KR100342398B1 - Turbo pump protection device of the medium current implanter - Google Patents
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Abstract
본 발명은 챔버(Chamber)와 터보펌프(Turbo Pump)사이에 게이트 밸브(Gate Valve)를 설치하여 예측치 못한 순간 정전 등으로 인하여 갑작스럽게 시설이 다운될 경우 챔버를 저진공상태로 유지함과 함께 터보 펌프를 보호할 수 있도록 한 미디엄 커런트 임플렌터의 터보 펌프 보호 장치에 관한 것이다.The present invention is to install a gate valve between the chamber (Chamber) and turbo pump (Gate Valve) to keep the chamber in a low vacuum state and suddenly down the facility due to unexpected momentary power failure, etc. Turbo pump It relates to a turbo pump protection device of a medium current implanter to protect the.
본 발명은 소오스(1)의 일측에 가스 차단을 위하여 가스 차단밸브(V1)가 설치되고, 상기 소오스(1)와 빔 라인(2)사이에는 소오스 빔 라인을 차단하기 위한 차단 밸브(V4)가 설치되며, 상기 소오스(1)와 터보 펌프(4)사이에 소오스 고진공상태를 유지하기 위한 제1터보 펌프(3)를 통하여 터보 포라인(Foreline) 밸브(V2)가 설치되고, 상기 빔 라인(2)과 터보 베이킹 펌프(4)사이에 빔 라인 고진공 상태를 유지하기 위한 제2터보 펌프(5)와 제3터보 펌프(6)를 통하여 다른 터보 포라인 밸브(V3)가 설치된 것에 있어서, 상기 챔버와 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)사이에 각각 게이트 밸브(V5)를 더 설치하고, 상기 소오스(1)와 터보 베이킹 펌프(4)사이에 상기 밸브(V2)와 병렬로 소오스 라핑 밸브(V6)를 더 설치하여 이루어진 것이다.According to the present invention, a gas shutoff valve V1 is installed at one side of the source 1 to shut off a gas, and a shutoff valve V4 for blocking a source beam line is disposed between the source 1 and the beam line 2. A turbo foreline valve V2 is installed between the source 1 and the turbo pump 4 through a first turbo pump 3 for maintaining a source high vacuum state. The second turbo pump 5 and the third turbo pump 6 are installed between the 2) and the turbo baking pump 4 to maintain the beam line high vacuum state. A gate valve V5 is further provided between the chamber and the first to third turbo pumps 3, 5, 6, respectively, and the valve V2 is between the source 1 and the turbo baking pump 4. It is made by installing a source lapping valve (V6) in parallel with the.
Description
본 발명은 미디엄 커런트 임플렌터(Medium Current Implanter)에 관한 것으로, 특히 챔버(Chamber)와 펌프(Pump)사이에 게이트 밸브(Gate Valve)를 설치하여 예측치 못한 순간 정전 등으로 인하여 갑작스럽게 시설이 다운(Down)될 경우 챔버를 저진공상태로 유지함과 함께 파티클 성분들의 유입으로부터 터보 펌프의 회전자 등이 손상되는 것을 보호할 수 있도록 한 미디엄 커런트 임플렌터의 터보 펌프 보호 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a medium current implanter, and in particular, a gate valve is installed between a chamber and a pump to suddenly shut down due to an unexpected momentary power failure. When down, the present invention relates to a turbo pump protection device of a medium current implanter, which keeps the chamber in a low vacuum state and protects the rotor and the like of the turbo pump from the inflow of particle components.
일반적으로 미디엄 커런트 임플렌터 장비에는 3대의 터보 펌프가 설치되어 있어 소오스(Source)와 빔라인 진공(Vacuum)을 5E-7토르(Torr)까지 유지시킨다.Medium current implanter equipment is typically equipped with three turbopumps to maintain source and beamline vacuum up to 5E-7 Torr.
종래에는 도 1에 도시된 바와 같이, 소오스(1)의 일측에 가스 차단을 위한 가스 차단밸브(V1)가 설치되고, 상기 소오스(1)와 빔 라인(2)사이에는 소오스 빔 라인을 차단하기 위한 빔 라인 차단 밸브(V4)가 설치되었다.In the related art, as shown in FIG. 1, a gas shutoff valve V1 for gas blocking is installed on one side of a source 1, and a source beam line is blocked between the source 1 and the beam line 2. Beam line shutoff valve V4 was installed.
또한, 상기 소오스(1)에는 소오스 고진공상태를 유지하기 위한 제1터보 펌프(3)를 통하여 터보 포라인(Foreline) 밸브(V2)가 설치되었으며, 상기 터보 포라인밸브(V2)에 터보 베이킹 펌프(4)가 설치되었다.In addition, a turbo foreline valve V2 is installed in the source 1 through a first turbo pump 3 for maintaining a source high vacuum state, and a turbo baking pump is installed in the turbo foreline valve V2. (4) was installed.
그리고 상기 빔 라인(2)에는 빔 라인 고진공 상태를 유지하기 위한 제2터보 펌프(5)와 제3터보 펌프(6)를 통하여 터보 포라인 밸브(V3)가 설치되었으며, 상기 터보 포라인 밸브(V3)가 상기 터보 포라인 밸브(V2)와 병렬로 터보 베이킹 펌프(4)에 연결되었다.In addition, the turbo line valve V3 is installed in the beam line 2 through the second turbo pump 5 and the third turbo pump 6 for maintaining the high vacuum state of the beam line. V3) was connected to the turbo baking pump 4 in parallel with the turbo foreline valve V2.
그러나 이와 같이 구성된 종래 터보 펌프 진공 구성에 있어서는 챔버를 진공상태로 할 때 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)가 같이 동작되어 미세한 리크(Leak)에도 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)가 손상되기 쉬운 결점이 있었다.However, in the conventional turbopump vacuum configuration configured as described above, the first to third turbopumps 3, 5, and 6 are operated together when the chamber is vacuumed, so that the first to third turbos can be subjected to minute leaks. There existed a fault which the pump 3, 5, 6 was easy to damage.
또한, 장비 P.M중 소오스(1) P.M 및 빔 라인(2) P.M시 하나의 터보 펌프만으로 펌핑을 하기 때문에 상당한 시간이 소요되는 결점도 있었다.In addition, there was a drawback in that the pumping of the source (1) P.M and the beam line (2) P.M of the equipment P.M requires a considerable time because only one turbopump is used.
그리고 터보 포라인 밸브(V2)(V3)의 오픈/클로우즈를 반대로 동작시켜 가면서 펌핑을 수행하여야 하며, 챔버와 펌프 사이에 게이트 밸브가 구비되어 있지 않기 때문에 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)가 노멀 동작까지 도달하는 시간이 10분에서 15분 정도로 많이 걸리게 되는 결점이 있다.In addition, pumping should be performed while operating the open / closed positions of the turbo four-line valves V2 and V3 in reverse, and since the gate valve is not provided between the chamber and the pump, the first to third turbo pumps 3 ( There is a drawback that the time taken for 5) (6) to normal operation takes as much as 10 to 15 minutes.
또한, 소오스(1)/빔라인(2)영역에서 발생하는 빔 파티클(Particle)성분들이 이러한 소오스(1)/빔 라인(2)에 직접 연결되어 있는 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)내부로 유입되면 펌프내 회전자에 치명적인 손상을 입히게 되는 결점이 있었다.In addition, first to third turbo pumps 3 and 5 in which beam particle components generated in the source 1 / beamline 2 region are directly connected to the source 1 / beam line 2. 6) There was a drawback that if it entered inside, it would cause fatal damage to the rotor in the pump.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은, 챔버와 다수의 터보 펌프 사이에 각각 게이트 밸브를 더 구비하여 예측치 못한 시설 다운시 챔버를 저진공상태로 유지함과 함께 터보 펌프를 보호할 수 있도록 한 미디엄 커런트 임플렌터의 터보 펌프 보호 장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to further include a gate valve between the chamber and the plurality of turbopumps, respectively, to maintain the chamber in a low vacuum state during an unexpected facility downtime. Together, it provides a turbo pump protection device for a medium current implanter that can protect the turbo pump.
또한, 본 발명의 다른 목적은 갑작스런 순간정전 등으로 소오스 영역이 벤트될 때 파티클 성분들이 터보 펌프내로 유입되는 것을 방지할 수 있도록 한 미디엄 커런트 임플렌터의 터보 펌프 보호 장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a turbo pump protection device of a medium current implanter which can prevent particle components from entering the turbo pump when the source region is bent due to a sudden power failure.
도 1은 종래의 터보 펌프 진공 맵을 나타낸 도면1 is a view showing a conventional turbo pump vacuum map
도 2는 본 발명에 따른 터보 펌프 진공 맵을 나타낸 도면2 shows a turbopump vacuum map according to the invention.
도 3은 본 발명에서 챔버로부터 터보 베이킹 펌프로 펌핑 라인이 더 설치된 것을 설명하기 위한 블록도Figure 3 is a block diagram for explaining that the pumping line is further installed from the chamber to the turbo baking pump in the present invention
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1: 소오스 2: 빔 라인1: source 2: beam line
3: 제1터보펌프 4: 터보 베이킹 펌프3: first turbopump 4: turbo baking pump
5: 제2터보펌프 6: 제3터보펌프5: 2nd turbo pump 6: 3rd turbo pump
10: 챔버 V1: 가스 차단 밸브10: chamber V1: gas shutoff valve
V2,V3: 터보 포라인 밸브 V4: 빔라인 차단 밸브V2, V3: Turbo Fourline Valve V4: Beamline Shutoff Valve
V5: 게이트 밸브 V6: 소오스 라핑 밸브V5: gate valve V6: source lapping valve
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 소오스의 일측에 가스 차단을 위하여 설치된 가스 차단밸브와, 상기 소오스와 빔 라인사이에 설치되어 소오스 빔 라인을 차단하기 위한 차단 밸브와, 상기 소오스와 터보 펌프사이에 소오스 고진공상태를 유지하기 위한 제1터보 펌프를 통하여 설치되는 터보 포라인 밸브와, 상기 빔 라인과 터보 펌프사이에 빔 라인 고진공 상태를 유지하기 위한 제2터보펌프와 제3터보 펌프를 통하여 설치되는 터보 포라인 밸브를 포함하여 구성된 것에 있어서, 상기 챔버와 제1내지 제3터보 펌프사이에 각각 게이트 밸브를 더 설치하고, 상기 복수의 터보 포라인 밸브사이에 병렬로 소오스 라핑 밸브를 소오스와 연결되도록 설치하여 구성함을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a gas shutoff valve installed on one side of a source to block gas, a shutoff valve installed between the source and the beam line to block the source beam line, and the source and turbo pump. The turbo four-line valve installed through the first turbo pump for maintaining the high vacuum state of the source between the second turbo pump and the third turbo pump for maintaining the high vacuum line beam line between the beam line and the turbo pump In the configuration, including a turbo fore valve installed, a gate valve is further provided between the chamber and the first to the third turbo pump, respectively, and a source lapping valve is arranged in parallel between the plurality of turbo foreline valves. It is characterized by the installation and configuration to be connected.
본 발명의 다른 구성상의 특징은, 상기 챔버에서 터보 베이킹 펌프로 펌핑 라인이 더 설치된 것에 있다.Another configuration feature of the invention is that the pumping line is further installed in the chamber with a turbo baking pump.
본 발명의 또 다른 구성상의 특징은, 상기 빔 라인에 연결되는 복수의 터보 펌프사이에 별도의 경로를 설치한 것에 있다.Another configuration feature of the present invention is that a separate path is provided between the plurality of turbopumps connected to the beam line.
이와 같은 본 발명은 챔버와 제1내지 제3 터보 펌프 사이에 각각 게이트 밸브가 더 설치되어 있어 예측치 못한 시설 다운시 챔버를 저진공상태로 유지할 수 있는 것이다.In the present invention, a gate valve is further provided between the chamber and the first to third turbo pumps, so that the chamber can be kept in a low vacuum state when the facility is unexpectedly down.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 블록도로, 이에 도시된 바와 같이, 챔버의 소오스(1) 일측에 가스 차단을 위하여 설치된 가스 차단밸브(V1)와, 상기 소오스(1)와 빔 라인(2)사이에 설치되어 소오스 빔 라인을 차단하기 위한 소오스 빔 라인 차단 밸브(V4)와, 상기 소오스(1)와 터보 펌프(4)사이에 소오스 고진공상태를 유지하기 위한 제1터보펌프(3)를 통하여 설치되는 터보 포라인(Foreline) 밸브(V2)와, 상기 빔 라인(2)과 터보 베이킹 펌프(4)사이에 빔 라인 고진공 상태를 유지하기 위한 제2터보 펌프(5)와 제3터보 펌프(6)를 통하여 설치되는 다른 터보 포라인 밸브(V3)를 포함하여 구성된 것에 있어서, 상기 챔버와 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)사이에 각각 게이트 밸브(V5)를 더 설치하고, 상기 소오스(1)와 터보 베이킹 펌프(4)사이에 상기 터보 포라인 밸브(V2)와 병렬로 소오스 라핑(Roughing) 밸브(V6)를 더 설치하고, 상기 빔 라인(2)에 연결되는 복수의 터보 펌프(5)(6)사이에 별도의 경로(7)를 더 설치하여 구성된 것이다.2 is a block diagram of the present invention, as shown therein, a gas shutoff valve (V1) installed on one side of a source (1) of the chamber for gas shutoff, and installed between the source (1) and the beam line (2). And a source beam line shutoff valve V4 for blocking the source beam line and a first turbo pump 3 installed between the source 1 and the turbo pump 4 to maintain a source high vacuum state. Between the foreline valve V2 and the beam line 2 and the turbo baking pump 4, a second turbo pump 5 and a third turbo pump 6 for maintaining the high vacuum state of the beam line are provided. In the configuration including another turbo foreline valve (V3) is installed through, further provided with a gate valve (V5) between the chamber and the first to third turbo pump (3) (5) (6), Source lapping in parallel with the turbo foreline valve V2 between the source 1 and the turbo baking pump 4 Ro The ughing valve V6 is further installed, and a separate path 7 is further installed between the plurality of turbo pumps 5 and 6 connected to the beam line 2.
단, 상기 터보 포라인 밸브(V3)와 터보 포라인 밸브(V2)가 터보 베이킹 펌프(4)에 병렬로 연결된다.However, the turbo four-line valve (V3) and turbo four-line valve (V2) is connected in parallel to the turbo baking pump (4).
도 3은 본 발명의 챔버(10)와 다수의 터보 펌프(3)(5)(6) 및 터보 베이킹 펌프(4)로 이어지는 일련의 구성에 있어서, 상기 챔버(10)와 터보 베이킹 펌프(4)사이에 펌핑 라인(L)을 더 설치하여 구성된 것이다.3 shows the chamber 10 and the turbo baking pump 4 in a series of configurations leading to the chamber 10 of the present invention, a plurality of turbo pumps 3, 5, 6 and a turbo baking pump 4. It is configured by installing a pumping line (L) between.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용/효과를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation / effect of the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
즉, 본 발명은 챔버와 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)사이에 각각 게이트 밸브(V5)를 더 설치하여 소오스(1)와 터보 베이킹 펌프(4)를 격리시킴으로써 소오스(1)와 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)의 진공상태를 계속적으로 유지시킬 수 있다.That is, according to the present invention, the gate valve V5 is further provided between the chamber and the first to third turbo pumps 3, 5 and 6 to isolate the source 1 and the turbo baking pump 4 from each other. The vacuum conditions of (1) and the first to third turbo pumps (3) (5) and (6) can be maintained continuously.
또한, 순간 정전이나 예측하지 못했던 상태의 발생으로 인하여 소오스(1) 영역이 벤트(Vent)될 때 상기 게이트 밸브(V5)에 의하여 파티클 성분들이 제1내지 제3 터보펌프(3)(5)(6)내부로 유입되지 못하게 되므로 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)의 회전자에 치명적인 손상을 주었던 것을 방지하여 줄 수 있게 되는 것이다.Further, when the source 1 region is vented due to a momentary power failure or an unforeseen occurrence of the particles, the particle components are first to third turbopumps 3 and 5 (by the gate valve V5). 6) Since it does not flow into the inside of the first to third turbo pumps (3) (5) It is possible to prevent the fatal damage to the rotor of the (6).
즉, 챔버를 진공상태로 할 때에도 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)가 같이 동작되지 않으므로 기존에 미세한 리크에도 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6)가 손상되었던 것이 방지된다.That is, the first to third turbo pumps 3, 5 and 6 do not operate together even when the chamber is in a vacuum state, so that the first to third turbo pumps 3, 5 and 6 can be used even with the existing minute leaks. ) Is prevented from being damaged.
또한, 기존에 장비 P.M중 소오스(1) P.M 및 빔라인(2) P.M시 하나의 터보 펌프만으로 펌핑을 하였기 때문에 상당한 시간이 소요되었으나 본 발명에서는 챔버와 제1내지 제3 터보 펌프(3)(5)(6) 사이에 설치된 게이트 밸브(V5)에 의하여 터보 펌프(4)가 노멀 동작까지 도달하는 시간이 단축된다.In addition, since the pumping of only one turbo pump in the source (1) PM and beamline (2) PM of the equipment PM was required a considerable time, in the present invention, the chamber and the first to third turbo pump (3) (5) The time required for the turbo pump 4 to reach the normal operation is shortened by the gate valve V5 provided between the 6 and 6.
한편, 본 발명은 소오스(1)와 게이트밸브(V5), 터보 펌프(3) 그리고 터보 포라인 펌프(V2) 및 터보 베이킹 펌프(4)로 이어지는 일련의 구성에 병렬로 소오스 라핑 밸브(V6)를 상기 소오스(1)에 연결한 것으로, 이는 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(10)와 터보 베이킹 펌프(4)사이에 펌핑 라인(L)을 더 구비한 것이 되어 챔버(10)에서 터보 베이킹 펌프(4)로 직접 펌핑을 수행할 수 있는 것이다.On the other hand, the present invention is a source lapping valve (V6) in parallel to a series of configurations leading to the source (1) and gate valve (V5), turbo pump (3) and turbo foreline pump (V2) and turbo baking pump (4) Is connected to the source 1, which is further provided with a pumping line L between the chamber 10 and the turbo baking pump 4, as shown in FIG. It is possible to perform the pumping directly to the baking pump (4).
따라서, 본 발명은 챔버(10)를 진공상태로 할 때 터보 펌프(3)(5)(6)가 게이트 밸브(V5)에 의해 차단되어 이러한 터보 펌프(3)(5)(6)가 동작하지 않게 되므로 미세한 리크에 손상되지 않게 되는 것이다.Therefore, in the present invention, the turbo pumps 3, 5, 6 are blocked by the gate valve V5 when the chamber 10 is vacuumed, so that the turbo pumps 3, 5, 6 operate. It will not be damaged by fine leaks.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 챔버와 제1내지 제3 터보 펌프 사이에 각각 게이트 밸브를 더 설치하여 예측치 못한 시설 다운시 챔버를 저진공상태로 유지할 수 있도록 하는 효과가 있다.As described above, the present invention has an effect of maintaining the chamber in a low vacuum state in the event of an unexpected downtime by further installing a gate valve between the chamber and the first to third turbo pumps, respectively.
또한, 순간 정전이나 예측하지 못했던 갑작스런 순간정전 등으로 소오스 영역이 벤트될 때 파티클 성분들이 터보 펌프내로 유입되는 것을 방지할 수 있어 터보 펌프를 보호할 수 있는 효과가 있다.In addition, when the source region is bent due to a momentary power failure or an unexpected sudden power failure, particle components may be prevented from flowing into the turbo pump, thereby protecting the turbo pump.
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
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Payment date: 20080401 Year of fee payment: 7 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |