KR100417141B1 - 방전펄스 발생장치 - Google Patents

Abstract

1방의 전극(1,2)간에 전력을 공급하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단을 전극(1,2)에 접속한 소정길이의 분포정수선로(8)와, 분포정수선로(8)에 접속된 분포정수선로(8)의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단(16)과, 분포정수선로 (8)의 타방의 종단에 충전수단(16)의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향으로 접속된 정류수단(13)과, 정류수단(13)과 직렬로 접속되어 분포정수선로(8)의 특성임피던수와 동등의 저항치를 가진 저항기(10)와를 구비하였다. 예들 들면 방전가공에 사용하는 경우에 있어서, 보다 고정도, 고품위 또한 고속으로 가공을 행할 수가 있다.

Description

방전펄스 발생장치{DISCHARGE PULSE GENERATOR}

도 17은 종래의 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로이며, 방전가공기의 방전펄스 발생장치의 예를 나타내고 있다. 도 17에서, 1은 전극, 2는 피가공물, 3은 직류전원, 4는 저항기, 5는 콘덴서(정전용량 C), L은 배선중에 존재하는 인덕턴스이다. 직류전원(3)과 저항기(4)에 의한 충전회로가 콘덴서(5)에 접속되어 있다. 또, 전극(1)과 피가공물(2)은 도면생략된 물과 기름등의 가공액에 침적되어 있다.

상기 충전회로에 의해 콘덴서(5)의 전압이 상승하며, 전극(1)과 피가공물(2)의 극간간격의 가공액이 절연파괴되면 콘덴서(5)에 저장된 에너지가 전극(1)과 피가공물(2)과의 극간에 흐른다. 이때의 방전전류(Ig)는 도 18에 나타난것 같은 LC발진에 의한 감쇠진동파형으로 된다.

도 18에서 t는 시간이며, 최초의 전류(i1)는 LC발진의 공진주파수의 반사이클의 전류, 다음의 전류(i2)는 전류(i1)와 반대의 극성의 전류, 또한 전류(i3)는 전류(i2)와 반대의 극성의 전류이며, 이와 같은 수회의 진동전류가 상기 극간에 흐른다. 최초의 전류(i1)의 펄스폭은 단펄스(T1)이나, 수회의 진동전류가 정지하는 펄스폭은 상당히 길게되고 (T), 그간 방전은 연속하여 발생하며 전체로서 1회의 방전펄스를 형성한다. 이와 같은 종래의 방전펄스 발생장치를 사용하여 방전가공을 행한 경우에는, 단펄스(T1)에 의한 가공은 아니며, 비교적 펄스폭이 긴펄스(T)에 의한 가공으로 됨으로, 피가공물(2)을 미세하게 가공하는 것이 곤란하게 된다는 문제점이 있었다.

또, 도 17과 같은 종래의 방전펄스 발생장치에서는, 도 18과 같이 양극성의 방전전류가 흐름으로, 극성의 1방에서 전극소모가 작게되도록 설정한 경우에 있어서도 반드시 전극소모가 많은 방향으로도 전류가 흐르게 되어, 전극소모가 크게됨으로 고정도가공이 곤란하게 된다는 문제점이 있었다.

도 19는 일본국 특개평7-266133호 공보에 기재된 종래의 방전펄스 발생장치의 다른 구성을 나타내는 회로도이며, 도에서 1은 전극, 2는 피가공물, 3은 직류전원, 4는 저항기, 6은 트랜지스터, 7은 제어수단, 8a 및 8b는 1단측이 개방된 동축케이블(특성임피던스는 각각 Zoa,Zob), 9a 및 9b는 동축케이블(8a 및 8b)에 접속된 정합용임피던스(임피던스는 각 Za,Zb)이다.

도 20은, 도 19의 종래의 방전펄스 발생장치에 있는 전극(1)과 피가공물(2)과의 극간의 방전전류(Ig)의 예를 나타내는 것이며, 도 20(a)는 임피던스(Za 및 Zb)가 특성임피던스(Zoa 및 Zob)와 각각 동등의 경우의 방전전류(Ig), 도 20(b)는임피던스(Za 및 Zb)가 특성임피던스(Zoa,Zob)의 각각 1/2인 경우의 방전전류(Ig)를 나타내고 있다. 또, 도중의 t는 시간이다. 도 20(a)와 같이 상기 정합용임피던스가 상기 특성임피던스와 동등의 경우에는 방전전류(Ig)가 진동이 없는 펄스상의 전류파형이 되나, 도20(b)와 같이, 상기 정합용임피던스가 상기 특성임피던스와 다른 경우에는 도 18의 방전펄스 발생장치의 방전전류와 유사한 진동적인 전류파형으로 된는 것을 알 수가 있다.

즉, 도 19의 종래의 방전펄스 발생장치에서, 진동이 없는 펄스상의 방전전류 파형이 얻어지는 것은 정합용임피던스와 동축케이블의 특성임피던스와가 동등한 경우에 한하며, 따라서 정합용임피던스가 접속됨으로써 방전전류의 피크치가 1/2로 저하한다는 문제점이 있었다.

또, 정합용임피던스가 고정임으로 직류전원(3)의 전압이 일정한 경우에는 방전전류 펄스의 피크치를 변화할 수 없다는 문제점이 있었다.

본 발명은 예를 들면 방전가공기, 레이저발진기 및 입자가속기등에 사용된다. 1쌍의 전극간에 전력을 공급하는 방전펄스 발생장치의 개량에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타낸 회로도이다.

도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에 의한 방전펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 파형도이다.

도 3은 본 발명의 실시의 형태 1에 의한 방전펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 파형도이며, 방전개시시간(t1) 전후의 시간축을 확대한 설명도이다.

도 4는 본 발명의 실시의 형태 2에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에 의한 방전펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 파형도이며, 방전개시시간(t1) 전후의 시간축을 확대한 설명도이다.

도 6은 본 발명의 실시의 형태 3에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 7은 본 발명의 실시의 형태 4에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 8은 본 발명의 실시의 형태 5에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 9는 본 발명의 실시의 형태 6에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 10은 본 발명의 실시의 형태 6에 의한 방전펄스 발생장치에서의 방전전류 파형이다.

도 11은 본 발명의 실시의 형태 7에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 12는 본 발명의 실시의 형태 7에 의한 방전펄스 발생장치에서의 방전전류 파형이다.

도 13은 본 발명의 실시의 형태 8에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 14는 본 발명의 실시의 형태 9에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 15는 본 발명의 실시의 형태 9에 의한 방전펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 파형도이며, 방전개시시간(t1) 전후의 시간축을 확대한 설명도이다.

도 16은 본 발명의 실시의 형태 9에 의한 방전펄스 발생장치의 다른 구성을 나타내는 회로도이다.

도 17은 종래의 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 18은, 도 17의 종래의 방전펄스 발생장치에서의 LC발진에 의한 방전전류의 감쇠진동파형의 예를 나타내는 설명도이다.

도 19는 종래의 방전펄스 발생장치의 다른 구성을 나타내는 회로도이다.

도 20은, 도 19의 종래의 방전펄스 발생장치에서의 전극과 피가공물과의 방전전류의 예를 나타내는 도이다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 방전전류 펄스의 피크치를 상승시킬 수 있는 방전펄스 발생장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

또, 방전전류 펄스의 피크치를 소망의 치에 임의로 설정할 수가 있는 방전펄스 발생장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

또, 방전가공에 사용하는 경우에 미세가공에 적합함과 동시에 전극소모를 저감할 수 있는 방전펄스 발생장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 방전펄스 발생장치는 1쌍의 전극간에 전력을 공급하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단을 상기 전극에 접속한 최소한 1개의 소정길이의 분포정수선로와, 상기 분포정수선로에 접속된 상기 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 타방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향에 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과 직렬로 접속되어 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등한 저항치를 가진 저항기와를 구비한 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 1쌍의 전극간에 전력을 공급하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단을 상기 전극에 접속한 최소한 1개의 소정길이의 분포정수선로와, 상기 분포정수선로에 접속된 상기 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 타방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향에 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과 직렬로 접속되어, 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등한 저항치를 가진 저항기와, 상기 정류수단과 직렬로 접속된 정전압원과를 구비한 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 1쌍의 전극간에 전력을 공급하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단을 상기 전극에 접속한 최소한 1개의 소정길이의 분포정수선로와, 상기 분포정수선로에 접속된 상기 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 타방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대한 전류가 흐르지 않는 방향에 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과 직렬로 접속되어 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등한 저항치를 가진 저항기와, 상기 저항기의 전압을 검출하는 전압검출수단과, 상기 전압검출수단에 의해 검출한 상기 저항기의 전압극성을 판정하기 위한 전압극성판정수단과, 상기 전압극성판정수단에 의해 상기 전압극성이 방전직전의 극성과 반대의 극성으로 판정된 경우에 상기 충전수단에 의한 충전을 정지하는 충전정지수단과를 구비한 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 상기 분포정수선로의 최소한 1개가 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등한 특성임피던스를 구성하는 별개의 콘덴서 및 인덕터의 반복회로인 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 상기 분포정수선로의 최소한 1개를 상기 정류수단 및 저항기와 병렬로 접속된 콘덴서, 그 콘덴서와 직렬로 접속된 인덕터 및 저항기의 병렬체에 의해 구성되고, 상기 콘덴서 및 인덕터에 의한 특성임피던스 및 상기 병렬체의 저항기의 저항치를 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등으로 이루어진 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 상기 충전수단을 직류전원, 저항기 및 스위칭수단의 직렬체에 의해 구성하며, 그 스위칭수단의 온·오프를 하는 제어수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 상기 충전수단을 직류전원, 저항기 및 방전방향에 접속된 다이오드의 직렬체 및 그 직렬체의 저항기 및 직류전원간에 병렬접속된 스위칭수단에 의해 구성하며, 그 스위칭수단의 온·오프를 하는 제어수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 상기 분포정수선로의 상기 전극이접속된 종단에 전류조절용 저항기를 직렬로 접속한 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 상기 분포정수선로의 전파시간이 상기 극간에 발생시키는 소망의 방전전류 펄스폭의 1/2로 되도록 상기 분포정수선로의 소정길이를 설정한 것이다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하며, 위치결정수단에 의해 상기 와이어전극 및 피가공물을 상대이동시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어방전가공기에 사용하는 상기 방전에너지를 발생하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단끼리를 병렬로 접속하여된 제1의 분포정수선로 및 제2의 분포정수선로와, 상기 제1의 분포정수선로의 타방의 종단을 접속하여된 상기 와이어전극에 급전하기 위한 상측급전자와, 상기 제2의 분포정수선로의 타방의 종단을 접속하여된 상기 와이어전극에 급전하기 위한 하측급전자와, 상기 제1의 분포정수선로 및 제2의 분포정수선로에 접속된 상기 제1의 분포정수선로 및 제2의 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 1방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향에 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과 직렬로 접속되어 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등한 저항치를 가진 저항기와를 구비한 것이다.

본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는 이상과 같이 구성되어 있으며, 방전전류의 상승이 빠르며, 동일전극의 단일펄스의 방전전류 펄스로 됨으로, 예를 들면 방전가공에 사용한 경우에는 미세가공에 적합함과 동시에 전극소모를 저감할 수가 있다.

또, 방전전류의 피크치를 소망의 치에 임의로 설정할 수가 있다

또한, 대단히 간단한 구성으로 소정의 반복주파수로 군방전을 발생할 수가 있음으로, 예를 들면 방전가공에 사용한 경우에는 보다 고정도, 고품위 또 고속으로 가공을 행할 수가 있다.

실시의 형태 1.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이며, 예를 들면 방전가공기에 사용하는 경우를 나타내고 있다. 도에서, 1은 전극, 2는 피가공물, 3은 직류전원, 8은 동축케이블, 10,11 및 12는 저항기, 13은 정류수단인 다이오드, 14는 스위칭수단, 15는 제어수단, 16은 동축케이블(8)을 충전하기 위한 충전수단, L1은 배선의 인덕턴스이며, 전극(1) 및 파가공물(2)이 1쌍의 전극에 상당한다.

도 1에서 동축케이블(8)의 전극 1측의 종단(이하 전극측종단)에는 전류조절용 저항기(12)(저항기 R12), 전극(1) 및 피가공물(2)이 직렬로 접속되어 있으며, 그 접속용 배선에는 인덕턴스(L1)이 포함된다. 또, 직류전원(3), 스위칭수단(14) 및 저항기(11)(저항 R11)에 의해 구성되는 충전수단(16)은 동축케이블(8)의 전극측종단에 접속되어 있으나, 충전수단(16)은 동축케이블(8)의 전극(1)과 반대측의 종단(이하 전극반대측종단)등 임의의 위치에 접속할 수가 있다. 예를 들면, 충전수단(16)을 동축케이블(8)의 전극반대측종단에 접속한 경우에는 전극측종단에 접속하는 것은 전극(1) 및 피가공물(2) 더불어 저항기(12)뿐이며, 배선 및 가공시의 접속등이 용이하게 된다.

또, 동축케이블(8)의 전극반대측종단에는, 충전수단(16)의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향에 접속된 다이오드(13) 및 동축케이블(8)의 특성임피던스(Zo)와 동등한 치로 그 저항치(R10)를 설정된 저항기(10)가 직렬로 접속되어 있다.

동축케이블(8)은 종단에 특성임피던스(Zo)와 동등한 저항기가 접속된 경우, 타단에서 전파한 신호의 에너지는 반사하지 않고, 모두 접속한 저항기에 소비되며, 그 저항기에 가한 전압은 타단에서 가한 전압과 동일 파형이며, 전마시간(Td)만큼 늦어진 전압이 발생한다는 특성이 있다.

동축케이블(8)내부의 절연체 즉 유도체의 유전율이 높음으로써 전기의 전파속도가 늦어짐으로, 진공중에 비하여 실제의 길이가 짧게되는 비율을 단축율 k로 하면, 분포정수선로로서의 동축케이블(8)의 특성은, 특성임피던스Zo(Ω), 단축율 k 및 길이 I(m)로 표시된다.

특성임피던스(Zo)는 동축케이블(8)의 단위장에서의 정전용량(Co) 및 인덕턴스(Lo)가, Zo = (Lo / Co)^1/2(Ω)로 되도록 분포정수를 구성한 선로(동축케이블)이 동작하는 임피던스이다.

동축케이블(8)의 전기적길이(10)(m)는 다음 식으로 표시된다.

Io = I / k (1)

또, 동축케이블(8)의 1단에서 타단에의 신호의 전파시간(Td)(S)은 다음 식으로 표시된다.

Td = Io / Cr (2)

여기서, Cr은 광속이다.

식(1) 및 식(2)에 의해, 전파시간(Td)(S)는 다음 식으로 표시된다.

Td = I / (k·Cr) (3)

예를 들면 12.8m의 동축케이블(단축율 k=0.67)의 전파시간(Td)은, Td = 12.8 / (0.67 ×3 ×10⁸) = 6.37 ×10^-8S = 63.7ns 이다.

도 1에서, 방전펄스를 발생시키는 경우에는 제어수단(15)에 의해 스위칭수단 (14)을 온으로 하고, 방전펄스를 정지시키는 경우에는 제어수단(15)에 의해 스위칭수단(14)을 오프로 한다.

도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에 의한 방전펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 파형도이며, 도 2(a)는 스위칭수단(14)의 온·오프프동작, 도 2(b)는 극간전압(V), 도 2(c)는 방전전류(Ig)이다. 또 도중에서 t는 시간이다.

도 2(a)의 시간(to)에서 도 1의 제어수단(15)에 의해 스위칭수단(14)을 온으로 하며 직류전원(3)에서 저항기(11)를 통하여 동축케이블(8)을 충전한다. 극간전압(V)은 도 2(b)의 to에서 t1(t1은 방전개시시간)과 같이 상승하며, 시정수 Tc = R11·C1에서 에서 충전한다. 그 정전용량(C1)에는 동축케이블(8)의 정전용량, 전극(1)과 피가공물(2)간의 정전용량 및 배선에 의한 정전용량이 포함된다.

도 3은 방전개시시간(t1) 전후의 시간축을 확대한 파형도이며, 도 3(a)는 극간전압(V), 도 3(b)는 방전전류(Ig), 도 3(c)는 동축케이블(8)의 전극반대측종단의 전압(Vt)이다. 또, 도중에서 t는 시간이다.

도 3의 방전개시시간(t1) 직전에 동축케이블(8)은 전압(V1)에 충전되어 있다. 시간(t1)에서 방전이 발생하며는 극간전압(V)은 방전전압(Vg)으로 되어 방전중은 거이 일정, 예를 들면 20~30V정도로 된다. 방전전류(Ig)는 도 2(c) 및 도 3(b)에 나타난것 같이 급격히 상승하여, 단형파상의 펄스전류가 발생한다.

방전전류(Ig)(A)는 전압의 낙차(V1-Vg)를 회로임피던스(Zo + R12)로 제한치로 되며, 즉 다음 식으로 표시된다.

Ig = (V1 - Vg) / (Zo + R12) (4)

도 3(b)의 방전전류 파형에서, 저항기(12)의 저항치(R12)가 0인 경우의 방전전류 펄스를 Igo(실선)으로 나타내고, 저항치(R12)가 동축케이블(8)의 특성임피던스(Zo)와 같은 경우의 방전전류 펄스를 Ig1(파선)으로 나타내고 있다.

저항기(R12)의 저항치(R12)의 크기에 의해 방전전류 펄스의 피크치만이 변화하며, 펄스폭은 Tg(=2Td)이고 변화하지 않는다.

동축케이블(8)의 전극측종단의 전압(V1)이 시간(t1)에서 방전발생에 의해 방전전압(Vg)으로 저하하며는, 동축케이블(8)의 전파시간(Td)후의 시간(t2)에서 동축케이블(8)의 전극반대측종단의 전압(Vt)은, 도 3(c)로 나타난것 같이 V1에서 Ve = -(V1-2Vg)/2(V)로 된다.

그 부의 전압(Ve)은 방전에 의한 전압강하(V1-Vg)가 동축케이블(8)의 전극측종단에서 전극반대측종단으로 전마하여 발생한 것이며, 동축케이블(8)의 전극반대측종단의 전압(Vt)이 부인시간(t2)에서 시간(t4)사이는 저항기(10)에 전류가 흘러 에너지를 모두 소비하여 버린다. 따라서 전극반대측종단에서 전극측종단에 전파하는 에너지는 0으로 되며, 즉 전압0, 전류0이 전극측종단에 전파된다.

시간(t2)에서 다시금 전파시간(Td)후의 시간(t3)에서 방전전류(Ig)는 극격히 0으로 되고, 극간전압(V)도 0으로 된다. 이때, 전극(1)과 피가공물(2)간의 방전은 소호하여 전극(1)은 개방상태로 된다.

전극(1)의 전압이 0으로 됨으로, 다시금 전파시간(Td)후의 t4에서, 동축케이블(8)의 전극반대측종단의 전압(Vt)은 0으로 되어 전압 및 전류가 0의 초기상태로 된다.

그와 같은 동작은 스위칭수단(14)을 온으로 한채, 충전수단(16)의 저항(11)의 저항치(R11)가 특성임피던스(Zo)에 대해서 비교적 큰치인 경우에 동작가능하게 된다. 즉, 저항치(R11)가 동축케이블(8)에 특성임피던스(Zo)의 약 10배 이상이며는 상기 동작이 가능하게 된다.

예를 들면, 저항치(R11)를 동축케이블(8)의 특성임피던스(Zo)의 약 10배 이상으로 한 경우에도, 동축케이블(8)이 RG-58C/U(특성임피던스는 50Ω), 길이(1)가 12.8m, 직류전원(3)의 전압이 120V, 방전전압(Vg)이 20V일때에는, 펄스폭(Tg)가 약 136ns, 방전전류(Ig)가 2A의 펄스가 얻어진다.

또, 마찬가지로 저항치(R11)를 동축케이블(8)의 특성임피던스(Zo)의 약 10배 이상으로 한 경우에, 동축케이블(8)이 3C-2V(특성임피던스는 75Ω), 길이(1)가 1m, 직류전원(3)의 전압이 120V, 방전전압(V)이 25V일때에는 펄스폭(Tg)이 약 16ns, 방전전류(Ig)가 1.2A의 매우 짧은 펄스가 얻어지고 있다.

이상의 설명과 같이, 도 3(a)의 시간(t3)이후에 극간전압(V)을 0으로 되는 것은 방전펄스 발생장치로서 이상적이나, 용도에 따라서는 반드시 0으로 않되어도 된다. 예를 들면, 방전가공기에 사용한 경우에는 시간(t3)이후에 극간전압(V)이 방전전압 이하로 되면 된다.

이상과 같은 구성에 의해, 동축케이블(8)의 전파시간(Td)의 2배의 펄스폭 (Tg)에서, 방전전류(Ig)의 구형파상의 전류펄스를 발생할 수 있는 방전펄스 발생장치를 실현할 수가 있다. 또, 저항기(12)를 가변저항기로 하여 저항치(R12)를 가변함으로써, 펄스폭을 변화시킴 없이 방전전류 펄스의 피크치를 소망의 치로 임의로 설정할 수가 있다.

본 발명에 따라서 방전펄스 발생장치에서 의한 방전전류 펄스의 종료시에는 전극(1)은 개방상태로 됨으로, 충전수단(16)에 의해 충전이 시작되어 도 2(b) 및 (c)와 같이 충방전이 반복된다. 이와 같이 충전수단(16)의 스위칭수단(14)을 제어수단에 의해 온으로 하고 있으면(도 2(a)), 연속하여 방전펄스를 발생(군방전)할 수가 있다.

그 군방전의 반복주기는 시간(t1)에서 방전개시전압(V1), 충전수단의 직류전원(3)의 전압 및 저항기(11)의 저항치(R11), 또한, 동축케이블(8) 및 전극(1)의 정전용량에 의해 결정된다. 그 정전용량이 100pF, 저항치(R11)가 1kΩ일때, 3MHz정도의 높은 주파수로 반복하여 방전(군방전)이 가능하다.

또, 제어수단(15)에 의해 스위칭수단(14)을 오프로 하면, 충전이 정지함으로방전펄스이 방전도 정지한다. 스위칭수단(14)은 리레이 또는 반도체 등으로 간단히 구성하여, 방전펄스의 온·오프를 용이하게 제어할 수 있다.

본 발명의 실시의 형태 1에 의한 방전펄스 발생장치를 방전가공기에 사용한 경우에, 일반으로 방전가공기에서는 전극(1)을 피가공물(2)에 대해서 상대적으로 간헐적으로 고속으로 왕복운동 시킨다. 즉 점프동작을 행하고 극간의 가공찌꺼기를 배출하면서 가공을 행하나, 그 점프동작과 동기하여 스위칭수단(14)을 제어수단 (15)에 의해 제어하며는, 최적인 가공상태에서 방전전류 펄스를 발생시킬 수가 있다. 또, 가공중에 간헐적으로 스위칭수단을 온함으로써 안정한 가공상태를 유지할 수가 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는, 매우 간단한 구성에 의해 방전전류 펄스를 소정의 펄스폭 및 피크치로 공급할 수 있음과 동시에 소정의 반복주파수로 군방전을 발생할 수가 있다.

또, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는, 구성이 간단하여 소형화를 도모할 수 있음으로, 1쌍의 전극의 근방에 설치할 수가 있다. 따라서, 배선을 짧게할 수 있음으로 배선의 인덕턴스를 저감할 수가 있으며, 본 방전펄스 발생장치를 사용한 방전가공에서 보다 고정도, 고품위 또 고속으로 가공을 행할 수가 있다.

이상의 설명에서는, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치로써 도 1의 회로구성을 기본으로 설명하였으나, 본 발명은 도 1의 회로구성에 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 충전수단(16)의 직류전원(3) 및 다이오드(13)의 접속을 역방향으로 하는 구성을 채용하여도 되며, 이 경우에는 전압의 극성이 교대하나 도 1과 동등한 동작을 할 수가 있다.

또, 충전수단(16)이 직류전원(3), 스위칭수단(14) 및 저항기(11)에 의해 구성되는 경우에 대하여 설명하였으나, 충전수단은 그와 같은 구성에 한정되는 것이 아니며, 정전류원등이라도 된다.

또, 도 1에서는 동축케이블(8)이 1개인 경우에 대하여 설명하였으나, 복수개의 동축케이블을 병렬접속하여도 되며, 그 경우에는 분포정수선로의 특성임피던스를 낮게할 수 있음으로 방전전류 펄스의 피크치를 더욱 올릴 수가 있다.

또, 도 1에서는 분포정수선로로서 동축케이블98)을 사용하였으나, 분포정수선로로서 트위스트선을 사용하여도 된다. 트위스트선은 통상의 전연선전으로 구성되고, 저가로 용이하게 제작할 수가 있다. 그러나, 특성임피던스(Zo)는 동축케이블에 비하여 높음으로, 방전전류 펄스의 피크치는 동축케이블에 비하여 낮게된다.

또, 동축케이블 또는 트위스트선이 아니고, 프린트기판상의 프린트패턴으로 소정의 길이의 동박선조(copper foil line)를 어스패턴으로 둘러 쌓음으로써, 분포정수선로를 구성하여도 되며, 이 경우는 보다 소형화 및 저가화를 도모할 수가 있다.

실시의 형태 2.

도 4는 본 발명의 실시의 형태 2에 의한 방전펄스장치의 구성을 나타내는 회로도이며, 실시의 형태 1의 도 1과 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다. 도 4에서 17은 제너다이오드이며 다이오드(13)와는 역방향으로 접속되어 있다.

또, 도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에 의한 방전펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 파형도이며, 방전개시시간(t1) 전후의 시간축을 확대한 설명도이며, 도중에서 t는 시간이다.

실시의 형태 1의 구성에서, 도 2의 충전시간(to→t1)을 짧게하기 위해 도 1의 저항기(11)의 저항치(R11)를 작게하여 충전전류를 증가하며는, 도 5(c)와 같이 동축케이블(8)의 전극반대측종단의 전압(vt)이 Ve에서 Ve1(파선)으로 변화하고, 도 5(a)와 같이 시간(t3)이후에 극간전압(V)이 0으로 되지않게 되어 전압(Vg1)(파선)이 발생하게 된다.

이와 같은 전압(Vg1)은 방전펄스 발생장치의 용도에 따라서는 문제가 되는 경우가 있으며, 예를 들면 방전가공기에 사용하는 경우에는 방전전압 이하로 억제할 필요가 있다.

도 4는 이와 같은 전압(Vg1)을 1예로 하며 0으로 하기 위한 구성예이며, 정전압원을 제너다이오드(17)에 구성하고 있으며, 도 5의 전압(Ve1)은 제어다이오드 (17)의 제너전압에 의해 도 5(c)의 화살표(A)와 같이 Ve로 되며, 도 5(a)의 화살표 (B)와 같이 전압(Vg1)을 0으로 할 수가 있다. 그 제너다이오드(17)의 제너전압은, 예를 들면 동축케이블(8)이 RG-58C/U(특성임피던스는 50Ω), 직류전원(3)의 전압이 120V, 저항기(11)의 저항치(R11)가 1kΩ의 경우에 5V정도로 된다.

전압(Vg1)이 0이 아니라도 되는 경우등, 용도에 따라 제너전압을 변화함으로써 전압(Vg1)을 소망의 전압제한범위내로 억제할 수가 있다.

이상과 같이 구성으로 되어 실시의 형태 1과 동일한 작용 및 효과를 나타냄과 동시에 충전수단(16)에서의 출력전류를 결정하는 저항기(11)의 저항치(R11)를 작게하여, 충전수단(16)에서의 출력전류를 크게할 수가 있어 충전시간을 단축할 수가 있음으로, 실시의 형태 1의 도 2와 비교하여 반복주파수의 높은 방전전류 펄스를 발생할 수가 있다.

이상의 설명에서 도 4의 구성예에서는 정전압원을 제너다이오드(17)에 의해 구성하는 경우에 대하여 설명하였으나, 트랜지스터를 사용하는 등의 다른 구성으로된 정전압원을 사용하여도 된다.

실시의 형태 3.

도 6은 본 발명의 실시의 형태 3에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이며, 실시의 형태 1의 도 1과 동일부호와 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다. 도 6에서 18은 다이오드이며, 충전수단(16)을 직류전원(3), 저항기(11) 및 충전방향으로 접속한 다이오드(18)의 직렬체로 하여 직류전원(3)과 저항기(11)에 스위칭수단(14)을 병렬접속하고 있다. 스위칭수단(14)을 도면생략한 제어수단에 의해 온으로 한 경우는 충전장치의 기능이 있어, 실시의 형태 1과 동일한 작용 및 효과를 나타낸다.

실시의 형태 4.

도 7은 본 발명의 실시의 형태 4에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이며, 실시의 형태 1의 도 1과 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다. 도 7에서, 8a 및 8b는 동축케이블, 10a 및 10b는 저항기, 13a 및 3b는 다이오드이며, 실시의 형태 1의 도 1의 충전수단(16)과 동일한 기능을 가지며, 전극(1)에 접속하여 있는 어느 선에 접속되는 충전수단은 생략되어 있다.

도 7은 동축케이블(8a), 다이오드(13a), 저항기(10a)로 구성되는 회로와 동축케이블(8b), 다이오드(13b), 저항기(10b)로 구성되는 회로를 병렬로 하여 전극 (1)과 피가공물(2)에 접속된 것이며, 상기 병렬회로의 전류의 합계치가 전극(1)에 흐른다. 필요에 따라 상기 병렬회로의 최소한 1쪽에 전류조절용 저항기를 삽입하여도 된다.

본 발명의 실시의 형태 4에 의한 방전펄스 발생장치는, 실시의 형태 1과 동일한 작용 및 효과를 나타냄과 동시에, 예를 들면 동축케이블(8a)에 대해 동축케이블 (8b)의 특성임피던스를 높게하며는, 동축케이블(8b)에 의해 공급되는 피크전류치는 낮게되며, 동축케이블(8a)에 대해 동축케이블(8b)의 길이를 길게하면 동축에이블 (8a)의 전류가 종료한 후에 동축케이블(8b)의 전류가 종료하며, 방전전류를 2단계로 변화시킬 수가 있다. 이와 같이 구성한 경우는, 예를 들면 본 발명의 실시의 형태 4에 의한 방전펄스 발생장치를 방전가공에 사용한 경우에, 방전의 최초의 상승한 전류를 높게하여 놓고 방전을 안정하게 지속시켜, 다음에 약한 전류를 사용하여 방전가공을 행함으로써, 면거칠기가 보다 부드러운 고품위가공을 행할 수 있다.

실시의 형태 5.

도 8은 본 발명의 실시의 형태 5에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타낸 회로도이며, 실시의 형태 1의 도 1과 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다. 도 8에서, 19a,19b 및 19c는 저항기, 20a 및 20b는 인덕터이며, 실시의 형태 1의 도 1의 충전수단(16)과 동일한 기능을 가지며, 전극(1)에 접속하여 있는 어느 선에 접속되는 충전수단은 생략되어 있다.

도 8의 구성은, 실시의 형태 1의 도 1의 동축케이블(8)을 동축케이블(8)의 특성임피던스와 동등한 특성임피던스를 구성하는 별개의 콘덴서(19a 등) 및 인덕터 (20a 등)의 반복회로로 한 것이며,실시의 형태 1과 동일한 작용 및 효과를 나타냄과 동시에 소형으로 구성할 수가 있다.

실시의 형태 6.

도 9는 본 발명의 실시의 형태 6에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타낸 회로도이며, 실시의 형태 5의 도 8과 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다.

도 9의 구성은 실시의 형태 5의 도 8을 구성한 개별의 콘덴서 및 인덕터로 된 회로를 1회로만으로 하고, 인덕터에 병렬저항을 부가한 것이다. 즉, 도 9에서 19는 콘덴서(정전용량(19), 20은 인덕터(인덕턴스L20)이며, 인덕터(20)에 병렬로 특성임피던스 Z1 = (L20/C19)^1/2(Ω)와 동등의 저항치(R21)의 저항기(21)를 부가하고 있다.

실시의 형태 1의 도 1의 충전수단(16)과 동일한 기능을 가지며, 전극(1)에 접속하고 있는 어느 선에 접속되는 충전수단을 생략하고 있다.

도 10은, 본 발명의 실시의 형태 6에 의한 방전펄스 발생장치에 있는 방전전류(Ig)이며, 도에서 t는 시간이다. 펄스폭(Tg1)은 인덕턴스(L20) 및 정전용량 C19)에 의해 공진주기의 약 1/4로 된다.

또, 방전전류의 피크치(Igp)는, Igp = V1/Z1 (A)(V1은 방전개시전압)이며, 단인의 콘덴서방전과는 다르며, 상승이 급격한 단일펄스의 방전전류 파형이 얻어지는 방전펄스 발생장치를 소형으로 구성할 수가 있다.

예를 들면, 정전용량(C19)을 811pF, 인덕턴스(L20)를 2028nH, 저항치(R21)를 50Ω, 저항치(R10)를 50Ω로 설정하고, 직류전원(3)의 전압을 120V로 한경우, 펄스폭(Tg1)이 100ns, 피크치(Igp)가 2A의 방전전류 펄스가 얻어진다.

실시의 형태 7.

도 11은 본 발명의 실시의 형태 7에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타낸 회로도이며, 실시의 형태 1의 도 1 및 실시의 형태 6의 동일부호와 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다.

도 11에서, 22는 저항기, 23은 다이오드이며, 실시의 형태 1의 1도의 충전수단(16)과 동일한 기능을 가지며, 전극(1)에 접속하여 있는 어느 선에 접속되는 충전수단은 생략하고 있다.

도 11은 실시의 형태 1의 도 1과 동축케이블(8)의 전극반대측종단의 구성은 동일하며, 동축케이블(8)의 전극측종단에 실시의 형태 6의 도 9와 동일한 회로를 부가한 것이며, 실시의 형태 1의 도 1의 구성 및 실시의 형태 6의 도 9의 구성을 조합한 구성으로 되어 있다.

도 12는 본 발명의 실시의 형태 7에 의한 방전펄스 발생장치에서의 방전전류 (Ig)이며, 동축케이블(8)의 전파시간과, 도 9와 동일한 회로의 전파시간을 동일하게 설정한 경우를 나타내고 있다.

또, 도중에서 t는 시간이다. 이와 같이 상승이 빠르고, 또 동축케이블(8)만으로된 구성에서는 얻을 수 없는 피크치(Igp)가 높은 방전전류펄스(Ig)를 얻을 수가 있다.

실시의 형태 8.

도 13은, 본 발명의 실시의 형태 8에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타낸 회로도이며, 미세한 마무리 가공을 행하는 와이어방전가공기에 적용하는 예를 나타내고 있다. 또, 실시의 형태 1의 도 1과 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타내고 있으며, 도 13에서 Ia는 와이어전극, 8a 및 8b는 동축케이블, 24는 와이어보빈, 25a는 상측급전자, 25b는 하측급전자, 26은 캠스턴롤러, 27은 핀치롤러이다. 와이어방전가공기의 구성은 개요만을 나타내고 있다.

동축케이블(8a 및 8b)의 전극측종단의 1방의 도체는, 각각 상측급전자(25a) 및 하측급전자(25b)에 접속되어 있다. 또, 동축케이블(8a 및 8b)의 전극측종단의타방의 도체는 피가공물(1)에 접속되어 있다. 또, 동축케이블(8a 및 8b)의 전극반대측종단은 병렬로 접속되어 있다.

와이어방전가공기는 캡스턴롤러(26) 및 핀치롤러(27)에 의해 와이어전극(1a)을 조이고 견인하여, 와이어전극(1a)을 주행시키면서 피가공물(2)과 와이어전극 (1a)와의 사이에 방전펄스 발생장치에서 가공전력을 공급하여, 도면생략한 위치결정수단에 의해 와이어전극(1a)과 피가공물(2)과를 상대이동시키면서 피가공물(2)의 가공을 행하는 것이다.

상측급전자(25a)와 하측급전자(25b)와의 거리가 떨어져 있는 경우에도, 동축케이블(8a 및 8b)의 전극측종단과 상측급전자(25a) 및 하측급전자(25b)와의 배선을 짧게 구성할 수 있음으로, 펄스폭이 짧은 미세한 방전전류펄스를 공급할 수가 있다.

또, 동축케이블(8a 및 8b)의 전극반대측종단에는, 동축케이블이 어느 정도길며는 공통의 다이오드(13)와 저항기(10)를 사용할 수가 있다. 동축케이블(8a 및 8b)의 전극반대측종단에 충전수단(16)을 구비함으로써, 와이어전극(1a)과 피가공물 (2)에서 동축케이블(8a 및 8b)의 길이가 분리된 위치에서 방전의 온·오프를 제어할 수가 있다.

실시의 형태 9.

도 14는 본 발명의 실시의 형태 9에 의한 방전펄스 발생장치의 구성을 나타내는 회로도이며, 실시의 형태 1의 도 1과 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다.

도 14에서, 28은 전압검출 및 극성판정수단, 29는 AND회로, S는 방전온·오프신호이다.

본 실시의 형태 9는 실시의 형태 2와 동일하게 충전수단(16)에서의 출력전류를 결정하는 저항기(11)의 저항치(R11)를 작게하여 충전시간을 단축하여 반복주파수의 높은 방전전류 펄스를 발생할 수 있는 수단을 나타내는 것이다.

전압검출 및 극성판정수단(18)은 저항기(10)의 전압을 검출하는 기능과 예를 들면 전압검출치와 영(0)전압과를 비교하여 저항기(10)의 전압극성을 판정하는 기능을 구비한 것이다.

도 14에서, 동축케이블(8)의 전극반대측종단에 접속한 저항기(10)의 전압을 전압검출 및 극성판정수단(28)에 의해 검출하고, 저항기(10)의 전압의 극성이 방전직전의 극성과 반대의 극성으로 되었다고 판정한 경우, 충전수단(16)의 스위칭수단 (14)을 오프로 한다. 스위칭수단(14)이 충전정지수단에 상당한다.

또, 방전은 온·오프신호(S)에 의하여도 스위칭수단(14)의 온·오프가 되여, 방전의 온·오프제어가 가능하다.

도 15는 본 발명의 실시의 형태 9에 의한 방전펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 파형도이며, 실시의 형태 1의 도 3과 동일한 방전개시시간(t1) 전후의 시간축을 확대한 설명도이다. 도 15에서 실시의 형태 1의 도 3과 동일부호는 동일내용을 나타내고 있다. 또, 도 15(d)는 충전수단(16)에서의 출력전류(즉, 저항기 (R11)를 통하는 전류)(IC)를 나타내고 있다.

도 15(c)의 동축케이블(8)의 전극반대측종단의 전압(Vt)은 시간(t2)에서 시간(t4)은 방전개시전의 전압(V1)과 반대의 극성의 전압(Ve)으로 된다. 그 전압 (Ve)을 전압검출 및 극성판정수단(28)에 의해 검출하고, AND회로(29)를 통하여 시간(t2)에서 시간(t4)간에 스위칭수단(14)을 오프하는 신호를 출력한다.

이와 같이 충전정지수단인 스위칭수단(14)이 오프로 됨으로써, 도 15(d)와 같이 충전수단(16)에서의 출력전류(IC)가, 시간(t2)에서 시간(t4)간 0으로 된다 (Ico). 스위칭수단(14)을 시간 (t2)에서 시간(t4)간 오프 않는 경우는, 충전수단 (14)에서의 출력전류(Ic)가 Ic1(파선)같이 계속됨으로, 도 15(a)의 Vg2와 같이 방전펄스종료시에 전압이 발생하나, 도 15(d)의 Ico와 같이 시간(t2)에서 시간(t4)간 충전수단(16)에서의 출력전류(Ic)를 오프함으로써 방전펄스 종료시의 전압(Vg2)을 0으로 할 수가 있다(도 15(a)의 화살표 D). 따라서, 충전수단(16)에서의 출력전류 (IC)를 크게할 수가 있어 충전을 속히 할 수 있음으로, 실시의 형태 1의 도 2와 비교하여 반복주파수가 높은 방전전류 펄스를 발생할 수가 있다.

도 16은 본 발명의 실시의 형태 9에 의한 방전펄스 발생장치의 다른 구성을 나타내는 회로도이며, 도 14와 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타내고 있다. 도 16에서 14a는 스위칭수단인 FET, 30은 NAND회로이다. 충전수단(16)을 실시의 형태 3의 도 6과 동일한 구성을 하고 있어, FET(14a)를 오프하으로써 충전, 온함으로써 충전정지를 시킬 수가 있다. 저항기(10)의 전압을 전압검출 및 극성판정수단 (28)에 의해 검출하고, 저항기(10)의 전압이 극성이 방전직전의 극성과 반대의 극성으로 되었다고 판정한 경우에 FET(14a)를 온하고, 충전전류를 정지하는 것이다.FET(14a)가 충전정지수단에 상당한다.

또, 방전온·오프신호(S)에 의해서도 방전의 온·오프제어가 가능하다.

도 16에서 구성한 방전펄스 발생장치의 작용 및 효과는 도 5와 동일하다.

이상과 같이, 본 발명에 의한 방전펄스 발생장치는, 방전가공기, 레이저발진기 및 입자가속기등에 사용하는데 적합하다.

Claims (10)

1쌍의 전극간에 전력을 공급하느 방전펄스 발생기에 있어서, 1방의 종단을 상기 전극에 접속한 최소한 1개의 소정길이의 분포정수선로와, 상기 분포정수선로에 접속된 상기 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 타방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향으로 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과 직렬로 접속되어 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등한 저항치를 가진 저항기와를 구비한 것으 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

1쌍의 전극간에 전력을 공급하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단을 상기 전극에 접속한 최소한 1개의 소정길이의 분포정수선로와, 상기 분포정수선로에 접속된 상기 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 타방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향으로 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과 직렬로 접속되어 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등한 저항치를 가진 저항기와, 상기 정류수단과 직렬로 접속된 정전압원과를 구비한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

1쌍의 전극간에 전력을 공급하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단을 상기 전극에 접속한 최소한 1개의 소정길이의 분포정수선로와, 상기 분포정수선로에 접속된 상기 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 타방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향으로 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과 직렬로 접속되어 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등의 저항치를 가진 저항기와, 상기 저항기의 전압을 검출하는 전압검출수단과, 상기 전압검출수단에 의해 검출한 상기 저항기의 전압극성을 판정하기 위한 전압극성판정수단과, 상기 전압극성판정수단에 의해 상기 전압극성이 방전직전의 극성과 반대의 극성인 것으로 판정된 경우에 상기 충전수단에 의한 충전을 정지하는 충전정지수단과를 구비한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

청구항 1에 있어서,

상기 분포정수선로의 최소한 1개가, 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등의 특성임피던스를 구성하는 별개의 콘덴서 및 인덕터의 반복회로인 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

청구항 1에 있어서,

상기 분포정수선로의 최소한 1개를 상기 정류수단 및 저항기와 병렬로 접속된 콘덴서, 그리고 그 콘덴서와 직렬로 접속된 인덕터 및 저항기의 병렬체에 의해 구성하고, 상기 콘덴서 및 인덕터에 의한 특성임피던스 그리고 상기 병렬체의 저항기의 저항치를 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등으로 한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 충전수단을 직류전원, 저항기 및 스위칭수단의 직렬체에 위해 구성하고, 그 스위칭수단의 온·오프를 하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 충전수단을 직류전원, 저항기 및 충전방향으로 접속한 다이오드의 직렬체 및 그의 직렬체의 저항기 및 직류전원간에 병렬 접속한 스위칭수단에 의해 구성하고, 그 스위칭수단의 온·오프를 하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

청구항 1에 있어서,

상기 분포정수선로의 상기 전극이 접속된 종단에 전류조절용 저항기를 직렬로 접속한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

청구항 1에 있어서,

상기 분포정수선로의 전파시간이 상기 극간에 발생시키는 소망의 방전전류 펄스폭의 1/2로 되도록 상기 분포정수선로의 소정길이를 설정한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.

와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어전극 및 피가공물을 상대이동시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어방전가공에 사용하는 상기 방전에너지를 발생하는 방전펄스 발생장치에 있어서, 1방의 종단끼리를 병렬로 접속하여 된 제1의 분포정수선로 및 제2의 분포정수선로와, 상기 제1의 분포정수선로의 타방의 종단을 접속하여 된 상기 와이어전극에 급전하기 위한 상측급전자와, 상기 제2의 분포정수선로의 타방의 종단을 접속하여 된 상기 와이어전극에 공급하기 위한 하측급전자와, 상기 제1의 분포정수선로 및 분포정수선로에 접속된 상기 제1의 분포정수선로 및 제2의 분포정수선로의 정전용량을 충전하기 위한 충전수단과, 상기 분포정수선로의 1방의 종단에 상기 충전수단의 전압에 대해 전류가 흐르지 않는 방향으로 접속된 정류수단과, 상기 정류수단과직렬로 접속되어, 상기 분포정수선로의 특성임피던스와 동등의 저항치를 가진 저항기와를 구비한 것을 특징으로 하는 방전펄스 발생장치.