KR100462754B1 - 반도체 ｓｅｍ 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱시스템 - Google Patents

반도체 ｓｅｍ 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템에 관한 것으로, 제 1 전원 공급 수단으로부터 제공되는 전원을 분배하는 전원 분배 수단과, 전원 분배 수단으로부터 분배되는 전원을 이용하여 진공 상태 유지를 위한 펌핑 동작을 수행하는 건식 진공 펌프를 구비하는 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 시스템으로서, 건식 진공 펌프의 상태 정보를 분석하고, 분석되는 결과에 따라 건식 진공 펌프의 구동을 제어하는 인터페이싱 수단과, 건식 진공 펌프와 인터페이싱 수단으로 전원을 공급하는 제 2 전원 공급 수단을 포함한다. 본 발명에 의하면, 운용자 입장에서는 프로세스 진행에 적합한 제품을 선택하여 사용할 수 있으며, 보다 좋은 조건에서 경비 절감과 향후 문제 발생시 대처할 수 있는 능력이 배가되는 효과가 있다.

Description

반도체 ＳＥＭ 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템{DRY PUMP INTERFACING SYSTEM IN A SEM VISION DEVICE}
본 발명은 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 시스템에 관한 것으로, 특히, 타사(他社)의 건식 진공 펌프 적용이 용이한 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템에 관한 것이다.
통상, SEM 비전(vision) 장비라 함은, 고 진공 상태에서 전자빔을 주사하여 시료의 이상 유무를 확인하고, 시료 위의 물질들을 분석하는 장비를 일컫는다.
이러한 SEM 비전 장비에는 시료가 로딩되는 챔버를 고 진공 상태로 유지하기 위한 펌프, 예컨대, 건식 펌프 또는 TMP(Turbo-Molecular Pump) 또는 이온 펌프 등이 구비되는데, 특히, 건식 펌프를 사용하는 SEM 장비는 도 1에 도시된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 일반적인 건식 진공 펌프 시스템은 전원을 공급하는 전원 공급부(100)와, 전원 공급부(100)로부터 제공되는 전원을 펌프(106)로 분배하는 전원 분배부(102)와, 챔버 등으로 구성되는 주 장비(104)로 이루어진다.
이러한 건식 진공 펌프 시스템은 각 펌프를 인터페이스하는 기능이 존재하지 않는 바, 고정된 특정 회사의 제품만을 주로 사용할 수밖에 없다는 단점을 지니고 있다.
즉, 종래의 SEM 장비에서의 건신 진공 펌프는 전원 공급 수단이 하나로 고정되어 있을 뿐만 아니라, 회사별 건식 진공 펌프의 기능을 인터페이스할 수 없으므로, 운용자의 선택의 폭이 줄어들고 사용에 제약이 따른다는 문제가 제기되었다.
따라서, 본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로, 각 건식 진공 펌프에 제공되는 전원 공급을 이중화하고 건식 진공 펌프의 상태 정보를 분석하여 제품별 건식 진공 펌프의 기능을 인터페이스 하도록 한 반도체 SEM 장비에서의건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 제 1 전원 공급 수단으로부터 제공되는 전원을 분배하는 전원 분배 수단과, 전원 분배 수단으로부터 분배되는 전원을 이용하여 진공 상태 유지를 위한 펌핑 동작을 수행하는 건식 진공 펌프를 구비하는 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 시스템으로서, 건식 진공 펌프의 상태 정보를 분석하고, 분석되는 결과에 따라 건식 진공 펌프의 구동을 제어하는 인터페이싱 수단과, 건식 진공 펌프와 인터페이싱 수단으로 전원을 공급하는 제 2 전원 공급 수단을 포함하는 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템을 제공한다.
도 1은 통상의 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 시스템의 구성 블록도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템의 구성 블록도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
200 : 제 1 전원 공급부
202 : 전원 분배부
204 : 주 장비
206 : 건식 진공 펌프
208 : 인터페이스 처리부
210 : 제 2 전원 공급부
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템의 구성도로서, 제 1 전원 공급부(200), 전원 분배부(202), 주 장비(204), 펌프(206), 인터페이스 처리부(208), 제 2 전원 공급부(210)를 포함한다.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템은 각 건식 진공 펌프(206)에 제공되는 전원 공급을 이중화하고 건식 진공 펌프(206)의 상태 정보를 분석하여 제품별 건식 진공 펌프의 기능을 인터페이스 하도록 한다는 것으로, 나머지 중복되는 구성들의 설명은 생략하기로 한다.
먼저, 본 발명에 따른 시스템은, 건식 진공 펌프(206)의 상태 정보를 분석하고, 분석되는 결과에 따라 건식 진공 펌프(206)의 구동을 제어하는 인터페이스 처리부(208)가 구비된다. 이러한 인터페이스 처리부(208)는 건식 진공 펌프(206)로부터 입력되는 각 정보를 비교 분석하여 시스템의 정상 동작 여부를 판단하고, 판단된 결과를 토대로 전체 시스템을 구동시키는 기능을 수행한다.
이때, 이러한 상태 정보는, 예를 들어, 건식 진공 펌프(206)의 온도 감지 정보, 유량 감지 정보, 전원 감지 정보 등일 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 인터페이스 처리부(208)는 제품별 건식 진공 펌프에 따라 호환성 있게 시스템이 구동되도록 하는 것으로, 건식 진공 펌프의 운용자 선택폭을 높일 수 있을 것이다.
이러한 인터페이스 처리부(208) 및 건식 진공 펌프(206)에는 별도의 전원 공급 수단, 즉, 제 2 전원 공급부(210)가 마련된다.
따라서, 각 펌프별 전원 제어가 가능할 것이다.
이상, 본 발명을 실시예에 근거하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 변형이 가능한 것은 물론이다.
본 발명에 의하면, 운용자 입장에서는 프로세스 진행에 적합한 제품을 선택하여 사용할 수 있으며, 보다 좋은 조건에서 경비 절감과 향후 문제 발생시 대처할 수 있는 능력이 배가되는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 제 1 전원 공급 수단으로부터 제공되는 전원을 분배하는 전원 분배 수단과, 상기 전원 분배 수단으로부터 분배되는 전원을 이용하여 진공 상태 유지를 위한 펌핑 동작을 수행하는 건식 진공 펌프를 구비하는 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 시스템으로서,
    상기 건식 진공 펌프의 상태 정보를 분석하고, 분석되는 결과에 따라 상기 건식 진공 펌프의 구동을 제어하는 인터페이싱 수단과,
    상기 건식 진공 펌프와 상기 인터페이싱 수단으로 전원을 공급하는 제 2 전원 공급 수단을 포함하는 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상태 정보는 상기 건식 진공 펌프의 온도, 유량, 전원 감지 정보인 것을 특징으로 하는 반도체 SEM 장비에서의 건식 진공 펌프 인터페이싱 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19980024294A (ko) * 1996-09-03 1998-07-06 히가시 데츠로우 자동제어방법 및 그 장치
KR19990000903A (ko) * 1997-06-11 1999-01-15 윤종용 이중화된 전원 분배 장치

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