KR100346330B1

KR100346330B1 - 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에 생성 방지장치

Info

Publication number: KR100346330B1
Application number: KR1020000009153A
Authority: KR
Inventors: 선기상
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2000-02-24
Filing date: 2000-02-24
Publication date: 2002-07-26
Also published as: KR20010084268A

Abstract

본 발명은 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치에 관한 것으로서, 액체질소를 핸들러의 각 챔버 내로 공급하는 공급라인중 분기점을 기준으로 그 이후 부분인 챔버쪽 적소에 상기 공급라인을 감싼상태로 건조공기층을 형성하도록 구성하여 액체질소가 공급라인을 통해 챔버 내로 공급되는 과정에서는 상기 건조공기층 형성부분의 공급라인과 상온 사이의 열교환을 완벽하게 차단하여 주도록 함에 따라 그 부분에서는 성에가 생성되는 일이 없도록 한 것이다.

이를 위해 본 발명은, 밀폐용기(2)에 저장된 액체질소가 공급라인(3)을 통해 공급되다가 어느 한 지점에서 분기된 다음 계속해서 분기된 공급라인을 따라 핸들러의 각 챔버(1) 내로 공급되고, 상기 공급라인(3)에는 분기점을 기준으로 그 이전 부분인 밀폐용기(2)쪽에는 메인 솔레노이드밸브(4)가 설치됨과 함께 그 이후 부분인 챔버(1)쪽에는 보조 솔레노이드밸브(5)가 설치된 것에 있어서, 상기 공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브(5)와의 사이 구간에 구비되어 공급라인(3)을 감싼상태로 건조공기층을 형성하여 주는 건조공기층 형성수단과, 상기 공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 포함하는 나머지 구간에 구비되어 공급라인(3)을 감싼상태로 형상 변형이 임의대로 가능한 보온재(105)로 구성된 것이다.

Description

핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치{device for preventing frost of channel for supplying into chamber liquid nitrogen from handler}

본 발명은 반도체 디바이스와 같은 소자를 테스트 하는 핸들러 분야에 관련된 것으로서, 더욱 상세하게는 핸들러에서 소자를 테스트하는 공간인 챔버 내의 온도 조건을 일정온도 이하로 맞춰주기 위해 외부에 구비된 밀폐용기 내의 액체질소를 공급라인을 통해 상기 챔버 내로 공급하여 줄 때 이 과정에서 공급라인중 분기점 이후 부분인 챔버쪽에 성에가 생성되는 일이 없도록 한 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 디바이스와 같은 소자는 각종 전자기기의 부품으로 사용하는데, 통상 상기한 각종 전자기기에 사용되는 반도체 소자는 전자기기의 사용지역이 어느 특정지역에 한정되는 것이 아님을 감안할 때 사용지역의 최저기온과 최고기온에서도 무리 없이 정상적인 작동이 가능하여야 하고, 이를 위해 소자를 핸들러에서 테스트할 때 그 테스트 하는 공간인 챔버 내의 온도를 적정 온도로 맞춰주어야 한다.

따라서 소자가 최저기온에서도 작동이 무리 없이 행하여지도록 하기 위해서는 핸들러를 구성하는 각종 구성요소중 상기 소자가 테스트될 공간인 챔버(1) 내부의 온도를 영하 수십도까지 떨어뜨려 주어야 하고, 이를 위해서는 기화될 때의 온도가 -196℃ 까지 내려가는 액체질소(liquid nitrogen)를 상기 챔버(1) 내부로 공급시켜 줌이 바람직 한데, 액체질소는 안전상의 문제로 인해 밀폐용기(2) 내에 채워져 있으므로 상기 밀폐용기 내에 채워진 액체질소를 필요시 핸들러의 챔버(1) 내로 공급시키기 위한 구조를 필요로 하고, 이를 위해 밀폐용기(2)의 출구관(2a)과 핸들러의 챔버(1)를 공급라인(3)에 의해 연결시키고 있다.

상기한 공급라인(3)은 이중관 구조를 가지고 있는데, 이는 액체질소가 직접적으로 공급되는 라인인 메인 파이프(31)가 그대로 외부에 노출될 경우 상온과의 온도차이가 너무 커서 상기 메인 파이프의 바깥둘레에는 순식간에 많은량의 성에가 생성되면서 얼음으로 변하게 됨에 따라 이후 작업과정에서는 얼음으로 인한 여러가지 문제점을 야기시킬 수 있게됨은 물론 상기 메인 파이프를 통해 액체질소가 공급되는 과정에서 작업자의 신체 일부가 접촉될 경우 안전상에 커다란 문제점이 있으므로 상기한 여러가지 문제점을 미연에 방지하고자 하기 위함에 있다.

즉, 공급라인(3)은 실제로 액체질소가 공급되는 관인 메인 파이프(31)를 다른 하나의 관인 보호 파이프(32)가 감싼 구조로서, 상기 메인 파이프(31)와 보호 파이프(32) 사이에는 공기층(33)이 형성되고, 이 공기층은 후술하는 작용에서와 같이 메인 파이프(31)의 열이 외부로 빼앗기는 것을 막아주는 역할을 한다.

또한 액체 질소를 공급하는 공급라인(3)은 핸들러의 구성요소인 챔버(1)가 통상 하나가 아니고 두개 이상임을 감안할 때 어느 한 지점에서 분기되어 각각의 챔버로 액체질소의 공급이 가능하게 되어 있는데, 상기 공급라인(3)에는 분기점을 기준으로 그 이전 부분인 밀폐용기(2)쪽중 상기 분기점과 근접되는 부분에는 액체질소의 공급을 원천적으로 선택 차단하기 위한 메인 솔레노이드밸브(4)가 설치됨과 함께 상기 분기점을 기준으로 그 이후 부분인 챔버(1)쪽중 상기 분기점과 근접되는 부분에는 각 챔버 내로의 액체질소 공급을 선택 차단하기 위한 보조 솔레노이드밸브(5)가 설치된다.

상기한 구성에서는 실제로 밀폐용기(2) 내에 채워진 액체질소가 공급라인(3)에 설치된 메인 솔레노이드밸브(4) 및 보조 솔레노이드밸브(5)의 온동작에 의해 상기 밀폐용기(2)의 출구관(2a)과 공급라인(3)을 연속적으로 통해 핸들러를 구성하는 각 챔버(1) 내로 공급되므로 상기 챔버 내의 온도가 적정온도(소자가 아무런 문제없이 작동가능한 최저 온도)로 떨어짐에 따라 도시하지 않은 별도의 수단에 의해 각 챔버(1) 내에서 소자의 테스트가 이루어 질 때 상기 소자가 아무런 문제없이 작동되어야 할 최저의 온도조건이 맞춰지게 된다.

한편 상기 공급라인(3)을 통해 액체질소가 핸들러를 구성하는 각 챔버(1) 내로 공급되는 상태에서는 공급라인(3)의 분기점 이전 부분인 밀폐용기(2)쪽에 설치된 메인 솔레노이드밸브(4)가 콘트롤러의 제어신호를 받아 선택적으로 온,오프되므로 상기 공급라인(3)을 통한 액체질소의 공급이 분기점 이전에서 원천적으로 가능하게 되거나 불가능하게 되는데, 상기 공급라인(3)을 통한 액체질소의 공급이 분기점에서 이미 분기되어 각 챔버(1)로 안내되는 과정에서는 상기 공급라인(3)의 분기점 이후 부분인 챔버(1)쪽에 설치된 각각의 보조 솔레노이드밸브(5)가 콘트롤러의 제어신호를 받아 선택적으로 온,오프되므로 각 챔버(1)로의 액체질소 공급이 별도로 가능하게 되거나 불가능하게 된다.

이와 같이 공급라인(3)을 통한 액체질소의 공급이 각 챔버(1) 내로 행하여 질 때 상기 액체질소의 공급은 실제로 내부에 있는 메인 파이프(31)를 통해 이루어지게 되는데, 상기 메인 파이프는 일정간격 이격되게 보조 파이프(32)에 의해 감싸여져 있으므로 상기 메인 파이프(31)와 보조 파이프(32) 사이에는 하나의 공기층(33)이 형성되고, 상기 공기층에는 복수개의 스페이서(34)가 이격된 상태로 끼워져 있으므로 공기층(33)을 이루기 위한 메인 파이프(31)와 보조 파이프(32)간의 전부분 간격이 정확하게 맞춰진다.

상기에서 공기층은 메인 파이프(31)가 외부인 상온과 열교환을 하는 것을 최대한 막아주는 역할을 하므로 공급라인(3)을 통해 각 챔버(1) 내로 액체질소를 공급하는 과정에서의 열 손실율이 그 만큼 줄어들게 됨은 물론 상기 공기층 형성을 위한 보조 파이프(32)는 작업자의 신체 일부가 부주의로 인해 공급라인(3)에 접촉되더라도 실제로는 메인 파이프(31)에 직접 접촉되는 일이 없도록 하는 역할을 하므로 안전사고의 위험성이 그만큼 줄어들게 됨은 이해 가능하다.

이상에서 설명된 바와 같이 밀폐용기(2)에 채워진 액체질소가 공급라인(3)을 통해 핸들러의 각 챔버(1) 내로 공급될 때 상기 공급라인(3)의 외측 둘레면(실제로 공급라인을 구성하는 보조 파이프(32)의 외측둘레면)에는 상온과의 온도 차이에 의해 열교환이 일어나면서 성에가 생성되므로 공급라인(3)에는 성에의 생성을 방지하기 위한 장치를 갖추고 있는데, 상기 공급라인중 특히 분기부분은 챔버(1)의 갯수에 맞게 분기된 구조임은 물론 그 분기점 부분을 포함한 이전 부분은 솔레노이드밸브(4)(5)의 설치 등으로 인해 구조적으로 복잡함에 따라 결국 공급라인(3)의 분기점 부분을 포함한 그 이전 부분에는 성에의 생성을 방지하기 위한 장치를 갖춘다는 것이 어려가지로 어렵다.

따라서 공급라인(3)의 전 부분에 액체질소의 공급시 성에가 생성되는 것을 방지하여 주기 위한 성에생성 방지장치를 갖추는 것이 바람직 하지만 현실적으로 볼 때 공급라인(3)중 분기점을 포함한 그 이전 부분인 밀폐용기(2)쪽은 구조적으로 복잡하므로(분기점 부분에는 메인 솔레노이드밸브(4) 및 보조 솔레노이드밸브(5)가 설치되어 있고, 분기점 이전 부분중에서도 메인 솔레노이드밸브(4) 설치점 이전 부분에는 밀폐용기(2)의 출구관(2a)에 연결되기 위한 연결구조가 갖추어져 있다) 상기 공급라인(3)중 분기점을 기준으로 그 이전 부분에는 성에의 생성을 방지할 수 있는 규격화된 장치를 갖추지 못함에 따라 결국 성에생성 방지장치는 공급라인(3)중에서도 분기점 이후 부분인 챔버(1)쪽에 갖추어져 있는데, 상기 공급라인의 분기점 이후 부분인 챔버 측에서도 일직선을 이루고 있는 각 보조 솔레노이드밸브(5)와 챔버(1) 근접지점인 절곡부분 사이에 갖추어져 있다.

그럼 먼저 종래 액체질소 공급라인의 성에생성 방지장치를 도 1 내지 도 4를 참고로 하여 살펴보기로 하자.

공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브(5)측에는 발포 고무 또는 발포 폴리에스테르로 된 보온파이프(11)가 끼워져 있고, 상기 공급라인의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 포함한 챔버(1)쪽에는 스폰지나 부직포와 같이 형상 변형이 임의대로 가능한 보온재(12)가 감싸여져 있는 구조이다.

따라서 밀폐용기(2)에 저장된 액체질소가 공급라인(3)을 통해 공급되는 어느 지점에서 분기된 다음 계속해서 핸들러를 구성하는 각 챔버(1) 내로 공급될 때 상기 공급라인(3)은 액체질소의 기화되는 온도(통상 -196℃)에 영향을 받아 차가워지므로 상기 공급라인의 외측둘레면에는 외부인 상온과의 온도차이로 인해 열교환이 이루어지면서 성에가 생성될려고 하지만 상기 공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브(5)측에는 발포 고무 또는 발포 폴리에스테르로 된 보온파이프(11)가 끼워져 있고, 상기 공급라인의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 포함한 챔버(1)쪽에는 스폰지나 부직포와 같이 형상 변형이 임의대로 가능한 보온재(12)가 감싸여져 있음을 감안할 때 상기 보온파이프(11) 및 보온재(12)가 감싸여진 부분의 공급라인(3)은 상온과의 사이에 하나의 차단막이 형성되는 상태가 됨에 따라 결국 상기 보온파이프(11) 및 보온재(12)가 감싸여진 부분의 공급라인이 상온과 열교환을 쉽게 이루지 못하게되어 상기 공급라인(3)에 성에가 생성되지 않게되는 것이다.

하지만 공급라인(3)을 통한 액체질소의 공급이 장기화되면 상기 공급라인의 차가운 열이 보온파이프(11) 및 보온재(12)에 그대로 직접 전달되고 있음을 감안할 때 어느 순간부터는 상기 보온파이프(11) 및 보온재(12)의 온도도 급격히 떨어지면서 상온과 열교환을 일으키게 됨에 따라 결국 상기 보온파이프 및 보온재의 표면에 성에가 생성됨에 따라 결국 공급라인(3)의 모든 부분에 성에가 생성되게 되는데, 상기 생성된 성에는 시간이 오래지나면 지날수록 커지게 되면서 일부는 중력에 의해 직하방으로 직접 떨어지거나 일부는 얼음으로 변한 다음 녹아내리게 되므로 최저온도조건에서 소자를 테스트하는 핸들러의 작업장에는 상기 녹아내리는 물을 받기 위해 여러개의 물받이를 별도로 마련하여 항시 비치하여야 하는 불편함이 있었다.

또한 핸들러의 작동후에는 물론 작동중에도 공급라인에 생성된 얼음을 제거하는 얼음제거 작업을 별도로 수행하여야 만 하므로 작업성도 그만큼 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 액체질소를 핸들러의 각 챔버 내로 공급하는 공급라인중 분기점을 기준으로 그 이후 부분인 챔버쪽 적소에 상기 공급라인을 감싼상태로 건조공기층을 형성하도록 구성하여 액체질소가 공급라인을 통해 챔버 내로 공급되는 과정에서는 상기 건조공기층 형성부분의 공급라인과 상온 사이의 열교환을 완벽하게 차단하여 주도록 함에 따라 그 부분에서는 성에가 생성되는 일이 없도록 하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 장치를 나타낸 요부사시도

도 2는 종래 장치가 핸들러의 액체질소 공급라인에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 평면도

도 3은 종래 장치가 핸들러의 액체질소 공급라인에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 정면도

도 4는 2의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도

도 5는 본 발명 장치를 나타낸 요부사시도

도 6은 본 발명 장치가 핸들러의 액체질소 공급라인에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 평면도

도 7은 본 발명 장치가 핸들러의 액체질소 공급라인에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 정면도

도 8은 도 6의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1. 챔버 2. 밀폐용기

3. 공급라인 4. 메인 솔레노이드밸브

5. 보조 솔레노이드밸브 101. 공기유로관

102. 공기유로 103. 공기발생기

104. 공기안내관 105. 보온재

106. 고정링 107. 스크류

108. 수지물 109. 차단판

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 형태는, 밀폐용기에 저장된 액체질소가 공급라인을 통해 공급되다가 어느 한 지점에서 분기된 다음 계속해서 분기된 공급라인을 따라 핸들러의 각 챔버 내로 공급되고, 상기 공급라인에는 분기점을 기준으로 그 이전 부분인 밀폐용기 쪽에는 메인 솔레노이드밸브가 설치됨과 함께 그 이후 부분인 챔버 쪽에는 보조 솔레노이드밸브가 설치된 것에 있어서, 상기 공급라인의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브와의 사이 구간에 구비되어 공급라인을 감싼상태로 건조공기층을 형성하여 주는 건조공기층 형성수단과, 상기 공급라인의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 포함하는 나머지 구간에 구비되어 공급라인을 감싼상태로 형상 변형이 임의대로 가능한 보온재로 구성된 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치가 제공된다.

이하 본 발명을 실시예로 도시한 첨부된 도 5 내지 도 8을 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 5는 본 발명 장치를 나타낸 요부사시도이고, 도 6은 본 발명 장치가 핸들러의 액체질소 공급라인에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 평면도이며, 도 7은 본 발명 장치가 핸들러의 액체질소 공급라인에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 정면도이고, 도 8은 도 6의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도로서, 본 발명 실시예는 밀폐용기(2)에 저장된 액체질소를 각각의 챔버(1) 내로 공급하는 공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브(5)와의 사이 구간에는 상기 공급라인(3)을 감싼상태로 공기유로관(101)이 끼워지고, 상기 공급라인(3)에 끼워진 공기유로관(101)중 일단인 챔버(1)쪽 끝단부가 상기 공급라인(3)에 고정되며, 상기 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이에는 공기유로관의 공급라인(3) 고정측은 폐쇄됨과 함께 그 반대쪽인 보조 솔레노이드밸브(5)측은 개방된 상태로 공기유로(102)가 형성되고, 외부 적소에는 공급라인(3)을 통한 액체질소의 공급시 건조공기를 발생시키도록 공기발생기(103)가 구비되며, 상기 공기발생기에 의해 발생된 건조공기는 공기안내관(104)을 통해 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이의 공기유로(102) 내로 안내되고, 상기 공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 포함하는 챔버(1)와의 사이 구간에는 스폰지나 부직포 같이 형상 변형이 임의대로 가능한 보온재(105)가 공급라인(3)을 감싼상태로 설치된 구조이다.

상기에서 공기유로관(101)의 일단이 공급라인(3)에 고정되기 위한 구성으로, 상기 공급라인에 끼워진 공기유로관(101)중 보조 솔레노이드밸브(5)측 끝단부에는 상기 공급라인(3)과 일정간격 이격된 상태로 고정링(106)이 나사결합되고, 상기 고정링의 둘레에는 그 끝단이 공급라인(3)에 가압 접촉된 상태로 복수개의 스크류(107)가 나사결합된다.

상기한 본 발명 실시예에서 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이에 형성된 공기유로(102)중 상기 공기유로관(101)의 공급라인(3) 고정측 부분을 폐쇄하기 위한 구성으로, 상기 공급라인(3)과 고정링(106) 사이에는 수지물(108)이 채워지는데, 상기 수지물은 고정링(106)에 나사조임된 스크류(107) 조임부분까지 커버되게하여 상기 고정링(106)의 스크류(107) 조임부분이 수지물(108)로 인해 완벽한 기밀상태를 유지하게 한다.

또한 본 발명 실시예에서 공기발생기(103)에 의해 발생된 건조공기가 공기안내관(104)을 통해 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이에 형성된 공기유로(102)로 안내되도록 하기 위한 구성으로, 상기 공기발생기(103)에는 공기안내관(104)의 일단이 연결되고, 고정링(106)에는 공기안내관(104)의 다른 일단이 연결된다.

한편, 공급라인(3)중 공기유로(102)의 개방부쪽인 보조 솔레노이드밸브(5) 근접부에 공기유로관(101)과 일정간격 이격된 상태로 차단판(109)이 고정되어 공기발생기(103)가 작동되지 않는 상태에서 개방부를 통해 공기유로(102) 내로 들어갈려는 각종 이물질이 상기 차단판(109)에 의해 차단되도록 한다.

이와 같이 구성된 본 발명은 밀폐용기(2)에 저장된 액체질소가 공급라인(3)을 통해 공급되는 어느 지점에서 분기된 다음 핸들러를 구성하는 각 챔버(1) 내로 계속해서 공급될 때 상기 공급라인(3)은 액체질소의 기화되는 온도(통상 -196℃)에 영향을 받아 차가워지므로 상기 공급라인의 외측둘레면에는 외부인 상온과의 온도차이로 인해 열교환이 이루어지면서 성에가 생성될려고 하지만 공급라인(3)을 통해 각 챔버(1) 내로 액체질소가 공급되는 과정에서는 외부에 구비된 공기발생기(103)가 작동하면서 건조공기를 발생시키므로 상기 발생된 건조공기가 공기안내관(104)을 통해 안내되어 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이에 형성된 공기유로(102) 내로 유입된다.

상기에서 공기발생기(103)에 의해 발생된 건조공기가 공기안내관(104)을 통해 안내되어 공기유로(102) 내로 유입되는 것은, 공기유로관(101)중 공급라인(3)의 분기점 쪽인 보조 솔레노이드밸브(5)측 끝단부가 고정링(106)에 의해 상기 공급라인(3)에 고정되어 있고, 상기 공기발생기(103)에는 공기안내관(104)의 일단이 연결됨과 함께 고정링(106)에는 상기 공기안내관(104)의 다른 일단이 연결되어 있으므로 가능하다.

상기 고정링(106)은 그 둘레면에 나사조임된 복수개의 스크류(107)로 인해 공급라인(3)에 고정된 상태가 되는데, 상기 고정링(106)은 공급라인(3)에 끼워진 공기유로관(101)에 나사결합되어 있음을 감안할 때 결국 상기 공기유로관중 공급라인(3)의 분기점 쪽인 보조 솔레노이드밸브(5)측 끝단부가 상기 공급라인(3)에 고정되는 것이다.

한편, 본 발명 실시예에서 공기유로(102) 내로 유입된 건조공기는 계속적인 건조공기의 유입으로 인해 공급라인(3)의 분기점 쪽으로 이동된 다음 상기 공기유로(102)를 빠져나가면서 공기유로 형성부분에 하나의 건조공기층을 형성하는데, 상기 공기유로(102) 내로 유입된 공기가 빠져나가는 것은 상기 공기유로(102)중 공기유로관(101)의 공급라인(3) 고정측은 폐쇄되고 그 반대쪽인 보조 솔레노이드밸브(5)측은 개방된 상태이므로 가능하다.

즉, 공급라인(3)과 상기 공급라인에 공기유로관(101)을 고정시켜 주기 위한 고정링(106) 사이에는 수지물(108)이 충진되어 있으므로 결국 상기 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이에 형성된 공기유로(102)중 공기유로관(101)의 공급라인(3) 고정측은 폐쇄된 상태임에 따라 상기 공기유로(102) 내로 계속 유입되는 건조공기는 그 반대쪽인 보조 솔레노이드밸브(5)측의 개방부를 통해 빠져나감은 이해 가능한데, 상기 공기유로(102)중 공기유로관(101)의 공급라인(3) 고정측을 폐쇄하기 위해 상기 공급라인(3)과 고정링(106) 사이로 충진된 수지물은 상기 고정링을 공급라인(3)에 고정시켜 주고 있는 각 스크류(107)의 나사조임부분까지를 모두 커버하고 있으므로 공기유로(102) 내로 들어간 공기가 상기 각 스크류(107)의 나사조임부위를 통해 외부로 새어나가거나 하지는 않는다.

따라서 본 발명 실시예에서는 공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브(5)측 둘레를 감싼상태로 건조공기층이 형성되면서 완벽한 상태의 차단막을 형성하게 되고, 상기 건조공기층에는 계속해서 새로운 건조공기가 유입되는 상태임에 따라 상기 건조공기층 형성부분에서는 공급라인(3)의 열과 외부인 상온의 열이 열교환을 거의 일으키지 않게되어 결국 성에의 생성이 전혀 없게된다.

한편, 본 발명 실시예의 작용에서 공기유로(102) 내로 들어간 건조공기가 다시 외부로 빠져나갈 때 공급라인(3)중 상기 공기유로(102)의 개방부쪽인 보조 솔레노이드밸브(5) 근접부에 공기유로관(101)과 일정간격 이격된 상태로 차단판(109)이 고정되어 있으므로 상기 공기유로(102)를 빠져나가는 공기는 차단판(109)에 간섭됨에 따라 공급라인(3)의 길이방향을 향해 직선으로 향하지 못하고 옆으로 퍼지는 상태가 되는데, 상기 차단판은 이후 과정에서 공기발생기(103)가 정지될 경우(핸들러의 작동이 정지될 경우) 공기유로(102)의 개방부측을 통해 그 내부로 각종 이물질(먼지입자, 보푸라기, 수분, 성에 등)이 유입되지 않도록 하는 커버 역할을 하므로 상기 공기유로(102) 내부가 건조공기의 유입과는 상관없이 항상 깨끗한 상태로 유지된다.

이상에서 설명된 본 발명 실시예는 공급라인(3)에 끼워진 공기유로관(101)중 일단인 상기 공급라인(3)의 분기점쪽 끝단부가 상기 공급라인에 고정되어 있고, 상기 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이에 형성된 공기유로(102)중공기유로관(101)의 공급라인(3) 고정측은 폐쇄됨과 함께 그 반대쪽인 밀폐용기(2)쪽은 개방되어 있음에 따라 공기발생기(103)에 의해 발생되어 공기안내관(104)을 통해 상기 공기유로(102) 내로 유입된 건조공기가 다시 공기유로를 빠져나갈 때 반드시 상기 공급라인(3)의 분기점쪽인 보조 솔레노이드밸브(5)를 향해 빠져나가도록 되어 있지만, 이에 한정될 필요는 없고 상기 공기유로관(101)의 고정부분 및 공기유로(102)의 폐쇄부분을 실시예와 반대되는 부분으로 하여도 본 발명의 목적을 달성하기에는 충분한데, 상기 실시예와 같은 구조로 하면 공급라인(3)의 외측둘레면으로 하나의 건조공기층을 형성하기 위해 공기유로(102)를 따라 이동하는 건조공기의 이동방향이 상기 공급라인(3)을 따라 이동하는 액체질소의 이동방향과 반대되는 방향으로 이루어지므로 상기 공급라인(3)중 밀폐용기(2)와 가까운 부분일수록 그 온도가 낮은상태임을 감안할 때 상기 건조공기층으로 인해 공급라인(3)의 열과 외부인 상온의 열 교환이 보다 확실하게 차단되고, 이에따라 본 발명 실시예의 구성으로 함이 더욱 바람직하다.

또한 본 발명 실시예에서는 공급라인(3)의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 포함하는 챔버(1)와의 사이 구간에는 상기 공급라인(3)을 감싼상태로 형상 변형이 임의대로 가능한 보온재(105)가 감싸여져 있으므로 상기 보온재가 감싸여진 부분의 공급라인(3)은 보온재(105)의 보온력에 의해 성에의 생성이 방지됨은 이해 가능한데, 만약 상기 건조공기층을 공급라인(3)의 분기점 이후 부분에 모두 적용한다면 보다 확실한 성에의 생성이 방지될 수도 있으나 건조공기층이 형성되지 않는 나머지 부분은 기 설명된 바와 같이 절곡지점이면서 챔버(1)까지의 직선거리도 매우 짧아 상기한 건조공기층의 형성에 기술적인 어려움이 있음에 따라 임의대로 형상 변형이 가능한 보온재(105)를 사용하여 성에생성을 방지하도록 하였다.

그리고 본 발명 실시예에서 공기발생기(103)에 의해 발생된 공기를 반드시 건조공기로 하여야 하는 것은, 만약 건조공기가 아닐 경우에는 공기중에 수분이 상당부분 포함되어 있으므로 이 수분을 포함한 공기가 그대로 공기안내관(104)을 통해 공급라인(3)과 공기유로관(101) 사이의 공기유로(102) 내로 유입된 상태가 되어 상기 공급라인(3)의 온도가 공기중에 포함된 수분의 온도보다 훨씬 더 낮은 상태임을 감안할 때 상기 수분이 공급라인(3)의 외측둘레면에 즉시 달라 붙으면서 얼음으로 변하게 되고, 이 상태가 지속될 경우에는 어느 순간에 공기유로(102)가 막혀버리므로 이를 미연에 방지하고자 한 것이다.

그러므로 본 발명은 공급라인을 통한 액체질소의 공급이 장기화되더라도 상기 공급라인의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브와의 사이 구간에는 계속 공급되는 건조공기에 의해 하나의 건조공기층이 형성되면서 차단막을 이룸에 따라 상기 차단막을 이루고 있는 부분의 공급라인은 상온과 열교환을 하지 않게되어 결국 공급라인의 표면인 외측둘레면에 성에가 생성되는 일이 전혀 없게되고, 이에따라 챔버를 갖는 핸들러의 작업장에서는 물받이를 여러개 비치할 필요가 없게되는 효과가 있다.

또한 핸들러의 작동중이나 작동 후 얼음제거 작업을 별도로 수행하는 일도 그만큼 줄어들게 되므로 작업성이 향상되는 효과도 있다.

Claims

밀폐용기에 저장된 액체질소가 공급라인을 통해 공급되다가 어느 한 지점에서 분기된 다음 계속해서 분기된 공급라인을 따라 핸들러의 각 챔버 내로 공급되고, 상기 공급라인에는 분기점을 기준으로 그 이전 부분인 밀폐용기 쪽에는 메인 솔레노이드밸브가 설치됨과 함께 그 이후 부분인 챔버 쪽에는 보조 솔레노이드밸브가 설치된 것에 있어서,

공급라인의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 기준으로 보조 솔레노이드밸브측의 둘레면에 끼워져 일단이 상기 공급라인에 고정된 공기유로관과, 상기 공급라인과 공기유로관 사이에 형성되어 공기유로관의 공급라인 고정부쪽은 폐쇄되고 그 반대쪽은 개방된 공기유로와, 외부 적소에 구비되어 건조공기를 발생시키는 공기발생기와, 상기 공기발생기에 의해 발생된 건조공기를 공기유로 내로 안내하여 상기 공기유로가 건조공기층을 형성하도록 하는 공기안내관을 포함하여 구성된 건조공기층 형성수단과;

상기 공급라인의 분기점 이후 부분중 절곡지점을 포함하는 나머지 구간에 구비되어 공급라인을 감싼상태로 형상 변형이 임의대로 가능한 보온재로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치.
삭제
제 1 항에 있어서,

공기유로관중 공급라인 고정부분 끝단부에 공급라인과 일정간격 이격된 상태로 고정링이 나사결합되고, 상기 고정링의 둘레에는 그 끝단이 공급라인에 가압접촉된 상태로 복수개의 스크류가 나사조임됨에 따라 상기 공기유로관의 일단이 공급라인에 고정된 것을 특징으로 하는 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치.
제 3 항에 있어서,

공급라인과 고정링 사이에 수지물이 채워짐에 따라 공기유로중 공기유로관의 공급라인 고정부분이 폐쇄된 것을 특징으로 하는 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,

공급라인과 고정링 사이에 채워진 수지물이 상기 고정링을 공급라인에 고정하기 위한 각 스크류의 나사조임부분까지 커버되도록 함에 따라 상기 각 스크류의 나사조임부분이 기밀상태로 유지된 것을 특징으로 하는 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

공기발생기에 공기안내관의 일단이 연결되고, 공기유로관의 고정을 위해 사용된 고정링의 둘레면 적소에는 상기 공기안내관의 다른 일단이 연결됨에 따라 상기 공기발생기에서 발생된 건조공기가 공기안내관을 통해 공기유로로 유입되는 것을 특징으로 하는 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치.
제 1 항에 있어서,

공급라인중 공기유로의 개방부쪽에 공기유로관과 일정간격 이격된 상태로 차단판이 고정되어 공기발생기가 작동되지 않는 상태에서는 개방부를 통해 공기유로 내로 들어갈려는 외부의 이물질이 상기 차단판에 의해 차단되도록 한 것을 특징으로 하는 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치.
제 1 항에 있어서,

공기유로관중 공급라인의 분기점 쪽인 보조 솔레노이드밸브측 끝단이 상기 공급라인에 고정되도록 함에 따라 공기유로 내로 유입된 건조공기가 상기 공급라인의 분기점 쪽을 향해 유출되도록 한 것을 특징으로 하는 핸들러에서 액체질소를 챔버 내로 공급하는 공급라인의 성에생성 방지장치.