KR100421057B1 - 열전도를 이용한 온도환경실험기와 그 제어방법 및 온도특성 측정방법 - Google Patents

열전도를 이용한 온도환경실험기와 그 제어방법 및 온도특성 측정방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 냉열판에 의한 열전도방식의 온도환경실험기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 열전소자가 부착된 냉열판과 에어실린더로 개폐되고 프로브 세트가 설치된 게이트로 구성된 열전도 방식의 열전챔버(chamber) 및 상기 열전챔버의 다수개가 직렬로 배치되고 각각의 열전챔버로 이송장치가 피측정체를 순차적으로 이송시키면서 특정의 온도로 설정되어 각기 다른 온도환경을 제공하는 열전챔버에서 피측정체의 온도특성을 측정할 수 있는 열전도를 이용한 온도환경실험기와 그 제어방법 및 온도특성 측정방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 제어용온도센서가 내장된 알루미늄 냉열판의 하부면에 열전소자가 부착되고, 상기 열전소자의 하부에 냉각수관이 내설된 수냉자켓이 부착되며, 상기 수냉자켓의 하부에 제어부가 설치되고, 외측부에 다수개의 게이트지지대가 입설되며, 상기 게이트지지대의 상단에 상부지지대가 설치되어 구성된 본체부와; 하부 개구형의 상자체인 게이트가 상기 본체부의 게이트지지대의 내부에서 상하 운동되도록 설치되고, 상기 게이트의 상부에 피측정체의 온도를 측정하는 프로브 세트가 일정 유격의 범위에서 상하 운동되도록 관통되게 설치되어 구성된 작동부와; 상기 본체부의 상부지지대에 고정설치되고 그 일측단부가 게이트의 상단에 부착되어 상자체인 게이트가 알루미늄 냉열판의 상부면을 개폐시키도록 설치된 에어실린더;를 포함하여 하나의 열전챔버가 구성된 열전도를 이용한 온도환경실험기가 제공된다.

Description

열전도를 이용한 온도환경실험기와 그 제어방법 및 온도특성 측정방법{The temperature test chamber system making use of thermal conduction and its control process}
본 발명은 냉열판에 의한 열전도방식의 온도환경실험기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 열전소자에 부착된 냉열판과 에어실린더로 개폐되고 프로브 세트가 설치된 게이트로 구성된 열전도 방식의 열전챔버(chamber) 및 상기 열전챔버의 다수개가 직렬로 배치되고 각각의 열전챔버로 이송장치가 피측정체를 순차적으로 이송시키면서 특정의 온도로 설정되어 각기 다른 온도환경을 제공하는 열전챔버에서 피측정체의 온도특성을 측정할 수 있는 열전도를 이용한 온도환경실험기와 그 제어방법 및 온도특성 측정방법에 관한 것이다.
종래의 온도환경실험기는 넓은 용적안에 많은 피측정체를 넣어 온도변화를 일으켜 실험기 내부의 대기온도를 측정하고 피측정체의 온도가 대기온도와 동일하게 되었다고 판단되어지는 예측시간을 두어 그 시간 이후에 측정을 시작한다.
그러나, 이는 피측정체의 정확한 온도가 아니고, 온도센서의 위치 및 종류에 따라 넓은 온도 범위에서 다양한 온도편차가 발생되므로 이를 보정하여 측정하기는 매우 어려운 문제점이 있다. 따라서 정밀한 온도특성을 요구하는 피측정체의 측정에는 적합하지 않다.
즉, 피측정체의 온도변화를 내부공기의 흐름을 통한 강제대류방식을 사용하므로 공기의 흐름 및 피측정체의 위치에 따른 온도의 균일도의 저하는 피측정체의온도 정밀도에 심각한 문제를 야기 시키고, 넓은 공간의 대기온도를 신속하게 변화시켜 이를 통해 피측정체의 온도를 대기온도와 동일하게 하는데는 상당히 많은 시간과 열량이 필요하기 때문에 특정온도로 변화시켜 그 상태로 계속 유지하고자 할 경우에만 사용되는 활용도가 낮은 시스템들이 장착되어야만하므로 장치의 낭비가 발생하며, 저온 냉각용으로 압축기를 사용할 경우 소음과 환경문제를 발생시키게 된다.
그리고, 측정에 있어서 멀티 프로빙(Multi Probing) 시스템에 따라 프로브 임피던스(Probe Impedance) 오차에 따른 측정오차를 배제할 수 없고, 많은 피측정체를 단일 전원을 공급하고자 할 경우 대용량의 전원공급기가 필요하며, 여러개의 피측정체 중에 측정하고자하는 하나를 선택하는 회로가 피측정체의 특성에 따라 복잡해질 수 있다.
또한, 온도 제어에 있어서 넓은 온도를 제어 통제해야 하므로 제어기가 복잡해지는데, 영하의 온도와 상온 그리고 고온(60℃이상)에서 제어 알고리즘이 달라야 하고, 언더 오버 슈트가 적도록 설계해야 하는 등 여러 가지 문제를 발생시킨다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 열전소자 냉열판에 의한 정교한 온도제어와 열전도방식으로 피측정체에 설정온도를 정확히 전달하여 종래 대류 방식의 문제점을 극복하고, 서로다른 하나의 온도로만 설정된 다수개의 열전챔버를 직렬로 배치시켜 다수개의 피측정체를 이송시키면서 동시에 서로다른 온도환경에서 온도특성을 측정할 수 있도록 한 열전도를 이용한 온도환경실험기와 그 제어방법 및 온도특성 측정방법을 제공함에 있다.
도 1은 본 발명인 열전챔버의 전체 정면도
도 2는 본 발명인 열전챔버의 본체부의 후면도
도 3은 본 발명인 작동부의 상태도
도 4는 본 발명인 열전챔버가 다수개 직렬배치된 온도환경실험기
도 5는 본 발명인 제어부의 블록도
도 6은 본 발명인 온도환경실험기의 제어 일고리즘
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 열전소자 2 : 제어용온도센서 3 : 냉열판
4 : 냉각수관 5 : 수냉자켓 6 : 제어부
7 : 게이트지지대 8 : 상부지지대 9 : 본체부
10 : 게이트 11 : 무수분기체투입구 12 : 프로브핀
13 : 피측정체 14 : 온도센서 15 : 프로브 세트
16 : 작동부 17 : 에어실린더 18 : 이송장치
19 : 온도설정조작부 20 : 상태표시부
21 : 스텝모터 22 : 벨트50 : 열전챔버 100 : 온도환경실험기
이하 본 발명의 구조 및 작용을 첨부 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.
1차 열전소자(1)의 하부에 2차 열전소자(1)가 층합되고, 상기 1차 열전소자(1)의 상부에 제어용온도센서(2)가 내장된 알루미늄 냉열판(3)이 설치되고, 2차 열전소자(1)의 하부에 냉각수관(4)이 내설된 수냉자켓(5)이 부착되며, 수냉자켓(5)의 하부에 제어부(6)가 설치되고, 외측부에 다수개의 게이트지지대(7)가 입설되며, 게이트지지대(7)의 상단에 상부지지대(8)가 설치되어 구성된 본체부(9)와; 하부 개구형의 상자체인 게이트(10)가 상기 본체부(9)의 게이트지지대(7)의 내부에서 상하 운동하도록 설치되고, 게이트(10)의 상부에 무수분기체투입구(11)가 뚫리고 스프링 내장형의 프로브핀(12) 다수개와 피측정체(13)의 온도를 감시하는 온도센서(14)로 이루어진 프로브 세트(15)가 일정 유격의 범위에서 상하 운동되도록 관통되게 설치되어 구성된 작동부(16)와; 상기 본체부(9) 상단의 상부지지대(8)에 고정설치되고 그 일측단부가 본체부(9) 내측에 설치된 게이트(10)에 부착되어 상하작동시키는 에어실린더(17)를 포함하여 구성된 하나의 열전챔버(50)로 온도환경실험기(100)가 구성된다.그리고, 상기와 같이 구성된 열전챔버(50)를 다수개 연결시켜 실시할 수도 있는데, 이 경우는 상기의 열전챔버(50) 다수개가 서로 다른 온도로 설정되어 일렬로 배치되고, 이송장치(18)가 특정의 온도로 설정된 각각의 열전챔버(50)에서 온도 특성의 측정을 마친 피측정체(13)를 다른 특정온도로 설정된 열전챔버(50)의 알루미늄 냉열판(3) 위로 이동시키도록 설치되어 구성되는데, 여기서의 이송장치(18)는 스텝모터(21)에 의해 구동되는 벨트(22)로 구성되고, 상기 벨트(22)는 일렬로 설치된 열전챔버(50)들의 각각의 게이트(10)와 알루미늄 냉열판(3)의 사이에 설치되어 있으며, 스텝모터(21)의 구동으로 이송된다. 물론 벨트(22)의 이송은 에어실린더(17)에 의해 게이트(10)가 상부로 상승되었을 때 이송되고, 스텝모터(21)가 이송거리를 결정하게 된다. 따라서 상기와 같이 각각 다른 온도로 설정된 열전챔버(50)를 다수개 일렬로 설치하면 피측정체(13)를 순차적으로 이송시켜 다양한 온도환경에서 온도특성을 측정할 수 있는 열전도를 이용한 온도환경실험기(100)가 구성된다.
도면중 미설명 부호 19는 온도설정조작부이고, 20은 상태표시부이다.
알루미늄 냉열판(3)의 하부에 설치된 열전소자(1)가 저온(-40℃ ~ 0℃)을 유지하기 위해 이원 냉동 구조를 가지는 경우는 1차 열전소자(1)와 2차 열전소자(1) 두개가 필요하고, 상온 및 고온용에 사용될 때는 상기 열전소자(1) 중 하나만 사용된다.
열전소자(1)는 펠티어 효과를 가지는 냉각가열소자로서 공급되는 전원전압의 극성에 따라 냉각 및 가열이 이루어진다. 열전소자(1)의 이원 냉동 구조는 1차 열전소자(1)가 흡수한 알루미늄 냉열판(3)의 열량을 2차 열전소자(1)가 냉각소자로 되어 높은 온도차를 통하여 신속하게 수냉자켓(5)으로 전달하여 알루미늄 냉열판(3)의 온도를 신속하게 낮추고 유지할 수 있다.
알루미늄 냉열판(3)은 열전소자(1)의 열량을 보존하고 유지하면서 피측정체(13)로의 신속한 열량 전달을 가능케 한다. 그리고, 알루미늄 냉열판(3)에 내장된 제어용온도센서(2)는 알루미늄 냉열판(3)의 현재온도를 제어부(6)에 전달하여 항상 설정된 온도로 알루미늄 냉열판(3)의 온도를 유지하게 하는 역할을 한다. 따라서, 각각의 열전챔버(50)는 알루미늄 냉열판(3)과 이에 내설된 제어용온도센서(2)에 의해 일정한 온도를 항상 유지하게 된다.
게이트(10)에는 프로브핀(12)과 피측정체(13)의 온도를 감시하는온도센서(14)로 구성된 프로브 세트(15)가 있고, 이는 피측정체(13)에 전원 및 시그날의 입출력을 담당한다. 피측정체(13)의 종류에 따라 프로브핀(12)의 갯수는 달라지고, 장착된 써모커플 혹은 기타의 온도센서(14)는 피측정체의 온도를 실시간으로 측정할 수 있도록 하고, 게이트(10) 상단에 뚫린 무수분기체투입구(11)는 순도 높은 적정량의 질소 등을 계속적으로 투입시켜 성애 발생을 최소화시키고, 제습의 기능을 하게 된다.
즉, 무수분기체는 게이트(10)의 개폐시 외부의 수분이 유입되는 것을 방지하기 위하여 게이트(10) 내부로 계속 공급된다.
에어실린더(17)는 게이트(10)를 여닫으며, 또한 동시에 프로브 세트(15)를 피측정체(13)에 접촉시킴과 동시에 피측정체를 알루미늄 냉열판(3)에 밀착 되도록 하고, 수냉자켓(5)은 냉각수를 공급받아 열전소자(1)에서 발생한 열량을 신속하게 외부로 방출할 수 있도록 한다.
제어부(6)는 온도를 설정할 수 있는 온도설정조작부(19)와, 현재온도 및 설정온도를 표시하는 발광다이오드(Light Emitting Diode, LED)로 구성된 상태표시부(20)를 가지고, 알루미늄 냉열판(3)의 온도를 감지하여 열전소자(1)에 공급되는 전원을 펄스폭변조방식(PWM 방식)으로 제어하며, 공급전원의 극성을 반전시키는 역할을 한다. 또한 설정온도에 도달하였는지와 에러 상태를 외부에 연결된 컴퓨터로 전달한다.
상기와 같은 요소로써 구성된 각각의 열전챔버(50)는 다수개가 직렬로 연결되고, 각각의 열전챔버(50)는 하나의 온도만으로 설정되어 이송되어 오는 피측정체(13)의 온도 특성을 측정하게 된다.
피측정체(13)를 다수개의 열전챔버(50)로 순차적으로 이송시키는 장치는 일반화된 소형 이송장치(18)를 사용한다. 이에는 컨베이어 벨트 또는 픽앤드플레이스(pick and place)의 로봇방식 등 다양하게 사용할 수도 있다. 본 발명에서의 이송장치(18)의 실시예는 스텝모터(21)로 구동되는 벨트(22)로 구성된다.
그리고, 프로브 세트(15)는 피측정체(13)의 온도와 제품의 성능을 평가할 수 있는 다양한 계측기의 프로브핀(12)으로 구성되어 게이트(10)에 장착되고, 게이트(10)와 동시에 상하 운동됨으로써 피측정체(13)와 알루미늄 냉열판(3)과의 확고한 밀착을 통하여 보다 빠르게 피측정체(13)로의 열전달이 가능하게 함과 동시에, 피측정체(13)의 온도를 읽어 측정의 시작을 지시할 수 있도록 되어 있다.
이와같이 하나의 열전챔버(50)를 사용하여 피측정체(13)의 온도특성을 측정할 수도 있고, 다수개의 열전챔버(50)를 일렬로 설치하여 온도환경실험이 필요한 제품을 하나로 설정된 온도구역의 열전챔버(50)에서 측정 평가한 후에 다른 설정 온도구역으로 설정된 다른 열전챔버(50)로 이송하여 측정할 수 있게 구성할 수도 있으며, 이 때는 피측정체(13)의 온도변화 속도의 향상과 기존의 많은 피측정체(13)를 장착한 온도환경실험기에서 나타났던 문제인 온도의 불균일, 온도구간에서의 온도편차, 멀티 프로빙(Multi Probing)에 따른 측정오차를 최소화하여 정밀한 측정이 가능하게 된다.
도 4는 4개의 다른 온도환경을 시험하기 위해서 각각의 온도로 설정된 4개의 열전챔버(50)가 직렬로 연결된 실시예이다. 즉, 각각의 열전챔버(50)가 연결되고 스텝모터(21)와 기어 및 벨트(22)로 구성된 이송장치(18)가 결합되어 있다. 도 4에 도시된 실시예의 작동을 위한 제어 알고리즘은 도 6에 도시되어 있다.
각각의 열전챔버(50)는 개별로 교류전원이 공급되고, 각각의 열전챔버(50)에서는 제어부(6)로 대기신호와 에러신호만을 전송하고, 각각의 열전챔버(50)는 개별적으로 온도제어를 한다. 직렬로 연결된 각각의 열전챔버(50)는 설정온도에 도달하였을 경우 제어부(6)에서 대기신호를 외부 컴퓨터에 전달한다. 각 열전챔버(50)중 온도제어에 문제가 발생하였을 경우는 에러신호를 전송하여 시스템 정지를 요청하게 된다.
컴퓨터는 연결된 장치들이 대기상태이면 이송장치(18)에 이송 명령을 내린다. 이송 명령이 내려지면 에어실린더(17)의 작동으로 게이트(10)가 상승되고, 이어서 이송장치(18)가 가동되는데 피측정체(13)가 설치된 벨트(22)가 스텝모터(21)의 구동으로 이송되며, 피측정체(13)가 열전챔버(50)의 내부의 적정 위치에 도달하면 벨트(22)의 이송은 멈추게 되고, 이 때 에어실린더(17)가 작동되어 게이트(10)가 하강되고, 이송 정상 유무의 신호를 컴퓨터에 전달한다. 상기의 과정으로 피측정체(13)는 상자체의 게이트(10)가 형성시킨 온도환경 속에 놓이게 된다.
상기와 같은 일련의 이송과정으로 벨트(22)에 놓인 피측정체(13)는 열전챔버(50)의 내부로 이송되고, 다수개가 동시에 일정 간격씩 이송되므로 다수개의 피측정체(13)이 동시에 서로 다른 설정 온도하의 열전챔버(50)에서 온도특성이 실험된다. 즉, 다수개의 피측정체(13) 각각은 각각의 열전챔버(50)내에 이송되므로 결국 각각의 열전챔버(50)에는 하나의 피측정체(13)만이 위치되어 측정된다.벨트(22)에 의한 피측정체(13)의 이송관계를 상세히 살펴보면 다음과 같다. 열전챔버(50)가 설정온도에 도달하면 에어실린더(17)가 작동하여 게이트(10)가 상승하게 되고, 이 때 벨트(22)가 스텝모터(21)의 구동으로 일정거리 이송하게 된다. 상기의 이송거리는 열전챔버(50)의 설치간격이 된다. 따라서 피측정체(13)는 각각의 열전챔버(50) 내부에 위치하게 되는데, 특히 피측정체(13)는 알루미늄 냉열판(3)의 상부면에 위치하게 되어 알루미늄 냉열판(3)에 직접 접촉되어 대류가 아닌 열전도 방식으로 연전달이 이루어 지게 된다. 물론 벨트(22)에는 피측정체(13)를 취부할 수 있는 구조와 알루미늄 냉열판(3)에 피측정체(13)를 접촉시킬 수 있는 구조를 가짐은 당연하다.그리고, 피측정체(13)가 상기와 같이 알루미늄 냉열판(3)의 상부면에 안착되면 에어실린더(17)의 작동으로 게이트(10)가 하강하게 된다. 게이트(10)는 하부 개구형의 상자체이기 때문에 게이트(10)가 하강하면 완전한 온도환경이 이루어지게 된다.
따라서, 컴퓨터는 각각의 제어부(6)에서 전달되는 대기신호에 맞추어 온도센서(14)로 피측정체(13)의 온도를 읽고 이를 보정하여 설정온도의 설정 오차 범위에 들 경우 피측정체(13)의 온도 특성 측정 명령을 각 열전챔버(50)에 전달하고, 측정된 데이터를 취합 저장한다.
여기서, 도 4와 같은 4개의 열전챔버(50)로 구성된 경우는 4개의 피측정체(13)가 각각의 열전챔버(50)에서 측정 대기되고, 먼저 설정 오차 범위에 드는 피측정체(13)부터 온도 특성을 측정하고, 모두 측정 완료된 후 전체를 이송시키게 된다. 따라서, 순차적으로 측정하는것보다 측정 시간이 단축되게 된다.
각각의 온도 구간에 측정이 전부 끝났을 경우 다시 이송장치(18)에 이송 명령부터 다시 시작한다.
이와같이 본 발명은 TCXO(Temperature Compensated Crystal Oscillator) 및 수정진동자(Crystal Unit)등 전수 온도검사 및 정확한 온도에 따른 특성을 확인하여야 하는 제품의 생산에 있어서 생산성 향상과 전력소비의 감소 및 쾌적한 작업 환경을 제공할 수 있게 된다.
이와같이 된 본 발명은 각각 다른 하나의 온도로 설정된 다수개의 열전챔버(50)가 직렬로 연결되어 여러 온도구간을 형성하고 피측정체(13)의 신속한 이송과 정밀한 검사를 통해 정밀한 온도측정이 이루어지도록 하여 높은 생산성과 정확한 측정이 가능하고, 열전소자(1)를 이용한 초소형 온도환경실험기(100)는 기존의 대용량의 온도환경실험기(100)에 비하여 저전력으로 온도제어가 용이하며, 실질적으로 알루미늄 냉열판(3)의 열량을 피측정체(13)에 열전도로 전달하므로 냉열판(3)의 온도만을 제어하므로 열량의 낭비가 없고 공기의 흐름을 최소화하는 구조로 설계되어 대류에 의한 열손실을 막을 수 있고, 온도환경실험기(100)의 열전챔버(50)는 단일 온도만을 제어하므로 제어기 구조가 간단하고 제어 알고리즘 또한 간략화 할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 측정에 있어서 기존의 대량의 피측정체(13)를 측정할 경우와 달리 하나의 열전챔버(50)에 하나의 피측정체(13)만을 측정하므로 피측정체(13)가 소비하는 정도의 전력과 피측정체(13)의 특성에 알맞은 계측기를 장착하여 사용할 수 있고, 온도를 열전챔버(50)의 온도가 아닌 피측정체(13)의 온도를 측정기록하여 측정시작을 알리게 되므로 기존의 온도환경실험기의 문제인 예측대기 시간이 없고 온도의 균일도 및 온도의 정확도와는 상관이 없게 되며, 설정 온도에 먼저 도달한 피측정체(13)를 측정하므로 순차적인 측정에 비하여 측정 속도가 빠른 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 제어용온도센서(2)가 내장된 알루미늄 냉열판(3)의 하부면에 열전소자(1)가 부착되고, 상기 열전소자(1)의 하부에 냉각수관(4)이 내설된 수냉자켓(5)이 부착되며, 상기 수냉자켓(5)의 하부에 제어부(6)가 설치되고, 외측부에 다수개의 게이트지지대(7)가 입설되며, 상기 게이트지지대(7)의 상단에 상부지지대(8)가 설치되어 구성된 본체부(9)와; 하부 개구형의 상자체인 게이트(10)가 상기 본체부(9)의 게이트지지대(7)의 내부에서 상하 운동되도록 설치되고, 상기 게이트(10)의 상부에 피측정체(13)의 온도를 측정하는 프로브 세트(15)가 일정 유격의 범위에서 상하 운동되도록 관통되게 설치되어 구성된 작동부(16)와; 상기 본체부(9)의 상부지지대(8)에 고정설치되고 그 일측단부가 게이트(10)의 상단에 부착되어 상자체인 게이트(10)가 알루미늄 냉열판(3)의 상부면을 개폐시키도록 설치된 에어실린더(17);를 포함하여 하나의 열전챔버(50)가 구성된 열전도를 이용한 온도환경실험기.
  2. 제 1항에 있어서, 열전소자(1)는 2개가 서로 접착되어 높은 온도차에 의해 냉각 효율을 증대시키는 이원 냉동 구조를 가진 열전도를 이용한 온도환경실험기.
  3. 제 1항에 있어서, 프로브 세트(15)는 스프링이 내장되어 일정 유격의 범위에서 상하 탄성운동하는 하나 이상의 프로브핀(12) 및 피측정체(13)에 접촉되어 온도를 측정하는 온도센서(14)로 이루어진 열전도를 이용한 온도환경실험기.
  4. 제 1항에 있어서, 게이트(10)의 상부에 무수분기체투입구(11)가 뚫린 열전도를 이용한 온도환경실험기.
  5. 전원의 극성변화에 따라 가열과 냉각을 수행하는 열전소자(1)와, 상기 열전소자(1)에 접촉되어 하나의 특정온도로 제어되는 냉열판(3)과, 하부개구형의 상자체로서 상하 승강운동하여 상기의 냉열판(3)을 개폐하는 게이트(10)와, 상기 게이트(10)의 승강운동에 따라 냉열판(3)에 접촉된 피측정체(13)에 이격 또는 접촉되도록 게이트(10)의 내부상단에 설치된 온도센서(14)와 프로브핀(12)으로 구성된 프로브 세트(15)를 포함하여 구성된 열전챔버(50) 다수개가 인접되게 설치되고, 상기 각각의 열전챔버(50)를 구성하는 알루미늄 냉열판(3)의 상부면과 상기의 상부면에서 승강작동하는 게이트(10)의 사이를 지나도록 스텝모터(21)에 의해 구동되는 벨트(22)가 설치되며, 게이트(10)가 상승했을 때 벨트(22)가 이송되어 알루미늄 냉열판(3)의 상부면에 피측정체(13)가 이송되었을 때 게이트(10)가 하강하여 온도측정환경을 만들도록 구성된 열전도를 이용한 온도환경실험기.
  6. 제 1항의 열전챔버(50)를 이용하여 피측정체(13)의 온도특성을 측정하는 방법에 있어서; 열전소자(1)의 전원전압의 극성을 변환시켜 열전챔버(50)에 설치된 알루미늄 냉열판(3)을 설정온도로 제어하는 단계와; 알루미늄 냉열판(3)이 설정온도에 도달했을 때 피측정체(13)를 알루미늄 냉열판(3)에 직접 접촉시키고, 프로브핀(12)과 온도센서(14)를 피측정체(13)에 직접 접촉시키는 단계와; 피측정체(13)가 알루미늄 냉열판(3)과의 열전도에 의해 설정온도에 도달했는지의 여부를 온도센서(14)가 감지하고, 설정온도에 도달 했을 경우에 프로브핀(12)으로 피측정체(13)의 온도특성을 측정하는 단계;를 포함함을 특징으로 하는 열전도를 이용한 온도특성 측정방법
  7. 각각 특정 온도로 설정되어 인접되게 설치된 다수개의 열전챔버(50)에 피측정체(13)를 순차적으로 이송시켜 각각의 온도환경에서 온도특성을 측정하는 방법을 구성함에 있어서; 열전소자(1)를 이용하여 각각의 열전챔버(50)에 설치된 알루미늄 냉열판(3)을 설정온도로 제어하는 단계와; 알루미늄 냉열판(3)이 설정온도에 달했을 때 피측정체(13)를 열전챔버(50) 내부로 이송시켜 알루미늄 냉열판(3)의 상부면에 접촉시키는 단계와; 프로브핀(12)과 온도센서(14)를 피측정체(13)에 접촉시켜 피측정체(13)가 알루미늄 냉열판(3)과의 열전도에 의해 설정온도에 도달했을 때 각각의 온도환경에서 피측정체(13)의 온도특성을 측정하는 단계와; 피측정체(13)를 다른 온도로 설정된 열전챔버(50) 내부로 이송시켜 다른 온도환경에서의 온도특성을 측정하는 단계;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 열전도를 이용한 온도특성 측정방법.
  8. 일렬로 연결된 각각의 열전챔버(50)가 설정온도에 도달하였을 때 제어부(6)에서 대기신호를 외부 컴퓨터에 전달하는 단계와, 컴퓨터에 연결된 장치들을 대기시키고 에어실린더(17)에 명령을 내려 게이트(10)를 상승시키는 단계와, 이송장치(18)를 작동시켜 피측정체(13)를 열전챔버(50)의 내측으로 이동시키고 에어실린더(17)를 작동시켜 게이트(10)를 하강시켜 프로브핀(12)과 온도센서(14)를 피측정체(13)에 접촉시키는 단계와, 이송 정상 유무를 판단하여 신호를 컴퓨터에 전달하여 피드백하는 단계와, 온도센서(14)로 모든 피측정체(13)의 온도를 읽고 이를 보정하여 설정온도의 오차범위에 먼저 들어오는 피측정체(13)로부터 온도특성을 측정하는 단계와, 측정된 데이터를 취합 저장하는 단계;를 포함함을 특징으로 하는 열전도를 이용한 온도환경실험기의 제어방법.
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WO2014175714A1 (ko) * 2013-04-26 2014-10-30 성균관대학교 산학협력단 방사성 화합물 합성모듈 제조방법 및 방사성 화합물 합성 시스템
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100905056B1 (ko) * 2007-11-02 2009-06-30 최형기 열전도 실험키트
KR101124481B1 (ko) 2010-02-03 2012-03-20 김규호 열전도 실험장치
CN104101620B (zh) * 2014-07-21 2016-06-08 陈博捷 导热温度测试比较仪

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101348014B1 (ko) 2011-12-27 2014-01-08 넥스콘 테크놀러지 주식회사 열 전도 실험방법
WO2014175714A1 (ko) * 2013-04-26 2014-10-30 성균관대학교 산학협력단 방사성 화합물 합성모듈 제조방법 및 방사성 화합물 합성 시스템
KR20200094955A (ko) 2019-01-31 2020-08-10 고려대학교 산학협력단 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치

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