KR100273085B1 - 분진제거방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 분진발생원, 특히 반도체 소자 제조공정으로부터 발생하는 0.3μm정도 이하의 분진을 장기간에 걸쳐 효율적으로 포획할 수 있고, 더욱이 장치의 소형화 및 콤팩트화를 꾀할 수 있게 한 분진제거방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 분진발생원으로부터의 분진을 함유하는 기체를 필터로 유도하여 분진을 분리시켜 회수하는 분진의 제거방법에 있어서, 상기 기체를 집진장치에 도입하기전에 상기 기체로부터 유분 및 수분을 제거한 후, 통형으로 형성된 집진장치의 필터의 안쪽으로부터 바깥쪽으로 상기 기체를 관류시켜 여과하는 것을 특징으로 하는 한다.

Description

분진제거방법 및 그 장치

제 1도는 본 발명 장치의 구성도.

제 2도는 본 발명에 사용되는 제 1층과 제 2층의 필터의 관계를 도시한 모식도.

제 3도는 본 발명 장치의 다른 실시예를 도시한 구성도.

제 4도는 본 발명 장치의 또 다른 실시예를 도시한 구성도.

제 5도는 본 발명에 앞서 발명한 자기재생형 집진장치의 구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 미립자 분진 발생원 3 : 액 분리장치

4 : 집진장치 7 : 송풍기

8 : 흡유성 폴리머 9 : 흡수성 폴리머

31 : 갑체 31a : 하부

31b : 상부 32 : 액 분리실

33 : 입구 34 : 윗벽

35 : 출구 36 : 액 분리용 회전 브러시

38 : 구동장치 41 : 갑체

42 : 분진제거용 나선 브러시 43 : 적층필터(필터)

43A : 제1층 필터 43B : 제2층 필터

43C : 제3층 필터 44 : 정기실

45 : 도출구

[산업상의 이용분야]

본 발명은 분진발생원으로부터 발생하는 분진을 포획·제거하기 위한 분진제거방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 소자 제조공정에 있어서 생성되는 0.3μm 정도 이하의 분진을 장기간에 걸쳐 효율적으로 포획할 수 있을 뿐만 아니라, 장치의 소형화 및 콤펙트화를 꾀할 수 있게 한 분진제거방법 및 그 장치에 관한 것이다.

[종래의 기술]

분진의 발생원, 예컨대 반도체 소자 제조공업, 자동차 공업, 플라스틱 공업, 자원산업, 세라믹 공업, 분말야금 공업, 세제 공업, 촉매 공업, 페라이트 공업, 색재 공업, 농약공업, 사료 가공업, 식품 공업, 폐기물 처리산업, 바이오 관련산업, 화장품 공업 및 의약품 공업 등에 있어서는 분진이 발생한다.

이들 분진 발생원에 있어서는, 예컨대 입경 0.01∼50μm 정도의 매우 미세한 분진이 발생하는 것이 알려져 있다.

특히, 최근에 컴퓨터 및 이를 응용하는 전자제어장치는 눈부시게 발전하고 있고, 그 발전방향 및 범위는 무한히 확대될 것으로 생각된다. 그 때문에, 컴퓨터에 사용되는 전자부품으로서 주요한 지위를 차지하는 반도체 전자소자의 제조기술 및 그 생산량도 현저히 급속히 성장하고 있다.

이들 반도체 소자의 원료가 되는 반도체로서는 게르마늄(Ge), 실리콘(Si)이 많이 사용되고, 또 특수한 소자로는 갈륨비소(GaAs), 갈륨인(GaP) 등도 실용화되고 있다.

반도체 소자 제조공정에서 발생하는 분진은 그 자체가 공해방지의 관점에서 방산하는 것이 금지되는 유해물질이거나, 이를 함유하는 기체가 유해물질이거나, 분위기중의 유해 물질을 흡착하거나, 수착하거나 하는 것이 알려져 있다.

반도체 제조공정에서 사용되거나 또는 생성되는 유해물질로서는 실리콘계, 비소계, 인계, 붕소계, 수소화금속, 플론계, 할로겐, 할로겐화물, 질소산화물, 기타의 것이 있다.

공해방지의 정신이 철저해지고 있는 오늘날에는, 이들 유해성분이나 분진을 함유한 배기가스를 그대로 대기중에 방출하는 것은 허용되지 않고, 먼저 배기가스중에서 분진을 제거하고, 여러가지 처리를 하여 안전하고 청정한 가스로 하여 방출하는 것이 요구되고 있다.

그래서, 상기 분진 발생원으로부터의 기체중에 함유된 분진을 제거하기 위하여 사이클론, 스크러버, 벤추리 스크러버, 백필터, 전기집진기, 루우퍼 . 침강실 등을 이용하는 것이 제안되어 있다.

그러나, 이들의 장치에서 포획할 수 있는 먼지의 한계 입경은 사이클론에서는 3.0μm, 스크러버에서는 1.0μm, 벤추리 스크러버, 백필터 및 전기집진기에서는 0.1μm 루우퍼에서는 10μm, 침강실에서는 50μm 이고, 이들 종래의 장치에서는 0.01∼50μm의 광범위하고, 더욱 매우 미세한 분진을 포확할 수는 없다.

벤추리 스크러버, 백필터 및 전기집진기에서는 0.1μm의 분진을 포획할 수 있으나, 이들의 장치는 규모가 커서 값이 비싸지거나, 포집한 분진의 폐기처리가 곤란한 것 등의 문제가 있다.

실제로, 분진발생원, 특히 반도체 제조공정에서 발생하는 분진의 입경분포를 관찰하면, 0.3μm 정도 이하의 것이 대부분을 차지하고 있으므로, 0.3μm 정도 이하의 먼지를 포집할 수 있는 집진장치를 개발하기 위하여 실험을 되풀이하고 있는 동안에, 두께 1.5mm정도의 펠트상의 부직포로 된 필터를 사용하면, 0.3μm 정도 이상의 분진을 충분히 포집할 수 있는 것을 알았다.

그래서, 고압의 역압을 주어 필터를 세정하여, 필터의 재이용을 꾀하였으나, 이 경우에는 필터의 눈이 미소하기 때문에, 상당히 고압의 역압을 주는 것이 필요하게 된다. 이 때문에, 대형이고 고성능의 세정장치가 필요하게 되어 장치 전체로서의 부설면적이 커지며, 또 장치가 매우 값이 비싸지게 될 뿐만 아니라, 유지 보수 비용도 많이 들게된다.

그래서, 제 5도에 도시한 바와 같이, 필터(101)를 종축의 원통형으로 형성하고, 이 필터(101)의 내주면에 내접하여 회전하는 브러시(102)를 설치하고, 이 브러시(102)를 회전시키면서 그 한끝에 기체를 도입하여, 브러시(102)속을 지나 필터(101)의 중공부로부터 외주위로 관류시키는 한편, 필터(101)에 부착한 분진을 브러시(102)를 회전시킴으로써 털어떨어뜨리도록 한 자기재생형의 집진장치를 제안하였다.

[발명이 해결하려고 하는 과제]

그러나, 이 자기재생기형의 집진장치를, 예컨대 실제의 반도체 소자 제조공정에 있어서의 분진제거장치로서 시험사용하였던 바, 예상보다도 단기간내에 필터(101)의 압력손실이 커지고, 더욱이 브러시(102)를 회전시켜도 필터(101)를 재생할 수 없게 되는 것이 판명되었다.

그래서, 다시 예의검토를 거듭한 결과, 반도체 제조공정 등의 분진의 발생원에서 사용되는 진공펌프나 오일로우터리 등에서 누출한 기름, 연마나 절단 등에 사용하는 수성 또는 유성의 공작액 등의 액체성분이 미소 물방울상태로 되어 처리하는 기체중에 떠돌아다니거나, 덕트의 둘레면에 부착한 후, 기류에 밀리거나 하여 필터(101)까지 운반되어 그 표면에 분진과 함께 달라붙어 필터(101)가 막히는 원인이 되며, 또한 필터(101)의 주위에 부유하는 분진을 흡착하여, 필터(101)가 막하는 것을 촉진하는 것이 판명되었다.

더구나, 이 필터(101)의 표면에 부착한 유분이나 수분은 기체의 압력이나 모세관현상에 의하여 필터(101)속으로 침투하여 저류되는 것이며, 또 필터(101)의 표면에 분진과 함께 달라붙으면, 브러시(102)로 털거나 하는 정도로는 필터(101)로부터 제거할 수 없게 되어 그 결과, 재생불능한 막힘상태가 되는 것이 확인되었다.

본 발명은 상기 기술적 과제를 감안하여 완성된 것이며, 분진발생원, 특히 반도체 소자 제조공정에서 발생하는 0.3μm 정도 이하의 분진을 장기간에 걸쳐 효율적으로 포획할 수 있고, 더욱이 장치의 소형화 및 콤팩트화를 꾀할 수 있도록 한 분진제거방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

그런데, 이 명세서에 있어서, 본 발명이란, 본 발명에 관한 분진제거방법과 본 발명의 분진제거장치의 양쪽을 포함하는 의미이다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

먼저, 본 발명의 분진제거방법(이하, 본 발명 방법이라고 함)에 대하여 설명한다.

본 발명 방법에 있어서는 분진발생원으로부터의 분진을 함유한 기체를 필터로 유도하여 분진을 분리시켜 회수하는 분진의 제거방법에 있어서, 상기 목적을 달성하기 위하여 상기 기체를 집진장치에 도입하기 전에 상기 기체로부터 유분 및 수분을 제거한 후, 통형으로 형성된 집진장치의 필터의 안쪽으로부터 바깥쪽으로 상기 기체를 관류시켜 여과하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명 방법에 있어서, 분진제거기구로서는, 집진장치의 필터의 내주면에 접촉시켜 정위치에서 회전가능하게, 또는 좌우 또는 상하로 이동하면서 회전가능하게 형성함으로써 상기 필터의 내주면을 청소하여 그 필터에 포착된 분진을 제거, 회수하는 것을 들 수 있다.

이 경우, 분진제거기구를 집진장치의 필터에 내접하여 수시로, 즉 간헐적으로, 또는 상시 연속하여 작동하여도 좋은 것이다.

그런데, 이 분진제거기구로서는 분진을 제거하기 위한 것이면 특히 한정되지 않으나, 구체적으로는 예컨대 분진제거용 회전브러시 또는 분진 긁어내기용의 주걱을 들 수 있다.

이상의 관점에서, 본 발명 방법에 있어서는 분진발생원으로부터의 분진을 함유한 기체를 필터에 유도하여 분진을 분리하여 회수하는 분진의 제거방법에 있어서, 상기 기체를 집진장치로 도입하기 전에 상기 기체로부터 유분 및 수분을 제거한 후, 통형으로 형성된 집진장치의 필터의 안쪽으로부터 바깥쪽으로 상기 기체를 관류시켜 여과하는 한편, 이 필터에 내접하여 분진제거기구를 수시로 또는 상시 연속하여 작동시킴으로써, 필터의 내주면에 포착된 분진을 긁어 떨어뜨리거나, 털어 떨어뜨림과 동시에 브러시의 털 사이에 포획된 분진을 털어 떨어뜨려서 분진을 회수하는 것이 바람직하다.

본 발명 방법에 있어서는, 분진발생원으로부터의 분진을 함유한 기체를 수평회전하는 액분리용 회전브러시의 아래쪽으로부터 윗쪽으로 통하여 그 액분리용 회전브러시의 털사이에 수분 및 유분을 포착시켜, 이 액분리용 회전브러시에 포착된 수분 및 유분을 원심력에 의하여 그 액분리용 회전브러시의 주위에 설치한 액분리실의 내주면으로 운반하여, 자중에 의하여 액분리실의 내주면을 따라 낙하시켜 액분리실내의 바닥부에 저류하는 한편, 액분리용 회전브러시의 윗쪽에 통과한 기체를 집진장치로 유도하도록 구성하여도 좋다.

또, 본 발명 방법에 있어서는, 분리된 수분 또는 유분 혹은 수분과 유분을 액분리실의 바닥부에 배치한 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체에 흡수시켜, 이들의 폴리머와 함께 폐기하도록 하여도 좋은 것이다.

본 발명 방법에 있어서는, 집진장치로부터 낙하하는 분진을 액분리실에 낙하시켜 그 액분리실의 바닥부에 저류시켜, 이를 폐기할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

그런데, 본 발명 방법에 있어서는, 상술한 분진발생원으로부터의 분진을 효율적으로 제거하는데 적용되나, 특히 분진발생원이 미분진을 대량으로 함유한 반도체 소자 제조공정에 있어서의 분진을 발생하는 설비 및 이것에 부대하는 설비에 알맞게 사용된다.

다음에, 본 발명의 분진제거장치(이하, 본 발명 장치라고 함)에 대하여 설명한다.

또, 본 발명 장치에 있어서는, 분진발생원으로부터 도입한 분진을 함유한 기체중의 분진을 필터로 여과하여 제거하는 집진장치를 갖춘 분진의 제거장치에 있어서, 상기 목적을 달성하기 위하여 분진발생원으로부터 집진장치로 도입되는 기체중의 수분 및 유분을 미리 제거하는 액분리장치가 설치되어 있는 한편, 상기 집진장치는 통형상으로 형성된 필터와, 이 필터의 바깥주위에 형성되는 정기실과, 이들 필터 및 정기실을 둘러싸고, 또한 필터의 개구부로부터 안쪽으로 액분리장치로부터의 기체를 도입하는 도입구와, 정기실을 외부로 연이어 통하는 도출구를 가진 갑체와, 필터의 내주면에 접촉하여 회전하는 분진제거기구와, 이 분진제거기구를 구동하는 구동장치를 갖추는 것을 특징으로 한다.

본 발명 장치에 있어서는, 액분리장치가 액분리용 회전브러시를 갖추는 것이고, 이 액분리용 회전브러시가 원반형상 또는 나선형상으로 형성되어 있는 것이 구조가 간단하고, 또한 수분이나 유분의 분리가 지극히 용이하므로 유익하다.

본 발명 장치에 있어서, 액분리용 회전브러시가 나선형상으로 형성되어 있는 경우에는 이 브러시가 연속적으로 형성되어 있는 경우 외에 간헐적으로 브러시가 형성되며, 더욱이 전체적으로 나선형상으로 되어 있는 것을 들 수 있다.

본 발명 장치에 있어서, 이 액분리용 회전브러시로서는 회전에 의하여 수분 및 유분을 분리시킬 수 있는 구조이면 특히 한정되는 것은 아니고, 원반형상 또는 나선형상등, 여러가지 구조의 것을 들 수 있고, 또 이 액분리용 회전브러시는 정위치에서 회전하여도 좋고, 또는 좌우 혹은 상하로 이동하도록 구성되어도 좋은 것이다.

본 발명 장치에 있어서는, 분진발생원으로부터 차례로 액분리장치, 집진장치를 거쳐 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기가 설치되어도 좋은 것이다.

또, 본 발명 장치에 있어서는, 액분리장치가 내부에 종축원통형의 액분리실과, 이 액분리실의 하부에 분진발생원의 기체를 도입하는 입구와. 액분리실의 상부로부터 집진장치에 기체를 유출시키는 출구를 가진 갑체와, 상기 액분리실을 입구와 출구 사이에서 종축심둘레에 회전가능하게 배치되며, 또한 상기 액분리실을 횡단하는 원반형상 또는 나선형상의 액분리용 회전브러시와, 이 액분리용 회전브러시를 구동하는 구동장치를 갖추어도 좋은 것이다.

또한, 본 발명 장치에 있어서는, 희망에 따라 액분리실의 바닥부에 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체가 배치되어 있어도 좋은 것이다.

본 발명 장치에 있어서는, 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리가능하게 형성되어 있음으로써, 이 액분리실이 지극히 간단히 분리 ·교환할 수 있으므로, 보수관리가 지극히 용이하게 되는 것이다.

본 발명 장치에 있어서는, 집진장치의 분진제거기구가 분진제거용 회전브러시로 이루어지며, 이 분진제거용 회전브러시가 집진장치의 필터의 축심에 위치하는 중심축을 중심으로 하여 털이 나선면을 형성하도록 나란한 나선브러시로 이루어져, 이 나선브러시가 집진장치의 구동장치에 의하여 회전하도록 구성되어 있는 것이 분진을 효율적으로 제거할 수 있으므로 유익하다.

본 발명 장치에 있어서, 분진제거용 회전브러시가 나선형상으로 형성되어 있는 경우에는, 이 브러시가 연속적으로 형성되어 있는 경우 외에 간헐적으로 브러시가 형성되고, 더욱이 전체적으로 나선형상으로 되어 있는 것을 들 수 있다.

또, 본 발명 장치에 있어서는, 집진장치의 분진제거기구가 집진장치의 필터의 축심에 위치하는 중심축과, 이것을 중심축에 식모된 털로 이루어지며, 이 털이 필터의 내주면에 접촉하여, 그 구동장치에 의하여 회전함으로써 필터의 분진을 제거하도록 구성되어 있는 것도 유익하다.

또한, 본 발명 장치에 있어서는, 집진장치에 있어서의 액분리실의 윗쪽에 배치되며, 또한 집진장치의 도입구가 액분리장치의 액분리실의 출구에 겸용되어 있는 것이 구조가 간단하고, 또한 취급이 용이하므로 바람직하다.

특히, 본 발명 장치에 있어서는 집진장치의 필터가 안쪽으로부터 바깥쪽으로 차례로 틈이 작아지는 3 충 이상의 필터를 적층한 적층필터로 구성되어 미세한 분진도 효율적으로 제거할 수 있으므로, 바람직하다.

이 경우에 있어서, 적층필터가 틈의 크기가 200μm 정도인 제 1층 필터와, 틈의 크기가 50∼ 200μm 인 제 2층 필터와, 틈의 크기가 제 2층 필터보다는 작고 1μm 보다는 큰 제 3층 필터로 된 3 층의 적층필터로 된 것이 장기간에 걸쳐 분진을 효율적으로 제거할 수 있으므로 바람직하다.

특히, 이 적층필터의 두께가 5mm 이상이고, 제 1층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 20∼50% 이고, 제 2층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 30∼60% 이고, 제 3층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 1∼25% 인 것이 바람직하다.

그런데 본 발명 장치에 있어서는 상술한 분진발생원으로부터의 분진을 효율적으로 제거하는데 적용되나 특히 분진발생원이 미분진을 대량으로 함유한 반도체 소자 제조공정에 있어서의 분진을 발생하는 분진설비 및 이에 부대하는 분진설비에 알맞게 사용된다.

[작용]

본 발명에 의하면, 분진발생원으로부터 분진을 함유하는 기체가 액분리장치에 도입되어 수분·유분 등을 분리한 후에 집진장치에 도입된다. 따라서, 집진장치의 필터의 표면에 수분 ·유분 또는 이들과 함께 이들에 흡착된 분진이 부착할 염려가 없어져서 필터의 막힘의 진행이 기체중의 수분이나 유분에 의하여 촉진되는 것이 방지된다.

또, 집진장치의 필터에 수분이나 유분이 침투하여 잔류하는 일도 없어져서, 필터내로의 수분이나 유분의 잔류에 의한 재생능력의 저하 내지 상실이 방지된다.

더욱이, 집진장치로서 필터를 종축원통형으로 형성하고, 기체를 그 안쪽으로부터 바깥쪽으로 관류시키는 한편, 그 내부에 배치한 분진제거기구로 필터로부터 분진을 제거하여 필터의 집진능력의 회복을 꾀하는 자기재생형의 집진장치를 사용하고 있으므로, 집진용필터의 재생을 위하여 대규모적인 역세(逆洗)장치를 설치할 필요가 없어서, 장치 전체를 소형으로 콤팩트화할 수 있다.

[실시예]

이하, 본 발명에 있어서, 분진발생원이 반도체 소자 제조공정인 경우의 실시예에 대하여 도면에 의거하여 구체적으로 설명한다.

이하, 본 발명의 1 실시예의 분진제거장치가 반도체 소자 제조공정에 있어서, 미립자 분진을 발생하는 미립자 분진발생원(1)인 경우에 대하여 상세히 설명한다.

본 발명의 1 실시예의 분진제거장치는, 제 1도에 도시한 바와 같이, 반도체 소자 제조공정에 있어서 미립자 분진을 발생하는 미립자 분진발생원(1)에 도출덕트(2)로 연통시킨 액분리장치(3)와, 이 액분리장치(3)의 윗쪽에 직결된 자기재생형 집진장치(4)와, 이 집진장치(4)로부터 도출된 배기덕트(5)와, 이 배기덕트(5)에 개재시킨 유해가스 처리장치(6)및 송풍기(7)를 갖춘다.

이 송풍기(7)는 기체를 미립자 분진발생원(1)으로부터 도출덕트(2), 액분리장치(3), 집진장치(4), 유해가스 처리장치(6)및 배기덕트(5)를 거쳐 대기중에 방출시키도록 구성하고 있으면 좋고, 예컨대 미립자 분진발생원(1)에 대기를 흡입하기 위한 흡기덕트를 설치하고, 이 흡기덕트에 개재시키거나, 상기 도출덕트(2)에 개재시키거나, 액분리장치(3)내 또는 집진장치(4)내에 설치하여도 좋다.

이러한 미립자 분진발생원(1)으로부터 도출덕트(2), 액분리장치(3), 집진장치(4), 유해가스 처리장치(6)및 배기덕트(5)를 거쳐, 대기중에 방출시키는 기류가 형성되면 미립자 분진발생원(1)에서 발생한 미립자 분진, 미립자 분진발생원(1)에 침입한 수분 및 유분은 그 기류를 타거나 또는 그 기류에 밀려서 도출덕트(2)를 거쳐 액분리장치(3)에 도입되어, 여기서 후술하는 바와 같이 하여 수분 ·유분 및 비교적 큰 미립자 분진을 제거한 후, 다시 분진장치(4)에 도입되어 나머지의 미립자 분진이 제거된다. 분진장치(4)로부터 배출되는 기체는 수분 ·유분 및 미립자 분진이 제거된 것이지만, 유해한 기체성분을 함유하고 있으므로, 다시 유해가스 처리장치(6)에 도입되어 여기서 주로 산화, 환원, 중화 등의 화학처리나 활성탄이나 제오라이트 등의 흡착재로 처리하여 무해화된 후에 대기중에 방출된다.

상기 액분리장치(3)는 원통형의 종축의 갑체(31)를 갖추고, 이 갑체(31)의 내부에 종축의 원통형상으로 형성된 액분리실(32)이 형성된다. 또, 이 갑체(31)의 하단으로 부터 소정의 높이에 있어서, 액분리실(32)을 도출덕트(2)에 연통시키는 입구(33)가 형성됨과 동시에, 윗벽(34)에 개구부를 형성하여 액분리실(32)을 집진장치(4)에 연통시키는 출구(35)가 형성되어 있다.

상기 갑체(31)를 형성하는 소재는 특히 한정되는 것은 아니고, 예컨대, 종이, 나무, 합성수지 또는 금속 등을 사용할 수 있으나, 기류의 압력에 견딜 수 있을 정도의 기계적 강도, 특히 강성을 가지는 것이 필요하다.

본 실시예에서는 기계적 강도가 뛰어나고, 또 내후성 ·내약품성 및 내산성·내알칼리성 및 내열성이 뛰어난 섬유강화 합성수지(FRP)로 갑체(31)를 형성하고 있다.

또, 상기 갑체(31)의 형상은 내부에 액분리실(32)을 형성할 수 있는 중공형상이면 특히 한정되는 것은 아니고, 입방형 ·직방형 등의 다각입방체, 원통형·타원통형 등으로 형성하면 좋으나, 제조비의 저감을 꾀하기 위하여 될 수 있는 대로 단순한 형상으로 형성하는 것이 좋다.

본 실시예에서는 갑체(31)를 평판재로 굽히거나, 핸드레이업법, 스프레이업법, 진공백성형법, 가압백성형법, 오토크레이프성형법, 코울드프레스법, 스퀴즈성형법, 리저버성형법, 사출성형법, 감압주입성형법 맷치드다이성형법, SMC 성형법 등 공지의 FRP 성형방법에 의하여 간단히 성형할 수 있는 원통형으로 형성하고 있다.

또한, 상기 갑체(31)의 크기는 미리 구해지는 단위시간의 처리량, 후술하는 흡유성 폴리머(8), 흡수성 폴리머(9)등의 교환주기 등의 처리능력에 대웅하여 설계하면 된다.

상기 액분리실(3)은 갑체(31)의 내부에 형성하고 있으면 되고, 갑체(31)의 내부에 액분리실(32)을 구획하는 격벽을 설치하여도 되나, 본 실시예에서는 구성을 간단히 함과 동시에, 소형화 콤펙트화 및 경량화를 꾀하기 위하여 갑체(31)그 자체가 액분리실(3)의 주위벽을 구성하도록 하고 있다.

상기 액분리장치(3)에는, 다시 입구(33)와 출구(35)사이에서 액분리실(32)에 내접하여 종축심둘레에 회전가능하게 설치한 원반형상의 액분리용 회전브러시(36)와 집진장치(4)의 분진제거기구, 본 실시예에서는 분진제거용 나선브러시(42)의 구동장치를 겸하는 구동장치(M)가 설치되고, 액분리실(32)내를 입구(33)로부터 출구(35)로 상승하는 기류가 모두 연속회전하는 액분리용 회전브러시(36)에 접촉하도록 구성하고 있다.

액분리용 회전브러시(36)의 털의 소재는, 특히 한정되지 않으며 예컨대 천연 또는 합성의 섬유, 강철, 놋쇠, 동 등의 금속선, 이들의 복합재 등, 일반적으로 브러시의 털로 사용되고 있는 것중에서 자유로이 선택할 수 있다.

이 액분리용 회전브러시(36)의 털의 털끝의 길이는 특히 한정되지 않으나, 털끝이 갑체(31)의 내주면으로부터 약간 떨어지는 정도부터 털끝이 갑체(31)의 내주면에 닿을 정도까지의 길이가 좋다.

털끝이 갑체(31)의 내주면에 닿을 정도 이상으로 긴 경우에는 갑체(31)의 내주면의 마모가 생길 염려가 있으므로 털의 소재로서 금속선을 사용하는 것은 좋지 않고, 갑체(31)의 내주면으로부터 털끝이 많이 떨어지는 경우에는 액분리용 회전브러시(36)와 갑체(31)사이를 유분이나 수분을 함유한 기체가 상승할 염려가 생기므로 좋지 않다.

그러나, 털끝이 갑체(31)의 내주면으로부터 약간 떨어질 정도이면, 액분리용 회전브러시(36)의 회전에 따라 액분리용 회전브러시(36)의 둘레가장자리와 갑체(31)사이에 원심방향으로 흐르는 기류가 생겨, 이 기류가 액분리용 회전브러시(36)와 갑체(31)사이를 유분이나 수분을 함유한 기체가 상승하는 것을 방지하므로, 문제는 없다.

액분리용 회전브러시(36)에 기류가 접촉하면, 기류에 함유된 유분 및 수분은 액분리용 회전브러시(36)의 털 사이에 포착되어, 기류로부터 분리된다. 액분리용 회전브러시(36)에 포착된 유분 및 수분은 액분리용 회전브러시(36)의 회전에 따른 원심력으로 액분리실(32)의 둘레벽(39)으로 운반되어 액분리실(32)의 둘레벽(39)을 따라 자중으로 액분리실(32)의 바닥부에 홀러내려 유분과 수분이 상하로 분리되어 고인다.

또, 기류에 함유된 분진의 일부분, 특히 비교적 입경이 큰 분진도 액분리용 회전브러시(36)의 털 사이에 포착되거나, 액분리용 회전브러시(36)에 부착한 유분 또는 수분에 흡착되거나 하여 원심력에 의하여 유분 또는 수분과 함께 액분리실(32)의 둘레벽(39)에 운반되고, 다시 액분리실(32)의 바닥부로 홀러간다.

나머지의 분진은 액분리용 회전브러시(36)의 털 사이를 지나는 기류를 타고 출구(35)로부터 집진장치(4)로 흡입된다.

그리고, 이렇게 하여 액분리용 회전브러시(36)에 의하여 기류로부터 수분이나 유분을 그리고 분진의 일부분을 제거하는 방법에 의하면, 수분 및 유분을 분리하기 위하여 기체가 통과하는 액분리용 회전브러시(36)에 의한 압손이 작으므로 송풍기(7)로서 저능력이고 소형의 것을 사용할 수 있는 결과, 장치를 더욱 소형으로 그리고 콤퍽트화할 수 있음과 동시에 설비비 및 런닝코스트를 삭감할 수 있다.

본 실시예에 있어서는 수분·유분 또는 수분과 유분의 폐기처리를 쉽게 하기 위하여 액분리실(32)의 바닥부에 필요에 따라 흡수성 폴리머(9), 흡유성 폴리머(8)또는 흡수성 폴리머(9)와 흡유성 폴리머(8)의 적충체가 배치되고 액분리실(32)의 바닥부에 홀러내린 수분·유분 또는 수분과 유분을 이들의 폴리머에 흡착시켜 이들의 폴리머를 액분리실(32)로부터 꺼내어 폐기할 수 있도록 하고 있다.

이 경우, 액분리실(32)의 바닥부에 흡유성 폴리머(8)또는 흡수성 폴리머(9)를 배치하는 형태는 특히 한정되지 않으며, 예컨대, 입상 또는 분말상의 것을 액분리실(32)의 바닥부에 적당한 두께로 깔 수 있고 이 경우, 양자를 혼합하여 깔면 되나, 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)는 상하로 층상으로 나누어 깔고 양자를 나누어 폐기처리할 수 있도록 하는 것이 좋다.

양자를 나누어 폐기처리하기 위해서는 폐기처리의 작업성을 높이기 위하여 입상의 흡유성 폴리머(8)나 흡수성 폴리머(9)를 사용하기 보다도, 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)를 각각 일체물로 형성하는 것이 좋고, 이러한 일체물로서는 흡유성 폴리머(8)또는 흡수성 폴리머(9)를 담지한 다공질체나, 흡유성 폴리머(8)또는 흡수성 폴리머(9)를 배합한 합성수지를 생각할 수 있다. 또, 이러한 일체물의 형상은 특히 한정되지 않으나, 액분리실(32)의 용적의 증대에 의한 대형화를 피하기 위하여 예컨대 액분리실(32)의 바닥부내에 수납할 수 있는 필름, 시이트 또는 판상으로 형성하는 것이 좋다.

여기서 사용되는 흡유성 폴리머(8)란, 기름을 흡수하여 보존하는 것이면 특히 한정되는 것은 아니고, 이 경우, 공지의 것이 사용가능하다.

또, 여기서 사용되는 흡수성 폴리머(9)란, 기름을 흡수하여 보존하는 것이면 특히 한정되는 것은 아니고, 이 경우, 공지의 것이 사용가능하다.

또한, 이 갑체(31)의 입구(33)보다 아래쪽의 부분(31a)은 그 윗쪽의 부분(31b)으로 부터 분해할 수 있도록 되어 있고, 소정량의 수분이나 유분 그리고 분진이 액분리실(32)내의 바닥부에 고였을때, 흡유성 폴리머(8), 흡수성 폴리머(9)또는 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)의 적층체 등의 교환시기가 도래한때 등에 이 갑체(31)의 하부(31a)를 분해하여 수분·유분 또는 수분과 유분 또는 이들과 분진을 함유한 폴리머 기타의 분진으로 나누는 분별처리장으로 운반하고, 분별후에 빈 갑체(31)의 하부에 새로운 흡수성 폴리머(9)와 흡유성 폴리머(8)를 넣은 후, 갑체(31)의 상부(31b)에 하부(31a)가 조립되어 있다.

또, 갑체(31)의 하부(31a)를 복수개 준비해두어 회수된 유분·수분·분진 등이 들어간 갑체(31)의 하부(31a)와, 새로운 흡수성 폴리머(9)와 흡유성 폴리머(8)를 넣은 다른 하나의 갑체(31)의 하부(31a)를 교환하도록 하여도 좋다.

이렇게 하면, 작업자가 직접 유해한 분진이나 유해물질을 흡수하고 있는 흡유성 폴리머(8) 또는 흡수성 폴리머(9) 또는 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)의 적층체 등에 접촉하지 않아도 되므로 안전성을 높일 수 있다.

그리고, 이 경우 회수된 유분·수분 분진 등이 들어간 갑체(31)의 하부(31a)를 분리한 후, 덮개(31c)에 의하여 그 윗면개구를 밀폐하는 것이 안전성을 높이는데 좋다.

상기 집진장치(4)는, 액분리장치(3)로부터 집진장치(4)와의 사이에서 기류로부터 분진이 분리되어 퇴적하는 것, 액분리장치(3)로부터 집진장치(4)까지의 유로저항에 의한 압손이 생기는 것 등을 방지함과 동시에, 장치 전체를 더욱 소형으로 그리고 콤팩트화하고, 또 회수된 분진 등의 후처리장으로의 운반의 안전성을 높이기 위하여 본 실시예에서는 액분리 장치 (3)에 직결된다.

즉, 본 실시예의 집진장치(4)는 액분리장치(3)의 윗쪽에 그 갑체(31)와 동축심에 배치되는 종축의 덮개있는 원통형의 감체(41)에, 이 갑체(41)와 동축심상으로 배치되는 분진제거용 나선브러시(42)와, 이 분진제거용 나선브러시(42)에 외접하는 원통상에 필터(43)를 구비한다.

또, 상기 필터(43)와 갑체(41)의 둘레벽(41a)과의 사이에 원환상의 정기실(44)이 형성됨과 동시에, 갑체(41)의 상부에 이 정기실(44)의 상부에 배기덕트(5)에 정기실(44)을 연통시키는 도출구(45)가 형성되어 있다.

상기 갑체(41)의 하면은 액분리장치(3)의 갑체(31)의 윗벽(34)으로 덮이고, 이 윗벽(34)의 중앙부에 평면으로 보아 분진제거용 나선브러시(42)의 윤곽과 일치하도록 원형으로 형성된 액분리장치(3)의 출구(35)가 집진장치(4)의 도입구로 겸용되고 있다.

상기 갑체(41)를 형성하는 소재는 특히 한정되지 않고, 예컨대 종이, 나무, 합성수지 금속 등을 사용할 수 있으나, 기류의 압력에 견딜 수 있을 정도의 기계적 강도, 특히 강성을 가지는 것이 필요하다.

본 실시예에서는 갑체(41)가 기계적 강도에 뛰어나고, 또 내후성·내약품성·내산성·내알칼리성 및 내열성이 뛰어난 합성수지로 형성되어 있다.

또, 상기 갑체(41)의 형상은 중공형상으로 형성되어 있고, 필터(43)와 갑체(41)의 둘레벽(41a)과의 사이에 원환상의 정기실(44)이 형성되어 있으나, 필터(43)가 전주위에 걸쳐 형성되거나, 또는 둘레방향에 부분적으로 연속하거나 혹은 단속하여 형성되어 있으면 된다.

즉, 갑체(41)는 예컨대 입방형, 직방형 등의 다각입방형, 원통형, 타원통형 등으로 형성되면 되나, 제조비의 저감을 꾀하기 위해서는 될 수 있는대로 단순한 형상으로 하는 것이 좋고, 또 원통형의 필터(43)의 전체에 걸쳐 균등한 여과가 행하여지도록 하기 위해서는 필터(43)의 전주위에 걸쳐 정기실(44)을 형성하는 것이 좋다. 이러한 관점에서 본 실시예에서는 갑체(41)를 덮개있는 원통형으로 형성하고 있다.

또한, 상기 갑체(41)의 크기는 미리 구해지는 단위시간의 처리량, 나선브러시(42), 필터(43)등의 교환주기 등의 처리능력에 대응하여 설계된다.

상기 분진제거용 나선브러시(42)는 중심축(42a)을 갖추고, 이 중심축(42a)을 중심으로하여 털(42b)이 나선면을 형성하도록 나란한 브러시이고, 털(42b)의 나란한 사이에 일정한 나선상의 통기로(42c)가 형성된다.

이 분진제거용 나선브러시(42)의 털(42b)의 소재는 특히 한정되는 것은 아니고, 구체적으로는 예컨대 천연 또는 합성의 섬유, 강철, 놋쇠, 동 등의 금속선 등, 일반적으로 브러시의 털로 사용되고 있는 것중에서 자유로이 선택할 수 있고 본 실시예에서는 분진제거용 나선브러시(42)의 털끝이나 필터(43)의 내주면의 마모를 장기간에 걸쳐 방지하기 위하여 합성수지제의 틸을 사용한 분진제거용 나선브러시(42)가 사용되고 있다.

이 털(42b)의 길이는 적어도 필터(43)의 내주면에 털(42b)의 선단이 어느 정도의 압력을 가지고 접촉할 수 있을 정도로 하는 것이 필요하고, 털(42b)의 선단부가 필터(43)의 내주면의 근방에서 굽어서 소정의 길이에 걸쳐 필터(43)의 내주면에 따르는 정도로 하는 것이 좋다.

상기 분진제거용 나선브러시(42)의 중심축(42a)은 감체(41)의 윗벽(41a)위에 탑재된 구동장치(M)에 연결되고, 또 이 중심축(42a)의 하단부에는 액분리장치(3)의 액분리용 회전브러시(36)가 연결되며 구동장치(M)에 의하여 분진제거용 나선브러시(42)와 액분리장치(3)의 액분리용 회전브러시(36)가 연결되며 구동장치(M)에 의하여 분진제거용 나선브러시(42)와 액분리장치(3)의 액분리용 회전브러시(36)를 동시에 같은 방향으로 구동할 수 있도록 되어 있다.

분진제거용 나선브러시(42)의 털(42b)이 나선상이므로, 이 분진제거용 나선브러시(42)를 선회시키면 필터(43)의 중공부내의 기체를 상승 또는 하강시킬 수 있으나, 집진을 주목적으로 하여 운전하는 동안은 필터(43)의 전면에 걸쳐 균등하게 분진이 운반되도록 하기 위하여 기체가 상승하는 방향으로 회전시켜, 도입구로부터 도입된 기체를 통기로(42c)를 지나 상승시켜 필터(43)전체에 걸쳐 균등한 압력으로 유입시키는 것이 유리하다.

분진을 함유한 기체가 분진제거용 나선브러시(42)에 접촉하면, 분진이 털(42b)사이에 포착되어 원심력에 의해 필터(43)의 내주면에 운반된다. 또한, 이 분진제거용 나선브러시(42)의 털(42b)에 닿지않고 통기로(42c)를 통하여 필터(43)의 내주면에 도달한 기체중에 떠돌아다니고 있는 미립자 분진은 기체가 필터(43)를 안쪽에서 바깥쪽으로 관류함으로써 필터 (43)에 포착된다.

필터(43)의 구성은 0.3μm 이하의 분진을 포획할 수 있는 것이면 특히 한정되는 것은 아니나, 예컨대 포집가능한 미립자 분진의 최소입경으로 하는 경우에는 1 매의 두께1.5mm 정도의 펠트로 구성할 수 있다.

그러나, 본 실시예에서는 포집가능한 미립자 분진의 최소입경을 0.01mm 정도로 하기 위하여 안쪽에서 바깥쪽으로 차례로 틈이 작아지는 3 층 이상의 필터를 적층한 적층필터로 구성하고 있다.

상기 필터(적층필터)(43)를 구성하는 필터(43A, 43B, 43C)의 적층수는 3 층 이상이면 되고, 용도에 따라 다르나, 1 층 또는 2 층으로는 입경 0.01μm의 미립자 분진을 포획할 수 없으므로 좋지 않다.

또, 적층필터(43)의 상류쪽에 틈이 작은 필터(43B 또는 43C)를 배치하는 것은 그 필터(43B 또는 43C)의 틈의 크기로 비교적 작은 분진을 포획할 수 있으나, 빨리 막혀서 사용가능기간이 짧아지므로 좋지 않다.

적층필터(43)의 각 필터(43A, 43B, 43C)의 틈의 크기는 용도 및 포획되는 미립자 분진의 입경분포 등을 고려하여 적절히 설정된다.

본 실시예에서는 틈의 크기가 200μm 정도의 제 1층 필터(43A)와, 틈의 크기가 50∼200μm 인 제 2층 필터(43B)와, 틈의 크기가 1∼50μm 보다, 큰 제 3층 필터(43C)가 적층된다.

필터(43)에 미립자 분진을 함유한 기류를 관류시키면, 제 1층 필터(43A)의 틈(a)의 크기보다도 입경이 큰 먼지는 모두 제 1층 필터(43A)에 포획되며, 포획된 먼지가 제 1층 필터(43A)의 틈(a)을 막는 면적은 차츰 넓어진다.

이에 따라 제 1층 필터(43A)의 틈(a)의 평균적 크기는 작아지나, 여기서 먼지가 구형이고 필터의 틈이 정방형이라고 가정하고, 제 1층 필터(43A)의 틈(a)과 같은 크기의 먼지가 제 1층 필터(43A)의 틈(a)에 포획되었다고 생각하면, 먼지가 막힌 틈에서는 그 틈의 크기의 약 0.11배 이하의 먼지가 통과할 수 있게 된다.

이 값은 제 1층 필터(43A)가 대략 완전히 막힌 상태에서의 이론적인 집진한계 입경이지만, 적층필터(43)의 압력손실이 커지면, 분진제거용 나선브러시(42)를 회전시켜 적층필터 (43)가 재생된다.

제 2도의 모식도에 도시한 바와 같이 제 1층 필터(43A)와 제 2층 필터(43B)의 경계에서는 제 1층 필터(43A)의 틈(a)은 이보다도 틈의 크기가 작은 제 2층 필터(43B)의 틈(b)에 분할되고, 또 제 2층 필터(43B)의 틈(b)의 일부분이 제 1층 필터(43A)의 틈(a)에 의하여 분할된다.

이 때문에, 제 1층 필터(43A)와 제 2층 필터(433)와의 경계의 틈의 평균치는 제 2층 필터(43B)의 틈(b)의 크기보다도 작아지고, 이 경계에 제 2층 필터(43B)의 틈(b)의 크기보다도 작은 먼지가 다량으로 포획되며, 이에 따라 이 경계의 실질적인 앞의 크기는 제 2층필터(43B)의 틈(b)의 크기보다도 상당히 작아진다

필터(43A, 43B, 43C)의 적층수, 각층의 필터(43A, 43B, 43C)의 틈(a,b.c)의 크기등에 의하여 최종층의 필터(여기서는 제 3층 필터(43C))와 앞층의 필터(43B)와의 경계에서도 실질적인 틈의 크기가 결정되어, 필터(43)의 집진한계 입경이 결정된다. 현실적으로는 최종층의 필터(43C)의 틈(C)의 크기가 1μm 이상의 것밖에 제조할 수 없으므로 최종층의 필터(43C)의 틈의 크기와 그 앞의 층의 필터(43B)의 틈의 크기를 상기와 같이 선정하거나, 필터의 적층매수를 증가함으로써 집진한계 입경을 0.01μm 정도 또는 그 이하로 할 수 있다.

적층필터(43)의 두께는 미립자 분진발생원(1)과 송풍기(7)의 흡입압력의 압력차 필터(43)의 통기성 내지 압력손실, 필터(43)의 기계적 강도 등을 고려하고 결정하면 되고, 본 실시예에서는 5mm 이상으로 설정하고 있다.

또, 적층필터(43)의 각 필터(43A, 43B, 43C)의 두께도 똑같이 미립자 분진발생원(1)과 송풍기(7)의 흡입압력의 압력차, 각필터(43A, 43B, 43C)의 통기성 내지 압력손실, 각 필터(43A, 43B, 43C)의 기계적 강도를 고려하여 결정하면 되고, 본 실시예에서는 제 1층 필터(43A)의 두께가 적층필터(43)의 전두께의 20∼50%, 제 2층 필터(43B)의 두께가 적층필터(43)의 전두께의 30∼60%, 제 3층 필터(43)의 두께가 적층필터(43)의 전두께의 1∼25%가 되도록 하였다.

상기 적층필터(43)를 구성하는 각 필터(43A, 43B, 43C)의 소재는 특히 한정되지 않으며, 예컨대 천연섬유, 합성섬유 또는 이들의 혼합물, 연신합성수지필름, 발포합성수지, 합성수지의 가용혼련물을 용출하여 형성한 다공질체, 세라믹스 다공질체 등을 사용할 수 있고, 또 섬유를 사용하는 경우에는 그 조직은 편성조직, 직성조직, 부직조직의 어느 조직을 채용하여도 좋다.

상기 천연섬유는 유기의 것과 무기의 것으로 분류되며, 유기천연섬유로서는 면, 스프, 펄프 등의 식물성 섬유, 양모, 우모, 돈모, 마모, 견 등의 동물성 섬유를 그 예로서 들 수 있고, 또 무기천연섬유로서는 유리섬유 등의 세라믹섬유. 로크울, 아스베스트 등을 그 예로서 들 수 있다.

상기 합성섬유는 유기의 것과 무기의 것으로 분류되며, 유기합성섬유로서는 폴리아미드섬유, 폴리에스테르섬유. 아크릴섬유. 아세테이트섬유 등을 그 예로서 들 수 있고, 무기합성섬유로서는 카본섬유, 브론섬유 등을 그 예로서 들 수 있다.

각 필터의 소재는 처리되는 기류중에 함유되는 물질과 반응하여 붕괴하거나 부식되거나 하지 않는 소재를 사용하는 것이 가장 필요하다.

본 실시예에서는 제 1층 필터(43A)는 두께 약 4mm 의 폴리프로필렌섬유가 겹쳐 형성되어 있고, 제 2층 필터(43B)는 두께 약 3mm 의 폴리프로필렌섬유가 겹쳐 형성되어 있고, 제 3층 필터(43C)는 두께 약 1mm의 폴리프로필렌섬유가 겹쳐 형성되어 있다.

그리고, 여기서 복수층의 필터(43A), 필터(43B)및 필터(43C)를 적층한다는 것은 각 층의 필터(43A), 필터(43B)및 필터(43C)가 차례로 밀착하여 설치된다는 의미로서, 반드시 각 층의 필터(43A), 필터(43B)및 필터(43C)가 예컨대 접착 등의 수법에 의하여 불가분으로 일체화되지 않아도 좋다.

또, 적층필터(43)는 보강재로 보강하는 것이 가능하고, 보강재로서는 예컨대 금속, 합성수지 등으로 된 유공판, 그물을 그 예로서 들 수 있다. 이 보강재는 적층필터(43)의 어느층인 필터(43A), 필터(43B)또는 필터(43C)에 접착, 비스고정, 리벳고정, 걸림부착 등의 방법에 의하여 고정하여도 되고, 또 그 어느필터와도 결합하지 않아도 된다.

또한, 상기 적층필터(43)는 수지함침에 의하여 보강하여도 좋고, 이 경우, 수지는 어느 1 층의 필터(43A), 필터(43B)또는 필터(43C)만에 함침시켜도 좋고, 복수층의 필터에 함침시켜도 좋으며, 또 전층의 필터(43A, 433, 43C)에 함침시켜도 좋다. 적층필터(43)에 부착한 미립자 분진은 분진제거용 나선브러시(42)가 회전하면서 필터(43)의 내주면에 접촉함으로써 청소되며, 자중으로 아래쪽으로 낙하한다.

분진제거용 나선브러시(42)는 적당한 시간을 두고 주기적으로 또는 수시로 구동장치(M)를 역방향으로 작동시켜, 털(42b)이 필터(43)의 내주면을 위에서 아래방향으로 쓸어내리는 방향으로 나선브러시(42)를 역회전시켜도 좋다. 그리고 적층필터(43)및 분진제거용 나선브러시(42)로부터의 미립자 분진을 털어뜨리는데 요하는 적당한 시간이 경과한 후, 역회전에서 다시 원래의 회전방향으로 되돌리면, 필터(43)의 내외의 압력차는 원래로 돌아가서, 효율이 좋은 여과작용이 필터(43)의 전면에 걸쳐 회복되게 된다.

또, 적층필터(43)는 분진제거용 나선브러시(42)에 의하여 내주면이 청소됨으로써, 그 틈을 막히게 하던 미립자 분진이 제거되어 재생되는 것이며, 이 분진제거용 나선브러시(42)는 적층필터(43)의 내주면을 청소하는 반동으로 털(42b)이 진동함으로써 털(42b)의 사이에 막힌 미립자 분진이 털어뜨려져서 재생된다.

분진제거용 나선브러시(42)가 연속회전하는 본 실시예에서는 분진제거용 나선브러시(42) 및 적층필터(43)에 의한 분진의 제거와 분진제거용 나선브러시(42)및 적층필터(43)의 재생이 동시에 병행하여 그리고 연속하여 행하여지게 되며, 높은 집진능력을 장기간에 걸쳐 유지할 수 있게 된다.

또, 집진장치(4)에 도입된 기체는 상술한 바와같이 유분 및 수분이 제거된 기체이므로, 유분이나 수분 그리고 분진이 적층필터(43)에 달라붙지 않는 결과, 적층필터(43)의 막힘의 진행을 방지하거나, 또한 유분이나 수분이 적층필터(43)에 침투하여 제거불능하게 되는 일도 없으므로, 높은 집진능력을 더욱 장기간에 걸쳐 유지할 수 있게 된다.

분진제거용 나선브러시(42)및 적층필터(43)로 부터 떨어뜨려진 분진은 집진장치(4)의 도입구를 겸하는 액분리장치(3)의 출구(35)를 통하여 액분리실(32)에 낙하하고, 최종적으로는 액분리실(32)의 바닥부에 낙하하여 액분리실(32)에서 분리된 분진과 함께 저류된다.

따라서 집진장치(4)에 의하여 분리제거된 분진과, 액분리장치(32)에서 분리된 폐기물을 동시에 분별처리장등의 후처리장으로 운반할 수 있어, 작업원이 유해물질에 접촉할 기회가 적어져서 안전성이 높아진다.

그리고, 본 실시예에 있어서, 액분리장치(3)의 바닥부에 회수된 분진의 폐기시에 유해물질에 대한 불특정 다수의 제 3자의 안전을 확보하기 위하여 갑체(31)내의 바닥부에 회수된 분진 및 필요에 따라 설치된 흡유성폴리머(8)와 흡수성폴리머(9)의 적층체를 포함한 포대등의 폐기용 용기를 갑체(31)의 하부(31a)내에 배치하는 것은 가능하다.

또, 상기 중심축(42a)을 2중축으로 구성하고, 공통의 구동장치(M)또는 개별적인 구동장치에서 액분리용 회전브러시(36)와 분진제거용 나선브러시(42)를 서로 독립적으로 같은 방향 또는 역방향으로 회전시키도록 하여도 좋다.

또한, 예컨대 제 3도에 도시한 바와같이 액분리장치(3)와 집진장치(4)를 서로 독립시켜, 액분리장치(3)의 출구(35)와 집진장치(4)의 도입구(47)를 중간덕트(10)로 연통시키도록 하여도 좋다. 여기서는 액분리장치(3)의 액분리용 회전브러시(36)를 구동하는 구동장치(M1)와, 집진장치(4)의 분진제거용 나선브러시(42)를 구동하는 구동장치(M2)는 따로따로 설치하고 있으나, 액분리용 회전브러시(36)와 나선브러시(42)를 연동시키는 적당한 전동기구를 가진 공통의 구동장치로 양자를 공통으로 구동하도록 하여도 좋다.

특히, 예컨대 제 3도에 도시한 바와 같이 갑체(41)의 윗벽(41b)과 독립적으로 필터(43)의 중공부분 또는 필터(43)의 윗면 전체를 윗쪽에서 덮는 덮개체(41C)를 설치하고, 이 덮개체(41C)의 윗쪽에 필터(43)의 바깥쪽 전둘레에 연속하는 정기실(44)이 균등하게 연이어 통하는 집합실(46)을 형성하고, 이 집합실(46)의 중앙에 도출구(45)를 개구시킴으로써, 필터(43)의 외주면으로부터 도출구(45)까지의 유로저항이 둘레방향으로 균등하게 되도록 할 수 있다. 그리고, 이와 같이 필터(43)의 외주면으로부터 도출구(45) 까지의 유로저항을 둘레방향으로 균등하게 함으로써 필터(43)의 여과능력을 둘레방향으로 더욱 균일하게 할 수 있다.

또한, 상기 집진장치(4)의 갑체(41), 분진제거용 나선브러시(42)및 필터(43)는 종축에 한정되지 않으며, 예컨대 제 4도에 도시한 바와같이, 횡축에 배치하는 것도 가능하다.

그 뿐만 아니라, 상기 각 실시예에 있어서, 예컨대 제 4도에 도시한 바와같이 액분리장치(3)의 바닥벽(31d)을 깔때기형으로 형성하고, 그 하단에 연이어 설치한 취출구(31e)에 간막이밸브(37)를 설치하고, 이 간막이밸브(37)의 개폐에 의하여 액분리장치(3)내에서 회수되는 유분이나 수분 그리고 미립자분진 등의 폐기물을 수시로 꺼낼 수 있도록하여도 좋다.

상기 실시예에서는 분진제거기구로서 분진제거용 나선브러시(42)를 사용하여 집진장치(4)의 필터(43)의 내주면에 접촉시켜 정위치에서 회전가능하게 형성한 것에 대하여 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 원반형상의 액분리용 회전브러시 등 외에, 분진긁어내기용의 주걱 등을 사용하여 좌우 또는 상하로 이동하면서 회전시켜, 그 필터(43)에 포착된 분진을 제거, 회수하도록 하여도 좋은 것이다.

본 발명에 있어서, 액분리용 회전브러시나 분진긁어내기용의 주걱이 나선형상으로 형성되어 있는 경우에는 이들이 연속적으로 형성되어 있는 경우 외에 간헐적으로 형성되며, 더욱이 전체적으로 나선형상으로 되어 있는 것을 들 수 있다.

또, 상기 실시예에서는 분진의 발생원으로서 미립자 분진을 대량으로 발생하는 반도체소자 제조공업의 예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 분진의 발생원으로서 예컨대 플라스틱공업, 자원산업, 세라믹공업, 분말야금공업, 세제공업, 촉매공업, 폐라이트공업, 색재공업, 농약공업, 사료가공업, 식품공업, 폐기물처리산업, 바이오 관련산업, 화장품공업 및 의약품공업 등에 있어서도 알맞게 적용된다.

[발명의 효과]

이상에 설명한 바와 같이, 본 발명 장치는 분진발생원으로부터 집진장치에 도입되는 기체로부터 미리 수분 및 유분을 제거하는 액분리장치가 설치되어 있고, 상기 집진장치는 통형으로 형성된 필터와, 이 필터의 바깥주위에 형성되는 정기실과, 이들 필터 및 정기실을 둘러싸고, 또한 필터의 안쪽에 액분리장치로부터 기체를 도입하는 도입구와 정기실을 외부로 연이어 통하는 도출구를 가진 갑체와, 필터의 내주면을 따라 회전하는 분진제거기구와, 이 분진제거기구를 구동하는 구동장치를 구비한다.

이에 의하여 분진을 함유하는 기체를 분진발생원으로부터 집진장치에 도입하기 전에, 액분리장치에 의하여 상기 기체로부터 유분 및 수분을 제거하고, 통형상으로 형성된 집진장치의 필터의 안쪽에서 바깥쪽으로 상기 기체를 관류시켜 여과하는 한편, 이 필터에 내접하여 분진제거 기구를 수시로 또는 상시 연속하여 회전시킴으로써, 필터의 내주면을 청소하여 필터에 포착된 분진을 제거하고, 이 분진을 회수하는 본 발명 방법을 실시할 수 있다.

그리고, 본 발명 방법을 실시함으로써, 장기간에 걸쳐 분진을 함유한 기체로부터 0.3μm 이하의 미립자분진도 효율적으로 분리 ·제거할 수 있어서, 유해물질의 방산에 의한 공해를 방지할 수 있다.

또, 본 발명 방법을 실시함으로써 필터를 역세하는 대규모의 역세장치는 불필요하게 되므로, 장치전체의 소형화를 꾀할 수 있음과 동시에, 콤팩트화를 꾀할 수 있다.

본 발명 장치에 있어서는 특히 분진발생원으로부터 차례로 액분리장치, 집진장치를 거쳐 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기가 설치되어 있는 경우에는 분진발생원으로부터 액분리장치 및 집진장치에 효율적으로 분진을 함유한 기체를 보낼 수 있는 결과, 미립자 분진의 회수효율을 높일 수 있다.

또, 본 발명장치에 있어서는 액분리장치가 내부에 종축원통형의 액분리실과, 이 액분리실의 하부에 분진발생원으로부터의 기체를 도입하는 입구와, 액분리실의 상부로부터 집진장치에 기체를 유출시키는 출구를 가진 갑체와, 상기 액분리실이 입구와 출구 사이에서 종축심 둘레에 회전가능하게 배치되고, 또한 상기 액분리실을 전면적으로 횡단하는 원반형상 또는 나선형상의 액분리용 회전브러시와, 이 액분리용 회전브러시를 구동하는 구동장치를 구비하도록 구성할 수 있다.

이러한 액분리장치에 있어서, 원반형상의 액분리용 회전브러시를 사용하는 경우에는 분진발생원으로부터 분진을 함유하는 기체를 수평회전하는 원반형상의 액분리용 회전브러시의 아래쪽에서 윗쪽으로 지나서 그 액분리용 회전브러시의 털 사이에 수분 및 유분을 포착시켜, 이 회전브러시에 포착된 수분 및 유분을 원심력에 의하여 액분리용 회전브러시의 주위에 설치한 액분리실의 내주면에 운반하여, 자중에 의하여 액분리실의 내주면을 따라 낙하시켜 액분리실내의 바닥부에 저류하는 한편 액분리용 회전브러시의 윗쪽으로 통과한 기체를 집진장치로 유도하는 방법을 실시할 수 있다.

그리고, 이 방법에 의하면, 수분 및 유분을 분리하기 위하여 기체가 통과하는 액분리용 회전브러시에 의한 압손이 작으므로, 송풍기로서 저능력이고 소형의 것을 사용할 수 있는 결과, 장치를 더욱 소형으로, 그리고 콤팩트화할 수 있음과 동시에, 설비비 및 런닝코스트를 삭감할 수 있다.

또, 본 발명 장치에 있어서, 특히 액분리장치가 액분리실의 바닥부에 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체가 배치되어 있는 경우에는 분리된 수분이나 유분 또는 수분이나 수분과 유분을 이 폴리머에 흡수시켜 그 폴리머와 함께 폐기하는 방법을 실시할 수 있으므로, 이 방법을 실시함으로써 분리된 수분이나 유분 또는 수분과 유분의 폐기처리가 지극히 용이하게 행할 수 있는 것이다.

또, 본 발명 장치에 있어서, 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리가능하게 형성되어 있는 경우에는, 액분리실에서 분리되어, 그 바닥부에 저류된 페기물을 액분리실의 하부마다 후처리장으로 운반하는 방법을 실시할 수 있으므로, 이 방법을 실시함으로써 후처리장으로의 운반시에 작업원이 폐기물에 접촉할 필요가 없어져서 더욱 안전성을 높일 수 있다.

또, 본 발명 장치에 있어서, 집진장치의 분진제거기구가 필터의 축심에 위치하는 중심축을 중심으로 하여 털이 나선면을 형성하도록 나란한 나선브러시를 사용하는 경우, 이 나선브러시가 집진장치의 구동장치에 의하여 회전함으로써 필터의 안쪽의 기체에 브러시의 기체도입쪽으로부터 반대쪽(도출쪽)으로 흐르게 할 수 있는 결과, 필터의 전면에 걸쳐 균등한 압력으로 기체를 유입시키는 방법을 실시할 수 있는 것이고, 필터의 여과작용을 전면에 걸쳐 평균화시킬 수 있으므로, 국부적으로 분진이 모여 막히는 것을 방지할 수 있다.

또, 본 발명 장치에 있어서, 집진장치의 분진제거기구가 필터의 축심에 위치하는 중심축을 중심으로 하여 털이 나선면을 형성하도록 나란한 나선브러시를 사용하는 경우, 이 나선브러시가 수시로 집진장치의 구동장치에 의하여 필터둘레면을 위에서 아래로 쓰는 방향으로 구동됨으로써, 상기 집진장치의 분진제거기구를 필터의 내주면을 위에서 아래로 쓰도록 이동시키는 본 발명방법을 실시할 수 있어서, 이 방법을 실시함으로써 나선브러시 및 필터로부터 원활히 그리고 효율적으로 미립자분진을 털어 떨어뜨릴 수 있다.

또, 본 발명 장치에 있어서, 집진장치가 액분리장치의 윗쪽에 배치되어, 집진장치의 도입구로부터 액분리장치의 출구에 겸용되는 경우에는 본 발명 방법에 있어서, 집진장치로 부터 낙하하는 분진을 액분리실에 낙하시켜 액분리실의 바닥부에 저류시키는 방법을 실시할 수 있는 것이며, 이에 의하여 액분리장치로부터 집진장치와의 사이에서 기류로 부터 분진이 분리되어 쌓이면, 액분리장치로부터 집진장치까지의 유로저항에 의한 압손이 생기는 일 등이 방지됨과 동시에, 장치전체를 더욱 소형으로, 그리고 콤팩트화하고, 또 회수된 분진 등의 후처리장으로의 운반의 안전성을 높일 수 있다.

또, 본 발명 장치에 있어서, 집진장치의 필터가 안쪽에서 바깥쪽으로 차례로 틈이 작아지는 3 층 이상의 필터를 적층한 적층필터로 구성되는 경우에는 각 층의 필터의 틈이 겹쳐지고, 특히 최종층과 그 앞의 층의 필터의 틈이 겹쳐짐으로써 포집가능한 분진의 최소입경을 0.3μm 보다도 작게할 수 있다.

이 경우, 상기 적층필터가, 틈의 크기가 200μm 정도의 제 1층 필터와, 틈의 크기가 50∼200μm 의 제 2층 필터와 틈의 크기가 50∼1μm 의 제 3층 필터로 된 3 층의 적층필터로 된 경우에는 포집가능한 분진의 최종 입경을 0.01 7m 정도로 할 수 있다.

그리고, 이 3 층의 적층필터로 집진장치의 필터를 구성하는 경우에는 적층필터의 두께를 5mm 이상으로 하고, 제 1층 필터의 두께가 적층필터의 전두께의 20∼50%, 제 2층 필터의 두께가 적층필터의 전두께의 30∼60%, 제 3층 필터의 두께가 적층필터의 전두께의 1∼25%로 함으로써, 충분한 기계적 강도를 얻을 수 있을 뿐만 아니라 뛰어난 분진의 제거효과를 얻을 수 있는 것이다.

Claims (31)

1. 분진발생원으로부터의 분진을 함유하는 기체를 필터로 유도하여 분진을 분리시켜 회수하는 분진의 제거방법에 있어서, 상기 기체를 집진장치로 도입하기 전에 상기 기체로부터 유분 및 수분을 제거한 후, 통형으로 형성된 집진장치의 필터의 안쪽에서 바깥쪽으로 상기 기체를 관류시켜 여과하는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
2. 제 1 항에 있어서, 분진제거기구가 집진장치의 필터의 내주면에 접촉시켜, 정위치에서 회전가능하게 또는 좌우 또는 상하로 이동시키면서 회전가능하게 형성함으로써, 상기 필터의 내주면을 청소하여 그 필터에 포착된 분진을 제거·회수하는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
3. 제 2 항에 있어서, 분진제거기구가 집진장치의 필터에 내접하여 수시로 또는 항상 연속하여 작동되는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 분진제거기구가 분진제거용 회전브러시 또는 분진 긁어 내기용의 주걱인 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
5. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한항에 있어서, 분진발생원으로부터의 분진을 함유하는 기체를 수평회전하는 액분리용 회전브러시의 아래쪽으로부터 윗쪽으로 통하여, 그 액분리용 회전브러시의 털의 사이에 수분 및 유분을 포착시키고, 이 액분리용 회전브러시에 포착된 수분 및 유분을 원심력에 의하여 그 액분리용 회전브러시의 주위에 설치한 액분리실의 내주면으로 운반하여, 자중에 의하여 액분리실의 내주면을 따라 낙하시켜 액분리실내의 바닥부에 저류하는 한편, 액분리용 회전브러시의 윗쪽으로 통과한 기체를 집진장치로 유도하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
6. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한항에 있어서, 분리된 수분이나 유분 또는 수분과 유분을 액분리실의 바닥부에 배치한 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체에 흡수시켜, 이들 폴리머와 함께 폐기하는 것을 특징으로 하는 분진제거 방법.
7. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한항에 있어서, 집진장치로부터 낙하하는 분진을 액분리실에 낙하시켜 그 액분리실의 바닥부에 저류시키는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
8. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한항에 있어서, 분진발생원이 반도체소자 제조공정에 있어서의 분진을 발생하는 설비 및 이에 부대하는 설비인 것을 특징으로 하는 분진제거 방법.
9. 분진발생원으로부터 도입한 분진을 함유하는 기체중의 분진을 필터로 여과하여 제거하는 집진장치를 갖춘 분진의 제거장치에 있어서, 분진발생원으로부터 집진장치에 도입되는 기체중의 수분 및 유분을 미리 제거하는 액분리장치가 설치되어 있는 한편, 상기 집진장치는 통형상으로 형성된 필터와, 이 필터의 바깥주위에 형성되는 정기실과, 이들 필터 및 정기실을 둘러싸고, 또한 필터의 개구부로부터 안쪽으로 액분리장치로 부터의 기체를 도입하는 도입구와, 정기실을 외부로 연이어 통하는 도출구를 가진 갑체와, 필터의 내주면에 접촉하여 회전하는 분진제거기구와, 이 분진제거기구를 구동하는 구동장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
10. 제 9 항에 있어서, 액분리장치가 액분리용 회전브러시를 갖추고 있으며, 이 액분리용회전브러시가 원반형상 혹은 나선형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 분진발생원으로부터 차례로 액분리장치, 집진장치를 거쳐 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
12. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 액분리장치가 내부에 종축원통형의 액 분리실과, 이 액분리실의 하부에 분진발생원의 기체를 도입하는 입구와. 액분리실의 상부로부터 집진장치에 기체를 유출시키는 출구를 가진 갑체와, 상기 액분리실을 입구와 출구와의 사이에서 종축심 둘레에 회전가능하게 배치되며, 또한 상기 분리실을 횡단하는 원반형상 또는 나선형상의 액분리용 회전브러시와, 이 액분리용 회전브러시를 구동하는 구동장치를 구비한 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
13. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 액분리실의 바닥부에 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체가 배치되는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
14. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
15. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 집진장치의 분진제거기구가 분진제거용 회전브러시로 이루어지고, 이 분진제거용 회전브러시가 집진장치의 필터의 축심에 위치하는 중심축을 중심으로하여 털이 나선면을 형성하도록 나란한 나선브러시로 이루어지며, 이 나선브러시가 집진장치의 구동장치에 의하여 회전하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 분진제거 장치.
16. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 집진장치의 분진제거기구가 집진장치의 필터의 축심에 위치하는 중심축과, 이 중심축에 식모된 털로 이루어지고, 이 털이 필터의 내주면에 접촉하여, 그 구동장치에 의하여 회전함으로써 필터의 분진을 제거하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
17. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 집진장치의 도입구가 액분리실의 윗쪽에 배치되고, 또한 이 액분리실의 출구에 겸용되는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
18. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 집진장치의 필터가 안쪽으로부터 바깥쪽으로 차례로 틈이 작아지는 3 층 이상의 필터를 적층한 적층필터로 구성되는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
19. 제 18 항에 있어서, 적층필터가, 틈의 크기가 200μm 정도의 제 1층 필터와, 틈의 크기가 50∼ 200μm 인 제 2층 필터와, 틈의 크기가 제 2층 필터보다도 작고 1μm 보다 큰 제3층 필터로 된 3 층의 적층필터로 된 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
20. 제 15 항에 있어서, 적층필터의 두께가 5mm 이상이고, 제 1층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 20∼50% 이고, 제 2층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 30∼60% 이고, 제 3층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 1∼25% 인 것을 특징으로 하는 분진제거 장치.
21. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 분진발생원이 반도체소자 제조공정에 있어서의 분진발생설비 및 이에 부대하는 분진발생설비인 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
22. 제 4 항에 있어서, 분진발생원으로부터의 분진을 함유하는 기체를 수평회전하는 액분리용 회전브러시의 아래쪽으로부터 윗쪽으로 통하여, 그 액분리용 회전브러시의 털의 사이에 수분 및 유분을 포착시키고, 이 액분리용 회전브러시에 포착된 수분 및 유분을 원심력에 의하여 그 액분리용 회전브러시의 주위에 설치한 액분리실의 내주면으로 운반하여, 자중에 의하여 액분리실의 내주면을 따라 낙하시켜 액분리실내의 바닥부에 저류하는 한편, 액분리용 회전브러시의 윗쪽으로 통과한 기체를 집진장치로 유도하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
23. 제 4 항에 있어서, 분리된 수분이나 유분 또는 수분과 유분을 액분리실의 바닥부에 배치한 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체에 흡수시켜, 이들 폴리머와 함께 폐기하는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
24. 제 5 항에 있어서, 분리된 수분이나 유분 또는 수분과 유분을 액분리실의 바닥부에 배치한 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체에 흡수시켜, 이들 폴리머와 함께 폐기하는 것을 특징으로 하는 분진제거방법.
25. 제 11 항에 있어서, 액분리장치가 내부에 종축원통형의 액 분리실과, 이 액분리실의 하부에 분진발생원의 기체를 도입하는 입구와, 액분리실의 상부로부터 집진장치에 기체를 유출시키는 출구를 가진 갑체와, 상기 액분리실을 입구와 출구와의 사이에서 종축심 둘레에 회전가능하게 배치되며, 또한 상기 분리실을 횡단하는 원반형상 또는 나선형상의 액분리용 회전브러시와, 이 액분리용 회전브러시를 구동하는 구동장치를 구비한 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
26. 제 11 항에 있어서, 액분리실의 바닥부에 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체가 배치되는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
27. 제 12 항에 있어서, 액분리실의 바닥부에 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체가 배치되는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
28. 제 11 항에 있어서, 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
29. 제 12 항에 있어서, 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
30. 제 13 항에 있어서, 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
31. 제 16 항에 있어서, 적층필터의 두께가 5mm 이상이고, 제 1층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 20∼50% 이고, 제 2층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 30∼60% 이고, 제 3층 필터의 두께가 적층필터 전체의 두께의 1∼25% 인 것을 특징으로 하는 분진제거 장치.