KR100248847B1 - 다중행변형가능한 미러디바이스용 접철되지않은 광학장치 및 이장치를 동작시키기위한 방법 - Google Patents

다중행변형가능한 미러디바이스용 접철되지않은 광학장치 및 이장치를 동작시키기위한 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 분리 변형가능한 미러 디바이스 영상을 1개의 영상(31)로 조합하기 위한 광학 장치(26)을 제공한다. 최종 영상은 원래의 개별 영상에 대응하는 좌측 절반부(30) 및 우측 절반부(32)를 포함하는 1개의 연속적인 영상이다. 이 장치는 특히, DMD 영상을 문자품질 서류용 제로그래픽 공정의 프린팅 드럼(28)에 제공하기에 특히 적합하다.

Description

다중 행 변형가능한 미러 디바이스(DMD)용 접철되지 않은 광학 장치 및 이 장치를 동작시키기 위한 방법
제1도는 본 발명의 제1실시예를 개략적으로 도시한 도면.
제2a도 및 제2b도는 제1도에 도시한 광학 장치의 평면도 및 전면도.
제3도는 본 발명의 제2실시예를 도시한 도면.
제4도는 본 발명의 제3실시예를 도시한 도면.
제5도는 제4도에 도시된 광학 장치의 단면도.
제6도 및 제7도는 제4도에 도시된 광학 장치의 전면도 및 배면도.
제8도는 제4도에 도시된 광학 장치의 평면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 광원 12 : DMD
14, 16 : 집속 렌즈 22 : 영상화 렌즈
24 : 광학 축 26 : 광학 장치
28 : 스크린 34 : 중앙 채널 분리기
36, 38 : 좌·우측 프리즘 40 : 비임 분할기
42 : 평면 미러 48, 50 : 이등변 프리즘
본 발명은 일반적으로 변형 가능한 미러 디바이스에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 투사된 영상이 한개의 연속적인 영상이 되도록 최소한 2개 행의 적층된 DMD 영상을 광학적으로 투사하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
프린팅 장치는 매우 간단한 노출 유니트를 제조하기 위해 공간 광 변조기 디바이스의 장점을 취하여 설계되어 왔다. 이 장치는 단일 기판상에 구성된 개별적으로 변형가능한 미러들의 한 행 또는 행들로 이루어지는 변형가능한 미러 디바이스(DMD; deformable mirror device)상에 집속되고, 텅스텐 할로겐 광과 같은 종래의 광원을 사용한다.
DMD는 편향되지 않은 상태에서, 광이 프린팅 장치의 잔여소자로부터 떨어져 조사되도록 각각의 미러로부터 반사되는 광이 반사각을 갖기 위해 렌즈와 관련하여 배열된다. 특정 미러가 다르게 굴절될 때, 광의 반사 각은 변화된 다음, 광은 잔여 장치를 통과한다. 예를 들어 반사된 광은 표준 제로그래픽 프린트 공정중에 광 수용체 드럼에 조사된다.
약 1000개의 미러를 포함하는 반도체 제조 공정은 최대 20mm의 DMD폭을 달성할 수 있다. 문자 품질인 이 밀도는 약 300dpi(dot per inch)로 길이가 7.62cm(3인치)인 스트립을 조사할 수 있는 DMD를 발생시킨다. 그러나, 대부분의 프린팅 응용 기술은 7.62cm(3인치)보다 넓은 포맷을 사용한다. 이것은 300dpi 미만의 프린트 밀도가 발생되기 위해서는 통상적 20mmDMD행으로 연장되거나 투사된 어레이를 확대하기 위한 장치 설계자가 필요하다. 이론적으로 가능할지라도, 연장된 DMD를 발생시키는 제1실시예는 엄청나게 비싸다. 긴 DMD를 발생시키면, DMD의 제조가 복잡해지고, 균일한 조사 문제점을 발생시키며, 종종 적절하게 조사될 때에도 불균일한 영상을 발생시킨다. 화소 프린트 밀도를 감소시킨 제2실시예는 문자 품질 프린트 출력을 필요로 하는 응용 기술에는 응용될 수 없다.
그러므로, 연장된 스트립을 조사할 수 있고, 제조 및 균일한 투사를 발생시키는 조사가 용이한 변형가능한 미러 디바이스 장치의 필요성이 증가되었다.
본 발명에 따르면, 기존의 변형가능한 미러 디바이스에 관련된 단점 및 문제점을 거의 제어하여 감소시킨 미러 디바이스 장치가 제공된다.
여기서는 2개의 영상을 1개의 연속적인 영상으로 조합 및 투사하는 광학 장치가 기술되었다. 특히, 조합-투사 기능을 달성한 광학적 유도를 기술하였다. 한 실시예에 있어서, 광학 유도는 경사진 좌·우 프리즘을 갖는 중앙 은착 프리즘의 형태를 취한다. 다른 실시예에 있어서, 광학 유도부는 반투명 비임 분할기 및 한 셋트의 경사진 반사 표면으로 이루어진다. 또 다른 실시예에서, 광학 유도부는 상부 및 하부 쌍의 변형된 마름모형 프리즘을 포함한다.
본 발명에 기술된 한가지 기술적 장점은 현재 시판중인 좁은 DMD를 사용하여 넓은 DMD 영상을 발생시키는 간단한 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 다른 기술적 장점은 디바이스의 물리적 폭을 증가시키지 않고 고 품질 프린팅 응용기술에 필요한 고 해상도를 갖는 넓은 DMD 영상을 발생시키는 것이다.
본 발명에 따른 또 다른 기술적 장점은 다수의 병렬 오프셋 DMD 화소 어레이로부터 넓은 최종 디스플레이를 제공하는 것이다.
본 발명의 상술한 목적, 구성 및 기술적 장점뿐만 아니라 이외의 목적, 구성 및 기술적 장점은 동일 부재에 동일한 참조 번호를 붙인 도면을 참조하여 기술한 아래의 상세한 설명으로부터 보다 명백해진다
제1도는 투사된 영상이 1개의 연속적인 라인(31)을 형성하기 위해 2개의 별도의 변형가능한 미러 디바이스("DMD")행(18,20)의 영상을 스크린(28) 또는 평면상에 투사하도록 설계된 광학 장치의 한 실시예를 도시한 것이다.
광원(10)은 집속 렌즈(14 및 16)을 통해 DMD(12)를 조명한다. DMD(12)는 개별 미러 소자(18 및 20)의 2(이상의)행을 포함한다. 각각의 이 행은 신호(도시되지 않음)에 의해 전자적으로 제어될 수 있는 약 1000개의 작은 개별 미러를 포함한다. 개별 미러 행(18 및 20)은 1개의 집적된 칩 기판에 도시되었다. 그러나, 행(18 및 20)은 일반적으로 서로 근접하게 배치된 별개의 칩상에 배치될 수 있다. 광원(10)으로부터의 광은 광학 축(24)를 따라 영상화 렌즈(22)를 통해 행(18 및 20)외부로 반사된다. DMD(12)는 행(18)이 상부 광학축(24)이고, 행(20)이 하부 광학 축(24)가 되도록 정렬된다. 광학 장치(26)은 영상을 행(18 및 20)에서 좌·우 채널로 분리하여, 필요한 경우 각 채널을 상승시키거나 하강시켜 2개의 채널을 스크린(28)에 투사한다. 광학 장치(26) 및 영상화 렌즈(22)의 성분을 선택함으로써, 투사된 영상의 최종 크기는 조절될 수 있다. 스크린(28)상의 영상은 각각 DMD 행(18 및 20)에 대응하는 좌측 절반부(30) 및 우측 절반부(32)를 포함하는 긴 1개의 영상(31)을 형성한다. 전형적 DMD 디바이스의 동작은 1989년 12월 21일 출원된 "Spatial Light Modulator Printer and Method of Operation"이라는 명칭의 계류중인 미합중국 특허출원 제454,568호에 기술되었고, 이 출원은 이 명세서에서 참고로서 사용된다.
한 실시예에 있어서, 광학 장치(26)은 축(24)를 따라 정렬된 중앙 채널 분리기(34) 및 좌측·우측 프리즘(36 및 38)을 포함한다. 또한, 채널 분리기(34)는 한 셋트의 4개의 미러 또는 4개의 은착된 표면을 갖는 광학 프리즘을 포함한다. 프리즘(36 및 38)은 용이한 패키지를 위해 밀오프된 각각 직각을 갖는 직각 이등변 프리즘이다.
DMD 행(18 및 20) 외부로 반사된 광선은 영상화 렌즈(22)로 유입된 다음, 일반적으로 영상화 렌즈(32)를 향하는 채널 분리기(34)의 면에 의해 좌측 채널과 우측 채널로 분리된다. 그 다음, 분리된 영상은 각각 상승 및 하강 프리즘(36 및 38)에서 외부로 반사된 후 스크린(28)을 향한 채널 분리기(34)의 2개의 표면쪽으로 다시 향하게 된다. 그 다음, 영상은 이 나중의 2개의 표면으로부터 스크린(28)상으로 투사된다. 영상화 렌즈(22)를 주의하여 선택함으로써, DMD행(18 및 20)의 1개의 근접하는 영상은 스크린(28)로 투사될 수 있다.
제2a도는 프리즘(36 및 38) 및 채널 분리기(34)의 위치 설정을 보다 명확하게 도시한 것이다. 채널 분리기(34)는 4개의 미러 표면, 함께 접착된 2개의 변형된 은착 직각 프리즘 또는 1개의 은착 키트 프리즘으로 이루어지는데, 이들 모두는 도시한 바와 같이 내각을 갖는다. 채널 분리기(34)는 전장(L1)을 갖는다. 직각 프리즘(36 및 38)은 도시한 바와 같이 직각 삼각형의 빗변 전장(L1) 및 내각을 갖는다. 프리즘(36 및 38)은 도면에 도시한 바와 같이 채널 분리기(34)로부터 거리(X1,X2,X3,X4 및 X5)만큼 분리된다. 이 거리는 소자의 베이스에서 측정된다.
제2b도는 영상화 렌즈(22)(도시되지 않음)에서 스크린(28)(도시되지 않음)쪽으로 바라본 광학 장치(26)을 도시한 것이다. 프리즘(36 및 38)은 채널 분리기(34)의 베이스와 수직으로 장착되지 않는다. 프리즘(36)은 각(A)에서 채널 분리기(34)내측으로 경사진다. 프리즘(38)은 각(b)에서 채널 분리기(34) 외측으로 경사진다. 프리즘(36 및 38)은 예를 들어, 베이스와 기준 면 사이에 쐐기(shim)를 끼우고 제조 공정중에 각 베이스의 경사진 부분을 제거함으로써 장착될 수 있다.
소정의 구조에서, 외측 프리즘이 키트 프리즘 내측으로 대칭적 경사에 의해 배치될 수 있다는 것을 인지하여야 한다.
동일 칩상에 제조된 DMD행은 전형적으로 길이 14mm×높이 0.036mm이고, 서로 6mm 분리될 수 있다. 6.3×의 배율을 갖는 약 250mm간격의 스크린 또는 표면상에 이러한 조합물을 조합하고 투사하기 위해, 아래 크기의 파라메터가 사용될 수 있다:
영상 렌즈
촛점 길이 = 50mm
직경 = 35mm
X1 = 44.5mm
X2 = 35mm
X3 = 35mm
X4 = 44.5mm
X5 = 1mm
H = 44mm
각 a = 1.5°
각 b = 1.5°
L1 = 64mm
L2 = 64mm
상기 파라미터들에 관련된 특정 실시예가 본 발명을 제시하기 위해서만 제공되고, 이 실시예 또는 다른 임의의 실시예에 대한 본 발명의 범위를 제한하려는 것이 아니라는 것을 인지하여야 한다.
제3도는 DMD행(18 및 20)으로부터 영상을 조합하기 위해 기술된 본 발명의 제2실시예를 도시한 것이다. 광원(10)은 집속 렌즈(14 및 16)을 통과한 후 DMD(12) 외부로 반사된다. 그 다음, 반사된 영상은 평면 미러(42) 외부로 반사된 후 비임 분할기(40)으로 향해진다. 비임 분할기(40)은 각각의 DMD 영상의 일부분이 경사진 제1표면 미러(44)쪽으로 반사되어 경사진 제1표면 미러(46)쪽으로 투과되는 광원(10)에 의해 방출된 전자기 방사선에 대해 부분적으로 반사성이고, 부분적으로 투명하다. 비임 분할기(40)은 영상화 렌즈(22)에 의해 생성된 광학 축(24)와 45°의 각으로 배치된다. 미러(44 및 46)은 도면에 도시한 바와 같이 서로 약 90°각에서 정렬된다. 미러(44 및 46)이 평면 미러 및 은착 프리즘을 포함하는 여러 가지 형태를 취할 수 있다는 것을 인지하여야 한다. 프리즘(44 및 46)의 반사면은 각각 비임 분할기(40)에서 떨어져 이 방향으로 경사진다. 분리된 영상이 프리즘(44 및 46)에 의해 상승되고 하강된 후, 비임 분할기(44)에서 재조합되어 영상 렌즈(22)를 경유하여 스크린(28)에 투과된다. 영상 렌즈(22)를 신중하게 선택함으로써, DMD(18 및 20)중 1개의 접속된 영상은 스크린(28)상에 나타난다.
제4도는 본 발명의 제3실시예를 도시한 것이다. 다시, 광원(10)은 집속 렌즈(14 및 16)을 통과한 후 DMD(12)를 조명한다. 행(18 및 20)으로부터 반사된 영상은 광학 축(24)를 따라 영상 렌즈(22)에 의해 집속된다. 이등변 프리즘(48 및 50)은 반사된 영상을 상부 채널 및 하부 채널로 분리하여, 상부 채널을 하강시키고, 하부 채널을 상승시켜 2개의 채널을 영상(30 및 32)로 스크린(28)상에 재조합한다. 영상화 렌즈(22)를 신중하게 조절함으로써, DMD(18 및 20)의 1개의 접속된 영상은 스크린(28)상에 나타난다.
제5도는 이등변 프리즘(48 및 50) 및 영상화 렌즈(22)의 단면도를 도시한 것이다. 영상화 렌즈(22)는 이 영상이 이등변 프리즘(48 및 50)으로 유입되기 전에 DMD행(18 및 20)으로부터 반사된 영상을 반전시킨다. 이등변 프리즘(48 및 50)은 프리즘(50)의 상부 표면에 의해 형성된 표면 및 프리즘(48)의 하부면("경계면")이 광학 축(24)와 일치하여 일반적으로 DMD행(18 및 20)과 평행하도록 정렬된다. 프리즘(48 및 50)의 표면은 DMD행(18 및 20)의 영상을 조합하기 위해 1개의 연속적인 행으로 경사진다.
제6도는 스크린(28)로부터 관측된 바와 같이 프리즘(48 및 50)의 일부분을 도시한 것이다.
제7도는 DMD(12)로부터 관측된 바와 같이 프리즘(48 및 50)을 도시한 것이다. 영상화 렌즈(22)는 DMD(12)와 프리즘(48 및 50)사이에 배치된다.
제8도는 이등변 프리즘(48 및 50)각각이 함께 결합된 2개의 작은 이등변 프리즘으로 어떻게 구성되는가를 도시한 것이다. 이등변 프리즘(48 및 50)을 포함하는 개별 프리즘은 외부 면(52) 및 내부 면(54)로 구성된다. 내부 면(54)는 경계면과 수직이다. 외부 표면(52)는 제5도에 도시된 것과 같이 비임 변위를 발생시키기 위해 경사진다. 제6도 및 제7도는 경계면 쪽으로의 표면의 전형적인 경사를 도시한 것이다.
상기 어셈블리는 제2 또는 제3조합 기능을 제공하기 위해 직렬 형태로 접속될 수 있다. 예를 들어, 4개의 적층된 DMD는 투사된 영상의 크기를 4배로 하기 위해 2개의 광학 시스템을 조합할 수 있다.
본 발명 및 본 발명의 장점이 상세히 기술되었을지라도, 여러가지 변형예, 대체예 및 변경예가 첨부된 특허청구의 범위에 의해 정해진 바와 같은 본 발명의 범위에 벗어나지 않고서도 제조될 수 있다는 것을 인지하여야 한다.

Claims (20)

  1. 노출 평면 상에 2개의 변형가능한 미러 디바이스("DMD")행 영상을 조합하여 투사하기 위한 광학 장치에 있어서, 충돌하는 광원을 제1영상으로 변조하도록 동작가능한 제1DMD행, 충돌하는 광원을 제2영상으로 변조하도록 동작가능한 제2DMD행 및 상기 영상이 노출 평면 상으로 서로 바로 인접하여 서로 연속적인 라인으로 투시되도록 영상을 상기 제1 및 제2DMD로부터 유도하기 위한 광학 유도부를 포함하고, 상기 제2DMD가 상기 제1DMD와 일반적으로 평행하게 정렬되는 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광학 유도부가, 상기 DMD행과 상기 노출 평면 사이에 투사 축을 형성하는 영상화 렌즈, 좌측 광학 경로 및 우측 광학 경로를 따라 투사되는 좌측 영상 및 우측 영상으로 상기 DMD영상을 분리하기 위한 제1쌍의 반사 표면, 상기 좌측 영상을 상기 축으로 상승시키고 상기 좌측 영상을 상기 축쪽으로 반사시키기 위해 상기 좌측 경로를 따라 배치된 제2쌍의 상호 직교 반사 표면, 상기 우측 영상을 상기 축으로 하강시키고, 상기 우측 영상을 축쪽으로 반사시키기 위해 상기 우측 경로에 인접하여 배치된 제3쌍의 상호 직교 반사 표면 및 상기 반사된 좌측 영상 및 우측 영상을 상기 노출 평면쪽으로 향하게 하기 위한 제4쌍의 반사 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제4쌍의 반사 표면이 키트 프리즘의 은착 표면인 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제2 및 제3쌍의 반사 표면이 각각 직각 2등변 프리즘의 은착 표면인 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 제2 및 제3쌍의 반사 표면이 각각의 직각 이등변 프리즘의 은착 표면인 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 광학 유도부가, 상기 영상을 노출 평면상으로 향하게 하고 투사 축을 형성하기 위한 영상화 렌즈, 상기 축 상에 배치되어, 상기 축과 일반적으로 수직한 제1반사 표면, 상기 제1표면과 인접하여 상기 축과 일반적으로 평행하고 상기 제1반사 표면과 직교로 배치된 제2반사 표면 및 상기 제1 및 제2반사 표면과 인접하고, 상기 제1 및 제2표면에 의해 형성된 내각을 2등분하는 평면을 따라 정렬되는 부분적으로 반사되고 부분적으로 투명한 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 광학 유도부가, 상기 DMD영상에서 상기 노출 평면으로의 투사 축을 형성하는 영상화 렌즈, 상기 축을 따라 상기 축 상에 정렬된 제1 및 제2마름모꼴 프리즘 및 상기 축을 따라 상기 축 하부에 정렬되고 상기 제1 및 제2마름모꼴 프리즘 하부에 배치된 제2 및 제3마름모꼴 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  8. 2개의 DMD 영상을 노출 평면 상에 조합하여 투사하기 위한 광학 장치에 있어서, 투사 축을 형성하는 영상화 렌즈, 상기 투사 축 상부에 배치된 제1DMD영상, 상기 제1DMD영상과 평행하고 인접한 상기 축 하부에 배치된 제2DMD영상 및 상기 제1 및 제2DMD영상을 정렬하기 위해 상기 영상 렌즈와 상호동작하는 유도부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 유도부가, 좌측 및 우측 쌍의 반사 표면을 갖고 있는 은착 키트 프리즘, 상기 키트 프리즘의 상기 좌측 쌍에 인접하여 배치된 제1직각 이등변 프리즘 및 상기 키트 프리즘의 상기 우측 쌍에 인접하게 배치된 제2직각 2등변 프리즘을 포함하고, 상기 쌍이 대칭 평면을 따라 배치되며, 상기 대칭 평면이 상기 투사 축과 일치하고, 상기 쌍의 이등분이 4개의 연부를 형성하며, 상기 연부가 상기 축과 수직으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  10. DMD영상을 평면 상에 투사하는 방법에 있어서, 제1 및 제2적층된 DMD 영상을, 축을 따라 집속하는 단계, 상기 제1 및 제2DMD영상을 좌측 및 우측 광학 경로 내로 반사하는 단계, 상기 좌측 및 우측 영상을 상기 축쪽으로 다시 향하게 하는 단계 및 상기 좌측 및 우측 영상을 1개의 영상으로 조합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 좌측 영상을 상기 축으로 하강시키는 단계 및 상기 우측 영상을 상기 축으로 상승시키는 단계을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 노출 평면 상의 각각의 화소 소자에 광을 변조하기 위해 각각 동작하는 최소한 2개의 분리 DMD 화소 어레이를 갖고 있는 DMD 장치에 있어서, 서로 평행한 각각의 상기 화소 소자로부터 변조된 광을 정렬하기 위한 구조물 및 각각의 상기 화소로부터 상기 광이 상기 노출 평면 상에 서로 인접하여 연속적인 라인으로 투사되도록 각각의 상기 화소 어레이로부터 변조된 광선을 유도하기 위한 광학 유도부를 포함하는 것을 특징으로 하는 DMD 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 광학 유도부가, 상기 DMD행과 상기 노출 평면 사이에 투사 축을 형성하는 영상화 렌즈.
    상기 DMD영상을 좌측 및 우측 광학 경로를 따라 투사되는 좌측 및 우측 영상으로 분리하기 위한 제1쌍의 반사 표면, 상기 좌측 영상을 상기 축으로 상승시키고 상기 좌측 영상을 상기 축쪽으로 반사시키기 위해 상기 좌측 경로를 따라 배치된 제2쌍의 상호 직교 반사 표면, 상기 우측 영상을 상기 축으로 하강시키고, 상기 우측 영상을 상기 축쪽으로 반사하기 위해 상기 우측 경로에 인접하여 배치된 제3쌍의 상호 직교 반사 표면 및 상기 반사된 좌측 및 우측 영상을 상기 노출 평면쪽으로 향하게 하기 위한 제4쌍의 반사 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 DMD 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1 및 제4쌍의 반사 표면이 키트 프리즘의 은착 면인 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제2 및 제3쌍의 반사 표면이 각각의 우측 이등변 프리즘의 은착 표면인 것을 특징으로 하는 DMD 장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 제2 및 제3쌍의 반사 표면이 각각 우측 이등변 프리즘의 은착 표면인 것을 특징으로 하는 DMD 장치.
  17. 제12항에 있어서, 상기 광학 유도부가, 상기 영상을 노출 평면 상에 향하게 하고 투사 축을 형성하기 위한 영상화 렌즈, 상기 축 상에 배치되어, 상기 축과 일반적으로 수직한 제1반사 표면, 상기 제1표면과 인접하여 상기 축과 일반적으로 평행하고 상기 제1반사표면과 직교로 배치된 제2반사 표면 및 상기 제1 및 제2반사 표면과 인접하고, 상기 제1 및 제2표면에 의해 형성된 내각을 2등분하는 평면을 따라 정렬되는 부분적으로 반사되고 부분적으로 투명한 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 DMD 장치.
  18. 제12항에 있어서, 상기 광학 유도부가, 상기 DMD 영상에서 상기 노출 평면으로의 투사 축을 형성하는 영상화 렌즈, 상기 축을 따라 상기 축으로 정렬된 제1 및 제2마름모꼴 프리즘 및 상기 축을 따라 상기 축 하부로 정렬되고 상기 제1 및 제2마름모꼴 프리즘 하부에 배치된 제2 및 제3마름모꼴 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 DMD 장치.
  19. 2개의 변형 가능한 미러 디바이스("DMD")행 영상을 상기 노출 면상에 조합하여 투사하기 위한 광학 장치를 갖고 있는 DMD 장치를 동작시키는 방법에 있어서, 충돌하는 광원을 제1영상으로 변조하기 위해 제1DMD행을 동작시키는 단계, 충돌하는 광원을 제2영상으로 변조하기 위해 제2DMD행을 동작시키는 단계 및 상기 영상이 노출 평면 상으로 서로 바로 인접하여 서로 연속적인 라인으로 투사되도록 상기 제1 및 제2DMD로부터 영상을 유도하는 단계를 포함하고, 상기 제2DMD과 상기 제1DMD와 평행하게 정렬되는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 유도 단계가, 상기 DMD행과 상기 노출 평면 사이에 투사 축을 형성하는 단계, 상기 DMD 영상을 좌측 및 우측 광학 경로를 따라 투사하는 좌측 및 우측 영상으로 분리하는 단계, 상기 좌측 영상을 상기 축으로 상승시키는 단계, 상기 좌측 영상을 상기 축쪽으로 반사시키는 단계, 상기 우측 영상을 상기 축으로 하강시키어 상기 우측 영상을 상기 축쪽으로 반사시키는 단계 및 상기 반사된 좌측 및 우측 영상을 상기 노출 평면쪽으로 향하게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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