd fly's eye lens 22: 2nd lamp
23 : 제 2반사 집광경 24 : 제 2콜리메이트 반사경23: second reflection condenser 24: second collimator reflector
30 : 노광면30: exposure surface
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