KR100304832B1 - 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구 - Google Patents
다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100304832B1 KR100304832B1 KR1019990036124A KR19990036124A KR100304832B1 KR 100304832 B1 KR100304832 B1 KR 100304832B1 KR 1019990036124 A KR1019990036124 A KR 1019990036124A KR 19990036124 A KR19990036124 A KR 19990036124A KR 100304832 B1 KR100304832 B1 KR 100304832B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- diamond
- diamond tool
- cutting
- polishing
- tool
- Prior art date
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 74
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 73
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000000227 grinding Methods 0.000 title description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 23
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims abstract description 12
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims abstract description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 3
- 239000002783 friction material Substances 0.000 abstract description 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010979 ruby Substances 0.000 description 9
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 description 9
- 229940058401 polytetrafluoroethylene Drugs 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
- C23C24/02—Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
- C23C24/06—Compressing powdered coating material, e.g. by milling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23B2228/10—Coatings
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
본 발명은 드릴이나 휠, 연마 디스크와 같이 다이아몬드를 코팅한 다이아몬드 공구의 표면에 저마찰 재료인 흑연, PTFE, MoS2, WS2,다이아몬드상 카본(DLC;Diamond Like Carbon)등의 박막층을 형성하여 절삭 성능 및 연마 성능을 향상시킬 수 있도록 한 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라 제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구에 관한 것이다.
본 발명에 의하면 0.1∼100㎛ 의 중심선 평균 거칠기를 갖는 다이아몬드 공구의 표면에, 평균 입경 0.01∼10㎛ 크기의 흑연, PTFE, MoS2, WS2, DLC 분말을 단독 또는 2종 이상 혼합한 혼합 분말을 0.5 ㎛ 이하의 두께로서 버니싱, 또는 진공증착에 의해 코팅하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이러한 방법에 의해 제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구가 제공된다.
Description
본 발명은 드릴이나 휠, 연마 디스크와 같이 다이아몬드를 코팅한 다이아몬드 공구의 표면에 저마찰 재료인 흑연, PTFE, MoS2, WS2,다이아몬드상카본(DLC;Diamond Like Carbon)등의 박막층을 형성하여 절삭 성능 및 연마 성능을 향상시킬 수 있도록 한 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라 제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구에 관한 것이다.
일반적으로 다이아몬드 공구(Diamond Tool)는 공업용 다이아몬드를 연마하여 만든 절삭날에 미립자를 고압 소결한 팁이나, 초경 합금 모재위에 상기 미립자를 엷은 층으로 접착시켜 연강대에 부착한 바이트로서, 절삭날의 수명이 길고 매우 평활하여 미려한 다듬질면을 얻을 수 있으며 세라믹과 같은 난삭재(難削劑)의 절삭 가공에 적합한 특성을 가진다.
이러한 다이아몬드 공구는 공구 표면에 다이아몬드 분말을 코팅하거나, 진공증착(Vacuum coating)법등을 통해 다이아몬드 입자를 공구의 피접착면에 피복시켜 사용하고, 비철금속과 경도가 높은 세라믹등을 가공할 때 사용하며, 코팅되는 다이아몬드 결정립의 크기는 약 0.2∼수백 ㎛의 범위에 속하고, 이들을 코팅하였을 때 중심선 평균 거칠기 Ra 값으로 표시하면 약 0.1∼100 ㎛인 범주에 속한다.
종래 이러한 다이아몬드 공구로 피삭물을 가공시에는 피삭재와 닿는 부분에 많은 힘(응력)이 걸리게 되며, 이러한 응력에 의해 다이아몬드 결정립의 모서리(edge)부위에서 카본의 결정 구조가 변하는 데, 이러한 현상을 '다이아몬드의 흑연화'라고 한다. 이러한 흑연화가 발생되면 마찰계수가 낮아져서 쉽게 마모가 이루어지고, 결국 다이아몬드 결정립의 모서리가 무디어지는 결과를 초래한다.
이와 같이 다이아몬드 결정립의 모서리가 흑연화되고, 무디어지기 때문에 다이아몬드 결정립이 피삭재에 깊이 파고 들지 못하여 절삭 및 연마 성능이 저하된다.
또한, 다이아몬드 박막 표면에 저마찰재료를 코팅하였을 경우 피삭재의 칩이 쉽게 빠져나갈 수 있게 되는 바, 이는 칩이 저마찰재료의 표면에서 쉽게 미끄러져 나갈 수 있기 때문이며, 전술한 흑연화는 피삭재와 닿는 부분에서만 일어나고, 다이아몬드 결정립의 골(Valley)부분에서는 이러한 흑연화가 일어나지 않아 마찰게수가 계속 높은 상태를 유지한다.
상기 칩들이 빠져 나가기 위해서는 이러한 골을 거쳐야 하는 데, 이곳(골)에서는 여전히 마찰계수가 높으므로 칩들이 쉽게 빠져 나가지 못하게 되어 쌓이게 된다.
이렇게 피삭물의 칩(Chip)이 다이아몬드 결정립 사이에 쌓이는 것에 의해서도 절삭성능 및 연마 성능이 떨어지게 되며, 어떤 기구가 주요 인자로 작용하는 지는 가공조건과 분위기에 따라 달라지나, 두 가지 경우 모두 다이아몬드 공구의 절삭성능 및 연마 성능을 저하시키게 된다.
이때, 연삭 숫돌을 사용하여 다이아몬드 공구를 연삭함으로써, 다이아몬드 결정립 사이에 쌓인 칩들을 제거하는 드레싱(Dressing) 과정을 거치는 바, 이러한 드레싱 과정은 필연적으로 가공시간을 증가시켜 생산성 저하의 요인으로 작용하는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 감안하여 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 다이아몬드 공구의 초기 절삭 및 연마 성능을 드레싱 과정없이계속적으로 유지할 수 있는 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라 제조되는 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구를 제공함에 있다.
도 1은 본 발명의 실시예로서 다이아몬드 박막 시편의 시간에 따른 마찰계수의 변화를 나타낸 그래프,
도 2는 본 발명의 실시예로서 다이아몬드 박막 시편에 대해 트리보 시험한 루비볼의 마모 흔적을 나타낸 사진,
도 3은 본 발명의 실시예로서 다이아몬드 박막위에 PTFE를 증착한 시편의 시간에 따른 마찰계수의 변화를 나타낸 그래프,
도 4는 본 발명의 실시예로서 다이아몬드 박막 위에 PTFE를 증착한 시편에 대해 트리보 시험한 루비볼의 마모 흔적을 나타낸 사진이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 코팅되는 다이아몬드 결정립의 크기에 의해 0.1∼100㎛ 의 중심선 평균 거칠기를 갖는 다이아몬드 공구의 표면에, 평균 입경 0.01∼10㎛ 크기를 갖는 흑연, PTFE, MoS2, WS2, DLC 분말을 단독 또는 2종 이상 혼합한 혼합 분말을 0.5 ㎛ 이하의 두께로서 버니싱, 또는 진공증착에 의해 코팅하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 중심선 평균 거칠기 Ra 값이 0.1∼100㎛ 인 다이아몬드 공구의 표면에 평균 입경 0.01∼10㎛ 크기의 흑연, PTFE, MoS2, WS2, DLC 분말을 단독 또는 2종 이상 혼합한 혼합 분말이 0.5 ㎛ 이하의 두께로서 버니싱, 또는 진공증착에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구를 제공한다.
이하에 본 발명에 대해 상세히 설명한다.
중심선 평균 거칠기 Ra 값이 0.1∼100㎛ 인 다이아몬드 공구의 표면을 평균 입경 0.01∼10㎛ 크기의 흑연, PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene), MoS2, WS2, DLC 분말을 단독 또는 2종 이상 혼합한 혼합분말을 0.5 ㎛ 이하의 두께로서 버니싱하거나, 또는 진공증착법을 통해 다이아몬드 박막을 코팅한다.
이에 따라 다이아몬드 공구가 절삭이나 연마등을 통해 피삭물을 가공시에 상기 다이아몬드의 공구의 버니싱부나 코팅층에 의하여 다이아몬드의 흑연화에 의한 결정립 모서리부위에서의 마모나 무디어짐을 억제하게 되고, 이에 따라 다이아몬드 공구의 절삭 성능 및 연마 성능이 유지될 수 있다.
이때, 혼합 분말의 평균 입경 및 저마찰 재료의 두께가 본 발명의 바람직한 범위를 벗어나는 경우, 처리 효과의 극대화를 기할 수 없게 된다.
즉, 저마찰 재료를 다이아몬드 공구에 코팅할 때 상기 저마찰 재료는 다이아몬드 결정립을 균일하게 덮을 수 있어야 하며, 다이아몬드 결정입에 비해 약 10배 이상 작아야 한다.
만일, 저마찰 재료의 입경이 0.01∼10 ㎛ 범위를 벗어나서 저마찰 재료의 입경이 다이아몬드 결정립의 크기와 유사한 정도가 되면 다이아몬드 결정립을 균일하게 덮기 보다는 다이아몬드 결정립 사이에 놓이게 되어 후속되는 연마가공 공정시에 저마찰 재료가 떨어져 나갈 확률이 높게 된다.
일반적으로 저마찰 재료를 두껍게 증착하면 초기에는 다이아몬드 공구의 연마 성능이 저하된 상태로 유지하다 저마찰 재료가 마모되어 얇게 된 후부터는 다시 다이아몬드 공구의 연마 성능이 향상되는 특성을 나타내고, 이때 코팅층의 박리가 일어나기도 한다.
따라서 마모의 방지를 위해 저마찰 재료를 얇게 코팅할 필요가 있으며, 본 발명에서는 상기 저마찰 재료의 두께를 0.5 ㎛ 이하로 한정하였다. 상기 저마찰 재료의 두께가 0.5 ㎛ 이상일 경우에는 다이아몬드 공구의 연마 성능이 저하되는 결과를 초래할 수 있다.
또한, 이러한 코팅층 두께에서 다이아몬드 공구의 중심선 평균 거칠기 Ra값의 변화를 최소화할 수 있게 된다.
이하에 실시예를 들어 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
(실시예)
다이아몬드가 규소(Si) 웨이퍼(Wafer)에 코팅된 시료에 대해 50g의 하중에서 50rpm 속도로 시료를 회전시키면서 직경 3㎜인 루비볼(Ruby ball)을 상대 재료로 사용하여 Ball-On-Disk 마모시험기로 마모 시험을 시행하고, 그 결과를 도 1에 나타내었다. 또한, 마모 시험 후 상대재료인 루비볼의 마모흔을 도 2에 나타내었다.
도 1에 나타난 바와 같이, 시료를 회전시키면서 상대 재료로 미끄럼 운동을 하였을 때 계속 마찰계수가 감소하다 약 10000초 이후부터는 안정된 값을 나타내고 있다.
도 2에 도시된 루비볼의 마모 흔적의 직경은 약 1㎜이다.
한편, 위의 시료에 PTFE를 RF 스패터링(Spattering)법으로 증착하여 위와 같은 조건으로 시험한 결과를 도 3에 나타내었고, 이 마모 시험 후 루비볼의 마모흔을 도 4에 나타내었다.
도 3에 나타난 바와 같이, 시료를 회전시키면서 상대 재료로 미끄럼 운동을 하였을 때 초기의 마찰계수가 시험 시간동안 계속해서 일정하게 유지되는 것을 볼 수 있으며, 상대재료인 루비볼의 마모흔을 보여주는 도 4는 도 2에 비해 마모흔적이 넓어져 있음을 보여주고 있다.
또한, 상기 루비볼에 생긴 마모 흔적의 직경은 약 1.5㎜이다.
이때, 전술한 시험 조건에서 상대 재료인 루비볼을 다이아몬드 공구의 피삭재로 간주할 수 있고, 마모 시험을 연마 과정으로 볼 수 있다.
이러한 실험을 통하여 다이아몬드 공구를 사용하여 연마과정을 거치는 가공 공정은 다이아몬드 공구에 윤활 박막을 버니싱 또는 진공증착에 의해 코팅함으로써 성능 향상을 꾀할 수 있음을 알 수 있다.
다이아몬드 공구 중 휠, 드릴, 연마 디스크와 같이 피삭재를 절단, 구멍을 뚫거나 연마를 하는 데 이용하는 공구는 모두 연마 과정을 통하여 이루어지는 가공 공정이므로 본 발명에서 제안하는 저마찰재료를 코팅함으로써 다이아몬드 공구의 절삭 성능 및 연마 성능이 향상될 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명에 의하면 다이아몬드 공구로 피삭물을 가공시에 끝보기 마찰계수의 감소를 줄이고, 피삭물의 칩(Chip)이 다이아몬드 결정립 사이에 쌓이는 것을 방지하여 다이아몬드 공구의 절삭 성능 및 연마 성능이 향상되는 효과가 있다.
또한, 다이아몬드 결정립 사이에 쌓인 칩들을 제거하는 드레싱(Dressing) 과정이 불필요하게 되어 생산성 향상을 도모할 수 있는 효과가 있다.
Claims (2)
- 0.1∼100㎛ 의 중심선 평균 거칠기를 갖는 다이아몬드 공구의 표면에, 평균 입경 0.01∼10㎛ 크기의 흑연, PTFE, MoS2, WS2, DLC 분말을 단독 또는 2종 이상 혼합한 혼합 분말을 0.5 ㎛ 이하의 두께로서 버니싱, 또는 진공증착에 의해 코팅하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법.
- 중심선 평균 거칠기 Ra 값이 0.1∼100㎛ 인 다이아몬드 공구의 표면에 평균 입경 0.01∼10㎛ 크기의 흑연, PTFE, MoS2, WS2, DLC 분말을 단독 또는 2종 이상 혼합한 혼합 분말이 0.5 ㎛ 이하의 두께로서 버니싱, 또는 진공증착에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990036124A KR100304832B1 (ko) | 1999-08-28 | 1999-08-28 | 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990036124A KR100304832B1 (ko) | 1999-08-28 | 1999-08-28 | 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010019610A KR20010019610A (ko) | 2001-03-15 |
| KR100304832B1 true KR100304832B1 (ko) | 2001-09-24 |
Family
ID=19609103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990036124A KR100304832B1 (ko) | 1999-08-28 | 1999-08-28 | 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100304832B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210134118A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 한국재료연구원 | 카본 피복 공구 및 이의 제조방법 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6070178A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 硬質カ−ボン膜被覆工具 |
| US4960643A (en) * | 1987-03-31 | 1990-10-02 | Lemelson Jerome H | Composite synthetic materials |
| KR920007751A (ko) * | 1990-10-08 | 1992-05-27 | 나까하라 쯔네오 | 다결정 다이아몬드를 사용한 절삭공구 및 그 제조방법 |
-
1999
- 1999-08-28 KR KR1019990036124A patent/KR100304832B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6070178A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 硬質カ−ボン膜被覆工具 |
| US4960643A (en) * | 1987-03-31 | 1990-10-02 | Lemelson Jerome H | Composite synthetic materials |
| KR920007751A (ko) * | 1990-10-08 | 1992-05-27 | 나까하라 쯔네오 | 다결정 다이아몬드를 사용한 절삭공구 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010019610A (ko) | 2001-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7544117B2 (en) | Tools for polishing and associated methods | |
| KR102253560B1 (ko) | 절삭 공구 | |
| KR20010082729A (ko) | 볼엔드밀 | |
| CN109153106B (zh) | 金刚石复合物cmp垫调节器 | |
| Katahira et al. | ELID grinding characteristics and surface modifying effects of aluminum nitride (AlN) ceramics | |
| Bhat et al. | A preliminary investigation of the effect of post-deposition polishing of diamond films on the machining behavior of diamond-coated cutting tools | |
| US8162723B2 (en) | Method of polishing a tungsten carbide surface | |
| JP3252711B2 (ja) | 被覆窒化珪素系工具 | |
| KR101014698B1 (ko) | 절삭공구 | |
| JP3006453B2 (ja) | 被覆硬質合金工具 | |
| KR100304832B1 (ko) | 다이아몬드 공구의 절삭 및 연마 특성 개선방법 및 이에 따라제조된 절삭 및 연마 특성이 우수한 다이아몬드 공구 | |
| JPH1071507A (ja) | 被覆硬質合金工具 | |
| JP2008200780A (ja) | 混合砥粒砥石 | |
| JP2003175408A (ja) | 多結晶硬質焼結体スローアウェイチップ | |
| JP2007090444A (ja) | 鏡面加工用ホイール | |
| KR20050092743A (ko) | 연질재 가공용 절삭 공구 | |
| US6866560B1 (en) | Method for thinning specimen | |
| EP3409422A1 (en) | Abrasive tool | |
| JP2002160108A (ja) | 精密加工用切削工具およびその製造方法 | |
| JP2006138011A (ja) | ダイヤモンド膜被覆部材およびその製造方法 | |
| RU2801704C1 (ru) | Способ изготовления режущих керамических пластин | |
| Yamaguchi et al. | Study on lapping and constant-pressure grinding of single-crystal SiC | |
| JP2004291204A (ja) | ｃＢＮ基焼結体切削工具およびその製造方法 | |
| JP4337580B2 (ja) | 軟質材加工用切削工具 | |
| JP3998648B2 (ja) | カップ型回転砥石 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20100714 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |