KR100437021B1 - Exposer with a Non-Leaned Light Source - Google Patents
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Abstract
본 발명의 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치에 관한 것으로써, 지면과 수직하게 배치된 적어도 하나 이상의 광원과, 상기 광원에서 조사되는 광이 집광되도록 상기 광원의 주변에 각각 설치된 타원경과, 상기 광원 및 타원경에서 조사되는 광의 경로를 유도하는 삿갓미러와, 상기 삿갓미러에서 반사된 광을 집광하여 광의 손실을 최소화하는 프리즘을 포함하여 구성되어, 광원에서 조사되는 광이 손실 없이 고 조도를 가지고 패턴을 형성하고자 감광재료가 도포된 패널로 조사되도록 하는 동시에 광으로 사용되는 초고압 수은램프의 수명을 연장시킬 수 있는 효과가 있다.An exposure apparatus having an untilted light source of the present invention, comprising: at least one light source disposed perpendicular to the ground, an ellipse mirror installed around the light source so that the light emitted from the light source is focused, and the light source and the ellipse And a prism for minimizing the loss of light by concentrating the light reflected from the hatch mirror and minimizing the loss of light, thereby forming a pattern with high illumination without loss. The photosensitive material is irradiated onto the panel to which the photosensitive material is applied, and at the same time, the life of the ultra-high pressure mercury lamp used as light can be extended.
Description
본 발명은 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치에 관한 것으로서, 특히 감광재료가 도포된 패널에 빛을 조사하여 상기 패널에 패턴이 형성되도록 하는 노광장치에서 사용되는 노광램프의 수명을 연장시킬 수 있는 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure apparatus having a light source that is not inclined. In particular, the present invention relates to a non-tilt that can extend the life of an exposure lamp used in an exposure apparatus that irradiates light onto a panel to which a photosensitive material is applied to form a pattern on the panel. An exposure apparatus having a light source.
평면 디스플레이 장치 등에서 사용되는 패널에 패턴을 형성하기 위하여 상기 패널에 감광재료를 도포한 후 광을 조사하여 패턴을 형성시키는 방법이 많이 사용되고 있다. 따라서, 상기 패널에 광을 조사하는 노광장치에서는 광을 조사하는 조사영역에 높은 조도를 확보하는 것이 매우 중요하다.In order to form a pattern on a panel used in a flat panel display device or the like, a method of forming a pattern by applying light to the panel and then irradiating light is widely used. Therefore, in an exposure apparatus for irradiating light to the panel, it is very important to ensure high illuminance in the irradiated area for irradiating light.
일반적으로 노광장치에서 높은 조도를 확보하기 위해서는 높은 파워출력을 가지는 램프를 사용한다. 그러나 램프의 파워출력이 커짐에 따라 배치되는 램프의 간격이 점차 커지게 되며 그에 따라 상기 램프는 점광원으로써의 기능을 상실하게 된다는 문제점이 발생한다. 즉, 노광장치에서는 광원의 크기가 커짐에 따라 광의 손실이 커진다고 할 수 있다.In general, a lamp having a high power output is used to secure high illuminance in the exposure apparatus. However, as the power output of the lamp increases, the spacing of the lamps is gradually increased, which causes the lamp to lose its function as a point light source. That is, in the exposure apparatus, the light loss increases as the size of the light source increases.
따라서, 도 1에 도시된 노광장치(일본 특개2000-250223호)와 같이, 2 개의 노광램프를 사용하는 시스템이 개발되었다. 상기한 종래 노광장치는 구형 모양의 렌즈 유닛이 종횡 방향에 각각 복수개 병렬 배치되어 구성된 복합 렌즈인 플라이 아이 렌즈(Fly Eye Lens; 1)와, 상기 플라이 아이 렌즈(1)의 긴 변 방향에 따라 배치된 복수개의 광원(2a,2b)과, 상기 광원(2a,2b)에 각각 대응되도록 설치되어 상기 플라이 아이 렌즈(1)로 상기 광원(2a,2b)의 광을 조사하는 타원경(3a,3b)과, 상기광원(2a,2b)과 타원경(3a,3b)에서 조사되는 광의 경로를 조정하여 상기 조사된 광이 상기 플라이 아이 렌즈(1)로 입사되도록 하는 제1 미러(4)와, 상기 플라이 아이 렌즈(1)를 통과한 광이 상기 패널(P)로 조사되도록 하는 제2, 3 미러(5,6)를 포함하여 구성된다.Therefore, a system using two exposure lamps, such as the exposure apparatus shown in Fig. 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-250223), has been developed. The conventional exposure apparatus has a fly's eye lens (Fly Eye Lens) 1, a composite lens composed of a plurality of spherical lens units arranged in parallel in the longitudinal and horizontal directions, and arranged along the long side direction of the fly's eye lens 1. Ellipsoids 3a and 3b which are installed to correspond to the plurality of light sources 2a and 2b and the light sources 2a and 2b, respectively, and irradiate the light of the light sources 2a and 2b to the fly's eye lens 1. And a first mirror 4 for adjusting the path of the light irradiated from the light sources 2a and 2b and the ellipsoids 3a and 3b to allow the irradiated light to enter the fly's eye lens 1; And second and third mirrors 5 and 6 which allow the light passing through the fly's eye lens 1 to be irradiated to the panel P.
그러나 상기한 종래 노광장치에서는 상기 광원으로 사용되는 초고압 수은램프를 기울여서 그 조사광이 적절한 조도를 가지고 상기 패널(P)로 조사되도록 하는데, 상기 초고압 수은램프의 특성상 상기 램프가 기울어지게 되면 그 수명이 단축되고 또한 높은 조도를 얻기 위하여 상기 램프를 일정 각도 이상 기울이게 되면 그 기능을 상실하게 된다.However, in the conventional exposure apparatus, the ultra-high pressure mercury lamp used as the light source is inclined so that the irradiation light is irradiated onto the panel P with an appropriate illuminance. If the lamp is tilted more than a certain angle to obtain a shorter and higher illumination, its function is lost.
또한, 상기한 종래 노광장치에 따라 상기 광원에서 조사하는 광이 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되는 경우 그 입사각이 상기 타원경의 기울임으로 인하여 커지게 된다. 따라서, 상기 플라이 아이 렌즈를 통과하는 많은 양의 광이 조사 영역 밖으로 나가게 됨으로 광의 손실이 발생한다는 문제점이 있다.In addition, when the light irradiated from the light source is incident on the fly's eye lens according to the conventional exposure apparatus, the incident angle is increased due to the inclination of the ellipsoid. Therefore, a large amount of light passing through the fly's eye lens goes out of the irradiation area, causing a loss of light.
종래 노광장치는 상기한 광 손실의 문제점을 해결하기 위하여 상기 제2,3 미러로 구면 미러를 사용하였으나, 종래 기술로는 상기한 광 손실의 문제점이 근본적으로 해결될 수 없다는 문제점이 있다.In the conventional exposure apparatus, spherical mirrors are used as the second and third mirrors to solve the above-described problems of light loss, but there is a problem that the above-described problems of light loss cannot be fundamentally solved by the prior art.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 지면과 수직하게 배치된 복수개의 광원의 광을 손실 없이 패턴을 형성하고자 하는 패널로 조사하여 광원의 수명을 연장시키는 동시에 고조도를 가지는 광 조사영역을 확보할 수 있는 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, the object of which is to extend the life of the light source by irradiating the panel to form a pattern without loss of the light of a plurality of light sources disposed perpendicular to the ground It is an object of the present invention to provide an exposure apparatus having an inclined light source capable of securing a light irradiation area having high illuminance.
도 1은 종래 노광장치의 구성이 도시된 개략도,1 is a schematic view showing the configuration of a conventional exposure apparatus;
도 2는 본 발명에 따른 제1 실시예의 구성이 도시된 개략도,2 is a schematic diagram showing a configuration of a first embodiment according to the present invention;
도 3a, 3b는 도 2의 일부 구성요소의 평면도,3A, 3B are plan views of some components of FIG. 2,
도 4는 본 발명에 따른 제2 실시예의 구성이 도시된 개략도,4 is a schematic diagram showing a configuration of a second embodiment according to the present invention;
도 5는 본 발명에 따른 제3 실시예의 구성이 도시된 평면도이다.5 is a plan view showing the configuration of a third embodiment according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>
10a, 10b : 제1, 2 광원 11a, 11b : 제1, 2 타원경10a, 10b: 1st, 2nd light source 11a, 11b: 1st, 2nd ellipsoidal mirror
12 : 삿갓미러 13 : 프리즘12: hatchet mirror 13: prism
14 : 플라이 아이 렌즈 15, 16 : 제1,2 콜리메이트 거울14 fly eye lens 15, 16 first, second collimated mirror
20 : 패널 30a, 30b : 제1,2 미러20: panels 30a, 30b: first and second mirrors
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치의 특징에 따르면, 패턴을 형성하기 위하여 감광재료가 도포된 패널로 광을 조사하는 노광장치에 있어서, 상기 패널로 광이 조사되도록 복수개의 구형 렌즈 유닛이 종횡방향에 병렬 배치되어 이루어진 플라이 아이 렌즈(Fly Eye Lens)와, 상기 플라이 아이 렌즈로 광을 조사하며 서로 마주보도록 지면과 수직하게 배치되는 적어도 하나 이상의 광원과, 상기 광원에서 조사되는 광이 집광되도록 상기 광원에 각각 설치되는 타원경과, 상기 광원에서 조사되는 광과 상기 타원경에서 집광되어 조사되는 광이 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 제1 경로 조정수단과, 상기 제1 경로 조정수단에서 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되는 광의 손실을 방지하는 프리즘과, 상기 플라이 아이 렌즈를 통과한 광이 상기 패널에 조사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 적어도 하나 이상의 콜리메이트 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기울어지지 않은 광원을 가지는 노광장치로 구성된다.According to a feature of an exposure apparatus having a light source that is not inclined according to the present invention for solving the above problems, in an exposure apparatus for irradiating light to a panel coated with a photosensitive material to form a pattern, light is irradiated to the panel A fly-eye lens having a plurality of spherical lens units arranged in parallel in the longitudinal and transverse directions, at least one light source disposed perpendicular to the ground so as to face each other while irradiating light with the fly-eye lens, and the light source First path adjustment for adjusting the path of the light so that the light emitted from the ellipsoid, respectively installed in the light source, and the light emitted from the light source and the light irradiated by the ellipsoid are incident on the fly's eye lens Means and to prevent the loss of light incident from the first path adjusting means to the fly's eye lens. Is an exposure apparatus having a prism and at least one collimating means for adjusting the path of the light such that light passing through the fly's eye lens is irradiated onto the panel. .
또한, 본 발명에 의한 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치의 제2 특징에 따르면, 패턴을 형성하기 위하여 감광재료가 도포된 패널로 광을 조사하는 노광장치에 있어서, 상기 패널로 광이 조사되도록 복수개의 구형 렌즈 유닛이 종횡방향에 병렬 배치되어 이루어진 플라이 아이 렌즈(Fly Eye Lens)와, 상기 플라이 아이 렌즈로 광을 조사하며 지면과 수직하게 배치되는 적어도 하나 이상의 광원과, 상기 광원에서 조사되는 광이 집광되도록 상기 광원에 각각 설치되는 타원경과, 상기 광원에서 조사되는 광과 상기 타원경에서 집광되어 조사되는 광이 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 제1 경로 조정수단과, 상기 광원과 타원경에서 조사되는 광이 상기 제1 경로 조정수단으로 조사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 제2 경로 조정수단과, 상기 제1 경로 조정수단에서 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되는 광의 손실을 방지하는 프리즘과, 상기 플라이 아이 렌즈를 통과한 광이 상기 패널에 조사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 적어도 하나 이상의 콜리메이트 수단으로 구성된다.In addition, according to the second aspect of the exposure apparatus having a light source that is not inclined according to the present invention, in the exposure apparatus for irradiating light to a panel coated with a photosensitive material in order to form a pattern, a plurality of such that the light is irradiated to the panel A fly's eye lens having a spherical lens unit arranged in parallel in the longitudinal and horizontal directions, at least one light source disposed perpendicular to the ground while irradiating light with the fly's eye lens, and the light emitted from the light source is focused. First path adjusting means for adjusting the path of the light so that the ellipsoids respectively installed in the light source, the light irradiated from the light source and the light condensed and irradiated from the ellipsoidal light, are incident on the fly's eye lens; A second path set for adjusting the path of the light so that the light irradiated from the ellipsoid is irradiated to the first path adjusting means Means, a prism that prevents loss of light incident from the first path adjusting means to the fly's eye lens, and at least one collimator for adjusting the path of the light to irradiate the panel with light passing through the fly's eye lens. Means.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 의한 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치의 제1 실시예는 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 마주보도록 지면과 수직하게 상하 배치된 제1,2 광원(10a,10b)과, 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사된 광원을 집광하도록 상기 제1,2 광원(10a,10b)에 각각 설치된 타원경(11a,11b)과, 상기 제1,2 광원(10a,10b)과 상기 타원경(11a,11b)에서 조사되는 광원의 경로를 조정하는 제1 경로 조정수단인 삿갓미러(12)와, 상기 삿갓미러(12)를 통해 반사된 광의 손실이 방지되도록 상기 삿갓미러(12)에서 반사된 광을 집광하는 프리즘(13)과, 상기 프리즘(13)에서 집광된 광이 입사되는 플라이 아이 렌즈(14)와, 상기 플라이 아이 렌즈(14)를 통과한 광이 평행하게 패턴을 형성하고자 감광재료가 도포된 패널로 조사되도록 하는 콜리메이트(Collimate) 수단인 제1, 2 콜리메이드 미러(15,16)로 구성된다.As shown in FIG. 2, the first embodiment of the exposure apparatus having the non-tilt light source according to the present invention includes first and second light sources 10a and 10b vertically disposed vertically with respect to the ground to face each other, and the first light source. And ellipsoids 11a and 11b provided in the first and second light sources 10a and 10b to collect light sources irradiated from the second light sources 10a and 10b, and the first and second light sources 10a and 10b, respectively. The hatch mirror 12, which is a first path adjusting means for adjusting the path of the light source irradiated from the ellipsoids 11a and 11b, and the hatch mirror 12 to prevent the loss of light reflected through the hatch mirror 12. The prism 13 for condensing the light reflected from the light beam, the fly eye lens 14 to which the light collected by the prism 13 is incident, and the light passing through the fly eye lens 14 form a parallel pattern. First and second collimated mirrors 15 and 16, which are collimating means for irradiating a panel coated with a photosensitive material to be formed. It is.
여기서, 상기 제1 경로 조정수단은 필요에 따라 평면 또는 구면 미러로 구성될 수 있으며, 본 발명에 따른 삿갓미러(12)는 일변이 접합된 2장의 평면미러로 구성된다. 상기 삿갓미러(12)를 통해 반사되어 상기 프리즘(13)과 플라이 아이 렌즈(14)로 입사되는 광의 입사각 θ1이라 하고, 상기 프리즘(13)을 통과하여 상기 플라이 아이 렌즈(14)로 입사되는 광의 입사각을 θ2라 하면, 상기 θ1와 θ2는 다음 제1 수학식을 만족한다.Here, the first path adjusting means may be configured as a planar or spherical mirror, if necessary, the hatch mirror 12 according to the present invention is composed of two plane mirrors, one side of which is bonded. The incident angle θ 1 of light reflected through the hatch mirror 12 and incident on the prism 13 and the fly's eye lens 14 is referred to as being incident to the fly's eye lens 14 through the prism 13. When the incident angle of light is θ 2 , θ 1 and θ 2 satisfy the following first equation.
여기서, 상기 θ2는 가능한 최소가 되어야 한다. 즉, 상기 θ2가 최소인 경우, 상기 삿갓미러(12)에서의 광 손실이 최소화되거냐 제거되므로 광의 조도 확보에 효과적이다.Here, θ 2 should be the minimum possible. That is, when the θ 2 is the minimum, the light loss in the scavenger mirror 12 is minimized or eliminated, which is effective for securing the illuminance of the light.
또한, 도 3b에 도시된 바와 같이 광원에서 조사하는 광과 상기 타원경에서 조사하는 광 사이의 각(θr)과 θ1은 다음 수학식 2를 만족한다.In addition, as shown in FIG. 3B, the angle θ r and θ 1 between the light irradiated from the light source and the light irradiated from the ellipsoidal mirror satisfy the following equation (2).
또한, 상기 플라이 아이 렌즈(14)는 종횡의 길이가 각각 a,b인 렌즈 유닛의 2차원 배열로 구성된다. 여기서, a와 b의 종횡비는 상기 패널(20)에 광이 조사되는 조사면적의 종횡비와 유사하게 구성된다. 만일, 상기 조사면적의 종횡비가 16:9이면 상기 플라이 아이 렌즈의 렌즈 유닛의 종횡비도 상기 16:9와 유사한 값을 가진다. 여기서, 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되어 상기 플라이 아이 렌즈(14)로 입사되는 광의 방향은 고 조도를 확보하기 위하여 상기 플라이 아이 렌즈(14)의 렌즈 유닛의 긴길이 방향이어야 한다. 따라서, 본 제1 실시예에서 상기 플라이 아이 렌즈의 렌즈 유닛은 긴변이 횡방향으로 놓이게 된다.In addition, the fly's eye lens 14 is composed of a two-dimensional array of lens units whose length and length are respectively a and b. Here, the aspect ratio of a and b is configured similarly to the aspect ratio of the irradiation area to which the panel 20 is irradiated with light. If the aspect ratio of the irradiation area is 16: 9, the aspect ratio of the lens unit of the fly's eye lens also has a value similar to that of the 16: 9. Here, the direction of the light irradiated from the first and second light sources 10a and 10b and incident on the fly's eye lens 14 should be the long length direction of the lens unit of the fly's eye lens 14 to ensure high illuminance. do. Therefore, in the first embodiment, the long side of the lens unit of the fly's eye lens is placed in the transverse direction.
그 외에, 상기 플라이 아이 렌즈(14)로 입사되는 상기 제1,2 광원(10a,10b) 및 상기 제1,2 타원경(11a,11b)의 광은 그 차이가 상기 플라이 아이 렌즈(14)의 크기의 1/2 이하여야 하며, 가능한 한 상기 플라이 아이 렌즈(14)의 중심에 동시에 입사하여야 한다. 본 제1 실시예에서는 상기 차이가 상기 플라이 아이 렌즈(14)의 횡길이의 1/2 이하이어야 한다.In addition, the difference between the light of the first and second light sources 10a and 10b and the first and second ellipsoids 11a and 11b incident on the fly's eye lens 14 is different from that of the fly's eye lens 14. It should be less than 1/2 of the size of and should be simultaneously incident on the center of the fly's eye lens 14 as much as possible. In the first embodiment, the difference must be equal to or less than 1/2 the lateral length of the fly's eye lens 14.
마지막으로 상기 제1,2 콜리메이트 미러(15,16)는 평면 미러로써 상기 플라이 아이 렌즈(14)를 통과한 광이 평행하게 상기 패널(20)로 조사되도록 하며, 그 갯수는 필요에 따라 증감 가능하고, 상기 광원(10a,10b)은 일반적으로 초고압 수은램프로 이루어지며, 상기 제1 경로 조정수단은 볼록 미러로도 구성 가능하다.Finally, the first and second collimated mirrors 15 and 16 are planar mirrors so that light passing through the fly's eye lens 14 is irradiated to the panel 20 in parallel, and the number is increased or decreased as necessary. The light sources 10a and 10b are generally made of an ultra-high pressure mercury lamp, and the first path adjusting means may be configured as a convex mirror.
본 발명에 의한 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치의 제2 실시예는 도 3에 도시된 바와 같이, 지면과 수직하게 배치되어 위를 향하여 광을 조사하는 제1,2 광원(10a,10b)과, 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되는 광을 집광하는 제1,2 타원경(11a,11b)고, 상기 광원(10a,10b) 및 상기 타원경(11a,11b)에서 조사된 광이 상기 제1 경로 조정수단인 삿갓미러(12)로 입사되도록 광의 경로를 조정하는 제2 경로 조정수단인 제1,2 미러(30a,30b)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3, the second embodiment of the exposure apparatus having the non-tilt light source according to the present invention includes: first and second light sources 10a and 10b which are disposed perpendicular to the ground and irradiate light upward; First and second ellipsoids 11a and 11b for condensing the light emitted from the first and second light sources 10a and 10b, and irradiated from the light sources 10a and 10b and the ellipsoidal mirrors 11a and 11b. And first and second mirrors 30a and 30b which are second path adjusting means for adjusting the path of the light so that the light is incident on the hatch mirror 12 which is the first path adjusting means.
여기서, 상기 제1,2 광원(10a,10b) 및 상기 제1, 2 타원경(11a,11b)에서 조사된 광은 상기 제1,2 미러(30a,30b)를 통해 상기 삿갓미러(12)로 입사되며, 상기 삿갓미러(12)는 상기 제1 실시예에서와 같이 상기 프리즘(13)으로 상기 입사된 광을 반사시켜 상기 광이 패널(20)에 조사될 수 있도록 한다.Here, the light irradiated from the first and second light sources 10a and 10b and the first and second ellipsoidal mirrors 11a and 11b passes through the first and second mirrors 30a and 30b. The foot mirror 12 reflects the incident light to the prism 13 as in the first embodiment so that the light can be irradiated to the panel 20.
또한, 상기 제1,2 광원(10a,10b)은 지면과 수직하게 배치되며 그 조사광이 상기 플라이 아이 렌즈(14)의 긴방향으로 입사되어야 하므로, 상기 플라이 아이 렌즈(14)는 그 렌즈 유닛의 긴변이 종방향으로 놓여 있다.In addition, since the first and second light sources 10a and 10b are disposed perpendicular to the ground and the irradiation light must be incident in the long direction of the fly's eye lens 14, the fly's eye lens 14 is the lens unit. The long side of lies in the longitudinal direction.
마지막으로, 도 5는 본 발명에 따른 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치에 볼록 프리즘(13a)을 적용한 예를 위측에서 도시하고 있는 평면도이다.Finally, FIG. 5 is a plan view showing an example in which the convex prism 13a is applied to an exposure apparatus having an untilted light source according to the present invention.
이 경우, 본 발명의 제1 실시예에서와 같이 서로 마주보도록 지면과 수평하게 설치된 광원(10a,10b) 및 타원경(11a,11b)에서 조사되는 광은 상기 삿갓미러(12)를 이루는 제1,2 평면미러(12a,12b)와 45°의 각도를 가지고 입사되어, 상기 삿갓미러(12)를 통해 수직으로 반사된다. 상기 삿갓미러(12)를 통해 입사된 광이 수직으로 반사되는 경우, 상기 삿갓미러(12)에 의한 광 손실을 '0'이 된다. 또한, 상기 블록 프리즘(14a)을 통해 상기 삿갓미러(12)의 반사광이 상기 플라이 아이 렌즈(14)로 입사되므로 상기 θ2는 감소되어 조도 확보가 용이하게 된다.In this case, the light irradiated from the light sources 10a and 10b and the ellipsoidal mirrors 11a and 11b installed horizontally to face each other as in the first embodiment of the present invention is the first forming the scavenger mirror 12. And incident with the two plane mirrors 12a and 12b at an angle of 45 °, and are reflected vertically through the scavenger mirror 12. When the light incident through the hatch mirror 12 is vertically reflected, the light loss caused by the hatch mirror 12 becomes '0'. In addition, since the reflected light of the shader mirror 12 is incident on the fly's eye lens 14 through the block prism 14a, the θ 2 is reduced to facilitate illumination.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치는 지면과 수직하게 배치된 적어도 하나 이상의 광원과, 상기 광원에서 조사되는 광이 집광되도록 상기 광원의 주변에 각각 설치된 타원경과, 상기 광원 및 타원경에서 조사되는 광의 경로를 유도하는 삿갓미러와, 상기 삿갓미러에서 반사된 광을 집광하여 광의 손실을 최소화하는 프리즘을 포함하여 구성되어, 광원에서 조사되는 광이 손실 없이 고 조도를 가지고 패턴을 형성하고자 감광재료가 도포된 패널로 조사되도록 하는 동시에 광으로 사용되는 초고압 수은램프의 수명을 연장시킬 수 있는 효과가 있다.The exposure apparatus having the non-tilt light source of the present invention configured as described above comprises at least one light source disposed perpendicular to the ground, an elliptical mirror installed at the periphery of the light source so that light emitted from the light source is focused, and the light source and And a prism for minimizing the loss of light by concentrating the light reflected from the hatch mirror and minimizing the loss of the light. The light irradiated from the light source has a high illuminance without loss. At the same time, the photosensitive material is irradiated onto the coated panel to be formed, and at the same time, the life of the ultra-high pressure mercury lamp used as light can be extended.
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