KR100381856B1 - 노광기용 스캔형 광학계 - Google Patents

Abstract

본 발명은 회전하는 반사면에 의해 광선의 입사각을 변화시킴으로써 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 다각형미러와, 스캔되는 광선을 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 표면에 수직으로 조사하는 원통형 거울을 포함하는 노광기용 스캔형 광학계에 관한 것이다.

본 발명의 노광기용 스캔형 광학계는 광원에서 나오는 광선을 반사시키는 미러로서, 회전하는 반사면에 의해 광선의 입사각을 변화시킴으로써 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 다각형미러와,

다각형미러에서 반사되어 스캔되는 광선을 반사하여, 스캔되는 광선의 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 표면에 수직으로 조사하는 길이 방향으로 곡률을 갖는 원통형 거울로 구성된다.

Description

노광기용 스캔형 광학계{Scan-type optical system for exposer}

본 발명은 다각형미러와 원통형 거울을 이용하여 광선을 선형으로 스캔하여 기판을 노광하는 노광기용 스캔형 광학계에 관한 것이다.

인쇄회로기판(PCB)에 동박패턴을 형성하는 공정인 포토리소그라피(photo-lithography) 공정중에 사용되는 장치중의 하나로서 노광장치가 있다. 노광장치는 감광성 물질인 포토레지스트(photo-resist)가 도포되고 회로패턴이 형성된 마스크를 덮은 기판 원자재의 양면에(또는 단면에) 필요한 부분의 패턴을 기판의 동박으로써 형성시키기 위하여 자외선을 조사하는 장치이다.

종래의 노광장치의 개략적 구성에 대해서 도1을 참조하여 설명한다. 광원(11)으로부터 조사되는 광은 직접 또는 타원형 거울(13)에서 반사되어 콜드미러(cold mirror, 15)로 입사된다. 콜드미러(15)는 광원(11)의 광에서 자외선 영역만 반사시키는 역할을 하는 것으로서 기판(21)에 도포되어 있는 포토레지스트의 강광 특성에 따라 필요한 파장영역만을 얻기 위한 용도로 쓰인다. 콜드미러(15)에서 반사되지 못하고 투과된 파장 영역(주로 적외선 영역)은 배출팬에 의해서 열로서배출된다(도1에 표시하지는 않았다).

콜드미러(15)에서 반사된 광은 플라이아이 렌즈(fly eye lens, 17)를 통해 구면경(spherical mirror, 19)으로 입사된다. 구면경(19)은 구의 표면 일부를 잘라낸 형상으로서 전면적에 걸쳐서 곡률을 갖고 있는 거울이다. 구면경(19)에서 반사된 광은 평행광으로서 기판(21)의 표면에 조사되어 노광프로세스가 진행된다.

대칭적으로, 기판(21)의 반대면(21')도 상기 광학계와 동일한 광학계에 의해 노광된다. 즉, 제2광원(11')으로부터 조사되는 광이 제2콜드미러(15')로 입사되고, 제2콜드미러(15')에서 반사된 광은 제2플라이아이 렌즈(17')를 통해 제2구면경( 19')으로 입사되며, 제2구면경(19')에서 반사된 광은 평행광으로서 기판의 반대면(21')에 동시에 조사된다. 이로써 기판(21)의 양면에서 동시에 노광프로세스가 진행된다.

도1의 노광 광학계에서 광원(11, 11'), 콜드미러(15, 15'), 플라이아이 렌즈(17, 17'), 구면경(19, 19')의 배치는 기판(21, 21')의 전표면에 평행광이 조사될 수 있도록 배치되어야 한다.

종래에 기판 표면에 패턴 형성이 정밀하게 이루어지기 위해서는 노광면적에 균일한 조도로 노광하는 것이 필요하다. 특히 최근에는 기판이나 패널의 면적이 증가하고 패턴이 세밀해지는 추세에 따라 노광 조도 균일성이 더욱 중요해지고 있다.

그러나, 종래의 노광장치에서는 다음과 같은 문제점이 있다. 첫째, 노광되는 기판이나 패널의 면적이 증가하는 추세에 따라 종래의 노광장치로는 노광면 전체에 걸쳐서 균일한 조도를 얻기가 곤란하다. 예를 들어, 기판의 노광면에 있어서, 기판의 중앙부의 조도가 주변부의 조도보다 높게 노광되는 경우가 대부분이다.

노광조도의 분포를 균일하게 하기 위하여 종래에 여러가지 시도들이 있었다. 일본공개특허 (평)5-34926호에는 광원과 기판 사이에 균일한 요철이 형성된 확산판(diffuser)을 설치하여 빛이 기판에 고루 퍼지도록 하는 방법이 개시되어 있다. 그러나, 이 방법에 의해서도 부분적인 조도균일화는 이룰 수 있으나 대면적 기판의 경우에는 효과가 적다. 또한, 일본공개특허 (평)2-179630호에는 광원에 직선 또는 곡선이 조합된 단면을 갖는 반사갓을 설치하는 방식이 개시되어 있지만, 이 방식에 의해서도 빛의 방향을 바꿀 수는 있으나 완전히 균일한 조도를 얻을 수는 없다. 또한, 대한민국등록특허 139408호에서는 기판 가까이에 다수의 플라이아이 렌즈(fly eye lens)를 장착하고 있지만, 이 경우에는 광학계의 구성이 복잡해지고 무거우며 고가가 되는 단점이 있다.

이 밖에 상술한 불균일 조도분포를 개선하기 위하여 노광되는 기판(21)과 구면경(19) 사이에 기판(21)의 중앙부를 가리는 차광판(도면에 표시안함)을 설치하는 방식도 사용되고 있다. 그러나, 이 방식에 의하면, 기판의 전면적에 걸쳐서 비교적 균일한 조도분포를 얻을 수는 있으나, 입사되는 광원의 조도를 전체적으로 낮추게 되는 꼴이므로 광원의 효율을 저하시키고 그에 따라 광원의 스펙이 커져야 하는 단점이 있다.

이에 출원인은 회전식 다각형미러와 길이방향으로만 곡률을 갖는 원통형 거울을 이용하여 광원으로부터 나오는 광선을 1차원적으로 스캔하면서, 광선 스캔방향과 직각으로 이송되는 기판에 스캔광선을 조사하면 기판 전면적에 걸쳐서 균일한 조도를 확보할 수 있음에 착안하여 본 발명을 안출하였다.

본 발명의 목적은 회전하는 반사면에 의해 광선의 입사각을 변화시킴으로써 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 다각형미러와, 스캔되는 광선을 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 표면에 수직으로 조사하는 원통형 거울을 포함하는 노광기용 스캔형 광학계를 제공하는 것이다.

도1은 종래의 노광기용 광학계의 개략도.

도2a는 본 발명에 따른 광학계의 개략도.

도2b는 다각형미러의 평면도.

도2c는 광선스캔 궤적의 개념도.

도3a는 제1실시예에 따른 광학계의 구성도.

도3b는 삼각 반사경의 구조도.

도4는 제2실시예에 따른 광학계의 구성도.

도5는 본 발명의 광학계를 사용하는 장비의 구성도.

<도면부호의 설명>

광원(11,11'), 타원형 거울(13,13'), 콜드미러(15,15'),

플라이아이 렌즈(17,17'), 구면경(19,19'), 기판(21,21'),

광원(101), 입사광(102a), 반사광(102b),

다각형미러(103), 반사면(103a,103b,...103l), 스캔 궤적(104a,104b,...),

원통형 거울(105), 콜드미러(106), 기판(107),

평행광학계(109), 삼각 반사경(111), 제1반사면(111a),

제2반사면(111b), 제1 광로변경용 반사경(113), 제2 광로변경용 반사경(113'),

노광챔버(201), 로더(203), 흡착판(205),

기판(207), 적재고(209), 시준용 카메라(211),

포토마스크(213a,213b), 이송기(214), 적재고(215),

언로더(217)

발명의 개요

본 발명의 노광기용 스캔형 광학계는 광원에서 나오는 광선을 반사시키는 미러로서, 회전하는 반사면에 의해 광선의 입사각을 변화시킴으로써 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 다각형미러와,

다각형미러에서 반사되어 스캔되는 광선을 반사하여, 스캔되는 광선의 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 표면에 수직으로 조사하는 길이 방향으로 곡률을 갖는 원통형 거울로 구성된다.

또한, 위의 구성에서, 광원에서 나오는 광선 중에서 특정 파장의 광성분을 필터링하는 콜드미러와, 콜드미러에서 필터링된 광선을 평행광선으로 변환하는 평행광학계가 추가로 포함될 수 있으며, 다각형미러의 반사면은 6~30개인 것을 특징으로 하며, 반사면이 12개인 것이 가장 바람직하다.

도2a는 본 발명의 개요를 나타내는 개념적 구성도이다. 본 발명에 따른 노광기용 광학계에서는 다각형미러(polygonal mirror)를 사용하여 광선을 직선상으로스캔하면서 기판을 이송하고, 직선상으로 스캔하는 광선을 기판에 순차적으로 조사하여 노광하는 것을 특징으로 한다.

구체적으로 볼 때, 광원(101)에서 나오는 광선은 회전하는 다각형미러(103)의 원주에 형성되어 있는 반사면에 반사되어 원통형 거울(105)에 1차원적으로 스캔된다. 원통형 거울(cylindrical mirror, 105)은 구면경과 달리 길이방향으로만(도2a의 x 방향) 곡률을 갖고 있고 폭방향(y 방향)으로는 곡률을 갖지 않는 거울로서, 원통(cylinder)에서 원주의 일부를 잘라낸 거울이라고 보면 된다. 원통형 거울은 구면경에 비해서 제작이 훨씬 쉬어서, 제조원가가 싸고 큰 사이즈로 제작하기도 용이하다.

원통형 거울(105)에서 길이 방향으로 스캔되어 반사된 광선은 기판(107) 표면에 직선으로 스캔(즉, 노광)된다. 도면에서는 기판(107)이 y 방향(즉, 스캔광선의 직각 방향)으로 이송되고 있기 때문에 전체 노광 프로세스 동안에 기판의 전체 면적에 걸쳐서 노광이 된다.

도2b는 다각형미러(103)를 자세하게 나타내는 평면도이다. 도2b의 다각형미러(103)는 원주에 12개의 반사면(103a, 103b, ..., 103l)을 갖는 12각형으로서, 모터에 의해 빠르게(약 3000~6000rpm) 회전한다.

어느 순간에 광원으로부터의 입사광(102a)이 반사면(103d)에 θ1의 각으로 입사되면 반사광(102b)은 입사각과 동일한 θ2의 각으로 반사될 것이다. 이때 다각형미러 자체가 회전하므로 입사각 θ1은 점점 커지므로 반사각 θ2도 점점 커지게 된다. 따라서, 반사광(102b)은 선형으로 스캔되어 원통형 거울(105)로 입사된다.

이렇게 하여 반사광(102b)이 반사면(103d)에 의해서 선형으로 스캔되다가 다각형미러가 더 회전하면 다음의 반사면(103e)에 의해 동일한 반사작용이 이루어지게 되고, 이로써 반사광(102b)은 다시 제2의 스캔과정을 거치게 된다. 즉, 각 반사면마다 하나씩의 스캔주기를 이루게 된다.

다각형미러의 반사면 개수는 임의적이다. 즉, 도면에는 12각형 미러를 갖고 설명하였지만 이에 한정되지 않고 6~30개의 반사면을 갖는 다각형미러를 사용하여도 본 발명의 기술적 사상을 달성할 수 있다. 이는 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 광학계 전체의 크기, 원하는 노광면적, 제작원가 등을 고려하여 임의로 결정할 수 있는 설계사항이다.

위와 같은 원리로 광원(101)으로부터의 광선이 선형으로 스캔되어 기판(107)에 조사되므로 기판(107)에는 도2c와 같은 원리로 노광될 것이다. 도2c는 기판(107)의 면에 조사되는 광의 궤적을 개념적으로 그린 것으로, 스캔간격과 스캔의 기울어짐(skew)이 매우 과장되어 있다.

도2c의 각 스캔광선의 궤적(104a, 104b, ...)이 한쪽으로 기울어져 있음을 볼 수 있다. 기판(107)이 한쪽 방향으로 이송되고 광선은 원통형 거울(105)의 길이 방향으로 스캔을 하기 때문에 그 스캔 시간만큼 기판(107)의 위치가 변화함을 나타내는 것이다. 그러나, 도2c와 달리 실제로 다각형미러(103)가 매우 빠른 속도로 회전하고(약 3000~6000rpm) 기판(107)은 매우 느린 속도로 이송되기 때문에 스캔 궤적은 거의 수평이라고 보아도 무방할 것이다.

또한, 도2c에서는 각 스캔 궤적 사이에 매우 넓은 시간적 간격(t)이 있는 것으로 묘사되어 있지만, 실제로는 다각형미러(103)의 회전속도가 빠르고 반사면이 많기 때문에 더욱 스캔주기가 짧아지고 기판(107)의 느린 이송속도 때문에 스캔 간격(t)은 무시하여도 좋다.

이상의 원리와 같이, 본 발명에 따른 광학계에서는 다각형미러를 사용하여 광선을 선형으로 스캔하고 기판을 이송시킴으로써 기판의 전면적에 걸쳐서 균일한 조도로 노광을 할 수가 있다. 즉, 본 발명에 따른 광학계에서는 다각형미러와 작은 폭의 원통형 거울을 주요 구성요소로 하기 때문에 제작이 용이하고 제조원가가 절감되며, 무엇보다도 조도 균일화를 선상에서만 확보해 준다면 기판의 전체면에 걸쳐서 조도 균일화를 이룰 수 있는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 기술적 사상을 실제로 구현하는 실시예에 대해서 설명한다.

실시예1

도3a는 본 발명의 제1실시예를 나타낸다. 제1실시예는 기판의 양면을 동시에 노광하기 위하여 도2a의 광학계를 대칭으로 설치한 실시예를 나타낸다. 그러나, 제1실시예에서는 광원(101) 한 개를 공통으로 사용하기 위하여 삼각 반사경(111)이 추가되었다.

그 구성을 구체적으로 살펴보면, 광원(10)으로부터 나오는 광선에서 필요한 파장(보통은 자외선 파장)을 필터링하는 콜드미러(106)가 있고, 콜드미러(106)에서 반사되는 광선은 평행광학계(109)를 통해 평행광선으로 변환된다. 평행광학계(109)에는 색수차지움 렌즈(achromatic lens, 도시 안함)가 포함될 수도 있다.

평행광학계(109)에서 평행광선으로 변환된 광선은 삼각 반사경(111)의 반사면에서 상하로 분기된다. 삼각 반사경(111)은 제1반사면(111a)과 제2반사면(111b)에 입사되는 평행광선을 직각으로 반사하여 분기할 수 있도록 각 반사면의 내각이 90°인 것이 바람직하다. 그러나, 이에 한정되지는 않고 다각형미러(103, 103')의 기구적 위치에 맞게 정확하게 다각형미러로 반사되도록 설계되면 된다. 삼각 반사경(111)의 제1, 제2반사면(111a, 111b)에는 반사율이 높은 물질(예를 들면, 알루미늄)을 증착하여 반사시의 광손실을 줄이는 것이 바람직하다.

삼각 반사경(111)에 의해 양쪽으로 분기된 평행광선은 제1다각형미러(103)와 제2다각형미러(103')에 의해 스캔되어 각각 제1 원통형 거울(105)와 제2 원통형 거울(105')로 입사되고 각각 기판의 상면(107)과 하면(107')에 수직으로 입사된다. 이 때, 본 발명의 원리에 따라 기판은 도면이 그려진 종이로부터 앞으로 튀어나오는 방향(또는 종이로 들어가는 방향), 광선의 스캔방향과 직각방향으로 이송되어야 한다.

이와 같이 제1실시예는 한 개의 광원과 두 개의 다각형미러 및 두 개의 원통형 거울을 사용하여 기판의 양면을 동시에 노광하기 위한 구조를 갖는 광학계에 관한 것이다.

실시예2

도4에 나타낸 제2실시예는 제1실시예와 달리, 한 개의 광원과 한 개의 다각형 미러 및 두 개의 원통형 거울을 사용하여 기판의 양면을 동시에 노광하기 위한구조를 갖는 광학계에 관한 것이다.

구체적으로 살펴보면, 도3a에서 설명한 바 있는 콜드미러(106)와 평행광학계(109)를 거쳐 출사되는 자외선 영역의 평행광선이 삼각 반사경(111)에서 상하로 분기된 다음에 다시 제1, 제2 광로변경용 반사경(113, 113')에 의해 광로가 변경되어 하나의 다각형미러(103)에 입사된다. 즉, 다각형미러(103) 하나에서 180°로 광선 스캔이 일어나는 것이다. 각각 스캐된 광선은 제1원통형 거울(105)와 제2 원통형 거울(104')로 각각 입사되어 기판의 양면(107, 107')으로 수직조사되어 노광한다.

즉, 제2실시예에서는 본 발명중 고가 부품의 하나인 다각형미러(103)의 개수를 한 개로 줄이면서도 본 발명에 따른 기술적 사상을 충실히 구현하고 있다. 다만, 광로변경용 반사경(113, 113')이 두 개 추가되었지만, 이 정도의 추가로 광학계의 사이즈가 비상하게 커진다거나 원가가 크게 올라가지는 않는다. 오히려 광로변경용 반사경(113, 113')을 추가함으로써 광원으로부터 다각형미러까지의 직선거리를 줄일 수 있어 설계하기에 따라서는 광학계의 전체 크기를 줄일 수 있는 부수적 효과도 있다.

이상에서 본 발명에 따른 기술적 사상을 구현하는 실시예에 대해 구체적으로 설명하였다. 그러나, 본 발명의 기술적 범위가 설명한 실시에에만 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 기술적 범위는 다각형미러와 원통형 거울로 이루어지는 광선 스캔 기구를 주요 구성요소로 하고 기판을 이송하면서 노광하는 것을 특징으로 하는것으로서, 첨부한 특허청구범위에 의해서 그 기술적 범위가 결정되는 것이다. 또한, 본 발명에 따른 광학계는 기판 노광용 이외에 디스플레이 패널용으로도 사용할 수 있다.

본 발명에 따른 광학계의 사용례

앞에서 설명한 본 발명의 광학계는 도5와 같은 장비를 통해 현장에서 사용할 수 있다. 도5의 노광챔버(201)에는 노광할 기판 원자재가 적층되어 있는 적재고(209)와, 적재된 기판(207)을 하나씩 흡착판(205)으로 흡착하여 컨베이어에 로드(load)하는 로더(203)와, 컨베이어에 로드된 기판의 상하면에 포토마스크(213a, 213b)를 밀착하여 이송하는 이송기(214)와, 이송되는 기판의 양면에 자외선을 수직 조사하여 노광하는 본 발명에 따른 광학계(100, 100')와, 노광이 끝난 기판에서 포토마스크를 분리하여 언로드(unload)하는 언로더(217)와, 노광완료된 기판을 적재하는 적재고(215)로 구성된다. 또한, 이송기(214)의 하부에는 포토마스크(213a, 213b)를 기판에 밀착할 때 정확하게 위치를 맞추기 위한 시준용 카메라(211)가 설치되어 있다.

종래에는 기판을 로드하여 광학계를 작동시켜 기판의 전면에 한번에 노광을 하고 광학계를 끄고 기판을 언로드한 다음, 다른 기판을 다시 이송해 와서 광학계를 다시 작동시켜 노광을 하는 등, 노광 공정이 불연속적으로 이루어져 대기 또는 정지시간이 필요하였으나, 본 발명에 따른 광학계를 사용하여 노광공정을 수행하면 컨베이어에서는 연속적으로 기판을 로드하고 광학계는 계속 노광동작(스캔 동작)을하므로 대기시간이나 정지시간이 없어질 수 있다.

도5에 나타낸 장비는 본 발명에 따른 광학계의 이용례를 나타내는 하나의 예에 불과한 것으로서, 당업자라면 생산라인에 따라 적절하게 설계하여 본 발명의 광학계를 이용할 수 있을 것이다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 간단하고 작은 크기의 광학계로서 균일한 조도로 기판을 노광할 수 있어 노광품질을 확보하면서도 장비의 크기를 크게 줄일 수 있으며, 종래의 구면경에 비해 훨씬 저가인 원통형 거울을 채용함에 따라 제조원가를 대폭 줄일 수 있다. 또한, 본 광학계를 채용하여 노광공정을 수행하면 정지동작 없이 연속적으로 기판을 이송하면서 노광할 수 있으므로 작업시간을 단축시킬 수 있다.

Claims (12)

1. 광원,

   광원에서 나오는 광선을 반사시키는 미러로서, 회전하는 반사면에 의해 광선의 입사각을 변화시킴으로써 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 다각형미러,

   다각형미러에서 반사되어 스캔되는 광선을 반사하여, 스캔되는 광선의 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 표면에 수직으로 조사하는 길이 방향으로 곡률을 갖는 원통형 거울로 구성되는 노광기용 스캔형 광학계.
2. 청구항 1에서, 상기 광원에서 나오는 광선 중에서 특정 파장의 광성분을 필터링하는 콜드미러와, 콜드미러에서 필터링된 광선을 평행광선으로 변환하는 평행광학계가 추가로 포함되는 노광기용 스캔형 광학계.
3. 청구항 1 또는 2에서, 다각형미러의 반사면은 6~30개인 것을 특징으로 하는 노광기용 스캔형 광학계.
4. 광원,

   상기 광원에서 나오는 광선을 두 개의 광로로 분기하는 광분기 수단,

   상기 광분기 수단에서 분기된 제1의 광선을 반사시키는 미러로서, 회전하는반사면에 의해 광선의 입사각을 변화시킴으로써 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 제1다각형미러,

   상기 광분기 수단에서 분기된 제2의 광선을 반사시키는 미러로서, 회전하는 반사면에 의해 광선의 입사각을 변화시킴으로써 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 제2다각형미러,

   상기 제1다각형미러에서 반사되어 스캔되는 광선을 반사하여, 스캔되는 광선의 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 제1면에 수직으로 조사하는, 길이방향으로 곡률을 갖는 선형의 제1 원통형 거울,

   상기 제2다각형미러에서 반사되어 스캔되는 광선을 반사하여, 스캔되는 광선의 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 제2면에 수직으로 조사하는, 길이방향으로 곡률을 갖는 선형의 제2 원통형 거울로 구성되는 노광기용 스캔형 광학계.
5. 청구항 4에서, 상기 광원에서 나오는 광선 중에서 특정 파장의 광성분을 필터링하는 콜드미러와, 콜드미러에서 필터링된 광선을 평행광선으로 변환하는 평행광학계가 광원과 광분기 수단에 추가로 포함되는 노광기용 스캔형 광학계.
6. 청구항 4 또는 5에서, 상기 광분기 수단은 입사되는 광선을 일방향으로 반사시키는 제1반사면과, 입사되는 광선을 다른 방향으로 반사시키는 제2반사면이 직각으로 형성된 삼각 반사경인 것을 특징으로 하는 노광기용 스캔형 광학계.
7. 청구항 4 또는 5에서, 상기 제1, 제2다각형미러의 반사면은 6~30개인 것을 특징으로 하는 노광기용 스캔형 광학계.
8. 광원,

   상기 광원에서 나오는 광선을 두 개의 광로로 분기하는 광분기 수단,

   상기 광분기 수단에서 분기된 제1의 광선을 반사하여 광로를 변경하는 제1 광로변경 수단,

   상기 광분기 수단에서 분기된 제2의 광선을 반사하여 광로를 변경하는 제2 광로변경 수단,

   상기 제1광로변경 수단에서 반사된 제1의 광선 및 상기 제2광로변경 수단에서 반사된 제2의 광선을 반사시키는 미러로서, 회전하는 반사면에 의해 상기 제1, 제2광선의 입사각을 변화시킴으로써 각 반사광을 1차원으로 스캔하는 다수의 반사면을 원주상에 갖고 있는 회전식 다각형미러,

   상기 다각형미러에서 반사되어 스캔되는 제1광선을 반사하여, 스캔되는 광선의 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 제1면에 수직으로 조사하는, 길이방향으로 곡률을 갖는 선형의 제1 원통형 거울,

   상기 다각형미러에서 반사되어 스캔되는 제2광선을 반사하여, 스캔되는 광선의 스캔 방향과 직각으로 이송되는 기판의 제2면에 수직으로 조사하는, 길이방향으로 곡률을 갖는 선형의 제2 원통형 거울로 구성되는 노광기용 스캔형 광학계.
9. 청구항 8에서, 상기 광원에서 나오는 광선 중에서 특정 파장의 광성분을 필터링하는 콜드미러와, 콜드미러에서 필터링된 광선을 평행광선으로 변환하는 평행광학계가 광원과 광분기 수단에 추가로 포함되는 노광기용 스캔형 광학계.
10. 청구항 8 또는 9에서, 상기 광분기 수단은 입사되는 광선을 일방향으로 반사시키는 제1반사면과, 입사되는 광선을 다른 방향으로 반사시키는 제2반사면이 직각으로 형성된 삼각 반사경인 것을 특징으로 하는 노광기용 스캔형 광학계.
11. 청구항 8 또는 9에서, 상기 다각형미러의 반사면은 6~30개인 것을 특징으로 하는 노광기용 스캔형 광학계.
12. 노광할 기판을 컨베이어에 로드하는 로더,

    컨베이어에 로드된 기판의 상하면에 포토마스크를 밀착하여 이송하는 이송기,

    이송되는 기판의 양면에 자외선을 수직 조사하여 노광하는 청구항 4 또는 8의 스캔형 광학계,

    노광이 끝난 기판에서 포토마스크를 분리하여 언로드하는 언로더로 구성되는 기판 노광장치.