KR100446430B1 - Wafer cassette stage - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 카세트 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer cassette stage.
본 발명은 반도체 공정 챔버들이 방사형으로 배열되어 프로세스를 진행하기 위해서는 웨이퍼 카세트의 로딩 위치에서 웨이퍼 프로세싱 위치로 이동해야 하는 웨이퍼 카세트 스테이지에 있어서; 상기 웨이퍼 카세트의 안정적인 장착을 위하여 상기 웨이퍼 카세트 스테이지의 상단에 길이 방향으로 사각의 카세트 커버가 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서 카세트 스테이지에 안착되는 카세트 스테이지의 들리는 현상을 방지하여 장비의 안정성 및 생산성 수율 향상을 이루는 효과가 있다.The present invention relates to a wafer cassette stage in which the semiconductor process chambers are arranged radially and must move from the loading position of the wafer cassette to the wafer processing position in order to proceed with the process; The rectangular cassette cover in the longitudinal direction is installed on the top of the wafer cassette stage for the stable mounting of the wafer cassette is characterized in that it is installed. Therefore, it is possible to prevent the phenomenon of the cassette stage seated on the cassette stage, thereby improving the stability and productivity of the equipment.
Description
본 발명은 웨이퍼 카세트 스테이지에 관한 것으로써, 웨이퍼 카세트의 정확한 장착 상태를 유지할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트 스테이지에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wafer cassette stage, and more particularly, to a wafer cassette stage capable of maintaining an accurate mounting state of a wafer cassette.
일반적으로 반도체 웨이퍼는 각 롯드 단위로 카세트 및 캐리어에 담겨져 각 공정상으로 운반되는 것이며, 이 후 해당되는 공정 설비 상에 장착되어 별도의 이송 수단에 의해 챔버 내로 로딩 및 언로딩 되는바, 이 때 웨이퍼는 치명적인 결함의 발생 없이 안정적으로 로딩 및 언로딩될 수 있게 배려되어야 한다. 상기의 안정적인 웨이퍼의 이송은 공정 설비상에 장착되는 카세트의 정확성 여부에 매우 큰 영향을 받게 됨으로 카세트 스테이지 상에 장착되는 웨이퍼 카세트의 장착이 중요하다.In general, a semiconductor wafer is a cassette and a carrier for each lot and is transported in each process, and is then mounted on a corresponding process facility and loaded and unloaded into a chamber by a separate transfer means. Consideration should be given to stable loading and unloading without the occurrence of fatal defects. Since the transfer of the stable wafer is greatly influenced by the accuracy of the cassette mounted on the process equipment, it is important to mount the wafer cassette mounted on the cassette stage.
도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 스테이지의 사시도로서, 카세트 스테이지(1) 상면에는 웨이퍼 카세트(2)가 안착되며, 웨이퍼 카세트(2)에는 프로세스를 진행하고자 하는 웨이퍼 또는 이미 일련의 프로세스를 진행한 웨이퍼가 수납된다. 웨이퍼 카세트(2)는 카세트 스테이지(1)에 의해 반도체 장비 내부로 혹은 외부로 로딩 및 언로딩된다.1 is a perspective view of a conventional wafer cassette stage, in which a wafer cassette 2 is seated on an upper surface of the cassette stage 1, and a wafer to be processed or a wafer which has already undergone a series of processes is mounted on the wafer cassette 2. It is stored. The wafer cassette 2 is loaded and unloaded into or out of the semiconductor equipment by the cassette stage 1.
한편, 웨이퍼가 로딩되는 반도체 장비가 다수의 로드락 챔버(미도시) 및 공정챔버(미도시)를 구비하며, 이들 챔버들이 방사형으로 배열된 경우, 카세트 스테이지(1)는 수평방향으로 회전 이동하여 챔버 내부로 공급되는 웨이퍼가 방사형으로 배열된 챔버와 일치할 수 있도록 한다. 즉, 카세트 스테이지(1)는 크게 웨이퍼 카세트(2)를 반도체 장비 안으로 로딩시키는 단계의 카세트 로딩 위치와, 로딩된 웨이퍼 카세트(2) 내부에서 웨이퍼를 공정챔버 내부로 프로세싱 시키는 단계의 웨이퍼 프로세싱 위치로 구분된다. 카세트 스테이지(1)는 프로세스를 진행하기 위해 카세트 로딩 위치에서 웨이퍼 프로세싱 위치로 카세트 스테이지(1)가 움직인다.On the other hand, when the semiconductor equipment on which the wafer is loaded includes a plurality of load lock chambers (not shown) and process chambers (not shown), and these chambers are arranged radially, the cassette stage 1 is moved in a horizontal direction to It allows the wafer supplied into the chamber to coincide with the radially arranged chamber. That is, the cassette stage 1 is largely divided into the cassette loading position of the step of loading the wafer cassette 2 into the semiconductor equipment, and the wafer processing position of the process of processing the wafer into the process chamber inside the loaded wafer cassette 2. Are distinguished. The cassette stage 1 moves the cassette stage 1 from the cassette loading position to the wafer processing position to proceed with the process.
그러나 카세트 스테이지 상면에 웨이퍼 카세트가 정확히 맞물리지 못하여 웨이퍼 카세트가 들리거나 위치가 이탈하는 등의 문제가 발생하여 카세트 맵핑(mapping) 및 웨이퍼 스크래치(scratch)의 문제점이 있었다.However, there is a problem in that the wafer cassette is lifted or the position is deviated because the wafer cassette is not correctly engaged with the upper surface of the cassette stage, and thus there is a problem of cassette mapping and wafer scratch.
본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 카세트 스테이지에 안착되는 카세트 스테이지가 들리거나 위치 이동되는 현상을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트 스테이지를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a wafer cassette stage designed to solve the above-mentioned drawbacks, and to prevent the phenomenon that the cassette stage seated on the cassette stage is lifted or moved.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 공정 챔버들이 방사형으로 배열되어 프로세스를 진행하기 위해서는 웨이퍼 카세트의 로딩 위치에서 웨이퍼 프로세싱 위치로 이동해야 하는 웨이퍼 카세트 스테이지에 있어서; 상기 웨이퍼 카세트의 안정적인 장착을 위하여 상기 웨이퍼 카세트 스테이지의 상단에 길이 방향으로 사각의 카세트 커버가 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 스테이지를 제공한다.The present invention for achieving the above object is a wafer cassette stage in which the semiconductor processing chambers are arranged radially and must move from the loading position of the wafer cassette to the wafer processing position in order to proceed with the process; Provided is a wafer cassette stage, characterized in that the rectangular cassette cover in the longitudinal direction is installed on the top of the wafer cassette stage for the stable mounting of the wafer cassette.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.
도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 스테이지의 사시도이고,1 is a perspective view of a conventional wafer cassette stage,
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 스테이지의 사시도이다.2 is a perspective view of a wafer cassette stage in accordance with the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10 : 웨이퍼 카세트 스테이지 12 : 스테이지10: wafer cassette stage 12: stage
14 : 지지부 16 : 카세트 커버14 support 16 cassette cover
16a : 압착면 20 : 웨이퍼 카세트16a: pressing surface 20: wafer cassette
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 스테이지의 사시도이다.2 is a perspective view of a wafer cassette stage in accordance with the present invention.
본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 스테이지(10)는, 사각의 스테이지(12)와 스테이지(12)의 후단 양측에 수직하게 형성되는 지지부(14)와, 지지부(14)에 설치되는 카세트 커버(16)로 구성된다.The wafer cassette stage 10 according to the present invention includes a rectangular stage 12 and a support portion 14 formed perpendicularly to both rear ends of the stage 12 and a cassette cover 16 provided on the support portion 14. It is composed.
여기서 카세트 커버(16)는 지지부(14)의 상부에 일단이 고정되며, 사각의 스테이지(12)의 면과 같은 방향으로 펼쳐진 사각의 판상으로 설치된다.Here, the cassette cover 16 is fixed to the upper portion of the support 14, one end is installed in a rectangular plate shape that is unfolded in the same direction as the surface of the square stage 12.
그리고 카세트 커버(16)의 끝단에는 하방으로 경사진 압착면(16a)이 형성되어 장착되는 웨이퍼 카세트(20)의 앞단이 이동 중 들리지 않도록 하는 역할을 한다.And the end of the cassette cover 16 is formed so that the pressing surface 16a inclined downward is formed so that the front end of the wafer cassette 20 to be mounted is not lifted during movement.
카세트 커버(16)는 탄성이 있는 판상의 금속재로 제작되는 것이 바람직하다.The cassette cover 16 is preferably made of an elastic plate-like metal material.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 스테이지의 작용을 설명하면 다음과 같다.The operation of the wafer cassette stage according to the present invention configured as described above is as follows.
다시 도 2를 참조하면, 스테이지(12) 상면에 웨이퍼 카세트(20)가 양단의 지지부(14)의 위치까지 안착되며, 웨이퍼 카세트(20)에는 프로세스를 진행하고자 하는 웨이퍼 또는 이미 일련의 프로세스를 진행한 웨이퍼가 수납된다. 웨이퍼 카세트(20)는 스테이지(12)에 의해 반도체 장비 내부로 혹은 외부로 로딩 및 언로딩된다.Referring back to FIG. 2, the wafer cassette 20 is seated on the upper surface of the stage 12 to the positions of the supporting portions 14 at both ends, and the wafer cassette 20 is subjected to a wafer to be processed or a series of processes already performed. One wafer is stored. The wafer cassette 20 is loaded and unloaded into or out of the semiconductor equipment by the stage 12.
이 때, 스테이지(12) 상에 안착된 웨이퍼 카세트(20)가 로딩 및 언로딩 중 앞쪽과 뒤쪽이 들리는 형상이 발생하는데 스테이지(12)의 상단에 설치된 카세트 커버(16)로 하여 상부에서 웨이퍼 카세트(20)를 안정적으로 잡아주게 된다.At this time, the shape of the front and rear of the wafer cassette 20 seated on the stage 12 is lifted during loading and unloading. It will hold (20) stably.
그 중 카세트 커버(16)의 압착면(16a)에서는 웨이퍼 카세트(20)의 앞쪽을 눌러주게 된다.Among them, the pressing surface 16a of the cassette cover 16 presses the front side of the wafer cassette 20.
따라서, 카세트 커버(16)는 웨이퍼 카세트 스테이지(10)에 장착되는 웨이퍼 카세트(20)가 이동중 상방으로 들리거나 이탈되는 것을 방지한다.Accordingly, the cassette cover 16 prevents the wafer cassette 20 mounted on the wafer cassette stage 10 from being lifted or lifted upward during movement.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.In the above description, it should be understood that those skilled in the present invention can only make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention as merely illustrative of a preferred embodiment of the present invention.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 스테이지는, 카세트 스테이지에 안착되는 카세트 스테이지의 들리는 현상을 방지하여 장비의 안정성 및 생산성 수율 향상을 이루는 효과가 있다.As described above, the wafer cassette stage according to the present invention has the effect of preventing the lifting of the cassette stage seated on the cassette stage to improve the stability and productivity yield of the equipment.
Claims (2)
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Family Applications (1)
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2002
- 2002-06-19 KR KR10-2002-0034315A patent/KR100446430B1/en not_active IP Right Cessation
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|---|---|
| KR20030097141A (en) | 2003-12-31 |
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