KR100375409B1 - 레지스트 도포장치 - Google Patents

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KR100375409B1
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박호남
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

본 발명은 포토 레지스트 토출 펌프와 토출조건의 조정에 필요한 밸브를 토출 마지막 노즐단에 일체형으로 설치함으로써 도포되는 포토 레지스트의 양과 조건을 일정하게 유지시켜줄 수 있도록 한 레지스트 도포장치를 제공한다.
이러한 본 발명은 토출 펌프와 차단/역류방지 밸브를 일체형으로 구성하여 토출 가장 마지막 노즐단에 설치하되; 상기 토출 펌프에는 그 내측에 벨로우즈를 갖는 벨로우즈부, 상기 벨로우즈부에 연이어 포토 레지스트의 토출 및 흡입을 위한 포토 레지스트 토출 및 흡입용 에어실을 갖는 실린더부가 구비됨과 더불어 상기 포토 레지스트 토출용 에어실에의 에어 양을 조절하여 포토 레지스트 토출량을 조절하는 포토 레지스트 토출량 조절기가 구비되며; 상기 차단/역류방지 밸브는 긴 통형으로 그 일측에 상기 토출 펌프의 벨로우즈부가 일체로 접속되며, 역류방지용 에어실과 상기 역류방지용 에어실 하측에 포토 레지스트 차단용 에어실을 차례로 갖는 역류방지용 실린더 및 상기 역류방지용 에어실의 에어 양을 조절하여 역류량을 조절하는 역류량 조절기가 구비됨에 의해 달성될 수 있다.

Description

레지스트 도포장치{PHOTO RESIST DOPING SYSTEM}
본 발명은 포토 레지스트를 웨이퍼 등에 도포하는 레지스트 도포장치에 관한 것으로, 특히 포토 레지스트 토출 펌프와 밸브를 토출 마지막 노즐단에 일체형으로 설치함으로써 도포되는 포토 레지스트의 양과 조건을 일정하게 유지시켜줄 수 있도록 하는 레지스트 도포장치에 관한 것이다.
반도체 제조프로세스에 있어서의 포토 레지스트 처리공정에서는 반도체 웨이퍼 등의 피처리기판의 표면에 포토 레지스트를 도포하여 레지스트 막을 형성하고,소정 패턴으로 노광한 후에 현상액으로 현상처리하고 있다.
이중 포토 레지스트의 도포는 도 1에 도시한 바와 같이, 포토 레지스트가 들어있는 포토 레지스트 용기(1)로부터 포토 레지스트를 토출해주는 토출 펌프(2)와, 상기 토출 펌프(2)를 통해 상기 포토 레지스트 용기(1)로부터 토출되는 포토 레지스트 중의 불순물을 제거하기 위한 케미컬 필터(3)와, 상기 케미컬 필터(3)를 통해 공급되는 포토 레지스트를 노즐(5)을 통해 웨이퍼(6)에 공급시 포토 레지스트의 차단(Cut-off) 및 역류(Suck-back)를 방지하기 위한 차단/역류방지 밸브(4)로 구성된 레지스트 도포장치에 의해 행해지고 있다.
그러나 종래의 레지스트 도포장치에 있어서 포토 레지스트 토출까지의 배관구성은 토출 펌프와 노즐까지의 거리가 이격되어 있으며, 그 중간에 케미컬 필터와 밸브가 있어 사용시간이 경과할수록 각 파트 및 라인 내에서의 압변동을 가져와 토출 조건이 변화함에 따라 도포되는 포토 레지스트의 양과 조건을 일정하게 유지시키기 어려운 단점이 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 포토 레지스트 토출시 토출되는 포토 레지스트의 양을 결정해주는 토출 펌프와 토출 조건의 조정에 필요한 밸브를 토출 가장 마지막 노즐단에 일체형으로 설치함에 따라 포토 레지스트 토출 양 및 토출 조건을 안정화시킬 수 있도록 한 레지스트 도포장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 레지스트 도포장치의 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 레지스트 도포장치의 구성도.
도 3은 도 2의 토출 펌프 및 차단/역류방지 밸브의 상세 구성도 이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
11 : 포토 레지스트 용기 12 : 케미컬 필터
13 : 토출 펌프 14 : 차단/역류방지 밸브
15 : 노즐 16 : 웨이퍼
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 포토 레지스트 용기로부터 토출된 포토 레지스트를 배관을 통해 노즐에 공급하여 웨이퍼 상에 포토 레지스트를 도포하도록 구성된 레지스트 도포장치에 있어서, 상기 포토 레지스트 용기로부터 포토 레지스트를 토출하기 위한 토출 펌프와 포토 레지스트의 차단 및 역류방지를 위한 차단/역류방지 밸브를 일체형으로 구성하여 토출 가장 마지막 노즐단에 설치하되; 상기 토출 펌프에는 그 내측에 벨로우즈를 갖는 벨로우즈부, 상기 벨로우즈부에 연이어 포토 레지스트의 토출 및 흡입을 위한 포토 레지스트 토출 및 흡입용 에어실을 갖는 실린더부가 구비됨과 더불어 상기 포토 레지스트 토출용 에어실에의 에어 양을 조절하여 포토 레지스트 토출량을 조절하는 포토 레지스트 토출량 조절기가 구비되며; 상기 차단/역류방지 밸브는 긴 통형으로 그 일측에 상기 토출 펌프의 벨로우즈부가 일체로 접속되며, 역류방지용 에어실과 상기 역류방지용 에어실 하측에 포토 레지스트 차단용 에어실을 차례로 갖는 역류방지용 실린더 및 상기 역류방지용 에어실의 에어 양을 조절하여 역류량을 조절하는 역류량 조절기가 구비됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 실명한다.도 2는 본 발명에 따른 레지스트 도포장치의 구성을 도시한 것으로, 포토 레지스트 토출시 토출되는 포토 레지스트의 양을 결정해주는 토출 펌프(13) 및 토출 조건의 조정에 필요한 차단/역류방지 밸브(14)가 토출 가장 마지막 노즐(15) 단에 설치되어 있음을 보여주고 있으며, 상기 토출 펌프(13)는 포토 레지스트 배관(18)을 통해 케미컬 필터(12)에 연결되며, 케미컬 필터(12)는 포토 레지스트 배관(18)을 통해 포토 레지스트 용기(11)에 연결됨을 보여주고 있다.
이때, 상기 포토 레지스트 용기(11)와 케미컬 필터(12)는 웨이퍼(16)에 포토 레지스트를 코팅하기 위한 코터 스핀 유니트(Coater Spin Unit) 하부에 위치되고, 일체형으로 구성된 토출 펌프(13)와 차단/역류방지 밸브(14)는 코터 스핀 유니트 상부에 위치하며, 또한 상기 일체형으로 구성된 토출 펌프(13)와 차단/역류방지 밸브(14)는 기존 배관구성에 있어서 노즐 구동 암의 위치에 장착되며, 미설명 부호인 (17)은 코터 컵(Coater cup)이다.
도 3은 상기 토출 펌프(13)와 차단/역류방지 밸브(14)의 상세한 구성을 도시한 것으로, 토출 펌프(13)는 벨로우즈(Bellows) 타입으로 크게 그 내측에 벨로우즈(131a)를 갖는 벨로우즈부(131)와 실린더부(132)로 구성되며, 상기 실린더부(132)는 포토 레지스트의 토출 및 흡입을 위한 포토 레지스트 토출 및 흡입용 에어실(133),(134)을 구비한다.
그리고 상기 실린더부(132)에는 상기 포토 레지스트 토출용 에어실(133)에의 에어 양을 조절하여 포토 레지스트 토출량을 조절하게 되는 포토 레지스트 토출량 조절기(135)가 구비된다.
상기 차단/역류방지 밸브(14)는 긴 통형으로 그 일측에 상기 토출 펌프(13)의 벨로우즈부(131)가 일체로 접속되며, 역류방지용 에어실(142)과 상기 역류방지용 에어실(142) 하측에 포토 레지스트 차단용 에어실(141)을 차례로 갖는 역류방지용 실린더(143) 및 상기 역류방지용 에어실(142)의 에어 양을 조절하여 역류량을 조절하는 역류량 조절기(144)를 구비한다.또한, 상기 차단/역류방지 밸브(14)는 그 하측 내부에 다이어프램(Diaphragm)(154)이 구비된다.
상기와 같이 구성된 본 발명은 토출 펌프(13)와 차단/역류방지 밸브(14)의 일체형을 사용하여 코터 스핀 유니트의 상단에서 토출하므로 상기 차단/역류방지 밸브(14)가 노즐의 역할까지 하게 된다.
그리고 토출 펌프(13)는 벨로우즈(131a)로 작동되며, 노즐의 역할을 겸하게 되는 차단/역류방지 밸브(14)는 에어 구동형으로 포토 레지스트 토출 후, 포토 레지스트의 차단과 역류방지 기능을 행하게 되는 것으로, 포토 레지스트 토출용 에어실(133) 및 포토 레지스트 차단용 에어실(141)에 에어를 투입하여 벨로우즈부(131)의 벨로우즈(131a)를 수축시키고, 역류방지용 에어실(142)에 에어를 투입하여 다이어프램(145)을 열어, 토출 펌프(13)의 벨로우즈부(131) 일측에 마련된 포토 레지스트 입력구(P.R IN)로부터 벨로우즈부(131) 타측에 마련된 포토 레지스트 출력구(P.R)를 통해 차단/역류방지 밸브(14)로 입력되는 포토 레지스트가 노즐(15)을 통해 토출될 수 있도록 한다.
그후, 상기 포토 레지스트 토출용 에어실(133) 및 포토 레지스트 차단용 에어실(141)에의 에어 투입을 차단하여 포토 레지스트의 토출을 차단하고, 포토 레지스트 흡입용 에어실(134)에 에어를 투입하여 벨로우즈(131a)를 확장시켜 토출 펌프(13) 내에 포토 레지스트를 공급한다.
그리고 역류 방지용 에어실(142)에 투입중이던 에어를 차단(배기)시켜 다이어프램(145)이 원래의 위치로 복귀토록 하여 역류를 차단한다.
이상의 본 발명은 상기 기술된 실시 예에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 포토 레지스트 토출 펌프 및 토출 조건 조정에 필요한 밸브를 일체형으로 토출 가장 마지막 노즐단에 설치함으로써 토출 양의 변화를 없앨 수 있으며, 이에 따라 균일한 도포가 가능하게 되며, 일정량의 포토 레지스트의 도포가 가능하게 되므로 포토 레지스트의 소모를 줄일 수 있게 된다.

Claims (4)

  1. 포토 레지스트 용기로부터 토출된 포토 레지스트를 배관을 통해 노즐에 공급하여 웨이퍼 상에 포토 레지스트를 도포하도록 구성된 레지스트 도포장치에 있어서,
    상기 포토 레지스트 용기로부터 포토 레지스트를 토출하기 위한 토출 펌프와 포토 레지스트의 차단 및 역류방지를 위한 차단/역류방지 밸브를 일체형으로 구성하여 토출 가장 마지막 노즐단에 설치하되; 상기 토출 펌프에는 그 내측에 벨로우즈를 갖는 벨로우즈부, 상기 벨로우즈부에 연이어 포토 레지스트의 토출 및 흡입을 위한 포토 레지스트 토출 및 흡입용 에어실을 갖는 실린더부가 구비됨과 더불어 상기 포토 레지스트 토출용 에어실에의 에어 양을 조절하여 포토 레지스트 토출량을 조절하는 포토 레지스트 토출량 조절기가 구비되며; 상기 차단/역류방지 밸브는 긴 통형으로 그 일측에 상기 토출 펌프의 벨로우즈부가 일체로 접속되며, 역류방지용 에어실과 상기 역류방지용 에어실 하측에 포토 레지스트 차단용 에어실을 차례로 갖는 역류방지용 실린더 및 상기 역류방지용 에어실의 에어 양을 조절하여 역류량을 조절하는 역류량 조절기가 구비됨을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 토출 펌프와 차단/역류방지 밸브는 통상의 노즐 구동 암의 위치에 장착됨을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19980079831A (ko) * 1997-03-03 1998-11-25 히가시 데쓰로 도포장치 및 도포방법
KR20000056254A (ko) * 1999-02-18 2000-09-15 조현기 반도체 소자의 포터레지스터 디스팬싱장치

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