KR100276671B1 - Automatic Cleaning System for LCD Board and Automatic Cleaning Method for LCD Board - Google Patents

Automatic Cleaning System for LCD Board and Automatic Cleaning Method for LCD Board Download PDF

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Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 LCD 자동청소시스템(A)은 절단된 다수의 LCD 기판(B)이 다층으로 장입된 LCD 장입카세트(C)가 일정속도로 승강작동되는 LCD 기판인출장치(2)와, 상기 LCD 기판인출장치로부터 인출된 LCD 기판을 흡착고정하고 상기 고정된 LCD기판(B)을 청소하는 LCD 기판연부흡인장치(3)와, 상기 청소된 LCD 기판(B)이 순차적으로 장입되도록 일정속도로 승강작동되는 LCD 기판장입장치(4)와, 상기 각장치로 LCD 기판을 운반하는 운반장치(5)로 구성되고, LCD기판의 청소를 자동으로 수행할 수 있게 되어 작업능률이 현저히 절감되고 각각의 LCD기판의 연부를 진공흡입처리를 수행하므로서 확실한 세정작업을 수행할 수 있으면서도 세정작업이 대폭적으로 단축되어 세정시간 및 세정비용이 월등히 절감된다.LCD automatic cleaning system (A) according to an embodiment of the present invention is the LCD substrate taking-out device (2) in which the plurality of LCD substrates (B) cut into the LCD charging cassette (C) is loaded at a constant speed And, an LCD substrate edge suction device (3) for adsorbing and fixing the LCD substrate drawn out from the LCD substrate drawing apparatus and cleaning the fixed LCD substrate (B), and the cleaned LCD substrate (B) in sequence. LCD substrate loading device (4) that is operated by a constant speed lifting operation, and a transporting device (5) for transporting the LCD substrate to each device, it is possible to perform the cleaning of the LCD substrate automatically, significantly reducing work efficiency In addition, by performing vacuum suction treatment on the edges of each LCD substrate, the cleaning operation is greatly reduced while the cleaning operation is greatly shortened, thereby greatly reducing the cleaning time and the cleaning cost.

Description

엘씨디기판용 자동청소시스템 및 엘씨디기판의 자동청소방법Automatic Cleaning System for LCD Board and Automatic Cleaning Method for LCD Board

본 발명은 LCD기판의 자동청소시스템 및 청소방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 설명하면, 절단가공에 의해 일정규격으로 절단된 LCD기판의 가장자리에 잔존하는 파편들을 제거하는 LCD기판의 자동청소시스템 및 청소방법에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic cleaning system and a cleaning method of an LCD substrate, and more specifically, to an automatic cleaning system and cleaning of an LCD substrate for removing debris remaining on the edge of the LCD substrate cut to a certain standard by the cutting process. It is about a method.

종래의 일정규격으로 절단된 LCD기판을 세정하는 방식은 크게 2가지로 수행되어 왔다. 첫번째 방식으로 다수개의 LCD 기판을 카세트에 장입시켜 산과 알칼리 등의 약액이 혼합된 세정액조에 침지시켜 초음파처리하여 기판표면에 붙어 있는 이물질을 제거시킨 후 IPA 증기와 열풍등으로 건조시키는 배취(Batch)방식이 있으며, 두번째 방식으로 각각의 LCD기판 1장마다 브러쉬로 세척하는 브러쉬공정, 세정액의 분사공정, 초음파세척공정 및 에어분사와 스핀공정에 의해 이물질을 제거하는 매엽방식이다. 이러한 종래의 배취방식은 생산성은 우수하나 이물질의 세정효율은 저하되고 다수의 세정공정이 필요하다는 문제점이 있으며, 매엽방식은 브러쉬공정중에 LCD 기판의 표면상에 스크래치가 발생되고 세정된 LCD 낱장을 카세트로의 이송이 대단히 불편하며 물리적인 기구를 사용하여 세척하는 방법에는 시간과 운용인원 그리고 일정하지 않은 세척수치 및 세척액의 건조공정과 같은 다수의 공정이 필요하여 많은 비용이 발생된다는 많은 문제점을 안고 있다. 또한, 이와같은 배취방식이나 매엽방식은 세정시 발생되는 분진의 처리문제로 다대한 비용이 소요된다는 문제점이 있었다.The conventional method of cleaning the LCD substrate cut to a certain standard has been largely performed in two ways. In the first method, a plurality of LCD substrates are charged into a cassette, immersed in a cleaning bath mixed with chemicals such as acid and alkali, sonicated to remove foreign substances adhering to the surface of the substrate, and then dried by IPA steam and hot air. The second method is a sheet-fed method of removing foreign matters by brush process for cleaning each LCD board with brush, spraying of cleaning solution, ultrasonic cleaning process and air spray and spin process. This conventional batch method is excellent in productivity but has a problem that the cleaning efficiency of foreign substances is lowered and a number of cleaning processes are required, and the sheet-fed method generates a scratch on the surface of the LCD substrate during the brushing process and cassettes the cleaned LCD sheet. It is very inconvenient to transport the furnace and there are many problems in that the method of cleaning using the physical equipment is expensive because it requires time and operation personnel and a number of processes such as inconsistent washing values and drying process of the washing liquid. . In addition, such a batch method or a single sheet method has a problem that a large cost is required as a problem of dust treatment generated during the cleaning.

본 발명의 목적은, 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, LCD 기판청소시, LCD 기판의 절단시에 발생되어 가장자리에 붙어 있는 정전기를 띄고 있는 미세한 파편들을 중화시켜 흡인하므로서 효과적으로 단시간내에 청소가 가능하게되고 청소된 LCD 기판을 자동으로 카세트에 장입하는 것이 가능하게되어 청소공정 및 청소시간이 월등히 단축된 LCD 기판용 자동청소시스템 및 LCD 기판의 자동청소방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to solve such a problem, it is possible to effectively clean in a short time by neutralizing and sucking the fine debris generated on the LCD substrate, the static electricity attached to the edge when cleaning the LCD substrate It is possible to automatically load the cleaned LCD substrate into the cassette to provide an automatic cleaning system for LCD substrates and an automatic cleaning method for LCD substrates, which greatly reduces the cleaning process and cleaning time.

본 발명의 이러한 목적은 절단되고 순차적으로 장입된 LCD기판을 다음공정으로 인출되도록하는 LCD 기판 인출장치와, 상기 인출된 LCD 기판을 청소하는 LCD 기판연부흡인장치와, 연부가 흡인되어 청소된 LCD 기판이 차례로 장입되는 LCD 기판장입장치와, 상기 LCD 기판을 각 장치로 이송운반하는 운반장치로 구성된 본 발명에 따른 LCD 기판용 자동청소시스템에 의해 달성된다.The object of the present invention is an LCD substrate extracting device for pulling out the cut and sequentially loaded LCD substrate in the next process, an LCD substrate edge suction device for cleaning the extracted LCD substrate, and the LCD substrate cleaned by the edge suction This is achieved by the LCD substrate loading apparatus according to the present invention, which is composed of an LCD substrate loading apparatus loaded in this order, and a conveying apparatus for transporting the LCD substrate to each apparatus.

본 발명의 이러한 목적은, 다수의 절단된 LCD 기판이 다층상으로 차례로 장입된 장입카세트내에서 절단된 LCD 기판을 운반장치에 의해 인출시키는 단계, 상기 인출된 LCD 기판을 LCD 기판연부흡인장치로 인입흡착고정시키는 단계, 흡착고정된 LCD 기판의 가로방향의 가장자리를 따라 이동되고 대전방지제가 분사되면서 LCD 기판의 가로 방향의 가장자리를 흡인하는 단계, 흡착고정된 LCD 기판의 세로방향의 가장자리를 따라 이동되고 대전방지제가 분사되면서 LCD 기판의 세로방향의 가장자리를 흡인하는 단계, 연부가 흡인청소된 상기 LCD 기판의 흡착고정상태를 해제시키고 운반장치를 통하여 LCD 기판장입장치내에 순차적으로 장입하는 단계를 포함하는 본 발명에 따른 LCD 기판용 자동청소방법에 의해 달성된다. 상기 LCD기판용 자동청소방법에서 LCD 기판의 가장자리를 흡인하는 방법은 세로방향의 흡인단계가 가로방향의 흡입단계보다 먼저 수행될 수 있을 것이다.The object of the present invention is to take out a cut LCD substrate by a conveying device in a charging cassette in which a plurality of cut LCD substrates are sequentially loaded into a multi-layered form, and the extracted LCD substrate is drawn into an LCD substrate soft suction device. Adsorption fixing step, moved along the transverse edge of the adsorption fixed LCD substrate and sucking the transverse edge of the LCD substrate with antistatic agent sprayed, moving along the longitudinal edge of the adsorption fixed LCD substrate Sucking the longitudinal edges of the LCD substrate while the antistatic agent is sprayed, releasing the adsorption fixation state of the LCD substrate with the edges sucked and cleaned, and sequentially loading the liquid into the LCD substrate loading apparatus through a conveying device; It is achieved by an automatic cleaning method for an LCD substrate according to the invention. In the automatic cleaning method for the LCD substrate, the method of sucking the edges of the LCD substrate may be performed before the vertical suction step is performed before the horizontal suction step.

본 발명에 따른 LCD 기판용 자동청소시스템 및 자동청소방법을 첨부된 도면을 참고로 하여 이하에 상세히 기술되는 실시예들에 의하여 그 특징 및 장점들을 명백하게 이해할 수 있을 것이다.With reference to the accompanying drawings, the automatic cleaning system and the automatic cleaning method for an LCD substrate according to the present invention will be clearly understood its features and advantages by the embodiments described in detail below.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 LCD 기판용자동청소시스템의 개략적인 사시도1 is a schematic perspective view of an automatic cleaning system for an LCD substrate according to an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 LCD 기판용자동청소시스템의 개략적인 평면도2 is a schematic plan view of an automatic cleaning system for an LCD substrate according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 LCD 기판인출장치의 개략적인 구성도3 is a schematic configuration diagram of an LCD substrate drawing apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 LCD 기판연부흡인장치의 개략적인 사시도4 is a schematic perspective view of an LCD substrate edge suction device according to an embodiment of the present invention;

도 5는 도 4의 LCD 기판연부흡인장치의 작동을 도시하는 평면도5 is a plan view showing the operation of the LCD substrate edge suction device of FIG.

도 6은 LCD 기판운반용 로봇에 대한 도면으로,6 is a view of the LCD substrate transport robot,

(a)는 정면도, (b)는 평면도, (c)는 좌측면도이다.(a) is a front view, (b) is a top view, (c) is a left side view.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 LCD 기판용 자동청소시스템의 사시도 및 평면도로서, 도면에 도시된 바와같이, 본 발명의 일실시예에 따른 LCD 자동청소시스템(A)은 절단된 다수의 LCD 기판(B)이 다층으로 장입된 LCD 장입카세트(C)가 일정속도로 승강작동되는 LCD 기판인출장치(2)와, 상기 LCD 기판인출장치로부터 인출된 LCD 기판을 흡착고정하고 상기 고정된 LCD기판(B)을 청소하는 LCD 기판연부흡인장치(3)와, 상기 청소된 LCD 기판(B)이 순차적으로 장입되도록 일정속도로 승강작동되는 LCD 기판장입장치(4)와, 상기 각장치로 LCD 기판을 운반하는 운반장치(5)로 구성된다.1 and 2 are a perspective view and a plan view of an automatic cleaning system for an LCD substrate according to an embodiment of the present invention, as shown in the figure, LCD automatic cleaning system (A) according to an embodiment of the present invention is cut LCD substrate taking-out device 2, in which a plurality of LCD substrates B are loaded in a multi-layered manner, and the LCD substrate taking-out device 2 is operated to lift and operate at a constant speed; An LCD substrate edge suction device (3) for cleaning the fixed LCD substrate (B), an LCD substrate charging device (4) for lifting and lowering at a constant speed so that the cleaned LCD substrate (B) is sequentially loaded, and each It consists of a conveying apparatus 5 for conveying the LCD substrate to the apparatus.

본 실시예에서, 상기 LCD기판인출장치(2), LCD기판연부흡입장치(3), LCD기판장입장치(4)는 기대(1)의 후방에 연속적으로 배치되며, 상기 운반장치(5)는 기대(1)의 전방에 배치된다.In this embodiment, the LCD substrate taking-out device 2, the LCD substrate edge suction device 3, and the LCD substrate loading device 4 are arranged continuously behind the base 1, and the conveying device 5 is It is arranged in front of the base 1.

상기 LCD기판인출장치(2)는 상기 기대(1)의 상부에 형성된 카세트출입개구부(21)와, 상기 카세트출입개구부(21)의 하방으로 연장형성된 지지대(22)와, 상기 지지대(22)의 하부에 설치된 서보모터(23)와, 상기 서보모터(23)와 타이밍벨트(24)에 연결되며 LCD 장입카세트(C)를 승강구동시키는 볼스크류(25)와, 상기 볼스크류(25)에 승강가능하게 연결된 볼하우징(27)에 고정되어 카세트를 승강구동시키는 지지케이스(26)를 포함한다. 상기 지지케이스(26)내에는 카세트(C)의 크기에 따라 카세트를 고정시키는 파지홀더(28) 및 파지홀더를 작동시키는 실린더(29)를 구비한다.The LCD substrate extracting apparatus 2 includes a cassette access opening 21 formed at an upper portion of the base 1, a support 22 extending downward from the cassette access opening 21, and a support 22 of the support 22. Lifting and lowering the servo motor 23 installed in the lower portion, the ball screw 25 connected to the servo motor 23 and the timing belt 24 to drive the LCD charging cassette C up and down, and the ball screw 25. And a support case 26 fixed to the ball housing 27 which is possibly connected to lift and drive the cassette. The support case 26 is provided with a grip holder 28 for fixing the cassette according to the size of the cassette (C) and a cylinder 29 for operating the grip holder.

상기 LCD기판연부흡입장치(3)는 상기 LCD기판인출장치(2)에서 인출된 LCD기판(B)의 위치를 설정하는 기판정렬부(31)와, 위치가 설정된 LCD기판(B)을 흡착고정하는 흡착고정부(32)와, 흡착고정된 LCD기판(B)의 가로방향의 주연부를 흡착하는 가로이송흡착대(33)와, LCD기판(B)의 세로방향의 주연부를 흡착하는 세로이송흡착대(34)와, 상기 가로 및 세로이송흡착대(33)(34)에 흡인력을 부여하며 기대의 하방에 설치된 진공흡인펌프(35)를 포함한다.The LCD substrate suction device (3) sucks and fixes the substrate alignment unit (31) for setting the position of the LCD substrate (B) drawn out from the LCD substrate extracting device (2), and the LCD substrate (B) in which the position is set. Adsorption fixing part 32 to adsorb, transverse suction adsorption table 33 for adsorbing the horizontal periphery of the fixed LCD substrate B, and longitudinal transport adsorption for adsorbing the periphery of the longitudinal direction of the LCD substrate B; And a vacuum suction pump 35 which applies suction to the table 34 and the horizontal and vertical transfer suction cups 33 and 34 and is installed below the base.

상기 기판정렬부(31)는 일차로 LCD 기판(B)이 배치되고 승하강되는 4개의 받침봉(314)과, 가로위치를 정렬시키는 1개의 블록(311) 및 실린더(312)와 대응하는 승강스토퍼(313)와, 세로위치를 정렬시키는 2개의 블록(311') 및 실린더(312')를 구비한다.The substrate aligning unit 31 has four supporting rods 314 on which the LCD substrate B is disposed and raised and lowered, and one block 311 and a cylinder 312 for aligning the horizontal position. A stopper 313 and two blocks 311 'and a cylinder 312' for aligning the longitudinal positions are provided.

상기 흡착고정부(32)는 LCD기판(B)의 정렬되고 상기 받침봉(314)이 하강된 후 LCD 기판(B)이 배치되고 기판을 흡착고정하도록 진공압이 발생된다.The adsorption fixing part 32 is aligned with the LCD substrate B, and after the supporting rod 314 is lowered, the LCD substrate B is disposed and a vacuum pressure is generated to fix and fix the substrate.

상기 가로이송흡착대(33)는 상기 진공흡인펌프(35)에 연결되어 고압의 진공상태를 유지하고 무로드실린더(331) 및 지지봉(332)에 의해 가로방향으로 안내이송되며 이송봉(333)의 양단에는 진공흡착구(334)가 부착되어 있다. 상기 진공흡착구(334)내에는 정전기를 소멸시키는 대전방지제가 분사되는 대전방지제분사구와 진공흡입구가 병설되어 있다.The horizontal transfer suction stand 33 is connected to the vacuum suction pump 35 to maintain a high pressure vacuum state and is guided in the horizontal direction by the rodless cylinder 331 and the support rod 332 and the transfer rod 333 At both ends of the vacuum suction port 334 is attached. In the vacuum suction port 334, there is provided an antistatic agent injection port and a vacuum suction port through which an antistatic agent for dissipating static electricity is injected.

상기 세로이송흡착대(34)는 상기 진공흡인펌프(35)에 연결되어 고압의 진공상태를 유지하고 도시되지 않은 무로드실린더에 의해 이송되며 상부에는 흡착구(341)가 형성되어 있다. 상기 흡착구(341)내에는 정전기를 소멸시키는 대전방지제가 분사되는 대전방지제 분사구와 진공흡입구가 병설되어 있다.The vertical transfer suction stand 34 is connected to the vacuum suction pump 35 to maintain a high pressure vacuum state and is transported by a rodless cylinder (not shown), and an adsorption port 341 is formed at an upper portion thereof. In the adsorption port 341, an antistatic agent injection port and a vacuum suction port through which an antistatic agent for dissipating static electricity are injected are provided.

상기 LCD 기판장입장치(4)는 그 작동이 상기 LCD 기판인출장치(2)가 하강작동되면 LCD기판장입장치(4)는 상승작동되는 작동구조만 서로 바뀐동일한 구조를 가지므로 상세한 설명은 생략한다.The operation of the LCD substrate loading device 4 is that when the LCD substrate taking-out device 2 is moved downward, the LCD substrate loading device 4 has the same structure in which only the operation structure in which the rising operation is changed is omitted. .

상기 운반장치(5)는 3축이송기구로 구성되며 기대(1)상에 배치되며 X축(가로)로봇팔(51)과, Y축(세로)로봇팔(52)과, Z축(높이)로봇팔(53)과, 및 기판이송포크(54)로 구성된다. 상기, X , Y , Z 축로봇팔(51,52,53)은 시스템 내부의 제어부(도시않함)와 연결배선처리되어 상기 로봇팔(51)(52)(53)을 작동하는 브라켓(55)(56)에 의해 결합구동된다. 상기 기판이송포크(54)의 상단부에는 기판의 유무를 감지하는 빔센서(541)가 부착되고 기판의 흔들림이 방지되도록 흡착구(542)가 형성되어 있으며, 중간에는 쇼크센서(543)가 부착되어 기판의 충돌시 후퇴작동된다.The conveying device 5 is composed of a three-axis transport mechanism and is disposed on the base 1, and has an X axis (horizontal) robot arm 51, a Y axis (vertical) robot arm 52, and a Z axis (height). Robot arm 53, and substrate transfer fork 54. The X, Y, and Z axis robot arms 51, 52, and 53 are connected and wired to a controller (not shown) inside the system to operate the robot arms 51, 52, 53, and the bracket 55. And is driven by 56. A beam sensor 541 for detecting the presence of a substrate is attached to the upper end of the substrate transfer fork 54, and an adsorption port 542 is formed to prevent shaking of the substrate, and a shock sensor 543 is attached in the middle. When the board collides, the retraction is activated.

이와같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 LCD 기판용 자동청소시스템(A)은 LCD기판인출장치(2)의 카세트출입개구부(21)를 통하여 절단된 LCD 기판이 여러층으로 장입된 카세트(C)가 LCD 기판인출장치(2)내로 배치되고, LCD기판 장입장치(4)에 빈 카세트(C)가 배치된 후, 시스템을 ON 시키면, 운반장치(5)의 X축로봇팔(51)이 좌측으로 연장되도록 작동되고 LCD 기판 인출장치(2)의 전방에서 정지되고 Y축로봇팔(52)이 작동되어 기판이송포크(54)가 LCD 기판 장입된 카세트(C)내로 들어가 최하층의 LCD기판(B)을 흡착구(542)를 통하여 흡착하고 Z축로봇팔(53)을 이용하여 일정높이로 들어올린후 Y축로봇팔(52)이 원위치로 후퇴되면서 LCD기판(B)의 인출작업이 완료된다. 이와같이 인출작업이 완료되면 서보모터(23)가 일정회전하여 볼스크류(25)를 회전시키게 되고 볼스크류(25)가 회전하면 LCD장입카세트를 지지하는 지지케이스(26)가 하강하게되고 이러한 지지케이스(26)의 하강은 LCD기판(B)이 인출되기에 적당한 1피치의 거리만큼만 이루어지고 하강작업이 종료되게 된다. 이러한 1공정동안의 하강높이, 즉 1피치는 본 실시예에서 7/9mm이다. 이와같은 LCD기판의 인출이 종료된 후, X축 로봇팔(51)이 LCD 기판연부흡인장치(3) 전방으로 후퇴한후 다시 Y축로봇팔(52)이 기판이송포크(54)에 안치된 LCD기판(B)이 흡착고정부(32)상에 배치되도록 전진시키고 흡착고정부(32)의 상승된 받침봉(314)상에 LCD기판(B)을 배치하고 기판이송포크(54)가 후퇴한 후, 기판정렬부(31)의 승강스토퍼(313)가 상승하여 LCD 기판(B)의 일연부에 접하게 한후 LCD기판연부흡입장치(3)의 기판정렬부(31)가 LCD기판(B)을 정위치로 정렬시킨다. 즉, 가로위치를 정렬시키는 1개의 블록(311)이 전진하여 LCD의 연부에 접하여 대향위치된 스토퍼(313)와 협동하여 가로위치를 정렬시키고, 세로위치를 정렬시키는 2개의 블록(311')이 전진하여 LCD의 연부에 접하여 세로 위치를 정렬시킨다. 이와같이하여 LCD기판의 위치가 정렬되고 스토퍼(313)가 하강하고 LCD기판이 배치된 받침봉(314)이 하강하여 LCD 기판이 흡착고정부(32)상에 배치되면 흡착고정부(32)에 진공압을 발생시켜 LCD기판을 흡착고정시킨다. LCD기판이 흡착고정된 후, LCD기판연부흡인장치(3)의 가로이송흡착대(32)의 이송봉(323)은 무로드실린더(321) 및 지지봉(322)을 타고 가로방향으로 이송되므로 이송봉(323)의 양단에 설치된 흡착구(324)가 이동되면서 절단된 LCD기판의 가로방향가장자리의 청소후, 세로이송흡착대(33)의 흡착구(331)에 의해 세척되게 되는 것이다. 이와같이 LCD 기판의 세척이 종료된후, 흡착고정부(32)에서 흡착상태가 해제되고 받침봉(314)이 상승되어 청소된 LCD기판을 일정높이로 들어 올린 후, 운반장치(5)의 Y축로봇팔(52)이 전진하여 청소된 LCD기판(B)을 기판이송포크(54)에 흡착된 상태로 인출시키고, X축로봇팔(51)이 후퇴하여 LCD기판장입장치(4) 전방에서 정지된 후 Y축로봇팔(52)이 전진하여 상기 LCD기판장입장치(4)내의 장입카세트(C)는 1피치상승하여 다음 LCD기판이 장입될 준비가 완료되는 것이다. 이와같이 1장의 LCD기판이 인출, 세척, 장입되는 단계인 1사이클이 종료되면 1장의 LCD기판의 처리는 종료되고 다른 LCD기판의 처리가 위와같이 반복적으로 진행되는 것이다.In the automatic cleaning system for an LCD substrate A according to the embodiment of the present invention having such a configuration, a cassette in which a plurality of layers of the LCD substrate cut through the cassette access opening 21 of the LCD substrate taking-out apparatus 2 is loaded into multiple layers. (C) is placed in the LCD substrate taking-out device 2, and the empty cassette C is placed in the LCD substrate charging device 4, and then the system is turned on, and the X-axis robot arm 51 of the conveying device 5 is turned on. ) Is extended to the left, stopped at the front of the LCD substrate take-out device 2, and the Y-axis robot arm 52 is operated so that the substrate transfer fork 54 enters the cassette C loaded with the LCD substrate and the lowermost LCD The substrate B is adsorbed through the adsorption port 542 and lifted up to a certain height using the Z axis robot arm 53, and then the Y axis robot arm 52 is retracted to its original position. Is complete. When the drawing operation is completed as described above, the servo motor 23 rotates constantly to rotate the ball screw 25. When the ball screw 25 rotates, the support case 26 for supporting the LCD charging cassette is lowered, and such support case. The descending of (26) is made only by a distance of 1 pitch suitable for the LCD substrate B to be drawn out, and the lowering operation is completed. The height of descent during this one step, that is, one pitch, is 7/9 mm in this embodiment. After the withdrawal of the LCD substrate is completed, the X-axis robot arm 51 retreats to the front of the LCD substrate edge suction device 3, and then the Y-axis robot arm 52 is placed on the substrate transfer fork 54 again. Advance the LCD substrate B so as to be disposed on the adsorption fixing part 32, and arrange the LCD substrate B on the raised support bar 314 of the adsorption fixing part 32, and the substrate transfer fork 54 retreats. After that, the lifting stopper 313 of the substrate alignment unit 31 is raised to come into contact with one edge of the LCD substrate B, and then the substrate alignment unit 31 of the LCD substrate edge suction device 3 is connected to the LCD substrate B. To align it correctly. That is, one block 311 for aligning the horizontal position is advanced, and two blocks 311 ′ for aligning the horizontal position and aligning the vertical position are cooperative with the stopper 313 facing the edge of the LCD. Advance and align the vertical position in contact with the edge of the LCD. In this way, when the position of the LCD substrate is aligned, the stopper 313 is lowered, and the supporting rod 314 on which the LCD substrate is disposed is lowered, and the LCD substrate is disposed on the adsorption fixing portion 32, Pneumatic pressure is generated to fix the LCD substrate. After the LCD substrate is fixed to the adsorption, the transfer rod 323 of the horizontal transfer suction table 32 of the LCD substrate edge suction device 3 is transported in the horizontal direction by the rodless cylinder 321 and the support rod 322 After the suction holes 324 installed at both ends of the rod 323 are moved, the edges of the LCD substrate are cut by the suction holes 331 of the vertical transfer suction table 33. After the cleaning of the LCD substrate is completed in this way, the adsorption state is released from the adsorption fixing part 32 and the support rod 314 is raised to lift the cleaned LCD substrate to a certain height, and then the Y axis of the transport apparatus 5. The robot arm 52 advances and withdraws the cleaned LCD substrate B in a state of being adsorbed by the substrate transfer fork 54, and the X-axis robot arm 51 retreats to stop in front of the LCD substrate loading device 4. After the Y-axis robot arm 52 is advanced, the charging cassette C in the LCD substrate loading device 4 is increased by one pitch, and the next LCD substrate is ready to be loaded. In this way, when one cycle, which is a stage in which one LCD substrate is taken out, washed, and charged, ends, the processing of one LCD substrate is terminated, and the processing of another LCD substrate is repeatedly performed as described above.

이상과 같이 본 발명에 따른 LCD기판용 자동청소시스템 및 LCD기판의 청소방법은 LCD기판의 청소를 자동으로 수행할 수 있게 되어 작업능률이 현저히 절감되고 각각의 LCD기판의 연부를 진공흡입처리를 수행하므로서 확실한 세정작업을 수행할 수 있으면서도 세정작업이 대폭적으로 단축되어 세정시간 및 세정비용이 월등히 절감되는 효과가 있다.As described above, the automatic cleaning system for the LCD substrate and the cleaning method of the LCD substrate according to the present invention can perform the cleaning of the LCD substrate automatically, thereby significantly reducing work efficiency and performing vacuum suction treatment on the edge of each LCD substrate. As a result, it is possible to perform a reliable cleaning operation, but the cleaning operation is drastically shortened, which greatly reduces the cleaning time and the cleaning cost.

Claims (6)

다수의 절단된 LCD 기판이 다층상으로 차례로 장입된 장입카세트내에서 절단된 LCD 기판을 운반장치에 의해 인출시키는 단계, 상기 인출된 LCD 기판을 LCD 기판연부흡인장치로 인입흡착고정시키는 단계, 흡착고정된 LCD 기판의 가로방향의 가장자리를 따라 이동되면서 LCD 기판의 가로 방향의 가장자리를 흡인하는 단계, 흡착고정된 LCD 기판의 세로방향의 가장자리를 따라 이동되면서 LCD 기판의 세로방향의 가장자리를 흡인하는 단계, 연부가 흡인청소된 상기 LCD 기판의 흡착고정상태를 해제시키고 운반장치를 통하여 LCD 기판장입장치내에 순차적으로 장입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 자동청소방법.Taking out the cut LCD substrate by a conveying device in a charging cassette in which a plurality of cut LCD substrates are sequentially loaded into a multi-layered phase, fixing the pulled-out LCD substrate with an LCD substrate edge suction device, and adsorbing fixing Sucking the horizontal edge of the LCD substrate while moving along the horizontal edge of the LCD substrate, sucking the vertical edge of the LCD substrate while moving along the longitudinal edge of the fixed LCD substrate; And a step of releasing the adsorption fixation state of the LCD substrate, the edge portion of which is sucked and cleaned, and sequentially loading the LCD substrate into the LCD substrate loading device through a conveying device. 제 1항에 있어서, 상기 LCD 기판의 가로 및 세로방향의 가장자리를 흡입하는 단계에는 먼저 대전방지제를 분사하는 단계가 추가로 포함된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 자동청소방법.The method of claim 1, wherein the suctioning of the horizontal and vertical edges of the LCD substrate further comprises spraying an antistatic agent first. 절단된 다수의 LCD 기판(B)이 다층으로 장입된 LCD 장입카세트(C)가 일정속도로 승강작동되는 LCD 기판인출장치(2)와, 상기 LCD 기판인출장치로부터 인출된 LCD 기판을 흡착고정하고 상기 고정된 LCD기판(B)을 청소하는 LCD 기판연부흡인장치(3)와, 상기 청소된 LCD 기판(B)이 순차적으로 장입되도록 일정속도로 승강작동되는 LCD 기판장입장치(4)와, 상기 각장치로 LCD 기판을 운반하는 운반장치(5)로 구성된것을 특징으로 하는 LCD 기판용 자동청소시스템.The LCD substrate cassette (C) in which the plurality of cut LCD substrates (B) is loaded in a multi-layer is lifted and fixed at the constant speed, and the LCD substrate extracting apparatus (2) and the LCD substrate drawn out from the LCD substrate extracting apparatus are attracted and fixed. An LCD substrate edge suction device (3) for cleaning the fixed LCD substrate (B), an LCD substrate loading device (4) for lifting and lowering at a constant speed so that the cleaned LCD substrate (B) is sequentially loaded, and Automatic cleaning system for an LCD substrate, characterized in that consisting of a conveying device (5) for transporting the LCD substrate to each device. 제 2항에 있어서, 상기 LCD기판인출장치(2)는 상기 기대(1)의 상부에 형성된 카세트출입개구부(21)와, 상기 카세트출입개구부(21)의 하방으로 연장형성된 지지대(22)와, 상기 지지대(22)의 하부에 설치된 서보모터(23)와, 상기 서보모터(23)와 타이밍벨트(24)에 연결되며 LCD 장입카세트(C)를 승강구동시키는 볼스크류(25)와, 상기 볼스크류(25)에 승강가능하게 연결되며 카세트를 승강구동시키는 지지케이스(26)를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 자동청소시스템.3. The LCD substrate extracting apparatus (2) according to claim 2, further comprising: a cassette access opening (21) formed at an upper portion of the base (1), a support (22) extending downward from the cassette access opening (21), Servo motor 23 installed in the lower portion of the support 22, the ball screw 25 is connected to the servo motor 23 and the timing belt 24, and lifts and drives the LCD charging cassette (C), and the ball And a support case (26) which is connected to the screw (25) to be liftable and lift-driven the cassette. 제 2항에 있어서, 상기 LCD기판연부흡입장치(3)는 상기 LCD기판인출장치(2)에서 인출된 LCD기판(B)의 위치를 설정하는 기판정렬부(31)와, 위치가 설정된 LCD기판(B)을 흡착고정하는 흡착고정부(32)와, 흡착고정된 LCD기판(B)의 가로방향의 주연부를 흡착하는 가로이송흡착대(33)와, LCD기판(B)의 세로방향의 주연부를 흡착하는 세로이송흡착대(34)와, 상기 가로 및 세로이송흡착대(33)(34)에 흡인력을 부여하며 기대의 하방에 설치된 진공흡인펌프(35)를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 자동청소시스템.3. The LCD substrate edge suction device (3) according to claim 2, wherein the LCD substrate edge suction device (3) comprises a substrate alignment portion (31) for setting a position of the LCD substrate (B) drawn out from the LCD substrate drawing device (2), and an LCD substrate having a position set therein. Adsorption fixing part 32 which adsorbs and fixes (B), the horizontal conveyance adsorption | suction stand 33 which adsorb | sucks the peripheral part of the horizontal direction of the adsorption fixed LCD board | substrate B, and the longitudinal peripheral edge of LCD board | substrate B. LCD substrate, characterized in that it comprises a vertical suction cup (34) for adsorbing the portion, and a vacuum suction pump (35) provided to the horizontal and vertical transfer suction table (33) (34) and provided below the base. Automatic cleaning system. 제 2항에 있어서, 상기 운반장치(5)는 3축이송기구로 구성되며 기대(1)상에 배치되며 X축(가로)로봇팔(51)과, Y축(세로)로봇팔(52)과, Z축(높이)로봇팔(53)과, 및 기판이송포크(54)로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 자동청소시스템.3. The conveying apparatus (5) according to claim 2, wherein the conveying device (5) is composed of a three-axis feed mechanism and is disposed on the base (1) and has an X axis (horizontal) robot arm (51) and a Y axis (vertical) robot arm (52). And a Z axis (height) robot arm (53), and a substrate transfer fork (54).
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