KR100468594B1 - LCD and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 액정표시소자 및 그 제조방법은, 복수의 데이터 라인 및 게이트 라인에 각각 접속되도록, 박막트랜지스터와 화소전극이 구비된 TFT 기판의, 화소전극 상에 전착법을 이용하여 제 1 내지 제 3 칼라 필터층을 순차 반복적으로 각각 형성하는 공정 및, 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 상에 투명전극을 형성하는 공정으로 이루어져, 1) 보호층 증착 공정없이 곧바로 투명전극을 형성하는 것이 가능하게 되므로 공정 단순화 및 비용 절감을 실현할 수 있게 되고, 2) 폴리 실리콘 TFT의 경우, 화소전극에 R, G, B 각각의 구동 파형을 인가할 수 있으므로, 전압이 인가된 투명전극 상에만 선택적으로 전착액 성분이 석출되도록 하는 것이 가능하여, 비정질 실리콘 TFT에서 요구되는 별도의 포토 마스크없이도 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 형성이 가능하게 된다.The liquid crystal display device according to the present invention and its manufacturing method are the first to the first through the electrodeposition method on a pixel electrode of a TFT substrate equipped with a thin film transistor and a pixel electrode so as to be connected to a plurality of data lines and a gate line, respectively. Forming a three color filter layer sequentially and sequentially; and forming a transparent electrode on the first to third color filter layers, 1) forming a transparent electrode immediately without a protective layer deposition process. Simplification and cost reduction can be realized. 2) In the case of the polysilicon TFT, the driving waveforms of R, G, and B can be applied to the pixel electrode, so that the electrodeposition liquid is selectively added only to the transparent electrode to which the voltage is applied. It is possible to make it possible to be deposited, so that the first to third color filter layers can be formed without a separate photo mask required in the amorphous silicon TFT. .

Description

액정표시소자 및 그 제조방법LCD and its manufacturing method

본 발명은 노우트 북 퍼스널 컴퓨터(note book PC)등에 사용되는 액정표시소자(liquid crystal dispay:이하, LCD라 한다) 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 TFT 기판의 화소전극 상에 색상을 표현하는 칼라 필터층을 형성한 LCD 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a liquid crystal display device (hereinafter referred to as LCD) used in a note book PC and the like, and more particularly, to a color on a pixel electrode of a TFT substrate. An LCD having a color filter layer to be expressed and a method of manufacturing the same.

근래에 고품위 TV(high definition TV:이하, HDTV라 한다) 등의 새로운 첨단 영상기기가 개발됨에 따라 브라운관(CRT) 대신에 LCD, ELD(electro luminescence display), VFD(vacuum fluorescence display), PDP(plasma display panel) 등과 같은 평판 표시기에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. In recent years, new advanced imaging devices such as high definition TVs (hereinafter referred to as HDTVs) have been developed. Instead of CRTs, LCDs, ELDs (vacuum fluorescence displays) and VFDs (plasma) are used instead of CRTs. Research on flat panel displays such as display panels is being actively conducted.

그중에서도 LCD는 평판 표시기의 대표적인 기술로써 박형, 저가, 저소비 전력 구동이 가능할 뿐 아니라 집적회로와의 정합성이 좋은 등의 특징을 가져 랩 톱 컴퓨터(lap top computer)나 포켓 컴퓨터(pocket computer)의 표시외에 차량 적재용, 칼라 TV의 화상용으로서 그 용도를 급속하게 확대하고 있다. Among them, LCD is a representative technology of flat panel display. It is not only capable of driving thin, low cost, low power consumption, but also good matching with integrated circuit, so that besides the display of lap top computer or pocket computer Its use is rapidly expanding as a vehicle loading and a color TV image.

이러한 특성을 갖는 상기 LCD는 상부기판인 C/F(color filter) 기판과 하부기판인 TFT 기판이 서로 대향되도록 배치되고, 그 사이에 유전 이방성을 갖는 액정이 삽입되는 구조를 가져, 화소 선택용 어드레스(address) 배선(예컨대, 데이터 구동회로 및 게이트 구동회로)을 통해 수십만개의 화소에 부가된 TFT를 스위칭 동작시켜 해당 화소에 전압을 인가해 주는 방식으로 LCD가 구동되게 된다. The LCD having such characteristics has a structure in which a C / F (color filter) substrate, which is an upper substrate, and a TFT substrate, which is a lower substrate, are disposed to face each other, and a liquid crystal having dielectric anisotropy is inserted therebetween, thereby providing a pixel selection address. The LCD is driven by switching a TFT added to hundreds of thousands of pixels through an address line (for example, a data driver circuit and a gate driver circuit) to apply a voltage to the pixel.

이때, 상기 상부기판에 형성되는 칼라 필터층은 염색법, 안료를 이용한 안료 분산법, 인쇄법, 전착법 등으로 제조되는데, 여기서는 일 예로서 본 발명과 직접적으로 관련된 전착법을 이용한 종래의 칼라 필터 제조방법을 살펴보고자 한다. 상기 제조방법은 크게 4 단계로 구분되는데, 이를 도 1 내지 도 4에 제시된 공정수순도를 참조하여 설명하면 다음과 같다. In this case, the color filter layer formed on the upper substrate is manufactured by a dyeing method, a pigment dispersion method using a pigment, a printing method, an electrodeposition method, etc. Here, as an example, a conventional color filter manufacturing method using an electrodeposition method directly related to the present invention. Let's look at. The manufacturing method is largely divided into four steps, which will be described with reference to the process purity shown in FIGS. 1 to 4.

제 1 단계로서, 도 1에 도시된 바와 같이 사진식각공정을 이용하여 CP(cutting, polishing) 처리를 한 C/F 기판(예컨대, 유리 기판)(10) 상에 복수의 제 1 투명전극(12)을 형성한다. As a first step, a plurality of first transparent electrodes 12 on a C / F substrate (eg, a glass substrate) 10 subjected to a CP (cutting, polishing) process using a photolithography process as shown in FIG. 1. ).

제 2 단계로서, 도 2에 도시된 바와 같이 전착법을 이용하여 상기 투명전극(12) 상에 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(14),(16),(18)으로서, R(red) 패턴과 G(green) 패턴 및 B(blue) 패턴을 순차적으로 형성한다. 이때, 상기 전착법을 이용한 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(14),(16),(18) 형성 공정은, 다음의 (a) ~ (c) 과정을 거쳐 진행된다. As a second step, as shown in FIG. 2, R (red) patterns as first to third color filter layers 14, 16, and 18 on the transparent electrode 12 by electrodeposition. And G (green) pattern and B (blue) pattern are sequentially formed. At this time, the process of forming the first to third color filter layers 14, 16, and 18 using the electrodeposition method proceeds through the following steps (a) to (c).

(a) 과정으로서, 먼저 상기 투명전극(12)을 포함한 기판(10) 전면에 감광막을 증착한 다음, 포토 마스크를 이용하여 제 1 칼라 필터층(14)이 형성될 부분의 투명전극(12) 표면이 노출되도록 상기 감광막을 식각처리한다. 이어, 투명전극(12)이 형성된 기판이 양극 전극판에 접속되도록, 전해질 용매가 담겨진 전착조 내에 기판(10)을 담그고, 전하 조정제가 첨가된 고분자 수지(전하를 갖는 가용성 수지)와 착색 안료를 상기 전해질 용매 중에 용해(분산)시켜 준 뒤, 상기 전착조 내의 전극에 전압을 걸어 주어 표면이 노출된 투명전극(12) 상에만 선택적으로 전착액 성분이 석출되도록 하여 제 1 칼라 필터층(14)으로서, 최적화된 레드 분광특성을 갖는 R 패턴을 형성한다. As a process, first, a photosensitive film is deposited on the entire surface of the substrate 10 including the transparent electrode 12, and then the surface of the transparent electrode 12 of the portion where the first color filter layer 14 is to be formed using a photo mask. The photosensitive film is etched to expose it. Subsequently, the substrate 10 is immersed in an electrodeposition tank containing an electrolyte solvent so that the substrate on which the transparent electrode 12 is formed is connected to the anode electrode plate, and the polymer resin (chargeable soluble resin having charge) and the color pigment to which the charge regulator is added are added. After dissolving (dispersing) in the electrolyte solvent, a voltage is applied to the electrode in the electrodeposition tank to selectively deposit the electrodeposition liquid component only on the transparent electrode 12 whose surface is exposed as the first color filter layer 14. To form an R pattern with optimized red spectral properties.

(b) 과정으로서, 패터닝된 상기 감광막을 제거하고 다시 그 전면에 감광막을 증착한 다음, 포토 마스크를 이용하여 제 2 칼라 필터층(16)이 형성될 부분의 투명전극(12) 표면이 노출되도록 상기 감광막을 식각처리하고, (a) 과정과 동일한 방법으로 표면이 노출된 상기 투명전극(12) 상에만 선택적으로 전착액 성분이 석출되도록 하여, 제 2 칼라 필터층(16)으로서, 최적화된 그린 분광특성을 갖는 G 패턴을 형성한다. (b) removing the patterned photoresist and depositing the photoresist over the entire surface of the patterned photoresist, and then exposing the surface of the transparent electrode 12 of the portion where the second color filter layer 16 is to be formed by using a photomask. The photoresist is etched, and the electrodeposition liquid component is selectively deposited only on the transparent electrode 12 whose surface is exposed in the same manner as in the process of (a). As the second color filter layer 16, optimized green spectral characteristics To form a G pattern.

(c) 과정으로서, 패터닝된 상기 감광막을 제거하고 다시 그 전면에 감광막을 증착한 다음, 포토 마스크를 이용하여 제 3 칼라 필터층(18)이 형성될 부분의 투명전극(12) 표면이 노출되도록 상기 감광막을 식각처리하고, (a) 과정과 동일한 방법으로 표면이 노출된 상기 투명전극(12) 상에만 선택적으로 전착액 성분이 석출되도록 하여, 제 3 칼라 필터층(18)으로서, 최적화된 블루 분광특성을 갖는 B 패턴을 형성한다. (c) removing the patterned photoresist layer and depositing the photoresist layer on the entire surface of the photoresist layer, and then exposing the surface of the transparent electrode 12 of the portion where the third color filter layer 18 is to be formed by using a photomask. The photoresist was etched, and the electrodeposition liquid component was selectively deposited only on the transparent electrode 12 having the surface exposed in the same manner as in step (a). As a third color filter layer 18, an optimized blue spectral characteristic To form a B pattern.

제 3 단계로서, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(14),(16),(18)과 투명전극(12)을 포함한 기판 상의 소정 부분에, 외부 충격으로부터 이들을 보호하고 평활성이 좋도록 하기 위하여, 표면 경도가 높고 광투과성이 우수한 유기 투명 수지(예컨대, 아크릴, 폴리이미드, 폴리아크릴레이트, 폴리우레탄 등)를 소정 두께로 형성하고, 약 200℃ 정도의 온도를 갖는 베이크 오븐(bake oven)에서 1시간 정도 가열하여 보호층(20)을 형성한다. As a third step, as shown in FIG. 3, a predetermined portion on the substrate including the first to third color filter layers 14, 16 and 18 and the transparent electrode 12 is protected from external impact. In order to improve the smoothness and smoothness, an organic transparent resin (eg, acrylic, polyimide, polyacrylate, polyurethane, etc.) having high surface hardness and excellent light transmittance is formed to a predetermined thickness, and has a temperature of about 200 ° C. The protective layer 20 is formed by heating for about 1 hour in a bake oven.

제 4 단계로서, 도 4에 도시된 바와 같이 액정 구동을 위한 전압을 인가시켜 주기 위하여, 상기 보호층(20) 상에 제 2 투명전극(22)을 1500Å 이하의 두께로 형성해 주므로써, 상부기판 제조를 완료한다. As a fourth step, in order to apply a voltage for driving the liquid crystal as shown in Figure 4, by forming a second transparent electrode 22 on the protective layer 20 to a thickness of 1500Å or less, the upper substrate Complete the manufacture.

그러나, 상기에 언급된 공정을 적용하여 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(14),(16),(18)을 형성할 경우에는, 3회의 포토 마스크를 이용한 식각 공정이 요구되므로 LCD 제조 공정 자체가 복잡하고 까다롭다는 단점이 발생하게 된다. However, in the case of forming the first to third color filter layers 14, 16, and 18 by applying the above-mentioned process, since the etching process using three photo masks is required, the LCD manufacturing process itself is The disadvantage is that it is complex and tricky.

이에 본 발명의 과제는, LCD 제조시 TFT 기판의 화소전극 상에 색상을 표현하는 칼라 필터층을 형성해 주므로써, 공정단순화를 기할 수 있도록 한 LCD 및 그 제조방법을 제공함에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide an LCD and a method of manufacturing the same by forming a color filter layer expressing color on the pixel electrode of a TFT substrate during LCD manufacturing, thereby simplifying the process.

상기 과제를 달성하기 위하여 본 발명에서는, 복수의 데이터 라인 및 게이트 라인에 각각 접속되도록, TFT와 제1 투명전극이 형성된 TFT 기판과, 상기 제1 투명전극 상에 순차 반복적으로 각각 형성된 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 및, 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 표면에 형성된 제2 투명전극으로 이루어진 LCD가 제공된다. In order to achieve the above object, in the present invention, a TFT substrate on which a TFT and a first transparent electrode are formed so as to be connected to a plurality of data lines and a gate line, respectively, and first to first, respectively, sequentially formed on the first transparent electrode. There is provided an LCD comprising a three color filter layer and a second transparent electrode formed on the surfaces of the first to third color filter layers.

상기 과제를 달성하기 위하여 본 발명에서는, 복수의 데이터 라인 및 게이트 라인에 각각 접속되도록, TFT와 제1 투명전극이 구비된 TFT 기판의, 제1 투명전극 상에 전착법을 이용하여 제 1 내지 제 3 칼라 필터층을 순차 반복적으로 형성하는 공정 및, 전착법을 이용하여 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 상에 제 2 투명전극을 형성하는 공정으로 이루어진 LCD 제조방법이 제공된다. In order to achieve the above object, in the present invention, the first to the first transparent electrode of the TFT substrate provided with the TFT and the first transparent electrode so as to be connected to the plurality of data lines and the gate line, respectively, using the electrodeposition method. There is provided an LCD manufacturing method comprising a step of repeatedly forming a three color filter layer sequentially and a step of forming a second transparent electrode on the first to third color filter layers using an electrodeposition method.

이와 같이 공정을 진행할 경우, 제 1 내지 제 3 칼라 필터층이, 제1 투명전극을 구동하기 위한 데이터 구동회로 및 게이트 구동회로와 동일 기판(TFT 기판) 상에 형성되므로, 보호층 증착 공정없이 곧바로 제2 투명전극을 형성하는 것이 가능하여 공정 단순화를 기할 수 있게 된다. 또한, 상기 LCD가 구동회로가 집적된 폴리 실리콘 TFT일 경우에는 전압이 인가된 제1 투명전극 상에만 선택적으로 전착액 성분이 석출되도록 하는 것이 가능하여, 별도의 포토 마스크없이도 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 형성이 가능하게 된다. In such a process, since the first to third color filter layers are formed on the same substrate (TFT substrate) as the data driving circuit and the gate driving circuit for driving the first transparent electrode, the first to third color filter layers are immediately formed without the protective layer deposition process. 2 it is possible to form a transparent electrode to simplify the process. In addition, when the LCD is a polysilicon TFT in which a driving circuit is integrated, it is possible to selectively deposit the electrodeposition liquid component only on the first transparent electrode to which a voltage is applied, so that the first to third colors are not required without a separate photo mask. Filter layer formation becomes possible.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

본 발명은 액정에 선택적으로 전압을 인가할 수 있는 구동회로가 집적된 폴리 실리콘 TFT나 또는 구동회로가 집적되지 않은 비정질 실리콘 TFT의 화소 전극 상에 색상을 표현하는 칼라 필터층을 형성해 주므로써, 공정단순화를 기할 수 있도록 하는데 주안점을 둔 기술로서, 이를 도 5 내지 도 7에 제시된 공정수순도를 참조하여 제 4 단계로 구분하여 살펴보면 다음과 같다. The present invention simplifies the process by forming a color filter layer expressing color on the pixel electrode of a polysilicon TFT in which a driving circuit capable of selectively applying voltage to a liquid crystal or an amorphous silicon TFT in which the driving circuit is not integrated. As a technology that focuses on making it possible, this will be described as follows by referring to the fourth step with reference to the process purity shown in FIGS. 5 to 7.

제 1 단계로서, 도 5에 도시된 바와 같이 TFT 기판(100) 상에 복수의 데이터 라인 및 게이트 라인에 각각 접속되도록, 박막트랜지스터(T)와 ITO 또는 SnO2 재질의 제1 투명전극(102)을 형성한다.As a first step, as shown in FIG. 5, the thin film transistor T and the first transparent electrode 102 made of ITO or SnO 2 are connected to a plurality of data lines and gate lines on the TFT substrate 100, respectively. To form.

제 2 단계로서, 도 6에 도시된 바와 같이 전착법을 이용하여 상기 제1 투명전극(102) 상에 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108)을 순차 반복적으로 각각 형성한다. 이때, 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108) 형성 공정은 상기 TFT가 비정질 실리콘 TFT인지 아니면 폴리 실리콘 TFT인지에 따라 크게 두가지 방법으로 대변되는데, 이를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다. As a second step, as shown in FIG. 6, the first to third color filter layers 104, 106, and 108 are sequentially repeated on the first transparent electrode 102 by using electrodeposition. Form. In this case, the first to third color filter layer 104, 106, 108 forming process is represented in two ways depending on whether the TFT is an amorphous silicon or a polysilicon TFT. Same as

먼저, 구동회로가 집적되지 않은 비정질 실리콘 TFT인 경우에 대하여 살펴본다. 비정질 실리콘 TFT의 경우, 전착법을 이용한 칼라 필터층 형성시, R, G, B 전착을 위한 각 구동 파형을 선택적으로 제1 투명전극(102) 상에 인가할 수 없는 관계로 인하여, 각각의 칼라 필터층 형성시마다 포토 마스크를 이용한 마스크 패턴 형성 공정을 첨가해 주어야 하므로, 폴리 실리콘 TFT의 경우에 비해서는 공정 진행이 다소 복잡하게 된다. 이를 (a) ~ (c) 과정으로 구분하여 설명하면 다음과 같다. First, a case of an amorphous silicon TFT in which a driving circuit is not integrated will be described. In the case of the amorphous silicon TFT, when the color filter layer is formed using the electrodeposition method, each color filter layer can be selectively applied to each of the driving waveforms for R, G, and B electrodeposition on the first transparent electrode 102. Since it is necessary to add a mask pattern forming process using a photo mask every time, the process proceeds somewhat more complicated than in the case of a polysilicon TFT. If this is divided into (a) ~ (c) process described as follows.

(a) 과정으로서, 상기 제1 투명전극(102)과 TFT(T)를 포함한 기판(10) 전면에 감광막(미 도시)을 증착한 다음, 포토 마스크를 이용하여 제 1 칼라 필터층이 형성될 부분의 상기 제1 투명전극(102) 표면이 노출되도록 상기 감광막을 식각처리한다. 이어, 상기 기판(100)을 전해질 용매가 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 접속시키고, 전하 조정제가 첨가된 고분자 수지(전하를 갖는 가용성 수지)와 착색 안료를 상기 전해질 용매 중에 용해(분산)시켜 준 뒤, 상기 전착조 내의 전극에 전압을 걸어 주어 표면이 노출된 제1 투명전극(102) 상에만 선택적으로 최적화된 레드 분광특성을 갖는 제 1 칼라 필터층(R 패턴)(104)을 형성한 후, 상기 감광막을 제거한다. As a process (a), a photoresist film (not shown) is deposited on the entire surface of the substrate 10 including the first transparent electrode 102 and the TFT (T), and then a portion where the first color filter layer is to be formed using a photo mask. The photoresist is etched to expose the surface of the first transparent electrode 102. Subsequently, the substrate 100 was connected to the positive electrode plate in the electrodeposition tank containing the electrolyte solvent, and the polymer resin (chargeable soluble resin having charge) and the color pigment to which the charge regulator was added were dissolved (dispersed) in the electrolyte solvent. Thereafter, a voltage is applied to the electrode in the electrodeposition tank to form a first color filter layer (R pattern) 104 having a red spectral characteristic selectively optimized only on the first transparent electrode 102 having the surface exposed. The photosensitive film is removed.

(b) 과정으로서, 상기 제 1 칼라 필터층(104)을 포함한 기판(100) 전면에 감광막을 증착한 다음, 포토 마스크를 이용하여 제 2 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극(102) 표면이 노출되도록 상기 감광막을 식각처리하고, (a) 과정과 동일한 방법으로 표면이 노출된 상기 제1 투명전극(102) 상에만 선택적으로 최적화된 그린 분광특성을 갖는 제 2 칼라 필터층(G 패턴)(106)을 형성한 후, 상기 감광막을 제거한다. (b) As a process, after the photosensitive film is deposited on the entire surface of the substrate 100 including the first color filter layer 104, the surface of the first transparent electrode 102 of the portion where the second color filter layer is to be formed using a photo mask. The photoresist is etched so as to expose the second color filter layer (G pattern) having a green spectral characteristic that is selectively optimized only on the first transparent electrode 102 whose surface is exposed in the same manner as in step (a) ( 106), the photosensitive film is removed.

(c) 과정으로서, 상기 제 1 및 제 2 칼라 필터층(104),(106)을 포함한 기판(100) 전면에 감광막을 증착한 다음, 포토 마스크를 이용하여 제 3 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극(12) 표면이 노출되도록 상기 감광막을 식각처리하고, (a) 과정과 동일한 방법으로 표면이 노출된 상기 제1 투명전극(102) 상에만 선택적으로 최적화된 블루 분광특성을 갖는 제 3 칼라 필터층(B 패턴)(108)을 형성한 후, 상기 감광막을 제거한다. (C) as a process, by depositing a photosensitive film on the entire surface of the substrate 100 including the first and second color filter layer 104, 106, and then using a photo mask to the third color filter layer 1 The photoresist is etched so that the surface of the transparent electrode 12 is exposed, and in the same manner as in step (a), a third optical film having a blue spectral characteristic that is selectively optimized only on the first transparent electrode 102 having the surface exposed After the color filter layer (B pattern) 108 is formed, the photosensitive film is removed.

다음으로, 구동회로가 집적된 폴리 실리콘 TFT인 경우에 대하여 살펴본다. 폴리 실리콘 TFT의 경우, 액정에 선택적으로 전압을 인가하는 것이 가능하여 전착법을 이용한 칼라 필터층 형성시, R, G, B 각 구동 파형을 선택적으로 제1 투명전극(102) 상에 인가할 수 있게 되므로, 포토 마스크를 이용한 마스크 패턴 형성 공정없이도 순차적으로 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108)을 형성할 수 있게 된다. 이를 (a) ~ (c) 과정으로 구분하여 설명하면 다음과 같다. Next, a case in which the driving circuit is an integrated polysilicon TFT will be described. In the case of the polysilicon TFT, it is possible to selectively apply a voltage to the liquid crystal so that each driving waveform of R, G and B can be selectively applied on the first transparent electrode 102 when the color filter layer is formed using the electrodeposition method. Therefore, the first to third color filter layers 104, 106, and 108 may be sequentially formed without a mask pattern forming process using a photo mask. If this is divided into (a) ~ (c) process described as follows.

(a) 과정으로서, 전해질 용매가 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 제1 투명전극(102)과 TFT(T)가 구비된 기판(100)을 접속시키고, 전하 조정제가 첨가된 고분자 수지(전하를 갖는 가용성 수지)와 착색 안료를 상기 전해질 용매 중에 용해(분산)시켜 준 뒤, 상기 전착조 내의 전극에 R 구동 파형을 인가하여 제 1 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극(102) 상에만 선택적으로 최적화된 레드 분광특성을 갖는 제 1 칼라 필터층(R 패턴)(104)을 형성한다.As a process (a), the first transparent electrode 102 and the substrate 100 including the TFT (T) are connected to the anode electrode plate in the electrodeposition tank containing the electrolyte solvent, and the polymer resin (charge is added) Soluble resin) and a colored pigment in the electrolyte solvent, and then an R driving waveform is applied to the electrode in the electrodeposition tank, so that only the first transparent electrode 102 is formed on the portion where the first color filter layer is to be formed. Optionally, a first color filter layer (R pattern) 104 having optimized red spectral characteristics is formed.

(b) 과정으로서, 상기 전착조 내의 양극 전극판에 G 구동 파형을 인가하여 제 2 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극(102) 상에만 선택적으로 최적화된 그린 분광특성을 갖는 제 2 칼라 필터층(G 패턴)(106)을 형성한다. (b) a second color having a green spectral characteristic selectively optimized only on the first transparent electrode 102 of the portion where the second color filter layer is to be formed by applying a G driving waveform to the anode electrode plate in the electrodeposition tank; The filter layer (G pattern) 106 is formed.

(c) 과정으로서, 상기 전착조 내의 양극 전극판에 B 구동 파형을 인가하여 제 3 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극(102) 상에만 선택적으로 최적화된 블루 분광특성을 갖는 제 3 칼라 필터층(B 패턴)을 형성한다. (c) a third color having a blue spectral characteristic selectively optimized only on the first transparent electrode 102 of the portion where the third color filter layer is to be formed by applying the B driving waveform to the anode electrode plate in the electrodeposition tank; A filter layer (B pattern) is formed.

제 3 단계로서, 도 7에 도시된 바와 같이 전착법을 이용하여 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108) 상에만 선택적으로 400 ~ 1600Å의 두께를 갖는 ITO(또는 SnO2) 재질의 제2 투명전극(110)을 형성하므로써, 본 공정을 완료한다.As a third step, ITO having a thickness of 400-1600 kPa selectively on the first to third color filter layers 104, 106 and 108 using electrodeposition as shown in FIG. This process is completed by forming the second transparent electrode 110 of SnO 2 ) material.

이때, 상기 제 3 단계의 공정은 크게, 다음의 (a) ~ (c) 과정을 거쳐 진행된다. (a) 과정으로서, 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108)이 구비된 기판(100)을 전해질 용매가 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 접속시키고 (b) 과정으로서, 투명 도전성 물질(전착액)을 상기 전해질 용매 중에 분산시켜 준 뒤 (c) 과정으로서, 상기 양극 전극판에 R, G, B 구동 파형을 동시에 인가하여 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108) 상에만 선택적으로 제2 투명전극(110)을 형성한다. At this time, the process of the third step is largely proceeded through the following (a) ~ (c) process. (A) process, the substrate 100 with the first to third color filter layers 104, 106, 108 is connected to the anode electrode plate in the electrodeposition bath containing the electrolyte solvent (b) process For example, after the transparent conductive material (electrodeposition liquid) is dispersed in the electrolyte solvent (c), the first, second, and third color filter layers 104 may be simultaneously applied to R, G, and B driving waveforms to the cathode electrode plate. ), 106 and 108 are selectively formed on the second transparent electrode (110).

그 결과, 도 7의 단면도에서 알 수 있듯이 TFT 기판(100) 상에는 복수의 데이터 라인 및 게이트 라인에 각각 접속되도록, TFT(T)와 제1 투명전극(102)이 형성되고, 상기 제1 투명전극(102) 상에는 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108)이 순차 반복적으로 형성되고, 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108) 상에는 제2 투명전극(110)이 형성된 구조의 LCD용 칼라필터가 제조된다. As a result, as shown in the cross-sectional view of FIG. 7, the TFT (T) and the first transparent electrode 102 are formed on the TFT substrate 100 so as to be connected to the plurality of data lines and the gate lines, respectively. First to third color filter layers 104, 106, and 108 are sequentially formed on the 102, and the first to third color filter layers 104, 106, and 108 are formed on the first and third color filter layers 104, 106, and 108. A color filter for an LCD having a structure in which two transparent electrodes 110 are formed is manufactured.

이와 같이, TFT 기판(100) 상에 제 1 내지 제 3 칼라 필터층(104),(106),(108)을 형성해 줄 경우, 칼라 필터층 형성후 보호층 증착 공정없이 곧바로 제2 투명전극(110)을 형성하는 것이 가능하게 되고, 또한 폴리 실리콘 TFT 의 경우 전착법을 이용한 칼라 필터층 형성시 요구되는 노광 공정을 스킵할 수 있게 되므로, 공정 단순화를 기할 수 있게 된다. 게다가, TFT 기판(100) 상에 칼라 필터층과 데이터 및 게이트 구동회로가 모두 형성되므로, LCD 패널 외부에 배치된 구동회로와 최소한의 전극 단자 연결만으로도 R, G, B 패턴에 영상신호를 각각 인가하는 것이 가능하게 된다. As such, when the first to third color filter layers 104, 106, and 108 are formed on the TFT substrate 100, the second transparent electrode 110 is formed immediately after the color filter layer is formed without a protective layer deposition process. It is possible to form a, and in the case of the polysilicon TFT, the exposure process required for forming the color filter layer using the electrodeposition method can be skipped, thereby simplifying the process. In addition, since both the color filter layer and the data and gate driving circuits are formed on the TFT substrate 100, the video signal is applied to the R, G, and B patterns only with a minimum electrode terminal connection and a driving circuit disposed outside the LCD panel. It becomes possible.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면, 1) 제 1 내지 제 3 칼라 필터층이 전착법에 의해 TFT 기판 상의 제1 투명전극 위에 형성되므로, 보호층 증착 공정없이 곧바로 제2 투명전극을 형성하는 것이 가능하게 되어 공정 단순화 및 비용 절감을 실현할 수 있게 되고, 2) 폴리 실리콘 TFT의 경우, 제1 투명전극에 R, G, B 각각의 구동 파형을 인가할 수 있으므로, 전압이 인가된 제2 투명전극 상에만 선택적으로 전착액 성분이 석출되도록 하는 것이 가능하여, 비정질 실리콘 TFT에서 요구되는 별도의 포토 마스크없이도 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 형성이 가능하게 된다.As described above, according to the present invention, since 1) the first to third color filter layers are formed on the first transparent electrode on the TFT substrate by the electrodeposition method, it is possible to form the second transparent electrode immediately without the protective layer deposition process. The process simplification and cost reduction can be realized. 2) In the case of the polysilicon TFT, the driving waveforms of R, G, and B can be applied to the first transparent electrode, so that the voltage is applied on the second transparent electrode. It is possible to selectively deposit the electrodeposition liquid component only so that the first to third color filter layers can be formed without a separate photo mask required for the amorphous silicon TFT.

도 1 내지 도 4는 종래 기술에 의한 TFT-LCD의 칼라 필터 제조방법을 나타낸 공정수순도,1 to 4 is a process flowchart showing a color filter manufacturing method of a TFT-LCD according to the prior art,

도 5 내지 도 7은 본 발명에 의한 TFT-LCD의 칼라 필터 제조방법을 나타낸 공정수순도. 5 to 7 is a process flowchart showing a color filter manufacturing method of a TFT-LCD according to the present invention.

Claims (13)

복수의 데이터 라인 및 게이트 라인에 각각 접속되도록, 박막트랜지스터와 제1 투명전극이 구비된 TFT 기판; A TFT substrate provided with a thin film transistor and a first transparent electrode so as to be connected to a plurality of data lines and a gate line, respectively; 상기 제1 투명전극 상에 순차 반복적으로 각각 형성된 제 1 내지 제 3 칼라 필터층; 및 First to third color filter layers sequentially formed on the first transparent electrode, respectively; And 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층의 표면 상에 형성된 제2 투명전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자.And a second transparent electrode formed on a surface of the first to third color filter layers. 제 1항에 있어서, 상기 제1 투명전극과 상기 제2 투명전극은 ITO나 SnO2 중 선택된 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자.The liquid crystal display device of claim 1, wherein the first transparent electrode and the second transparent electrode are made of one selected from ITO and SnO 2 . 제 1항에 있어서, 상기 제2 투명전극은 400 ~ 1600Å 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.The liquid crystal display device of claim 1, wherein the second transparent electrode has a thickness of 400 to 1600 kW or less. 제 1항에 있어서, 상기 박막트랜지스터는 비정질 실리콘이나 폴리 실리콘 박막트랜지스터중 선택된 어느 하나로 이루어지고,The thin film transistor of claim 1, wherein the thin film transistor is made of any one selected from amorphous silicon and polysilicon thin film transistor. 상기 TFT 기판에는 비정질 실리콘이나 폴리 실리콘 박막트랜지스터로 이루어져 상기 복수의 데이터 라인과 게이트 라인에 구동신호를 인가하기 위한 구동회로가 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.And a driving circuit formed of amorphous silicon or polysilicon thin film transistor on the TFT substrate to apply driving signals to the data lines and the gate lines. 복수의 데이터 라인 및 게이트 라인에 각각 접속되도록, 박막트랜지스터와 제1 투명전극이 구비된 TFT 기판의 상기 제1 투명전극 상에 전착법을 이용하여 제 1 내지 제 3 칼라 필터층을 순차 반복적으로 각각 형성하는 단계; 및 First to third color filter layers are sequentially formed on the first transparent electrode of the TFT substrate equipped with the thin film transistor and the first transparent electrode so as to be connected to the plurality of data lines and the gate lines, respectively, sequentially and repeatedly. Making; And 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층 상에 제2 투명전극을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법. And forming a second transparent electrode on the first to third color filter layers. 제 5항에 있어서, 상기 제1 투명전극과 상기 제2 투명전극은 ITO나 SnO2 중 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.The method of claim 5, wherein the first transparent electrode and the second transparent electrode are formed of one selected from ITO and SnO 2 . 제 5항에 있어서, 상기 제2 투명전극은 400 ~ 1600Å 이하의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.The method of claim 5, wherein the second transparent electrode is formed to a thickness of 400 ~ 1600Å or less. 제 5항에 있어서, 상기 TFT 기판에는 폴리 실리콘 박막트랜지스터로 이루어져 상기 복수의 데이터 라인과 게이트 라인에 구동신호를 인가하기 위한 구동회로가 구비되고,6. The driving circuit of claim 5, wherein the TFT substrate comprises a polysilicon thin film transistor and includes a driving circuit for applying driving signals to the data lines and the gate lines. 상기 제1 투명전극 상에 전착법에 이용하여 제 1 내지 제 3 칼라 필터층을 순차 반복적으로 각각 형성하는 단계에서, 상기 구동회로는 상기 제1 투명전극에 레드, 그린 및 블루 전압파형을 순차적으로 인가하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법. In the step of sequentially forming each of the first to third color filter layers on the first transparent electrode by the electrodeposition method, the driving circuit sequentially applies red, green, and blue voltage waveforms to the first transparent electrode. Liquid crystal display device manufacturing method characterized in that. 제 5항에 있어서, 상기 전착법을 이용하여 상기 제1 투명전극 상에 제 1 내지 제 3 칼라 필터층을 순차 반복적으로 각각 형성하는 단계는, The method of claim 5, wherein the first to third color filter layers are sequentially formed on the first transparent electrode using the electrodeposition method, respectively. 상기 제 1 칼라 필터층이 형성될 부분에서 상기 제1 투명극의 표면이 노출되도록 상기 제1 투명전극 상에 감광막을 형성하는 단계; Forming a photoresist film on the first transparent electrode such that the surface of the first transparent electrode is exposed at a portion where the first color filter layer is to be formed; 전착액(고분자 수지와 착색 안료가 분산된 전해질 용매)이 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 상기 TFT 기판을 접속시키고, 상기 전극에 전압을 인가하여 노출된 상기 제1 투명전극의 표면 상에 레드 분광특성을 갖는 상기 제 1 칼라 필터층을 형성하는 단계; The TFT substrate is connected to a positive electrode plate in an electrodeposition tank containing an electrodeposition liquid (an electrolyte solvent in which a polymer resin and a colored pigment are dispersed), and a red spectroscopy is applied on the surface of the first transparent electrode exposed by applying a voltage to the electrode. Forming the first color filter layer having characteristics; 상기 감광막을 제거하는 단계; Removing the photosensitive film; 상기 제 2 칼라 필터층이 형성될 부분에서 상기 제1 투명전극 표면이 노출되도록 상기 제1 투명전극 상에 감광막을 형성하는 단계; Forming a photoresist film on the first transparent electrode such that the surface of the first transparent electrode is exposed at a portion where the second color filter layer is to be formed; 전착액(고분자 수지와 착색 안료가 분산된 전해질 용매)이 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 상기 TFT 기판을 접속시키고, 상기 전극에 전압을 인가하여 노출된 상기 제1 투명전극의 표면 상에 그린 분광특성을 갖는 상기 제 2 칼라 필터층을 형성하는 단계; Spectroscopy drawn on the surface of the first transparent electrode exposed by connecting the TFT substrate to an anode electrode plate in an electrodeposition tank containing an electrodeposition liquid (an electrolyte solvent in which a polymer resin and a colored pigment are dispersed) and applying a voltage to the electrode. Forming the second color filter layer having properties; 상기 감광막을 제거하는 단계; Removing the photosensitive film; 상기 제 3 칼라 필터층이 형성될 부분에서 상기 제1 투명전극 표면이 노출되도록 상기 제1 투명전극 상에 감광막을 형성하는 단계; Forming a photoresist film on the first transparent electrode such that the surface of the first transparent electrode is exposed at a portion where the third color filter layer is to be formed; 전착액(고분자 수지와 착색 안료가 분산된 전해질 용매)이 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 상기 TFT 기판을 접속시키고, 상기 전극에 전압을 인가하여 노출된 상기 제1 투명전극의 표면 상에 블루 분광특성을 갖는 제 3 칼라 필터층을 형성하는 단계; 및, The TFT substrate was connected to a positive electrode plate in an electrodeposition bath containing an electrodeposition liquid (an electrolyte solvent in which a polymer resin and a colored pigment were dispersed), and blue spectroscopy was applied on the surface of the first transparent electrode exposed by applying a voltage to the electrode. Forming a third color filter layer having properties; And, 상기 감광막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법. And removing the photosensitive film. 제 8항에 있어서, 상기 전착법을 이용하여 상기 제1 투명전극 상에 상기 제 1 내지 제 3 칼라 필터층을 순차 반복적으로 각각 형성하는 단계는, The method of claim 8, wherein the first to third color filter layers are sequentially formed on the first transparent electrode using the electrodeposition method, respectively. 전착액(고분자 수지와 착색 안료가 분산된 전해질 용매)이 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 상기 TFT 기판을 접속하는 단계;Connecting the TFT substrate to a positive electrode plate in an electrodeposition tank containing an electrodeposition liquid (an electrolyte solvent in which a polymer resin and a colored pigment are dispersed); 상기 전착조 내의 양극 전극판에 레드 구동 파형을 인가하여 상기 제 1 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극 상에 레드 분광특성을 갖는 상기 제 1 칼라 필터층을 형성하는 단계;Applying a red driving waveform to the anode electrode plate in the electrodeposition tank to form the first color filter layer having red spectral characteristics on a first transparent electrode of a portion where the first color filter layer is to be formed; 상기 전착조 내의 양극 전극판에 그린 구동 파형을 인가하여 제 2 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극 상에 그린 분광특성을 갖는 제 2 칼라 필터층을 형성하는 단계; 및Applying a green driving waveform to the anode electrode plate in the electrodeposition tank to form a second color filter layer having green spectral characteristics on the first transparent electrode of the portion where the second color filter layer is to be formed; And 상기 전착조 내의 양극 전극판에 블루 구동 파형을 인가하여 제 3 칼라 필터층이 형성될 부분의 제1 투명전극 상에 블루 분광특성을 갖는 제 3 칼라 필터층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법. And applying a blue driving waveform to the anode electrode plate in the electrodeposition tank to form a third color filter layer having blue spectral characteristics on the first transparent electrode of the portion where the third color filter layer is to be formed. Display device manufacturing method. 제 5항에 있어서, 상기 제2 투명전극은 전착법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법. The method of claim 5, wherein the second transparent electrode is formed by electrodeposition. 제 11항에 있어서, 상기 제2 투명전극은 형성하는 단계는,The method of claim 11, wherein the forming of the second transparent electrode comprises: 전착액(투명 도전성 물질이 분산된 전해질 용매)이 담겨진 전착조 내의 양극 전극판에 제 1 내지 제 3 칼라 필터층이 형성된 기판을 접속하는 단계; 및 Connecting the substrate on which the first to third color filter layers are formed to the anode electrode plate in the electrodeposition tank containing the electrodeposition liquid (the electrolyte solvent in which the transparent conductive material is dispersed); And 상기 전착조 내의 양극 전극판에 전압을 인가하여 상기 제2 투명전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법. And applying a voltage to the anode electrode plate in the electrodeposition tank to form the second transparent electrode. 제 12항에 있어서, 상기 양극 전극판에 전압 인가시 레드, 그린, 블루 구동 파형을 동시에 인가하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법. The method of claim 12, wherein the red, green, and blue driving waveforms are simultaneously applied to the anode electrode plate.
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