KR100422392B1 - Conveyor for plate-shaped members - Google Patents

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KR100422392B1
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데쓰조 나가타
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
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Abstract

본 발명은 판상부재에 먼지나 상처를 발생시키지 않고, 반송하면서 세정을 행하는 것이 가능한 생산성이 높은 판상부재의 반송장치를 제공하고자 하는 것이다. 압력유체를 송입하는 본체의 상부에 평면부를 가지는 다공재를 취부하고, 다공질체를 통하여 압력유체가 분출되도록 함과 동시에 반송되는 판상부재의 양면을 구동하는 롤러를 설치하였다.An object of the present invention is to provide a conveying apparatus for a plate member having a high productivity that can be cleaned while being conveyed without generating dust or scratches on the plate member. A porous material having a flat portion was mounted on the upper portion of the main body for feeding the pressure fluid, and a roller was installed to drive both sides of the plate-like member to be conveyed while allowing the pressure fluid to be ejected through the porous body.

Description

판상부재의 반송장치{CONVEYOR FOR PLATE-SHAPED MEMBERS}Plate conveying device {CONVEYOR FOR PLATE-SHAPED MEMBERS}

본 발명은 예를 들어 반도체 웨이퍼(Wafer)나 액정표시장치의 유리 패널(Glass Panel) 등의 세정에 사용하는 판상부재의 반송장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the conveying apparatus of the plate-shaped member used for cleaning, for example, a semiconductor wafer, a glass panel of a liquid crystal display device, etc.

종래의 반도체 웨이퍼나 액정표시장치의 유리 패널 등의 제조공정에 있어서 사용되는 판상부재의 반송장치는 예를 들면 일본 특허출원공개 평성 10년 제158866호 공보에 기재된 바와 같이 유리 패널을 반송장치에서 지지하면서 세정수를 뿌려주어 세정하도록 하고 있다.The conveying apparatus of the plate-shaped member used in the manufacturing process of the conventional semiconductor wafer or the glass panel of a liquid crystal display device supports a glass panel by a conveying apparatus, for example as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 10,158,866. While spraying the washing water to clean.

반도체 웨이퍼나 액정표시장치의 유리 패널 등의 판상부재는 아주 작은 먼지가 부착되더라도 중대한 불량이 되는 바, 상기와 같은 종래의 판상부재의 반송장치는 유리 패널을 롤러 컨베이어(Roller Conveyor)로 반송하고 있기 때문에 롤러 컨베이어의 표면에 먼지가 부착되어 있으면 그 먼지가 유리 패널의 표면에 부착할 가능성이 있다.Plate members such as semiconductor wafers and glass panels of liquid crystal display devices are a serious defect even if very small dust is attached. The conventional conveying apparatus of plate members is conveying glass panels to a roller conveyor. Therefore, if dust adheres to the surface of the roller conveyor, the dust may adhere to the surface of the glass panel.

또한 롤러 컨베이어에 의해 유리 패널 등이 반송될 경우 유리 패널 등의 끝부분이 하나의 롤러로부터 다음의 롤러에 이동할 때에 충격을 받게 된다. 따라서 유리 패널 등의 반송속도를 어느 정도 이상으로 하는 것이 불가능하다. 이로 인해 생산성을 어느 수준 이상 올리는 것이 곤란하게 된다.In addition, when a glass panel etc. are conveyed by a roller conveyor, when an end part, such as a glass panel, moves from one roller to the next roller, it will be impacted. Therefore, it is impossible to make conveyance speeds, such as glass panels, to some extent or more. This makes it difficult to raise the productivity above a certain level.

특히 액정표시장치는 정세도가 매년 향상되고 있고 정세도를 올리기 위해서는 유리 패널을 얇게 하지 않으면 안 된다. 그러나 유리 패널을 얇게 하게 되면 충격에 대해 약하게 되어 점점 더 생산성을 올릴 수가 없게 된다.In particular, the liquid crystal display device has been improved every year, and the glass panel must be thinned to increase the fineness. However, the thinner the glass panel, the weaker it will be to impact, and the more productive it becomes.

또한 상기와 같은 종래의 것으로는 유리 패널 등은 한쪽면 밖에 할 세정할 수 없다 그러므로 양면을 세정하기 위해서는 유리 패널 등을 반전시킬 필요가 있다. 최근의 액정표시장치의 유리 패널의 두께는 0.7㎜이고 길이 800㎜, 폭 1100㎜인 것이 많이 사용되고 있다.In addition, the glass panel or the like can be cleaned only on one side according to the above-described conventional methods. Therefore, in order to clean both surfaces, it is necessary to invert the glass panel or the like. In recent years, the glass panel of the liquid crystal display device has a thickness of 0.7 mm, a length of 800 mm and a width of 1100 mm.

이와 같이 얇고 넓은 유리 패널은 양단을 파지하고 들어올리면 중심부분의 처짐으로 인해 40㎜ 정도가 밑으로 처진다. 따라서 이와 같은 유리 패널을 반전키는 작용은 쉽지 않고 반전에 복잡한 장치가 필요하게 된다.As such a thin and wide glass panel is gripped at both ends and lifted up, about 40 mm is sag due to sagging of the central portion. Therefore, the action of inverting such a glass panel is not easy and requires a complicated device for inversion.

또한 최근의 액정 패널은 유리기판의 단부 부근까지 회로가 구성되어 있어 파지할 수 있는 부분이 극히 작아지고 있다.In recent years, the liquid crystal panel has a circuit formed near the end of the glass substrate, and the portion that can be gripped is extremely small.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하는 것으로서, 판상부재에 먼지나 손상을 발생시키지 않고 생산성이 높은 판상부재의 반송장치를 제공하려는 것이다.The present invention is to solve the above problems, to provide a conveying apparatus for a plate-like member having high productivity without generating dust or damage to the plate-like member.

도 1은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 1을 나타내는 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a top view which shows Example 1 of the conveying apparatus of the plate-shaped member of this invention.

도 2는 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 1을 나타내는 정면도이다.It is a front view which shows Example 1 of the conveying apparatus of the plate-shaped member of this invention.

도 3은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 2를 나타내는 평면도이다.It is a top view which shows Example 2 of the conveying apparatus of the plate-shaped member of this invention.

도 4는 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 3을 나타내는 평면도이다.It is a top view which shows Example 3 of the conveying apparatus of the plate-shaped member of this invention.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

1 : 판상부재 2,3 : 컨베이어 프레임(Conveyor Frame)1: Plate member 2, 3: Conveyor Frame

4,5 : 반송 롤러(Roller) 6 : 판상부재의 양측 가장자리부4,5 conveying roller 6: both edges of plate member

7 : 부상장치 8 : 개체 유닛(Unit)7: floating device 8: individual unit

9 : 본체 10 : 다공재9: body 10: porous material

11 : 압력유체 공급 파이프(Pipe) 12 : 압력유체층11: pressure fluid supply pipe 12: pressure fluid layer

13 : 폭광개체 유닛13: light emitting object unit

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 판상부재의 반송장치는 한 쌍의 컨베이어 프레임과; 상기 한 쌍의 컨베이어 프레임에 수평축으로 회전 가능하게 지지되어 판상부재를 그 양측 가장자리 하면을 지지한 상태로 반송하는 다수개의 반송롤러와; 상기 한 쌍의 컨베이어 프레임 사이에 다수개의 개체 유닛으로 배치되어 압력유체를 상기 판상부재의 하면을 향하여 상향 분출하여 상기 판상부재의 양측 가장자리를 제외한 나머지 부분을 부상시키는 부상장치를 포함하여 구성된다.In order to solve the above problems, the conveying apparatus of the plate member of the present invention comprises a pair of conveyor frames; A plurality of conveying rollers rotatably supported on the pair of conveyor frames in a horizontal axis to convey the plate member in a state in which both sides of the edges thereof are supported; A plurality of individual units disposed between the pair of conveyor frame is configured to include a flotation device for ejecting the pressure fluid upward toward the lower surface of the plate member to float the rest of the plate member except for both edges.

본 발명의 청구항 1에 기재한 발명은 적어도 하나의 평면부를 가지는 다공질체를 설치하고, 압력유체를 송입하는 본체의 상부에 다공재를 평면부가 위를 향하도록 취부하고, 다공재를 통하여 압력유체가 분출되도록 함과 동시에 반송되는 판상부재의 양측을 구동하는 롤러를 설치한 것으로서, 압력액체로 판상부재를 부상시키면서 롤러로 반송시키는 작용을 가진다.The invention described in claim 1 of the present invention provides a porous body having at least one planar portion, and mounts the porous material on the upper portion of the main body for feeding the pressure fluid so that the flat portion faces upward, and the pressure fluid is passed through the porous material. Is provided with rollers for driving both sides of the plate member to be conveyed at the same time, and to convey the plate member to the roller while floating the plate member with the pressure liquid.

이하, 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례에 대해 도면에 따라 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of the conveying apparatus of the plate member of this invention is demonstrated in detail according to drawing.

도 1은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 평면도이다. 도 1에 있어서 1은 피반송물인 판상부재이다. 2,3은 한 쌍의 컨베이어 프레임이며, 이 컨베이어 프레임(2,3)에는 다수의 반송롤러(4,5)가 설치되어 있다. 그리고 반송롤러(4,5)는 판상부재(1)의 양측 가장자리부(6)에만 접하도록 설치되어 있다.1 is a plan view of a conveying apparatus for a plate member of the present invention. In FIG. 1, 1 is a plate-shaped member which is a conveyed object. 2 and 3 are a pair of conveyor frames, and many convey rollers 4 and 5 are provided in the conveyor frames 2 and 3. And the conveying rollers 4 and 5 are provided so that only the edge part 6 of the plate-shaped member 1 may contact | connect.

7은 부상장치로서, 상기 한 쌍의 컨베이어 프레임(2,3)의 사이에 물떼새모양으로 다수 배치된 개체유닛(8)으로 된다. 각 개체유닛(8)은 컵모양의 본체(9)와, 상기 본체(9) 내부로 세정액을 공급하는 압력유체 공급 파이프(11)와, 상기 본체(9)의 상단 개구부에 설치되어 상기 압력유체 공급 파이프(11)에 의해 본체(9)로 공급된 압력유체가 분출되는 다공재(10)로 이루어진다. 다공재(10)는 평판상으로 그 주면이 수평으로 되도록 취부된다.7 is a flotation device, which is composed of a plurality of individual units 8 arranged in the shape of a houndstooth between the pair of conveyor frames 2 and 3. Each individual unit 8 is provided in a cup-shaped body 9, a pressure fluid supply pipe 11 for supplying a cleaning liquid into the body 9, and an upper end opening of the body 9. The pressure fluid supplied to the main body 9 by the supply pipe 11 consists of the porous material 10 which blows off. The porous material 10 is mounted on a flat plate such that its main surface is horizontal.

또 다공재(10)로서는 알루미나(Alumina)를 포함하는 다공성 세라믹(Ceramics) 소결체로 이루어진다. 이 소결체는 산화되는 일이 없고, 수명이 아주 길어 소결조건의 설정에 따라 구멍의 직경과 분포를 조정할 수가 있다. 다공재(10)는 이것 외에 실리카, 티탄, 마그네시아, 카시아, 이토니아를 포함한 재료라도 무방하다.The porous material 10 is made of a porous ceramic sintered body containing alumina. This sintered body does not oxidize and has a very long life, so that the diameter and distribution of the hole can be adjusted by setting the sintering conditions. In addition to this, the porous material 10 may be a material including silica, titanium, magnesia, cassia, and iononia.

이것 이외에 다공재(10)로서 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 올레핀계 수지, 불화에틸렌 등의 합성수지의 다공질체를 사용할 수도 있다. 이들의 합성수지는 화학적으로 안정되어 있고, 산이나 알카리에 대한 내약품성이 높다.In addition to this, as the porous material 10, a porous body of synthetic resin such as polyethylene, polypropylene, olefin resin, and ethylene fluoride may be used. These synthetic resins are chemically stable and have high chemical resistance against acids and alkalis.

상기 압력유체로는 세정액이 사용될 수 있으며, 이 세정액으로서는 세정조건에 맞추어 순수, 초순수, 수소수, 오존수와 같은 기능수, 알카리 또는 산의 용액 또는 에타놀 등의 유기세정액을 사용할 수도 있다. 또한 세정액은 세정액 탱크(도시되지 않음)로부터 펌프(도시되지 않음)에 의해 세정액 파이프(11)로 압송된다.As the pressure fluid, a washing liquid may be used, and as the washing liquid, pure water, ultrapure water, hydrogen water, functional water such as ozone water, an alkali or acid solution, or an organic washing liquid such as ethanol may be used. The cleaning liquid is also pumped from the cleaning liquid tank (not shown) to the cleaning liquid pipe 11 by a pump (not shown).

본 발명의 판상부재의 반송장치는 이상과 같이 구성되며, 이하 그 작동에 대해 설명한다.The conveying apparatus of the plate-shaped member of this invention is comprised as mentioned above, and the operation | movement is demonstrated below.

우선, 압력유체 공급 파이프(11)로부터 세정액 등의 압력유체를 공급하면, 본체(9) 내부에 세정액 등의 압력유체가 가득 차게 되고, 이어서 다공재(10)를 세정액 등의 압력유체가 통과하여 다공재(10)의 상면으로부터 판상부재(1)의 하면을 향해 상향 분출된다.First, when a pressure fluid such as a cleaning liquid is supplied from the pressure fluid supply pipe 11, a pressure fluid such as a cleaning liquid is filled inside the main body 9, and then a pressure fluid such as a cleaning liquid passes through the porous material 10. From the upper surface of the porous material 10 is ejected upward toward the lower surface of the plate member (1).

이때에 다공재(10)의 위에 판상부재(1)가 위치되어 있으면 다공재(10)와 판상부재(1)와의 사이에 세정액 등의 압력유체층(12)이 형성된다. 즉 판상부재(1)가 세정액 등의 압력유체층(12)의 위에 떠있는 상태가 된다.At this time, if the plate member 1 is positioned on the porous material 10, a pressure fluid layer 12 such as a cleaning liquid is formed between the porous material 10 and the plate member (1). In other words, the plate-like member 1 is in a floating state on the pressure fluid layer 12 such as the cleaning liquid.

따라서 판상부재(1)는 무접촉 상태로 다공성 세라믹재인 다공재(10)의 위에 부유하여 극히 마찰이 적은 상태로 된다. 또한 이 상태에서 판상부재(1)의 양측 가장자리부(6)에 반송롤러(4,5)가 접촉하도록 하면 반송롤러(4,5)의 회전구동력으로 판상부재(1)는 수평으로 이동한다. 반송롤러(4,5)의 회전을 정지하면 판상부재의 이동도 정지한다.Therefore, the plate-like member 1 floats on the porous material 10, which is a porous ceramic material, in a non-contact state, and thus becomes extremely low in friction. In addition, when the conveying rollers 4 and 5 are brought into contact with both edges 6 of the plate member 1 in this state, the plate member 1 moves horizontally by the rotational driving force of the conveying rollers 4 and 5. When the rotation of the conveying rollers 4 and 5 is stopped, the movement of the plate member also stops.

이 판상부재(1)는 부상 상태에서는 마찰이 극히 적기 때문에 판상부재(1)는 롤러(4,5)에 가볍게 접촉하는 상태만으로도 충분한 반송력을 얻을 수가 있다. 그리고 판상부재(1)가 반송롤러(4,5)에 가볍게 접촉하는 상태이기 때문에 접촉에 의해먼지가 발생하는 일이 없다.Since the plate-like member 1 has extremely low friction in the floating state, the plate-like member 1 can obtain a sufficient conveyance force only by a light contact with the rollers 4 and 5. And since the plate-shaped member 1 is in light contact with the conveyance rollers 4 and 5, dust does not generate | occur | produce by a contact.

판상부재(1)는 부상 상태에서는 압력유체로서 사용되는 세정액에 의해 세정되기 때문에 판상부재(1)의 이면에 부착된 먼지나 오염은 세정액에 의해 씻겨져 흘러나간다. 그리고 개체유닛(8)은 물떼새 모양으로 다수 배치되어 있으나, 개체유닛(8)의 위를 통과하는 판상부재(1)의 이면이 빈공간 없이 세정되도록 한 간격으로 배치되어 있다.Since the plate-like member 1 is cleaned by a cleaning liquid used as a pressure fluid in the floating state, dust and dirt attached to the back surface of the plate-like member 1 are washed away by the cleaning liquid. And although the individual unit 8 is arranged in a plurality of houndstooth, the rear surface of the plate-like member 1 passing through the individual unit 8 is arranged at intervals so as to clean without empty space.

이상의 실시례에서는 판상부재(1)의 이면밖에 세정액에 의해 씻을 수가 없으나, 판상부재(1)의 표면에 대해서 세정액을 뿌려줄 수 있도록 판상부재(1)의 표면에 대향하는 세정액 스프레이(도시하지 않음)를 설치하여 판상부재(1)의 표면에 세정액을 뿌려줄 수 있도록 하면 판상부재(1)의 표면에도 세정액이 흘러나가게 되므로 판상부재(1)의 양면이 동시에 세정될 수 있다.In the above embodiment, only the rear surface of the plate member 1 can be washed with the cleaning liquid, but a cleaning liquid spray is provided on the surface of the plate member 1 so as to spray the cleaning liquid on the surface of the plate member 1 (not shown). If the cleaning liquid flows out to the surface of the plate member 1 by installing a) so that the cleaning liquid can be sprayed on the surface of the plate member 1, both surfaces of the plate member 1 can be cleaned at the same time.

이상의 실시례에서는 개체유닛(8)의 배치가 물떼새 모양이었으나, 이외에 실시례 2를 나타내는 도 3과 같이 판상부재(1)의 폭과 거의 동일한 폭을 가지는 개체유닛(13)을 설치하여도 좋다. 이 경우 압력유체로서 사용되는 세정액의 분출압력이 낮아지더라도 압력유체로서 사용되는 세정액은 판상부재(1)의 이면, 전면을 세정할 수가 있다.In the above embodiment, although the arrangement of the individual unit 8 is in the shape of a hound, the individual unit 13 having a width substantially the same as the width of the plate member 1 may be provided as shown in FIG. In this case, even if the ejection pressure of the cleaning liquid used as the pressure fluid is lowered, the cleaning liquid used as the pressure fluid can clean the entire surface of the back surface of the plate member 1.

또한 실시례 3을 나타내는 도 4와 같이 개체유닛(8)을 계단상으로 배치하여 각 계단상에 배치된 개체유닛(8)군을 서로 비켜서 배치하고, 또한 각 계단상으로 배치된 개체유닛(8)은 판상부재(1)의 이동방향에 대해 겹쳐지도록 하는 것에 의해 판상부재(1)는 이동에 의해 그 뒷면은 전체면에 걸쳐서 세정된다.In addition, as shown in Fig. 4 showing the third embodiment, the individual unit 8 is arranged in a staircase, and the individual unit 8 groups arranged on each staircase are arranged apart from each other, and the individual unit 8 arranged in each staircase. ) Overlaps with respect to the moving direction of the plate-like member 1, so that the plate-like member 1 is cleaned over its entire surface by the movement.

본 발명의 판상부재의 반송장치는 상기와 같이 구성된 것으로서, 무접촉 상태에서 판상부재를 들어올려 적은 힘으로 반송하는 것이 가능하고, 먼지나 상처를 발생시키지 않고, 생산성이 높은 판상부재의 세정장치를 제공할 수 있도록 한 것이다.The conveying apparatus for the plate member of the present invention is configured as described above, and it is possible to lift the plate member in a non-contact state and convey it with a small force, so that the cleaning device for the plate member having high productivity can be produced without generating dust or scratches. It is to be provided.

또한 본 발명의 판상부재의 반송장치는 판상부재를 부상시키는 압력유체를 세정액으로 사용하는 것으로 판상부재를 반송시키면서 세정하는 것이 가능하다. 또한 세정액을 양면으로부터 뿌려주도록 하는 것으로서 양면을 동시에 세정하는 것도 가능하다.In addition, the conveying apparatus of the plate member of the present invention can be cleaned while conveying the plate member by using a pressure fluid that floats the plate member as a cleaning liquid. Moreover, it is also possible to wash both surfaces simultaneously by spraying a cleaning liquid from both surfaces.

Claims (3)

한 쌍의 컨베이어 프레임(2,3)과; 상기 한 쌍의 컨베이어 프레임(2,3)에 수평축으로 회전 가능하게 지지되어 판상부재(1)를 그 양측 가장자리 하면을 지지한 상태로 반송하는 다수개의 반송롤러(4,5)와; 상기 한 쌍의 컨베이어 프레임(2,3) 사이에 다수개의 개체 유닛(8)으로 배치되어 압력유체를 상기 판상부재(1)의 하면을 향하여 상향 분출하여 상기 판상부재(1)의 양측 가장자리를 제외한 나머지 부분을 부상시키는 부상장치(7)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.A pair of conveyor frames 2 and 3; A plurality of conveying rollers (4,5) rotatably supported on the pair of conveyor frames (2,3) to convey the plate member (1) in a state in which both sides of the edges thereof are supported; Arranged as a plurality of individual units (8) between the pair of conveyor frame (2, 3) to eject the pressure fluid toward the lower surface of the plate member (1) except for both edges of the plate member (1) Conveying device of the plate member, characterized in that it comprises a lifting device (7) for floating the rest. 제 1항에 있어서, 상기 부상장치(7)의 개체 유닛(8)은, 상기 한 쌍의 컨베이어 프레임(2,3) 사이에 배치되는 컵 모양의 본체(9)와, 상기 본체(9)의 하부에 연결되어 압력유체를 공급하는 압력유체 공급 파이프(11)와, 상기 본체(9)의 상면에 부착되어 상기 압력유체 공급 파이프(11)에 의해 본체(9)로 공급된 압력유체가 분출되는 다공재(10)로 구성됨을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치The unit of claim 1, wherein the individual unit (8) of the floating device (7) comprises a cup-shaped body (9) disposed between the pair of conveyor frames (2, 3) and the body (9). A pressure fluid supply pipe 11 connected to the lower part to supply pressure fluid, and a pressure fluid supplied to the main body 9 by the pressure fluid supply pipe 11 attached to an upper surface of the main body 9 to be ejected. Carrier of plate member, characterized in that consisting of a porous material (10) 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 압력유체가 순수, 초순수, 수소수, 오존수와 같은 기능수, 알카리 또는 산의 용액 또는 에타놀 등의 유기세정액인 것을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.3. The conveying apparatus for a plate member according to claim 1 or 2, wherein the pressure fluid is a functional water such as pure water, ultrapure water, hydrogen water, ozone water, an alkali or acid solution or an organic cleaning liquid such as ethanol.
KR10-2000-0053776A 1999-09-10 2000-09-09 Conveyor for plate-shaped members KR100422392B1 (en)

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