KR100282517B1 - Method for moving vehicle in automatic transferring system - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조라인에 있어서의 웨이퍼의 공정간 이송등 각종 물품의 이송을 위한 자동반송시스템에 있어서의 비히클 운행방법을 개시한다. 본 발명은 비히클 운행속도를 향상시키고자 하는 것으로서, 일측 이송레일(10)상의 비히클(20a,20b,…)과 타측 이송레일(10')상의 비히클(20a',20b',…)이 복수의 스토커(30a,30b,…)에 대하여 서로 중복되지 않는 위치의 각 정차지점(15a,15c,…,15b',15d',…)에서만 정차될 수 있게 하고, 각 이송레일상에서는 비히클들이 적어도 2개의 정차지점 간격을 유지할 수 있게 운행한다. 이에 의하여 비히클들의 운행간격을 넓힐 수 있어 그 운행속도를 향상시킬 수 있다. 따라서 물품반송시간을 단축시킬 수 있으며, 같은 시간 내에서는 물품의 반송량을 증가시킴으로써 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다.Disclosure of Invention The present invention discloses a vehicle driving method in an automatic transfer system for transferring various articles such as inter-process transfer of wafers in a semiconductor manufacturing line. The present invention is to improve the vehicle running speed, the vehicle (20a, 20b, ...) on one side of the transport rail 10 and the vehicle (20a ', 20b', ...) on the other side of the transport rail (10 ') Allow stops only at the respective stop points 15a, 15c, ..., 15b ', 15d', ... at positions not overlapping each other with respect to the stockers 30a, 30b, ..., and at least two vehicles on each transport rail. Operate to maintain the stop interval. As a result, the driving intervals of the vehicles can be widened, thereby improving the driving speed. Therefore, the product conveyance time can be shortened, and productivity can be improved by increasing the conveyance amount of the article within the same time.
Description
본 발명은 반도체 제조라인에 있어서의 웨이퍼의 공정간 이송등 각종 물품의 이송을 위한 자동반송시스템에 있는 비히클을 운행하는 방법에 관한 것으로서, 특히 비히클 운행속도를 향상시킬 수 있는 자동반송시스템의 비히클 운행방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of operating a vehicle in an automatic transfer system for transferring various articles such as wafer transfer in a semiconductor manufacturing line, and in particular, a vehicle of an automatic transfer system capable of improving a vehicle traveling speed. It is about a method.
잘 알려진 바와 같이 반도체는 웨이퍼 제조에서부터 패키지 조립이 완료되기까지 수많은 공정을 거쳐 완성된다. 따라서 반도체 제조라인에서는 웨이퍼의 공정간 이송이 빈번하게 이루어진다. 웨이퍼의 공정간 이송에는 공정순서를 어기거나 공정누락 등의 오류를 범하지 않도록 정확성을 기울일 필요가 있다. 또한 생산성 향상을 위해 신속한 공정간 이송이 이루어져야 함은 물론이다. 이에 따라 반도체 제조라인에는 웨이퍼의 공정간 이송에 정확성 및 신속성을 기할 수 있도록 각 공정위치를 경유하는 자동화된 무인 반송시스템이 설치 운용되고 있다.As is well known, semiconductors are completed through numerous processes from wafer fabrication to package assembly. Therefore, the transfer between wafers is frequently performed in semiconductor manufacturing lines. In order to transfer wafers between processes, it is necessary to ensure accuracy so as not to violate the process sequence or to make errors such as process omissions. In addition, the rapid inter-process transfer should be made to improve productivity. Accordingly, an automated unmanned conveying system is installed and operated through each process location in order to ensure accuracy and speed in transferring processes between wafers.
도 1은 반도체 제조라인에서의 웨이퍼 이송을 위한 통상적인 2루프형 자동반송시스템의 개요를 보인다. 도면에 있어서 부호 10,10'는 이송레일, 20,20'는 이송레일(10,10')을 따라 각각으로 운행되는 비히클(vehicle), 그리고 30은 각 공정장비에 대응한 웨이퍼 스토커(stocker)이다. 스토커(30)는 양측의 이송레일(10,10')사이에 그 이송궤도를 따라 배치되어 있으며, 양측 이송레일(10,10')상에 운행되는 비히클(20,20')에 의해 반송된 웨이퍼를 이재하고 다음공정으로 이송할 웨이퍼를 양측의 비히클(20,20')에 적재할 수 있는 로봇아암과 같은 이·적재수단(도시생략)을 양측에 가지고 있다. 양측 이송레일(10,10')은 비히클(20,20')을 각 스토커(30)의 위치와 대응하여 정차시킬 수 있는 정차지점(15,15')들을 가진다. 즉, 비히클(20,20')이 이송레일(10,10')의 정차지점(15,15')에 정차하면, 해당하는 위치의 스토커(30)에 있는 이적재수단에 의해 그 정차한 비히클(20,20')에 웨이퍼를 선적하거나 그로부터 하역한다. 웨이퍼를 선적한 비히클(20,20')은 다음 공정을 위한 장비측의 스토커(30)와 대응하는 정차지점으로 이송되는 것이다. 각 비히클(20,20')에 대한 운행정보는 도시하지 않은 각종 센서를 통해 역시 도시하지 않은 컴퓨터 제어시스템에 수집되며, 소정의 프로그램 수순에 따라 한 공정을 마친 웨이퍼를 다음공정으로 자동 운반하도록 제어된다.1 shows an overview of a typical two loop auto transport system for wafer transfer in a semiconductor manufacturing line. In the drawings, reference numerals 10 and 10 'denote a transport rail, 20 and 20' denote a vehicle running along the transfer rails 10 and 10 ', respectively, and 30 a wafer stocker corresponding to each process equipment. to be. The stocker 30 is disposed between the conveying rails 10 and 10 'on both sides of the stocker 30, and is conveyed by the vehicles 20 and 20' which operate on the both conveying rails 10 and 10 '. Both sides have transfer means (not shown), such as a robot arm, which can load the wafer to be transferred to the next step and load the wafer to the vehicles 20 and 20 'on both sides. Both transfer rails 10 and 10 'have stop points 15 and 15' which allow the vehicle 20 and 20 'to stop corresponding to the position of each stocker 30. That is, when the vehicle 20, 20 'stops at the stop points 15, 15' of the conveying rails 10, 10 ', the vehicle stopped by means of the transfer means in the stocker 30 at the corresponding position. Wafers are loaded or unloaded at (20, 20 '). The vehicle 20, 20 'that shipped the wafer is transported to the stop point corresponding to the stocker 30 on the equipment side for the next process. Operational information for each vehicle 20, 20 'is collected in a computer control system, not shown, through various sensors, not shown, and controlled to automatically transport wafers that have completed one process to the next process according to a predetermined program sequence. do.
도 2는 상기와 같은 자동반송시스템에 있어서의 구동메카니즘을 보여준다. 이송레일(10)은 레일커버(11) 상면에 레일홈(12)을 형성하고 그 레일커버(11) 안에 안내레일(13)과 림(LIM; linear induction motor) 드라이브(14)를 장착하여 된다. 여기서 림 드라이브(14)는 유도형 리니어모터의 1차측에 대응하는 부분으로서 이동자계를 만드는 철심과 코일로 이루어진 것이다. 림 드라이브(14)는 레일커버(11) 내에 일정간격으로 또는 연속으로 장착된다. 비히클(20)은 웨이퍼 콘테이너(40)를 싣기 위한 적재대(21)를 가지고 있으며, 이송레일(10)의 레일커버(11) 내에서 림 드라이브(14)와 대향하는 이동자(22) 그리고 안내레일(13)을 따라 구르는 수직안내바퀴(23) 및 수평안내바퀴(24)와 결합하여 된다. 이동자(22)는 리니어모터의 2차측에 대응하는 알루미늄 또는 그 합금판으로서, 림 드라이브(14)가 형성되는 이동자계에 의한 2차 와전류를 유기하고 그 2차 와전류와 이동자계 상호간에 작용하는 직선추력을 받아서 그 림 드라이브(14)를 리액션레일(reaction rail)로 하여 이동하게 된다. 이때 안내레일(13)에 안내되는 바퀴중 수직안내바퀴(23)는 림 드라이브(14)에 대한 이동자(22)의 부상높이를 일정하게 유지하고, 수평안내바퀴(24)는 탈선을 방지하면서 직선추력에 대하여 안내레일(13)의 곡선구간을 용이하게 이동할 수 있게 한다. 한편, 도면에 나타나지는 않았으나 이송레일(10)에 여러 대의 비히클(20)이 개별적으로 운행될 수 있게 설치되는데, 각 비히클(20)은 상호간의 충돌시의 완충을 위한 범퍼수단(도시 생략됨)을 앞뒤에 구비하고 있는 것이다.2 shows a driving mechanism in the above automatic transfer system. The conveying rail 10 forms a rail groove 12 on the upper surface of the rail cover 11 and mounts a guide rail 13 and a linear induction motor (LIM) drive 14 in the rail cover 11. . Here, the rim drive 14 is composed of an iron core and a coil for forming a moving magnetic field as a part corresponding to the primary side of the induction linear motor. The rim drive 14 is mounted in the rail cover 11 at regular intervals or continuously. The vehicle 20 has a mounting table 21 for loading the wafer container 40, the mover 22 and the guide rail facing the rim drive 14 in the rail cover 11 of the transfer rail 10. It is combined with the vertical guide wheel 23 and the horizontal guide wheel 24 rolling along (13). The mover 22 is an aluminum or alloy plate corresponding to the secondary side of the linear motor, and is a straight line which induces secondary eddy currents by the moving magnetic field in which the rim drive 14 is formed and acts on the secondary eddy currents and the moving magnetic field. The thrust drive 14 moves the picture drive 14 as a reaction rail. At this time, the vertical guide wheel 23 of the wheel guided to the guide rail 13 maintains the height of the riser 22 relative to the rim drive 14, the horizontal guide wheel 24 is a straight line while preventing derailment It is possible to easily move the curved section of the guide rail 13 with respect to the thrust. On the other hand, although not shown in the drawings, a plurality of vehicles 20 are installed on the conveying rail 10 so as to be individually operated, each vehicle 20 is a bumper means (not shown) for buffering each other collision It is equipped with before and after.
상기와 같은 자동반송시스템에서의 종래의 비히클 운행방법을 설명하면, 종래에는 양측 이송레일(10,10')에 있는 모든 비히클(20,20')을 동일한 방향으로 움직이게 하고 또 모든 정차지점(15,15')에서 정차할 수 있게 하여 왔다. 그런데 문제는 이송레일(10,10')을 따라 배치되는 스토커(30)간의 거리가 비교적 짧기 때문에 비히클(20,20')들이 정상속도로 운행되지 못하는데 있다. 또한 도 3에 보인 바와 같이 한 스토커(30a) 위치에 대응하는 이송레일(10,10')상의 정차지점(15a,15a')에 비히클(20a,20a')이 정차하고 있다고 하였을 때, 그 비히클(20a,20a')에 대한 웨이퍼의 선적 또는 하역작업이 길어짐으로써, 뒤에 오는 비히클(20b,20c,…,20b',20c',…)들이 차례로 정차하여 대기하여야 하는 정체현상이 빈번하게 발생된다. 따라서 웨이퍼(물품)의 공정간 이송에 시간이 많이 소요되며, 그만큼 생산성이 저하되는 것이다.Referring to the conventional vehicle operating method in the above automatic transfer system, conventionally, all vehicles 20 and 20 'on both transfer rails 10 and 10' move in the same direction and all stop points 15 15 '). However, the problem is that the vehicles 20 and 20 'do not operate at normal speed because the distance between the stockers 30 disposed along the transport rails 10 and 10' is relatively short. As shown in FIG. 3, when the vehicle 20a, 20a 'is stopped at the stop points 15a, 15a' on the transfer rails 10, 10 'corresponding to the position of the stocker 30a, the vehicle is stopped. As the wafer loading or unloading operation for (20a, 20a ') becomes longer, congestion frequently occurs in which the following vehicles (20b, 20c, ..., 20b', 20c ', ...) must stop in turn and wait. . Therefore, it takes a long time to transfer the wafers (articles) between processes, and the productivity decreases accordingly.
이러한 문제점은 비단 2루프형 자동반송시스템에서 뿐만 아니라 단루프형이나 다른 대부분의 반송시스템에서도 마찬가지이다.This problem is true not only in two-loop automatic conveying systems but also in single-loop and most other conveying systems.
한편, 종래의 비히클 운행방법에서는 어느 한 스토커측에서 작업을 진행할 수 없는 문제가 발생하였을 때 비히클 운행을 중단할 수밖에 없어 더욱 문제가 커진다.On the other hand, in the conventional vehicle operation method, when a problem occurs in which one of the stockers cannot proceed with the operation, the vehicle operation must be stopped, which further increases the problem.
본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하고자 창안된 것으로서, 자동반송시스템에 있어서의 비히클 운행속도를 향상시킬 수 있는 새로운 자동반송시스템의 비히클 운행방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to solve the above problems, and to provide a vehicle operating method of a new automatic transport system that can improve the vehicle operating speed in the automatic transport system.
본 발명의 또 다른 목적은 반송되는 물품을 적재하기 위한 스토커중 하나에 어떤 문제가 발생한 경우에도 다른 스토커에 대한 물품 반송동작이 계속 이루어질 수 있게 하는 새로운 자동반송시스템의 비히클 운행방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a vehicle operating method of a new automatic transfer system which enables the carrying of an article carrying operation to another stocker even if any problem occurs in one of the stockers for loading the goods to be conveyed.
도 1은 반도체 웨이퍼의 공정간 이송을 위한 2루프형 자동반송시스템을 예시한 개요 평면도.1 is a schematic plan view illustrating a two loop automatic transfer system for interprocess transfer of a semiconductor wafer;
도 2는 도 1에 도시된 자동반송시스템의 구동메커니즘을 보인 단면도.2 is a cross-sectional view showing a driving mechanism of the automatic transport system shown in FIG.
도 3은 도 1에 도시된 2루프형 자동반송시스템에 있어서의 종래의 비히클 운행방법에 의한 비히클의 정체현상을 보인 일부 평면도.3 is a partial plan view showing the congestion of the vehicle by a conventional vehicle driving method in the two-loop automatic transfer system shown in FIG.
도 4는 본 발명의 1단계 운행방식에 의한 2루프형 자동반송시스템에 있어서의 비히클 운행상태를 보인 일부 평면도.Figure 4 is a partial plan view showing a vehicle driving state in a two-loop automatic transfer system according to the first stage operation method of the present invention.
도 5는 본 발명의 2단계 운행방식에 의한 2루프형 자동반송시스템에 있어서의 비히클 운행상태를 보인 일부 평면도.5 is a partial plan view showing a vehicle driving state in a two-loop automatic transfer system according to the two-stage operation method of the present invention.
도 6은 본 발명에 의한 단루프형 자동반송시스템에 있어서의 비히클 운행상태를 보인 일부 평면도.Figure 6 is a partial plan view showing a vehicle driving state in the single loop automatic transfer system according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10,10' : 이송레일10,10 ': Transfer rail
15,15';15a,15b,…,15a',15b',… : 정차지점15,15 '; 15a, 15b,... , 15a ', 15b',... : Stop
20,20';20a,20b,…,20a',20b',… : 비히클20,20 '; 20a, 20b,... , 20a ', 20b',... Vehicle
30;30a,30b,… : 스토커30; 30a, 30b,... : stalker
상기한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명은, 물품을 적재하기 위한 복수의 스토커를 따라 양측에 나란히 포설되어 각각 스토커 위치에 대응하는 복수의 정차지점을 가지는 2개의 이송레일과, 각 이송레일 상에서 운행되는 복수의 비히클을 포함하여 스토커간 물품을 반송하는 자동반송시스템에 있어서의 비히클을 운행함에 있어서, 일측 이송레일 상의 비히클은 홀수 번째 정차지점에서 정차하고 타측 이송레일 상의 비히클은 짝수 번째 정차지점에서 정차하도록 운행함과 아울러 상기 일측 이송레일 상의 비히클과 타측 이송레일 상의 비히클이 각 이송레일에서 2개의 정차지점 간격으로 운행함을 특징으로 하는 자동반송시스템의 비히클 운행방법을 제공한다.In order to achieve the above objects, the present invention provides two transport rails arranged side by side along a plurality of stockers for loading goods, each having a plurality of stop points corresponding to the stocker positions, and operated on each transport rail. In operating a vehicle in an automated transport system for transporting goods between stockers, including a plurality of vehicles, the vehicle on one transport rail stops at an odd stop and the vehicle on the other transport rail stops at an even stop. In addition, the vehicle provides a vehicle operating method of an automatic transport system, characterized in that the vehicle on one side of the transport rail and the vehicle on the other side of the transport rail is operated at two stop points at each transport rail.
상기 양측 이송레일 상에서의 비히클을 서로 반대방향으로 운행할 수도 있다.The vehicles on the two transfer rails can also run in opposite directions.
본 발명에 따른 자동반송시스템의 비히클 운행방법에 따르면, 비히클들의 운행간격을 종래에 비하여 2배이상으로 유지할 수 있다. 따라서 비히클들의 운행속도를 이론적으로 2배이상으로 증가시킬 수 있고, 또한 운행간격이 넓으므로 정체현상을 줄일 수 있게 되어, 물품(웨이퍼)의 스토커간 이송시간 단축이 가능하다.According to the vehicle operating method of the automatic transfer system according to the present invention, it is possible to maintain the driving interval of the vehicle more than twice as compared with the conventional. Therefore, it is possible to theoretically increase the driving speed of the vehicle more than twice, and also to reduce the congestion due to the wide operating interval, it is possible to reduce the transfer time of the stocker (wafer) between stockers.
이하 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 자동반송시스템의 비히클 운행방법을 상세하게 설명한다. 도 4는 도 1에 도시된 2루프형 자동반송시스템의 일부로서, 본 발명의 운행방법에 따른 운행상태를 보여준다.Hereinafter, a vehicle driving method of the automatic transport system according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 4. 4 is a part of the two-loop automatic transfer system shown in Figure 1, showing a driving state according to the driving method of the present invention.
도시된 바와 같이 본 발명에서는 일측 이송레일(10)상의 비히클(20a,20b,…)들이 스토커(30a,30b,…)에 대응하는 정차지점(15a,15b,…)중 2개지점간격에 있는 정차지점(15a,15c,…)에 정차할 수 있게 하고 다른 정차지점(15b,15d,…)은 통과케 하는 것이다. 즉, 한 스토커(30a) 위치의 정차지점(15a)에 비히클(20a)이 정차하고 있을 때, 뒤에 운행되는 비히클(20b,20c,…)들을 2개지점간격으로 되는 정차지점(15c,15e,…)에 차례로 정차하여 대기하도록 한다. 한편, 이송레일(10')상의 비히클(20a',20b',…)들은 상기한 일측 이송레일(10)상의 비히클(20a,20b,…)이 정차하고 있는 정차지점(15a,15c,…)과 중복되지 아니하는 위치에 있는 스토커(30b,30d,…)와 대응되는 역시 2개지점간격의 정차지점(15b',15d',…)에 정차할 수 있게 하고 다른 정차지점(15a',15c',…)을 통과하게 한다.As shown, in the present invention, the vehicles 20a, 20b, ... on one side of the transport rail 10 are located at two point intervals of the stop points 15a, 15b, ... corresponding to the stockers 30a, 30b, ... It is possible to stop at the stop points 15a, 15c, ..., and pass through the other stop points 15b, 15d, .... That is, when the vehicle 20a stops at the stop 15a at the position of one stocker 30a, the stops 15c, 15e, Stop at…). On the other hand, the vehicles 20a ', 20b', ... on the transport rail 10 'are stopped points 15a, 15c, ... where the vehicles 20a, 20b, ... on the one side transport rail 10 are stopped. It is possible to stop at the stop points 15b ', 15d', ... of two point intervals corresponding to the stockers 30b, 30d, ... which are not overlapped with each other, and the other stop points 15a ', 15c. ',…).
즉, 스토커(30a,30b,…)중에서 2개 간격에 있는 스토커(30a,30c,…)간의 물품 반송은 일측 이송레일(10)상에서 운행되는 비히클(20a,20b,…)을 통하여 이루어지고, 나머지 스토커(30b,30d,…)간의 물품 반송은 타측 이송레일(10')상에서 운행되는 비히클(20a',20b',…)을 통하여 이루어지는 것이다.That is, the conveyance of the goods between the stockers 30a, 30c, ... at two intervals among the stockers 30a, 30b, ... is made through the vehicles 20a, 20b, ... running on one side transfer rail 10, The conveyance of goods between the remaining stockers 30b, 30d, ... is made through vehicles 20a ', 20b', ... running on the other transfer rail 10 '.
다시 말하면, 일측 이송레일(10)상의 비히클(20a,20b,…)은 홀수 번째 정차지점에서 정차하도록 하고, 타측 이송레일(10')상의 비히클(20a',20b',…)은 짝수 번째 정차지점에서 정차하도록 하는 것이다.In other words, the vehicles 20a, 20b on the one side transfer rail 10 stop at an odd stop point, and the vehicles 20a ', 20b', ... on the other side transfer rail 10 'stop an even number stop. It is to stop at the point.
이러한 제어는 기존에 설치되어 있는 센서와 컴퓨터 제어시스템을 활용하며, 프로그래밍에 의하여 상술한 바와 같이 제어하게 되는 것이다.Such control utilizes an existing sensor and computer control system, and is controlled as described above by programming.
따라서 본 발명에 의하면, 비히클(20a,20b,…,20a',20b',…)의 운행간격을 종래에 비하여 2배로 넓힐 수 있으며, 이에 따라 그 운행속도를 높일 수 있게 된다.Therefore, according to the present invention, the operating intervals of the vehicles 20a, 20b,..., 20a ', 20b',... Can be doubled as compared with the prior art, thereby increasing the operating speed thereof.
한편, 본 발명은 상기한 운행방법에 있어서, 바람직하게는 스토커(30a,30b,…)에 대한 일측 이송레일(10)상의 비히클(20a,20b,…) 정차지점(15a,15c,…)과 타측 이송레일(10')상의 비히클(20a',20b',…) 정차지점(15b',15d',…) 위치를 맞바꾸어 운행하는 단계를 더 포함하는 것이다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 일측 이송레일(10)상의 비히클(20a,20b,…)들이 정차지점(15a,15c,…)을 통과하게 하고, 나머지 정차지점(15b,15d,…)에서만 정차할 수 있게 하며, 타측 이송레일(10)상의 비히클(20a',20b',…)들은 정차지점(15b',15d',…)을 통과하게 하고 다른 정차지점(15a',15b',…)에서만 정차할 수 있도록 하는 것이다.On the other hand, in the above-described driving method, the vehicle 20a, 20b, ... on the one side transfer rail 10 with respect to the stocker (30a, 30b, ...) and the stop points (15a, 15c, ...) and The vehicle 20a ', 20b', ... on the other side of the conveying rail (10 ') stop points (15b', 15d ', ...) in the position of the operation is further included. That is, as shown in FIG. 5, the vehicles 20a, 20b,... On one side of the conveying rail 10 pass through the stop points 15a, 15c,... And only at the remaining stop points 15b, 15d,. Stops, vehicles 20a ', 20b', ... on the other transport rail 10 pass through stop points 15b ', 15d', ... and other stops 15a ', 15b',... Stop only).
도 4의 운행단계와 도 5의 운행단계를 교환하면, 예컨대 도 4에 있어서 스토커(30a,30b,30c,…)중에서 첫 번째 스토커(30a)의 양측 이·적재 수단중 일측이 고장나서 그 일측에 대응하는 일측 이송레일(10)의 정차지점(15a)에서 비히클(20a,20b,…)을 정차시켜 작업할 수 없는 경우에도 그 물품반송을 중단할 필요가 없게 되며, 또한 도 4의 운행단계에서 일측 이송레일(10)상의 비히클(20a,20b,…)정차지점(15a,15c,…)에 대응하는 스토커(30a,30c,…)와 타측 이송레일(10')상의 비히클(20a',20b',…) 정차지점(15b',15d',…)에 대응하는 스토커(30b,30d,…) 간에도 물품반송도 가능한 것이다.When the driving step of FIG. 4 and the driving step of FIG. 5 are exchanged, for example, in FIG. 4, one of the two side stacking and loading means of the first stocker 30a among the stockers 30a, 30b, 30c,... Even if the vehicle 20a, 20b, ... is not able to work by stopping the vehicle 20a, 20b, ... at the stop point 15a of the one-side transfer rail 10, the transport of the article does not need to be stopped, and the operation step of FIG. Vehicle 20a ', 20b' on the one side transfer rail 10, the stockers 30a, 30c, ... corresponding to the stop points 15a, 15c, ... and the vehicle 20a ', on the other side transfer rail 10' 20b ', ...) Goods can also be transported between stockers 30b, 30d, ... corresponding to stop points 15b', 15d ', ....
한편, 본 발명은 도 4 및 도 5의 각 운행단계에서 비히클(20a,20b,…,20a',20b',…) 진행방향을 바꿀 수 있게 하여 그 운행방향을 실선화살표 또는 점선화살표중 하나를 선택케 하는 것이다. 이것은 비히클 운행중 이송레일(10,10')상의 어느 한 지점에서 심하게 정체되어 있거나 또는 물품 반송할 스토커 위치를 감안하여 적절하게 선택하여 보다 효율적인 물품반송을 하기 위함이다. 비히클의 운행방향은 전술한 도 2에 나타난 바와 같은 리니어모터의 1차측(림드라이브)에서 만드는 회전자계의 방향, 즉 그 1차측 코일의 여자전류의 방향을 바꾸는 것으로 간단히 바꿀 수 있다.Meanwhile, the present invention enables the vehicle 20a, 20b, ..., 20a ', 20b', ... to change the traveling direction in each driving step of FIGS. 4 and 5 so that the driving direction is changed to a solid arrow or a dotted arrow. It is a choice. This is for a more efficient goods conveyance by selecting appropriately in consideration of a stocker position which is severely stagnant at any point on the conveyance rails 10 and 10 'during vehicle operation or considering the stocker position to convey the article. The driving direction of the vehicle can be simply changed by changing the direction of the magnetic field produced by the primary side (rim drive) of the linear motor as shown in FIG. 2, that is, the direction of the exciting current of the primary coil.
다음, 도 6은 복수의 스토커(30a,30b,…)에 대하여 하나의 이송레일(10)이 설치된 단(單)루프형 자동반송시스템에 있어서의 비히클(20a,20b,…) 운행상태를 보여준다. 이 시스템에서도 마찬가지로 본 발명은 비히클(20a,20b,…)의 운행간격을 2개지점간격으로 되는 정차지점(15a,15c,…)에 정차할 수 있게 운행하고, 필요에 따라 그 정차지점(15a,15c,…)을 다른 정차지점(15b,15d,…)으로 바꾸어 운행하며, 또한 비히클(20a,20b,…)의 운행방향도 적절히 전환하는 것이다.Next, FIG. 6 shows the operating states of vehicles 20a, 20b, ... in a single loop type automatic conveying system in which one conveying rail 10 is provided for a plurality of stockers 30a, 30b,... . In this system as well, the present invention operates so that the driving intervals of the vehicles 20a, 20b, ... can be stopped at the stop points 15a, 15c, ..., which are two point intervals, and the stop points 15a as necessary. And 15c,... Are replaced with other stop points 15b, 15d, ..., and the driving directions of the vehicles 20a, 20b, ... are also appropriately switched.
이상에 설명된 바와 같이 본 발명은 동일궤도상에 여러 대의 비히클을 운행하여 물품을 반송하는 자동반송시스템에 있어서 비히클의 운행간격을 넓혀서 그 운행속도를 향상시키고 또한 정체현상을 줄인다. 따라서 반도체 제조라인을 포함한 각종 생산라인에서의 물품반송시간을 단축시킬 수 있으며, 같은 시간 내에서는 물품의 반송량을 증가시킬 수 있어, 생산성 향상을 이룩할 수 있다.As described above, the present invention improves the running speed and reduces congestion in an automatic transport system for transporting goods by operating a plurality of vehicles on the same track. Therefore, it is possible to shorten the conveyance time of goods in various production lines including the semiconductor manufacturing line, and to increase the conveyance amount of the goods within the same time, thereby improving productivity.
또한 본 발명에 따르면, 전술한 스토커의 양측 이적재수단중 일측만이 선택적으로 사용되므로 나머지 하나를 비상시에 사용할 수 있는 등 스토커 장비의 수명을 연장시킬 수 있게 되며, 또한 스토커나 이송레일이 부분적으로 고장을 일으킨 경우에도 이송라인 전체를 중단하지 하고 물품반송을 적어도 부분적으로는 계속할 수 있어 물품반송의 효율을 높일 수 있는 것이다.In addition, according to the present invention, since only one side of the above-described transfer device of both sides of the stocker is selectively used, the other one can be used in an emergency, so that the life of the stocker equipment can be extended, and the stocker or the transfer rail is partially Even if a failure occurs, the entire conveying line can be stopped and the conveying of the article can be continued at least partially, thereby increasing the efficiency of the conveying of the article.
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