KR100300361B1 - 제한된각을가지는직접구동서보밸브 - Google Patents

Abstract

직접 구동 서보밸브는 모터 회전자 위치 센서를 포함한다. 회전자 위치 센서는 제로 위치로부터 회전자의 회전 정도를 나타내는 전기 신호를 발생시키는데 사용된다. 상기 신호는 피드백 루프에 이용되어 구동 모터를 제어한다. 상기 센서는, 구동 모터의 회전자 부분으로서 사용된 영구 자석이나 구동 모터 회전자의 회전자 축상에 장착된 분리된 영구 자석에 의하여 구동되는, 홀 효과 장치를 포함할수있다. 또한, 위치 센서는 구동 모터의 내부에 장착된 포텐시오미터를 포함할수있다.

Description

제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브

제1도는 본 발명의 원리에 의하여 구성된, 제한된 각을 갖는 직접 구동 서보밸브를 나타낸 개략 단면도.

제2도는 본 발명의 원리에 의하여 위치 신호를 발생시키기 위하여 영구 자석과 인접하게 위치된 홀 효과 장치를 나타낸 개략도.

제3도는 제2도에 나타낸 것과 같은 구조로부터의 출력신호를 나타낸 그래프.

제4도는 회전자에 의하여 지지되고 모터의 동작시에 통상적으로 사용되는 영구 자석 수단에 의하여 구동되는 홀 효과 센서의 위치를 나타내는 제한된 각의 회전 토크 모터의 개략도.

제5도는 서보 모터의 정상 동작시에 홀 효과 장치를 구동시키는 별개의 영구자석을 사용한 것을 제외하고는 제4도와 유사한 개략도.

제6도는 저항 소자를 모터 하우징의 상부에 설치한 포텐시오미터를 사용하는 제한된 각의 회전 토크 모터의 개략도.

제7도는 포텐시오미터의 저항 소자를 모터 하우징의 측벽에 설치한 것을 제외하고는 제6도와 유사한 부분도.

제8도는 포텐시오미터 위치 센서로부터의 전기 출력 신호가 선형인 것을 나타낸 그래프.

제9도는 소정 기능에 의하여 형성지어 지는 위치 센서의 전기 출력 신호를 나타낸 그래프.

제10도는 본 발명의 원리에 의하여 구성된, 제한된 각의 토크 모터를 나타낸 도면.

제11도는 제10도의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라서 취한 토크 모터의 부분 평면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 하우징 12 : 스풀 밸브

14 : 구동 부재 16, 20 : 축

18 : 토크 모터 22, 28, 30, 32 : 포트

34, 50 : 영구 자석 38, 40 : 베어링

46 : 위치 감지 수단 52 : 회전자 축

54 : 홀 효과 장치

본 발명은 직접 구동 서보 밸브에 관한 것으로, 특히 모터 회전자 위치를 감지하여 그 모터 회전자 위치를 나타내는 전기 신호를 발생시키는 직접 구동 서보 밸브에 관한 것이다.

토크 모터로 구동되는 스풀 밸브는 당해 기술분야에 공지되어 있으며, 이는 구동 모터에 인가된 전기 신호에 응답하여 회전자로부터 연장한 구동 부재가 스풀 밸브와 접촉하여, 당해 스풀 밸브를 밸브 하우징내에 제공된 구멍내에서 직접 왕복운동시킴으로써, 소오스로부터 로드 (load) 까지의 유체 흐름을 제어하도록 되어 있는 회전 토크 모터를 사용하여 동작하는 것들을 포함한다. 전형적인 이러한 직접 구동 서보 밸브로는, 1988년 12 월 27 일자로 Larry E. Haynes 등에게 부여된 미국특허 제 4,793,377 호 공보에 개시된 것이 있다. 여기에서 설명하고 청구한 본 발명은, 상기 미국특허 제 4,793,377 호 공보에 개시된 직접 구동 서보 밸브를 더욱 개선시킨 것으로, 미국특허 제 4,793,377 호 공보를 참조하여 설명한다.

출원인에게 공지된 다른 종래의 기술로는, 미국특허 제 4, 197,474 호, 제 2,769,943 호, 제 2,697,016 호, 제 4,452,423 호, 제 4,339,737 호, 및 제 4,702,123 호 공보는 물론, 1960 년 7 월 19 일자로 부여된 캐나다특허 제 601808 호와 1978 년 8 월 16 일자로 부여된 영국특허 제 1521668 호 공보에 개시된 것이 있다. 상기 종래의 서보밸브가 필요로 하는 것은, 소정의 적용조건하에서, 밸브를 정확히 동작시킬 수 있도록 하기 위하여, 서보 루프 폐쇄용의 위치 피드백을 가져야 한다는 것이다. 종래의 기술에서, 이러한 위치 피드백은, 일반적으로 스풀 위치 피드백을 제공하기 위하여 스풀 밸브에 연결된 LVDT (linear variab1e differential transformer) 를 통하여 발생되었다. 이러한 LVDT 는 고가여서 밸브의 가격을 증가시키게 된다. 또한, LVDT 의 높은 가격 이외에도, 봉합 및 마찰 문제를 제거하기 위하여 LVDT 가 유압실내에서 젖은 상태로 동작하도록, 일반적으로 특수한 설비가 제공되었다. 또한, LVDT 를 스풀에 연결하는 방법이 매우 중요하며, LVDT 를 사용하는 이러한 밸브는 제로 상태로 조정하기 어렵고, 또한 LVDT 의 입출력 신호를 정확하게 처리하기 위하여 복잡한 전자장치를 필요로 한다. 종래 서보밸브에서의 제어 루프 폐쇄는 모터 명령과 스풀 위치 피드백을 수반한다. 모터와 스풀간의 사이가 느슨해지는 경우에는 서보밸브가 불안정하게 된다.

본 발명에 따르면, 베어링 수단에 의하여 지지되고 영구 자석 수단을 장착한 축을 가지는 회전자를 포함하는 유압 제어 시스템에 사용되는 포스 (force) 모터가 제공된다. 회전자 둘레에 위치하고 있는 것은 고정자로서, 자기 투과성 적층부로 이루어지며 그 위에 일반적인 필드 권선이 설치되어 있다. 모터의 회전자는 360° 미만의 제한된 각도로만 움직일 수 있도록 설계 및 제한되어 있다. 위치 센서 수단이 모터에 장착되어, 토크 모터의 회전자의 회전각 위치를 나타내는 전기 신호를 발생한다.

본 발명의 특수한 양태에 따르면, 상기 위치 센서는 회전자의 위치와 연관된 자계의 이동을 감지하도록 위치된 아날로그 홀 효과 장치 (HALL effect device) 를 구비한다. 상기 자계의 이동은 회전자축에 장착된 영구 자석 수단에 의하여 유발되며, 모터의 정상 동작과 연관되어 사용된다. 또 다르게는, 모터 회전자의 영구 자석 수단과 적절히 정렬되어 홀 효과 장치에 인접하여 위치되는 별개의 영구 자석이 회전자 축상에 제공될 수도 있다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 상기 모터 위치 센서는, 포텐시오미터의 와이퍼가 회전자 축에 장착되어 있어, 모터에 인가된 입력 신호에 대응하여 모터 회전자가 운동함에 따라 그 와이퍼에 각운동이 유발될때 회전자 위치 신호를 발생시키는 방식과 같은, 모터 회전자 부근에 장착된, 통상 비권회형의 포텐시오미터이다.

도 1 을 좀더 자세하게 참조하면, 본 발명의 원리에 의하여 구성된, 제한된 각도로 회전하는 선형 직접 구동 서보밸브가 개략적으로 도시되어 있다. 여기에 도시된 바와 같이, 하우징 (10) 이 제공되며, 그 내부에는 토크 모터 (18) 의 축 (16) 으로부터 연장하는 구동부재 (14) 의 각도 변위에 응답하여 왕복운동하는 스풀 밸브 (12) 가 설치되어 있다. 상기 종래 기술에서 설명되고 당업자에게 널리 공지된 바와 같이, 상기 구동 부재 (14) 는 축 (16) 상에 편심되게 위치하고 있기 때문에, 축 (16) 이 그 중심 라인 (20)을 중심으로 회전함에 따라, 상기 구동 부재 (14) 가 이동하여 스풀 밸브 (12) 에 왕복운동을 부여하게 된다. 이와 같은 운동은, 포트 (22) 에 가해져 스풀 밸브 (12) 의 양 단부 (24, 26) 에서 나타나는 압력유체를 제어한다. 만약 스풀 밸브 (12) 가 제 1 도에서 볼 수 있는 바와 같이 오른쪽으로 이동하게 되면, 압력유체는 포트 (28) 를 통하여 로드 (도시되지 않음) 로 흘러가고, 만약 스풀 밸브 (12) 가 왼쪽으로 이동하게 되면, 유체는 포트 (30) 를 통하여 로드로 흘러간다. 어느 경우에도, 복귀 (return) 흐름은 포트 (32) 를 통과한다.

당업자에게 공지된 것처럼, 토크 모터(18) 는, 축에 장착되며 또한 소정의 자기 투과성 코어 또는 적층 스택상에 장착된 필드 권선 (36) 으로 감싸져 있는 영구 자석 (34) 을 포함한다. 축 (l6) 은 그 양 단부가 베어링 (38, 40) 에 의하여 지지된다. 소정의 실시예에서, 압력유체를 모터로부터 고립시키기 위하여 적당한 밀봉부 (42) 가 제공된다.

제 1 도에 나타낸 바와 같이, 축 (16) 은 그 상단부에 연장부 (44) 를 가진다. 이 연장부 (44) 에 인접해서는 위치 감지 수단 (46) 이 설치되어 있다. 이 위치 감지 수단 (46) 은 토크 모터 (18) 의 회전자의 회전각 위치에 비례하는 전기 출력 신호를 발생시킨다. 위에서 언급한 바와 같이, 이 위치 감지 수단은 상기와 같은 회전각 위치에 비례하는 전기 출력 신호를 제공할 수 있는 것이면, 당업자에게 공지된 어떠한 형태의 것이어도 된다.

각도 위치 감지 수단 (46) 의 바람직한 일 형태가 제 2 도에 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 영구 자석 (50) 은 회전자 축 (52) 상에 장착되며, 이 축에 대하여 특정 위치로 된 4 개의 극을 가지며, 도시된 바와 같이 극성이 교대로 변하게 되어 있다. 자석과 인접해서는, 전기 신호를 인가받아서 전기 도선 (56)을 통하여 출력 신호를 제공하는 홀 효과 장치 (HALL effect device : 54) 가 위치하고 있다. 회전자 축 (52) 이 180° 의 회전 주기로 회전함에 따라, 제 3 도에 도시된 바와 같은 출력 신호가 발생됨은 당업자에게 널리 공지된 것이다. 제 3 도에서, 가로축은 스풀의 위치이고, 세로축은 출력 전압이다. 따라서, 만약 회전자 축 (52) 이 연속적으로 회전되도록 하면, 제 3 도에 나타낸 바와 같은 사인파가 연속적으로 발생될 것이다. 그러나, 본 발명의 당면과제인 직접 구동 서보 밸브는 제한된 각을 갖는 직접 구동 서보 밸브임을 명심해야 한다. 즉, 서보 밸브의 회전자는 360° 미만의 특정 각도로 그 회전이 제한된다. 예를 들어, 제 2 도에 도시된 바와 같은 4 극 장치에 있어서, 허용되는 제한된 회전각은 제 3 도에 점선 (58, 60)으로 도시된 바와 같이 약 ±25°정도이다. 또한, 홀 효과 장치 (54) 에 의하여 발생된 전기 출력 신호는 ±25°사이의 범위에 걸쳐서 실질적으로 선형임을 당업자는 주의하여야 한다. 만약 2 극 모터가 사용되면, 실질적인 선형 동작 범위는 약 ±50°로 확대될 것이다.

홀 효과 장치를 회전 모터 정류용의 전기 센서로서 사용하는 것은 당업자에게 널리 공지된 것임을 알고 있을 것이다. 이러한 홀 효과 장치는, 적정 시간에 코일 권선 전류를 순차적으로 스위치 온 및 오프시키는 디지털 스위치로서 사용되어, 부드러운 모터 회전을 위한 토크를 제공한다. 이러한 종래의 장치로는, 미국특허 제 4,494,028 호, 제 4,311,933 호 공보에 개시된 것이 있다. 이들 각 특허와 당업자에게 공지된 다른 특허에 있어서는, 홀 효과 장치가 브러쉬없는 직류 모터용 정류 장치의 부분으로서 사용된다. 본 발명에 따르면, 이 홀 효과 장치는 정류 시스템의 부분으로서의 기능은 하지 않고, 그 대신에 위에서 언급된 바와 같이, 종래기술의 모터에서 일반적인 온/오프 변환 전압과는 반대로, 제한된 각도내에서 회전자의 정확한 위치에 비례하는 전기 신호를 발생시키는데 사용된다.

제 4 도에는, 본 발명의 원리에 의하여 구성되고, 위치 센서로서 홀 효과 장치를 사용하는, 제한된 각을 갖는 직접 구동 토크 모터의 일 실시예가 도시되어 있다. 제 4 도에 도시된 바와 같은 실시예는 모터 하우징 (62) 을 포함하며, 이 내부에는 고정자 (64) 와 회전자 (66) 가 위치하고 있다. 회전자 (66) 는 축 (68) 을 포함하며, 그 축상에는 영구 자석 수단 (70) 이 설치되어 있다. 제 4 도에 나타낸 바와 같이, 영구 자석 수단은 자기 투과성 코어 재료 (72) 보다 "d" 로 표시된 만큼 상방으로 연장되어 있다. 이는 하우징 (62) 의 상부내로 연장한 회전자 영구 자석 수단의 연장부를 제공한다. 상기 연장부는, 영구 자석 수단 (70) 에 의하여 발생된 자계가 자기 투과성 코어 부재 (64) 를 지나서 연장되도록 하여, 하우징 (62) 의 내부면상에 위치한 홀 효과 장치 (74) 와 접촉되도록 한다. 홀 효과 장치는, 영구 자석 수단 (70) 이 회전할때, 가능한 한 최고로 높은 신호 대 잡음비 (signal to noise ratio) 가 발생하는 곳에 위치한다. 이를 가능하게 하기 위하여, 홀 효과 장치 (74) 는, 홀 효과 장치 (74) 의 자기 포화상태를 회피할 수 있도록, 영구 자석 수단 (70) 에 대하여 반경방향 외측으로 및/또는 종방향으로 위치된다. 이와 같은 조정은, 홀 효과 장치 (74) 와 하우징 (62) 의 내면 사이에 재료를 삽입하여 홀 효과 장치 (74) 를 영구 자석 수단 (70) 에 근접시키거나, 홀 효과 장치 (74) 를 제 4 도에 도시된 바와 같이 수직 상하방으로 이동시킴으로써, 홀 효과 장치로부터의 출력 신호의 원하는 신호 대 잡음비를 얻게 하는 것으로 달성될 수도 있다. 또한, 이 홀 효과 장치는, 이러한 위치가 원하는 신호 대 잡음비를 제공하는 경우에는, 고정자의 적층 스택상에 장착될 수도 있다.

제 5 도를 좀더 자세하게 참조하면, 축상에 수반된 영구 자석수단 (76) 의 사이즈가 종래에 당해분야에 공지된 토크 모터에 일반적으로 사용되던 표준 사이즈보다 줄어들었다는 것을 제외하면, 제 4 도에 도시된 것과 유사한 제한된 각을 갖는 토크 모터가 도시되어 있다. 제 5 도로부터 명백히 알 수 있듯이, 제 4 도에 도시된 바와 같은 영구 자석 수단 (70) 의 연장 대신에, 축 (68) 에 고정되어 함께 회전하는, 별도의 독립된 영구 자석 (78) 이 제공된다. 부가된 상기 영구 자석 (78) 은, 제 1 도에 나타낸 바와 같이 모터가 고정되어 있는 서보밸브의 0의 유압 위치에 대하여 소망하는 회전자 위치가 제공될수 있도록, 영구 자석 수단 (76) 에 대하여 적절히 방향설정 되어야 한다. 또한, 홀 효과 장치 (74) 는 상술한 바와 같이 가능한 한 최대의 신호 대 잡음비를 가지는 신호를 제공할 수 있도록 위치되며, 따라서 그 위치 설정은 자기 포화를 피할수 있도록 행해지게 된다.

이와 같은 경우에, 상기 영구 자석 (78) 의 자화는, 알맞게 정해진 자계를 제공하여 실질적으로 비선형인 동작위치들간에 출력 신호를 제공하는 방식으로 달성될 수도 있다. 예를 들어, 영구 자석 (78) 은 제 9 도에 도시된 바와 같이 라인을 따라서 알맞게 정해진 출력 신호를 제공하는 방식으로 자화될 것이다. 이는 0 에서 약 ±15°의 모터 각 위치에 있으며, 홀 효과 장치로부터의 출력 신호는 실질적으로 선형으로, 상대적으로 완만한 기울기를 가진다. 그러나, 0 의 양쪽에서의 15°와 30°사이의 기울기는 증가하며, 나타낸 바와 같이 이 신호는 비선형이다. 상기 출력 신호는, 인가된 명령신호에 대응하는 스풀 밸브 (12) 의 바람직한 위치 관계를 얻을수 있도록, 필드 권선에 적당한 피드백 신호를 제공하기 위하여 다른 신호와 병합처리될 수도 있다.

제 4 도와 5 도에 나타낸 제한된 회전각을 갖는 직접 구동 토크 모터 형태는, 회전자 위치 센서가 모터 하우징내에 통합되어, LVDT 를 갖는 경우와 같이, 밸브에 부가적인 구조가 필요하지 않도록 구성됨을 당업자는 알 수 있을 것이다. 또한, 회전자와 홀 효과 센서사이에 직접적인 물리적 접촉이 없기 때문에, 제 4 도와 5 도에 나타낸 구조는 젖어 있거나 건조한 상태에서도 동작될 수 있으며, 오염이나 마모가 없어, 위치 센서의 수명시간이 길어지게 된다. 제 4 도와 5 도에 도시된 선택적인 실시예들 중에서 최소 비용으로 제조할 수 있는 것은 제 4 도에 나타낸 센서이며, 회전자의 위치를 감지하기 위하여 유일하게 부가한 구성요소는 단지 홀 효과 장치만이다.

제 6 도를 참조하면, 하우징 (62) 상부의 내부면에 고정된 저항 소자 (80) 및 회전 축 (68) 에 고정된 와이퍼 수단 (82)을 포함하는 포텐시오미터를 사용하여 구성된 회전자 위치 센서가 도시되어 있다. 와이퍼 수단 (82) 은 저항 소자 (80) 의 내부면과 맞물린 와이퍼 접촉부 (86) 를 갖는 와이퍼 아암 (84) 을 포함한다. 회전 축 (68) 이 고정자 (64) 에 인가된 전기 신호에 응답하여 회전함에 따라, 와이퍼 접촉부 (86) 는 저항 소자 (80) 의 표면을 따라서 이동하여, 모터 회전자의 위치에 비레하는 출력 전기 신호를 제공한다.

제 7 도를 참조하면, 제 6 도의 실시예에 대한 또 다른 실시예가 도시되어 있는데, 여기서는 제 6 도에 나타낸 상부면과는 반대로, 저항 소자 (88) 가 하우징 (62) 의 측벽의 내부면에 고정되어 있다. 이러한 상황하에서, 와이퍼 수단 (90) 은 축 (68) 으로부터 연장하여 저항 소자 (88) 의 표면과 맞물리는 와이퍼 접촉부 (94)를 갖는, 회전 축 (68) 에 의해 지지된 와이퍼 아암 (92) 을 포함한다.

제 6 도와 7 도에 나타낸 바와 같은 포텐시오미터 구성에 의하여 제공되는 출력 전기 신호는, 제공되는 소정의 응용예에 따라서, 제 8 도에 나타낸 바와 같이 선형이거나, 또 다르게는 제 9 도에 나타낸 바와 같이 형성된다.

본 발명에 의하여 구성되며 직접 구동 서보밸브용으로 사용되는 제한된 각의 토크 모터는, 소정의 응용예에 따라서 소망하는 형태를 취할 수 있음을 당업자는 알 수 있을 것이다. 이러한 모터의 소정의 실시예가 제 10 도와 11 도에 도시되어 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 모터 (100) 는 하우징 (102) 을 포함하며, 하우징의 내부에는 역회전 핀 (106) 에 의하여 당해 하우징 (102) 내의 정위치에 놓여있는 고정자 (104) 가 위치된다. 상기 모터는 밸브 하우징 (108) (부분적으로 도시) 상에 위치한다. 회전자 축 (110) 은, 당업자에게 공지된 바와 같이, 베어링 (112, 114) 상에서 지지되며 영구 자석 수단 (116) 을 수반한다. 상기 베어링 (114) 은 베어링 하우징 (118) 내에 위치하며, 회전자 어셈블리는, 백 래쉬 (back lash)를 방지할 수 있도록, 당해 어셈블리를 베어링 (112) 방향으로 미는 소정의 웨이브 스프링과 심 (shim) (120) 에 의하여 정위치에 위치된다. 분리된 영구 자석 (122) 은 회전자 축 (110) 의 연장부 (115) 상에 위치한다.

제 11 도에 나타낸 바와 같이, 홀 효과 장치 (I24) 는 브래킷 (126) 상에 정위치된다. 소정의 덮개 (128) 가 제공되어 상기 브래킷과 덮개는 소정의 잠금장치 (130) 에 의하여 안착되어 있다. 리테이너 링 (132) 이 축 연장부 (115) 상에 위치하여 영구 자석 (122) 의 종방향 이동을 방지한다. 모터와 센서 사이에 신호를 도통시키기 위하여, 적당한 도선 (134) 이 사용된다. 모터상에 덮개 (136) 가 사용되며 그 덮개의 상부에 전기 장치 (138) 용으로 소정의 하우징이 안착된다. 번호 140, 193, 및 142 로 표시된 소정의 패킹 또는 0-링이 모터 하우징을 밀봉하는데 사용된다. 편심 배치된 구동 핀 (144) 은 회전자 축 (110) 으로부터 연장하며, 또한 스풀 밸브와 맞물려, 이를 제 1 도를 통하여 위에서 설명한 바와 같이 왕복운동시키는데 사용된다.

홀 효과 장치 또는 포텐시오미터로 구성되는 모터 회전자 각위치 감지 장치를 일체로 포함하는, 직접 구동 서보밸브와 함께 사용하기 위한 제한된 각을 갖는 토크 모터가 제안되었다.

Claims (15)

1. a. 고정자와 회전자를 포함하는 모터 수단과,

   b. 축을 포함하는 상기 회전자와,

   c. 상기 모터 수단을 감싸는 하우징과,

   d. 상기 하우징내에 설치되어, 상기 회전자가 0점 위치로부터 벗어난 위치에 비례하는 전기 신호를 발생시키는 회전자 위치 센서 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
2. 제1항에 있어서, 상기 센서 수단은 홀 효과 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
3. 제1항에 있어서, 상기 센서 수단은 포텐시오미터를 포함하는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
4. 제2항에 있어서, 상기 회전자는, 자계를 제공하여 상기 홀 효과 장치를 구동시키도록 상기 축에 고정된 영구 자석 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
5. 제4항에 있어서, 상기 영구 자석 수단은 상기 모터 수단의 부분으로서 사용된 회전자 영구 자석 수단의 연장부인 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
6. 제4항에 있어서, 상기 영구 자석 수단은 당해 수단에 인접하여 설치된 상기 홀 효과 장치를 갖는 상기 축에 의해 지지되는 별개의 영구 자석인 것을 특징으로하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
7. 제5항에 있어서, 상기 홀 효과 장치는 상기 하우징에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
8. 제6항에 있어서, 상기 홀 효과 장치는 상기 하우징에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
9. 제5항에 있어서, 상기 홀 효과 장치는 상기 고정자 수단상에 장착되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
10. 제6항에 있어서, 상기 홀 효과 장치는 상기 고정자 수단상에 장착되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
11. 제3항에 있어서, 상기 포텐시오미터는 저항 소자와 와이퍼 수단을 포함하며, 상기 저항 소자는 상기 하우징에 의해 지지되며, 상기 와이퍼 수단은 상기 회전자 측에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
12. 제11항에 있어서, 상기 저항 소자는 상기 모터 하우징의 상부면 내부에 안착되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
13. 제11항에 있어서, 상기 저항 소자는 상기 하우징의 측벽 내면에 의해 지지되는 것을 특징으로하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
14. 제4항에 있어서, 상기 영구 자석 수단은 상기 출력 신호의 동작 부분에 걸쳐서 상기 홀 효과 장치로부터 소정의 비선형 출력 신호를 제공하기 위하여 자화되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.
15. 제11항에 있어서, 상기 저항 소자는 회전자 위치를 나타내는 소정의 비선형 출력 신호를 제공하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 제한된 각을 가지는 직접 구동 서보 밸브.