KR100251647B1 - 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법 - Google Patents

Abstract

반도체 제조공정에서 웨이퍼 또는 소자를 관리하기 위하여 부여되는 로트 번호를 웨이퍼 최초 투입부터 창고 입고까지 추적하고 관리하도록 개선시킨 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법에 관한 것이다.

본 발명은, 특정 로트번호에 해당하는 파일에 대하여 써머리 포맷을 목적에 따라 선택하여 할당하는 제 1 공정, 파일명을 입력수단을 이용하여 입력하는 제 2 공정, 비교조회를 실시하여 데이터를 지정된 포맷으로 선택하는 제 3 공정, 예약된 파일 이름을 발생시키며 미리 데이터 선택에 따른 디렉토리가 할당되어서 정규 로트와 구분되어 테스트 중인 로트에 대한 파일을 다운로드하는 제 4 공정 및 테스트 프로그램에 따른 테스트 스텝이 선택되어 현재의 로트가 진행되는 위치를 알 수 있는 특정 첨자가 파일에 추가되는 제 5 공정을 구비하여 이루어진다.

따라서, 본 발명에 의하면 데이터 써머리 및 파일명을 이용하여 스텝별 예약기능을 수행할 수 있으므로 테스트 결과 파일의 관리가 명확히 이루어지고 예약기능이 실현되어 로트의 관리가 원활해지는 효과가 있다.

Description

반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법

본 발명은 반도체 테스트 공정 시스템의 로트(Lot) 예약 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조공정에서 웨이퍼 또는 소자를 관리하기 위하여 부여되는 로트 번호를 웨이퍼 최초 투입부터 창고 입고까지 효과적으로 추적하고 관리하도록 개선시킨 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법에 관한 것이다.

통상, 반도체 제조공정 중에 제품이 이동하는 단위를 로트라고 하며, 처음 웨이퍼를 제조공정에 투입하여 마지막으로 박스에 포장되어서 최종 사용자에게 갈 때까지 로트 번호는 고유 번호로 존재한다.

웨이퍼 제조공정에는 보통 6.8인치 경우 25장의 웨이퍼가 하나의 로트를 이루어 공정의 스텝별로 가공되고, 가공이 끝난 웨이퍼들은 웨이퍼 테스트를 거치면서 개별소자로 변경된다.

조립이 끝난 각각의 소자들은 패키지(Package) 상태로 테스트 공정을 거치면서 같은 전기적인 특성으로 분류된 제품끼리 모여서 또 다른 하나의 로트를 구성하게 된다.

보통 소자들은 3,000개에서 10,000개 사이의 수량으로 하나의 로트가 구성되며, 그 후 마킹(Marking), 패키지(Package) 공정을 통하여 창고로 입고된다.

따라서, 웨이퍼 수준에서도 한 개의 라인에서 수천개의 로트가 발생되고 있으며, 다시 조립시 소자의 스피드(Speed)나 패키지 타입별로 수 가지로 구분되므로, 결국 반도체 제조공정에서 로트는 수천개 이상 발생된다.

전술한 바와 같이 많은 수로 발생되는 각 로트를 이용하여 반도체장치가 관리되며, 반도체장치는 설계에서 제조까지 제품이 초기에 의도하였던 사양과 특성이 수율관리 및 품질관리를 통하여 보장되어야 하며, 이를 위하여 설계, 제조, 검사, 조립, 신뢰도 등의 모든 부분에서 다양한 개선활동이 필수적으로 수반되어야 하며, 제품관련 디자인 파라미터 변경(반도체 회로 포함), 원부자재 변경, 공정 변경, 설비조건 변경 및 테스트 조건 변경 등이 모든 스텝에서 적용되어야 한다.

스텝에 적용되는 로트는 실제 공정을 수행하는 엔지니어들이 주도하여 결과까지 마무리하기 때문에 다른 정상 로트들과 구분하여 엔지니어 로트(이하, 본 명세서에서 칭하는 로트는 엔지니어 로트임)라 부른다.

조건변경이 발생될 때 이에 해당되는 로트의 추적이 요구되나, 전술한 엄청난 양의 로트에서 원하는 로트를 추적하는 것은 상당히 어렵다.

즉, 공정에 의한 로트 흐름의 복잡성과 엄청난 양 때문에 로트는 다른 정상 로트와의 구분이 어려우며, 진행중에 변경된 조건을 수행하기 때문에 작업자의 실수나 부주의로 로트의 진행이 저해되거나 원하는 데이터를 얻는데 많은 노력과 시간이 소요되는 문제점이 있었다.

특히, 테스트 결과에 대한 데이터를 발생시키는 테스트 공정에서는 이동단위가 웨이퍼에서 개별소자로, 다시 전기적인 특성 분류에 의한 단위로 변환되므로 전술한 작업은 더욱 어려워진다.

한편, 종래의 테스터 장치는 크게 두 부분으로 구분되는데, 도1과 같이 측정기능을 가진 테스터(10)와 컨트롤을 위한 터미널 컴퓨터(12)이다. 이들 두 부분은 여러 개의 인터페이스 케이블로 연결되어 있다. 그리고, 터미널 컴퓨터(12)에는 키보드나 바코드리더 및 웨이퍼 인식코드 리더와 같은 입력부(14)가 연결되어 있다.

터미널컴퓨터(12)의 하드디스크(Hard Disk)로부터 특정 테스트 프로그램이 테스터(10)의 주기억장치에 로딩된다.(Up Loading) 그리고, 원하는 결과를 얻기 위한 파일명이 입력부(14)에 의하여 입력되며, 파일명이 입력된 후 지정된 로트의 마지막 제품의 테스트가 종료되면 기 설정되어 있는 파일명으로 테스트 데이터(일명 테스트 써머리(Test Summery))가 테스터로부터 터미널 컴퓨터(10)의 하드디스크로 이동되면서 테스트 결과에 대한 파일이 생성된다.(Down Loading)

그러나, 전술한 바와 같은 종래의 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 관리 방법으로는 검색기능이나 테스트 목적에 따른 데이터 써머리를 구체적으로 구분할 수 없어서 공정에 이용되는 효율성이 떨어졌으며, 발생된 파일도 명확하게 관리되지 못하는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 미리 정해진 로트들이 이동될 때 자동으로 설비에서 예약된 로트를 인지하고 써머리 포맷과 파일명의 관리 등을 이용하여 원하는 작업 및 결과를 생성하기 위한 로트 코드를 예약하는 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법을 제공하는 데 있다.

도1은 통상적인 반도체 테스트 공정 시스템을 나타내는 블록도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 공정 시스템의 로트 예약 방법을 나타내는 공정도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 테스터 12 : 터미널 컴퓨터

14 : 입력부

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법은, 전체 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 관리하기 위하여 부여되는 로트번호 및 그에 연관된 데이터를 터미널 컴퓨터와 테스터 간의 업로딩과 다운로딩으로 관리하는 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법에 있어서, 특정 로트번호에 해당하는 파일에 대하여 써머리 포맷을 목적에 따라 선택하여 할당하는 제 1 공정, 테스트 결과를 얻기위한 파일명을 입력수단을 이용하여 입력하는 제 2 공정, 비교조회를 실시하여 테스트데이터를 지정된 포맷으로 선택하는 제 3 공정, 예약된 파일 이름을 발생시키며 미리 데이터 선택에 따른 디렉토리가 할당되어서 정규 로트와 구분되어 테스트 중인 로트에 대한 파일을 다운로드하는 제 4 공정 및 테스트 프로그램에 따른 테스트 스텝이 선택되어 현재의 로트가 진행되는 위치를 알 수 있는 특정 첨자가 파일에 추가되는 제 5 공정을 구비하여 이루어진다.

그리고, 상기 제 2 공정에서 파일명은 로트번호에 해당하는 코드를 포함함이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

대부분의 로트 데이터는 조건 변경 결과를 테스트 영역에서 최종적으로 확인할 수 있다. 그러므로, 본 발명은 도1과 같은 시스템에서 컴퓨터를 이용하여 자동으로 로트 코드를 관리하면서 테스트 결과에 대한 써머리 포맷을 미리 설정하여 관리하도록 적용된다.

도1을 참조하면서, 본 발명에 따른 실시예인 도2를 설명한다.

본 발명을 수행하기 위한 로트 정보는 공정 S2에서 터미널 컴퓨터(12)에 등록되어야 하며, 특히 정규 오퍼레이션(Operation)과 차이가 나는 로트를 대상으로 예약을 위하여 로트들의 이름을 미리 등록한다. 그리고, 공정 S4에서 목적에 따라서 다르게 요구되는 써머리 포맷이 로트별로 선택되어 할당된다.

그런 후 공정 S6에서 테스터(12)의 주기억장치에는 테스트 프로그램이 업로딩(Uploading)되며, 그후 공정 S8에서 파일명이 입력부(14)로부터 입력된다. 이때 터미널 컴퓨터(12)에서 사용하는 파일명은 로트번호와 정확히 일치시켜야 한다.

구체적으로 예를 들면 파일명은 LOT1234567.E05와 같이 설정될 수 있으며, 파일명에서 LOT1234567은 로트 번호이며, E05는 웨이퍼 장수에 따른 구분을 하기 위한 것으로서 이는 25장 단위 로트 중 5번째 웨이퍼란 의미이다.

파일명이 입력된 후 공정 S10이 수행되면 로트 코드 예약 시스템의 기능으로 비교조회를 수행하며, 이를 통하여 테스트 데이터가 마감되기 전에 지정된 포맷으로 선택된다. 이에 따라서 작업자의 추가 정보에 의한 작업필요성없이 정상적인 작업에 의하여 테스트 결과를 자동으로 발생시킬 수 있다.

그리고, 예약된 파일이름이 발생되면서 공정 S12가 수행되어 터미널 컴퓨터(12)로 다운로딩되며, 이에 앞서서 엔지니어링 데이터(Engineering Data) 선택에 따른 터미널 컴퓨터(10)의 다운로딩 디렉토리(Directory)가 설정되어 있어야 하고, 그에 따라서 제품별로 쉽게 데이터에 접근할 수 있다.

구체적으로 한 제품명 아래 다른 정규 로트와 구분되어 데이터 저장이 "Product명\Engineering\Lot10001"과 같이 이루어지며, 이렇게 발생된 데이터들은 별도 할당된 구역으로 데이터를 전송할 수 있으므로, 정보를 원하는 기타 작업자들은 네트워크(Network)를 통하여 원하는 스텝에서 로트의 공정일자 및 테스트 결과를 얻을 수 있다.

그리고, 최종적으로 공정 S14가 수행되어서 테스트 프로그램에 따른 테스트 스텝이 선택되어 파일에 첨자가 추가되고, 현재의 로트가 진행되는 위치를 알 수 있다.

구체적으로 각 테스트 스텝에서 해당 공정을 알 수 있도록 첨자가 파일명에 추가되며, 예를 들어 웨이퍼 레벨에서의 프리레이저 스텝(Pre-laser Step)은 첨자가 pre가 이용되고, 패키지 테스트의 핫소트 테스트(Hot Sort Test)는 첨자가 hs로 구분될 수 있다.

즉, 웨이퍼 테스트시 파일명이 Lot12345.Eo5.pre이면 12345라는 로트의 5번 웨이퍼가 프리레이저 테스트를 수행한 것을 나타내고, 패키지 테스트 시 Lot12345.hs이면 12345라는 로트의 패키지가 핫소트 테스트를 수행한 것을 나타낸다.

결국 로트 요구에 대한 목적 및 예상 테스트 데이터가 정확하게 엔지니어의 확인을 통하여 작업자에게 전달되면 코드별로 개개의 로트가 컴퓨터에 예약되며, 예상되는 써머리를 얻을 수 있는 데이터 포맷에 의하여 결과도 동시에 예약되므로 테스트가 종료된 후에 각 테스트 프로그램이 속해있는 스텝에 따라 로트 코드 상에 자동으로 첨자가 생성됨으로써 원하는 결과는 물론 어느 스텝에서 로트가 진행중인지 자동으로 파악할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 테스터에 의한 결과에 대하여 테스트 목적에 따른 데이터 써머리를 미리 지정하고 지정된 결과를 구분하여 확인할 수 있고, 파일명을 이용하여 스텝별 예약기능을 수행할 수 있으므로 테스트 결과 파일의 관리가 명확히 이루어지고 예약기능이 실현되어 로트의 관리가 원활해지는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. 전체 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 관리하기 위하여 부여되는 로트번호 및 그에 연관된 데이터를 터미널 컴퓨터와 테스터 간의 업로딩과 다운로딩으로 관리하는 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법에 있어서,

   특정 로트번호에 해당하는 파일에 대하여 써머리 포맷을 목적에 따라 선택하여 할당하는 제 1 공정;

   테스트 결과를 얻기위한 파일명을 입력수단을 이용하여 입력하는 제 2 공정;

   비교조회를 실시하여 테스트 데이터를 지정된 포맷으로 선택하는 제 3 공정;

   예약된 파일 이름을 발생시키며 미리 데이터 선택에 따른 디렉토리가 할당되어서 정규 로트와 구분되어 테스트 중인 로트에 대한 파일을 다운로드하는 제 4 공정; 및

   테스트 프로그램에 따른 테스트 스텝이 선택되어 현재의 로트가 진행되는 위치를 알 수 있는 특정 첨자가 파일에 추가되는 제 5 공정;

   를 구비함을 특징으로 하는 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 2 공정에서 파일명을 로트번호에 해당하는 코드를 포함함을 특징으로 하는 상기 반도체 테스트 공정 시스템의 로트 예약 방법.

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