KR100411965B1 - 센서체킹방법및장치 - Google Patents

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KR100411965B1
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발터 브로흐
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크노르-브렘제 엘렉트로닉 게엠베하
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Abstract

본 발명은 비전기적 물리값을 토대로 하여 전기 측정 신호를 발생시키는 센서(2)를 체킹하기 위한 방법에 관한 것이다. 상기 목적을 위해 테스트 평가자 장치(3)가 사용되는데, 상기 장치는 전기 체킹 신호가 인가될 때 센서(2)에 의해 측정될 물리적 값과 동일한 타입의 비전기적 물리값을 발생시킨다. 테스트 평가자 장치(3) 및 센서(2)는 상기 물리적 값에 대하여 서로 결합되어 있다. 전기적 체킹 신호 및 전기적 테스트 신호는 서로 비교된다. 따라서, 테스트 평가자 장치(3)는 센서의 측정 동작을 시뮬레이팅하고, 센서는 그것의 고유한 물리적 측정 동작을 기초로 하여 체킹되며, 상기 체킹은 센서의 전체 측정 범위에 걸쳐 실행될 수 있다.

Description

센서 체킹 방법 및 장치
센서를 체킹하기 위해서, 상기 센서에 체킹 신호 또는 전기적 체킹 전압을 제공한 다음에 상기 체킹 신호의 파형을 검사하거나 또는 체킹 과정 동안 발생되는 센서 출력 신호가 미리 정해진 한계값내에 있는지를 검사하는 것이 공지되어 있다. 이 경우 상기 체킹 신호 및 센서에 의해 측정된 물리적 값은 서로 직접적인 관계가 없기 때문에, 일반적인 경우에는 단락, 라인 단절 등과 같은 에러만이 검출될 수 있고, 센서가 그것의 전체 측정 범위 내에서 폴트 프리하게 작동되는지는 검출되지 않는다. 상기 체킹 신호는 전기적 측정 회로에 인가되기 때문에, 체킹 신호의 인가에 의해 발생되는 테스트 신호(센서 출력 신호)가 유효 신호 또는 에러 유효 신호와 구별되지 않는 경우가 생길 수 있다.
측정 목적물의 상태가 알려진 경우에 또는 회전수로 측정되는 부품이 정지 상태에 있는 경우에는, 센서는 질문을 받고 그것의 출력 신호는 공지된 값과 비교된다. 유사한 방식으로 센서를 교정하거나 또는 보정하기 위해서 정확하게 공지된 특성을 갖는 기준 목적물이 센서에 의해 측정된다. 2가지 경우에는 센서의 체킹은 측정 목적물의 상태 또는 비교 표준 상태가 정확하게 공지된 경우에만 실행될 수있지만, 예를 들어 센서가 하나의 장치내에 장입된 경우에 측정 목적물이 정상적으로 사용되는 동안에는 실행되지 않는다.
본 발명은 센서를 체킹하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
도 1은 센서를 체킹하기 위한 장치의 기본 회로도이고,
도 2는 전자기 센서 및 전자기 테스트 평가자 장치를 갖춘 제 1실시예이며,
도 3은 센서 및 테스트 평가자 장치로서 압전 전력-/전압 변환기를 갖춘 실시예이고,
도 4는 센서 및 테스트 평가자 장치로서 열전 소자를 갖춘 실시예이며,
도 5는 센서 및 테스트 평가자 장치로서 홀-프로우브를 갖는 실시예이다.
본 발명의 목적은, 센서의 전체 측정 영역에 걸쳐서 신뢰할만하고 명확한 센서의 체킹을 가능케 하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다. 상기 목적은 청구의 범위 청구항 1의 특징을 갖는 장치 및 청구항 13의 특징을 갖는 방법에 의해 달성된다. 본 발명의 바람직한 실시예 및 개선예는 종속항에 기술되어 있다.
본 발명은, 테스트 평가자 장치에 의해 측정될 물리적 값을 능동적으로 센서에 제공하는 원리에 따라 작동된다. 즉, 센서 및 테스트 평가자 장치가 동일한 작용 원리에 따라 작동되기 때문에, 상기 센서 및 테스트 평가자 장치는 비전기적 물리값의 작용시에는 전기적 신호를 발생시키고, 그 반대로 전기적 신호가 인가될 때는 동일한 비전기적 물리값을 발생시키는 타입이다. 비전기적 값으로서는 일반적으로 자, 기계적, 열적, 광학적 그리고 화학적 값이 통용된다.
테스트 평가자 장치가 전기적 체킹 신호를 토대로 하여, 체킹될 센서에 작용하는 비전기적 물리값을 발생시킨 다음에, 상기 센서는 하기에서 테스트 신호로 언급되는 전기 출력 신호를 발생시킨다. 테스트 평가자 장치를 여기시키는 체킹 신호 및 체킹 과정 동안 센서에 의해 발생되는 테스트 신호는 서로 직접적인 상관 관계에 있으며, 선형 특성 곡선을 갖는 변환기에서는 서로 선형으로 의존한다. 상기 선형 관계의 비례성 인자는 비전기적 물리값과 관련하여 효율 및 센서와 테스트 평가자 장치 사이의 결합도에 의존하고, 구성이 미리 정해진 경우에는 공지된 상수로서사용될 수 있다. 상기 인자를 고려하여 체킹 신호와 테스트 신호가 일치하면, 이것은 센서가 고유한 측정 원리로 체킹되고 있다는 센서의 폴트 프리한 기능에 대한 확실한 증거가 된다.
본 발명의 바람직한 개선예에 따라 센서 및 테스트 평가자 장치가 하나의 구성 유니트내에 통합됨으로써, 센서가 하나의 장치내에 장입되어 있더라도 센서는 임의의 시점에서 체킹될 수 있다. 센서의 전기적 측정 회로 및 테스트 평가자 장치의 전기적 체킹 회로가 서로 완전히 분리될 수 있음으로써, 상기 회로들이 비대화식으로 작동된다는 사실도 또한 특이할만한 장점이다. 예를 들어, 센서내에서의 전기적 단락이 전기적 체킹 회로에 아무런 작용을 하지 않거나 그 반대인 경우에는, 결함있는 전기적 회로가 다른 전기적 회로의 부품들을 파괴시킬 수 있는 위험이 제거된다.
본 발명의 바람직한 실시예에서 센서 및 테스트 평가자 장치는 각각 전자기적으로 서로 결합된 전자기 변환기 혹은 유도 코일 또는 홀-프로우브(probe) 또는 파워에 적합하게 서로 결합된 압전 파워 트랜스듀서 또는 열적으로 서로 결합된 열전 소자이다.
전자기적 변환기 및 압전 변환기에서는 본 발명의 개선예에 따라, 체킹 과정을 센서의 원래의 측정 과정에 중복시킬 수도 있다. 다시 말해서, 예컨대 측정될 물리적 값 및 테스트 평가자 장치에 의해 발생되는 물리적 값의 주파수가 상이한 경우에 이루어질 수 있는 센서의 체킹 동작이 센서의 측정 동작 동안에 이루어질 수 있음으로써, 센서의 출력 신호는 고유한 측정 신호 또는 유효 신호 및 주파수필터링에 의해 서로 분리될 수 있는 테스트 신호를 갖게 된다.
본 발명의 또 다른 장점은, 테스트 평가자 장치에 의해 발생되는 물리적 값 및 체킹 신호가 센서의 전체 측정 영역의 체킹 과정 동안 스캐닝됨으로써, 센서가 전체 측정 영역에 걸쳐서 체킹될 수 있다는 점이다.
본 발명은 도면을 참조하여 하기에 자세히 설명된다:
제일 먼저 도 1을 참고로 인용하겠다. 도 1에는 테스트 평가자 장치(3)를 이용하여 센서(2)를 체킹하기 위한 장치(1)가 개략적으로 도시되어 있다. 측정 동작시에는, 측정 목적물(4)에 의해 발생되고 센서(2)에 의해 전기적 측정 신호로 변환되는 제 1비전기적 물리값(G1)이 상기 센서(2)에 작용한다.
센서(2)의 체킹시에는 테스트 평가자 장치(3)가 상기 제 1비전기적 물리값(G1)과 동일한 유형의 제 2비전기적 물리값(G2)을 발생시키며, 이 경우 테스트 평가자 장치(3) 및 센서(2)는 상기 테스트 평가자 장치(3)에 의해 발생되는 물리적 값(G2)이 센서(2)에 작용하도록 결합되어 있다. 그 다음에는 센서(2)가 전기적 테스트 신호(S2)를 발생시키는데, 상기 신호는 물리적 값(G2)에 비례하거나 또는 센서(2)의 각 특성 곡선 또는 전달 함수에 따라 공지된 방식으로 상기 물리적 값에 의존한다.
테스트 평가자 장치(3)는 체킹 신호(S1)를 갖는 제어 유니트(5)에 의해 제어되며, 상기 체킹 신호를 토대로 하여 물리적 값(G2)이 발생된다. 따라서, 테스트 평가자 장치(3) 및 센서(2)는 기본적으로 동일한 작용 원리(예컨대 전자기적으로, 압전적으로)에 따라 작동되는데, 본 경우에는 서로 반대의 작동 방식으로만 사용된다. 센서가 비전기적 물리값(G1)을 전기적 신호(S2)로 변환시키는 동안, 테스트 평가자 장치(3)는 상기 전기적 신호(S1)를 비전기적 물리값(G2)으로 변환시킨다.
센서(2) 및 테스트 평가자 장치(3)가 가역 원리에 따라 작동된다면, 즉 2가지방향으로 작동될 수 있다면 더욱 바람직한데, 그 방식은 다시 말하면 전기적 값으로부터 비전기적 물리값이 발생될 수 있을 뿐만 아니라 비전기적 물리값으로부터도 전기값이 발생될 수 있는 방식이다. 상기 경우에는 센서 및 테스트 평가자 장치가 동일한 부품으로 구성될 수 있기 때문에, 센서 및 테스트 평가자 장치는 동일한 특성 곡선을 나타낸다. 따라서, 체킹 신호(S1)와 테스트 신호(S2) 사이에는 테스트 평가자 장치 및 센서의 효율 그리고 결합도에 의해 결정되는 선형 관계가 형성된다. 센서(2) 및 테스트 평가자 장치(3)를 적절하게 설계함으로써, 효율 및 결합 인자의 상기와 같은 영향은, 센서가 폴트 프리하게 작동될 때 테스트 신호(S2)가 체킹 신호(S1)와 정확히 같아지는 방식으로 보상될 수 있다. 상기 2개의 신호들은 평가 유니트(8)에 제공되며, 상기 신호들을 평가하여 2개의 신호들의 차의 절대값이 정해진 한계값을 초과하는 경우에는 상기 평가 유니트가 라인(9)을 통해 에러 신호를 출력한다.
센서(2)가 폴트 프리한 경우에 상기 신호들(S1 및 S2)이 시스템으로 인해(전술한 효율 및 결합 요소의 영향 때문에) 동일하지 않은 경우에는, 2개의 신호들이 비교되기 전에 평가 유니트(8)가 2개 신호(S1 및 S2) 중에서 하나의 신호에 (예를 들어 상수 팩터를 곱하거나 상수값을 더하여) 다른 하나의 보정값을 제공한다. 상기 제어 유니트(5)가 상응하게 보정된 신호를 평가 유니트(8)에 전달할 수도 있다.
제어 유니트(5)는 측정 목적물의 정해진 상태에서 체킹 과정을 스타팅 시키거나, 또는 시동이 스위치-온 된 때에는 자동차의 휠 회전수 센서에서 체킹 과정을 스타팅 시킨다. 제어 유니트(5)에 상응하는 액티베이션 신호는 전기 라인(6)을 통해 제공된다. 측정 목적물(4)의 정해진 상태를 센서에 의해 검출하는 경우에도 체킹은 이루어질 수 있다. 자동차의 휠 회전수 센서의 예에서는, 센서(2)가 휠의 정지 상태를 지시하는 경우에만 체킹 과정이 이루어질 수 있다. 측정 목적물(4)이 전기적으로 제어 가능한 경우에는, 제어 유니트(5)로부터 전기 라인(7)을 통한 물리적 값(G1)의 형성이 센서(2)의 체킹 동안 측정 목적물(4)에 의해 저지된다. 결국 - 이미 언급한 바와 같이 - 몇몇 적용예에서는 측정 동작 동안 센서의 체킹을 실행할 수도 있다. 상기 경우에는 평가 유니트가 예를 들어 신호(S1 및 S2)에 대한 제어 가능한 주파수 필터를 포함하며, 상기 주파수 필터는 라인(10)을 통해 제어 유니트에 의해 조정된다.
도 2는 센서(2) 및 테스트 평가자 장치(3)가 전자기적으로 서로 결합된 유도 코일인 본 발명의 일실시예이다. 예를 들어 상기 유도 코일이 하나의 공통 코어상에 감겨질 수 있음으로써, 센서(2) 및 측정 평가자 장치(3)는 하나의 유니트내에 통합된다. 따라서 2개의 비전기적 물리값(G1 및 G2)은 각각 자기장(magnetic field)이다. 상기 실시예에서 센서(2)는 자기 휠(16)에 의해 그것의 회전수에 상응하게 변조된 전자기 진동을 측정 장치(17)에 의해 평가되는 전기적 전압 펄스로 변환시키는 휠 회전수 전송기로서 사용된다. 그 경우에는, 상기 회전수에 상응하는 아날로그 신호 또는 디지털 신호가 라인(18)을 통해 출력되어 본 발명과 관련이 없는 방식으로, 예를 들어 블로킹 보호 조절 및 구동 슬립 조절을 위한 태코 신호 등으로서 평가된다. 센서의 체킹 동안 제어 유니트(5)는 테스트 평가자 장치(3)에 의해 비전기적 물리값(G2)으로 변환되는, 본 경우에는 자기장으로 변환되는 전기적 전압을 갖는 테스트 평가자 장치(3)의 유도 코일에 영향을 미치며, 상기 자기장은 센서(2)내에서 테스트 신호(S2)를 의미하는 전기적 전압을 유도한다. 상기 테스트 평가자 장치(3)에 제공된 여자기 전압(exciter voltage), 즉 체킹 신호(S1)는, 2개의 신호(S1 및 S2)가 미리 정해진 값만큼 서로로부터 벗어나면 평가 유니트(8)내에서 테스트 신호(S2)와 비교되어 라인(9)을 통해 에러 신호가 송출된다.
평가 유니트(17) 및 제어 유니트(5)는 전기 라인(21)을 통해 서로 결합되어 있다. 따라서, 예를 들어 자기 휠(16)이 정지할 때마다, 즉 센서(2)의 측정 신호가 오류일 때마다 체킹 과정이 스타팅될 수 있다. 체킹 과정은 예를 들어 점화의 스위치-온과 같은 다른 동작 상태에서도 스타팅될 수 있다. 상기 경우에는 센서 출력신호가 측정 동작에서뿐만 아니라 체킹 동작에서도 각각 정해진 주파수를 갖기 때문에, 체킹 신호(S1)의 주파수가 유효 신호에 대해 충분한 간격만큼 이동됨으로써 측정과 체킹이 서로 겹쳐질 수 있다. 상기 유효 신호의 주파수는 라인(21)을 통해 제어 유니트(21)에 전달될 수 있으며, 그 다음에 체킹 신호의 주파수가 고정 입력된다. 그러나 라인(6)을 통해서는, 차량의 동작 상태가 정해진 경우에는 예를 들어 브레이킹 과정 동안 체킹 과정의 스타팅이 저지될 수도 있다. 결국, 현재 체킹이 이루어진다는 사실이 평가 유니트(17)의 라인(21)을 통해 전달될 수 있음으로써, 상기 시간 동안에는 라인(18)상에서의 고유한 측정 신호의 출력이 저지된다.
도 3은 센서(2) 및 테스트 평가자 장치(3)가 압전 전력/전압 변환기인 본 발명의 일실시예를 보여준다. 상기 2개의 비전기적 물리값(G1 및 G2)은 각각 기계적인 파워이고, 체킹 신호(S1) 및 테스트 신호(S2)는 전기 전압이다.
테스트 평가자 장치(3)는 2개의 플레이트(30 및 31) 사이에 배치된 하나의 압전 결정을 포함하고, 센서(2)도 마찬가지로 2개의 플레이트(32 및 33) 사이에 배치된 하나의 압전 결정을 포함한다. 센서 및 테스트 평가자 장치는 인접한 플레이트(31 및 32)가 서로 접촉됨으로써 파워에 적합하게 서로 결합된다. 플레이트(30)는 접합부(abutment)에 지지되고, 플레이트(33)는 측정될 파워(G1)가 작용하는 부분이다. 도 3에는 센서가 압력 센서로서 사용된 장치가 도시되었다. 상기 장치에서 피스톤 로드(36)는 플레이트(33) 및 피스톤(37)과 결합되어 있다. 피스톤(37)은 실린더(38)내에서 움직일 수 있으며, 실린더(38)는 압력 전달 개구(40)를 포함하고, 가스 또는 액체의 측정될 압력이 상기 개구를 통해 피스톤(37)에 작용한다. 압력이없는 상태에서는 피스톤(37)이 실린더 벽(39)에 지지됨으로써, 파워(G1)와 반대 방향으로 향하면서 파워(G1)에 대항 작용하는, 테스트 평가자 장치(3)에 의해 형성된 파워(G2)를 수용할 수 있다. 제어 유니트(5)는 센서를 체킹하기 위해서 테스트 평가자 장치(3)의 접속 단자(34)에 체킹 전압(S1)을 인가하며, 그에 따라 테스트 평가자 장치(3)는 플레이트(31)로부터 플레이트(32)로 작용하는 그리고 그에 따라 센서(2)에 작용하는 파워(G2)를 발생시킨다. 테스트 평가자 장치(3)는 상기 파워(G2) 값에 의존하여, 단자(35)에서 꺼내져서 평가 유니트(8)에 제공될 수 있는 테스트 전압(S2)을 발생시키며, 상기 평가 유니트에서 테스트 전압은 체킹 전압(S1)과 비교된다.
도 4는 센서(2) 및 테스트 평가자 장치(3)가 열적으로 서로 결합된 열전 소자인 본 발명의 변형예를 보여준다. 상기 실시예에서 2개의 비전기적 물리값(G1 및 G2)은 열에너지 또는 온도인 한편, 체킹 신호(S1) 및 테스트 신호(S2)는 재차 전기 전압이다. 센서(2)는 열전 소자에서 통상적인 것과 같이, 2곳의 접속 장소(43 및 44)에서 서로 결합되고 상이한 재료로 이루어진 전기 도체(41 및 42)로 구성된다. 상기 2곳의 접속 장소(43 및 44)의 온도가 상이한 경우에는, 열전 소자가 소위 열전압을 발생시킨다. 반대로 전기 전압이 단자(45)에 인가될 때는 상기 열전 소자가 접속 장소(43 및 44)에서 상이한 온도를 취하게 된다.
테스트 평가자 장치(3)는 유사하게 상이한 재료의 전기 도체(46 및 47)로 구성되며, 상기 도체는 재차 접속 장소(48 및 49)에서 서로 결합된다. 테스트 평가자 장치(3)의 상기 접속 장소(48 및 49)는 센서(2)의 접속 장소(43 및 44)와 열적으로결합된다. 제어 유니트(5)가 테스트 평가자 장치(3)의 접속 단자(50)에 체킹 전압(S1)을 인가하면, 접속 장소(48 및 49)는 온도차를 갖게 된다. 상기 온도차는 접속 장소(43 및 44)에 의해 검출되어 테스트 전압(S2)으로 변환된다. 그 다음에 상기 체킹 전압(S1) 및 테스트 전압(S2)이 재차 평가 유니트(8)에 제공된다. 상기 평가 유니트(8)에서도 재차 동일한 물리적 원리의 테스트 평가자 장치에 의해 센서(2)의 기능이 평가된다.
테스트 평가자 장치가 비효과적으로 접속되는 정상의 측정 동작 동안에는 열 전압이 측정 유니트(17)의 단자(45)에 제공되어 라인(18)을 위한 측정값으로서 출력된다.
도 5는 센서(2) 및 테스트 평가자 장치(3)가 홀-프로우브인 본 발명의 다른 실시예를 보여준다. 2개의 비전기적 물리값(G1 및 G2)은 각각 자기장이다. 체킹 신호(S1) 및 테스트 신호(S2)는 재차 전기 전압이다. 상기 2개의 홀-프로우브는 재차 자기적으로 서로 결합되어 있다. 즉, 2개의 홀-프로우브가 서로 평행하게 배치됨으로써, 하나의 홀-프로우브의 자기장이 다른 홀-프로우브를 관통하여 반전(reverse)된다. 센서(2)는 전류가 관류되는 도체 플레이트(59)로 구성되는데, 상기 도체 플레이트의 마주 놓인 전면에는 상기 전류를 끌어들이기 위한 단자(57 및 58)가 제공된다. 상기 플레이트(59)가 자기장(G1)에 의해 관통되면, 전류 방향에 평행하게 배치된 플레이트의 전면에는 콘택(61 및 62)에 대해 측정될 수 있는 전압이 형성된다. 상기 전압은 자기장의 강도에 비례한다. 콘택(61 및 62)과 결합된 센서의 단자(60)는 재차 측정 유니트(17)와 결합된다.
센서(2)와 동일한 방식으로 구성된 테스트 센서(3)도 도체 플레이트(67)를 포함하고, 마주 놓인 2개의 전면에는 각각 전류를 끌어들이기 위한 단자(65 및 66)를 포함하며, 다른 전면에는 제어 유니트(5)로부터 나오는 체킹 신호(S1)를 인가하기 위해 단자(68)와 연결된 콘택(69 및 70)을 포함한다. 전류가 상기 플레이트(67)를 관류하면 체킹 전압(S1)이 인가될 때 자기장(G2)이 형성되는데, 상기 자기장은 테스트 평가자 장치(3) 및 센서(2)의 배치 때문에 또한 센서(2)를 관통하게 되고 그곳에서 재차 체킹 전압(S2)을 발생시킨다. 이 경우에도 체킹 전압(S1) 및 테스트 전압(S2)은 평가 유니트(8)내에서 서로 비교된다. 상기 실시예에서도 도 2의 실시예에서와 유사하게 측정 신호와 체킹 신호가 서로 겹쳐질 수 있기 때문에, 결과적으로 센서(2)에 의한 측정 동안에 또한 센서의 체킹이 이루어질 수 있다.

Claims (16)

  1. 비전기적인 물리값의 작용을 기초로 하여 전기적 측정 신호를 발생시키는 타입의 센서 (2)를 체킹하는 장치에 있어서,
    전기적인 체크 신호를 수신하고 동일한 타입의 비전기적인 물리값을 발생시키는 테스트값 전송기;
    상기 비전기적인 물리값을 측정하고 테스트 신호를 발생시키는 센서; 및
    상기 체크 신호 및 상기 테스트 신호를 수신하고 평가하는 평가 유닛을 포함하고,
    상기 전기적인 체크 신호가 인가된 경우에, 상기 테스트값 전송기가 상기 센서에 작용하는 상기 비전기적인 물리값을 발생시킴으로써 상기 센서가 상기 테스트 신호를 발생시키게 하고, 상기 체크 신호 및 상기 테스트 신호는 상기 평가 유닛에 제공되어 서로 비교되는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 센서 및 상기 테스트값 전송기는 단일의 구성 유닛 내로 통합되는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 테스트값 전송기는 상기 센서로부터 전기적으로 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 미리 정해진 시점에서 상기 체크 신호를 발생시키고 테스트 프로세스를 개시시키는 제어 유닛이 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 평가 유닛은 상기 비교에 앞서 상기 체크 신호 또는 상기 테스트 신호를 소정의 함수에 따라 정정하고, 이 경우 상기 소정의 함수는 상기 센서, 상기 테스트값 전송기 및 그들의 결합의 효율을 고려하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 테스트 프로세스를 주기적으로 반복하는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 제어 유닛이 체킹 프로세스 동안 상기 체크 신호를 변화시킴으로써, 상기 비전기적인 물리값이 변화되고 상기 센서의 측정 영역이 스캐닝되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 센서 및 상기 테스트값 전송기는 전자기적으로 서로 결합된 유도 코일인 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 센서 및 상기 테스트값 전송기는 서로힘(Force)적으로 결합된 압전 힘/전압 변환기인 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 센서 및 상기 테스트값 전송기는 서로 열적으로 결합된 열전 소자인 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 센서 및 상기 테스트값 전송기는 서로 전자기적으로 결합된 홀 프로브인 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 비전기적 물리값의 작용을 기초로 하여 전기적인 측정 신호를 발생시키는 타입의 센서를 체킹하는 방법에 있어서,
    체크 신호를 테스트값 전송기에 인가하는 단계;
    상기 테스트값 전송기에서 상기 센서에 의해 측정되는 것과 동일한 타입의 비전기적인 물리값을 발생시키는 단계;
    상기 비전기적인 물리값에 기초하여 상기 테스트값 전송기와 상기 센서를 결합시키는 단계; 및
    상기 센서에서 테스트 신호를 발생시키는 단계; 및
    상기 센서에 작용하는 상기 비전기적인 물리값에 기초하여, 상기 전기적인 체크 신호와 상기 테스트 신호를 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 센서의 측정 동작에 앞서 체킹 프로세스를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 센서에 의해 측정될 상기 물리값이 소정의 값을 갖는 때에만 상기 체킹 프로세스를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제 12 항 또는 13 항에 있어서, 체킹 프로세스 동안에 상기 전기적인 체크 신호를 변화시킴으로써, 상기 센서의 전체 측정 영역이 스캐닝되도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 비교 단계에 앞서 상기 전기적 체크 신호 및 상기 전기적인 테스트 신호 중 하나 이상을 소정의 함수에 따라 정정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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