KR100398924B1 - Drying Chucking System For Wafer - Google Patents

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KR100398924B1 KR10-2001-0039409A KR20010039409A KR100398924B1 KR 100398924 B1 KR100398924 B1 KR 100398924B1 KR 20010039409 A KR20010039409 A KR 20010039409A KR 100398924 B1 KR100398924 B1 KR 100398924B1
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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼와 같은 기판, 포토마스크, 액정디스플레이와 같은 유리기판, 광 디스크용 기판 등을 세정액이 저장된 세정조에 순차적으로 침적시키면서 세정을 실시하고, 세정을 완료한 후 에 건조실로 이송시켜 건조를 실시하고자 할 때에 세정된 기판을 건조실로 이송시켜 건조시킬 때에 사용되어지는 척킹장치에 관한 것으로써, 하나의 피니언을 이용하여 두 개의 랙을 동시에 반대방향으로 작동시키면서 척킹지그가 구비된 척킹암을 근접 및 이격 시키면서 기판을 파지 또는 해제 해주도록 하되, 척킹지그가 기판의 양측면의 모서리만을 파지하여주므로 기판의 양면을 용이하게 건조시킬 수 있게 되고, 척킹지그가 파지된 상태에서는 에어가 공급되므로 기판을 더욱 신속하게 건조시켜 줄 수 있으므로 건조 능률을 향상시킬 수 있게 된다.According to the present invention, cleaning is performed by sequentially depositing a substrate such as a semiconductor wafer, a photomask, a glass substrate such as a liquid crystal display, a substrate for an optical disk, and the like into a cleaning tank in which a cleaning liquid is stored. The chucking device is used to transfer the cleaned substrate to the drying chamber when drying, the chucking jig equipped with the chucking jig while operating two racks in the opposite direction simultaneously using one pinion While holding and releasing the substrate while being approached and spaced apart, the chucking jig grips only the edges of both sides of the substrate so that both sides of the substrate can be easily dried, and air is supplied while the chucking jig is held. Drying can be quicker, improving drying efficiency .

Description

세정기판 건조용 척킹장치{Drying Chucking System For Wafer}Drying Chucking System For Wafer

본 발명은 반도체 웨이퍼와 같은 기판, 포토마스크, 액정디스플레이와 같은 유리기판, 광 디스크용 기판(이하 "기판"이라 칭함)등을 세정액이 저장된 세정조에 순차적으로 침적시키면서 세정을 실시하고, 세정을 완료한 후 에 건조실로 이송시켜 건조를 실시하고자 할 때에 세정된 기판을 건조실로 이송시켜 건조시킬 때에 사용되어지는 척킹장치에 관한 것이다.The present invention performs cleaning while sequentially depositing a substrate such as a semiconductor wafer, a photomask, a glass substrate such as a liquid crystal display, a substrate for an optical disk (hereinafter referred to as a "substrate"), and the like in a cleaning tank in which a cleaning liquid is stored, and the cleaning is completed. The present invention relates to a chucking device which is used to transfer a cleaned substrate to a drying chamber and then to dry it by transferring the drying chamber to a drying chamber.

이를 좀 더 상세히 설명하면, 랙과 피니언을 이용하여 척킹암이 각각 구비된 한 쌍의 작동암을 근접 및 이격시켜 주도록 하되 각 척킹암에는 별도의 척킹지그를 구비하여 척킹지그에 의해 기판의 가장자리를 척킹할 수 있도록 하고 척킹지그를 통해서는 에어를 공급할 수 있도록 하여, 기판의 모든 표면을 용이하게 건조시킬 수 있도록 하고 건조능률을 향상시킬 수 있도록 된 세정기판 건조용 척킹장치를 제공하려는 것이다.In more detail, a rack and pinion are used to close and space a pair of operating arms, each provided with a chucking arm, but each chucking arm is provided with a separate chucking jig so that the edge of the substrate is removed by the chucking jig. It is to provide a chucking device for cleaning the substrate to dry the chucking jig and to supply air through the chucking jig to facilitate the drying of all surfaces of the substrate and to improve the drying efficiency.

종래에는 세정이 완료된 기판을 건조실로 이송시킬 때에 기판을 컨베이어와 같은 이송장치를 이용하여 수평으로 이동시키면서 건조를 실시하였으나 상부로 노출되는 표면은 용이하게 건조되어지나 이면은 건조가 더디게 진행되어 건조능력이 떨어지고, 특히 받침수단에 의해 받쳐 지지되는 이면의 일부는 더욱 더디게 건조되는 문제가 있었다.Conventionally, when transporting the cleaned substrate to the drying chamber, the substrate is dried while moving the substrate horizontally using a conveying device such as a conveyor. However, the surface exposed to the top is easily dried, but the back surface is slowly dried, and thus the drying ability. This fall, in particular, the part of the back side supported by the support means had a problem that the drying more slowly.

이러한 문제를 해소하기 위하여, 기판바스켓에 의해 기판을 수직상태로 유지시키면서 이송시키고 건조실에 별도의 상하(UP/DOWN)작동장치를 구비하여 이송되어 오는 기판을 상향(UP)시킨 상태에서 건조를 실시하도록 하는 것이 알려져 있으나, 이 역시 상하작동장치에 의해 기판을 파지할 때에 기판을 바른 수직상태로 유지시켜 주기 위하여 폭이 넓은 받침대를 사용하므로 받침대와 접촉되는 기판의 접촉부분이 원활하게 건조되지 못하여 건조능률이 떨어지는 문제가 있었다.In order to solve this problem, the substrate is transported while maintaining the substrate in a vertical state by the substrate basket, and the drying chamber is provided with a separate up / down operation device to perform drying while the substrate being transported is up (UP). Although it is known to use a wide pedestal to keep the board in a vertical position when holding the board by the vertical operation device, the contact portion of the substrate that is in contact with the pedestal may not be dried smoothly. There was a problem of inefficiency.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해소할 수 있도록 된 세정기판 건조용 척킹장치를 제공하려는 것이다.The present invention is to provide a cleaning substrate drying chucking device that can solve the above problems.

본 발명은 랙과 피니언을 이용하여 척킹암이 각각 구비된 한 쌍의 작동암을 근접 및 이격시켜 주도록 하고 각 척킹암에는 별도의 척킹지그를 구비하여 척킹지그에 의해 기판의 가장자리를 척킹할 수 있도록 하며 척킹지그를 통해서는 에어를 공급하여 척킹된 기판에 공급할 수 있도록 된 세정기판 건조용 척킹장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.The present invention is to close and space a pair of operating arms each provided with a chucking arm by using a rack and pinion and each chucking arm is provided with a separate chucking jig to chuck the edge of the substrate by the chucking jig. It is an object of the present invention to provide a cleaning substrate drying chucking device that can be supplied to the chucked substrate by supplying air through the chucking jig.

본 발명의 다른 목적은 기판의 양 측면 중에서 모서리의 일부만을 척킹하도록 하고, 통상의 메인 로버트(Main Robot)에 의해 상하좌우로 이동시킬 수 있도록 하여 기판의 모든 면을 보다 용이하게 건조시킬 수 있도록 된 세정기판 건조용 척킹장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to chuck only a part of the corners of both sides of the substrate, and to be able to move up, down, left and right by a normal main robot (Basic Robot) to make it easier to dry all sides of the substrate To provide a cleaning substrate drying chucking device.

본 발명의 또 다른 목적은 구조를 간단히 하면서 고장이 발생되지 않는 반영구적으로 사용할 수 있도록 된 세정기판 건조용 척킹장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a chucking device for drying a cleaning substrate that can be used semi-permanently while simplifying the structure and without causing any trouble.

본 발명의 상기한 목적은,The above object of the present invention,

피니언(2)을 굴대 설치하고 피니언(2)의 상·하측에 한 쌍의 랙(3)·(4)을 치합시켜 수평상태를 유지시키면서 작동장치에 의해 서로 반대 방향의 작동시킬 수 있도록 한 것과,The pinion (2) is installed with a mandrel and the pair of racks (3) and (4) are joined to the upper and lower sides of the pinion (2) so that they can be operated in opposite directions by the operating device while maintaining the horizontal state. ,

상기 랙(3)·(4)에는 길이가 서로 다른 작동암(5)·(6)을 일체형으로 장착하고, 작동암(5)·(6)의 선단에는 척킹암(7)·(8)을 하측으로 직각으로 장착한 것과,The racks 3 and 4 are integrally mounted with operation arms 5 and 6 of different lengths, and the chucking arms 7 and 8 are provided at the tip of the operation arms 5 and 6. Mounted at right angles to the bottom,

상기 척킹암(7)·(8)의 대향면에는 기판을 파지하고 에어를 공급할 수 있도록 된 척킹지그(10)·(11)를 대향되게 장착한 것이 포함되는 것을 특징으로 하는 척킹장치(1)에 의해 달성된다.The chucking device (1) characterized in that the opposing surfaces of the chucking arms (7) (8) are mounted so as to face the chucking jigs (10) (11), which are capable of holding a substrate and supplying air. Is achieved by.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 세정기판 건조용 척킹장치의 구조 및 작동 관계 설명도.Figures 1a and 1b is a view explaining the structure and operation relationship of the cleaning substrate drying chucking apparatus according to the present invention.

도 2a 및 도 2c는 본 발명에 따른 세정기판 건조용 척킹장치에 설치된 사용 되는 척킹지그를 발췌하여 보인 횡단면도 및 종단면도.Figure 2a and Figure 2c is a cross-sectional view and a longitudinal cross-sectional view showing an extract of the chucking jig used in the cleaning substrate drying chucking device according to the invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1. 척킹장치 2. 피니언 3.4. 랙1. Chucking Device 2. Pinion 3.4. Rack

5.6. 작동암 7.8. 척킹암 10.11. 척킹지그5.6. Operating arm 7.8. Chucking Arm 10.11. Chucking Jig

12. 삼각파지홈 13. 에어공급공 14. 에어실12. Triangle gripping groove 13. Air supply hole 14. Air chamber

15. 에어유통공 16. 로드레스실린더 17. 가이드수단15. Air distributor 16. Rodless cylinder 17. Guide means

18. 지지대 19. 하우징 20. 기판18. Support 19. Housing 20. Board

본 발명의 상기한 목적과 특징은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해할 수 있을 것이다.The above objects and features of the present invention will be more clearly understood by the following detailed description based on the accompanying drawings.

첨부도면 도 1a 내지 도 2c는 본 발명에 따른 척킹장치(1)의 구체적인 실현 예를 보인 것으로써, 도 1a 및 도 1b는 본 발명의 구조와 작동관계를 보인 설명도이고, 도 2a 및 도 2c는 척킹지그(10)·(11)를 발췌하여 보인 예시도이다.Figures 1a to 2c shows a specific embodiment of the chucking device 1 according to the present invention, Figures 1a and 1b is an explanatory view showing the structure and operation of the present invention, Figures 2a and 2c Is an exemplary view showing an extract of the chucking jig 10 (11).

통상의 피니언(2)을 축(2-1)으로 회전 가능하게 설치하고 피니언(2)의 상측과 하측에는 한 쌍의 랙(3)·(4)을 치합되게 설치하되 상측의 랙(3)에는 수평으로 설치된 가이드레일(17-1)을 따라 슬라이딩되는 가이드블럭(17-2)을 고정시켜 주었고, 하측의 랙(4)에는 로드레스실린더(16)의 로드를 고정시켜 주었으며, 랙(3)·(4)의 선단에는 길이가 긴 작동암(5)과 길이가 짧은 작동암(6)을 일체형으로 고정시켜 주었다.The normal pinion (2) is rotatably installed on the shaft (2-1), and a pair of racks (3) and (4) are fitted to the upper and lower sides of the pinion (2), but the upper rack (3) Fixed to the guide block 17-2 sliding along the guide rail 17-1 horizontally installed, and the rod of the rodless cylinder 16 is fixed to the lower rack (4), the rack (3) The long working arm 5 and the short working arm 6 were integrally fixed to the tip of 4).

상기 작동암(5)·(6)의 일부를 포함하여 상기 장치를 하우징(19)의 내부에 설치하여 외부에서 조립된 상태가 노출되지 않도록 하였고, 상기와 같이 랙(3)·(4)의 선단에 장착되는 작동암(5)·(6)은 지지대(18)에 의해 수평상태로 유지되면서 좌우로 수평 이동되어지도록 하였다.The device was installed inside the housing 19, including part of the actuating arms 5, 6, so as not to expose the assembled state from the outside, and as described above, The operating arms 5 and 6 mounted on the tip are horizontally moved from side to side while being held horizontally by the support 18.

각 작동암(5)·(6)의 선단에는 길이가 짧은 척킹암(7)과 길이가 긴 척킹암(8)을 각각 수직(직각)을 유지하도록 고정시키되, 길이가 짧은 척킹암(7)의내면에는 하나의 척킹지그(10)를 장착시키고, 길이가 긴 척킹암(8)의 내면에서 상측과 하단에는 척킹지그(10)·(11)를 장착하였다.The short chucking arm 7 and the long chucking arm 8 are fixed to the front end of each of the working arms 5 and 6, respectively, so as to maintain the vertical (vertical) angle, but the short chucking arm 7 One chucking jig 10 was mounted on the inner surface of the chucking jig 10, and the chucking jig 10, 11 was mounted on the upper side and the lower end of the inner chucking arm 8 having a long length.

상기, 척킹지그(10)는 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 내부에 에어실(14)을 형성하고 내면에는 삼각파지홈(12)을 형성하며, 외면에는 에어공급공(13)을 뚫어 에어를 공급할 수 있도록 하되 에어실(14)과 삼각파지홈(12)을 에어유통공(15)으로 연통시켜 주었다.The chucking jig 10 has an air chamber 14 formed therein and a triangular gripping groove 12 formed therein, and an air supply hole 13 formed therein, as shown in FIGS. 2A and 2B. It was possible to supply air, but the air chamber 14 and the triangular gripping groove 12 to communicate with the air distribution hole (15).

또한, 다른 척킹지그(11)는 도 2c에 도시된 바와 같이, 본체의 내면 하단에 받침편(11-1)을 일체로 형성하고, 내부과 내면에 에어실(14)과 삼각파지홈(12)을 형성하되, 외면에는 에어공급공(13)을 뚫어 에어를 공급할 수 있도록 하고 에어실(14)과 삼각파지홈(12)은 에어유통공(15)으로 연통시켜 주었다.In addition, as shown in FIG. 2C, the other chucking jig 11 integrally forms the supporting piece 11-1 at the lower end of the inner surface of the main body, and forms the air chamber 14 and the triangular gripping groove 12 on the inside and the inner surface thereof. Formed, but the outer surface to allow the air supply hole 13 to supply air and the air chamber 14 and the triangular gripping groove 12 was in communication with the air distribution hole (15).

이하, 작동관계를 설명한다.The operation relationship will be described below.

본 발명에 따른 척킹장치(1)는 구체적으로 하지 아니하였으나 메인로버트에 설치(장착)하여 사용하게 된다.The chucking device 1 according to the present invention is not specifically used, but is installed (mounted) on the main robot to be used.

기판(20)이 기판바스켓(21)에 안치된 상태로 이송되어와 소정의 위치에서 정지하게 되면 메인로버트에 의해 척킹장치(1)가 척킹암(7)·(8)이 개방되어진 상태를 유지하면서 소정의 위치 즉, 기판(20)을 파지할 수 있는 위치까지 하향하게 된다.When the substrate 20 is transferred to the substrate basket 21 and stopped at a predetermined position, the chucking device 1 maintains the chucking arms 7 and 8 opened by the main robot. While going down to a predetermined position, that is, a position where the substrate 20 can be gripped.

척킹장치(1)가 하향하게 되면 도 1a에 도시된바와 같이 척킹암(7)·(8)이 기판(20)의 양측에 위치하게 되고, 이와 같은 상태에서 로드레스실린더(16)가 작동하게 되면 랙(4)과 함께 작동암(6) 및 척킹암(8)이 내측으로 이동하게 되고, 랙(4)이내측으로 이동하게 되면 피니언(2)이 회전하면서 상측에 있는 랙(3)을 좌측으로 이동시켜 주며, 랙(3)이 좌측으로 이동하게 되면 작동암(5)과 함께 척킹암(7)은 내측으로 이동하게 된다.When the chucking device 1 is lowered, as shown in FIG. 1A, the chucking arms 7 and 8 are positioned at both sides of the substrate 20, and the rodless cylinder 16 operates in this state. When the operating arm (6) and the chucking arm (8) moves inward with the rack (4), if the rack (4) moves inward, the pinion (2) rotates to the left of the rack (3) on the upper side When the rack 3 is moved to the left side, the chucking arm 7 together with the operating arm 5 is moved inward.

상기와 같이 컥킹암(7)과 척킹암(8)이 내측으로 이동하게 되면 상측의 척킹지그(10)가 기판(20)의 양면 상측을 파지하게되고, 척킹장치(10)의 하단에 장착된 척킹지그(11)는 기판(20)의 하단을 파지함과 동시에 받침편(11-1)에 의해 모서리의 저면이 받쳐지게 되며, 따라서 척킹지그(10)·(11)에 의해 파지되는 기판(20)은 낙하하지 않고 안정된 수평상태를 유지하게 된다.When the checking arm 7 and the chucking arm 8 move inward as described above, the upper chucking jig 10 grips both sides of the substrate 20, and is mounted on the lower end of the chucking device 10. The chucking jig 11 holds the bottom of the substrate 20 and at the same time the bottom surface of the edge is supported by the support piece 11-1, and thus the substrate held by the chucking jig 10, 11 ( 20) maintains a stable horizontal state without falling.

이와 같이 기판(20)을 파지한 상태에서 메인로버트가 작동하여 도 1b에 도시된 바와 같이 척킹장치(1)를 상향시키게 되면 척킹된 기판(20)도 함께 상향하게되며, 이와 같이 기판(20)이 상향하여 수평 이동하는 동안에 소정의 분사노즐(구체적으로 도시하지 아니함)에서 분사되는 에어에 의해 기판(2)은 건조되어진다.When the main robot operates in such a manner as to hold the substrate 20 as described above, the chucking device 1 is raised as shown in FIG. 1B, and the chucked substrate 20 is also upward. The substrate 2 is dried by air jetted from a predetermined jetting nozzle (not specifically shown) during the horizontal movement upward.

상기와 같이 기판(20)이 건조되어질 때에 척킹지그(10)·(11)의 에어공급공(130을 통해서는 에어가 공급되고, 공급된 에어는 에어실(14)로 유입된 후에 에어유통공(15)을 통하여 삼각파지홈(12)으로 분사되어지며, 삼각파지홈(12)을 통해서 분사되는 에어는 기판(20)의 파지부분에 집중적으로 분사되어지므로 파지부분도 용이하게 건조되어진다. 특히 분사되는 에어는 기판(20)의 표면으로 전개되면서 분사되므로 기판(20)은 더욱 신속하게 건조되어지게 되는 것이다.When the substrate 20 is dried as described above, air is supplied through the air supply hole 130 of the chucking jig 10 and 11, and the supplied air flows into the air chamber 14 and then the air distribution hole. The air is injected into the triangular gripping groove 12 through 15, and the air injected through the triangular gripping groove 12 is concentrated on the gripping portion of the substrate 20, so that the gripping portion is easily dried. Since the air is sprayed while being deployed to the surface of the substrate 20, the substrate 20 is to be dried more quickly.

기판(20)의 건조가 완료되고 척킹장치(1)와 함께 기판(20)이 소정의 위치까지 이동한 상태에서 메인로버트가 역으로 작동하여 척킹장치(1)와 함께 척킹되어있는 기판(20)을 하향시켜 비어 있는 기판바스켓(21)에 수납시켜 주게 된다.When the substrate 20 is dried and the substrate 20 moves together with the chucking device 1 to a predetermined position, the main robot is operated in reverse to chuck the substrate 20 with the chucking device 1. It is lowered to be stored in the empty substrate basket 21.

기판(20)이 기판바스켓(20)에 수납되어진 상태에서 로드레스실린더(16)가 역으로 작동하여 랙(4)을 외측으로 이동시켜주게 되면 랙(4)에 치합되어 있는 피니언(2)이 회전하면서 상측의 랙(3)을 우측(외측)으로 이동시켜 주게 되고, 이와 같이 랙(3)·(4)이 각각 외측(양측)으로 이동하게 되면 작동암(5)·(6)과 함께 척킹암(7)·(8)은 양측으로 전개되며, 척킹암(7)·(8)이 양측으로 전개되어지면 기판(20)을 파지하고 있던 척킹지그(10)·(11)가 척킹상태를 해제시키게 된다.When the rodless cylinder 16 reversely operates while the substrate 20 is stored in the substrate basket 20 and moves the rack 4 outward, the pinion 2 engaged with the rack 4 The upper rack 3 is moved to the right (outer side) while rotating, and when the racks 3 and 4 are moved to the outer side (both sides) in this way, together with the operating arms 5 and 6, The chucking arms 7 and 8 are deployed at both sides, and when the chucking arms 7 and 8 are deployed at both sides, the chucking jigs 10 and 11 holding the substrate 20 are in the chucking state. Will be released.

연속적으로 설치된 척킹장치(1)들은 상기와 같은 과정을 연속적으로 실시하게 되고, 척킹상태가 해제된 척킹장치(1)는 소정의 공정장치에 의해 원위치로 복귀하여 상기와 같은 과정을 반복적으로 실시하게 된다.The continuously installed chucking devices 1 perform the above process continuously, and the chucking device 1 in which the chucking state is released is returned to its original position by a predetermined process device to repeatedly perform the above process. do.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 척킹장치는, 하나의 피니언을 이용하여 두 개의 랙을 동시에 반대방향으로 작동시키면서 척킹지그가 구비된 척킹암을 근접 및 이격 시키면서 기판을 파지 또는 해제 해주도록 하되, 척킹지그가 기판의 양측면의 모서리만을 파지하여주므로 기판의 양면을 용이하게 건조시킬 수 있게 되고, 척킹지그가 파지된 상태에서는 에어가 공급되므로 기판을 더욱 신속하게 건조시켜 줄 수 있으므로 건조 능률을 향상시킬 수 있게 된다.The chucking device according to the present invention as described above, while holding the chucking jig equipped with the chucking jig while operating the two racks at the same time in the opposite direction by using one pinion to hold or release the substrate, chucking Since the jig grips only the edges of both sides of the substrate, both sides of the substrate can be easily dried. Air is supplied in the state where the chucking jig is gripped, so that the substrate can be dried more quickly, thereby improving drying efficiency. Will be.

Claims (4)

피니언(2)을 굴대 설치하고 피니언(2)의 상·하측에 한 쌍의 랙(3)·(4)을 치합시켜 수평상태를 유지시키면서 작동장치에 의해 서로 반대 방향의 작동시킬 수 있도록 한 것과,The pinion (2) is installed with a mandrel and the pair of racks (3) and (4) are joined to the upper and lower sides of the pinion (2) so that they can be operated in opposite directions by the operating device while maintaining the horizontal state. , 상기 랙(3)·(4)에는 길이가 서로 다른 작동암(5)·(6)을 일체형으로 장착하고, 작동암(5)·(6)의 선단에는 척킹암(7)·(8)을 하측으로 직각으로 장착한 것과,The racks 3 and 4 are integrally mounted with operation arms 5 and 6 of different lengths, and the chucking arms 7 and 8 are provided at the tip of the operation arms 5 and 6. Mounted at right angles to the bottom, 상기 척킹암(7)·(8)의 대향면에는 기판을 파지하고 에어를 공급할 수 있도록 된 척킹지그(10)·(11)를 대향되게 장착한 것이 포함되는 것을 특징으로 하는 세정기판 건조용 척킹장치.Chucking for cleaning substrate drying, characterized in that the opposite surface of the chucking arms (7) (8) is mounted so as to face the chucking jig (10), (11) to hold the substrate and supply air. Device. 제 1항에 있어서, 랙(4)을 작동시키는 작동수단은 로드레스실린더(16)인 것을 특징으로 하는 세정기판 건조용 척킹장치.The chucking apparatus for drying a cleaning substrate according to claim 1, wherein the operating means for operating the rack (4) is a rodless cylinder (16). 제 1항에 있어서, 척킹지그(10)는, 본체의 내부에 에어실(14)을 형성하고 내면에는 삼각파지홈(12)을 형성하며, 외면에는 에어공급공(13)을 뚫어 에어를 에어실(14)에 공급할 수 있도록 하되 에어실(14)과 삼각파지홈(12)을 에어유통공(15)으로 연통시켜서 된 것을 특징으로 하는 세정기판 건조용 척킹장치.The chucking jig 10, the air chamber 14 is formed in the interior of the main body, the triangular gripping groove 12 is formed on the inner surface, the outer surface of the air supply hole 13 to drill the air to the air chamber Chucking device for drying the cleaning substrate, characterized in that the air chamber (14) and the triangular gripping groove (12) to communicate with the air distribution hole (15) to be supplied to (14). 제 1항에 있어서, 척킹지그(11)는, 본체의 내면 하단에 받침편(11-1)을 일체로 형성하고, 내부과 내면에 에어실(14)과 삼각파지홈(12)을 형성하며, 외면에는 에어공급공(13)을 뚫어 에어를 에어실(14)에 공급할 수 있도록 하되 에어실(14)과 삼각파지홈(12)은 에어유통공(15)으로 연통시켜서 된 것을 특징으로 하는 세정기판 건조용 척킹장치.The chucking jig (11) according to claim 1, wherein the supporting piece (11-1) is integrally formed at the lower end of the inner surface of the main body, and the air chamber (14) and the triangular gripping groove (12) are formed on the inner and inner surfaces thereof. Drying the cleaning substrate, characterized in that through the air supply hole 13 to supply air to the air chamber 14, the air chamber 14 and the triangular gripping groove 12 is in communication with the air distribution hole (15) Chucking Device
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