KR100436214B1 - Apparatus for stacking trays in semiconductor test handler - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 멀티스택커 내의 트레이 인출장치에 관한 것으로, 간단한 구성으로 멀티스택커 내의 트레이들을 신속하게 인출 및 인입시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a tray withdrawing apparatus in a multi-stacker of a semiconductor device test handler, and to enable the quick extraction and withdrawal of trays in a multi-stacker with a simple configuration.
이를 위해 본 발명은, 반도체 소자를 수납하는 복수개의 트레이가 상하로 적층되게 설치된 하우징과, 이 하우징 전방에 설치되어 하우징으로부터 트레이를 선택적으로 인출 및 인입하도록 된 인출장치를 구비한 것에 있어서, 상기 하우징의 전방에 수평하게 설치되는 베이스판과, 이 베이스판에 전후 방향으로 설치된 리니어모터의 고정자와, 상기 베이스판에 리니어모터와 나란하게 설치된 안내부재와, 하부면에 리니어모터의 이동자가 부착되며 끝단부는 상기 안내부재와 결합된 이동블럭과, 상기 이동블럭의 상부면에 고정되게 결합되어 하우징의 트레이의 전방부를 고정 및 해제 작동하는 홀딩부재 및, 상기 베이스판의 양측단에 각각 전후방향으로 배치되어 하우징으로부터 인출되는 트레이의 양단부를 안내하는 가이드블럭을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 멀티스택커를 제공한다.To this end, the present invention provides a housing in which a plurality of trays for storing semiconductor elements are stacked so as to be stacked up and down, and a drawing device provided in front of the housing to selectively pull out and pull out trays from the housing. A base plate horizontally installed in front of the base plate, a stator of the linear motor installed in the front-rear direction on the base plate, a guide member installed in parallel with the linear motor on the base plate, and a mover of the linear motor attached to the lower surface. The unit is fixedly coupled to the upper surface of the movable block, the holding member for fixing and releasing the front portion of the tray of the housing, and is disposed in the front and rear directions at both ends of the base plate, respectively. And a guide block for guiding both ends of the tray withdrawn from the housing. It characterized in that the multi-stacker provides a semiconductor device testing handler.
Description
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러의 멀티스택커에 관한 것으로, 특히 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 적재하도록 다수개의 트레이들을 인출가능하게 적재하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 멀티스택커에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-stacker of a handler for testing a semiconductor device, and more particularly, to a multi-stacker of a semiconductor device test handler which releasably loads a plurality of trays to classify and load semiconductor devices into various grades according to test results. It is about.
일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자(Device)들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 된다.In general, semiconductor devices produced in a production line are subjected to a test for determining whether they are good or bad before shipment.
핸들러는 이러한 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 트레이에 담겨진 반도체 소자를 공정간에 자동으로 이송시키면서 테스트사이트의 테스트소켓에 이들을 장착하여 원하는 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 실행하도록 된 장비이다.The handler is a device used to test these semiconductor devices. The semiconductor devices contained in the trays are automatically transferred between processes, mounted on the test sockets of the test site, and the desired test is performed. It is a device that executes the test by sequentially repeating the unloading process.
통상적으로 대부분의 핸들러에서는 멀티스택커(multi-stacker)라는 장비에 복수개의 트레이들을 적층하여 테스트 결과 양품 이외의 불량품 또는 재검사품으로 분류된 반도체 소자들을 등급별로 트레이에 수납시키도록 되어 있다.In general, most handlers stack a plurality of trays in a multi-stacker device to receive semiconductor devices classified as defective or re-inspected products other than good products in trays.
이와 같은 핸들러에서는 테스트 완료된 반도체 소자를 상기 멀티스택커에 분류 수납하기 위해서는 적층된 트레이들중 원하는 트레이를 멀티스택커 외부로 인출하여야 하는 바, 종래에는 멀티스택커 자체 또는 멀티스택커의 전방에 별도의 트레이 인출장치를 구성하여 트레이를 인출하였다.In such a handler, in order to classify and store the tested semiconductor device in the multi-stacker, a desired tray of the stacked trays must be taken out of the multi-stacker. In the conventional art, the multi-stacker itself or the front of the multi-stacker is separately provided. A tray taking out device was configured to take out a tray.
그러나, 멀티스택커로부터 트레이를 인출하기 위한 종래의 트레이 인출장치들은 트레이를 홀딩하는 장치를 구동하기 위한 구동수단으로서 가이드레일과 볼스크류, 모터, 다수의 블럭 등을 사용하여 구성하고 있으나, 구성이 다소 복잡하고 진행 속도도 느린 단점이 있었다.However, conventional tray extracting apparatuses for extracting a tray from a multi-stacker use a guide rail, a ball screw, a motor, a plurality of blocks, etc. as a driving means for driving the apparatus for holding the tray. It was a bit complicated and slow.
이에 본 발명은 상기와 같은 단점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 간단한 구성으로 멀티스택커 내의 트레이들을 신속하게 인출 및 인입시킬 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 멀티스택커를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a multi-stacker of a semiconductor device test handler capable of quickly drawing and drawing trays in a multi-stacker with a simple configuration.
도 1은 본 발명에 따른 멀티스택커 부분의 사시도1 is a perspective view of a multi-stacker portion in accordance with the present invention
도 2는 본 발명에 따른 멀티스택커의 트레이 인출장치를 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing a tray taking out device of the multi-stacker according to the present invention
도 3a와 도 3b는 도 2의 트레이 인출장치에 의한 트레이 인출 작동을 나타낸 평면도3A and 3B are plan views illustrating tray withdrawal operations by the tray withdrawal apparatus of FIG.
* 도면의 주요 부분의 참조부호에 대한 설명 *Explanation of Reference Symbols in Main Parts of Drawings
1 : 하우징 2 : 트레이1: housing 2: tray
3 : 베이스판 4 : 리니어모터3: base plate 4: linear motor
5a, 5b : 제 1,2엘엠가이드 6 : 이동블럭5a, 5b: 1st and 2L M Guide 6: Moving Block
7 : 홀딩부재 7a : 홀더7: holding member 7a: holder
7b : 공압실린더부 8 : 가이드블럭7b: pneumatic cylinder part 8: guide block
9 : ID인식용 센서 10a, 10b : 리미트센서9: ID recognition sensor 10a, 10b: limit sensor
11 : 스캐닝헤드 12 : 리니어스케일11: Scanning Head 12: Linear Scale
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체 소자를 수납하는 복수개의 트레이가 상하로 적층되게 설치된 하우징과, 이 하우징 전방에 설치되어 하우징으로부터 트레이를 선택적으로 인출 및 인입하도록 된 인출장치를 구비한 것에 있어서, 상기 하우징의 전방에 수평하게 설치되는 베이스판과, 이 베이스판에 전후 방향으로 설치된 리니어모터의 고정자와, 상기 베이스판에 리니어모터와 나란하게 설치된 안내부재와, 하부면에 리니어모터의 이동자가 부착되며 끝단부는 상기 안내부재와 결합된 이동블럭과, 상기 이동블럭의 상부면에 고정되게 결합되어 하우징의 트레이의 전방부를 고정 및 해제 작동하는 홀딩부재 및, 상기 베이스판의 양측단에 각각 전후방향으로 배치되어 하우징으로부터 인출되는 트레이의 양단부를 안내하는 가이드블럭을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 멀티스택커를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a housing in which a plurality of trays for storing semiconductor elements are stacked to be stacked up and down, and a drawing device installed in front of the housing to selectively draw and withdraw the tray from the housing. In one embodiment, the base plate horizontally installed in front of the housing, the stator of the linear motor provided in the front and rear direction on the base plate, the guide member provided in parallel with the linear motor on the base plate, and the linear motor on the lower surface Mover of the end portion is coupled to the movable block and the guide member, the holding member is fixedly coupled to the upper surface of the movable block to secure and release the front portion of the tray of the housing, and both sides of the base plate Guys disposed in the front-rear direction to guide both ends of the tray withdrawn from the housing To provide a multi-stacker of the semiconductor device testing handler, characterized in that configured including block.
이하, 본 발명에 따른 핸들러의 멀티스택커의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a multi-stacker of a handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 멀티스택커 부분의 사시도이고, 도 2는 도 1의 멀티스택커의 트레이 인출장치를 나타낸 사시도로, 핸들러의 멀티스택커는 전방면이 개방되도록 형성된 하우징(1)과, 이 하우징(1) 내부의 양측면부에 상하로 나란하게 배열되어 트레이(2)의 양측단이 이동가능하게 안착되는 복수개의 가이드레일(1a)로 구성되며, 멀티스택커의 하우징(1)은 별도의 구동수단(미도시)에 의해 상하로 이동할 수 있도록 구성되어 있다.1 is a perspective view of a part of the multi-stacker according to the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a tray take-out device of the multi-stacker of Figure 1, the multi-stacker of the handler is a housing (1) formed so that the front surface is opened and The housing 1 is composed of a plurality of guide rails 1a arranged side by side up and down side by side in the housing 1 so that both ends of the tray 2 are movable. It is configured to move up and down by a separate driving means (not shown).
하우징(1) 내부에 적층된 각 트레이(2)의 전단부의 중앙에는 전방쪽으로 돌출된 고정돌기부(2a)가 결합되고, 트레이(2)의 전단부 일측에는 트레이의 등급을 표시하기 위해 복수개의 구멍이 형성된 고정바아(2b)가 결합된다. 상기 고정돌기부(2a)의 끝단은 대략 구형상으로 형성된다.In the center of the front end of each tray (2) stacked inside the housing (1), the fixing projection (2a) protruding forwardly is coupled, one end of the tray (2) a plurality of holes for marking the grade of the tray The formed fixed bar 2b is coupled. The end of the fixing projection (2a) is formed in a substantially spherical shape.
상기 고정바아(2b)의 구멍들에는 트레이의 등급을 구별하기 위해 금속 스티커등으로 된 인식표(2c)가 선택적으로 부착된다. 예를 들어, 제 3등급으로 분류되는 반도체 소자들을 수납하는 트레이는 첫번째 구멍에 인식표가 붙고, 제 4등급으로 분류되는 반도체 소자들을 수납하는 트레이는 세번째 구멍에 인식표가 붙으며, 제 5등급으로 분류되는 반도체 소자들을 수납하는 트레이는 두번째와 세번째 구멍에 동시에 인식표를 부착하여 트레이 등급을 구별할 수 있다.To the holes of the fixing bar 2b, a tag 2c made of metal sticker or the like is selectively attached to distinguish the grade of the tray. For example, a tray containing semiconductor elements classified as a third class has a tag attached to the first hole, and a tray containing semiconductor elements classified as a fourth class has a tag attached to the third hole, classified as a fifth class. The tray for accommodating the semiconductor devices can be distinguished from the tray grade by attaching the identification tag to the second and third holes at the same time.
한편, 멀티스택커의 하우징(1)의 전방에는 하우징(1)으로부터 트레이를 인출 및 인입하기 위한 인출장치가 설치되는 바, 이 인출장치는 하우징(1)의 전방에 수평하게 설치되는 베이스판(3)과, 이 베이스판(3)의 중앙부에 전후방향으로 배치되는 리니어모터(4)(linear motor)의 고정자(4a)와, 상기 고정자(4a)의 양측에 나란하게 설치되는 제 1,2엘엠가이드(LM Guide)(5a, 5b)와, 양단부는 상기 제 1,2엘엠가이드(5a, 5b)의 엘엠블럭(5c)에 결합되고 하부면에는 리니어모터(4)의 이동자(4b)가 결합되는 이동블럭(6)과, 상기 이동블럭(6)의 상부면에 고정되게 결합되어 트레이(2)의 고정돌기부(2a)를 고정 및 해제하는 홀딩부재(7) 및, 상기 베이스판(3)의 양측단부에 전후방향으로 설치되어 멀티스택커로부터 인출되는 트레이(2)의 양단부를 안내하는 가이드블럭(8)으로 구성된다.On the other hand, in front of the housing (1) of the multi-stacker is provided with a take-out device for withdrawing and withdrawing the tray from the housing (1), the take-out device is a base plate that is installed horizontally in front of the housing ( 3) and stators 4a of the linear motor 4 (linear motor) arranged in the front-rear direction at the center of the base plate 3, and the first and the first and second sides which are provided on both sides of the stator 4a. LM guides (5a, 5b) and both ends are coupled to the L block (5c) of the first and second LM guides (5a, 5b), the lower surface of the mover (4b) of the linear motor (4) The moving block 6 to be coupled, the holding member 7 is fixedly coupled to the upper surface of the moving block 6 to fix and release the fixing projections 2a of the tray 2, and the base plate 3 It is composed of a guide block (8) which is installed at both ends of the side end in the front-rear direction to guide both ends of the tray (2) withdrawn from the multi-stacker.
상기 홀딩부재(7)는 이동블럭(6) 상부면에 고정되는 공압실린더부(7a)와, 이 공압실린더부(7a)의 전방에 공압에 의해 오므려짐과 벌어지는 운동을 하도록 구성된 집게형태의 홀더(7b)로 구성된다.The holding member (7) is a pneumatic cylinder (7a) fixed to the upper surface of the movable block (6), the holder in the form of tongs configured to retract and open by pneumatic pressure in front of the pneumatic cylinder (7a) It consists of (7b).
그리고, 상기 베이스판(3)의 선단부 일측에는 상기 트레이(2)의 고정바아(2b)에 형성된 구멍들과 대응하는 위치에 복수개의 ID인식용 센서(9)가 고정되게 부착된다.In addition, a plurality of ID recognition sensors 9 are fixedly attached to one end of the base plate 3 at a position corresponding to the holes formed in the fixing bar 2b of the tray 2.
상기 ID인식용 센서(9)들은 상기 고정바아(2b)들의 구멍에 선택적으로 부착되는 인식표(2c)의 유무를 인식하여 트레이(2)에 지정된 등급을 인식하도록 되어 있다.The ID recognition sensors 9 are configured to recognize the presence or absence of the identification tag 2c selectively attached to the holes of the fixed bars 2b to recognize the grade assigned to the tray 2.
한편, 상기 제 2엘엠가이드(5b)의 전단부와 후단부에는 이동블럭(6)의 위치를 감지하여 이동을 제한하는 전방 리미트센서(10a) 및 후방 리미트센서(10b)가 각각 부착되며, 이동블럭(6)의 일측에는 상기 전,후방리미트센서(10a, 10b)에 의해 이동블럭(6)의 위치가 감지될 수 있도록 외측으로 연장되며 절곡된 연결편(6a)이 결합된다.On the other hand, the front limit sensor 10a and the rear limit sensor 10b for limiting movement by detecting the position of the moving block 6 are attached to the front end and the rear end of the second LM guide 5b, respectively. One side of the block 6 is extended to the outside so that the position of the moving block 6 can be detected by the front and rear limit sensors (10a, 10b) is coupled to the bent connection piece (6a).
또한, 상기 이동블럭(6)의 이동량을 자동으로 감지하기 위하여 제 1엘엠가이드(5a)의 측편에는 리니어스케일(12)(linear scale)이 나란하게 설치되고, 이동블럭(6)의 일측에는 리니어스케일(12) 값을 인코딩(encoding)하는 스캐닝헤드(11)(scanning head)가 부착된다.In addition, in order to automatically detect the movement amount of the moving block 6, a linear scale 12 (linear scale) is installed side by side on the side of the first L guide 5a, and a linear side on one side of the moving block 6. A scanning head 11 is attached that encodes the scale 12 value.
상기와 같이 구성된 멀티스택커는 다음과 같이 작동한다.The multistacker configured as above operates as follows.
핸들러의 테스트 사이트에 테스트 완료된 반도체 소자는 픽커로봇(미도시)에 의해 픽업되어 테스트 결과에 따라 분류되어 양품은 언로딩부(미도시)에, 재검사품은 리테스트부에, 그리고 불량품은 멀티스택커에 불량 등급별로 분류되어 수납되는 바, 테스트 결과 반도체 소자가 불량으로 판정되면 픽커로봇(미도시)이 반도체 소자를 멀티스택커의 상부로 이송한다.The semiconductor device tested at the test site of the handler is picked up by a picker robot (not shown) and classified according to the test result, where the good product is in the unloading part (not shown), the retest item is in the retest part, and the defective part is a multi-stacker. When the semiconductor device is determined to be defective as a result of the test, the picker robot (not shown) transfers the semiconductor device to the upper portion of the multi-stacker.
이 때, 핸들러의 제어부(미도시)에서는 픽커로봇에 픽업되어 있는 반도체 소자의 불량 등급을 인식하여 ID인식용 센서(9)에 명령을 보내게 되고, 멀티스택커의 하우징(1)은 상하로 승강작동을 시작하게 된다.At this time, the controller (not shown) of the handler recognizes the defect grade of the semiconductor element picked up by the picker robot and sends a command to the ID recognition sensor 9, and the housing 1 of the multi-stacker is moved up and down. The lifting operation starts.
상기와 같이 멀티스택커의 하우징(1)이 승강하는 도중 ID인식용 센서(9)들이 트레이(2)들의 고정바아(2b)를 감지하다가 원하는 등급의 트레이(2)의 고정바아(2b)를 감지하게 되면 하우징(1)은 그 위치에서 정지하여 대기하게 된다.As described above, the ID recognition sensors 9 detect the fixing bars 2b of the trays 2 while the housing 1 of the multi-stacker moves up and down, and then the fixing bars 2b of the tray 2 of a desired grade are opened. Upon detection, the housing 1 stops at that position and waits.
이어서, 도 3a에 도시된 것과 같이 리니어모터(4)가 작동하여 이동블럭(6)이 제 1,2엘엠가이드(5a, 5b)를 따라 트레이(2)의 쪽으로 이동되는데, 이동블럭(6)이 트레이(2)의 전단부 바로 앞까지 이동하게 되면 이동블럭(6)의 연결편(6a)이 전방 리미트센서(10a)에 의해 감지되면서 리니어모터(4) 작동이 중단되어 이동블럭(6)이정지하게 되고, 곧이어 홀딩부재(7)의 공압실린더부(7a)를 통해 공압이 인가되어 홀더(7b)가 오므려지면서 트레이(2)의 고정돌기부(2a) 끝단의 구형상부를 홀딩하게 된다.Subsequently, as illustrated in FIG. 3A, the linear motor 4 is operated to move the moving block 6 toward the tray 2 along the first and second LM guides 5a and 5b. When moving to the front end of the tray 2, the connecting piece 6a of the moving block 6 is sensed by the front limit sensor 10a and the linear motor 4 is stopped to stop the moving block 6. Then, pneumatic pressure is applied through the pneumatic cylinder portion 7a of the holding member 7 to hold the spherical portion of the end of the fixing protrusion 2a of the tray 2 as the holder 7b is retracted.
도 3b에 도시된 것과 같이 상기 홀딩부재(7)가 트레이(2)를 홀딩하면, 다시 리니어모터(4)가 역으로 작동하여 이동블럭(6)을 반대방향으로 이동시키게 되고, 이에 따라 트레이(2)는 하우징(1)의 전방면을 통해 슬라이딩하며 인출된다. 이 때, 인출되는 트레이(2)의 양단부는 베이스판(3)의 가이드블럭(8)에 안착되며 슬라이딩하게 된다.As shown in FIG. 3B, when the holding member 7 holds the tray 2, the linear motor 4 is operated in reverse to move the movable block 6 in the opposite direction, and thus the tray ( 2) slides out through the front face of the housing 1 and is withdrawn. At this time, both ends of the tray 2 to be drawn out are seated on the guide block 8 of the base plate 3 and slide.
트레이(2)가 후퇴하다가 이동블럭(6)의 연결편(6a)이 후방 리미트센서(10b)에 의해 감지되면 이 위치에서 리니어모터(4) 작동이 중단되면서 이동블럭(6)이 정지하게 되고, 이 때 트레이(2)는 완전히 인출된 상태로 된다.When the tray 2 is retracted and the connecting piece 6a of the moving block 6 is detected by the rear limit sensor 10b, the operation of the linear motor 4 is stopped at this position and the moving block 6 is stopped. At this time, the tray 2 is completely drawn out.
트레이(2)가 완전히 인출되면 픽커로봇(미도시)이 하강하여 반도체 소자를 트레이(2)에 수납시킨 후 다시 상승하여 다음 위치로 이동하고, 리니어모터(4)가 작동하여 이동블럭(6)을 이동시킴으로써 트레이(2)를 다시 하우징(1) 내부로 인입시킨다.When the tray 2 is completely pulled out, the picker robot (not shown) descends to store the semiconductor element in the tray 2, then rises again to move to the next position, and the linear motor 4 operates to move the block 6. The tray 2 is led back into the housing 1 by moving.
이어서, 홀딩부재(7)의 공압실린더부(7a)로의 공압 공급이 차단되면서 홀더(7b)가 벌어지게 되어 트레이(2)와의 고정 상태가 해제되고, 리니어모터(4)가 역으로 작동하여 이동블럭(6) 및 이에 결합된 홀딩부재(7)가 소정 위치까지 후퇴된 다음 작동을 위해 대기하게 한다.Subsequently, the pneumatic supply of the holding member 7 to the pneumatic cylinder portion 7a is interrupted and the holder 7b is opened to release the fixed state with the tray 2, and the linear motor 4 is operated by moving in reverse. The block 6 and the holding member 7 coupled thereto are retracted to a predetermined position and then wait for operation.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 트레이의 인출 작동을 위한 구동수단으로서 리니어모터가 사용되도록 구성됨으로써 간단한 구성으로 멀티스택커의 트레이를 신속하게 인출 및 인입시킬 수 있게 되므로 테스트 진행시간이 단축될 수 있으며, 소음 특성면에서도 유리한 효과가 있다.As described above, according to the present invention, since the linear motor is used as a driving means for the take-out operation of the tray, the test progress time can be shortened because the tray of the multi-stacker can be quickly taken out and drawn in a simple configuration. In addition, there is an advantageous effect in terms of noise characteristics.
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| KR10-2001-0080159A KR100436214B1 (en) | 2001-12-17 | 2001-12-17 | Apparatus for stacking trays in semiconductor test handler |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100436214B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08101248A (en) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Graphtec Corp | Burn-in device |
| KR100189180B1 (en) * | 1996-05-28 | 1999-06-01 | 오우라 히로시 | Separation type handler system for ic tester |
| KR19990080213A (en) * | 1998-04-14 | 1999-11-05 | 정문술 | Grade device unloading device of horizontal handler |
| KR20000031527A (en) * | 1998-11-06 | 2000-06-05 | 정문술 | Multi-stacker for handler |
| KR20000066760A (en) * | 1999-04-20 | 2000-11-15 | 정문술 | device for lading tray of sorying part in handler for durn-in test |
-
2001
- 2001-12-17 KR KR10-2001-0080159A patent/KR100436214B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08101248A (en) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Graphtec Corp | Burn-in device |
| KR100189180B1 (en) * | 1996-05-28 | 1999-06-01 | 오우라 히로시 | Separation type handler system for ic tester |
| KR19990080213A (en) * | 1998-04-14 | 1999-11-05 | 정문술 | Grade device unloading device of horizontal handler |
| KR20000031527A (en) * | 1998-11-06 | 2000-06-05 | 정문술 | Multi-stacker for handler |
| KR20000066760A (en) * | 1999-04-20 | 2000-11-15 | 정문술 | device for lading tray of sorying part in handler for durn-in test |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20030049838A (en) | 2003-06-25 |
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