KR100290783B1 - Semiconductor package - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A semiconductor package is provided to reduce a fabricating cost of the semiconductor package by shortening a connection path to an outside without using a lead frame. CONSTITUTION: A multitude of conductive hole is arrayed in a predetermined interval on a scribe line of a semiconductor chip(10). The conductive holes is formed toward a thickness direction of the semiconductor chip(10). An external connection terminal(12) is formed by filling a conductive metal into the conductive holes. The conductive holes are formed by performing a dip etch method using a wet etch or a dry etch. The external connection terminal(12) is connected with a pad of the semiconductor chip(10) by a connection pattern. The connection pattern and a polymer(14) for protecting an active region are molded on an upper portion of the semiconductor chip(10). A multitude of solder ball(15) is adhered on a lower face of the semiconductor chip(10).

Description

반도체 패키지Semiconductor package

본 발명은 반도체 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package.

일반적인 대개의 반도체 패키지는 도 1a 및 1b에 나타낸 바와 같은 구조를 하고 있다.Generally, most semiconductor packages have a structure as shown in Figs. 1A and 1B.

도 1a은 널리 공지된 일반적인 반도체 패키지의 구조도 이며, 1b는 리드 온 칩 패키지의 구조도이다.1A is a structural diagram of a well-known general semiconductor package, and 1B is a structural diagram of a lead-on chip package.

도시된 바와 같이, 종래 일반적으로 알려지고 있는 반도체 패키지는 리드 프레임이라는 구조물을 사용하고 있으며, 칩의 외부로의 전기적인 접속 경로로서 골드 와이어를 사용하고 있다.As shown, a conventionally known semiconductor package uses a structure called a lead frame, and uses gold wire as an electrical connection path to the outside of the chip.

이를 구체적으로 살펴보면, 먼저 도 1a의 경우는, 리드 프레임(1)이라는 구조물의 다이 패들(2) 위에 반도체 칩(3)이 탑재되어 있고, 이 칩(3)과 리드 프레임의 인너 리드(4)가 수개의 골드 와이어(5)에 의해 전기적으로 접속되어 있으며, 상기 칩(3)과 리드 프레임의 인너리드(4)를 포함하는 일정 면적이 에폭시 몰딩 컴파운드에 의해 몰딩되어 패키지 몸체(6)를 형성하고 있다.Specifically, in the case of FIG. 1A, a semiconductor chip 3 is mounted on a die paddle 2 of a structure called a lead frame 1, and the inner lead 4 of the chip 3 and the lead frame is mounted. Is electrically connected by several gold wires 5, and a predetermined area including the chip 3 and the inner lead 4 of the lead frame is molded by the epoxy molding compound to form the package body 6 Doing.

한편, 도 1b의 경우에도 도 1a의 경우와 구조적으로 특별히 달라진 것은 없다. 다만 여기서는 리드 프레임(1)이라는 구조물에 다이 패들이 제거되어 있고, 이와 같은 리드 프레임의 인너 리드(4)에 칩(3)이 지지되어 있다. 그리고 여기서도 칩의 외부로의 전기적인 접속 경로는 골드 와이어(5)를 사용하고 있다. 이를 업계에서는 리드 온 칩 패키지라고 하고 있으며, 이는 도 1a의 패키지보다 두께를 얇게 가져갈 수 있다는 잇점이 있다.On the other hand, in the case of FIG. 1B, the structure is not particularly changed from the case of FIG. 1A. In this case, however, the die paddle is removed from the structure of the lead frame 1, and the chip 3 is supported by the inner lead 4 of the lead frame. Here too, the gold wire 5 is used for the electrical connection path to the outside of the chip. This is referred to in the industry as a lead-on chip package, which has the advantage of being thinner than the package of FIG. 1A.

상기와 같은 구조를 갖는 종래의 반도체 패키지는, 웨이퍼 상태에서 소정의 단위 공정을 거쳐 완성된 개개의 칩을 분리하는 다이 본딩 공정, 분리된 하나의 칩을 리드 프레임이라는 구조물의 다이 패들에 부착하는 다이 본딩 공정, 상기 칩과 리드 프레임의 인너리드를 골드 와이어로 연결하여 전기적인 접속 경로를 이루는 와이어 본딩 공정, 와이어 본딩된 칩과 리드 프레임의 인너 리드를 포함하는 일정면적을 에폭시 몰딩 컴파운드 등과 같은 폴리머 중합체로 밀봉하는 몰딩 공정 및 리드 프레임의 타이 바와 댐바를 절단하여 단위 패키지로 분리함과 아울러 리드 프레임의 아웃리드를 절곡 형성하는 포밍 공정 등을 진행하여 제조된다.In the conventional semiconductor package having the above structure, a die bonding process of separating individual chips completed through a predetermined unit process in a wafer state, and a die attaching the separated chips to a die paddle of a structure called a lead frame. Bonding process, wire bonding process for connecting the inner lead of the chip and the lead frame with a gold wire to form an electrical connection path, polymer polymer such as epoxy molding compound to a certain area including the inner lead of the wire bonded chip and lead frame It is manufactured by a molding process for sealing with a die and a tie bar and a dam bar of the lead frame are separated into a unit package, and a forming process for bending the outlead of the lead frame.

그러나, 상기한 바와 같은 일반적인 반도체 패키지는, 리드 프레임이라는 구조물을 사용하여 골드 와이어로 칩과 연결함으로써 칩의 외부로의 전기적 접속 경로가 길어 전기적인 특성 저하가 문제시 되고 있고, 또 패키지의 상,하부가 비대칭을 이룸으로써 몰딩시 워피지 및 보이드가 발생되고 있다.However, the above-described general semiconductor package has a long electrical connection path to the outside of the chip by connecting the chip with a gold wire using a structure called a lead frame. As the lower part is asymmetrical, warpage and voids are generated during molding.

또한, 종래의 구조는 리드 프레임 및 골드 와이어를 사용함으로써 조립 비용의 상승을 피할 수 없을 뿐만 아니라 칩 사이즈는 점점 커져가는 반면에 패키지의 사이즈는 점점 경박단소형화되어 가는 현재의 추세에서 패키지 제작상의 신뢰성을 만족시키지 못하는 경우가 발생되고 있고, 특히 패키지의 사이즈를 축소하는데 한계가 있다.In addition, the conventional structure is not only inevitable to increase the assembly cost by using the lead frame and gold wire, but also to increase the chip size, while the package size is increasingly thin and thin, the reliability of the package manufacturing in the current trend There is a case that does not satisfy the, and in particular there is a limit in reducing the size of the package.

또한, 종래의 반도체 패키지는 제조 공정에 있어서도 와이어 본딩, 트림/포밍 공정 등이 수반되는 등 공정이 복잡하고 고도의 기술을 요한다는 문제가 있다.In addition, the conventional semiconductor package also has a problem that the manufacturing process is complicated and requires a high technology, such as a wire bonding, trim / forming process and the like.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 리드 프레임을 사용하지 않으며, 칩의 외부로의 전기적 접속 경로가 짧아 경박단소형화를 이루면서도 고신뢰성을 갖는 반도체 패키지 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above, and does not use a lead frame, and provides a semiconductor package having a high reliability and a method of manufacturing the same, with a short and small electrical connection path to the outside of the chip. The purpose is.

본 발명의 다른 목적은, 패키지의 경박단소형화 및 조립 비용을 절감시킬 수 있는 반도체 패키지 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor package and a method for manufacturing the same, which can reduce the cost and size of the package.

도 1a는 종래 반도체 패키지 한 예에 대한 구조도.1A is a structural diagram of an example of a conventional semiconductor package.

도 2b는 종래 반도체 패키지의 다른 예에 대한 구조도.2B is a structural diagram of another example of a conventional semiconductor package.

도 2는 본 발명에 의한 반도체 패키지의 구조 및 기판 실장 상태를 나타낸 단면도.2 is a cross-sectional view showing a structure and a board mounting state of a semiconductor package according to the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명을 위한 반도체 칩의 도전 홀 형성 예를 나타낸 평면도 및 단면도.3A and 3B are a plan view and a cross-sectional view showing an example of the formation of a conductive hole in a semiconductor chip for the present invention.

도 4a, 4b 및 4c는 칩의 외부로의 전기적인 접속 경로 형성을 위한 공정도로써, 4a는 스텐실의 평면도 이고, 4b는 칩에 솔더 페이스트를 프린팅한 후의 평면 도 이며, 4c는 4b의 단면도이다.4A, 4B and 4C are process drawings for forming an electrical connection path to the outside of the chip, 4A is a plan view of the stencil, 4B is a plan view after printing solder paste on the chip, and 4C is a cross-sectional view of 4B.

도 5a 및 5b는 몰딩 상태의 단면도로써, 5a는 다이 소잉전 상태도이고, 5b는 다이 소잉후 상태도이다.5A and 5B are sectional views of a molding state, where 5a is a state diagram before die sawing and 5b is a state diagram after die sawing.

도 6은 칩의 도전 홀에 충진되어 형성된 단자가 외부로 노출되도록 백 그라인딩을 한 상태의 단면도.6 is a cross-sectional view of a state in which the back grinding is performed so that a terminal formed by filling a conductive hole of a chip is exposed to the outside.

도 7은 백 그라인딩된 다이의 하면으로 노출된 단자에 솔더 볼을 부착한 상태의 단면도.FIG. 7 is a cross sectional view of a solder ball attached to a terminal exposed to a bottom surface of a back grind die; FIG.

도 8은 본 발명에 의한 반도체 패키지의 다른 실시예를 나타낸 저면도.8 is a bottom view showing another embodiment of the semiconductor package according to the present invention.

도 9는 본 발명에 의한 반도체 패키지의 또 다른 실시예를 나타낸 저면도.9 is a bottom view showing another embodiment of the semiconductor package according to the present invention.

도 10은 본 발명에 의한 반도체 패키지의 또 다른 실시예를 나타낸 도면으로써, 10a는 평면도 이고, 10b는 단면도이다.10 is a view showing another embodiment of a semiconductor package according to the present invention, where 10a is a plan view and 10b is a sectional view.

도 11은 도 10에 나타낸 본 발명의 다른 실시예에서 칩의 외부로의 전기적 접속 경로를 이루는 다른 방법을 보인 요부 상세도.FIG. 11 is an essential part detail view of another method of forming an electrical connection path to the outside of a chip in another embodiment of the present invention shown in FIG. 10;

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

10;반도체 칩 10a;스크라이브 라인10; semiconductor chip 10a; scribe line

10b;패드 11;도전홀10b; pad 11; conductive hole

12;외부연결단자 13;연결 패턴12; external connection terminal 13; connection pattern

14;폴리머 중합체 15;솔더 볼14; polymer polymer 15; solder ball

16;도전 패턴 17;접착성 필름16; conductive pattern 17; adhesive film

20;스텐슬 30;기판20; stencil 30; substrate

41;인너리드 42;아웃리드41; inner lead 42; out lead

상기와 같은 본 발명의 목적은, 스크라이빙 라인을 포함하도록 절단된 적어도 하나의 반도체 칩; 상기 반도체 칩의 스크라이빙 라인을 따라 일정 간격으로 배열됨과 동시에 칩의 상,하를 관통하도록 형성된 다수의 홀에 충진되어 칩의 외부로의 전기적인 신호 접속 경로를 이루는 다수개의 외부연결단자; 상기 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결하는 패쓰; 및 상기 칩과 연결 패쓰를 포함하는 일정면적을 몰딩하여 밀봉하는 폴리머 중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지를 제공함으로써 달성된다. 여기서, 상기 칩의 하면으로 노출된 외부연결단자에 기판 실장을 위한 솔더 볼을 부착할 수 있다. 이 때 솔더 볼은 칩의 하면 전체에 걸쳐 고르게 분포될 수 있으며, 이 솔더 볼과 외부연결단자는 전도성 패턴으로 연결된다.An object of the present invention as described above, at least one semiconductor chip cut to include a scribing line; A plurality of external connection terminals arranged along a scribing line of the semiconductor chip and filled in a plurality of holes formed to penetrate the top and bottom of the chip to form an electrical signal connection path to the outside of the chip; A path for electrically connecting the external connection terminal and a pad of the chip; And a polymer polymer for molding and sealing a predetermined area including the chip and the connection path. Here, the solder ball for mounting the substrate may be attached to the external connection terminal exposed to the lower surface of the chip. At this time, the solder balls can be evenly distributed over the lower surface of the chip, and the solder balls and the external connection terminals are connected in a conductive pattern.

본 발명의 목적은, 반도체 칩의 스크라이빙 라인을 따라 일정 간격으로 배열되며, 칩의 상,하를 관통하도록 형성된 홀에 충진되어 칩의 외부로의 신호 접속 경로를 이루는 다수개의 외부연결단자; 상기 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결하는 패쓰; 상기 외부연결단자에 연결되는 인너리드와 기판 실장을 위한 아웃리드를 갖는 리드 프레임; 및 상기 칩과 리드 프레임의 인너리드를 포함하는 일정 면적을 몰딩하여 밀봉하는 폴리머 중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지를 제공하는 것에 의하여 달성된다.An object of the present invention is a plurality of external connection terminals arranged at regular intervals along the scribing line of the semiconductor chip, and filled in holes formed to penetrate the upper and lower sides of the chip to form a signal connection path to the outside of the chip; A path for electrically connecting the external connection terminal and a pad of the chip; A lead frame having an inner lead connected to the external connection terminal and an out lead for mounting a substrate; And it is achieved by providing a semiconductor package comprising a polymer polymer for molding and sealing a predetermined area including the inner lead of the chip and lead frame.

상기와 같은 본 발명에 의한 반도체 패키지는, 웨이퍼 상태로 단위 공정을 마친 각 다이(칩)의 스크라이브 라인을 따라 복수개의 홀을 일정 간격으로 형성하는 단계; 상기 스크라이브 라인의 홀에 도전성 금속을 충진시켜 칩의 외부연결단자를 형성함과 아울러 이 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결시키는 단계; 각 다이의 상면을 폴리머 중합체로 몰딩하여 밀봉하는 단계; 밀봉된 각각의 다이를 절단하여 단위 패키지로 분리하는 단계; 분리된 패키지의 칩 하면을 연마하여 외부연결단자의 단부를 노출시키는 단계; 및 칩의 하면으로 노출된 외부연결단자에 실장을 위한 솔더 볼을 부착하는 단계를 포함하여 제조된다.The semiconductor package according to the present invention as described above comprises the steps of forming a plurality of holes along a scribe line of each die (chip) after the unit process in a wafer state at regular intervals; Filling a hole in the scribe line with a conductive metal to form an external connection terminal of the chip, and electrically connecting the external connection terminal to a pad of the chip; Molding the top surface of each die with a polymer polymer to seal it; Cutting each sealed die into separate unit packages; Polishing the lower surface of the chip of the separated package to expose the ends of the external connection terminals; And attaching solder balls for mounting to the external connection terminals exposed to the lower surface of the chip.

또한, 본 발명에 의한 반도체 패키지는, 웨이퍼 상태로 단위 공정을 마친 각 다이(칩)의 스크라이브 라인을 따라 복수개의 홀을 일정 간격으로 형성하는 단계; 상기 스크라이브 라인의 홀에 도전성 금속을 충진시켜 칩의 외부연결단자를 형성함과 아울러 이 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결시키는 단계; 각 다이의 상면을 폴리머 중합체로 몰딩하여 밀봉하는 단계; 밀봉된 각각의 다이를 절단하여 단위 패키지로 분리하는 단계; 분리된 패키지의 칩 하면을 연마하여 외부연결단자의 단부를 노출시키는 단계; 외부연결단자가 노출된 칩의 하면에 이 면의 전체에 걸쳐 분포하는 전기적인 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 칩의 하면에 형성된 전기적인 패턴의 원하는 위치에 실장을 위한 솔더 볼을 부착하는 단계를 포함하여 핀 카운트 타입으로 제조될 수 있다.In addition, the semiconductor package according to the present invention comprises the steps of forming a plurality of holes along a scribe line of each die (chip) after the unit process in a wafer state at regular intervals; Filling a hole in the scribe line with a conductive metal to form an external connection terminal of the chip, and electrically connecting the external connection terminal to a pad of the chip; Molding the top surface of each die with a polymer polymer to seal it; Cutting each sealed die into separate unit packages; Polishing the lower surface of the chip of the separated package to expose the ends of the external connection terminals; Forming an electrical pattern distributed over the entire surface of the chip on which the external connection terminal is exposed; And attaching solder balls for mounting at desired positions of electrical patterns formed on the bottom surface of the chip.

또한, 본 발명에 의한 반도체 패키지는, 웨이퍼 상태로 단위 공정을 마친 각 다이(칩)의 스크라이브 라인을 따라 복수개의 홀을 일정 간격으로 형성하는 단계; 상기 스크라이브 라인의 홀에 도전성 금속을 충진시켜 칩의 외부연결단자를 형성함과 아울러 이 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결시키는 단계; 상기 칩의 외부연결단자의 측부가 노출되도록 절단하여 개개의 칩으로 분리하는 단계; 상기 단계에서 노출된 외부연결단자의 측부에 리드 프레임의 인너리드를 부착하여 칩의 외부로의 신호 전달 경로를 형성하는 단계; 상기 칩 및 리드 프레임의 인너리드를 포함하는 일정면적을 에폭시 몰딩 컴파운드로 몰딩하는 단계; 상기 리드 프레임의 타이바 및 댐바를 절단함과 아울러 외부로 돌출된 리드 프레임의 아웃리드를 소정의 원하는 형태로 절곡, 형성하는 단계; 및 통상의 리드 플래팅 단계를 포함하여 울트라 씬 스몰 아웃라인 패키지로 제조될 수 있다.In addition, the semiconductor package according to the present invention comprises the steps of forming a plurality of holes along a scribe line of each die (chip) after the unit process in a wafer state at regular intervals; Filling a hole in the scribe line with a conductive metal to form an external connection terminal of the chip, and electrically connecting the external connection terminal to a pad of the chip; Cutting the sides of the external connection terminals of the chip to expose the chips and separating the chips into individual chips; Attaching the inner lead of the lead frame to the side of the external connection terminal exposed in the step to form a signal transmission path to the outside of the chip; Molding a predetermined area including an inner lead of the chip and lead frame with an epoxy molding compound; Cutting the tie bars and the dam bars of the lead frame, and bending and forming the outleads of the lead frames protruding outward into a desired shape; And a conventional thin lead plating step.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 설명한다.Best Mode for Carrying Out the Invention Preferred embodiments of the present invention will now be described based on the accompanying drawings.

첨부한 도 2는 본 발명에 의한 반도체 패키지의 구조 및 기판 실장 상태를 나타낸 단면도 이고, 도 3a 및 도 3b는 본 발명을 위한 반도체 칩의 도전 홀 형성 예를 나타낸 평면도 및 단면도이다. 그리고, 도 4a, 4b 및 4c는 칩의 외부로의 전기적인 접속 경로 형성을 위한 공정도로써, 4a는 스텐실의 평면도 이고, 4b는 칩에 솔더 페이스트를 프린팅한 후의 평면도 이며, 4c는 4b의 단면도이다. 또한 도 5a 및 5b는 몰딩 상태의 단면도로써, 5a는 다이 소잉전 상태도 이고, 5b는 다이 소잉후 상태도이다. 도 6은 칩의 도전 홀에 충진되어 형성된 단자가 외부로 노출되도록 백 그라인딩을 한 상태의 단면도 이고, 도 7은 백 그라인딩된 다이의 하면으로 노출된 단자에 솔더 볼을 부착한 상태의 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a structure and a board mounting state of a semiconductor package according to the present invention, and FIGS. 3A and 3B are plan and cross-sectional views illustrating examples of forming conductive holes in a semiconductor chip according to the present invention. 4A, 4B, and 4C are process diagrams for forming an electrical connection path to the outside of the chip, 4a is a plan view of a stencil, 4b is a plan view after printing solder paste on a chip, and 4c is a cross-sectional view of 4b. . 5A and 5B are sectional views of a molding state, 5a is a state diagram before die sawing, and 5b is a state diagram after die sawing. 6 is a cross-sectional view of a state in which a back grinding is performed to expose a terminal formed by filling a conductive hole of a chip to the outside, and FIG. 7 is a cross-sectional view of a state in which solder balls are attached to a terminal exposed to a bottom surface of a back-grinded die.

도 2 및 도 3의 a,b에 도시된 바와 같이, 반도체 칩(10)은 그의 스크라이브 라인(10a)을 포함하도록 절단되어 있고, 이와 같이 절단된 칩(10)의 스크라이브 라인(10a)에는 수개의 도전홀(11)이 일정 간격을 유지하여 배열되어 있다.2 and 3, the semiconductor chip 10 is cut to include its scribe line 10a, and the scribe line 10a of the chip 10 cut in this manner is numbered. Two conductive holes 11 are arranged at regular intervals.

상기 도전홀(11)은 칩(10)의 두께 방향으로 칩 두께의 대략 2/3 정도의 깊이로 형성되어, 후공정인 칩의 백 그라인딩 칩의 하면으로 노출되도록 되어 있고, 이 홀(11)에는 도전성 금속이 충진되어 도 4에 나타낸 바와 같은 외부연결단자(12)를 형성하고 있다.The conductive hole 11 is formed to a depth of approximately 2/3 of the thickness of the chip in the thickness direction of the chip 10, and is exposed to the bottom surface of the back grinding chip of the chip, which is a post-process. Is filled with a conductive metal to form an external connection terminal 12 as shown in FIG.

상기 도전홀(11)은 습식 에칭 또는 드라이 에칭 등에 의한 딥(dip) 에칭으로 형성되며, 이 홀(11)에 채워지는 도전성 금속으로는 Au, Ag, Al, Cu 등을 이용할 수 있으나, 본 실시예에서는 솔더를 이용하고 있다.The conductive hole 11 is formed by dip etching by wet etching or dry etching. Au, Ag, Al, Cu, or the like may be used as the conductive metal filled in the hole 11. In this example, solder is used.

상기와 같은 외부연결단자(12)는 칩(10)의 패드(10b)와 연결 패턴(13)에 의해 연결되어 있다. 여기서 상기한 패턴(13)의 형성은 칩(10)의 패드 위치와 스크라이브 라인의 도전홀(11)을 고려한 전기적 연결 패턴이 새겨진 스텐실(20)을 웨이퍼 상태의 각 칩 위에 올리고, 솔더 페이스트를 프린팅 및 홀에 채우는 것에 의해 형성된다. 상기한 패턴의 형성 예가 도 4의 a, b 및 c에 잘 나타나 있다.The external connection terminal 12 as described above is connected to the pad 10b of the chip 10 by the connection pattern 13. Here, the pattern 13 is formed by placing a stencil 20 having an electrical connection pattern engraved therein in consideration of the pad position of the chip 10 and the conductive hole 11 of the scribe line on each chip in a wafer state, and printing solder paste. And filling the hole. Examples of the formation of the pattern are well illustrated in a, b and c of FIG. 4.

상기한 바와 같은 구조를 갖는 반도체 칩(10)의 상부에는 도 5에 도시된 바와 같이, 칩의 상부에 형성된 연결 패턴(13) 및 칩의 액티브 영역을 보호하기 위한 폴리머 중합체(14)가 몰딩되어 있고, 칩(10)의 하면에는 다수의 솔더 볼(15)이 노출된 외부연결단자(12)에 부착되어 있다.As shown in FIG. 5, the connection pattern 13 formed on the chip and the polymer polymer 14 for protecting the active region of the chip are molded on the semiconductor chip 10 having the structure as described above. In addition, a plurality of solder balls 15 are attached to the exposed external connection terminals 12 on the lower surface of the chip 10.

이와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 패키지의 제조방법은 다음과 같다.A method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention having such a structure is as follows.

먼저, 웨이퍼 상태로 단위 공정을 마친 각 다이(칩)의 스크라이브 라인을 따라 복수개의 도전홀을 일정 간격으로 형성한다. 이후, 상기 스크라이브 라인의 홀에 도전성 금속을 충진시켜 칩의 외부연결단자를 형성함과 아울러 이 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결시킨다. 그런 다음 각 다이의 상면을 폴리머 중합체로 몰딩한 후, 밀봉된 각각의 다이를 절단하여 단위 패키지로 분리하고, 분리된 패키지의 칩 하면을 연마하여 외부연결단자의 단부를 노출시킨다. 이와 같은 상태로 칩의 하면에 노출된 외부연결단자를 이용하여 기판에 실장할 수도 있으나, 본 실시예에서는 칩의 하면으로 노출된 외부연결단자에 실장을 위한 솔더 볼을 부착하여 구성하고 있다.First, a plurality of conductive holes are formed at regular intervals along the scribe lines of the dies (chips) that have completed the unit process in the wafer state. Thereafter, a conductive metal is filled in the hole of the scribe line to form an external connection terminal of the chip, and the external connection terminal is electrically connected to the pad of the chip. Then, after molding the upper surface of each die with a polymer polymer, each sealed die is cut and separated into a unit package, and the lower surface of the chip of the separated package is polished to expose the ends of the external connection terminals. In this state, the external connection terminal exposed on the lower surface of the chip may be mounted on the substrate. However, in the present embodiment, solder balls for mounting are attached to the external connection terminal exposed on the lower surface of the chip.

상기한 바와 같은 제조 공정을 통하여 제조된 반도체 패키지의 실장 예가 도 2에 나타나 있다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 반도체 패키지는 칩의 하면에 부착된 솔더 볼(15)을 매개로 기판(30)에 실장되어 있다.An example of mounting a semiconductor package manufactured through the above manufacturing process is shown in FIG. 2. As shown, the semiconductor package according to the present invention is mounted on the substrate 30 through the solder ball 15 attached to the lower surface of the chip.

여기서, 상기한 칩 패드와 외부연결단자와의 연결은 스텐실을 이용할 수도 있고, 또 도 11에 나타낸 바와 같이, 골드 와이어 또는 알루미늄 와이어(13')를 이용한 통상의 와이어 본딩에 의하여 연결할 수도 있다.In this case, the chip pad and the external connection terminal may be connected to each other by a stencil, and as shown in FIG. 11, may be connected by conventional wire bonding using a gold wire or an aluminum wire 13 ′.

이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 의한 반도체 패키지는 간단한 공정에 의해 보다 경박단소형화된 구조의 칩 사이즈 패키지를 구현할 수 있다.As described above, the semiconductor package according to the present invention can implement a chip size package with a lighter and thinner structure by a simple process.

한편, 첨부한 도 8 는 본 발명에 의한 반도체 패키지의 다른 실시예를 나타낸 저면도로서, 이는 솔더 볼(15)을 부착함에 있어서, 반도체 칩(10)의 하면으로 노출되어 있는 외부연결단자(12)에 부착하지 않고, 칩의 하면 전체에 걸쳐 고르게 분포되도록 부착함으로써 하이 핀 카운트 형의 반도체 패키지를 구성한 예를 제공하고 있다.Meanwhile, FIG. 8 is a bottom view showing another embodiment of the semiconductor package according to the present invention, which is an external connection terminal 12 exposed to the bottom surface of the semiconductor chip 10 in attaching solder balls 15. The high pin count type semiconductor package is provided by attaching the chip evenly so as to distribute the chip evenly over the lower surface of the chip.

즉, 반도체 칩(10)의 하면에는 전도성 물질의 패턴(16)이 전체면에 걸쳐 분포되도록 형성되어 있고, 이 패턴(16)의 원하는 위치에 솔더 볼(15)이 부착되어 있다. 따라서 상술한 일 실시예의 경우에서보다 같은 수의 솔더 볼일 경우 볼간의 간격을 크게 할 수 있다. 이는 같은 면적당 보다 많은 수의 솔더 볼, 즉 외부연결단자를 구성함으로써 화인 피치의 패키지를 구현할 수 있다는 것을 의미한다.That is, the pattern 16 of the conductive material is formed on the lower surface of the semiconductor chip 10 so as to be distributed over the entire surface, and the solder balls 15 are attached to a desired position of the pattern 16. Therefore, in the case of the same number of solder balls than in the case of the above-described embodiment can be increased the distance between the balls. This means that a higher pitch package can be realized by configuring a larger number of solder balls per external area.

그외, 여타 다른 구성은 전술한 일 실시예의 경우와 같게 이루어지므로 여기서는 구체적인 설명을 생략한다.In addition, since the other configuration is made as in the case of the above-described embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체 패키지의 변형예로서, 도 8에 나타낸 예의 경우와 같은 하이 핀 카운트 타입의 패키지이다. 다만 이 실시예에서는 반도체 칩(10)의 하면에 솔더 볼(15)들을 볼 그리드 어레이 형태로 배열함에 있어서, 별도의 도전 패턴(16)을 가지고 있는 접착성 필름(17)을 사용하였다는 것 이외에는 도 8에 나타낸 실시예의 경우와 같다. 여기서 접착성 필름(17)의 도전 패턴(16)은 칩(10)의 하면으로 노출된 외부연결단자(12)에 접속됨은 물론이다. 여기서, 상기 전도성 패턴의 재질은 Cu, Pt, Au, Ag, Al 또는 이들의 합금으로 할 수 있다.9 is a modified example of the semiconductor package according to another embodiment of the present invention, which is a package of a high pin count type as in the example shown in FIG. 8. However, in this embodiment, in arranging the solder balls 15 in the form of a ball grid array on the lower surface of the semiconductor chip 10, except that an adhesive film 17 having a separate conductive pattern 16 is used. It is the same as the case of the Example shown in FIG. Here, the conductive pattern 16 of the adhesive film 17 is connected to the external connection terminal 12 exposed to the lower surface of the chip 10, of course. The conductive pattern may be made of Cu, Pt, Au, Ag, Al, or an alloy thereof.

상기한 바와 같은 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체 패키지의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the method of manufacturing a semiconductor package according to another embodiment of the present invention as described above are as follows.

먼저, 웨이퍼 상태로 단위 공정을 마친 각 다이(칩)의 스크라이브 라인을 따라 복수개의 도전홀을 일정 간격으로 형성한다. 이후 상기 스크라이브 라인의 홀에 도전성 금속을 충진시켜 칩의 외부연결단자를 형성함과 아울러 이 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결시킨다. 그리고, 각 다이의 상면을 폴리머 중합체로 몰딩한 후, 밀봉된 각각의 다이를 절단하여 단위 패키지로 분리하고, 분리된 패키지의 칩 하면을 연마하여 외부연결단자의 단부를 노출시킨다. 그런 다음 외부연결단자가 노출된 칩의 하면에 이 면의 전체에 걸쳐 분포하는 전기적인 패턴을 형성하고, 상기 칩의 하면에 형성된 전기적인 패턴의 원하는 위치에 실장을 위한 솔더 볼을 부착하여 볼 그리드 어레이화된 반도체 패키지를 제조한다.First, a plurality of conductive holes are formed at regular intervals along the scribe lines of the dies (chips) that have completed the unit process in the wafer state. Thereafter, the conductive metal is filled in the holes of the scribe line to form external connection terminals of the chip, and the external connection terminals are electrically connected to the pads of the chip. Then, after molding the upper surface of each die with a polymer polymer, each sealed die is cut and separated into a unit package, and the chip lower surface of the separated package is polished to expose the ends of the external connection terminals. Then, an electrical pattern is formed on the lower surface of the chip exposed to the external connection terminal, and a solder grid for mounting is attached to a desired position of the electrical pattern formed on the lower surface of the chip. An arrayed semiconductor package is manufactured.

첨부한 도 10은 본 발명에 의한 반도체 패키지의 또 다른 실시예를 나타낸 도면으로써, 10a는 평면도 이고, 10b는 단면도이다.10 is a plan view and 10b is a sectional view of another embodiment of a semiconductor package according to the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예는 전술한 제 1 및 제 2 실시예와는 달리 매우 얇은 스몰 아웃라인 패키지(UTSOP)의 형태를 취하고 있다.As shown, another embodiment of the present invention takes the form of a very thin small outline package (UTSOP), unlike the first and second embodiments described above.

구체적으로 살펴보면, 반도체 칩(10)은 그의 스크라이브 라인을 포함하도록 절단되어 있고, 이와 같이 절단된 칩(10)의 스크라이브 라인(10a)에는 수개의 도전홀이 형성되어 있으며, 이 홀에는 도전성 금속, 예컨대 솔더가 충진되어 외부연결단자(12)를 구성하고 있다.Specifically, the semiconductor chip 10 is cut to include a scribe line thereof, and a plurality of conductive holes are formed in the scribe line 10a of the chip 10 thus cut, and the conductive metal, For example, the solder is filled to form the external connection terminal 12.

상기 외부연결단자(12)는 연결 패턴(13)에 의해 칩(10)의 패드(10b)와 연결되어 있으며, 또 외부연결단자(12)는 스크라이브 라인의 중간을 경계로 절단하는 것에 의하여 그의 측부가 노출되어 있다.The external connection terminal 12 is connected to the pad 10b of the chip 10 by a connection pattern 13, and the external connection terminal 12 is cut at its side by cutting the middle of the scribe line as a boundary. Is exposed.

상기와 같이 측부가 노출된 외부연결단자(12)의 측면에는 리드 프레임의 인너리드(41)가 연결되어 있고, 이 인너리드(41)에는 기판 실장을 위한 아웃리드(42)가 연장, 형성되어 있다.The inner lead 41 of the lead frame is connected to the side surface of the external connection terminal 12 having the side exposed as described above, and the inner lead 41 extends and is formed in the outer lead 42 for board mounting. have.

또한, 상기 칩(10) 및 리드 프레임의 인너리드(41)를 포함하는 일정 면적은 폴리머 중합체, 보다 구체적으로는 에폭시 몰딩 컴파운드에 의해 둘러 싸여 있고, 이 폴리머 중합체의 양측으로 리드 프레임의 아웃리드(42)가 돌출되어 기판에 실장 할 수 있도록 되어 있다.In addition, a predetermined area including the chip 10 and the inner lead 41 of the lead frame is surrounded by a polymer polymer, more specifically, an epoxy molding compound, and on both sides of the polymer polymer, an out lead ( 42 is protruded so that it can be mounted on a substrate.

여기서, 칩의 스크라이브 라인에 도전홀을 형성함에 있어서, 몰딩된 패키지의 리드가 상,하 대칭으로 위치할 수 있도록 함이 중요한 바, 이를 위하여 홀의 깊이를 백 그라인딩 하였을 때 칩 전체 두께의 1/2정도의 깊이로 함이 좋다.Here, in forming the conductive holes in the scribe line of the chip, it is important that the lead of the molded package can be positioned symmetrically, 1/2 for the thickness of the chip when back grinding the depth of the hole for this purpose It is good to have depth.

이와 같은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 반도체 패키지의 제조방법은 다음과 같다.Such a method of manufacturing a semiconductor package according to another embodiment of the present invention is as follows.

먼저, 전기한 제 1 및 제 2 실시예의 경우와 같이, 웨이퍼 상태로 단위 공정을 마친 각 다이(칩)의 스크라이브 라인을 따라 복수개의 도전홀을 일정 간격으로 형성한다. 그런 다음 상기 스크라이브 라인의 홀에 도전성 금속을 충진시켜 칩의 외부연결단자를 형성함과 아울러 이 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결시킨다. 이후, 상기 칩의 외부연결단자의 측부가 노출되도록 절단하여 개개의 칩으로 분리하고, 상기 단계에서 노출된 외부연결단자의 측부에 리드 프레임의 인너리드를 부착하여 칩의 외부로의 신호 전달 경로를 형성한다. 그런 다음 상기 칩 및 리드 프레임의 인너리드를 포함하는 일정면적을 에폭시 몰딩 컴파운드로 몰딩하고, 상기 리드 프레임의 타이바 및 댐바를 절단함과 아울러 외부로 돌출된 리드 프레임의 아웃리드를 소정의 원하는 형태로 절곡, 형성한다.First, as in the case of the first and second embodiments described above, a plurality of conductive holes are formed at regular intervals along the scribe lines of the respective dies (chips) that have completed the unit process in the wafer state. Then, a conductive metal is filled in the hole of the scribe line to form an external connection terminal of the chip, and the external connection terminal is electrically connected to the pad of the chip. Subsequently, the side of the external connection terminal of the chip is cut to be exposed and separated into individual chips, and the inner lead of the lead frame is attached to the side of the external connection terminal exposed in the step to establish a signal transmission path to the outside of the chip. Form. Then, a predetermined area including the inner lead of the chip and the lead frame is molded with an epoxy molding compound, the tie bar and the dam bar of the lead frame are cut, and the out lead of the lead frame protruding outward is formed into a desired shape. Bend, form.

이러한 실시예에서는 리드 프레임을 사용하므로써 경비와 공정이 추가된다는 단점이 존재하지만, 일반적인 패키지 조립 라인에서 공정이 진행될 수 있으며, 단면도에서 보는 바와 같이, 상,하 대칭이므로 워피지와 같은 불량이 없고, 와이어를 사용하지 않으므로 와이어 루프 높이를 계산할 필요가 없어 매우 얇은 스몰 아웃라인 패키지의 실현이 가능하다는 장점이 있다. 또한 와이어 본딩 공정과 달리 솔더 프린팅 방법으로 피드와 패드가 연결되므로 패드와 리드의 전기적 연결 패쓰 및 모양을 자유롭게 구현할 수 있어, 전기적인 노이즈를 최소화시킬 수 있다.In this embodiment, there is a disadvantage that the cost and the process is added by using the lead frame, but the process can be carried out in a general package assembly line, as shown in the cross-sectional view, there is no defect, such as warpage, The elimination of wires eliminates the need to calculate wire loop height, enabling the implementation of very thin small outline packages. In addition, unlike the wire bonding process, the feed and the pad are connected by solder printing, and thus the electrical connection path and shape of the pad and the lead can be freely realized, thereby minimizing the electrical noise.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 패키지의 경박단소형화를 도모할 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼 상태에서 솔더 프린팅 공정이 모든 다이에 대하여 동시에 진행되는 등 전반적인 공정이 대량으로 진행되고 간단하여 공정 비용을 절감시킬 수 있다.As described above, the present invention not only makes it possible to reduce the size and thickness of the package, but also to reduce the process cost because the overall process proceeds in a large amount and is simple such that the solder printing process is simultaneously performed on all dies in the wafer state. Can be.

또한, 와이어 본딩 공정과 달리 솔더 프린팅 방법으로 전기적인 패쓰가 이루어지므로 연결 패쓰의 길이 및 모양을 자유롭게 할 수 있어 전기적인 노이즈를 최소화시킬 수 있다. 즉, 패키지의 신뢰성 및 성능 향상을 도모할 수 있다.In addition, unlike the wire bonding process, since the electrical path is made by solder printing, the length and shape of the connection path can be freed, thereby minimizing the electrical noise. That is, the reliability and performance of a package can be improved.

또한, 본 발명은 칩 사이즈 패키지의 경우 리드 프레임을 사용하지 않으므로 비용 절감을 기할 수 있고, 몰딩 후 백 그라인딩을 실시하므로 패키지가 휘는 워피지 불량을 방지할 수 있으며, 칩의 뒷면이 드러나 있으므로 열 방출에서 매우 효과적이다.In addition, in the case of the chip size package, since the lead frame is not used, the cost can be reduced, and the back grinding is performed after molding, thereby preventing warpage failure of the package, and the back side of the chip is exposed, thereby dissipating heat. Very effective at

그리고, 일반적인 볼 그리드 어레이 패키지와는 달리 기판 및 와이어 본딩을 필요로 하지 않으므로 공정이 간단하고 제작 경비가 저렴하면서도 하이 핀 카운트 타입의 패키지를 구현할 수 있다.In addition, unlike a general ball grid array package, since a board and wire bonding are not required, a high pin count type package can be realized while the process is simple and the manufacturing cost is low.

한편, 리드 프레임을 이용하여 본 발명의 또 다른 실시예에서는 일반 패키지 조립 공정을 적용할 수 있고, 보다 얇은 패킨지의 실현이 가능하다는 장점 이외에도 패키지가 상,하로 대칭을 이룸으로써 워피지 불량이나 몰딩시의 보이드 불량 문제를 해결할 수 있다는 효과도 있다.Meanwhile, in another embodiment of the present invention using a lead frame, a general package assembly process may be applied, and in addition to the fact that a thinner package may be realized, the package may be symmetrical up and down, resulting in warpage defects or molding. There is also an effect that can solve the void problem of the city.

이상에서는 본 발명에 의한 반도체 패키지 및 그 제조방법을 실시하기 위한 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.In the above, the semiconductor package according to the present invention and a preferred embodiment for carrying out the manufacturing method thereof have been shown and described, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, but deviates from the gist of the present invention as claimed in the following claims. Without this, any person skilled in the art to which the present invention pertains may make various changes.

Claims (11)

스크라이빙 라인을 포함하도록 절단된 적어도 하나의 반도체 칩;At least one semiconductor chip cut to include a scribing line; 상기 반도체 칩의 스크라이빙 라인을 따라 일정 간격으로 배열됨과 동시에 칩의 상,하를 관통하도록 형성된 다수의 홀에 충진되어 칩의 외부로의 전기적인 신호 접속 경로를 이루는 다수개의 외부연결단자;A plurality of external connection terminals arranged along a scribing line of the semiconductor chip and filled in a plurality of holes formed to penetrate the top and bottom of the chip to form an electrical signal connection path to the outside of the chip; 상기 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결하는 패쓰; 및A path for electrically connecting the external connection terminal and a pad of the chip; And 상기 칩과 연결 패쓰를 포함하는 일정면적을 몰딩하여 밀봉하는 폴리머 중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.And a polymer polymer for molding and sealing a predetermined area including the chip and the connection path. 제 1 항에 있어서, 상기 칩의 하면으로 노출된 외부연결단자에는 기판 실장을 위한 솔더 볼이 부착된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein a solder ball for mounting a substrate is attached to an external connection terminal exposed to a lower surface of the chip. 제 2 항에 있어서, 상기 솔더 볼이 칩의 하면에 걸쳐 고르게 분포되어 배열되고, 이 솔더 볼과 외부연결단자가 전도성 패턴으로 연결되어 이루어지는 하이 핀 카운트 구조의 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 2, wherein the solder balls are arranged evenly over the lower surface of the chip, and the solder balls and the external connection terminals are connected in a conductive pattern. 제 3 항에 있어서, 상기 전도성 패턴의 재질은 Cu, Pt, Au, Ag, Al 또는 이들의 합금인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 3, wherein the conductive pattern is made of Cu, Pt, Au, Ag, Al, or an alloy thereof. 제 1 항에 있어서, 상기 연결 패쓰는 도전성의 금속 패턴 또는 금속 와이어인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein the connection path is a conductive metal pattern or a metal wire. 제 1 항에 있어서, 상기 폴리머 중합체는 열가소성 또는 열경화성 수지인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein the polymer polymer is a thermoplastic or thermosetting resin. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 폴리머 중합체는 반도체 칩의 상면 가장자리로부터 0.8∼1Mil의 간격을 두고 그 안쪽에 배치되도록 몰딩된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package according to any one of claims 1 to 5, wherein the polymer polymer is molded to be disposed therein at an interval of 0.8 to 1 Mil from an upper edge of the semiconductor chip. 스크라이빙 라인의 1/2만큼의 폭을 가지도록 절단된 적어도 하나의 반도체 칩;At least one semiconductor chip cut to have a width of one half of the scribing line; 상기 반도체 칩의 스크라이빙 라인을 따라 일정 간격으로 배열되며, 칩 두께의 1/2∼2/3의 깊이로 형성된 홀에 충진되어 칩의 외부로의 신호 접속 경로를 이루는 다수개의 외부연결단자;A plurality of external connection terminals arranged at regular intervals along the scribing line of the semiconductor chip and filled in holes formed to a depth of 1/2 to 2/3 of the chip thickness to form a signal connection path to the outside of the chip; 상기 외부연결단자와 칩의 패드를 전기적으로 연결하는 패쓰;A path for electrically connecting the external connection terminal and a pad of the chip; 상기 외부연결단자에 연결되는 인너리드와 기판 실장을 위한 아웃리드를 갖는 리드 프레임; 및A lead frame having an inner lead connected to the external connection terminal and an out lead for mounting a substrate; And 상기 칩과 리드 프레임의 인너리드를 포함하는 일정 면적을 몰딩하여 밀봉하는 폴리머 중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.And a polymer polymer for molding and sealing a predetermined area including an inner lead of the chip and the lead frame. 제 8 항에 있어서, 상기 연결 패쓰는 도전성의 금속 패턴인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 8, wherein the connection path is a conductive metal pattern. 제 8 항에 있어서, 상기 리드 프레임의 인너리드는 외부연결단자와의 용이한 연결을 위해 침상 단부를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.9. The semiconductor package of claim 8, wherein the inner lead of the lead frame has a needle end for easy connection with an external connection terminal. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 폴리모 중합체는 열가소성 또는 열경화성 수지인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package according to any one of claims 8 to 10, wherein the polymopolymer is a thermoplastic or thermosetting resin.
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