JPH04367815A - Light beam scanning device - Google Patents

Light beam scanning device

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Publication number
JPH04367815A
JPH04367815A JP3144795A JP14479591A JPH04367815A JP H04367815 A JPH04367815 A JP H04367815A JP 3144795 A JP3144795 A JP 3144795A JP 14479591 A JP14479591 A JP 14479591A JP H04367815 A JPH04367815 A JP H04367815A
Authority
JP
Japan
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light beam
scanning
scanning direction
scanned
light
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3144795A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinji Imai
今 井 真 二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication of JPH04367815A publication Critical patent/JPH04367815A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Radiography Using Non-Light Waves (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)

Abstract

PURPOSE:To scan a large-sized body with a light beam although the scanning angle of the light beam is small by arranging plural scanning lines of different positions on the scanned body in a main scanning direction. CONSTITUTION:Light beams La and Lb which are reflected by a polygon mirror 14 and deflected in the main scanning direction are put on one over the other before being made incident on separating reflecting mirrors 18 and 20, but separated vertically in a subscanning direction. The light beams La and Lb which are reflected by the separating reflecting mirrors 18 and 20 are made incident on corresponding falling mirrors 22 and 24 as optical path adjusting means and reflected to the scanned body A, which is irradiated. The falling mirrors 22 and 24 are so arranged that the scanning lines Sa and Sb which are formed by the light beams La and Lb are put in array in the main scanning direction to form a main scanning line and also become equal in optical path length. Consequently, the scanning angle of the polygon mirror is small and the optical path length up to the scanned body can be shortened.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、画像読取装置、画像記
録装置等に適用される光ビーム走査装置に関する。詳し
くは、小型であるにもかかわらず、大きなサイズの被走
査体の光ビーム走査が可能な光ビーム走査装置に関する
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light beam scanning device applied to image reading devices, image recording devices, etc. Specifically, the present invention relates to a light beam scanning device that is small in size yet capable of scanning a large-sized object with a light beam.

【0002】0002

【従来の技術】ある種の蛍光体に放射線(X線、α線、
β線、γ線、電子線、紫外線等)の照射を受けると、こ
の放射線エネルギーの一部を蓄積し、その後、この蛍光
体が可視光等の励起光の照射を受けると、蓄積されたエ
ネルギーに応じた輝尽発光を示すことが知られており、
このような性質を示す蛍光体は蓄積性蛍光体(輝尽性蛍
光体)と呼ばれる。
[Prior Art] Certain types of phosphors are exposed to radiation (X-rays, α-rays,
When the phosphor is irradiated with β-rays, γ-rays, electron beams, ultraviolet rays, etc., it accumulates some of this radiation energy, and then when this phosphor is irradiated with excitation light such as visible light, the accumulated energy is It is known that it exhibits stimulated luminescence depending on the
A phosphor exhibiting such properties is called a stimulable phosphor (stimulable phosphor).

【0003】この蓄積性蛍光体を利用して、人体や建築
物等の被写体の放射線画像情報を一旦蓄積性蛍光体から
なる層を有するシート(蓄積性蛍光体シート  以下、
蛍光体シートとする)に記録し、この蛍光体シートをレ
ーザ光等の励起光で2次元的に走査して輝尽発光光を生
ぜしめ、この輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号
を得、この画像信号に基づき写真感光材料等の記録材料
、CRT等の表示装置に被写体の放射線画像を可視像と
して出力させる放射線画像情報記録再生システムが、本
出願人により提案されている(特開昭55−12429
号、同56−11395号の各公報等)。
By using this stimulable phosphor, radiation image information of objects such as human bodies and buildings can be stored on a sheet having a layer of stimulable phosphor (hereinafter referred to as stimulable phosphor sheet).
This phosphor sheet is scanned two-dimensionally with excitation light such as a laser beam to generate stimulated luminescent light, and this stimulated luminescent light is read photoelectrically to generate an image signal. The present applicant has proposed a radiation image information recording and reproducing system that outputs the radiation image of the subject as a visible image to a recording material such as a photographic light-sensitive material or a display device such as a CRT based on this image signal ( Japanese Patent Publication No. 55-12429
No. 56-11395, etc.).

【0004】このような放射線画像情報記録再生システ
ムは、X線写真等の放射線写真と同様に、医療診断・検
査等の医療用途のみならず、近年では建築物や航空機等
の非破壊検査のような産業用途にも好適に適用されてい
る。
Similar to radiographs such as X-rays, such radiographic image information recording and reproducing systems are used not only for medical purposes such as medical diagnosis and inspection, but also in recent years for non-destructive inspection of buildings, aircraft, etc. It is also suitably applied to industrial applications.

【0005】このような放射線画像情報記録再生システ
ムにおいて、蛍光体シートへの画像記録は、人体や建築
物等の被写体を通過した放射線を蛍光体シートに照射す
ることによって行われる。他方、このようにして蛍光体
シートに蓄積記録された放射線画像情報の読取りは、い
わゆる光ビーム走査装置を適用する放射線画像情報読取
装置によって、下記のように行われている。
In such a radiation image information recording and reproducing system, image recording on the phosphor sheet is performed by irradiating the phosphor sheet with radiation that has passed through an object such as a human body or a building. On the other hand, reading of the radiation image information stored and recorded on the phosphor sheet in this manner is carried out in the following manner by a radiation image information reading device applying a so-called light beam scanning device.

【0006】光ビーム走査装置とは、主走査方向に偏向
した光ビームによって、前記主走査方向と略直交する副
走査方向に相対的に移動する被走査体を2次元的に走査
することにより、前記光ビームで被走査体の全面を照射
(走査)する装置である。例えば、前述の放射線画像情
報読取装置における蛍光体シートの読取りは、この光ビ
ーム走査装置によって、放射線画像情報を担持する蛍光
体シートを副走査方向に搬送しつつ、主走査方向に偏向
された励起光(光ビーム)でこの蛍光体シートを走査す
ることにより、行われる。
A light beam scanning device two-dimensionally scans a scanned object that moves relatively in a sub-scanning direction substantially orthogonal to the main-scanning direction using a light beam deflected in a main-scanning direction. This is a device that irradiates (scans) the entire surface of a scanned object with the light beam. For example, when reading a phosphor sheet in the above-mentioned radiation image information reading device, the light beam scanning device transports the phosphor sheet carrying radiation image information in the sub-scanning direction while excitation is deflected in the main-scanning direction. This is done by scanning this phosphor sheet with light (light beam).

【0007】具体的には、He−Neレーザ等の励起光
光源より射出された一定強度の励起光がガルバノメータ
ミラー等の光偏向器によって主走査方向に反射・偏向さ
れ、fθレンズ等の各種の光学素子を経て蛍光体シート
を照射する。
Specifically, excitation light of a constant intensity emitted from an excitation light source such as a He-Ne laser is reflected and deflected in the main scanning direction by an optical deflector such as a galvanometer mirror, and is reflected and deflected in the main scanning direction by an optical deflector such as a galvanometer mirror. The phosphor sheet is irradiated through the optical element.

【0008】ここで、蛍光体シートはベルトコンベア、
ニップローラ等の搬送装置によって、主走査方向と略直
交する副走査方向に搬送されている。従って、主走査方
向に偏向された励起光は、この蛍光体シートを2次元的
に、全面的に走査することができる。
[0008] Here, the phosphor sheet is conveyed on a belt conveyor,
It is transported in a sub-scanning direction that is substantially orthogonal to the main scanning direction by a transporting device such as a nip roller. Therefore, the excitation light deflected in the main scanning direction can two-dimensionally scan the entire surface of this phosphor sheet.

【0009】蛍光体シートの励起光が照射された個所か
らは、そこに蓄積記録された放射線画像情報に応じた輝
尽発光光が生じる。この輝尽発光光は光ガイドの入射面
に直接入射し、あるいはこの入射面に対向して配される
集光ミラーに反射されて光ガイドの入射面に入射し、光
ガイドによって伝達され、励起光の波長域の光をカット
するフィルタを経て光電子増倍管に入射して電気信号に
光電変換され、処理された後、CRTや写真感光材料に
可視像として再生されたり、また、各種の記録媒体に記
録され、保管される。
[0009] Stimulated luminescence light corresponding to the radiographic image information accumulated and recorded there is generated from the part of the phosphor sheet that is irradiated with the excitation light. This stimulated luminescence light is directly incident on the incident surface of the light guide, or is reflected by a condensing mirror disposed opposite to this incident surface, enters the incident surface of the light guide, is transmitted by the light guide, and is excited. After passing through a filter that cuts light in the wavelength range, it enters a photomultiplier tube, where it is photoelectrically converted into an electrical signal, processed, and reproduced as a visible image on a CRT or photosensitive material, or as a visible image on a CRT or photosensitive material. Recorded and stored on a recording medium.

【0010】このような光ビーム走査装置は、前述の放
射線画像情報読取装置以外にも、レーザビームプリンタ
、複写装置、印刷製版装置等の画像記録装置や、フイル
ムデジタイザ等の画像読取装置にも好適に適用されてい
る。
[0010] Such a light beam scanning device is suitable not only for the above-mentioned radiation image information reading device but also for image recording devices such as laser beam printers, copying machines, printing plate making devices, and image reading devices such as film digitizers. applied to.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
光ビーム走査装置によって、大型の被走査体を走査する
場合には、被走査体のサイズに応じて装置を大型化する
必要が有る。
However, when scanning a large object to be scanned using such a light beam scanning device, it is necessary to increase the size of the device in accordance with the size of the object to be scanned.

【0012】前述のように、光ビーム走査装置は、副走
査方向に相対的に移動する被走査体を、副走査方向と略
直交する主走査方向に偏向した光ビームによって走査す
るものである。従って、被走査体の全面を走査するため
には、被走査体の主走査方向の幅以上の光ビームの走査
長(主走査方向)が必要であり、大型の被走査体の全面
を走査するためには、光ビーム光学系の焦点距離を大き
くし、かつ光偏向器による光ビームの走査角を大きくす
ることにより、十分な主走査長を確保する必要がある。
As described above, the light beam scanning device scans an object to be scanned, which moves relatively in the sub-scanning direction, with a light beam deflected in the main scanning direction, which is substantially perpendicular to the sub-scanning direction. Therefore, in order to scan the entire surface of a large object, the scanning length of the light beam (in the main scanning direction) is required to be greater than the width of the object in the main scanning direction. In order to achieve this, it is necessary to ensure a sufficient main scanning length by increasing the focal length of the light beam optical system and increasing the scanning angle of the light beam by the optical deflector.

【0013】そのため、光ビームの光路長は長くなり、
かつ光ビーム走査装置の光学装置も大型となってしまい
、光ビーム走査装置が光偏向器から被走査体までの距離
の長い、デッドスペースの大きな、きわめて大型のもの
になってしまう。
[0013] Therefore, the optical path length of the light beam becomes longer,
Moreover, the optical device of the light beam scanning device also becomes large, and the light beam scanning device becomes extremely large, with a long distance from the optical deflector to the object to be scanned, and a large dead space.

【0014】特に、前述の建築物や航空機の非破壊検査
等の産業用途に前述の放射線画像情報記録再生システム
を適用する場合においては、大型の蛍光体シートが用い
られる場合が多く、それに伴い放射線画像情報読取装置
も大型化してしまうため、改良が求められている。
In particular, when the above-mentioned radiation image information recording and reproducing system is applied to industrial applications such as non-destructive inspection of buildings and aircraft, large phosphor sheets are often used, and accordingly, radiation Since the image information reading device also increases in size, improvements are required.

【0015】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決することにあり、装置サイズが小さく、しかも光ビ
ームの走査角が小さいにもかかわらず、産業用の蛍光体
シーす等の大型の被走査体全面の光ビーム走査を行う事
ができる光ビーム走査装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the problems of the prior art described above, and despite the fact that the device size is small and the scanning angle of the light beam is small, it is possible to use a large-sized industrial phosphor sheath. An object of the present invention is to provide a light beam scanning device capable of scanning the entire surface of a scanned object with a light beam.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、主走査方向に偏向した光ビームによって
、前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対的に移
動する被走査体を2次元的に走査する光ビーム走査装置
であって、光ビームの反射角度が前記副走査方向に異な
る複数種の反射面を周期的に有する回転多面鏡と、前記
回転多面鏡によって反射された光ビームを、その副走査
方向の反射角度毎に、少なくとも前記副走査方向に対し
て垂直方向に分けるように反射する分離反射ミラーと、
前記分離反射ミラーに反射された各光ビームを、各光ビ
ームの光路長が等しく、かつ、各光ビームよって形成さ
れる複数の走査線を組合せて前記被走査体上に主走査線
を形成するように前記被走査体に入射せしめる光路調整
手段とを有することを特徴とする光ビーム走査装置を提
供する。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a method for moving a scanned object relatively in a sub-scanning direction substantially perpendicular to the main-scanning direction by a light beam deflected in the main-scanning direction. A light beam scanning device for two-dimensionally scanning a body, the light beam being reflected by a rotating polygon mirror periodically having a plurality of types of reflective surfaces that differ in the sub-scanning direction; a separation reflection mirror that reflects the light beam so as to separate it at least in a direction perpendicular to the sub-scanning direction for each reflection angle in the sub-scanning direction;
A main scanning line is formed on the object to be scanned by combining a plurality of scanning lines, each of which has an equal optical path length, and which is formed by each of the light beams reflected by the separation reflection mirror. There is provided a light beam scanning device characterized in that it has a light path adjusting means for making the light beam incident on the object to be scanned.

【0017】[0017]

【発明の作用】本発明の光ビーム走査装置は、回転多面
鏡(ポリゴンミラー)によって主走査方向に偏向した光
ビームによって、前記主走査方向と略直交する副走査方
向に相対的に移動する被走査体を2次元的に走査する光
ビーム走査装置であって、反射角度が前記副走査方向に
異なる複数種の反射面を周期的に有する回転多面鏡を用
い、この回転多面鏡によって副走査方向に異なる角度に
反射された複数の光ビームにより形成される走査線を、
主走査方向に連結することにより、被走査体上に主走査
線を形成する。
Effect of the Invention The light beam scanning device of the present invention uses a light beam deflected in the main scanning direction by a rotating polygon mirror to detect a target that moves relatively in the sub-scanning direction substantially orthogonal to the main scanning direction. A light beam scanning device that scans a scanning object two-dimensionally, using a rotating polygon mirror that periodically has a plurality of types of reflective surfaces with different reflection angles in the sub-scanning direction, and using this rotating polygon mirror to scan a scanning object in the sub-scanning direction. scan line formed by multiple light beams reflected at different angles,
By connecting in the main scanning direction, main scanning lines are formed on the object to be scanned.

【0018】従来の光ビーム走査装置においては、ポリ
ゴンミラーの一つの反射面によって反射された光ビーム
、つまりポリゴンミラーによる1走査によって主走査線
を形成する。そのため、被走査体として産業用の蛍光体
シート等の大型のものを適用するためには、光ビーム光
学系の焦点距離を大きくし、また光偏向器による光ビー
ムの走査角を大きくして、主走査長を長くする必要があ
り、光ビーム走査装置が、光偏向器より被走査体までの
距離の長い、デッドスペースの大きな大型の装置となっ
てしまうのは前述のとおりである。
In a conventional light beam scanning device, a main scanning line is formed by a light beam reflected by one reflecting surface of a polygon mirror, that is, one scan by the polygon mirror. Therefore, in order to apply large objects such as industrial phosphor sheets as objects to be scanned, the focal length of the light beam optical system must be increased, and the scanning angle of the light beam by the optical deflector must be increased. As described above, it is necessary to increase the main scanning length, and the optical beam scanning device becomes a large device with a long distance from the optical deflector to the object to be scanned and a large dead space.

【0019】これに対し、本発明の光ビーム走査装置は
、前述のような所定のポリゴンミラー用い、複数の走査
線を連結して被走査体上に主走査線を形成する。
On the other hand, the light beam scanning device of the present invention uses a predetermined polygon mirror as described above and connects a plurality of scanning lines to form a main scanning line on the object to be scanned.

【0020】本発明の光ビーム走査装置においては、ポ
リゴンミラーに入射した光ビームはポリゴンミラーの反
射面に応じて、副走査方向に異なる角度で反射される。 つまり、ポリゴンミラーが3つの異なる角度の反射面を
周期的に有するものであれば3種の偏向光ビームが、2
つの異なる角度の反射面を周期的に有するものであれば
、2種の偏向光ビームが周期的に形成される。
In the light beam scanning device of the present invention, the light beam incident on the polygon mirror is reflected at different angles in the sub-scanning direction depending on the reflecting surface of the polygon mirror. In other words, if the polygon mirror periodically has reflecting surfaces at three different angles, the three types of polarized light beams will be
If it has periodically reflecting surfaces at different angles, two types of polarized light beams are periodically formed.

【0021】これらの各偏向光ビームは、この時点では
副走査方向は重なった状態であるが、次いで、それぞれ
に対応する分離反射ミラーに入射して、少なくとも前記
副走査方向に対して垂直方向に分離されるように、例え
ば、3種の偏向光ビームであれば中央および左右に、2
種の偏向光ビームであれば左右に分けられるように反射
される。各偏向光ビームは、次いで、ミラー等の光路調
整手段によって光路を調整されて被走査体に入射し、走
査線を形成する。
At this point, these deflected light beams overlap in the sub-scanning direction, but then they are incident on their corresponding separation reflection mirrors and are deflected at least in the direction perpendicular to the sub-scanning direction. For example, if there are three types of polarized light beams, there will be two beams in the center and on the left and right.
If it is a kind of polarized light beam, it will be reflected so as to be divided into left and right sides. The optical path of each deflected light beam is then adjusted by an optical path adjusting means such as a mirror, and the beam enters the object to be scanned to form a scanning line.

【0022】ここで、本発明の光ビーム走査装置におい
ては、各光ビームの光路長が等しく、かつ、各走査線は
主走査方向に一列に並んだ状態で入射するように光路調
整手段が配置される。つまり、本発明の光ビーム走査装
置においては、ポリゴンミラーによって副走査方向に異
なる角度に反射された複数の走査線、例えば、前述のよ
うにポリゴンミラーが3つの異なる角度の反射面が周期
的に形成されるものであれば、それにより形成される3
種の走査線を、2つの異なる角度の反射面が周期的に形
成されるものであれば、それにより形成される2種の走
査線を、主走査方向に一列に並べることによって、被走
査体上に主走査線を形成する。
In the light beam scanning device of the present invention, the optical path adjustment means is arranged so that the optical path length of each light beam is equal and each scanning line is incident in a line in the main scanning direction. be done. In other words, in the light beam scanning device of the present invention, a plurality of scanning lines reflected at different angles in the sub-scanning direction by the polygon mirror, for example, as described above, the polygon mirror has three reflecting surfaces at different angles periodically. If it is formed, 3 formed by it
If the seed scanning line is one in which reflective surfaces of two different angles are periodically formed, the two types of scanning lines formed thereby can be arranged in a line in the main scanning direction to scan the object to be scanned. A main scanning line is formed above.

【0023】そのため、ポリゴンミラーの走査角が小さ
く、かつポリゴンミラーより被走査体までの光路長が短
くても、被走査体上における主走査線を長いものとする
ことができ、大型の被走査体を走査する光ビーム走査装
置であっても、デッドスペースを大幅に低減した小型の
ものとすることができる。従って、このような本発明の
光ビーム走査装置を適用することにより、大型の蛍光体
シートを適用する、建築物の非破壊検査等の産業用途用
の放射線画像情報読取装置等を大幅に小型化することが
できる。
Therefore, even if the scanning angle of the polygon mirror is small and the optical path length to the object to be scanned is shorter than that of the polygon mirror, the main scanning line on the object to be scanned can be made long, and even if the scanning object is large, the main scanning line can be made long. Even a light beam scanning device that scans the body can be made compact with significantly reduced dead space. Therefore, by applying the light beam scanning device of the present invention, it is possible to significantly downsize radiation image information reading devices for industrial use such as non-destructive inspection of buildings, which use large phosphor sheets. can do.

【0024】[0024]

【実施態様】以下、本発明の光ビーム走査装置について
、添付の図面に示される好適実施例をもとに詳細に説明
する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The light beam scanning device of the present invention will be described in detail below with reference to preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

【0025】図1に、本発明の光ビーム走査装置の一例
の概略斜視図が示される。
FIG. 1 shows a schematic perspective view of an example of a light beam scanning device according to the present invention.

【0026】図1に示される光ビーム走査装置10は、
光ビームLを主走査方向(矢印a方向)に偏向して、こ
の主走査方向と略直交する副走査方向(矢印b方向)に
搬送される被走査体Aの全面を2次元的に走査すること
により、蓄積性蛍光体シート等の画像情報読取、あるい
は記録材料等への画像記録等を行うものである。
The light beam scanning device 10 shown in FIG.
The light beam L is deflected in the main scanning direction (arrow a direction) to two-dimensionally scan the entire surface of the scanned object A being conveyed in the sub-scanning direction (arrow b direction) substantially orthogonal to the main scanning direction. By doing so, image information is read from a stimulable phosphor sheet or the like, or image recording is performed on a recording material or the like.

【0027】このような光ビーム走査装置10は、光ビ
ームLの光源12と、ポリゴンミラー(回転多面鏡)1
4と、fθレンズ16と、分離反射ミラー18および2
0と、立ち下げミラー22および24とを有するもので
ある。なお、本発明の光ビーム走査装置10においては
、これらの各光学素子以外にも、面倒れ補正光学系や音
響光学変調器等、通常の光ビーム走査装置に適用される
各種の光学素子が、必要に応じて配備されてもよいのは
もちろんである。
Such a light beam scanning device 10 includes a light source 12 of a light beam L and a polygon mirror (rotating polygon mirror) 1.
4, the fθ lens 16, and the separate reflection mirrors 18 and 2.
0 and downward mirrors 22 and 24. In addition, in the light beam scanning device 10 of the present invention, in addition to these optical elements, various optical elements applied to a normal light beam scanning device, such as a surface tilt correction optical system and an acousto-optic modulator, are included. Of course, it may be deployed as needed.

【0028】光ビームLは、光源12より射出されてポ
リゴンミラー14に入射する。光源12は被走査体Aに
応じて適宜設定すればよく、He−Neレーザ、半導体
レーザ等の各種の光源を用いることができる。
The light beam L is emitted from the light source 12 and enters the polygon mirror 14 . The light source 12 may be appropriately set depending on the object A to be scanned, and various light sources such as a He-Ne laser and a semiconductor laser can be used.

【0029】ポリゴンミラー14は、矢印c方向に回転
することにより光ビームLを主走査方向(矢印a方向)
に反射・偏向するものである。ここで、このポリゴンミ
ラー14は、本発明の特徴的な部材の一つである。
The polygon mirror 14 rotates in the direction of arrow c to direct the light beam L in the main scanning direction (direction of arrow a).
It is reflected and deflected. Here, this polygon mirror 14 is one of the characteristic members of the present invention.

【0030】図2にポリゴンミラー14の概略斜視図が
示される。
FIG. 2 shows a schematic perspective view of the polygon mirror 14.

【0031】本発明の光ビーム走査装置に適用されるポ
リゴンミラーは、反射角度が副走査方向に異なる複数種
の反射面が周期的に配されてなる構成を有するものであ
り、図示例のポリゴンミラー14は計6面の反射面を有
し、光ビームLを副走査方向前方(以下、上方とする)
に反射する上方反射面14aと、光ビームLを副走査方
向後方(以下、下方とする)に反射する下方反射面14
bとが交互に配置されている。つまり、図示例のポリゴ
ンミラー14は、反射角度の異なる2種の反射面が周期
的に3回配される構成を有する。
The polygon mirror applied to the light beam scanning device of the present invention has a configuration in which a plurality of types of reflecting surfaces having different reflection angles in the sub-scanning direction are arranged periodically, and the polygon mirror shown in the figure The mirror 14 has a total of six reflective surfaces, and directs the light beam L forward in the sub-scanning direction (hereinafter referred to as "upward").
an upper reflective surface 14a that reflects the light beam L backward in the sub-scanning direction (hereinafter referred to as "downward")
b are arranged alternately. In other words, the illustrated polygon mirror 14 has a configuration in which two types of reflective surfaces having different reflection angles are periodically arranged three times.

【0032】このようなポリゴンミラー14に入射した
光ビームLは、上方反射面14aに入射・偏向され上方
を進行する(偏向)光ビームLa、および下方反射面1
4bに入射・偏向され下方を進行する(偏向)光ビーム
Lbとされる。
The light beam L incident on such a polygon mirror 14 is incident on and deflected by the upper reflective surface 14a, and is transformed into a (deflected) light beam La that travels upward, and the lower reflective surface 1.
4b and is deflected into a (deflected) light beam Lb that travels downward.

【0033】ポリゴンミラーは、図示例に限定されるも
のではなく、反射角度の異なる3種以上の反射面が周期
的に形成されたものであってもよい。また、反射面の合
計数も6面に限定はされず、合計で8面、あるいはそれ
以上の反射面を有するものであってもよい。ただし、本
発明の光ビーム走査装置においては、ポリゴンミラーの
反射面の総数は反射面の種類の倍数となる。
The polygon mirror is not limited to the illustrated example, but may be one in which three or more types of reflecting surfaces having different reflection angles are periodically formed. Further, the total number of reflective surfaces is not limited to six, and may have eight or more reflective surfaces in total. However, in the light beam scanning device of the present invention, the total number of reflective surfaces of the polygon mirror is a multiple of the types of reflective surfaces.

【0034】ポリゴンミラー14に反射され、主走査方
向に偏向された光ビームLaおよびLbは、fθレンズ
16によって焦点位置を調整され、ポリゴンミラー14
の上方反射面14aに入射して反射された光ビームLa
は上方を進行し、分離反射ミラー18に入射して図中右
方向、他方、同下方反射面14bに入射して下方に反射
された光ビームLbは下側に配置される分離反射ミラー
20に入射して図中左方向の、略主走査方向に反射され
る。つまり、ポリゴンミラー14に反射され、主走査方
向に偏向された光ビームLaおよびLbは、分離反射ミ
ラー18および20に入射するまでは上下に重なった状
態となっているが、この分離反射ミラーによって、少な
くとも副走査方向に対して垂直方向(被走査体Aの面方
向)に分離される。
The light beams La and Lb reflected by the polygon mirror 14 and deflected in the main scanning direction have their focal positions adjusted by the fθ lens 16, and then the light beams La and Lb are reflected by the polygon mirror 14.
The light beam La incident on the upper reflective surface 14a and reflected
The light beam Lb travels upward, enters the separation reflection mirror 18 and is directed to the right in the figure, while the light beam Lb that enters the lower reflection surface 14b and is reflected downward enters the separation reflection mirror 20 disposed below. The light is incident and reflected toward the left in the figure, approximately in the main scanning direction. In other words, the light beams La and Lb reflected by the polygon mirror 14 and deflected in the main scanning direction are in a vertically overlapping state until they enter the separation reflection mirrors 18 and 20. , are separated at least in the direction perpendicular to the sub-scanning direction (in the surface direction of the scanned object A).

【0035】分離反射ミラー18および20には特に限
定はなく、通常の光ビーム走査装置に適用されるミラー
がいずれも適用可能である。また、各光ビームの反射方
向も図示例の略主走査には限定されず、上下方向に重な
った光ビームLaおよびLbを、少なくとも副走査方向
に対して垂直方向には分離可能であればよい。
There are no particular limitations on the separation reflection mirrors 18 and 20, and any mirrors that are used in ordinary light beam scanning devices can be used. Further, the direction of reflection of each light beam is not limited to the substantially main scanning shown in the illustrated example, but may be sufficient as long as it is possible to separate the vertically overlapping light beams La and Lb at least in the direction perpendicular to the sub-scanning direction. .

【0036】分離反射ミラー18および20によって反
射された光ビームLaおよびLbは、次いで、それぞれ
に対応する、光路調整手段である立ち下げミラー22お
よび24に入射して、被走査体A方向に反射され、被走
査体を照射する。
The light beams La and Lb reflected by the separation reflection mirrors 18 and 20 then enter the corresponding downward mirrors 22 and 24, which are optical path adjusting means, and are reflected toward the object A to be scanned. and irradiates the object to be scanned.

【0037】ここで、本発明の光ビーム走査装置10に
おいては、立ち下げミラー22および24は、光ビーム
LaおよびLbによって形成される走査線SaおよびS
bが、主走査方向に一列に並んで主走査線Sを形成し、
かつ光ビームLaおよびLbの光路長が等しくなるよう
に配置される。
In the light beam scanning device 10 of the present invention, the falling mirrors 22 and 24 scan lines Sa and S formed by the light beams La and Lb.
b are lined up in a line in the main scanning direction to form a main scanning line S,
The light beams La and Lb are arranged so that the optical path lengths thereof are equal.

【0038】図3に、光ビーム走査装置10の平面図を
概念的に示す。
FIG. 3 conceptually shows a plan view of the light beam scanning device 10.

【0039】図3(a)に示されるように、ポリゴンミ
ラー14の上方反射面14aに入射して反射・偏向され
た光ビームLaは、分離反射ミラー18に入射して略主
走査方向の図中右方向に反射され、さらに立ち下げミラ
ー22に入射して反射され、被走査体Aを図中右より左
に走査して、主走査線Sの右半分となる走査線Saを形
成する。
As shown in FIG. 3(a), the light beam La that is incident on the upper reflecting surface 14a of the polygon mirror 14, reflected and deflected, is incident on the separation reflecting mirror 18, and is reflected and deflected in the direction substantially in the main scanning direction. The light is reflected in the middle right direction, and is further reflected by the falling mirror 22, and scans the scanned object A from the right to the left in the figure, forming a scanning line Sa that is the right half of the main scanning line S.

【0040】他方、ポリゴンミラー14の下方反射面1
4bに入射して反射・偏向された光ビームLbは、光ビ
ームLaの下方を進行して、図3(b)に示されるよう
に分離反射ミラー20に入射して略主走査方向の図中左
方向に反射され、さらに立ち下げミラー24に入射して
反射され、被走査体Aを図中右より左に走査して、主走
査線Sの左半分となる走査線Sbを形成し、先の走査線
Saと共に主走査線Sを形成する。
On the other hand, the lower reflecting surface 1 of the polygon mirror 14
The light beam Lb that is incident on the light beam 4b and reflected and deflected travels below the light beam La and enters the separation reflection mirror 20 as shown in FIG. It is reflected to the left, further reflected by the falling mirror 24, and scans the scanned object A from the right to the left in the figure, forming a scanning line Sb which is the left half of the main scanning line S. A main scanning line S is formed together with the scanning line Sa.

【0041】ここで、被走査体Aは図示しない副走査搬
送手段により、主走査方向と略直交する副走査方向(矢
印b方向)に副走査搬送されている。従って、被走査体
Aは結果的に主走査方向に偏向される光ビームLaおよ
びLbによって2次元的に全面を、つまり走査線Saお
よび走査線Sbを主走査方向に並べる事により形成され
る主走査線Sによって、全面を走査される。
Here, the object to be scanned A is sub-scanned and conveyed in a sub-scanning direction (direction of arrow b) substantially perpendicular to the main-scanning direction by a sub-scanning conveying means (not shown). Therefore, the scanned object A is two-dimensionally covered over its entire surface by the light beams La and Lb that are deflected in the main scanning direction. The entire surface is scanned by the scanning line S.

【0042】このような構成を有する本発明の光ビーム
走査装置によれば、ポリゴンミラーによって形成された
複数の走査線を主走査方向に並べることにより主走査線
を形成するので、ポリゴンミラーによる光ビームの走査
角を小さくし、かつポリゴンミラーより被走査体Aまで
の距離の短いデッドスペースを大幅に低減した小型の光
ビーム走査装置であっても、産業用途用の蓄積性蛍光体
シート等の大型の被走査体を適用する放射線画像情報読
取装置や、大型の記録材料を適用する画像記録装置等に
好適に適用可能である。
According to the light beam scanning device of the present invention having such a configuration, the main scanning line is formed by arranging a plurality of scanning lines formed by the polygon mirror in the main scanning direction, so that the light beam by the polygon mirror is Even if it is a small optical beam scanning device with a small beam scanning angle and a short dead space from the polygon mirror to the scanned object A, it is difficult to use a stimulable phosphor sheet for industrial use. The present invention can be suitably applied to a radiation image information reading device that uses a large-sized object to be scanned, an image recording device that uses a large-sized recording material, and the like.

【0043】被走査体Aの副走査搬送手段には特に限定
はなく、主走査線Sを挟んで配置される1対のニップロ
ーラ、ベルトコンベア等、公知の光ビーム走査装置に適
用されるシート状物の搬送手段がいずれも適用可能であ
る。また、被走査体を固定し、主走査手段を移動するこ
とにより副走査を行ってもよい。
There is no particular limitation on the sub-scanning conveyance means for the object A to be scanned, and a pair of nip rollers disposed with the main scanning line S in between, a belt conveyor, etc. may be used in a sheet-like manner applicable to known light beam scanning devices. Any means of conveying objects is applicable. Alternatively, the sub-scanning may be performed by fixing the object to be scanned and moving the main scanning means.

【0044】図示例の光ビーム走査装置10においては
、光路調整手段は光ビームLaおよびLbのそれぞれに
対応する立ち下げミラー22および24の一枚のミラー
によって行ったが、必要に応じて他のミラーやレンズ等
の光学素子を配備して、各光ビームを同光路長で主走査
方向に連結するように被走査体Aに入射するようにした
ものであってもよい。
In the illustrated example of the light beam scanning device 10, the optical path adjusting means is performed by one mirror of the falling mirrors 22 and 24 corresponding to the light beams La and Lb, respectively, but other mirrors may be used as necessary. Optical elements such as mirrors and lenses may be provided so that each light beam enters the object A to be scanned so as to be connected in the main scanning direction with the same optical path length.

【0045】図示例の光ビーム走査装置10は、上方反
射面14aおよび下方反射面14bの2種の反射角度を
有するポリゴンミラー14を適用し、2本の走査線を連
結することにより主走査線Sを形成する構成を有するも
のであったが、本発明はこれに限定されるものではなく
、3種以上の反射角度を有するポリゴンミラーを用い、
3本、4本、あるいはそれ以上の走査線を連結すること
により、主走査線を形成するものであってもよい。
The illustrated light beam scanning device 10 uses a polygon mirror 14 having two types of reflection angles, an upper reflection surface 14a and a lower reflection surface 14b, and connects two scanning lines to form a main scanning line. However, the present invention is not limited to this, and uses a polygon mirror having three or more types of reflection angles,
A main scanning line may be formed by connecting three, four, or more scanning lines.

【0046】例えば、3種の反射角度を有するポリゴン
ミラーを用いて、3本の走査線によって主走査線を形成
する光ビーム走査装置であれば、分離反射ミラーによる
各偏向光ビームの反射方向を、前述の左右方向と、さら
にそれまでの光ビームの進行方向と逆方向(中央方向)
に折り返して、上下(副走査)方向に重なった偏向光ビ
ームを分離し、各偏向光ビームが同光路長で被走査体A
に入射し、かつ各偏向光ビームが画成する走査線が主走
査方向に並ぶようにミラー等の光路調整手段を配置すれ
ばよい。
For example, in the case of a light beam scanning device that uses polygon mirrors having three types of reflection angles to form a main scanning line with three scanning lines, the direction of reflection of each deflected light beam by the separate reflection mirror is , the above-mentioned left and right direction, and the direction opposite to the direction in which the light beam travels up to that point (center direction)
The overlapping polarized light beams in the vertical (sub-scanning) direction are separated, and each deflected light beam is directed to the scanned object A with the same optical path length.
An optical path adjusting means such as a mirror may be arranged so that the scanning lines defined by the respective deflected light beams are aligned in the main scanning direction.

【0047】なお、この場合には、左右方向に反射され
た偏向光ビームと中央方向に反射された偏向光ビームと
は、走査方向が逆方向となってしまうので、留意が必要
である。
In this case, care must be taken because the scanning directions of the polarized light beam reflected in the left-right direction and the polarized light beam reflected in the central direction are opposite to each other.

【0048】このような本発明の光ビーム走査装置は、
蓄積性蛍光体シートを適用する放射線画像情報読取装置
をはじめとして、各種のプリンタ、複写装置等の各種の
画像記録装置、画像読取装置等に好適に適用可能である
。特に、建造物の非破壊検査に適用される大型の蓄積性
蛍光体シート等、大型の被走査体を適用する画像読取装
置、画像記録装置には好適に適用される。
[0048] Such a light beam scanning device of the present invention has the following features:
It is suitably applicable to various image recording devices, image reading devices, etc., such as various printers and copying machines, as well as radiation image information reading devices that apply stimulable phosphor sheets. In particular, the present invention is suitably applied to image reading devices and image recording devices that use large objects to be scanned, such as large stimulable phosphor sheets used in non-destructive inspection of buildings.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の光
ビーム走査装置は、大型の被走査体を走査する主走査線
の長い装置であっても、ポリゴンミラーの走査角が小さ
く、かつポリゴンミラーより被走査体までの光路長を短
くした、デッドスペースを大幅に低減した小型の装置と
することができる。従って、このような本発明の光ビー
ム走査装置を適用することにより、大型の蛍光体シート
を適用する、建築物の非破壊検査等の産業用途の放射線
画像情報読取装置等を大幅に小型化することができる。
Effects of the Invention As described in detail above, the light beam scanning device of the present invention has a small scanning angle of a polygon mirror, even if it is a device with a long main scanning line for scanning a large object to be scanned. The optical path length to the object to be scanned is shorter than that of the polygon mirror, and a compact device with significantly reduced dead space can be achieved. Therefore, by applying the light beam scanning device of the present invention, it is possible to significantly downsize radiation image information reading devices for industrial use such as non-destructive inspection of buildings, which use large phosphor sheets. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の光ビーム走査装置の一例を示す概略斜
視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a light beam scanning device of the present invention.

【図2】図1に示される光ビーム走査装置に適用される
ポリゴンミラーの概略斜視図である。
2 is a schematic perspective view of a polygon mirror applied to the light beam scanning device shown in FIG. 1. FIG.

【図3】図1に示される光ビーム走査装置の平面を概念
的に示す図である。
FIG. 3 is a diagram conceptually showing a plan view of the light beam scanning device shown in FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10  光ビーム走査装置 12  光源 14  ポリゴンミラー 16  fθレンズ 18,20  分離反射ミラー 22,24  立ち下げミラー A  被走査体 L,La,Lb  光ビーム S  主走査線 Sa,Sb  走査線 10 Light beam scanning device 12 Light source 14 Polygon mirror 16 fθ lens 18, 20 Separate reflection mirror 22, 24 Hanging mirror A Scanned object L, La, Lb light beam S Main scanning line Sa, Sb scanning line

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  主走査方向に偏向した光ビームによっ
て、前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対的に
移動する被走査体を2次元的に走査する光ビーム走査装
置であって、光ビームの反射角度が前記副走査方向に異
なる複数種の反射面を周期的に有する回転多面鏡と、前
記回転多面鏡によって反射された光ビームを、その副走
査方向の反射角度毎に、少なくとも前記副走査方向に対
して垂直方向に分けるように反射する分離反射ミラーと
、前記分離反射ミラーに反射された各光ビームを、各光
ビームの光路長が等しく、かつ、各光ビームよって形成
される複数の走査線を組合せて前記被走査体上に主走査
線を形成するように前記被走査体に入射せしめる光路調
整手段とを有することを特徴とする光ビーム走査装置。
1. A light beam scanning device that two-dimensionally scans a scanned object moving relatively in a sub-scanning direction substantially orthogonal to the main-scanning direction with a light beam deflected in the main-scanning direction, comprising: a rotating polygon mirror periodically having a plurality of types of reflecting surfaces with different reflection angles of light beams in the sub-scanning direction; A separate reflection mirror that reflects the light beams so as to be divided in a direction perpendicular to the sub-scanning direction, and a light beam that is formed by each light beam, the light beams having the same optical path length and reflecting the light beams reflected by the separation reflection mirror. 1. A light beam scanning device comprising: an optical path adjusting means for making a plurality of scanning lines incident on the object to be scanned so as to combine a plurality of scanning lines to form a main scanning line on the object to be scanned.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100437020B1 (en) * 2001-09-28 2004-06-23 엘지전자 주식회사 Exposer with a Non-Leaned Light Source
KR100437022B1 (en) * 2001-09-28 2004-06-23 엘지전자 주식회사 Exposer with a Non-Leaned Light Source
JP2013116488A (en) * 2011-12-04 2013-06-13 Kiyoyuki Kondo Beam machining apparatus and method for machining substrate using the same
WO2020162557A1 (en) * 2019-02-07 2020-08-13 川崎重工業株式会社 Polygon mirror, light guide device, and optical scanning device

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100437020B1 (en) * 2001-09-28 2004-06-23 엘지전자 주식회사 Exposer with a Non-Leaned Light Source
KR100437022B1 (en) * 2001-09-28 2004-06-23 엘지전자 주식회사 Exposer with a Non-Leaned Light Source
JP2013116488A (en) * 2011-12-04 2013-06-13 Kiyoyuki Kondo Beam machining apparatus and method for machining substrate using the same
WO2020162557A1 (en) * 2019-02-07 2020-08-13 川崎重工業株式会社 Polygon mirror, light guide device, and optical scanning device
JP2020129036A (en) * 2019-02-07 2020-08-27 川崎重工業株式会社 Polygon mirror, light guide device, and optical scanner
KR20210125521A (en) * 2019-02-07 2021-10-18 카와사키 주코교 카부시키가이샤 Polygon mirrors, light guides and optical scanning devices
CN113678048A (en) * 2019-02-07 2021-11-19 川崎重工业株式会社 Polygonal mirror, light guide device, and optical scanning device
EP3923057A4 (en) * 2019-02-07 2022-10-26 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Polygon mirror, light guide device, and optical scanning device
CN113678048B (en) * 2019-02-07 2023-10-27 川崎重工业株式会社 Polygonal mirror, light guide device, and optical scanning device

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