KR100437022B1 - Exposer with a Non-Leaned Light Source - Google Patents

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KR100437022B1
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Abstract

본 발명은 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치에 관한 것으로써, 지면과 수직하게 배치되는 광원과, 상기 광원에서 조사되는 광을 패턴을 형성하고자 감광재료가 도포된 패널로 조사하는 경로 조정수단과, 상기 광원에서 조사되는 광이 손실 없이 고 조도를 가지고 상기 경로 조정수단으로 조사될 수 있도록 상기 광을 집광하며 상기 경로 조정수단을 향하여 기울어진 타원경을 통해 초고압 수은램프 등으로 이루어지는 광원의 수명을 연장시키는 동시에 패널로 조사되는 광의 손실을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to an exposure apparatus having a light source that is not inclined, comprising: a light source disposed perpendicular to the ground, a path adjusting means for irradiating light emitted from the light source to a panel coated with a photosensitive material to form a pattern; Condensing the light so that the light irradiated from the light source can be irradiated to the path adjusting means with high illuminance without loss, and extends the life of the light source consisting of an ultra-high pressure mercury lamp through an ellipsoid inclined toward the path adjusting means. At the same time, there is an effect that can prevent the loss of light irradiated to the panel.

Description

기울지 않은 광원을 가지는 노광장치{Exposer with a Non-Leaned Light Source}Exposure device with non-tilt light source {Exposer with a Non-Leaned Light Source}

본 발명은 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치에 관한 것으로서, 특히 지면과 수평 또는 수직하게 광원을 배치하고 상기 광원 주변에 각각 상기 광원에서 조사하는 광원 경로를 조정하는 타원경을 설치하여 광 손실을 최소화하는 동시에 상기 광원의 수명을 연장시킬 수 있는 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치에 관한 것이다.The present invention relates to an exposure apparatus having a light source that is not inclined, and in particular, arranges the light source horizontally or vertically with the ground and installs an ellipsoid mirror for adjusting the light source path irradiated from the light source around the light source to minimize light loss. At the same time, the present invention relates to an exposure apparatus having an inclined light source capable of extending the life of the light source.

평면 디스플레이 장치 등에서 사용되는 패널에 패턴을 형성하기 위하여 상기 패널에 감광재료를 도포한 후 광을 조사하여 패턴을 형성시키는 방법이 많이 사용되고 있다. 따라서, 상기 패널에 광을 조사하는 노광장치에서는 광을 조사하는 조사영역에 높은 조도를 확보하는 것이 매우 중요하다.In order to form a pattern on a panel used in a flat panel display device or the like, a method of forming a pattern by applying light to the panel and then irradiating light is widely used. Therefore, in an exposure apparatus for irradiating light to the panel, it is very important to ensure high illuminance in the irradiated area for irradiating light.

일반적으로 노광장치에서 높은 조도를 확보하기 위해서는 높은 파워출력을 가지는 램프를 사용한다. 그러나 램프의 파워출력이 커짐에 따라 배치되는 램프의 간격이 점차 커지게 되며 그에 따라 상기 램프는 점광원으로써의 기능을 상실하게 된다는 문제점이 발생한다. 즉, 노광장치에서는 광원의 크기가 커짐에 따라 광의 손실이 커진다고 할 수 있다.In general, a lamp having a high power output is used to secure high illuminance in the exposure apparatus. However, as the power output of the lamp increases, the spacing of the lamps is gradually increased, which causes the lamp to lose its function as a point light source. That is, in the exposure apparatus, the light loss increases as the size of the light source increases.

따라서, 도 1에 도시된 노광장치(일본 특개2000-250223호)와 같이, 2 개의 노광램프를 사용하는 시스템이 개발되었다. 상기한 종래 노광장치는 구형 모양의렌즈 유닛이 종횡 방향에 각각 복수개 병렬 배치되어 구성된 복합 렌즈인 플라이 아이 렌즈(Fly Eye Lens; 1)와, 상기 플라이 아이 렌즈(1)의 긴 변 방향에 따라 배치된 복수개의 광원(2a,2b)과, 상기 광원(2a,2b)에 각각 대응되도록 설치되어 상기 플라이 아이 렌즈(1)로 상기 광원(2a,2b)의 광을 조사하는 타원경(3a,3b)과, 상기 광원(2a,2b)과 타원경(3a,3b)에서 조사되는 광의 경로를 조정하여 상기 조사된 광이 상기 플라이 아이 렌즈(1)로 입사되도록 하는 제1 미러(4)와, 상기 플라이 아이 렌즈(1)를 통과한 광이 상기 패널(P)로 조사되도록 하는 제2, 3 미러(5,6)를 포함하여 구성된다.Therefore, a system using two exposure lamps, such as the exposure apparatus shown in Fig. 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-250223), has been developed. The conventional exposure apparatus includes a fly's eye lens (1), which is a composite lens composed of a plurality of spherical lens units arranged in parallel in a vertical and horizontal direction, and a long side direction of the fly's eye lens (1). Ellipsoids 3a and 3b which are installed to correspond to the plurality of light sources 2a and 2b and the light sources 2a and 2b, respectively, and irradiate the light of the light sources 2a and 2b to the fly's eye lens 1. And a first mirror 4 for adjusting the path of the light irradiated from the light sources 2a and 2b and the ellipsoids 3a and 3b to allow the irradiated light to enter the fly's eye lens 1; And second and third mirrors 5 and 6 which allow the light passing through the fly's eye lens 1 to be irradiated to the panel P.

그러나 상기한 종래 노광장치에서는 상기 광원으로 사용되는 초고압 수은램프를 기울여서 그 조사광이 적절한 조도를 가지고 상기 패널(P)로 조사되도록 하는데, 상기 초고압 수은램프의 특성상 상기 램프가 기울어지게 되면 그 수명이 단축되고 또한 높은 조도를 얻기 위하여 상기 램프를 일정 각도 이상 기울이게 되면 그 기능을 상실하게 된다.However, in the conventional exposure apparatus, the ultra-high pressure mercury lamp used as the light source is inclined so that the irradiation light is irradiated onto the panel P with an appropriate illuminance. If the lamp is tilted more than a certain angle to obtain a shorter and higher illumination, its function is lost.

또한, 상기한 종래 노광장치에 따라 상기 광원에서 조사하는 광이 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되는 경우 그 입사각이 상기 타원경의 기울임으로 인하여 커지게 된다. 따라서, 상기 플라이 아이 렌즈를 통과하는 많은 양의 광이 조사 영역 밖으로 나가게 됨으로 광의 손실이 발생한다는 문제점이 있다.In addition, when the light irradiated from the light source is incident on the fly's eye lens according to the conventional exposure apparatus, the incident angle is increased due to the inclination of the ellipsoid. Therefore, a large amount of light passing through the fly's eye lens goes out of the irradiation area, causing a loss of light.

종래 노광장치는 상기한 광 손실의 문제점을 해결하기 위하여 상기 제2,3 미러로 구면 미러를 사용하였으나, 종래 기술로는 상기한 광 손실의 문제점이 근본적으로 해결될 수 없다는 문제점이 있다.In the conventional exposure apparatus, spherical mirrors are used as the second and third mirrors to solve the above-described problems of light loss, but there is a problem that the above-described problems of light loss cannot be fundamentally solved by the prior art.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 패턴을 형성하고자 감광재료가 도포된 패널로 광을 조사하는 광원을 지면과 수직하게 배치하고 상기 광원을 집광하는 타원경을 기울임으로써 상기 광원이 광이 높은 조도를 가지고 상기 패널로 조사될 수 있도록 하는 동시에 상기 광원을 수명을 연장시킬 수 있는 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, the object of which is to form a pattern to form a light source for irradiating light to the panel coated with a photosensitive material perpendicular to the ground and ellipsoid condensing the light source The present invention provides an exposure apparatus having an inclined light source capable of extending the life of the light source while at the same time allowing the light source to be irradiated to the panel with high illuminance.

도 1은 종래 노광장치의 구성이 도시된 개략도,1 is a schematic view showing the configuration of a conventional exposure apparatus;

도 2는 본 발명에 따른 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치의 제1 실시예의 구성이 도시된 개략도,2 is a schematic diagram showing the configuration of a first embodiment of an exposure apparatus having a light source that is not inclined according to the present invention;

도 3은 도 2의 일부 구성요소들의 정면을 도시한 정면도,3 is a front view illustrating the front of some of the components of FIG.

도 4a, 4b는 본 발명에 따른 노광장치에서 조사되는 광의 각도를 도시한 도,4A and 4B show angles of light emitted from an exposure apparatus according to the present invention;

도 5는 도 2의 일부 구성요소들의 평면을 도시한 평면도,5 is a plan view illustrating a plane of some components of FIG. 2;

도 6은 본 발명에 따른 노광장치의 제2 실시예의 일부 구성요소들의 정면을 도시한 정면도이다.6 is a front view showing the front of some components of the second embodiment of the exposure apparatus according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

10a,10b : 제1,2 광원 11a, 11b : 제1,2 타원경10a, 10b: 1st, 2nd light source 11a, 11b: 1st, 2nd ellipsoid

12 : 삿갓미러 13 : 플라이 아이 렌즈12: hat rearview mirror 13: fly eye lens

14a : 평면 미러 14b: 콜리메이트 미러14a: planar mirror 14b: collimated mirror

30a, 30b : 제1, 2 미러30a, 30b: first and second mirror

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치의 특징에 따르면, 패턴을 형성하기 위하여 감광재료가 도포된 패널로 광을 조사하는 노광장치에 있어서, 상기 패널로 광이 조사되도록 복수개의 구형 렌즈 유닛이 종횡방향에 병렬 배치되어 이루어진 플라이 아이 렌즈(Fly Eye Lens)와, 상기 플라이 아이 렌즈로 광을 조사하도록 지면과 수칙하게 배치되는 적어도 하나 이상의 광원과, 상기 광원에서 조사되는 광이 집광되도록 상기 광원에 각각 설치되는 타원경과, 상기 광원에서 조사되는 광과 상기 타원경에서 집광되어 조사되는 광이 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 제1 경로 조정수단과, 상기 광원과 타원경에서 조사되는 광이 상기 제1 경로 조정수단으로 조사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 제2 경로 조정수단과, 상기 플라이 아이 렌즈를 통과한 광이 상기 패널에 조사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 적어도 하나 이상의 콜리메이트 수단을 포함하여 구성되며, 상기 타원경은 상기 제2 경로 조정수단으로 조사되는 광의 손실이 방지되도록 상기 제2 경로 조정수단을 향하여 기울어져 배치된다.According to a feature of an exposure apparatus having a light source that is not inclined according to the present invention for solving the above problems, in an exposure apparatus for irradiating light to a panel coated with a photosensitive material to form a pattern, light is irradiated to the panel A fly-eye lens having a plurality of spherical lens units arranged in parallel in the longitudinal and transverse directions, at least one light source arranged to be smooth with the ground to irradiate light to the fly-eye lens, and to be irradiated from the light source First path adjusting means for adjusting the path of the light so that the light is focused on the ellipsoid respectively installed in the light source, the light irradiated from the light source and the light condensed on the ellipsoidal light are incident on the fly's eye lens; The path of the light is irradiated so that the light irradiated from the light source and the ellipsoid is irradiated to the first path adjusting means. And second path adjusting means for adjusting and at least one collimating means for adjusting the path of the light such that the light passing through the fly's eye lens is irradiated to the panel, wherein the ellipsoidal mirror is the second path adjusting means. It is arranged to be inclined toward the second path adjusting means so as to prevent the loss of the light irradiated into.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치는 지면과 수직하게 배치되는 제1,2 광원(10a,10b)과, 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되는 광이 플라이 아이 렌즈(13)로 조사되도록 광의 경로는 조정하는 제1 경로 조정수단인 삿갓미러(12)와, 상기 제1,2 광원(10a,10b)의 광을 집광하여 상기 광이 손실없이 상기 삿갓미러(12)로 조사되도록 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되는 광의 경로를 조정하는 제2 경로 조정수단인 제1,2 미러(30a,30b)와, 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되는 광을 집광하여 상기 집광된 광이 손실이 방지되어 상기 제1,2 미러(30a,30b)로 조사되도록 상기 제1,2 광원(10a,10b) 각각에 설치된 제1,2 타원경(11a,11b)으로 구성된다.In the exposure apparatus having the non-tilt light source of the present invention, the first and second light sources 10a and 10b disposed perpendicular to the ground, and the light emitted from the first and second light sources 10a and 10b are fly-eye lenses 13. ), The first path adjusting means to adjust the path of the light so as to be irradiated) and the light of the first and second light sources 10a and 10b to condense the light to the swashhead mirror 12 without losing the light. First and second mirrors 30a and 30b, which are second path adjusting means for adjusting a path of light irradiated from the first and second light sources 10a and 10b to be irradiated, and the first and second light sources 10a and 10b. First and second ellipsoids installed at each of the first and second light sources 10a and 10b to condense the light irradiated from the first and second mirrors 30a and 30b to prevent loss of the collected light. It consists of (11a, 11b).

또한, 본 발명에 따른 노광장치는 상기 광원(10a,10b) 및 타원경(11a,11b)에서 조사되어 상기 삿갓미러(12)를 통해 반사된 광이 입사되는 플라이 아이 렌즈(13)와, 상기 플라이 아이 렌즈(13)를 통과한 광이 평행하게 패널을 형성하고자 감광재료가 도포된 패널로 조사되도록 하는 팡면 미러(14a)와 콜리메이트(Collimate) 수단인 콜리메이트 미러(14b)로 구성된다.In addition, the exposure apparatus according to the present invention is a fly-eye lens 13 is irradiated from the light source (10a, 10b) and the ellipsoidal mirror (11a, 11b) and the light reflected through the scavenger mirror 12, and the The light passing through the fly's eye lens 13 consists of a plane mirror 14a for irradiating a panel coated with a photosensitive material so as to form a panel in parallel, and a collimate mirror 14b serving as collimating means.

여기서, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1,2 타원경(11a,11b)에서 집광되어 조사되는 광과 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되는 광 사이의 각은 θ3이며, 결국, 상기 제1,2 타원경(11a,11b)은 상기 제1,2, 광원(10a,10b)에 대하여 상기 삿갓미러(12)를 향하여 ±θ3만큼 기울어져 있다.Here, as shown in FIG. 3, the angle between the light focused and irradiated from the first and second ellipsoids 11a and 11b and the light irradiated from the first and second light sources 10a and 10b is θ 3. As a result, the first and second ellipsoids 11a and 11b are inclined by ± θ 3 with respect to the first and second light sources 10a and 10b toward the scavenger mirror 12.

여기서 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 삿갓미러(12)를 통해 상기 플라이 아이 렌즈(13)로 입사되는 광의 입사각을 θ1라 하고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 광원(10c)과 기울어지지 않은 타원경(11c)에서 조사되는 광 사이의 각을 θr라 하면, 상기 θ1와 θ3, θr는 다음 제1 수학식을 만족한다.Here, as shown in FIG. 4A, the incident angle of light incident through the hatch mirror 12 into the fly's eye lens 13 is referred to as θ 1 , and as shown in FIG. 4B, the light is not inclined with the light source 10c. When the angle between the light irradiated from the ellipsoidal mirror 11c is θ r , the θ 1 , θ 3 , and θ r satisfy the following first equation.

θ1+ θ3≤1.5θr θ 1 + θ 3 ≤1.5θ r

만일, 상기 θ1+ θ3이 너무 적은 경우에는 상기 제1,2 타원경(11a,11b)에서 상기 삿갓미러(12)로 조사되는 광 중 많은 부분이 상기 삿갓미러(12)의 광 반사면과 만나지 못하여 광의 손실이 야기되므로, 상기 θ1과 θ3은 광 손실과 상기 플라이 아이 렌즈(13)로의 입사각을 고려하여 적절히 선택된다.If the θ 1 + θ 3 is too small, a large part of the light irradiated from the first and second ellipsoidal mirrors 11a and 11b to the sash mirror 12 is a light reflecting surface of the scat. Θ 1 and θ 3 are appropriately selected in consideration of the light loss and the angle of incidence into the fly's eye lens 13 since the loss of light occurs.

또한, 상기 플라이 아이 렌즈(13)는 종횡의 길이가 각각 a,b인 렌즈 유닛의 2차원 배열로 구성되어 있다고 가정한 경우, a와 b의 종횡비는 상기 패널(20)에 광이 조사되는 조사면적의 종횡비와 유사하게 구성된다. 만일, 상기 조사면적의 종횡비가 16:9이면 상기 플라이 아이 렌즈의 렌즈 유닛의 종횡비도 상기 16:9와 유사한값을 가진다. 여기서, 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되어 상기 플라이 아이 렌즈(13)로 입사되는 광의 방향은 고 조도를 확보하기 위하여 상기 플라이 아이 렌즈(13)의 렌즈 유닛의 긴 길이 방향이어야 한다. 따라서, 본 실시예에서 상기 플라이 아이 렌즈의 렌즈 유닛은 상기 광원의 배치에 따라 상기 렌즈 유닛의 긴 길이 방향아로 광이 입사되도록 긴변이 종·횡방향으로 놓이게 된다.In addition, when it is assumed that the fly's eye lens 13 is composed of a two-dimensional array of lens units whose length and width are a and b, respectively, the aspect ratio of a and b is irradiated with light to the panel 20. It is constructed similarly to the aspect ratio of the area. If the aspect ratio of the irradiation area is 16: 9, the aspect ratio of the lens unit of the fly's eye lens also has a value similar to that of the 16: 9. Here, the direction of the light irradiated from the first and second light sources 10a and 10b and incident on the fly's eye lens 13 should be a long length direction of the lens unit of the fly's eye lens 13 to ensure high illuminance. do. Therefore, in the present embodiment, the lens unit of the fly's eye lens is placed in the longitudinal direction and the lateral direction so that light is incident on the long longitudinal direction of the lens unit according to the arrangement of the light source.

그 외에, 상기 플라이 아이 렌즈(13)로 입사되는 상기 제1,2 광원(10a,10b) 및 상기 제1,2 타원경(11a,11b)의 광은 그 차이가 상기 플라이 아이 렌즈(13)의 크기의 1/2 이하여야 하며, 가능한 한 상기 플라이 아이 렌즈(13)의 중심에 동시에 입사하여야 한다. 본 제1 실시예에서는 상기 차이가 상기 플라이 아이 렌즈(13)의 횡길이의 1/2 이하이어야 한다.In addition, the difference between the light of the first and second light sources 10a and 10b and the first and second ellipsoids 11a and 11b incident on the fly's eye lens 13 is different from that of the fly's eye lens 13. It should be less than 1/2 of the size of and should be simultaneously incident on the center of the fly's eye lens 13 as much as possible. In the first embodiment, the difference should be 1/2 or less of the lateral length of the fly's eye lens 13.

마지막으로 상기 콜리메이트 미러(14b)는 구면 미러로써 상기 플라이 아이 렌즈(13)를 통과한 광이 평행하게 상기 패널(20)로 조사되도록 하며, 그 갯수는 필요에 따라 증감 가능하고, 상기 광원(10a,10b)은 일반적으로 초고압 수은램프로 이루어지며, 상기 제1 경로 조정수단은 구면 미러로도 구성 가능하다.Finally, the collimated mirror 14b is a spherical mirror so that the light passing through the fly's eye lens 13 is irradiated to the panel 20 in parallel, and the number thereof can be increased or decreased as needed. 10a and 10b are generally made of an ultra-high pressure mercury lamp, and the first path adjusting means may be configured as a spherical mirror.

또한, 상기 평면 미러(14a)는 상기 플라이 아이 렌즈(13)를 통과한 광이 상기 콜리메이트 미러(14b)로 향하도록 광의 진로를 바꾸어주고 그 갯수는 필요에 따라 증감이 가능하며 상기 평면 미러(14a)에서 반사된 광이 상기 콜리메이트 미러(14b)에 반사되어 평형광이 형성됨에 따라 상기 평형광이 상기 패널로 조사되도록 한다.In addition, the planar mirror 14a changes the path of the light so that the light passing through the fly's eye lens 13 is directed to the collimated mirror 14b, and the number of the planar mirrors 14 can be increased or decreased as necessary. As the light reflected by 14a) is reflected by the collimated mirror 14b to form a balanced light, the balanced light is irradiated to the panel.

여기서, 상기 제1,2 타원경(11a,11b)은 본 발명에 따른 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되는 광과 약 ±θ3의 각도를 가지도록 상기 제1,2 미러(30a,30b)를 향하여 기울어져 있다. 따라서, 상기 제1,2 광원(10a,10b)에서 조사되는 광은 그 손실이 방지되어 상기 제1,2 미러(30a,30b)로 조사된다.Here, the first and second ellipsoids (11a, 11b) is the first and second mirrors to have an angle of about ± θ 3 with the light irradiated from the first and second light sources (10a, 10b) Tilt toward 30a, 30b). Therefore, the light emitted from the first and second light sources 10a and 10b is prevented from being lost and irradiated to the first and second mirrors 30a and 30b.

상기 제1,2 미러(30a,30b)는 상기 제1,2 광원(10a,10b) 및 상기 제1,2 타원경(11a,11b)에서 조사된 광을 상기 삿갓미러(12)의 광 반사면으로 조사한다.The first and second mirrors 30a and 30b respectively receive light emitted from the first and second light sources 10a and 10b and the first and second ellipsoidal mirrors 11a and 11b to the light half of the scavenger mirror 12. Investigate on slopes.

도 5는 본 발명에 따른 실시예에서 상기 제1, 2 경로 조정수단인 삿갓 미러(12)와 제1,2 미러(30a,30b) 및 플라이 아이 렌즈(13)를 위에서 바라본 일부 평면도이다.FIG. 5 is a partial plan view of the first and second path adjusting means, the first and second mirrors 30a and 30b and the fly's eye lens 13 in the embodiment according to the present invention.

여기서, 상기 삿갓미러(12)를 통해 상기 플라이 아이 렌즈(13)로 입사되는 각(θ1)은 상기 제1 실시예에서와 같이 상기 제1 수학식을 만족한다. 또한, 상기 삿갓 미러(12)를 통해 상기 플라이 아이 렌즈(13)로 입사하는 광의 중심축의 수직축과 상기 제1, 2 미러(30a,30b)에서 조사하는 광의 방향 사이의 각도(θ2)는 다음 제2 수학식을 만족한다.Here, the angle θ 1 incident to the fly's eye lens 13 through the hatch mirror 12 satisfies the first equation as in the first embodiment. Further, the angle θ 2 between the vertical axis of the central axis of the light incident through the hatch mirror 12 into the fly's eye lens 13 and the direction of the light irradiated from the first and second mirrors 30a and 30b is as follows. The second equation is satisfied.

0≤θ2<45°0≤θ 2 <45 °

상기의 수학식 2를 만족하는 제1, 2 미러(30a,30b)의 배치는 θ2에 관계없이 θ1가 유지되도록 한다. 따라서, 상기 삿갓 미러(12)의 광 반사과정에서 발생하는 광손실이 방지된다.The arrangement of the first and second mirrors 30a and 30b that satisfies Equation 2 above is such that θ 1 is maintained regardless of θ 2 . Therefore, the light loss generated in the light reflection process of the shade mirror 12 is prevented.

도 6은 본 발명에 따른 기울임 없는 광원을 가지는 노광장치의 제1 실시예를 도시하고 있다. 제2 실시예에 경우, 상기 제1,2 광원(10a,10b)이 서로 근접하여 배치되어 있는 경우, 각 타원경(11a,11b)으로 인한 간섭영역에 발생하게 된다. 따라서, 그 조도가 떨어지게 되는데, 제3 실시예의 경우, 상기 간섭영역을 방지하기 위하여 간섭영역을 방생시키는 타원경(11a,11b)의 일부를 절단하여 접합한 접합 타원경(41)를 구현함으로써 상기한 문제를 해결하고 있다. 상기 접합 타원경(41)을 이루는 제1,2 접합부(41a,41b)의 경우, 각각 지면과 수직하게 배치된 제1,2 광원(10a,10b)의 광을 집광한다.Figure 6 shows a first embodiment of an exposure apparatus having a tiltless light source according to the present invention. In the second embodiment, when the first and second light sources 10a and 10b are disposed close to each other, the first and second light sources 10a and 10b are generated in the interference region caused by the ellipsoids 11a and 11b. Therefore, the illuminance is reduced, in the case of the third embodiment, by implementing a junction ellipsoid 41 is formed by cutting a portion of the ellipsoid (11a, 11b) for generating the interference region to prevent the interference region, One problem is solved. In the case of the first and second junction portions 41a and 41b constituting the bonded ellipsoidal mirror 41, the light from the first and second light sources 10a and 10b disposed to be perpendicular to the ground is collected.

또한, 상기 제1 접합부(41a)에서 조사되는 광과 제1 광원(10a)에서 조사되는 광 사이의 각을 θ4라 할 경우, 즉, 상기 제1 접합부(41a)가 상기 제1 광원(10a)에 대하여 상기 제1 미러(30a)를 향해 θ4만큼 기울어진 경우, 상기 θ4는 도 4b에 도시된 제1 실시예의 각 θr와 다음 제3 수학식을 만족한다.In addition, when the angle between the light irradiated from the first bonding portion 41a and the light irradiated from the first light source 10a is θ 4 , that is, the first bonding portion 41a is the first light source 10a. ) when binary towards said first mirror (30a) inclined by θ with respect to 4, wherein θ 4 satisfy the equation of the first embodiment, each r and θ, and then the third shown in Figure 4b.

θ4≤1.5θr θ 4 ≤1.5θ r

만일, 상기 θ4가 너무 작은 경우, 상기 제1,2 접합부(41a,41b)의 영역에 커지게 되고 그로 인한 간섭에 따라 광의 손실이 야기되므로 상기 θ4는 타원경의 절단에 따른 광 손실과 플라이 아이 렌즈로의 광 입사각을 고려하여 적절히 선택한다.If, when the θ 4 is too small, the first and second joint becomes large in a region of the (41a, 41b) since the loss of light is caused in accordance with the interference resulting θ 4 is the optical loss and the ply of the cutting ellipse respect The light incidence angle to the eye lens is selected appropriately.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치는 지면과 수직하게 배치되는 광원과, 상기 광원에서 조사되는 광을 패턴을 형성하고자 감광재료가 도포된 패널로 조사하는 경로 조정수단과, 상기 광원에서 조사되는 광이 손실 없이 고 조도를 가지고 상기 경로 조정수단으로 조사될 수 있도록 상기 광을 집광하며 상기 경로 조정수단을 향하여 기울어진 타원경을 통해 초고압 수은램프 등으로 이루어지는 광원의 수명을 연장시키는 동시에 패털로 조사되는 광의 손실을 방지할 수 있는 효과가 있다.An exposure apparatus having an inclined light source of the present invention configured as described above includes a light source disposed perpendicular to the ground, and path adjusting means for irradiating light emitted from the light source to a panel coated with a photosensitive material to form a pattern; The light is condensed so that the light irradiated from the light source can be irradiated to the path adjusting means with high illuminance without loss and extends the life of the light source consisting of an ultra-high pressure mercury lamp through an ellipsoid tilted toward the path adjusting means. At the same time, there is an effect that can prevent the loss of light irradiated to the pattern.

Claims (8)

패턴을 형성하기 위하여 감광재료가 도포된 패널로 광을 조사하는 노광장치에 있어서,An exposure apparatus for irradiating light to a panel coated with a photosensitive material in order to form a pattern, 상기 패널로 광이 조사되도록 복수개의 구형 렌즈 유닛이 종횡방향에 병렬 배치되어 이루어진 플라이 아이 렌즈(Fly Eye Lens)와; 상기 플라이 아이 렌즈로 광을 조사하도록 지면과 수직하게 배치되는 적어도 하나 이상의 광원과; 상기 광원에서 조사되는 광이 집광되도록 상기 광원에 각각 설치되는 타원경과; 상기 광원에서 조사되는 광과 상기 타원경에서 집광되어 조사되는 광이 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 제1 경로 조정수단과; 상기 광원과 타원경에서 조사되는 광이 상기 제1 경로 조정수단으로 조사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 제2 경로 조정수단과; 상기 플라이 아이 렌즈를 통과한 광이 상기 패널에 조사되도록 상기 광의 경로를 조정하는 적어도 하나 이상의 콜리메이트 수단을 포함하여 구성되며,A fly-eye lens having a plurality of spherical lens units arranged in parallel in the longitudinal and horizontal directions to irradiate light to the panel; At least one light source disposed perpendicular to a ground to irradiate light to the fly's eye lens; Ellipsoids respectively installed on the light sources such that light emitted from the light sources is focused; First path adjusting means for adjusting the path of the light such that the light irradiated from the light source and the light condensed by the ellipsoid are incident on the fly's eye lens; Second path adjusting means for adjusting the path of the light such that the light irradiated from the light source and the ellipsoid is irradiated to the first path adjusting means; And at least one collimating means for adjusting the path of the light such that light passing through the fly's eye lens is irradiated to the panel, 상기 타원경은 상기 제2 경로 조정수단으로 조사되는 광의 손실이 방지되도록 상기 제2 경로 조정수단을 향하여 기울어져 배치되는 것을 특징으로 하는 기울어지지 않은 광원을 가지는 노광장치.And the ellipsoid is inclined toward the second path adjusting means so as to prevent the loss of the light irradiated to the second path adjusting means. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 경로 조정수단은 볼록 미러로 구성되는 것을 특징으로 하는 지면과 수직한 광원을 가지는 노광장치.And the first path adjusting means comprises a convex mirror. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 경로 조정수단은 삿갓 미러로 구성되는 것을 특징으로 하는 기울어지지 않은 광원을 가지는 노광장치.And the first path adjusting means comprises a hat shade mirror. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 삿갓미러는 일변이 서로 접합된 2장의 평면 미러로 구성되며,The hatch mirror is composed of two flat mirrors, one side of which is joined to each other, 상기 삿갓 미러를 통해 상기 플라이 아이 렌즈로 입사되는 입사각(θ1)과, 상기 광원에서 조사하는 광과 상기 기울어진 타원경에서 조사하는 광 사이의 각도(θ3)와, 상기 광원에서 조사하는 광과 상기 타원경이 기울어지지 않은 경우 조사하는 광 사이의 각도(θr)와 다음 식을 만족하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치.And the angle (θ 3) between the light irradiation in the light and the inclined elliptic light irradiating from angle of incidence (θ 1) and said light source is incident to the fly's eye lens through the hat mirror, the light emitted by the light source And an angle (θ r ) between the irradiated light when the ellipsoid is not inclined and an oblique light source, wherein the light source is not inclined. θ1+ θ3≤1.5θr θ 1 + θ 3 ≤1.5θ r 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 광원은 제1,2 광원으로 구성되며,The light source is composed of first and second light sources, 상기 제1,2 광원에서 상기 삿갓미러를 통해 상기 플라이 아이 렌즈로 입사하는 광의 중심의 차이는 상기 플라이 아이 렌즈의 크기의 1/2 이하인 것을 특징으로 하는 기울지 않은 광원을 가지는 노광장치.The difference in the center of the light incident from the first and second light sources to the fly's eye lens through the scavenger mirror is less than 1/2 of the size of the fly's eye lens, the exposure apparatus having an inclined light source. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 경로 조정수단을 상기 각 광원 및 타원경에서 조사되는 광이 상기 제1 경로 조정수단으로 동일한 입사각을 가지고 입사하도록 상기 각 광원 및 타원경에 대응되어 설치된 적어도 하나 이상의 미러로 구성되는 것을 특징으로 하는 기울어지지 않은 광원을 가지는 노광장치.The second path adjusting means comprises at least one mirror installed corresponding to each of the light sources and the ellipsoid such that the light irradiated from the respective light sources and the ellipsoid has the same incident angle to the first path adjusting means. An exposure apparatus having an untilted light source. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 미러는 상기 광원 및 상기 타원경에서 조사되는 광이 상기 제1 경로 조정수단의 광 반사면으로 입사되도록 배치되며,The mirror is disposed such that the light irradiated from the light source and the ellipsoid is incident on the light reflecting surface of the first path adjusting means, 상기 제1 경로 조정수단에서 조사되는 광의 중심축의 수직축과 상기 평면 미러에서 반사되는 광의 사이의 각도(θ2)는 다음 식을 만족하는 것을 특징으로 하는기울어지지 않은 광원을 가지는 노광장치.And an angle [theta] 2 between the vertical axis of the central axis of the light irradiated by the first path adjusting means and the light reflected by the planar mirror satisfies the following equation. 0≤θ2<45°0≤θ 2 <45 ° 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 타원경은 제1,2 타원경으로 구성되며,The ellipsoidal mirror is composed of first and second ellipsoidal mirrors, 상기 제1,2 타원경은 상호 간섭이 방지되도록 일단이 절단되어 접합된 것을 특징으로 하는 기울어지지 않은 광원을 가지는 노광장치.And the first and second ellipsoids are cut at one end and joined to prevent mutual interference.
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