KR100270417B1 - 가스 방전형 표시 패널, 그것을 이용한 표시 장치및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

가스 방전형 표시 패널이, 전면(前面) 기판과 배면(背面) 기판을 밀봉 부착 부재로 밀봉 부착함으로써 형성된다. 전면 기판에 형성된 유전체의 유리 전이점 Tg와, 전면 기판과 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf 간에, Tg ≥ Tf 관계가 성립한다.

Description

가스 방전형 표시 패널, 그것을 이용한 표시 장치 및 그 제조 방법.

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 등의 가스 방전형 표시 패널 및 그 표시 장치에 관한 것이다.

플라즈마 디스플레이 등의 가스 방전형 표시 장치는 자기 발광에 의해 표시를 행하기 때문에, 시야 각이 넓고, 표시가 보기 쉽다. 또한, 박형(薄型)의 것을 제작할 수 있거나 대화면을 실현할 수 있는 등의 특징을 갖고 있으며, 정보 단말 기기의 표시 장치나 고품위 텔레비전 수상기로의 응용이 시작되고 있다. 플라즈마 디스플레이는 직류 구동형과 교류 구동형으로 대별된다. 이 중, 교류 구동형의 플라즈마 디스플레이는 전극을 덮고 있는 유전체층의 메모리 작용에 의해 휘도가 높고, 보호층이 형성되어 실용적으로 내성을 갖는 수명을 얻을 수 있게 되었다. 그 결과, 플라즈마 디스플레이는 다용도의 비디오 모니터로서 실용화되고 있다.

도 4는 실용화된 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 도시하는 사시도이다. 이 도면에서는, 보기 쉽게 하기 위해, 전면(前面) 기판(100)을 배면(背面) 기판(200)과 방전 공간 영역(300)으로부터 분리하여 도시하였다.

전면 기판(100)은, 전면 유리 기판(400) 상에 ITO(Indium Tin Oxide)나 산화 주석(SnO2) 등의 투명 도전 재료로 이루어진 표시 전극(600)과 저 저항 재료로 이루어진 버스 전극(700), 투명한 절연 재료로 이루어진 유전체층(800), 산화 마그네슘(MgO) 등의 재료로 이루어진 보호층(900)이 형성된 구조로 되어 있다.

배면 기판(200)은, 배면 유리 기판(500) 상에 어드레스 전극(1000)과 배리어 리브(1100), 형광체층(1200)이 형성된 구조로 되어 있다. 또한, 도시하지 않았지만, 어드레스 전극(1000) 상에도 유전체층(1300)이 형성되어 있다.

그리고, 전면 기판(100)과 배면 기판(200)을, 표시 전극(투명 전극 : 600)과 어드레스 전극(1000)이 거의 직교하도록 고착(fixed)시킴으로써, 방전 공간 영역(300)이 전면 기판(100)과 배면 기판(200) 사이에 형성되어 있다.

또한, 도시하지 않았지만, 전면 기판(100)과 배면 기판(200)과의 사이에 방전 가스를 봉입하기 위해, 외주부(外周部)를 유리 재료로 이루어진 밀봉 부착재로 밀봉 부착한 구조로 되어 있다.

이 가스 방전형 표시 장치에서는, 전면 기판(100)에 설치한 1쌍의 표시 전극(600) 사이에 교류 전압을 인가하고, 배면 기판(200)에 설치한 어드레스 전극(1000)과 표시 전극(600) 사이에 전압을 인가함으로써 어드레스 방전을 발생시키고, 소정의 방전 셀에 주 방전을 발생시킨다. 상기 주 방전으로 발생되는 자외선에 의해 각각의 방전 셀에 각각 도포된 적, 녹 및 청색의 형광체(1200)를 발광시켜, 표시를 행하고 있다. 전극으로의 전압 인가는 도시하지 않은 구동 장치에 의해 행해진다.

여기서 나타낸 가스 방전형 표시 장치의 종래예는, 예를 들면 "플랫 패널 디스플레이 1996" [니케이(日經) 마이크로디바이스편, 1995년]의 208 ∼ 215 페이지에 기재되어 있다.

본 발명의 목적은, 유전체층 상의 2차 전자 방출 특성이 높은 보호층에 크랙이 발생하는 것을 방지함으로써, 화질이 우수한 가스 방전형 표시 패널을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 밀봉 부착재의 고온 처리 시의 신뢰성을 향상시킴으로써, 신뢰성이 우수한 가스 방전형 표시 패널을 제공하는 것이다.

이러한 플라즈마 디스플레이 패널에서는, 형광체(1200)를 발광시키기 위해, 2차 전자 방출 특성이 높은 MgO 등의 보호층(900)을 형성하고 있지만, 상기 보호층(900)에 크랙이 발생하는 것이 큰 문제로 되어 있다. 보호층(900)에 크랙이 발생하면, 화질 자체가 열화해 버린다.

본 발명은, 유전체층 상의 MgO 박막의 크랙을 방지하는 것을 제1 과제로 한다.

한편, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 기판(100)과 배면 기판(200)을 밀봉 부착재로 밀봉 부착한 구조로 된다. 그리고, MgO 등의 보호층(900)을 활성화하기 위해 그 밀봉 부착된 패널을 고온 처리하는 경우가 있다. 이 경우, 보다 고온에서 MgO 등의 보호층(900)을 활성화시키고 싶지만, 그 온도는 전면 기판(100)과 배면 기판(200)을 밀봉 부착하는 온도로 제한되어 버린다. 이것은, 밀봉 부착 온도 이하에서 활성화 처리하지 않으면, 밀봉 부착재가 연화하여, 전면 기판(100)과 배면 기판(200)과의 접속 강도의 열화나, 봉입한 희소 가스(rare gas) 등의 방전 가스의 누설을 야기할 가능성이 있기 때문이다.

본 발명은, 밀봉 부착재의 고온 처리 시의 신뢰성을 향상시키는 것을 제2 과제로 한다

본 발명자들은, MgO 박막의 크랙의 발생 원인에 대해 검토한 바, 크랙의 발생은 전면 기판과 배면 기판을 밀봉재로 밀봉 부착하는 온도 Tf와 밀접하게 관계하고 있는 것을 판명하였다. 즉, MgO 박막은 후막(厚膜) 프로세스를 이용하여 형성한 유전체층 상에 형성되지만, 상기 유전체층과 MgO 박막에 열 팽창차가 있기 때문에, 상술한 밀봉 부착 온도 Tf에서 각각 열 팽창하고, 이 열 팽창하는 차가 원인으로 크랙이 발생되는 것을 알 수 있었다.

도 5는 유전체 재료와 MgO에서의 온도와 열 팽창과의 관계를 도시한 것이다. 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이, MgO는 온도에 대해 거의 직선적으로 증가할 뿐이지만, 일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널로 이용되는 유전체 재료는 유리 재료이기 때문에, 유전체 재료는 어느 한 온도를 경계로 급격히 증가한다. 일반적으로, 상기 온도를 유리 전이점 Tg라고 한다. 이 유리 전이점에 대해서는, "유리의 화학" (제1판 1972년 4월 24일 발행) 119 ∼ 120 페이지에 상세히 기재되어 있다.

따라서, 상술한 밀봉 부착 온도 Tf가 유전체층에 이용되는 유전체 재료 고유의 유리 전이점 Tg이상이면, 어느 정도 유전체층과 MgO의 열 팽창하는 차가 확대해되어, MgO에 크랙이 발생해 버린다.

그래서, 본 발명은 상기 제1 목적을 달성하기 위해, 전면 기판과 배면 기판을 밀봉 부착 부재에 의해 밀봉 부착하는 가스 방전형 표시 패널에 있어서, 유전체 재료와 밀봉 부착 재료의 적절한 선택에 따라, 상기 전면 기판에 형성된 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계를 Tg≥Tf 로 한 것이다.

또한, 전면 기판과 배면 기판을 갖는 가스 방전형 표시 패널과, 상기 가스 방전형 표시 패널에 구동 파형을 공급하는 구동 회로를 구비한 표시 장치에 있어서, 상기 전면 기판에 형성된 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계가 Tg≥Tf로 한 것이다.

이와 같이, 유전체의 유리 전이점 이하에서 밀봉 부착하면, 유전체층이 팽창하는 비율은 거의 MgO막과 동일하게 할 수 있으므로 (급격하게 증가하는 일은 없으므로), 유전체층과 MgO막의 팽창차가 원인이 되어 MgO막에 크랙을 발생시키는 것을 억제할 수 있다. 또한, MgO막에 발생하는 크랙을 억제할 수 있으면, 화질의 열화를 억제할 수 있다.

그런데, 상기 MgO막 등의 보호층은 성막 온도를 250∼300℃ 정도의 고온에서 진공 증착시키는 것이 바람직하다. 이러한 조건에서 성막한 MgO막에는 그 냉각 과정에서 압축 응력이 나타난 상태가 된다. 따라서, 이와 같이 고온에서 성막한 MgO에서는 내재하는 압축 응력에 의해, 밀봉 부착 시의 유전체층의 팽창을 억제할 수 있기 때문에, 또한 MgO막에 발생하는 크랙을 억제할 수 있다는 것이 실험을 통해 알 수 있었다. 상기 실험 결과에 대해서는 후술하겠다.

즉, 본 발명은 상기 제1 목적을 달성하기 위해, 전면 기판과 배면 기판을 밀봉 부착 부재에 의해 밀봉 부착하는 가스 방전형 표시 패널에 있어서, 상기 전면 기판에 형성된 유전체와 상기 유전체 상에 가열하여 형성된 보호층을 구비하고, 상기 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계를 Tg≥(Tf-20℃)로 한 것이다.

또는, 전면 기판과 배면 기판을 갖는 가스 방전형 표시 패널과, 상기 가스 방전형 표시 패널에 구동 파형을 공급하는 구동 회로를 구비한 표시 장치에 있어서, 상기 전면 기판이 유전체와 상기 유전체 상에 가열하여 형성된 보호층을 갖고, 상기 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계를 Tg≥(Tf-20℃)로 한 것이다.

또, 어느 경우에나 MgO의 열 팽창 계수와 유전체 재료의 유리 전이점까지의 열 팽창 계수를 거의 동일하게 함으로써, 밀봉 부착 시의 열 팽창차를 없앨 수 있으므로 바람직하다.

한편, 본 발명자들은 밀봉 부착재의 고온 처리 시의 신뢰성을 향상시키기 위해서는 밀봉 부착재에 결정화 재료를 이용하면 되는 것을 밝혔다.

즉, 본 발명은 상기 제2 목적을 달성하기 위해, 전면 기판과 배면 기판을 밀봉 부착 부재에 의해 밀봉 부착하는 가스 방전형 표시 패널에 있어서, 상기 밀봉 부착 부재를 결정화 재료로 구성한 것이다.

또는, 전면 기판과 배면 기판을 갖는 가스 방전형 표시 패널과, 상기 가스 방전형 표시 패널에 구동 파형을 공급하는 구동 회로를 구비한 표시 장치에 있어서, 상기 밀봉 부착 부재를 결정화 재료로 구성한 것이다.

이 경우, 상기 결정화 재료로서 밀봉 부착 시에 거의 결정화되는 재료를 이용하는 것이 바람직하다.

도 6에, 비정질 재료와 결정화 재료의 온도에 대한 점도 특성η을 도시한다.

도면으로부터 알 수 있듯이, 비정질 재료는 밀봉 부착 후에도 온도가 상승할수록 연화(軟化)하는 경향이 있다.

이에 대해, 결정화 재료는 소정의 온도에서 밀봉 부착하면, 결정화 반응이 진행하여, 최종적으로 결정화 상태가 된다. 이 때문에, 밀봉 부착할 때까지의 결정화 재료가 갖는 특성과, 밀봉 부착 후의 결정화 재료의 특성은 크게 다르고, 밀봉 부착 후의 결정화 재료는 밀봉 부착 전에 비해 매우 연화하기 어려운 거의 일정한 특성이 된다.

따라서, 이 결정화 재료를 밀봉 부착재에 이용하면, 예를 들면 상기 제1 목적을 만족하는 온도에서 밀봉 부착한 경우, 그 결정화된 밀봉 부착재는 상술한 밀봉 부착 온도 이상에서 활성화 처리를 행하더라도 연화하기 어렵고, 전면 기판(100)과 배면 기판(200)과 접속 강도의 열화나, 봉입된 희소 가스 등의 방전 가스의 누설을 억제할 수 있다. 즉, 종래에 비해 고온 처리에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일례를 도시하는 단면도.

도 2는 본 발명의 실험 결과를 도시하는 도면.

도 3은 본 발명의 실험 결과를 도시하는 도면.

도 4는 종래 기술을 도시하는 단면도.

도 5는 본 발명의 원리를 도시하는 도면.

도 6은 본 발명의 원리를 도시하는 도면.

도 7은 크랙의 발생 유무를 도시하는 사진.

도 8은 크랙의 발생 유무를 도시하는 사진.

도 9는 크랙의 발생 유무를 도시하는 사진.

도 10은 크랙의 발생 유무를 도시하는 사진.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

1 : 전면 기판

2 : 배면 기판

3 : 표시 전극

4 : 버스 전극

5 : 어드레스 전극

6, 7 : 후막 유전체층

8 : 보호층

9 : 밀봉재

10 : 격벽

11 : 형광체층

이하, 본 발명을 도면을 이용하여 상세하게 설명한다.

도 1은 플라즈마 디스플레이 패널의 구성과, 그 제조 공정의 일례를 도시한 것이다.

도면에서, 참조 번호 1은 전면(前面) 기판, 2는 배면(背面) 기판, 3은 전면 기판(1) 상에 형성된 투명 전극, 4는 투명 전극(3) 상에 형성된 금속 전극, 5는 배면 기판(2) 상에 형성된 금속 전극, 6, 7은 투명 전극(3) 및 금속 전극(4, 5)을 각각 덮도록 형성된 후막 유전체층, 8은 MgO막, 9는 밀봉 부착부이다.

우선, 전면 기판(1)에 투명 전극(3)과 금속 전극(4)을 포토리소그래피, 에칭에 의해 형성한다. 다음에, 이들 투명 전극(3)과 금속 전극(4)의 거의 전면(全面)을 덮도록 인쇄 소성 공정에서 후막 유전체층(6)을 형성한다. 그 후, 형성된 후막 유전체층(6) 상에 MgO막(8)을 진공 속에서 형성한다. 상기 MgO막(8)은 후막 유전체층(6)으로부터 내측 전면(全面)에 형성한다.

마찬가지로 하여, 배면 기판(2)에 금속 전극(5), 후막 유전체(7)를 형성한다. 그리고 격벽(隔壁: 10)을 샌드블러스트법 등으로 형성하고, 형광체(11)를 도포한다.

이와 같이 형성된 전면 기판(1)과 배면 기판(2)을 도면과 마찬가지로 위치 정렬하여 밀봉 부착재(9)로 주위를 밀봉 부착한다. 예를 들면, 밀봉 부착재(9)로서는 일반적으로 비정질 또는 결정화 납 유리가 사용된다. 그 외에, 바나듐계 유리를 사용하는 것도 가능하다. 그 후, 도시하지는 않았지만, 배면 기판(2)에 뚫려진 구멍을 통해 패널 내부를 진공으로 한 후, 희소 가스등의 방전 가스를 도입하여 플라즈마 디스플레이 패널을 완성한다.

도 2 및 도 3은 이러한 구성의 플라즈마 디스플레이 패널에서, 후막 유전체층(6)이 되는 유전체 재료의 유리 전이점 Tg (350≤Tg≤480℃)와, 밀봉 온도 (400≤Tf≤450℃)와의 관계(실험 결과)를 나타낸 것이다. 후막 유전체층(6)의 유전체 재료로서는, 붕소 규소산 납계(lead borosilicate) 유전체를 이용하였다. 또, 도 2는 MgO막을 실온에서 형성한 경우이고, 도 3은 MgO막을 약 250℃에서 성막한 경우의 실험 결과이다. 유전체층(6)의 유전체 재료로서는 바나듐계 유리를 사용하는 것도 가능하다.

도면으로부터 알 수 있듯이, 실온에서 MgO막을 성막하는 경우는 Tg≥Tf를 만족하면, 또한 250℃에서 MgO막을 성막한 경우에는 Tg≥(Tf-20℃)을 만족하면, 크랙의 발생이 없는 것을 알 수 있다.

즉, 상기 조건을 만족함으로써, 후막 유전체층과 MgO막의 열 팽창을 거의 동일하게 하고 (후막 유전체층이 유리 전이점을 넘어 급격히 열 팽창하는 것을 억제하고), MgO막에 발생하는 크랙을 억제할 수 있는 것을 알 수 있다. 또한, MgO막을 약 250℃에서 성막함으로써, 이것에 의해 발생되는 수축 응력이 크랙을 억제하는데 효과가 있는 것도 알 수 있다.

도 7∼도 10은 도3에 도시하는 시료의 크랙 발생의 유무를 도시한 사진이다.

도 7은 시료 No.10 (연화점 400℃)을 약 430℃에서 밀봉 부착한 것으로, 도면과 같은 크랙의 발생이 확인되었다.

도 8은 시료 No.10 (연화점 400℃)을 약 410℃에서 밀봉 부착한 것으로, 도면과 같이 크랙은 발생하지 않았다.

도 9는 시료 No.7 (연화점 415℃)을 약 430℃에서 밀봉 부착한 것으로, 도면과 같이 크랙은 발생하지 않았다.

도 10은 시료 No.7 (연화점 415℃)을 약 410℃에서 밀봉 부착한 것으로, 도면과 같이 크랙은 발생하지 않았다.

이상의 실험 결과로부터, Tg≥(Tf-20℃)을 만족하면, 크랙의 발생이 없는 것을 알 수 있다.

본 실시예에서는, MgO막을 약 250℃에서 성막한 실험 결과를 나타냈지만, 고온에서 처리하는 경우에 발생하는 가스량과, 진공도로의 영향과의 관계로부터 유도해 낸 거의 상한의 성막 조건을 나타내고 있지만, 본 발명은 상기 예에 한정되는 것이 아니다.

또한, MgO 이외의 보호층을 사용했다고 해도, 본 발명의 원리에 따라 2차 전자 방출 특성이 좋고 내스퍼터성이 우수한 재료를 사용하면, 본 발명과 동일한 효과를 얻을 수 있다.

또한, 후막 유전체층과 MgO막 사이에 절연성 무기 박막을 형성했다고 해도, 후막 유전체층과 절연성 무기박막 사이, 혹은 후막 유전체층과 MgO막 사이의 열 팽창차의 원인으로 발생하는 크랙을 방지할 수 있다.

또한, 전면 기판이나 배면 기판의 구조나 전극 구조, 격벽의 형상은 상술한 예에 한정되는 것이 아니라, 격벽의 형상이 상자형이나, 전면 기판에 형성되어 있는 경우 등이라도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 본 발명의 Tg와 Tf의 관계를 충족시키는 재료를 선택하면, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면 유전체의 절연 내압의 저하나, MgO막의 크랙을 방지하여, 깨끗한 화질을 실현하는 가스 방전형 표시 패널 및 표시 장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명은 밀봉 부착재의 고온처리 시의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Claims (10)

1. 전면(前面) 기판, 및

   상기 전면 기판과 밀봉 부착 부재에 의해 밀봉 부착되는 배면(背面) 기판

   으로 이루어지고,

   상기 전면 기판에 형성된 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계가 Tg ≥ Tf 인 것을 특징으로 하는 가스 방전형 표시 패널.
2. 전면 기판과 배면 기판을 갖는 가스 방전형 표시 패널, 및

   상기 가스 방전형 표시 패널에 구동 파형을 공급하는 구동 회로

   를 구비하고,

   상기 전면 기판에 형성된 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계가 Tg ≥ Tf 인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
3. 전면 기판,

   상기 전면 기판과 밀봉 부착 부재에 의해 밀봉 부착되는 배면 기판,

   상기 전면 기판에 형성된 유전체, 및

   상기 유전체 상에 가열하여 형성된 보호층

   을 구비하고,

   상기 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계가 Tg ≥ (Tf-20℃)인 것을 특징으로 하는 가스 방전형 표시 패널.
4. 전면 기판과 배면 기판을 갖는 가스 방전형 표시 패널,

   상기 가스 방전형 표시 패널에 구동 파형을 공급하는 구동 회로,

   상기 전면 기판 상에 형성된 유전체, 및

   상기 유전체 상에 가열하여 형성된 보호층

   을 구비하고,

   상기 유전체의 유리 전이점 Tg와, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판을 밀봉 부착하는 온도 Tf와의 관계가 Tg ≥ (Tf-20℃)인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
5. 전면 기판, 및

   상기 전면 기판과 밀봉 부착 부재에 의해 밀봉 부착되는 배면 기판

   으로 이루어지고,

   상기 밀봉 부착 부재를 결정화 재료로 구성한 것을 특징으로 하는 가스 방전형 표시 패널.
6. 제5항에 있어서, 상기 결정화 재료로서 밀봉 부착 시에 거의 결정화되는 재료를 이용한 것을 특징으로 하는 가스 방전형 표시 패널.
7. 전면 기판과 배면 기판을 갖는 가스 방전형 표시 패널, 및

   상기 가스 방전형 표시 패널에 구동 파형을 공급하는 구동 회로

   를 구비하고,

   밀봉 부착 부재를 결정화 재료로 구성한 것을 특징으로 하는 표시 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 결정화 재료로서 밀봉 부착 시에 거의 결정화되는 재료를 이용한 것을 특징으로 하는 표시 장치.
9. 전면 기판(1) 상에 투명 전극(3)과 제1 전극(4)을 형성하는 단계,

   상기 투명 전극(3)과 상기 제1 전극(4)의 거의 전면을 덮고, 상기 전면 기판(1) 상에 유리 전이점 Tg인 유전체로 이루어지는 후막(厚膜) 유전체층(6)을 형성하는 단계,

   상기 후막 유전체층(6) 상에, 2차 전자 방출을 행하는 보호층(8)을 형성하는 단계,

   배면 기판(2) 상에 제2 전극(5)을 형성하는 단계,

   상기 배면 기판(2)과 상기 제2 전극 상(5)에, 유리 전이점 Tg인 유전체로 이루어지는 후막 유전체(7)를 형성하는 단계,

   상기 전면 기판(1)과 상기 배면 기판(2)을 위치 정렬하고, 밀봉 부착재를 사용하여 밀봉 부착 온도 Tf(Tf≤Tg)에서 밀봉 부착하는 단계, 및

   상기 전면 기판(1)과 상기 배면 기판(1)을 밀봉 부착함으로써 형성된 공간을 진공으로 배기하고, 방전 가스를 도입하는 단계

   로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 방전형 표시 패널의 제조 방법
10. 전면 기판(1) 상에 투명 전극(3)과 제1 전극(4)을 형성하는 단계,

    상기 투명 전극(1)과 상기 제1 전극(4)의 거의 전면을 덮고, 상기 전면 기판(1) 상에 유리 전이점 Tg인 유전체로 이루어지는 후막 유전체층(6)을 형성하는 단계,

    상기 후막 유전체층(6) 상에, 2차 전자 방출을 행하는 보호층(8)을 형성하는 단계,

    배면 기판(2) 상에 제2 전극(5)을 형성하는 단계,

    상기 배면 기판(2)과 상기 제2 전극(5) 상에, 유리 전이점 Tg인 유전체로 이루어지는 후막 유전체(7)를 형성하는 단계,

    상기 전면 기판(1)과 상기 배면 기판(2)을 위치 정렬하고, 밀봉 부착재를 사용하여 밀봉 부착 온도 Tf(Tf≤Tg+20℃)에서 밀봉 부착하는 단계,

    상기 전면 기판(1)과 상기 배면 기판(2)을 밀봉 부착함으로써 형성된 공간을 진공으로 배기하고, 방전 가스를 도입하는 단계

    로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 방전형 표시 패널의 제조 방법.