KR100453975B1 - 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한가스 분석 장치 - Google Patents

초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한가스 분석 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한 가스 분석 장치에 관한 것으로, MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정 기술과 유전체 다중 박막 코팅 기술을 이용하여 자기력으로 구동할 수 있는 초소형 구동기와 함께 일정 반사율을 갖는 유전체 박막 미러를 제작하여 파장 가변이 가능한 패브리-페롯 필터(Fabry-Perot Filter)를 제조함으로써 소자의 크기를 줄이고, 원형 코일의 전류를 조절하여 원형 코일에 의해 형성되는 자기력의 세기를 제어함으로써 패브리 페롯 필터를 통과할 수 있는 파장을 선택하고, 또한 다중 파장을 스켄닝할 수 있다. 이와 같은 특징을 이용하여 특정 가스의 성분과 농도를 측정할 수 있게 한다.

Description

초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한 가스 분석 장치{ Micro Fabry-Perot filter driven by magnetic force and gas analysis apparatus using the same}
본 발명은 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한 가스 분석 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정기술과 유전체 다층 박막 미러 제조 기술을 이용하여 자기력으로 구동되어지는 초소형 구동기와 유전체 다층 박막 미러를 결합시킴으로써 파장 가변이 가능한 패브리-페롯 필터를 간단하게 제조하여 소자의 크기를 줄이고, 원형 코일의 전류를 조절하여 원형 코일에 의해 형성되는 자기력의 세기를 제어함으로써 패브리 페롯 필터를 통과할 수 있는 파장을 선택하고, 또한 다중 파장을 스케닝할 수 있다.
이와 같은 다중 파장 스케닝 특성을 이용하여 특정 가스의 성분과 농도를 측정할 수 있는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한 가스 분석 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 가스 성분 분석방법은 회절격자(回折格子)를 이용하여 다(多) 파장의 광을 분리하고, 분리된 다 파장의 광을 가스가 채워져 있는 용기 속을 통과시키면, 용기 속에 채워진 가스는 특정 파장의 광을 흡수한다.
이렇게 가스를 통과한 다 파장의 광을 어레이 광센서를 사용하여 측정하게 되면, 가스에 의해 흡수되어진 광 파장과 그 광 파장에서 광 세기 변화를 측정할 수 있다.
가스의 종류에 따라 흡수되는 광 파장 대역이 다르기 때문에, 어레이 광센서에 의해 측정되는 가스 흡수 광 파장 대역을 측정하여 가스의 종류를 확인할 수 있으며, 또한 흡수되어지는 광 파장 대역에서 광 세기 변화로부터 가스 농도를 측정할 수 있다.
이렇게, 회절격자를 이용하여 가스 흡수 광을 측정하기 위한 광 스펙트로미터는 정밀 제작되어야 하며, 고가의 회절격자와 어레이 광센서를 필요로 한다.
그러므로, 정밀 미세하게 가공되어진 고가의 회절격자와 어레이 광센서를 사용함으로써, 측정 장치가 고가가 되며, 또한 어레이 광센서를 구동하기 위한 구동회로가 복잡해진다는 문제점이 있다.
더불어, 회절격자와 어레이 광센서를 이용하기 위해서는 회절격자와 어레이 광센서 간의 일정한 거리의 광 경로가 필요로 하기 때문에 광 스펙트로미터의 크기가 커지게 되는 단점도 있다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로,
MEMS공정과 유전체 다층 박막 미러 기술을 이용하여 파장 가변 패브리-페롯 필터를 간단히 제조하여 제조경비와 소자의 크기를 줄이고, 원형 코일의 전류를 조절하여 원형 코일에 의해 형성되는 자기력의 세기를 제어함으로써 패브리 페롯 필터를 통과할 수 있는 파장을 선택하고, 또한 다중 파장을 스케닝할 수 있다.
이와 같은 다중 파장 스케닝 특성을 이용하여 특정 가스의 성분과 농도를 측정할 수 있는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한 가스 분석 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 일부 영역이 식각된 기판과;
상기 기판의 상부에 형성되고, 상기 식각된 일부 영역에 의해 부상되어 멤브레인(Membrane)이 형성되는 제 1 식각방지층과;
상기 제 1 식각방지층의 상부에 형성된 제 1 미러와;
상기 제 1 미러의 상부에 형성되며, 내측에 요홈이 형성되어 상기 제 1 미러를 노출시키는 희생층과;
상기 희생층의 상면과 측면을 감싸며 형성되고, 상기 희생층의 요홈과 연통되는 개구가 형성되며, 상기 희생층의 요홈으로 노출된 상기 제 1 미러로부터 일정간격 이격되어서 부상되어 있는 제 2 미러와;
상기 제 2 미러의 상부에 형성되고, 상기 제 2 미러의 개구와 연통하는 개구가 형성되어 있는 제 2 식각방지층과;
상기 제 2 식각방지층의 상부에 형성되며, 상기 제 1 식각방지층의 멤브레인 영역 외측으로 배열되는 원형 코일패턴과;
상기 원형 코일패턴의 일측에 연결되며, 상기 제 2 식각방지층 상부에 형성된 제 1 전극단자와;
상기 제 1 전극단자와 상기 원형 코일패턴의 일부를 노출시키며 전면에 형성된 코일절연층과;
상기 노출된 원형코일패턴에 연결되어, 상기 코일절연층의 상부에 형성된 제 2 전극단자와;
상기 원형 코일패턴 외측으로 일정거리 이격된 상측에 정렬된 원통형 영구자석 또는 전자석으로 구성된 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는,
일부 영역이 식각된 기판과; 상기 기판의 상부에 형성되고, 상기 식각된 일부 영역에 의해 부상되어 멤브레인(Membrane)이 형성되는 제 1 식각방지층과; 상기 제 1 식각방지층의 상부에 형성된 제 1 미러와; 상기 제 1 미러의 상부에 형성되며, 내측에 요홈이 형성되어 상기 제 1 미러를 노출시키는 희생층과; 상기 희생층의 상면과 측면을 감싸며 형성되고, 상기 희생층의 요홈과 연통되는 개구가 형성되며, 상기 희생층의 요홈으로 노출된 상기 제 1 미러로부터 일정간격 이격되어서 부상되어 있는 제 2 미러와; 상기 제 2 미러의 상부에 형성되고, 상기 제 2 미러의 개구와 연통하는 개구가 형성되어 있는 제 2 식각방지층과; 상기 제 2 식각방지층의 상부에 형성되며, 상기 제 1 식각방지층의 멤브레인 영역 외측으로 배열되는 원형 코일패턴과; 상기 원형 코일패턴의 일측에 연결되며, 상기 제 2 식각방지층 상부에 형성된 제 1 전극단자와; 상기 제 1 전극단자와 상기 원형 코일패턴의 일부를 노출시키며 전면에 형성된 코일절연층과; 상기 노출된 원형코일패턴에 연결되어, 상기 코일절연층의 상부에 형성된 제 2 전극단자와; 상기 원형 코일패턴 외측으로 일정거리 이격된 상측에 정렬된 원통형 영구자석 또는 전자석으로 이루어진 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터와,
상기 패브리-페롯 필터의 원통형 영구자석 또는 전자석의 타측 방향으로 상기 패브리-페롯 필터의 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된, 가스가 내장된 투명가스용기와,
상기 투명가스용기를 통하여 상기 패브리-페롯 필터의 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된 광원과,
상기 패브리-페롯 필터의 기판과 일정거리 이격되며, 상기 광원 및 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된 대역통과필터(Band Pass Filter)와,
상기 대역통과필터와 이격되어 있고, 상기 제 1과 2 미러와 대역통과필터가 광학적으로 정렬된 광센서를 포함하여 구성된 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터(Fabry-Perot Filter)의 단면도이다.
도 2은 도 2의 평면도이다.
도 3는 본 발명의 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터에 원통형 영구자석 또는 전자석이 정렬된 단면도이다.
도 4는 도 3의 상태에서, 코일전열층이 형성되지 않은 상태로 원통형 영구자석 또는 전자석이 정렬된 상면도이다.
도 5은 본 발명에 따라 패브리-페롯 필터가 원통형 영구자석 또는 전자석의 영향으로, 척력이 발생한 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따라 패브리-페롯 필터가 원통형 영구자석 또는 전자석의 영향으로, 인력이 발생한 상태도이다.
도 7은 본 발명의 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석 장치이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 11,13 : 식각방지층
12 : 희생층 13a,13b,13c,13d : 연결부
14 : 지지부 15 : 코일 절연층
16 : 희생층 식각 방지 홈 21,22 : 미러
31,32 : 전극단자 35 : 원형 코일패턴
40 : 원통형 영구자석 또는 전자석 51a,51b,51c,51d : 개구
60 : 요홈 70 : 투명가스용기
80 : 적외선 90 : 대역통과필터(Band Pass Filter)
92 : 적외선 광센서 100 : 패브리-페롯(Fabry-Perot) 필터
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 초소형 전자기력 구동 페브리-페롯 필터(Fabry-Perot Filter)의 단면도로써, 일부 영역이 식각된 기판(10)과; 상기 기판(10)의 상부에 형성되고, 상기 식각된 일부 영역에 의해 부상되어 멤브레인(Membrane)이 형성되는 제 1 식각방지층(11)과; 상기 제 1 식각방지층(11)의 상부에 형성된 제 1 미러(21)와; 상기 제 1 미러(21)의 상부에 형성되며, 내측에 요홈이 형성되어 상기 제 1 미러(21)를 노출시키는 희생층(12)과; 상기 희생층(12)의 상면과 측면을 감싸며 형성되고, 상기 희생층(12)의 요홈과 연통되는 개구가 형성되며, 상기 희생층(12)의 요홈으로 노출된 상기 제 1 미러(21)로부터 일정간격 이격되어서 부상되어 있는 제 2 미러(22)와; 상기 제 2 미러(22)의 상부에 형성되고, 상기 제 2 미러(22)의 개구와 연통하는 개구가 형성되어 있는 제 2 식각방지층(13)과; 상기 제 2 식각방지층(13)의 상부에 형성되며, 상기 제 1 식각방지층(11)의 멤브레인 영역 외측으로 배열되는 원형 코일패턴(35)과; 상기 원형 코일패턴(35)의 일측에 연결되며, 상기 제 2 식각방지층(13) 상부에 형성된 제 1 전극단자(31)와; 상기 제 1 전극단자(31)와 상기 원형 코일패턴(35)의 일부를 노출시키며 전면에 형성된 코일절연층(15)과; 상기 노출된 원형코일패턴(35)에 연결되어, 상기 코일절연층(15)의 상부에 형성된 제 2 전극단자(32)로 구성된다.
여기서, 상기 페브리-페롯 필터는 영구자석 또는 전자석과 함께 정렬되어 있어야 실제적으로 구동된다.
한편, 상기 제 1과 2 식각 방지층(11,13)은 실리콘 질화막(Si3N4)을 사용하며LPCVD 또는 PECVD 증착 방법으로 형성된다.
그리고, 상기 제 1과 2 미러(21,22)는 일정한 간격을 가지고 평행하게 정렬되도록 되어 있으며, 실리콘 산화막(SiO2), 실리콘 질화막(Si3N4) 등과 같은 유전체 박막을 일정 두께로 교대로 다층으로 코팅하여 제작하며, 제 1과 2 미러(21, 22)가 마주보는 면들에서 각각 일정한 반사도를 갖도록 제작한다.
이러한 제 1과 2 미러(21,22)는 상기 제 1 식각방지층(11)의 상부에 제 1 미러(21)를 형성하고, 상기 제 1 미러(21)의 상부에 LPCD 증착 방법을 이용하여 폴리실리콘(poly-silicon)을 일정 두께로 증착하므로써 희생층(12)을 형성하고, 요홈(60)을 만들기 위해 희생층(12)를 제거시 일부 요홈(60) 부분의 희생층(12)만을 제거하기 위해 반응성 이온 식각(RIE) 방법으로 희생층(12)에 식각 방지 홈(16)을 형성한 다음, 상기 희생층(12)의 상부에 제 2 미러(22)와 제 2 식각방지층(13)을 순차적으로 형성한다.
도 2를 참조하여, 그 후, 상기 제 2 식각방지층(13)과 제 2 미러(22)의 동일 위치에 동일 크기로 개구(51a, 51b, 51c, 51c)를 형성하고, 상기 희생층(12)을 폴리실리콘 만을 선택적으로 식각할 수 있는 XeF2가스를 이용한 식각 방법으로 요홈(60)이 형성될 회생층(12)만을 선택적으로 제거하면, 도 1의 요홈(60)과 상호 일정한 간격을 갖으며, 마주보는 제 1과 2 미러(21,22)를 형성할 수 있다.
그 다음, 금속 재료의 원형 코일 패턴(35)과 제 1 전극(31)을 형성하고, 실리콘 산화막을 이용하여 코일 절연층(15)을 형성하고, 제 1 전극(31) 부분과 원형코일 패턴(35) 제일 안쪽 부분의 코일 위쪽의 절연층(15)의 일부를 제거하고, 원형 코일패턴(35)의 제일 안쪽 부분을 밖으로 연결하여 제 2 전극(32)을 형성하면 본 발명의 페브리-페롯 필터를 형성할 수 있다.
전술한 희생층(12)의 두께는 제 1과 2 미러의 간격을 결정한다.
그리고, 희생층(12) 일부에 희생층 식각 방지 홈(16)을 제1 미러 또는 제1 식각방지층 까지 형성하여 제 1과 2 미러(21, 22) 사이의 요홈(60)이 형성될 희생층(12)만을 제거하고, 제 1 과 2 전극(31, 32) 아래쪽에 있는 희생층(12)은 식각되지 않도록 한다.
도 2는 도 1의 평면도로써, 제 2 식각방지층(13)은 4개의 개구(51a,51b,51c,51d)가 형성되고, 상기 개구(51a,51b,51c,51d)들에 의해 지지부(14)와 제 1 내지 4 연결부(13a,13b,13c,13d)가 형성된다.
상기 지지부(14)의 하부에는 제 2 미러(22)가 형성되어 있고, 지지부(14)의 상부에는 원형 코일패턴(35)이 형성된다.
상기 원형 코일패턴(35)은 상기 제 2 식각방지층(13)에 형성된 제 1과 2 전극단자(31,32)와 전기적으로 연결된다.
도 3은 본 발명의 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터에 원통형 영구자석 또는 전자석(40)이 정렬된 단면도로써, 원형 코일패턴(35) 외측으로 일정거리 이격된 상측에 원통형 영구자석 또는 전자석(40)이 정렬되어, 상기 원형 코일패턴(35)과 발생하는 자기장과 상기 원통형 영구자석 또는 전자석(40)의 자기장과 서로 상호 작용하여 인력 또는 척력이 발생하게 되어 지지부(14)가 상하로 움직이게 된다.
본 발명의 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터는 원통형 영구자석 또는 전자석(40)이 정렬되어야 실제적인 파장 가변 필터 역할을 수행함으로, 상기 원통형 영구자석 또는 전자석(40)의 중심축과 원형 코일 패턴(35)의 중심축과 일치시켜 자기력에 의해 지지부가 제 1 미러와 평행을 이루며 상하로 움직일 수 있도록 한다.
여기서, 상기 원통형 영구자석 또는 전자석(40)의 영향을 받지 않는 상태에는 제 1과 2 미러(21,22)의 간격은 'd1'이다.
그러므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 원통형 영구자석 또는 전자석(40)은 원형 코일패턴(35)의 외측으로 패브리-페롯 필터(100)의 상부에 정렬된다.
도 5와 도 6은 본 발명에 따라 원형 코일(35)의 자기장과 원통형 영구자석 또는 전자석(40)의 자기장의 상호 작용에 의한 자기력에 의해 인력과 척력이 발생한 상태도로써, 두 전극단자(31,32)에 순방향 또는 역방향의 전류를 흘려주면 원형 코일패턴(35)에서 발생하는 자기장의 방향이 서로 반대가 되기 때문에 원통형 영구자석 또는 전자석(40)에서 형성된 자기장과 상호 작용을 하여 연결부(13a,13b,13c,13d)에 연결되어 지지되고 있는 지지부(14)에 인력과 척력이 발생하여, 제 1과 2 미러(21. 22)의 간격이 보다 좁아지거나(도 5의 'd2) 보다 넓어지게(도 6의 'd3)된다.
또한 이런 제 1과 2 미러(21,22) 사이의 간격을 미세 조절하기 위해서는 상기 원형 코일패턴(35)에 공급되는 전류량을 조절하면 된다.
도 7은 본 발명의 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석장치의 예로써, 패브리-페롯 필터(100)와; 상기 패브리-페롯 필터(100)의 코일패턴(35) 쪽에 정렬된 원통형 영구자석 또는 전자석(40)과; 상기 원통형 영구자석 또는 전자석(40)의 타측 방향으로 가스가 채워진 가스용기(70)와; 상기 가스용기(70)를 통하여 상기 패브리-페롯 필터(100)와 광학적으로 정렬된 적외선 광원(80)과; 상기 패브리-페롯 필터(100)의 기판(10)과 정렬된 대역통과필터(Band Pass Filter)(90)와; 상기 패브리-페롯 필터(100)와 정렬된 적외선 광센서(92)로 구성된다.
이렇게 구성된 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석 장치는 가스용기(70)에 가스가 내장되어 있으며, 상기 적외선 광원(80)에 조사된 적외선 광이 상기 가스용기(70)의 가스를 통하여, 패브릿 패롯 필터(100)의 제 1과 2 미러(21,22)를 통과한다.
여기서, 상기 패브리-페롯 필터(100)의 두 전극단자(31,32)에 전류량을 제어하여 제 1과 2 미러(21,22) 사이의 간격은 제어한다.
이렇게 상기 제 1과 2 미러(21,22) 사이의 간격을 제어함으로써 상기 가스를 통과한 적외선 광을 파장별로 순차적으로 스케닝하며 대역통과필터(90)를 통하여 적외선 광센서(92)를 사용하여 파장별 광 세기 변화를 측정함으로써, 가스에 의해 흡수되어지는 광 파장을 검출하고 이 때 광 세기로부터 가스용기 내에 있는 가스의 성분과 농도를 측정한다.
상기 대역통과 필터(90)는 적외선 광원에서 나오는 광 파장 대역이 패브로-페롯 필터로 수행하는 파장 가변 범위 보다 넓은 파장대역의 적외선 광원이 나오기때문에 측정하고자 하는 일정 범위 파장 대역의 적외선 광만을 측정하기 위해 사용된다.
여기서, 상기 적외선 광센서(92)는 넓은 범위 파장대역의 광을 일정한 감도로 측정하기 위해서 초전형(Pyroelectric) 광센서를 사용하는 것이 바람직하다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명은 MEMS공정 및 유전체 다층 박막 미러 제작 기술을 이용하여 초소형 자기력 구동되는 파장 가변 패브리-페롯 필터를 쉽게 제조가 가능하여 제조 경비 및 소자의 크기를 줄일 수 있으며, 자기력에 의한 구동기를 적용하여 보다 손쉽게 패브리-페롯 필터를 제어가 가능함으로써 순차적으로 광 파장을 검출하여 가스의 성분과 농도를 측정할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (6)

  1. 일부 영역이 식각된 기판과;
    상기 기판의 상부에 형성되고, 상기 식각된 일부 영역에 의해 부상되어 멤브레인(Membrane)이 형성되는 제 1 식각방지층과;
    상기 제 1 식각방지층의 상부에 형성된 제 1 미러와;
    상기 제 1 미러의 상부에 형성되며, 내측에 요홈이 형성되어 상기 제 1 미러를 노출시키는 희생층과;
    상기 희생층의 상면과 측면을 감싸며 형성되고, 상기 희생층의 요홈과 연통되는 개구가 형성되며, 상기 희생층의 요홈으로 노출된 상기 제 1 미러로부터 일정간격 이격되어서 부상되어 있는 제 2 미러와;
    상기 제 2 미러의 상부에 형성되고, 상기 제 2 미러의 개구와 연통하는 개구가 형성되어 있는 제 2 식각방지층과;
    상기 제 2 식각방지층의 상부에 형성되며, 상기 제 1 식각방지층의 멤브레인 영역 외측으로 배열되는 원형 코일패턴과;
    상기 원형 코일패턴의 일측에 연결되며, 상기 제 2 식각방지층 상부에 형성된 제 1 전극단자와;
    상기 제 1 전극단자와 상기 원형 코일패턴의 일부를 노출시키며 전면에 형성된 코일절연층과;
    상기 노출된 원형코일패턴에 연결되어, 상기 코일절연층의 상부에 형성된 제2 전극단자와;
    상기 원형 코일패턴 외측으로 일정거리 이격된 상측에 정렬된 원통형 영구자석 또는 전자석으로 이루어진 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 미러는 각각 유전체 박막을 다층으로 코팅한 박막인 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 미러는 일정한 간격을 가지며,
    광학적으로 평행하게 정렬되도록 제 1과 2 미러와 상기 원통형 영구자석 또는 전자석의 중심축은 동일선상으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 식각방지층은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터.
  5. 일부 영역이 식각된 기판과; 상기 기판의 상부에 형성되고, 상기 식각된 일부 영역에 의해 부상되어 멤브레인(Membrane)이 형성되는 제 1 식각방지층과;
    상기 제 1 식각방지층의 상부에 형성된 제 1 미러와; 상기 제 1 미러의 상부에 형성되며, 내측에 요홈이 형성되어 상기 제 1 미러를 노출시키는 희생층과; 상기 희생층의 상면과 측면을 감싸며 형성되고, 상기 희생층의 요홈과 연통되는 개구가 형성되며, 상기 희생층의 요홈으로 노출된 상기 제 1 미러로부터 일정간격 이격되어서 부상되어 있는 제 2 미러와; 상기 제 2 미러의 상부에 형성되고, 상기 제 2 미러의 개구와 연통하는 개구가 형성되어 있는 제 2 식각방지층과; 상기 제 2 식각방지층의 상부에 형성되며, 상기 제 1 식각방지층의 멤브레인 영역 외측으로 배열되는 원형 코일패턴과; 상기 원형 코일패턴의 일측에 연결되며, 상기 제 2 식각방지층 상부에 형성된 제 1 전극단자와; 상기 제 1 전극단자와 상기 원형 코일패턴의 일부를 노출시키며 전면에 형성된 코일절연층과; 상기 노출된 원형코일패턴에 연결되어, 상기 코일절연층의 상부에 형성된 제 2 전극단자와; 상기 원형 코일패턴 외측으로 일정거리 이격된 상측에 정렬된 원통형 영구자석 또는 전자석으로 이루어진 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터와,
    상기 패브리-페롯 필터의 원통형 영구자석 또는 전자석의 타측 방향으로 상기 패브리-페롯 필터의 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된, 가스가 내장된 가스용기와,
    상기 투명가스용기를 통하여 상기 패브리-페롯 필터의 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된 광원과,
    상기 패브리-페롯 필터의 기판과 일정거리 이격되며, 상기 적외선 광원 및 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된 대역통과필터(Band Pass Filter)와,
    상기 대역통과필터와 이격되어 있고, 상기 제 1과 2 미러와 대역통과필터가 광학적으로 정렬된 적외선 광센서를 포함하여 구성된 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 적외선 광원, 제 1과 2 미러, 상기 원통형 영구자석 또는 전자석과 대역통과필터의 중심축은 동일선상에서 광학적으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석 장치.
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