KR100288651B1 - Cassette feeder of semiconductor device production line - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대구경의 복수개 웨이퍼가 수용되고, 웨이퍼의 손상을 방지하기 하기 위하여 진공압 유지가 가능한 개폐 구조를 갖는 카세트를 이송함에 있어서, 제조설비의 전방 부위에 설치된 POD 개폐부에 복수개의 카세트를 순차적으로 대응 위치시키기 용이하도록 하는 반도체장치 제조설비의 카세트 이송장치에 관한 것이다.In the present invention, when a plurality of wafers having a large diameter are accommodated and a cassette having an opening / closing structure capable of maintaining vacuum pressure in order to prevent damage to the wafer, the plurality of cassettes are sequentially arranged in a POD opening and closing portion provided at a front portion of a manufacturing facility. The present invention relates to a cassette conveying apparatus of a semiconductor device manufacturing facility which facilitates corresponding positioning.
본 발명의 특징은, 카세트를 본체 상에 안착 위치시킨 상태에서 카세트를 대상 설비에 대응 위치시키도록 하는 반도체장치 생산라인의 카세트 이송장치에 있어서, 다층 구조로 각 층에 카세트가 안착 위치되어 승· 하강 구동하는 엘리베이터가 개방된 상부를 통해 일부가 수납되도록 형성된 본체와; 상기 엘리베이터의 양측에 설치되어 카세트의 하부에 대응하는 받침대를 전, 후 좌, 우 방향으로 슬라이딩 가능하도록 구동시켜 카세트를 이송시키도록 하는 로딩· 언로딩부;를 포함한 구성으로 이루어짐을 특징으로 한다.A feature of the present invention is a cassette transfer device of a semiconductor device production line which allows a cassette to be positioned correspondingly to a target facility while the cassette is seated on a main body, wherein the cassette is seated and positioned on each layer in a multi-layer structure. A main body configured to accommodate a portion of the elevator driving downward through an open upper portion; And a loading / unloading unit installed at both sides of the elevator to drive the pedestal corresponding to the lower portion of the cassette so as to be slidable in the front, rear, left and right directions to convey the cassette.
따라서, 본 발명에 의하면, 카세트가 엘리베이터에 의해 본체 내부로 수납 돌출되고, 로딩· 언로딩부에 의해 순차적으로 POD 개폐부와 교환하게 됨으로써 본체의 크기가 제조설비 사이를 통과하기가 용이한 형상을 이루며, 로딩· 언로딩부가 단순하게 단일 구성으로 형성됨에 따라 제작비용이 감소되는 경제적 이점이 있다.Therefore, according to the present invention, the cassette is accommodated and projected into the main body by the elevator, and the loading / unloading part is sequentially exchanged with the POD opening / closing part so that the size of the main body can easily pass between the manufacturing facilities. As the loading and unloading parts are simply formed in a single configuration, there is an economic advantage that the manufacturing cost is reduced.
Description
본 발명은 반도체장치 제조설비의 카세트 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 대구경의 복수개 웨이퍼가 수용되고, 웨이퍼의 손상을 방지하기 하기 위하여 진공압 유지가 가능한 개폐 구조를 갖는 카세트를 이송함에 있어서, 제조설비의 전방 부위에 설치된 POD 개폐부에 복수개의 카세트를 순차적으로 대응 위치시키기 용이하도록 하는 반도체장치 제조설비의 카세트 이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette transport apparatus of a semiconductor device manufacturing facility. More particularly, a plurality of wafers having a large diameter are accommodated and a cassette having an open / close structure capable of maintaining a vacuum pressure in order to prevent damage to the wafer is provided. In addition, the present invention relates to a cassette conveying apparatus of a semiconductor device manufacturing facility which makes it easy to sequentially position a plurality of cassettes in a POD opening and closing portion provided at a front portion of a manufacturing facility.
일반적으로 반도체장치는, 웨이퍼에 사진, 확산. 식각, 화학기상증착, 및 금속증착 등의 공정을 반복 수행하여 제작되는 극히 정교한 장치로서, 이러한 반도체장치 제작 과정에 있어서의 주된 목적은 제조 효율을 향상시키는데 있다.Generally, semiconductor devices are photographed and diffused on a wafer. As an extremely sophisticated device that is manufactured by repeatedly performing processes such as etching, chemical vapor deposition, and metal deposition, a main purpose in the manufacturing process of such a semiconductor device is to improve manufacturing efficiency.
반도체장치의 제조 효율을 향상시키기 위한 방법은, 공정수의 감소 및 각종 경비를 절감할 수 있도록 웨이퍼의 직경을 12 인치 이상의 대구경으로 형성하는 방법과 반도체장치의 특성 변화 및 손상을 초래하는 각종 파티클로부터 웨이퍼를 격리시키는 방법이 대표적이다.The method for improving the manufacturing efficiency of a semiconductor device includes a method of forming a wafer with a large diameter of 12 inches or more so as to reduce the number of processes and various costs, and from various particles that cause characteristics change and damage of the semiconductor device. A method of isolating a wafer is typical.
여기서, 상술한 웨이퍼는 공정이 수행되는 각 제조설비로 이송되는 과정에서 파티클에 노출될 가능성이 높으며, 이에 따라 복수개의 웨이퍼를 수용하여 이송하는데 사용되는 카세트는 웨이퍼의 직경에 대응하는 크기와 파티클에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하도록 제작된다.Here, the wafer described above is likely to be exposed to particles during the transfer to each manufacturing facility where the process is performed, and thus a cassette used to receive and transfer a plurality of wafers may have a size and particle size corresponding to the diameter of the wafer. It is manufactured to prevent damage to the wafer.
이러한 카세트의 일 예는, 대구경의 웨이퍼가 복수개 수용되는 내부가 소정의 진공압 상태의 유지가 가능하도록 형성되고, 이 카세트의 일측 부위는 POD 개폐부(POD opener: port of debarkation opening and shutting equipment)에 의해 선택적으로 개방되는 개폐 구조를 갖는 구성을 이룬다.One example of such a cassette is formed such that an inside in which a plurality of large-diameter wafers are accommodated can maintain a predetermined vacuum pressure, and one side of the cassette is connected to a POD opener (port of debarkation opening and shutting equipment). It has a configuration having an opening and closing structure that is selectively opened by.
상술한 구성으로 제작된 카세트는, 수용되는 대구경의 웨이퍼 무게와 내부의 진공압 유지를 위한 구성 무게에 의해 작업자가 직접 이송하기 어려움에 따라 카세트를 이송하기 위한 별도의 카세트 이송장치가 요구된다.The cassette manufactured in the above-described configuration requires a separate cassette transfer device for transferring the cassette due to the difficulty in the operator's direct transfer due to the large-diameter wafer weight and the component weight for maintaining the vacuum pressure therein.
이러한 요구에 의해 제작된 카세트 이송장치는, 일정 규격으로 제작되는 카세트와 POD 개폐부와 협소하게 배치되는 각 제조설비 사이에 대응하도록 그 폭과 길이 및 높이 등의 크기가 제안되고, 또 일회의 이송으로 복수개의 카세트를 이송할 수 있는 구성이 요구된다.The cassette conveying apparatus manufactured by such a request is proposed to have a width, a length, a height, and the like, so as to correspond between a cassette manufactured to a certain standard and each manufacturing facility that is arranged narrowly with the POD opening and closing part. There is a need for a configuration capable of transferring a plurality of cassettes.
한편, 상술한 요구에 따른 종래의 카세트 이송장치의 구성은, 상술한 바와 같이, 제안된 크기에 의해 본체의 형상이 복수개의 카세트를 적재하기 위하여 장방형으로 형성되고, 본체의 하부에는 이송이 용이하도록 바퀴가 구비된다.On the other hand, the configuration of the conventional cassette conveying apparatus according to the above-described request, as described above, the shape of the main body by the proposed size is formed in a rectangular shape for loading a plurality of cassettes, so that the lower portion of the main body to facilitate the transfer Wheels are provided.
또한, 본체의 상부는, 본체의 길이 방향에 대하여 나란하게 배치 적재되는 카세트에 대응하여 선택적으로 대향 위치되는 POD 개폐부와 본체 상부로 카세트를 교환하도록 하는 로딩· 언로딩부가 구비된다.In addition, the upper portion of the main body is provided with a POD opening and closing portion that is selectively opposed to a cassette placed in parallel with the longitudinal direction of the main body and a loading / unloading portion for exchanging the cassette with the upper portion of the main body.
이러한 구성에 의하면, 본체 상에 배치된 어느 하나의 카세트를 요구되는 POD 개폐부에 대향 위치시키고, 이 카세트에 대응하는 로딩· 언로딩부를 구동시켜 카세트를 교환하게 된다.According to this configuration, any cassette disposed on the main body is placed opposite to the required POD opening and closing portion, and the cassette is exchanged by driving the loading / unloading portion corresponding to the cassette.
이어서 다른 카세트를 다시 요구되는 POD 개폐부에 대향 위치되도록 본체를 이송한 후 이 카세트에 대응하는 다른 로딩· 언로딩부를 구동시켜 카세트를 교환하게 됨으로써 일회의 이송 및 교환 작업이 완료된다.Subsequently, the main body is transported so that the other cassette is located opposite to the required POD opening and closing unit, and then another loading / unloading unit corresponding to the cassette is driven to replace the cassette, thereby completing a single transfer and exchange operation.
그러나, 상술한 바와 같이, 두 개의 카세트를 이송함에 있어서, 본체의 형상이 장방형으로 형성되어 협소한 제조설비 사이를 통과하기가 용이하지 않으며, 이들 카세트에 대응하여 로딩· 언로딩부의 구성이 복잡하고, 또 각각의 카세트에 대응하여 구비됨에 따라 제작비용이 증대되는 비경제적인 문제가 있었다.However, as described above, in conveying the two cassettes, the shape of the main body is rectangular, so that it is not easy to pass between the narrow manufacturing facilities, and the configuration of the loading / unloading portion corresponding to these cassettes is complicated. In addition, there is an uneconomical problem in that the manufacturing cost increases as it is provided corresponding to each cassette.
또한, 상술한 바와 같이, 카세트를 교환하는 과정에서 로딩· 언로딩부의 동작은 POD 개폐부와 본체에 대응하여 카세트를 충격 없이 정확히 위치시킬 것이 요구되며, 이러한 요구 조건은 상술한 로딩· 언로딩부의 구성을 보다 복잡하게 하고, 또 그 구성에 의한 제작비용이 증대시키는 결과를 초래한다.In addition, as described above, the operation of the loading and unloading unit in the process of exchanging the cassette is required to accurately position the cassette without impact in correspondence with the POD opening and closing unit and the main body. This results in more complex and increases the manufacturing cost by the configuration.
본 발명의 목적은, 복수개의 카세트를 이송함에 있어서, 협소한 제조설비 사이를 통과하기가 용이하도록 본체의 크기를 축소 형성토록 하며, 각 카세트에 대응하여 로딩· 언로딩부의 구성을 복수개의 카세트에 대응하여 기계적이고 단순환 단일 구성으로 구성하여 그에 따른 제작비용이 감소하도록 하는 반도체장치 생산라인의 카세트 이송장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to reduce the size of the main body so that it is easy to pass between narrow manufacturing facilities in conveying a plurality of cassettes, and the configuration of the loading / unloading unit corresponding to each cassette is provided in the plurality of cassettes. Correspondingly, the present invention provides a cassette conveying apparatus for a semiconductor device production line, which is configured to correspond to a mechanical and simple ring unitary configuration, thereby reducing manufacturing costs.
또한, 카세트를 교환하는 과정에서 POD 개폐부와 본체에 대응하여 카세트를 충격 없이 정확히 위치시키도록 하는 반도체장치 생산라인의 카세트 이송장치를 제공함에 있다.In addition, the present invention provides a cassette conveying apparatus of a semiconductor device production line for accurately positioning a cassette without impact in response to a POD opening and closing body in the process of exchanging a cassette.
도1은 카세트 이송장치의 구성 및 동작 관계를 설명하기 위한 사시도이다.1 is a perspective view for explaining the configuration and operation relationship of the cassette transfer device.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치의 구성 및 동작 관계를 나타낸 부분 절취 사시도이다.Figure 2 is a partial cutaway perspective view showing the configuration and operation of the cassette transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
도3은 도2에 도시된 볼스플라인과 구동레버의 결합 관계를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a coupling relationship between a ball spline and a driving lever shown in FIG.
도4는 도2에 도시된 카세트 이송장치의 구성에 의한 카세트의 로딩 및 언로딩 구동 관계를 설명하기 위한 평면도이다.FIG. 4 is a plan view for explaining the relationship between the loading and unloading driving of the cassette by the configuration of the cassette conveying apparatus shown in FIG.
도5는 도2에 도시된 카세트 이송장치의 구성에 의한 카세트의 로딩 및 언로딩 구동 관계를 설명하기 위한 측면도이다.FIG. 5 is a side view for explaining the relationship between the loading and unloading driving of a cassette by the configuration of the cassette conveying apparatus shown in FIG.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
10: 카세트 이송장치 12: 카세트10: cassette feeder 12: cassette
14: 본체 16: 바퀴14: body 16: wheels
18: 엘리베이터 20a, 20b: 프레임18: elevator 20a, 20b: frame
22: 안내홈 24: 브래킷22: guide groove 24: bracket
26: 볼스플라인 28: 구동레버26: ball spline 28: drive lever
30: 슬라이더 32: 양로드 실린더30: slider 32: double rod cylinder
34: 실린더축 36: 캠34: cylinder axis 36: cam
38: 링크 40: 굴곡캠38: Link 40: Bend Cam
42: 지지판 44: 중심축42: support plate 44: central axis
46: 가이드부시 48: 가이드봉46: guide bush 48: guide rod
50: 회전축 52: 타이밍벨트50: rotation axis 52: timing belt
54: 베어링 56: 가이드레일54: bearing 56: guide rail
58: 조작레버 60a, 60b: 풀리58: operating lever 60a, 60b: pulley
62: 와이어루프 64: 슬라이더레일62: wire loop 64: slider rail
66: 받침대 68: 고정대66: base 68: holder
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 생산라인의 카세트 이송장치는, 다층 구조로 각 층에 카세트가 안착 위치되어 승· 하강 구동하는 엘리베이터가 개방된 상부를 통해 일부가 수납되도록 형성된 본체와; 상기 엘리베이터의 양측에 설치되어 카세트의 하부에 대응하는 받침대를 전, 후 좌, 우 방향으로 슬라이딩 가능하도록 구동시켜 카세트를 이송시키도록 하는 로딩· 언로딩부;를 포함한 구성으로 이루어진다.Cassette conveying apparatus of the semiconductor device production line according to the present invention for achieving the above object is a multi-layer structure, the main body is formed so that the cassette is seated on each floor seated on the floor is accommodated in part through the open upper elevator ; And a loading / unloading unit installed at both sides of the elevator to drive the pedestal corresponding to the lower part of the cassette so as to be slidable in the front, rear, left and right directions to transfer the cassette.
또한, 상기 로딩· 언로딩부의 구성은, 상기 본체 내벽에 대응하여 전, 후, 좌, 우 방향으로 격자 형상을 이루며 고정되는 프레임과; 상기 전, 후 방향의 일측 프레임 상의 길이 방향으로 브래킷에 의해 회전 가능하게 고정되는 볼스플라인과; 상기 볼스플라인에 안내되어 슬라이딩 구동함과 동시에 상기 볼스플라인에 회전력을 전달하도록 설치되는 구동레버와; 굴곡된 형상으로 중심 부위가 상기 좌, 우 방향 프레임의 소정 위치에 브래킷에 힌지되어 상기 볼스플라인 단부에 캠과 링크로 연결되어 회동하게 되는 굴곡캠과; 상기 좌, 우 방향 프레임의 상측으로 이격 위치되어 승· 하강 가능하게 설치되고, 중심 부위에 수직 대응하는 중심축의 하측 단부가 상기 굴곡캠의 다른 단부에 힌지 및 소정 간격 슬라이딩 가능하게 연결되는 지지판과; 상기 지지판 상의 길이 방향으로 브래킷에 의해 회전 가능하게 고정되는 회전축과; 상호 짝을 이루는 가이드레일과 상기 받침대가 구비된 슬라이더레일이 상기 엘리베이터 양측에서 전, 후 방향으로 배치되고, 상기 가이드레일은 상기 회전축의 양측 부위에서 베어링으로 좌, 우 방향 슬라이딩 가능하게 힌지 고정되며, 상기 전, 후 위치의 베어링에 타이밍벨트가 설치되며, 상기 슬라이더레일과 상기 타이밍벨트의 소정 부위는 고정대로 고정되고, 상기 일측 고정대는 연장되어 상기 구동레버와 연결되는 구성의 슬라이더부와; 상기 지지판의 양측에 조작레버에 의해 상호 역방향 회전하도록 교차되는 와이어루프로 연결되는 풀리와 상기 와이어루프에 상기 양측 가이드레일이 상기 회전축을 따라 좌, 우 방향으로 슬라이딩하도록 연결되어 이루어진 삽입부;를 포함하여 구성함이 바람직하다.The structure of the loading and unloading unit may include: a frame fixed in a grid shape in front, rear, left and right directions corresponding to the inner wall of the main body; A ball spline rotatably fixed by a bracket in a longitudinal direction on one frame in the front and rear directions; A driving lever which is guided to the ball spline and slides and is installed to transmit rotational force to the ball spline; A curved cam having a centered portion in a bent shape and hinged to a bracket at predetermined positions of the left and right frames to be pivotally connected to the ball spline end by a cam and a link; A support plate spaced apart from the upper side of the left and right frames so as to be lifted and lowered, and having a lower end of the central axis perpendicular to the center portion connected to the other end of the bending cam so as to be hinged and slid at predetermined intervals; A rotating shaft rotatably fixed by the bracket in the longitudinal direction on the support plate; A pair of guide rails and a slider rail provided with the pedestal are arranged in front and rear directions on both sides of the elevator, and the guide rails are hinged and fixed in a left and right direction by bearings at both sides of the rotating shaft. A slider having a timing belt installed at the bearings at the front and rear positions, the slider rail and a predetermined portion of the timing belt being fixed to the holder, and the one side holder extending to be connected to the driving lever; A pulley connected to the wire loops intersected to rotate in opposite directions by the operation levers on both sides of the support plate, and an insertion part connected to the wire loops such that both guide rails slide in left and right directions along the rotation axis. It is preferable to configure.
또한, 상기 전, 후 방향 프레임 상의 길이 방향으로 소정 폭과 깊이를 갖는 안내홈이 장방형으로 형성되고, 상기 구동레버의 하측 단부는 상기 안내홈을 따라 구동하도록 형성함이 바람직하다.In addition, the guide groove having a predetermined width and depth in the longitudinal direction on the front, rear frame is formed in a rectangular shape, the lower end of the drive lever is preferably formed to drive along the guide groove.
그리고, 상기 안내홈의 좌, 우 방향 길이는, 상기 볼스플라인의 회전에 따른 상기 지지판과 상기 슬라이더부의 승· 하강 높이를 제어하도록 구성함이 바람직하고, 또 상기 안내홈의 전, 후 방향 길이는 카세트의 이송 거리를 제어하도록 구성함이 바람직하다.And, the length of the left and right direction of the guide groove is preferably configured to control the lifting height of the support plate and the slider portion according to the rotation of the ball spline, and the length of the front and rear direction of the guide groove is It is preferable to configure the feed distance of the cassette.
한편, 상기 전, 후 방향의 프레임 하부 중심 부위에 양로드 실린더를 설치하고, 상기 양측 실린더축에 상기 프레임을 따라 슬라이딩 가능하게 고정되는 슬라이더를 구비하여 상기 구동레버의 전, 후 방향의 운동을 일정 범위에서 제어하도록 구성함이 바람직하다.Meanwhile, both rod cylinders are installed at the center portion of the lower part of the frame in the front and rear directions, and sliders are fixed to the both cylinder shafts so as to be slidable along the frame. It is preferable to configure to control in the range.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치의 구성 및 동작 관계에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the configuration and operation relationship of the cassette transport apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 생산라인에 사용되는 카세트 이송장치의 사용 관계를 나타낸 사시도이고, 도2는 도1에 도시된 카세트 이송장치의 구성과 이들 구성의 조립 관계 및 동작 관계를 나타낸 부분 절취 사시도이며, 도3은 도2에 도시된 볼스플라인과 구동레버의 결합 관계를 나타낸 단면도이며, 도4 내지 도5는 도1에 도시된 카세트 이송장치의 구성 및 동작 관계를 나타낸 평면도와 측면도 및 내부 구성의 동작과 조립 관계를 나타낸 단면도이다.Figure 1 is a perspective view showing the relationship of use of the cassette transfer device used in the semiconductor device production line according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a configuration of the cassette transfer device shown in Figure 1 and the relationship and operation of these configurations Fig. 3 is a cross-sectional view showing a coupling relationship between the ball spline and the driving lever shown in Fig. 2, and Figs. 4 to 5 show the configuration and operation relationship of the cassette conveying apparatus shown in Fig. 1. Top view, side view, and sectional view showing the operation and assembly relationship of the internal configuration.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 생산라인의 카세트 이송장치(10)는, 도1에 도시된 바와 같이, 생산라인에 즐비하게 설치된 각 제조설비 사이의 통로를 통과할 수 있도록 카세트(12)에 대응하는 협소한 부피의 본체(14)가 있고, 이 본체(14)의 하부에는 이동이 용이하도록 바퀴(16)가 구비된다.Cassette conveying apparatus 10 of the semiconductor device production line according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 1, the cassette 12 so as to pass through the passage between each manufacturing facility installed in the production line There is a narrow volume of main body 14 corresponding to the lower portion of the main body 14 is provided with a wheel 16 to facilitate movement.
또한, 본체(14)는, 도5에 도시된 바와 같이, 내부가 구획 형성되어 상측으로 개방된 형상을 이루고, 이렇게 구획된 부위를 통해 이층 구조의 엘리베이터(18)가 구동수단에 의해 승· 하강 가능하게 설치된다.In addition, as shown in Fig. 5, the main body 14 has a shape in which the inside is partitioned and opened to the upper side, and the elevator 18 having a two-layer structure is moved up and down by the driving means through the partitioned portion. It is possible to install.
그리고, 엘리베이터(18)의 각 층에는 카세트(12)가 각각 안착되는 구성을 이루며, 하층에 위치되는 카세트(12)는 엘리베이터(18)의 하강 운동시 본체(14) 내부에 수납되는 구성을 이룬다.In addition, each floor of the elevator 18 has a configuration in which the cassettes 12 are seated, respectively, and the cassette 12 located on the lower floor has a configuration that is stored inside the main body 14 during the downward movement of the elevator 18. .
한편, 상술한 엘리베이터(18) 주위의 본체(14) 내부에는, 도2에 도시된 바와 같이, 엘리베이터 또는 POD 개폐부 상에 위치되는 카세트를 교환하도록 하는 로딩· 언로딩부가 구비된다.On the other hand, in the main body 14 around the elevator 18 mentioned above, as shown in FIG. 2, the loading / unloading part which replaces the cassette located on an elevator or a POD opening-and-closing part is provided.
이러한 로딩· 언로딩부의 구성을 보다 상세히 설명하면, 도2에 도시된 바와 같이, 본체(14) 내벽에 소정 폭과 길이 및 강성을 갖는 프레임(20a, 20b)이 수평 상태를 이루며 전, 후, 좌, 우 방향의 격자 형상으로 배치 고정된다.Referring to the configuration of the loading and unloading portion in more detail, as shown in Fig. 2, before and after the frame 20a, 20b having a predetermined width, length and rigidity on the inner wall of the main body 14 in a horizontal state, It is arranged and fixed in a grid shape in the left and right directions.
이렇게 고정된 프레임(20a, 20b) 중 전, 후 방향의 일측 프레임(20a) 상면 상에는, 도2에 도시된 바와 같이, 프레임(20a)의 길이 방향으로 소정 폭과 깊이를 갖는 안내홈(22)이 장방형 형상으로 형성되고, 이 안내홈(22)의 길이 방향 양측 부위의 프레임(20a) 상에는 통상의 방법으로 브래킷(24)이 상호 대향하는 형상으로 고정된다.The guide groove 22 having a predetermined width and depth in the longitudinal direction of the frame 20a, as shown in FIG. 2, on the upper surface of the one side frame 20a in the front and rear directions among the frames 20a and 20b thus fixed. It is formed in this rectangular shape, and the brackets 24 are fixed to the shape which opposes mutually on the frame 20a of the both sides of the longitudinal direction of this guide groove 22 by a normal method.
또한, 양측 브래킷(24) 상에는 프레임(20a)으로부터 상측으로 나란하게 이격되어 브래킷(24)에 의해 회전 가능하도록 볼스플라인(26)이 설치되고, 이 볼스플라인(26) 상에는, 도2 또는 도3에 도시된 바와 같이, 구동레버(28)가 볼스플라인(26)을 따라 슬라이딩 가능하게 설치된다.Further, a ball spline 26 is provided on both side brackets 24 so as to be spaced apart from the frame 20a side by side and rotatable by the bracket 24, and on the ball spline 26, Figs. As shown in FIG. 2, the drive lever 28 is slidably installed along the ball spline 26.
이렇게 설치된 구동레버(28)의 상측 부위는, 본체(14)의 상측으로 돌출되며, 구동레버(28)의 하측 단부는 상술한 안내홈(22)에 삽입되어 안내홈(22)의 형상에 대응하여 이동 가능하도록 구성된다.The upper portion of the drive lever 28 installed in this way protrudes above the main body 14, and the lower end of the drive lever 28 is inserted into the guide groove 22 described above to correspond to the shape of the guide groove 22. It is configured to be movable.
그리고, 안내홈(22)의 좌, 우 방향 길이는, 볼스플라인(26)의 회전각 범위를 제어하기 위한 길이로 형성되고, 또 안내홈(22)의 전, 후 방향 길이는 카세트(12)의 이송 거리를 제어하기 위한 길이로 형성된다.The left and right lengths of the guide grooves 22 are formed to control the rotation angle range of the ball spline 26, and the lengths of the front and rear directions of the guide grooves 22 are the cassettes 12. It is formed into a length for controlling the conveying distance of.
한편, 전, 후 방향의 프레임(20a) 하부 중심 부위에는, 도2에 도시된 바와 같이, 양로드 실린더(32)가 설치되고, 이 양로드 실린더(32)의 양측 실린더축(34) 단부에는 프레임(20a)을 따라 슬라이딩 가능하게 고정되는 슬라이더(30)가 고정되며, 이 슬라이더(30)는 구동레버(28)의 전, 후 방향의 운동을 일정 범위에서 제어하도록 구성된다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, both rod cylinders 32 are provided at the lower center portion of the lower portion of the frame 20a in the front and rear directions, and both ends of the cylinder shafts 34 of the rod rods 32 are disposed at both ends. A slider 30 which is slidably fixed along the frame 20a is fixed, and the slider 30 is configured to control the movement of the drive lever 28 in the front and rear directions in a predetermined range.
한편, 상술한 볼스플라인(26)의 양측 단부에는 캠(36)이 고정되고, 이 캠(36)의 단부는 다시 소정 길이를 갖는 링크(38)의 일측 단부와 힌지 고정된다.On the other hand, the cam 36 is fixed to both ends of the above-described ball spline 26, and the end of the cam 36 is hinged to one end of the link 38 having a predetermined length.
또한, 링크(38)의 다른 단부는, 도2에 도시된 바와 같이, 좌, 우 방향으로 고정된 프레임(20b)의 길이 방향으로 연장되어 이 프레임(20b) 상에 브래킷(24)으로 힌지 고정된 굴곡캠(40)의 일측 단부와 힌지 고정된다.In addition, the other end of the link 38 extends in the longitudinal direction of the frame 20b fixed in the left and right directions, as shown in FIG. 2, and hinged to the bracket 24 on the frame 20b. One side end of the curved cam 40 is hinged.
따라서, 상술한 구성에 있어서, 구동레버(28)가 브래킷(24)에 근접된 부위의 좌, 우 방향 안내홈(22)을 따라 회동하게 됨으로써 볼스플라인(26)은 안내홈(22)의 제한된 길이에 의해 소정 각도로 회전하게 되고, 이때 굴곡캠(40)은 볼스플라인(26) 단부에 고정된 캠(36)과 링크(38)로 연결되어 볼스플라인(26)과 연동 회동하게 된다.Therefore, in the above-described configuration, the driving lever 28 is rotated along the left and right guide grooves 22 in the vicinity of the bracket 24 so that the ball spline 26 is limited to the guide grooves 22. By the length is rotated at a predetermined angle, the bending cam 40 is connected to the cam 36 and the link 38 fixed to the ball spline 26 end is rotated in conjunction with the ball spline 26.
이렇게 회동하는 굴곡캠(40)의 다른 단부는, 도2에 도시된 바와 같이, 좌, 우 방향 프레임(20b) 상측으로 나란하게 이격 설치된 지지판(42)의 중심축(44)에 힌지 연결되어 회동력을 승· 하강 구동력으로 전환시키게 되고, 지지판(42)은 상술한 프레임(20b) 상의 가이드부시(46)에 가이드봉(48)으로 연결되어 일정 간격의 수직 승· 하강 구동하게 된다.As shown in FIG. 2, the other end of the rotating cam 40 that rotates is hinged to the central axis 44 of the support plate 42 spaced side by side above the left and right frames 20b. The power is switched to the raising and lowering driving force, and the support plate 42 is connected to the guide bush 46 on the frame 20b as described above with a guide rod 48 to drive vertical raising and lowering at regular intervals.
한편, 지지판(42)의 상측으로 이격된 위치에는, 도2에 도시된 바와 같이, 소정 길이를 갖는 회전축(50)이 지지판(42)의 양측 단부에 고정되는 브래킷(24)에 의해 회전 지지되고, 이 회전축(50)은 상술한 볼스플라인(26)과 동일한 구성으로 형성되거나 또는 양측의 일정 부위가 볼스플라인(26) 형상으로 형성될 수 있다.On the other hand, in the position spaced above the support plate 42, as shown in Figure 2, the rotation shaft 50 having a predetermined length is rotatably supported by the bracket 24 fixed to both ends of the support plate 42 The rotation shaft 50 may be formed in the same configuration as the above-described ball spline 26 or a predetermined portion of both sides may be formed in the shape of a ball spline 26.
또한, 이렇게 설치된 회전축(50) 상에는, 도2에 도시된 바와 같이, 회전축(50)의 길이 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치됨과 동시에 전· 후방의 회전축(50)을 연결하는 타이밍벨트(52)의 구동에 의해 회전축(50)에 회전력을 전달하도록 구성된 베어링(54)이 구비된다.In addition, on the rotary shaft 50 installed as described above, as shown in FIG. 2, the timing belt 52 which is slidably installed in the longitudinal direction of the rotary shaft 50 and connects the front and rear rotary shafts 50 is driven. The bearing 54 is configured to transmit a rotational force to the rotation shaft 50 by.
그리고, 이들 베어링(54)의 일측 단부에는, 도2에 도시된 바와 같이, 베어링(54)과 힌지 고정되고, 회전축(50)의 양측에서 전, 후 방향으로 나란하게 가이드레일(56)이 설치되고, 이들 양측 가이드레일(56)은 베어링(54)에 의해 회전축(50)의 안내를 받아 나란하게 슬라이딩 가능한 구성을 이룬다.2, the bearing 54 and the hinge are fixed to one end of the bearing 54, and the guide rails 56 are installed side by side in the front and rear directions on both sides of the rotation shaft 50. The two guide rails 56 are configured to be slid side by side by being guided by the rotation shaft 50 by the bearing 54.
또한, 지지판(42)의 양측 부위에는, 도4 내지 도5에 도시된 바와 같이, 본체(14) 외측으로 돌출된 조작레버(58)에 의해 회전하도록 구성된 구동풀리(60a)와 종동풀리(60b)가 설치되며, 이들 지지판(42) 상의 양측 풀리(60a, 60b)는, 도2에 도시된 바와 같이, 지지판(42) 중심 부위에서 일회 교차하는 형상의 와이어루프(wire-loop)(62)로 연결되고, 이들 양측 풀리(60a, 60b)는 와이어루프(62)의 교차에 의해 상호 역방향으로 회전하는 구성을 이룬다.In addition, on both sides of the support plate 42, as shown in FIGS. 4 to 5, the driving pulley 60a and the driven pulley 60b configured to rotate by the operating lever 58 protruding outward of the main body 14. ), And both pulleys 60a and 60b on these support plates 42 are wire-loops 62 having a shape intersecting once at the center of the support plate 42, as shown in FIG. These two pulleys (60a, 60b) is configured to rotate in opposite directions by the intersection of the wire loop 62.
이때 와이어루프(62) 상에는 다시 상술한 양측 가이드레일(56)이 각각 고정되고, 이러한 구성에 있어서, 상술한 조작레버(58)를 어느 일 방향으로 조작하게 되면, 양측 풀리(60a, 60b)가 구동하게 되고, 이들 양측 풀리(60a, 60b)와 와이어루프(62)로 연결된 양측 가이드레일(56)은 상술한 회전축(50)을 따라 선택적으로 상호 좁아지는 방향 또는 상호 벌어지는 방향으로 슬라이딩 구동하게 된다.At this time, the above-mentioned both guide rails 56 are respectively fixed on the wire loop 62. In this configuration, when the above-described operating lever 58 is operated in any one direction, the both pulleys 60a and 60b are Both side pulleys 60a and 60b and both guide rails 56 connected to the wire loops 62 are driven to slide along the rotation shaft 50 in a narrower direction or a mutually open direction. .
한편, 양측 가이드레일(56)의 상부에는, 도2에 도시된 바와 같이, 가이드레일(56)에 안내되어 전· 후방으로 슬라이딩 구동하는 슬라이더레일(64)이 각각 설치되고, 이들 슬라이더레일(64)의 상부에는 가이드레일(56) 사이에 위치되어 승· 하강 구동하는 엘리베이터(18) 상에 위치되는 카세트(12)의 하부를 받쳐 지지하도록 형성된 받침대(66)가 고정된다.On the other hand, as shown in FIG. 2, slider rails 64 which are guided by the guide rails 56 and slide forward and backward are respectively provided on the upper sides of the guide rails 56, and these slider rails 64 are provided. In the upper part of the), a pedestal 66 formed to support the lower part of the cassette 12 positioned on the elevator 18 positioned between the guide rails 56 and driving up and down is fixed.
또한, 양측 슬라이더레일(64)의 측부에는, 도2에 도시된 바와 같이, 측부에 위치되는 타이밍벨트(52)와 고정대(68)로 고정되고, 이들 고정대(68) 중 일측의 고정대(68)는 연장 형성되어 상술한 구동레버(28)와 연결됨으로써 양측 슬라이더레일(64)은 구동레버(28)의 구동과 동시에 슬라이딩 운동하는 구성을 이룬다.In addition, as shown in FIG. 2, the side belt rails 64 are fixed to the side belt timing belt 52 and the stator 68 positioned on the side, and one of the stator 68 is a stator 68. The extension is formed to be connected to the above-described drive lever 28, the slider rails 64 of both sides forms a configuration that the sliding movement simultaneously with the drive of the drive lever 28.
따라서, 구동레버(28)가 안내홈(22)을 따라 전· 후방으로 구동하게 되면, 고정대(68)는 일측 슬라이더레일(64)을 구동시킴과 동시에 타이밍벨트(52)를 구동시키게 되고, 타이밍벨트(52)는 다시 그 힘을 베어링(54)에 전달하여 회전축(50)을 회전시키게 됨으로써 상대측에 위치한 슬라이더레일(64)은 동시에 동일 방향으로 슬라이딩 구동하게 된다.Therefore, when the driving lever 28 is driven forward and backward along the guide groove 22, the fixed base 68 drives the slider rail 64 on one side and the timing belt 52 at the same time. The belt 52 again transmits the force to the bearing 54 to rotate the rotation shaft 50 so that the slider rail 64 located on the opposite side slides in the same direction at the same time.
여기서, 상술한 바와 같이, 카세트(12)의 하부를 선택적으로 받쳐 지지하는 구동과 이렇게 지지되는 카세트(12)를 이송하는 구동으로 구분됨과 동시에 이들 구동은 동일한 구성을 포함하고 있음에 따라 카세트(12)의 이송에 요구되는 구성을 슬라이더부로 명명하고, 카세트(12)의 하부를 받쳐 지지하기 위한 구성을 삽입부로 명명하기로 한다.Here, as described above, the drive is selectively divided into the support for supporting the lower portion of the cassette 12 and the drive for transporting the cassette 12 supported in this way, and at the same time these drives include the same configuration as the cassette 12 The configuration required for conveyance of the < RTI ID = 0.0 >) will be referred to as a slider < / RTI >
상술한 구성의 카세트 이송장치(10)에 의한 동작 관계를 설명하면, 도1에 도시된 바와 같이, 작업자가 카세트 이송장치(10)를 이송하여 제조설비(M)의 전방에 설치되는 POD 개폐부(H)에 대향 위치시키게 된다.Referring to the operation relationship by the cassette feeder 10 of the above-described configuration, as shown in Figure 1, the operator transfers the cassette feeder 10 to be installed in front of the manufacturing facility (M) POD opening and closing unit ( It is located opposite to H).
이렇게 카세트 이송장치(10)가 위치된 상태에서 작업자는 엘리베이터(18)의 상층에 위치된 카세트(12)에 대응하여 로딩· 언로딩부를 구동하여 카세트(12)를 POD 개폐부(H)의 테이블 상에 인계하게 된다.In this state in which the cassette conveying apparatus 10 is located, the operator drives the loading / unloading portion corresponding to the cassette 12 located on the upper floor of the elevator 18 to drive the cassette 12 on the table of the POD opening / closing portion H. Will take over.
여기서, 로딩· 언로딩부의 동작 관계를 설명함에 있어서, 카세트 이송장치(10)의 초기 구동 위치를 구동레버(28)의 하측 단부가 안내홈(22)의 후방 우측에 위치된 상태로 설정하고, 또 조작레버(58)에 의한 삽입부 구성이 위치된 카세트(12)의 외측으로 이격된 상태로 설정하여 설명하기로 한다.Here, in explaining the operation relationship of the loading and unloading unit, the initial driving position of the cassette transport apparatus 10 is set so that the lower end of the driving lever 28 is located at the rear right side of the guide groove 22, In addition, the configuration of the inserting portion by the operation lever 58 is set to be spaced apart from the outside of the cassette 12 to be described.
이러한 상태에서 작업자는, 삽입부의 조작레버(58)를 조작하여 양측 받침대(66)가 카세트(12) 하부에 대응하도록 상호 모아지는 방향으로 위치시키고, 이후 구동레버(28)의 하측 단부를 안내홈(22)의 좌측으로 향하도록 회동시키게 되면, 일정 각도 회전하는 볼스플라인(26)과 연동하여 굴곡캠(40)이 회동하게 된다.In this state, the operator operates the operation lever 58 of the insertion unit so that the two side pedestals 66 are located in the direction where they are mutually collected so as to correspond to the lower portion of the cassette 12, and then the lower end of the driving lever 28 is guided. When rotated to the left of 22, the bending cam 40 is rotated in conjunction with the ball spline 26 rotated by a predetermined angle.
이때 굴곡캠(40)의 다른 단부는 중심축(44)을 밀어 올려 지지판(42)을 승강시키게 되고, 이 지지판(42)에 지지되는 삽입부는 위치된 카세트(12)의 하부를 받쳐 지지하는 형상으로 들어올리게 된다.At this time, the other end of the bending cam 40 pushes up the central shaft 44 to elevate the support plate 42, and the insertion part supported by the support plate 42 supports the lower portion of the cassette 12 located thereon. Will be lifted.
이후, 작업자가 구동레버(28)를 전측 방향으로 구동시키게 되면, 구동레버(28)에 연결된 고정대(68)는 슬라이더부의 양측 슬라이더레일(64)을 슬라이딩 이동시켜 카세트(12)를 POD 개폐부(H) 방향으로 이동시키게 된다.Subsequently, when the operator drives the driving lever 28 in the front direction, the fixing base 68 connected to the driving lever 28 slides the slider rails 64 on both sides of the slider to move the cassette 12 to the POD opening / closing portion H. Direction).
이러한 과정에서 구동레버(28)가 소정 위치까지 전진하게 되면, 구동레버(28)의 일측 부위는 양로드 실린더(32)의 전방 실린더축(34)에 고정되어 전, 후 방향의 프레임(20a)을 따라 슬라이딩하는 슬라이더(30)에 접촉되어 그 속도가 점차 감세됨으로써 구동레버(28)에 의해 이송되는 카세트(12)를 안전하게 위치 이송시키게 된다.In this process, when the driving lever 28 is advanced to a predetermined position, one side portion of the driving lever 28 is fixed to the front cylinder shaft 34 of both rod cylinders 32 so that the front and rear frames 20a are The speed of the contact with the slider 30 sliding along the gradually decreases, thereby safely transporting the cassette 12 conveyed by the drive lever 28.
이렇게 구동레버(28)가 안내홈(22)의 전방 부위에 위치되면, 작업자는 구동레버(28)의 하측 단부를 다시 우측 방향으로 향하도록 함으로써 지지판(42)을 포함한 슬라이더부와 삽입부를 하강시켜 카세트(12)를 POD 개폐부(H)의 테이블 상에 위치시키게 된다.When the driving lever 28 is located at the front portion of the guide groove 22 in this manner, the operator lowers the slider portion and the insertion portion including the support plate 42 by directing the lower end portion of the driving lever 28 to the right direction again. The cassette 12 is placed on the table of the POD opening and closing portion H.
이러한 상태에서 작업자는 구동레버(28)를 후진시킴과 동시에 상술한 조작레버(58)를 이용하여 삽입부의 위치를 상호 벌어지는 방향으로 위치시켜 설정된 초기 구동 위치 상태로 전환하게 된다.In this state, the operator reverses the drive lever 28 and at the same time, the position of the insertion part is positioned in the mutually opening direction by using the above-described operation lever 58 to switch to the set initial drive position state.
한편, 엘리베이터(18) 상에 안착되어 본체(14) 내부에 수납된 카세트(12)를 이송함에 있어서는 본체(14)를 다음 POD 개폐부(H)에 대향 위치시키고, 엘리베이터(18)를 구동시켜 수납된 카세트(12)를 본체(14) 상측으로 위치시키고, 이렇게 위치되는 카세트(12) 다시 상술한 과정으로 POD 개폐부(H)에 인계시키게 된다.On the other hand, in conveying the cassette 12 seated on the elevator 18 and stored in the main body 14, the main body 14 is placed opposite to the next POD opening / closing part H, and the elevator 18 is driven to store the main body 14. The cassette 12 is positioned above the main body 14, and the cassette 12 positioned as described above is turned over to the POD opening and closing part H by the above-described procedure.
따라서, 구동레버(28)와 조작레버(58)를 교번하여 조작함으로써 카세트 이송장치(10)에 위치된 카세트(12)를 POD 개폐부(H)로 인계하게 되고, 이때 구동레버(28)의 동작 방향은 안내홈(22)을 따라 일 방향으로 회전하는 동작을 이루게 된다.Accordingly, by alternately operating the drive lever 28 and the operation lever 58, the cassette 12 located in the cassette feeder 10 is turned over to the POD opening / closing part H, and the operation of the drive lever 28 is performed. Direction is achieved to rotate in one direction along the guide groove (22).
한편, 반대로 POD 개폐부(H)로부터 카세트(12)를 인계 받는 과정은, 상술한 과정의 역순에 의해 이루어지며, 카세트(12)가 본체(14)로 인계되는 과정에서도 상술한 양로드 실린더(32)에 의한 후측 슬라이더(30)에 지지됨으로써 작업이 안전하게 이루어진다.On the other hand, on the contrary, the process of taking over the cassette 12 from the POD opening and closing part H is performed by the reverse order of the above-described process, and the above-mentioned double rod cylinder 32 is also performed in the process of the cassette 12 being turned over to the main body 14. Supported by the rear slider 30 by the () is a safe operation.
따라서, 본 발명에 의하면, 카세트가 엘리베이터에 의해 본체 내부로 수납 돌출되고, 로딩· 언로딩부에 의해 순차적으로 POD 개폐부와 교환하게 됨으로써 본체의 크기가 제조설비 사이를 통과하기가 용이한 형상을 이루며, 로딩· 언로딩부가 단순하게 단일 구성으로 형성됨에 따라 제작비용이 감소되어 경제적이고, 또 구동레버의 전, 후 방향으로의 구동 과정에서 양로드 실린더에 의해 그 구동력이 제어됨에 따라 카세트를 교환하는 과정에서 POD 개폐부와 본체에 대응하여 카세트를 감소시킴과 동시에 정확히 위치시키게 되는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the cassette is accommodated and projected into the main body by the elevator, and the loading / unloading part is sequentially exchanged with the POD opening / closing part so that the size of the main body can easily pass between the manufacturing facilities. As the loading and unloading part is simply formed in a single configuration, manufacturing cost is reduced and economical, and the cassette is changed as the driving force is controlled by both rod cylinders in the forward and backward direction of the drive lever. In the process, the cassette is reduced in correspondence with the POD opening and closing body and the effect is accurately positioned.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980044818A KR100288651B1 (en) | 1998-10-26 | 1998-10-26 | Cassette feeder of semiconductor device production line |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980044818A KR100288651B1 (en) | 1998-10-26 | 1998-10-26 | Cassette feeder of semiconductor device production line |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000027011A KR20000027011A (en) | 2000-05-15 |
| KR100288651B1 true KR100288651B1 (en) | 2001-06-01 |
Family
ID=19555336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980044818A KR100288651B1 (en) | 1998-10-26 | 1998-10-26 | Cassette feeder of semiconductor device production line |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100288651B1 (en) |
-
1998
- 1998-10-26 KR KR1019980044818A patent/KR100288651B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20000027011A (en) | 2000-05-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120208 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |