KR100351956B1 - Network analyzer, network analytical method and recording medium - Google Patents
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Abstract
네트워크 분석기는, 피계측물(20)의 S파라미터를 측정하기 위한 생데이타 측정부(13), 피계측물(20)의 측정시에 발생하는 측정계 오차요인을 얻기 위한 측정계 오차요인 측정부(14), 임피던스와 S파라미터로부터의 측정계 오차요인을 제거함으로써 얻은 측정계 오차요인제거 데이타 사이의 관계를 나타내는 파라미터 변환요인을 얻기 위한 파라미터 변환요인 계산부(15), 상기 측정계 오차요인과 사이 파라미터 변환요인을 조합함으로써 확장된 오차요인을 얻기 위한 확장된 오차요인 계산부(17), 및 S 파라미터 및 확장된 오차요인로부터의 임피던스를 얻기 위한 피계측물의 계산부(18)를 포함하고 있다. 따라서, 고정구에 대한 필요성이 제거되고, 또한 미리 확장된 오차요인을 얻는다. 그러므로, 네트워크 분석기의 오퍼레이션은 간단해질 수 있고, 계산 속도는 증가될 수 있다.The network analyzer includes a raw data measuring unit 13 for measuring the S parameter of the measured object 20, and a measurement system error factor measuring unit 14 for obtaining measurement system error factors generated during measurement of the measured object 20. ), A parameter conversion factor calculation unit 15 for obtaining a parameter conversion factor representing the relationship between the impedance and the measurement error removal data obtained by removing the measurement error error from the S-parameter, and the parameter conversion factor between the measurement error and the measurement error. And an expanded error factor calculation unit 17 for obtaining an extended error factor by combining, and a calculation unit 18 for measuring an object for obtaining impedance from the S parameter and the extended error factor. Thus, the need for fasteners is eliminated, and also a pre-expanded error factor is obtained. Therefore, the operation of the network analyzer can be simplified, and the calculation speed can be increased.
Description
본 발명은 피계측물의 회로 파라미터를 계산하고 측정하는 네트워크 분석기에 관한 것이다.The present invention relates to a network analyzer for calculating and measuring circuit parameters of an object to be measured.
종래, 피계측물(Device Under Test)의 각종 회로 파라미터, 예컨대 임의의 규격화 임피던스의 S 파라미터, 정합회로가 부가되어 있는 S 파라미터, 및 회로 임피던스 등을 계산하기 위한 두 가지 방법이 실시되었다.2. Description of the Related Art Conventionally, two methods for calculating various circuit parameters of a device under test, such as an S parameter of an arbitrary standardized impedance, an S parameter to which a matching circuit is added, and a circuit impedance, have been implemented.
제1 방법은, 피계측물에 고정구가 연결되어 원하는 회로 파라미터를 직접 측정하도록 한다. 도10은, 고정구가 연결되어 있는 피계측물의 시스템 구성을 보여준다. 도10에서 보여주는 제1방법에서, 상기 고정구(120)를 피계측물(100)에 연결하고, 상기 고정구(120)과 함께 피계측물(100)을 네트워크 분석기(200)를 사용하여 측정한다.In a first method, a fixture is connected to an object to measure the desired circuit parameters directly. Fig. 10 shows the system configuration of the measured object to which the fixture is connected. In the first method shown in FIG. 10, the fixture 120 is connected to the measurement object 100, and the measurement object 100 is measured using the network analyzer 200 together with the fixture 120.
상기 경우에서, 피계측물(100)의 회로 파라미터는 상기 고정구(120)에 의하여 변한다. 그러므로,주어진 조건 하에서 회로 파라미터를 얻기 위해서, 상기 측정은, 주어진 조건을 만족하고 피계측물(100)과 같은 장치에 연결되어 있는 조립 고정구에 의해 수행된다. 예컨대, 열 종류의 조건에 대한 회로 파라미터를 얻어야 할때, 열개의 고정구(120)가 조립될 것이고, 그런 뒤 피계측물(100)에 각각의 고정구를 연결함으로써 총 열번의 측정이 수행될 것이다.In this case, the circuit parameters of the measurement object 100 are changed by the fixture 120. Therefore, in order to obtain circuit parameters under a given condition, the measurement is performed by an assembly fixture which satisfies a given condition and is connected to a device such as the measurement object 100. For example, when it is necessary to obtain circuit parameters for a thermal kind of condition, ten fixtures 120 will be assembled, and then a total of ten measurements will be performed by connecting each fixture to the measurement object 100.
제2 방법은 다음과 같이 수행될 것이다: 피계측물의 생데이타(예컨대, S파라미터)가 우선 측정될 것이다. 그런 뒤, 상기 측정된 생데이타는, 원하는 회로 파라미터와 생데이타 사이의 관계식에 대입되어 그에 의해 원하는 회로 파라미터를 얻게 될 것이다.The second method will be performed as follows: The raw data (eg S parameter) of the measurement object will be measured first. The measured raw data will then be substituted into the relationship between the desired circuit parameters and the raw data to thereby obtain the desired circuit parameters.
제2 방법은, 예로서 피계측물의 임피던스를 측정함으로써 하기에 설명될 것이다. 우선, 상기 임피던스 Z는 도11의 수식으로 표현되고, Ed는 주로 브리지의 지향성으로 인한 오차이고 Er은 주로 주파수 추적으로 인한 오차가며 Es는 소스 정합으로 인한 오차이다.The second method will be described below by measuring the impedance of the object to be measured, for example. First, the impedance Z is represented by the equation of FIG. 11, Ed is mainly due to the directivity of the bridge, Er is mainly due to the frequency tracking, and Es is due to source matching.
도11의 수식이 신호 흐름 그래프에 의해 나타나질 때, 도12를 얻게된다. S11은 측정된 생데이타를 나타낸다. 이를 도11의 수식에 대입함으로써 상기 임피던스 Z를 얻을 수 있다.When the equation of Fig. 11 is represented by the signal flow graph, Fig. 12 is obtained. S11 represents the measured raw data. The impedance Z can be obtained by substituting this into the equation of FIG.
원칙적으로 고정구를 조립하는 것이 어려울 때, 제2 방법이 효과적으로 사용될 수 있다. 도12에서 보여주는 경우에서 예컨대, 만약 우변의 중심부를 고정구로서 조립할 수 있다면, 상기 임피던스가 측정될 것이다. 그렇지만, 원칙적으로 이런 고정구를 조립하는 것은 불가능하다. 그러므로 제2 방법이 상기 임피던스를 얻기 위해 사용된다.In principle, when it is difficult to assemble the fixture, the second method can be used effectively. In the case shown in Fig. 12, for example, if the center of the right side can be assembled as a fixture, the impedance will be measured. However, in principle it is not possible to assemble such a fixture. Therefore a second method is used to obtain the impedance.
제1 방법은 하기 단점이 있다. 우선, 다양한 고정구를 조립하는 것이어렵고, 또한 여러번 측정을 반복하는 것이 어렵다. 또한 이상적인 특징을 갖는 고정구를 조립하는 것이 어렵다. 또, 동일한 목적으로 다수의 고정구를 조립할 때, 균일한 특징을 갖는 고정구를 조립하는 것이 어렵다. 더욱이 측정된 회로 파라미터에 따라 고정구의 조립이 원칙적으로 불가능한 경우가 있다.The first method has the following disadvantages. First, it is difficult to assemble various fixtures, and it is difficult to repeat the measurement several times. It is also difficult to assemble a fixture with ideal features. In addition, when assembling a plurality of fasteners for the same purpose, it is difficult to assemble fasteners having uniform characteristics. Moreover, depending on the measured circuit parameters, the assembly of the fixture may not be possible in principle.
반면에, 제2방법은 고정구의 조립에 관련된 전술한 문제를 해결하는 것이 비교적 쉽다. 그렇지만, 계산하는데 오랜시간이 걸리고, 이는 요구되는 총 측정시간이 연장된다.On the other hand, the second method is relatively easy to solve the above-mentioned problems related to the assembly of the fixture. However, the calculation takes a long time, which extends the total measurement time required.
따라서, 본 발명의 목적은 피계측물의 다양한 회로 파라미터를 간단하게 얻을 수 있는 네트워크 분석기를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a network analyzer which can easily obtain various circuit parameters of an object to be measured.
도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 네트워크 분석기(1)의 구조를 보여주는 블록도이다.1 is a block diagram showing the structure of a network analyzer 1 according to a first embodiment of the present invention.
도2는 S 파라미터를 측정하기 위한 측정부(12)의 구조를 보여주기 위한 회로도이다.2 is a circuit diagram showing the structure of the measuring unit 12 for measuring the S parameter.
도3은 네트워크 분석기(1)에서의 오퍼레이션 과정을 보여주는 흐름도이다.3 is a flowchart showing an operation process in the network analyzer 1.
도4는 피계측물(20)의 등가 변환을 주는 신호 흐름 그래프이다.4 is a signal flow graph giving an equivalent transformation of the measured object 20.
도5는 측정계 오차요인로서 Ed, Er, 및 Es를 측정하기 위한 방법을 보여주는 선도이다.5 is a diagram showing a method for measuring Ed, Er, and Es as measurement system error factors.
도6은 파라미터 변환을 한 후, 입력 및 출력에 의한 파라미터 변환을 하기 전의 입력 및 출력을 표현하는 방법의 설명도이다.6 is an explanatory diagram of a method of expressing inputs and outputs after parameter conversion and before parameter conversion by input and output.
도7은 제2 실시예에 따른 네트워크 분석기(1)의 구조를 보여주는 블록도이다.7 is a block diagram showing the structure of the network analyzer 1 according to the second embodiment.
도8은 네트워크 분석기(1)의 구조를 보여주는 흐름도이다.8 is a flowchart showing the structure of the network analyzer 1.
도9는 피계측물(20)의 등가 변환을 주는 신호 흐름 그래프이다.9 is a signal flow graph giving an equivalent conversion of the measured object 20.
도10은 피계측물에 부착되어 있는 고정구를 갖는, 회로 파라미터를 계산하기위해 사용되는 종래의 배열을 보여주는 블록도이다.10 is a block diagram showing a conventional arrangement used to calculate circuit parameters, with fixtures attached to the measurement object.
도11은 임피던스 Z를 얻기 위한 수식이다.11 is a formula for obtaining impedance Z.
도12는 상기 임피던스 Z를 얻기 위한 수식의 신호 흐름 그래프의 표현이다.Fig. 12 is a representation of a signal flow graph of a formula for obtaining the impedance Z.
청구항1에 기재된 본 발명에 따르면, 피계측물의 회로 파라미터를 계산하기 위한 네트워크 분석기는, 피계측물의 생데이타를 측정하기 위한 생데이타 측정수단; 피계측물의 측정시에 발생하는 측정계 오차요인을 얻기 위한 측정계 오차요인 측정수단; 회로 파라미터와 생데이타로부터의 측정계 오차요인을 제거함으로써 얻은 측정계 오차요인제거 데이타 사이의 관계를 표시하는 파라미터 변환요인을 얻기 위한 파라미터 변환요인 계산수단; 생데이타 및 측정계 오차요인로부터 측정계 오차요인제거 데이타를 얻기 위한 참값 생데이타 계산수단; 및 측정계 오차요인제거 데이타 및 파라미터 변환요인로부터 회로 파라미터를 얻기 위한 피계측물 계산수단을 포함한다.According to the present invention as set forth in claim 1, the network analyzer for calculating the circuit parameters of the measured object includes: raw data measuring means for measuring raw data of the measured object; Measurement system error factors measuring means for obtaining measurement system error factors occurring when the measurement object is measured; Parameter conversion factor calculation means for obtaining a parameter conversion factor indicating a relationship between the measurement parameter error factor removal data obtained by removing the measurement parameter error factor from the raw data; True value raw data calculation means for obtaining measurement system error factor removal data from raw data and measurement system error factors; And a measure calculation means for obtaining circuit parameters from the measurement system error factor removal data and parameter conversion factors.
여기서 사용된 용어인 "생데이타"는 네트워크 분석기에 의해 직접 측정되는데이타이다. 생데이타의 예로서 S 파라미터가 있다. 측정계에서 발생하는 오차의 요인에는 브리지의 지향성에 기인한 오차, 주파수 추적에 기인한 오차, 및 소스 정합에 기인한 오차가 포함된다. 회로 파라미터의 예에 임피던스가 있다. 파라미터 변환요인의 예에는 S 파라미터와 상기 임피던스 사이의 관계가 있다.The term "raw data" as used herein is a data measured directly by a network analyzer. An example of raw data is the S parameter. Factors of error occurring in the measurement system include errors due to the directivity of the bridge, errors due to frequency tracking, and errors due to source matching. An example of a circuit parameter is impedance. An example of a parameter conversion factor is the relationship between the S parameter and the impedance.
본 발명에 따라, 생데이타, 측정계에서의 오차의 요인, 및 파라미터 변환의 요인로부터 회로 파라미터를 얻을 수 있다. 그러므로, 회로 파라미터가 피계측물에 연결될 때, 고정구를 조립하고 매번 고정구를 변형하여 측정을 반복하지 않고도 상기 회로 파라미터를 계산할 수 있다. 그러므로, 회로 파라미터를 간단하게 계산할 수 있다.According to the present invention, circuit parameters can be obtained from raw data, factors of error in the measurement system, and factors of parameter conversion. Therefore, when the circuit parameters are connected to the measurement object, the circuit parameters can be calculated without assembling the fixture and modifying the fixture each time without repeating the measurement. Therefore, the circuit parameters can be calculated simply.
청구항2에 기재된 본 발명은 청구항1에 따른 네트워크 분석기에서, 측정수단은 생데이타를 상기 측정계 오차요인제거 데이타로 처리한다.In the network analyzer according to claim 1 of the present invention, the measuring means processes the raw data into the measurement error elimination data.
측정계 오차요인을 무시할 수 있는 경우에, 피계측물의 생데이타를 측정계 오차요인제거 데이타로 처리할 수 있다.If the measurement error factors can be ignored, the raw data of the measurement object can be treated as measurement error removal data.
청구항3에 기재된 본 발명에 따르면, 피계측물의 회로 파라미터를 계산하기 위한 네트워크 분석기는, 피계측물의 생데이타를 측정하기 위한 생데이타 측정 수단; 피계측물의 측정시에 발생하는 측정계 오차요인을 얻기 위한 측정계 오차요인 측정수단; 회로 파라미터와 생데이타로부터의 측정계 오차요인을 제거함으로써 얻은 측정계 오차요인제거 데이타 사이의 관계를 표시하는 파라미터 변환의 요인을 얻기 위한 파라미터 변환요인 계산수단; 상기 측정계 오차요인와 상기 파라미터 변환요인을 조합함으로써 확장된 오차요인을 얻기 위한 확장된 오차요인 계산수단;및 상기 생데이타로부터의 회로 파라미터와 상기 확장된 오차요인을 얻기 위한 피계측물 계산수단을 포함한다.According to the present invention as set forth in claim 3, the network analyzer for calculating the circuit parameters of the measured object includes: raw data measuring means for measuring raw data of the measured object; Measurement system error factors measuring means for obtaining measurement system error factors occurring when the measurement object is measured; Parameter conversion factor calculating means for obtaining a factor of parameter conversion indicating a relationship between the measurement parameter error factor removal data obtained by removing the measurement parameter error factor from the raw data; Expanded error factor calculation means for obtaining an extended error factor by combining the measurement system error factor and the parameter conversion factor; and measurement means calculation means for obtaining circuit parameters and the extended error factor from the raw data; .
본 발명에 따라, 생데이타, 측정계의 오차요인, 및 파라미터 변환의 요인로부터 회로 파라미터를 얻을 수 있다. 그러므로, 고정구가 피계측물에 연결될 때, 상기 회로 파라미터는 고정구를 조립하고, 매번 고정구를 변형하여 측정을 반복하지 않고도 상기 회로 파라미터를 계산할 수 있다. 그러므로, 회로 파라미터를 간단하게 계산할 수 있다.According to the present invention, circuit parameters can be obtained from raw data, error factors of the measurement system, and factors of parameter conversion. Therefore, when the fixture is connected to the measurement object, the circuit parameters can be calculated without assembling the fixture and deforming the fixture each time to repeat the measurement. Therefore, the circuit parameters can be calculated simply.
또한, 상기 오차요인 계산수단은, 측정계에서 발생하는 오차요인와 파라미터 변환의 요인을 미리 조합함으로써 상기 확장된 오차요인을 얻는다. 그러므로, 계산속도가 향상될 수 있다.Further, the error factor calculating means obtains the extended error factor by combining in advance the error factor generated in the measurement system and the factor of parameter conversion. Therefore, the calculation speed can be improved.
청구항4에 기재된 본 발명에 따르면, 청구항1 내지 3중 어느 하나에 따른 네트워크 분석기는, 파라미터 변환요인을 기록하기 위한 파라미터 요인 기록수단을 더 포함한다.According to the invention described in claim 4, the network analyzer according to any one of claims 1 to 3 further includes parameter factor recording means for recording parameter conversion factors.
청구항5에 기재된 본 발명은, 청구항1 내지 3중 어느 하나에 따른 네트워크 분석기에서, 상기 회로 파라미터는 임피던스이다.In the present invention according to claim 5, in the network analyzer according to any one of claims 1 to 3, the circuit parameter is an impedance.
청구항6에 기재된 본 발명은, 청구항1 내지 3중 어느 하나에 따른 네트워크 분석기에서, 상기 회로 파라미터는 임의의 규격화 임피던스로서 S파라미터이다.In the present invention according to claim 6, in the network analyzer according to any one of claims 1 to 3, the circuit parameter is an S parameter as an arbitrary normalized impedance.
청구항7에 기재된 본 발명은 청구항1 내지 3중 어느 하나에 따른 네트워크 분석기에서, 상기 회로 파라미터는 정합 회로가 부가될 때의 S파라미터이다.In the network analyzer according to any one of claims 1 to 3, the circuit parameter is an S parameter when a matching circuit is added.
청구항8에 기재된 본 발명은 청구항1 내지 3중 어느 하나에 따른 네트워크분석기에서, 상기 회로 파라미터는 회로 어드미턴스이다.In the network analyzer according to any one of claims 1 to 3, the circuit parameter is a circuit admittance.
청구항9에 기재된 본 발명에 따르면, 피계측물의 회로 파라미터를 계산하는 네트워크 분석방법은, 피계측물의 생데이타를 측정하기 위한 생데이타 측정단계, 피계측물의 측정시에 발생하는 측정계 오차요인을 얻기 위한 측정계 오차요인 측정단계; 생데이타 및 측정계 오차요인로부터 측정계 오차요인제거 데이타를 얻기 위한 참값 생데이타 계산수단; 및 상기 측정계 오차요인 및 상기 파라미터 변환요인로부터 회로 파라미터를 얻기 위한 피계측물의 계산단계를 포함한다.According to the present invention as set forth in claim 9, the network analysis method for calculating a circuit parameter of an object includes: a raw data measurement step for measuring raw data of an object to be measured, and a measurement system error factor generated during measurement of an object to be measured. Measuring system error factor measuring step; True value raw data calculation means for obtaining measurement system error factor removal data from raw data and measurement system error factors; And calculating a measurement object for obtaining a circuit parameter from the measurement system error factor and the parameter conversion factor.
청구항10에 기재된 본 발명에 따르면, 피계측물의 회로 파라미터를 계산하는 네트워크 분석 방법은, 피계측물의 생데이타를 측정하기 위한 생데이타 측정단계; 피계측물의 측정시에 발생하는 측정계 오차요인을 얻기 위한 측정계 오차요인 측정단계; 상기 회로 파라미터와 생데이타로부터 상기 측정계 오차요인을 제거함으로써 얻은 측정계 오차요인제거 데이타 사이의 관계를 표시하는 파라미터 변환의 요인을 얻기 위한 파라미터 변환의 요인을 얻기 위한 파라미터 변환요인 계산단계; 상기 측정계 오차요인와 파라미터 변환요인을 조합함으로써 확장된 오차요인을 얻기 위한 확장된 오차요인 계산단계; 및 상기 생데이타 및 확장된 오차요인로부터 회로 파라미터를 얻기 위한 피계측물의 계산단계를 포함한다.According to the present invention as set forth in claim 10, the network analysis method for calculating the circuit parameters of the measured object comprises: a raw data measuring step for measuring raw data of the measured object; A measuring system error factor measuring step for obtaining a measuring system error factor generated when the measured object is measured; A parameter conversion factor calculation step of obtaining a factor of parameter conversion for obtaining a factor of parameter conversion indicating a relationship between the measurement parameter error factor removal data obtained by removing the measurement error error factor from the circuit parameters and raw data; An extended error factor calculation step of obtaining an extended error factor by combining the measurement error factor and the parameter conversion factor; And calculating a measurement object for obtaining a circuit parameter from the raw data and the extended error factor.
청구항11에 기재된 본 발명에 따르면, 피계측물의 회로 파라미터를 계산하는 네트워크 분석 방법을 컴퓨터에 의해 수행하기 위한 지시 프로그램을 내장한 컴퓨터 판독가능한 매체는, 피계측물의 생데이타를 측정하기 위한 생데이타 측정처리; 피계측물의 측정시에 발생하는 측정계 오차요인을 얻기 위한 측정계 오차요인측정처리; 상기 회로 파라미터와, 상기 생데이타로부터 측정계 오차요인을 제거함으로써 얻은 측정계 오차요인제거 데이타 사이의 관계를 나타내는 파라미터 변환의 요인을 얻기 위한 파라미터 변환 계산처리; 생데이타 및 측정계 오차요인로부터 측정계 오차요인제거 데이타를 얻기 위한 참값 생데이타 계산처리; 및 상기 측정계 오차요인제거 데이타 및 상기 파라미터 변환요인로부터 회로 파라미터를 얻기 위한 피계측물 계산처리를 포함한다.According to the present invention as set forth in claim 11, a computer-readable medium incorporating an instruction program for performing, by a computer, a network analysis method for calculating a circuit parameter of an object to be measured includes: measuring raw data for measuring raw data of the object to be measured process; Measurement system error factor measurement processing for obtaining measurement system error factors occurring during measurement of the measured object; A parameter conversion calculation process for obtaining a factor of parameter conversion indicating a relationship between the circuit parameter and measurement system error factor removal data obtained by removing measurement system error factors from the raw data; True value raw data calculation processing to obtain measurement error removal data from raw data and measurement error; And measurement object calculation processing for obtaining circuit parameters from the measurement system error factor removal data and the parameter conversion factor.
청구항12에 기재된 본 발명에 따르면, 피계측물의 회로 파라미터를 계산하는 네트워크 분석 방법을 컴퓨터에 의해 수행하기 위한 지시 프로그램을 내장한 컴퓨터 판독가능한 매체는, 피계측물의 생데이타를 측정하기 위한 생데이타 측정처리; 피계측물의 측정시에 발생하는 측정계 오차요인을 얻기 위한 측정계 오차요인 측정처리; 상기 회로 파라미터와, 상기 생데이타로부터 측정계 오차요인을 제거함으로써 얻은 측정계 오차요인제거 데이타 사이의 관계를 나타내는 파라미터 변환의 요인을 얻기 위한 파라미터 변환 계산처리; 상기 측정계 오차요인와 파라미터 변환요인을 조합함으로써 확장된 오차요인을 얻기 위한 확장된 오차요인 계산처리; 및 상기 생데이타 및 확장된 오차요인로부터 회로 파라미터를 얻기 위한 피계측물의 계산처리를 포함한다.According to the present invention as set forth in claim 12, a computer-readable medium incorporating an instruction program for performing a network analysis method for computing a circuit parameter of an object by a computer includes: measuring raw data for measuring raw data of the object process; Measurement system error factor measurement processing for obtaining measurement system error factors occurring during measurement of the measured object; A parameter conversion calculation process for obtaining a factor of parameter conversion indicating a relationship between the circuit parameter and measurement system error factor removal data obtained by removing measurement system error factors from the raw data; An extended error factor calculation process for obtaining an extended error factor by combining the measurement error factor and the parameter conversion factor; And calculation processing of the measured object for obtaining circuit parameters from the raw data and the extended error factor.
본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제1 실시예First embodiment
우선, 본 발명의 제1 실시예에 따른 네트워크 분석기(1)를 설명한다. 도1은 제1 실시예에 따른 네트워크 분석기(1)를 보여주는 블록도이다.First, the network analyzer 1 according to the first embodiment of the present invention will be described. 1 is a block diagram showing a network analyzer 1 according to a first embodiment.
상기 네트워크 분석기(1)는 측정부(12), 생데이타 측정부(13), 측정계 오차요인 측정부(14), 파라미터 변환요인 계산부(15), 참값 생데이타 계산부(16), 피계측물 계산부(18), 및 파라미터 변환요인 기록부(19)로 구성된다.The network analyzer 1 includes a measuring unit 12, a raw data measuring unit 13, a measuring system error factor measuring unit 14, a parameter conversion factor calculating unit 15, a true value raw data calculating unit 16, and measurement It is composed of a water calculation unit 18 and a parameter conversion factor recording unit 19.
상기 측정부(12)는 피계측물(20)에 연결되어 있고, 상기 피계측물(20)로부터 데이타를 얻는다. 상기 생데이타 측정부(13)는, 측정부에서 기인하여 생긴 오차를 포함하는 생데이타를 측정한다. 상기 측정계 오차요인 측정부(14)는, 측정부(12)에서 기인한 측정계 오차를 측정한다. 제1 실시예에서, 상기 생데이타는 S파라미터라고 가정하고, 상기 측정계 오차는 Ed: 브리지의 지향성에 기인하는 오차, Er: 주파수 추적에 기인하는 오차, 및 Es: 상기 소스 정합에 기인한 오차라고 가정한다.The measurement unit 12 is connected to the measurement object 20 and obtains data from the measurement object 20. The raw data measuring unit 13 measures raw data including an error caused by the measuring unit. The measuring system error factor measuring unit 14 measures the measuring system error caused by the measuring unit 12. In the first embodiment, it is assumed that the raw data is an S parameter, and the measurement system error is Ed: an error due to the directivity of the bridge, Er: an error due to frequency tracking, and Es: an error due to the source matching. Assume
S파라미터와 관련된 데이타를 얻기 위한 측정부(12)로서, 일본 공개 특허 제 99-38054에서 발표한 측정부가 사용되어도 된다. 거기에 발표되어 있는 구조는 도2에서 보여준다. 상기 신호 소스(12a)는 신호를 생성하고, 일반적으로 스위프 제너레이터가 이를 위해 사용된다. 상기 신호 수신부(12b 및 12d)는 믹서에서 생성된 신호를 수신하여 낮은 주파수의 신호로 변환하고, 아날로그에서 디지탈로(A/D) 변환된 신호를 갖으며, 직교로 검파된 신호를 갖어 상기 참값 R및 허값 X를 얻게 되면서 상기 신호는 하나의 복합값으로서 측정된다. 상기 신호 수신부(12c)는 상기 신호 소스(12a)로부터의 전송된 신호를 측정한다. 상기 세개의 수신부 (12b, 12c, 및 12d)는 동기화되어 상기 신호 소스(12a)로부터의 주파수 출력의 신호가 이에 의해 감파된다.As the measuring unit 12 for obtaining data related to the S parameter, the measuring unit disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 99-38054 may be used. The structure presented there is shown in FIG. The signal source 12a generates a signal and a swept generator is generally used for this. The signal receivers 12b and 12d receive a signal generated by a mixer and convert the signal into a low frequency signal, have an analog-to-digital (A / D) converted signal, and have a quadrature-detected signal to generate the true value. The signal is measured as one complex value, with R and imaginary values X being obtained. The signal receiver 12c measures the transmitted signal from the signal source 12a. The three receivers 12b, 12c, and 12d are synchronized so that the signal of the frequency output from the signal source 12a is thereby attenuated.
파워 스플리터(12e)는, RF 스위치(12f)를 통과한 피계측물로 공급되는 신호및 신호 수신부(12c)에 공급되는 다른 신호들 중 하나인 신호 소스(12a)로부터의 신호를 나누기 위한 회로이다. 상기 RF 스위치(12f)는 단자(12i)로부터 또는 단자(12j)로부터 신호 소스(12a)로부터의 출력신호를 출력한다. 상기 번호 (12g 및 12h)는, 단자(12i) 또는 단자(12j)로부터의 신호에 반응하도록 하는 브리지 또는 지향성의 커플러를 나타낸다.The power splitter 12e is a circuit for dividing a signal from the signal source 12a, which is one of a signal supplied to the measurement object passing through the RF switch 12f and another signal supplied to the signal receiver 12c. . The RF switch 12f outputs an output signal from the signal source 12a from the terminal 12i or from the terminal 12j. The numbers 12g and 12h denote bridges or directional couplers that allow them to respond to signals from terminal 12i or terminal 12j.
상기 참값 생데이타 계산부(16)는 측정계 오차요인제거 데이타를 얻는다. 제1 실시예에서, S 파라미터로부터 상기 측정계 오차 요인 Ed, Er, 및 Es를 제거함으로써, 상기 측정계 오차요인제거 데이타를 얻는다.The true raw data calculation unit 16 obtains measurement system error factor removal data. In the first embodiment, the measurement system error factor removal data is obtained by removing the measurement error factors Ed, Er, and Es from the S parameter.
상기 파라미터 변환요인 계산부(15)는, 상기 회로 파라미터와 측정계 오차요인제거 데이타 사이에 관계를 주는 파라미터 변환요인을 얻는다. 제1 실시예에서, 상기 임피던스 Z는 상기 회로 파라미터라고 가정한다. 따라서, 상기 파라미터 요인 계산부(15)는 상기 임피던스 Z와 S 파라미터(Es, Er, 및 이로부터 제거된 Es를 갖음) 사이의 관계를 계산한다.The parameter conversion factor calculation unit 15 obtains a parameter conversion factor giving a relationship between the circuit parameter and measurement system error factor removal data. In the first embodiment, it is assumed that the impedance Z is the circuit parameter. Thus, the parameter factor calculating section 15 calculates the relationship between the impedance Z and the S parameter (with Es, Er, and Es removed from it).
상기 피계측물 계산부(18)는 상기 측정계 오차요인제거 데이타 및 파라미터 변환요인로부터 회로 파라미터를 얻는다. 제1 실시예에서, 상기 임피던스 Z는, S 파라미터(Es, Er, 및 이로부터 제거된 Es를 갖음) 및 파라미터 변환요인로부터 얻어진다. 부수적으로, 상기 계산의 결과는 디스플레이 장치(도시 않됨)상에 나타난다.The measurement object calculator 18 obtains a circuit parameter from the measurement system error factor elimination data and parameter conversion factor. In the first embodiment, the impedance Z is obtained from the S parameter (with Es, Er, and Es removed from it) and the parameter conversion factor. Incidentally, the result of the calculation is shown on a display device (not shown).
상기 파라미터 변환요인 기록부(19)는 파라미터 변환요인의 계산에 사용하기 위한 데이타의 기록을 위한 것이다. 상기 파라미터 변환요인을 계산하기 위한 데이타는 파라미터 변환요인 기록부(19)에 입력될 수 있다. 일반적으로, 다양한 회로 파라미터의 상호변환을 위한 식(예컨대, S 파라미터와 임피던스 값들 사이의 변환을 위한 식)이 여기에 저장된다.The parameter conversion factor recording unit 19 is for recording data for use in the calculation of the parameter conversion factor. Data for calculating the parameter conversion factor may be input to the parameter conversion factor recording unit 19. In general, equations for interconversion of various circuit parameters (eg, equations for conversion between S parameter and impedance values) are stored here.
전술한 기능은 또한 프로그램 형태로 설치될 수 있다. 상기 프로그램은 플렉시브 디스크 또는 컴퓨터로 판독이 가능한 CD-ROM 상에 기록되어 하드 디스크(도시않됨)에 설치된 네트워크 분석기(1)의 매체 판독 장치(도시 않됨)에 의해 판독된다.The above functions can also be installed in the form of programs. The program is recorded on a flexible disk or a computer-readable CD-ROM and read by a medium reading device (not shown) of the network analyzer 1 installed on a hard disk (not shown).
이제 본 발명의 제1 실시예의 오퍼레이션을 설명할 것이다. 도3은 상기 네트워크 분석기(1)에 의해 수행되는 오퍼레이션의 과정을 보여주는 흐름도이다. 우선, 측정부(12)는 피계측물로부터 데이타를 얻는다. 상기 데이타로부터, 상기 생데이타 측정부(13)는 생데이타로서 S 파라미터(B/A)( 도4의 좌변에 속함)를 측정하고, 상기 측정계 오차요인 측정부(14)는 측정계 오차요인로서 Ed, Er, 및 Er을 측정한다(단계10).The operation of the first embodiment of the present invention will now be described. 3 is a flowchart showing the process of the operation performed by the network analyzer 1. First, the measuring unit 12 obtains data from the measured object. From the data, the raw data measuring unit 13 measures the S parameter (B / A) (belonging to the left side of Fig. 4) as raw data, and the measuring system error factor measuring unit 14 is Ed as a measuring system error factor. , Er, and Er are measured (step 10).
측정계 오차요인 Ed, Er, 및 Er을 측정하는 방법에 관하여, 일본 공개 특허 제 99-38054에 발표되어져 있다. 이것의 설명은 도5를 참고로 하여 이루어질 것이다. 도5(A)는 네트워크 분석기에서 피계측물의 굴절특성을 측정하기 위한 측정계를 보여준다. 신호 소스(12a)로부터의 신호는 피계측물(20)에 공급되고, 이로부터 굴절된 신호는 브리지(12g 및 12h)를 통하여 얻어지고, 상기 수신부(12b)에 의해 측정된다.Japanese Patent Laid-Open No. 99-38054 discloses a method for measuring the measurement error factors Ed, Er, and Er. Description of this will be made with reference to FIG. 5 (A) shows a measurement system for measuring the refractive characteristics of the measurement object in the network analyzer. The signal from the signal source 12a is supplied to the measurement object 20, and the signal refracted therefrom is obtained through the bridges 12g and 12h and measured by the receiver 12b.
도5(B)는 상기 경우에서 발생하는 측정계 오차 요인을 보여준다. 즉, 상기측정계 오차요인은 상기 측정계의 지향성, 주파수 추적, 및 소스정합에 의해 야기되는 오차이다. 피계측물(20) 상의 부수적인 신호 및 피계측물로부터의 굴절된 신호를 브리지(12g 및 12h)에 의해 분리하는 동안, 측정된 값 S11m은 앞방향으로의 누설 예컨대 누설 신호를 포함하며, 이것은 지향성 오차를 야기한다. 상기 주파수 추적 오차는 상기 측정계의 주파수 반응에 의한 것이다. 상기 신호 소스 측의 임피던스 및 상기 측정계 측의 임피던스가 정합되지 않을 때, 상기 피계측물(20)로부터의 굴절된 신호는 다시 상기 신호 소스(12a) 측으로부터 굴절되고 피계측물로 되돌아와 거기에서 재굴절된다. 상기 소스 정합 오차는 상기 재굴절에 의한 오차이다.Fig. 5B shows the measurement system error factor occurring in this case. That is, the measurement error factor is an error caused by the directivity, frequency tracking, and source matching of the measurement system. While separating the incidental signal on the measurement object 20 and the refracted signal from the measurement object by the bridges 12g and 12h, the measured value S11m includes a leakage forward, for example a leakage signal, which is Cause directivity error. The frequency tracking error is due to the frequency response of the measurement system. When the impedance of the signal source side and the impedance of the measurement instrument do not match, the refracted signal from the measurement object 20 is refracted from the signal source 12a side again and returns to the measurement object there Refraction. The source matching error is an error due to the refraction.
전술한 요인와 함께, 하나의 포트의 굴절 특성 측정에서의 오차 모델을 도5(C)에서 보여준다. 여기서, S11m은 측정된 값을 표시하고 S11a는 참값을 표시하며 Ed, Er, 및 Es는 오차요인을 나타낸다. 상기 오차 모델이 신호 흐름 그래프에 의해 해결되어 S11m(이에 대한 설명은 생략)을 얻을 때, 이것은 도5(D)에서 보여주는 것과 같이 표현할 수 있다. 만약 동일물이 변형되어 참값 S11a가 없어진다면, 도5(E)로 표현될 수 있다. 여기에서 미지의 Ed, Er, 및 Es가 숫자상 3개이기 때문에 미지의 것은 3개의 이미 특성이 알려진 표준 장치를 사용하여 얻어질 수 있다.Along with the aforementioned factors, an error model in the measurement of the refractive characteristics of one port is shown in Fig. 5C. Here, S11m indicates the measured value, S11a indicates the true value, and Ed, Er, and Es indicate error factors. When the error model is solved by the signal flow graph to obtain S11m (the description thereof is omitted), this can be expressed as shown in Fig. 5D. If the same thing is deformed and the true value S11a disappears, it can be represented by Fig. 5E. Since the unknown Ed, Er, and Es are three in number here, the unknown can be obtained using three known standard devices.
즉, 세 상태, 예컨대 "오픈"(개로), "단락"(단락회로), 및 "부하"(기준 부하Z0)가 형성되고, 매번 S11m의 측정된 값 f(단락), f(오픈), 및 f(부하)가 기록되어 상기 값들을 사용하여 계산이 이루어진다. 이에 의해 상기 피계측물(20)의 참 굴절계수 S11a를 얻을 수 있다. 상기 오퍼레이션을 교정이라고 칭한다. 더 특별하게, 교정은 앞서 측정된 측정계에서 본래부터의 오차를 갖고 이에 의해 야기되는 효과를 제거하기 위해 계산에서 동일물을 사용하는 오퍼레이션이다.That is, three states, for example, "open" (opening), "short" (short circuit), and "load" (reference load Z 0 ) are formed, and the measured values f (short), f (open) of S11m each time. , And f (load) are recorded and a calculation is made using these values. As a result, the true refractive index S11a of the measurement object 20 can be obtained. This operation is called calibration. More specifically, calibration is an operation that uses the same in the calculation to remove the effects caused by the error inherent in the measurement system previously measured.
오차요인이 무시될 때, 예컨대 Ed=1, Er=0, 및 Es=1일 때, S11m(측정값)을 S11a(참값)로 여길 수 있다.When the error factor is ignored, for example when Ed = 1, Er = 0, and Es = 1, S11m (measured value) can be considered as S11a (true value).
도3으로 되돌아가면, 상기 참값 생데이타 계산부(16)는 상기 생데이타 측정부로부터의 생데이타 출력처럼 S파라미터(B/A)에서 참굴절 계수 S11a를 얻으며, 측정계 오차요인 Ed, Er, 및 Es는 상기 측정계 오차요인 측정부 (14)(B/A)로부터 출력된다. 이는 도5(E)에서 숫자효현의 사용에 의하여 수행될 수 있다.Returning to Fig. 3, the true value raw data calculating section 16 obtains the true refractive index S11a at the S parameter (B / A) as the raw data output from the raw data measuring section, and the measurement error factors Ed, Er, and Es is output from the measurement system error factor measuring unit 14 (B / A). This can be done by the use of the numerical effect in Fig. 5E.
그런뒤, 상기 파라미터 변환요인 계산부(15)는 파라미터 변환요인에 제공되는 입력 및 출력을 상기 파라미터 변환요인 계산부에 제공되기 전의 입력 및 출력의 항으로 나타낸다. 이때, 파라미터 변환요인을 파라미터 변환요인 기록부(19)로부터 판독하여 계산을 위해 사용한다. 계산의 예는 도6에서 보여준다. 상기 파라미터 변환요인 계산부(15)는, 파라미터 변환요인 기록부(19)로부터 판독된 신호 흐름 그래프에 해당하는 데이타를 사용하며, 임피던스 Z(F/E)를 표현하게 되는데 상기 파라미터 변환요인에 제공되게 되는 입력 및 출력은 참굴절 요인 S11a(D/C)의 항이며, 상기 파라미터 잔환 요인에 제공되기 전의 입력 및 출력이다.Then, the parameter conversion factor calculation unit 15 represents the input and output provided to the parameter conversion factor in terms of the input and output before being provided to the parameter conversion factor calculation unit. At this time, the parameter conversion factor is read from the parameter conversion factor recording unit 19 and used for calculation. An example of the calculation is shown in FIG. The parameter conversion factor calculation unit 15 uses data corresponding to the signal flow graph read from the parameter conversion factor recording unit 19 to express the impedance Z (F / E), which is provided to the parameter conversion factor. The inputs and outputs are the terms of the true refractive index S11a (D / C), and the inputs and outputs before being provided to the parameter residual factor.
도3으로 되돌아가면, 상기 파라미터 변환 계산부(15)의 출력 및 참값 데이타 계산부로부터 출력된 참굴절 계수 S11a에 기초한 상기 피계측물의 계산부(18)가 상기 파라미터 변환요인에 제공되는 입력 및 출력을 나타낼 때, 참굴절 계수 S11a(D/C)는 참굴절 계수 S11a(D/C)의 항으로 파라미터 변환요인에 적용된다. 구체적인 예에는 도4의 우변을 참고로 하여 설명될 것이다. 도6에 도시된 바와 같이, 상기 임피던스 Z(F/E)(상기 파라미터 요인에 제공됨)는 상기 참값 굴절 계수 S11a(D/C)(상기 파라미터 변환요인에 제공됨)의 항으로 표현된다. 도4로부터, D/C가 참 굴절 계수 S11a이라는 것은 명백하다. 그러므로, 상기 임피던스 Z를 참 굴절 계수 S11a로부터 얻을 수 있다.Returning to Fig. 3, the input and output of the parameter conversion factor 15 are provided to the parameter conversion factor by the calculation unit 18 of the measured object based on the true refractive index S11a output from the parameter conversion calculation unit 15 and the true value data calculation unit. In this case, the true refractive index S11a (D / C) is applied to the parameter conversion factor in terms of the true refractive index S11a (D / C). A specific example will be described with reference to the right side of FIG. 4. As shown in Fig. 6, the impedance Z (F / E) (provided in the parameter factor) is expressed in terms of the true refractive index S11a (D / C) (provided in the parameter conversion factor). From Fig. 4, it is clear that D / C is the true refractive index S11a. Therefore, the impedance Z can be obtained from the true refractive index S11a.
본 발명의 제1실시예에 따라, 일단 Ed, Er, Er, 및 S11a가 상기 측정부(12), 생데이타 측정부(13), 및 측정계 오차요인 측정부(14)에 의해 측정되면, Z0가 다양한 방법으로 변형될 때 상기 임피던스 Z를 얻을 수 있고 그러므로, 상기 회로 파라미터는 단지 쉽게 계산될 수 있다.According to the first embodiment of the present invention, once Ed, Er, Er, and S11a are measured by the measuring unit 12, the raw data measuring unit 13, and the measurement system error factor measuring unit 14, Z The impedance Z can be obtained when 0 is modified in various ways and therefore the circuit parameters can only be easily calculated.
제1 실시예에서 상기 회로 파라미터를 임피던스라고 가정하다라도, 이것은 주어진 규격화 임피던스, 정합회로가 첨가되었을 때의 S파라미터, 또는 회로 어드미턴스와 같은 S 파리미터가 될 수도 있다. 상기 측정계 오차요인 Ed, Er, 및 Es가 제거된 생데이타로서의 S 파라미터와 주어진 규격화 임피던스로서의 파라미터 사이의 관계는 잘 알려져 있고, 여기에서는 특별히 제한된 설명이 주어지지 않을 것이다. 또한, S파라미터(측정계 오차요인 Ed, Er, 및 Es를 포함)를 생데이타라고 생각하더라도 이것은 또한 다른 회로 파라미터(임피던스 등)를 갖을 수 있다.Even if the circuit parameter is assumed to be impedance in the first embodiment, it may be an S parameter such as a given normalized impedance, an S parameter when a matching circuit is added, or a circuit admittance. The relationship between the S parameter as raw data from which the measurement error factors Ed, Er, and Es have been removed and the parameter as a given normalized impedance is well known, and no particular limited explanation will be given here. In addition, even if the S parameter (including measuring system error factors Ed, Er, and Es) is considered raw data, it may also have other circuit parameters (impedance, etc.).
반면에, 전술하였듯이, 다양한 형태의 생데이타 및 회로 파라미터가 있고, 상기 측정계 오차요인제거 데이타 예컨대 측정계 오차요인을 제거한 생데이타와 회로 파라미터 사이의 관계가 잘 알려져 있다.그러므로, 그에 대한 설명은 생략될 것이다.On the other hand, as described above, there are various types of raw data and circuit parameters, and the relationship between the measurement error removal data, such as the raw data from which the measurement error has been eliminated and the circuit parameters, is well known. will be.
제2 실시예Second embodiment
제2 실시예에서 네트워크 분석기(1)는 제1 실시예와 다른데, 상기 참값 생데이타 계산부(16) 대신에 확장된 오차요인 계산부(17)가 있다. 도7은 제2 실시예에 따른 네트워크 분석기(1)의 구조를 보여주는 블록도이다. 해당하는 참고번호에 의해 제1 실시예와 같이 부분을 표시하였다.In the second embodiment, the network analyzer 1 is different from the first embodiment, and there is an extended error factor calculator 17 instead of the true value raw data calculator 16. 7 is a block diagram showing the structure of the network analyzer 1 according to the second embodiment. Portions are indicated as in the first embodiment by corresponding reference numerals.
상기 측정계 오차요인 측정부(14)에 의해 측정된 측정계 오차요인와 상기 파라미터 변환요인 계산부(15)에 의해 계산된 파라미터 변환요인을 조합함으로써 파라미터 상기 확장된 오차요인 계산부(17)는 확장된 오차요인을 계산한다. 즉, 상기 측정계 오차요인과 상기 파리미터 변환요인이 조합되는 상기 요인은 새로운 측정계 오차요인로서 사용된다.The expanded error factor calculator 17 expands the error by combining the measurement error factor measured by the measurement error measurer 14 with the parameter conversion factor calculated by the parameter conversion factor calculator 15. Calculate the factor. In other words, the factor in which the measurement error factor and the parameter conversion factor are combined is used as a new measurement error factor.
전술한 기능은 또한 프로그램 형태로 설치될 수 있다. 상기 프로그램은 플렉시브 디스크 또는 컴퓨터로 판독이 가능한 CD-ROM 상에 기록되어 하드 디스크(도시 않됨)에 설치된 네트워크 분석기(1)의 매체 판독 장치(도시 않됨)에 의해 판독된다.The above functions can also be installed in the form of programs. The program is recorded on a flexible disk or a computer-readable CD-ROM and read by a medium reading device (not shown) of the network analyzer 1 installed on a hard disk (not shown).
이제 본 발명의 제2 실시예의 오퍼레이션을 설명할 것이다. 도8은 상기 네트워크 분석기(1)에 의해 수행되는 오퍼레이션의 과정을 보여주는 흐름도이다. 우선, 상기 측정부(12), 생데이타 측정부(13), 및 측정계 오차요인 측정부(14)는 제1실시예와 마찬가지로 피계측물(20)의 생데이타(B/A) 및 측정계 오차요인인 Ed, ER, 및 Es를 측정한다(도9에서 언급)(단계10).The operation of the second embodiment of the present invention will now be described. 8 is a flowchart showing the procedure of the operation performed by the network analyzer 1. First, the measurement unit 12, the raw data measuring unit 13, and the measurement error factor measuring unit 14, as in the first embodiment, the raw data (B / A) and measurement error of the measurement object 20 Factors Ed, ER, and Es are measured (refer to FIG. 9) (step 10).
그런 뒤, 상기 확장된 오차요인 계산부(17)는, 상기 확장된 오차요인과 새로운 오차요인으로서 파라미터 변환요인 예컨대 상기 확장된 오차요인을 조합함으로써 얻은 요인을 배치한다(단계13). 확장된 오차요인 계산부(17)의 오퍼레이션이 도9를 참고하여 설명될 것이다.Then, the expanded error factor calculation unit 17 arranges a factor obtained by combining the extended error factor and a parameter conversion factor, for example, the extended error factor as a new error factor (step 13). The operation of the extended error factor calculation unit 17 will be described with reference to FIG.
상기 측정계 오차요인 및 피계측물(20)은, 도9의 좌변에 보여주듯이 오차요인 Ed, Er, 및 Es와 굴절 계수 S11a의 조합에 의해 나타낼 수 있다. 또한 동일물은, 도9의 중앙에서 보여주는 식을 통해, 도9의 좌변에서 보여주듯이, 상기 임피던스 Z와 상기 확장된 오차요인 Ed", Er", 및 Es"의 조합으로서 나타낼 수 있다.The measurement error factor and the measurement object 20 can be represented by a combination of error factors Ed, Er, and Es and the refractive index S11a, as shown in the left side of FIG. The same can also be represented as a combination of the impedance Z and the extended error factors Ed ", Er", and Es ", as shown in the left side of FIG. 9, through the equation shown in the center of FIG.
마지막으로, 도8로 되돌아가면, 피계측물 계산부(18)는, 상기 측정부(12), 생데이타 측정부(13), 및 상기 확장된 오차요인 계산부(17)에 의해 계산된 확장된 오차요인 Ed, Er, Es에 의해 측정된 생데이타로부터의 피계측물(20)의 회로 파라미터를 계산한다(단계18).Finally, returning to FIG. 8, the measured object calculator 18 expands the calculation calculated by the measurement unit 12, the raw data measurement unit 13, and the expanded error factor calculation unit 17. The circuit parameters of the measured object 20 from the raw data measured by the calculated error factors Ed, Er, and Es are calculated (step 18).
도9에 관하여, 상기 임피던스 Z(F/E)는 입력 및 출력과 상기 확장된 오차요인 Ed, Er, 및 Es로부터 얻어질 수 있다.With respect to Fig. 9, the impedance Z (F / E) can be obtained from the input and output and the extended error factors Ed, Er, and Es.
또한 제2 실시예에서, 일단 상기 입력 및 출력(B/A)과 측정계 오차요인 Ed, Er, 및 Es가 상기 측정부(12), 생데이타 측정부(13), 측정계 오차요인 측정부(14)에 의해 측정되면, Z0를 다양한 방법으로 변화시킬 때 상기 임피던스 Z를 얻기 위한 고정구의 조립의 필요성과 하나의 고정구를 다른 것과 교환하여 여러번 측정을 반복할 필요가 제거될 수 았고, 그러므로 상기 회로 파라미터는 간단하게 측정될 수있다.Also, in the second embodiment, once the input and output (B / A) and the measurement system error factors Ed, Er, and Es are the measuring unit 12, the raw data measuring unit 13, the measuring system error factor measuring unit 14 ), The necessity of assembling a fixture to obtain the impedance Z and the need to repeat the measurement several times in exchange for one fixture for another can be eliminated when varying Z 0 in various ways, and thus the circuit Parameters can be measured simply.
또, 확장된 오차요인 Ed", Er", Es"을 미리 얻기때문에 상기 계산은 간단하다.In addition, since the extended error factors Ed ", Er", Es "are obtained in advance, the above calculation is simple.
상기 회로 파라미터를 실시예2의 임피던스 Z라고 가정하더라도, 그것은 주어진 규격화 임피던스, 정합회로가 부가될 때의 S 파라미터, 또는 회로 어드미턴스와 같은 S 파라미터이다. 상기 측정계 오차요인 Ed, Er, 및 이들로부터 제거된 Es를 갖고 있는 생데이타로서 S 파라미터와 주어진 규격화 임피던스 등의 S파라미터 사이의 관계가 잘 알려져 있기 때문에, 상세한 설명은 여기에 주어지지 않을 것이다. 또한, S파라미터(측정계 오차요인 Ed, Er, 및 Es)를 생데이타로 생각해도, 이것은 또한 다른 회로 파라미터(임피던스 등)이다.Even if the circuit parameter is assumed to be the impedance Z of Embodiment 2, it is an S parameter such as a given normalized impedance, an S parameter when a matching circuit is added, or a circuit admittance. Since the relationship between the S parameter and the S parameter such as a given normalized impedance as the raw data having the measurement system error factors Ed, Er, and Es removed therefrom is well known, a detailed description will not be given here. Further, even if the S parameters (measurement error factors Ed, Er, and Es) are considered raw data, these are also other circuit parameters (impedance, etc.).
반면에, 전술하였듯이, 다양한 형태의 생데이타 및 회로 파라미터가 있고, 이것으로부터 제거된 측정계 오차요인 예컨대, 측정계 오차요인이 제거된 생데이타와 회로 파라미터 사이의 관계는 잘 알려져 있고, 이에 대한 설명은 생략될 것이다.On the other hand, as described above, there are various types of raw data and circuit parameters, and the relationship between measurement system error factors removed therefrom, for example, raw data from which measurement system error factors have been removed and circuit parameters is well known, and a description thereof is omitted. Will be.
본 발명에 따라, 매번 고정구를 조립하여 변형된 고정구를 가지고 여러번 측정하지 않고 피계측물의 회로 파라미터를 계산할 수 있고, 상기 회로 파라미터를 간단하게 계산하는 것이 가능하다.According to the present invention, it is possible to assemble a fixture every time and calculate the circuit parameters of the measured object without measuring several times with the modified fixture, and it is possible to simply calculate the circuit parameters.
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