KR100239737B1 - 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치에 관한 것으로, 종래에는 트레이의 온도측정이 번거로운 문제점이 있었다. 본 발명 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치는 트레이(14)의 하부에 근접되도록 온도검출수단(20)을 설치하여, 상시 모니터링할 수 있도록 함으로써, 온도조절이 용이하고, 정확한 공정콘트롤이 가능해지는 효과가 있다.

Description

벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치

본 발명은 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치에 관한 것으로, 특히 트레이의 온도를 상시 모니터링 할 수 있도록 하는데 적합한 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치에 관한 것이다.

도 1은 종래 벨트형 화학기상증착장비의 구조를 개략적으로 보인 종단면도로써, 도시된 바와 같이, 종래 벨트형 화학기상증착장비는 히터(1)의 상부에 열을 균일하게 전달시키기 위한 석영판(2)이 설치되어 있고, 그 석영판(2)의 상면에 웨이퍼(3)를 탑재한 다수개의 트레이(4)를 이송시키기 위한 벨트(5)가 일정간격으로 두고 설치되어 있으며, 그 벨트(5)의 상부에는 공정가스를 분사하기 위한 반응헤드(6)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 히터(1)의 내측에는 써머커플(7)이 설치되어 있고, 그 써머커플(7)의 외측에는 보호커버(8)가 설치되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 벨트형 화학기상증착장비는 각각의 트레이(4) 상면에 2개씩 웨이퍼(3)가 탑재된 상태에서 벨트(5)가 약100mm/분∼150mm/분 정도의 속도로 이동한다. 이와 같이 웨이퍼(3)들이 이동하여 반응헤드(6)의 하부에 위치하면 반응헤드(6)에서 분사되는 공정가스에 의하여 웨이퍼(3)의 상면에 증착막이 형성된다.

또한, 상기와 같이 공정이 진행되는 중에 써머커플(7)은 히터(1)의 가열온도를 측정하게 되며, 그 측정값을 참고로 온도를 셋팅값과 비교하여 자동으로 보상하며 온도를 조절하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래 벨트형 화학기상증착장비에서는 히터(1)의 온도를 측정하여 온도조절을 하기 때문에 공정결과에 가장크게 영향을 미치는 트레이(4)의 정확한 온도조절이 불가능하며, 트레이(4)의 정확한 온도 측정을 하기 위해서는 반응헤드(6)의 세정시 반응헤드(6)를 해체한 상태에서 도 2와 같이 써머커플(9)을 트레이(4)에 접촉시켜서 온도측정을 하므로 번거롭고, 측정 주기가 길어서 정확한 공정콘트롤이 불가능한 문제점이 있었다.

본 발명의 주 목적은 상기와 같은 여러 문제점을 갖지 않는 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 트레이의 온도측정이 용이한 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 트레이의 온도를 상시 모니터링 할 수 있도록 하는데 적합한 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 벨트형 화학기상증착장비의 구조를 개략적으로 보인 종단면도.

도 2는 종래 트레이의 온도측정방법을 개략적으로 보인 단면도.

도 3은 본 발명 트레이 온도측정장치가 설치된 벨트형 화학기상증착장비의 구조를 개략적으로 보인 종단면도.

도 4는 본 발명 온도검출수단이 설치된 상태를 개략적으로 보인 사시도.

도 5는 본 발명 온도검출수단의 구조를 상세히 보인 단면도.

* * 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * *

11 : 히터 12 : 석영판

12a: 관통공 13 : 웨이퍼

14 : 트레이 15 : 벨트

20 : 온도검출수단 21 : 적외선센서

22 : 단열재 23 : 보호커버

24 : 투명창 30 : 포토센서

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 히터의 상부에 석영판이 설치되어 있고, 그 석영판의 상부에 웨이퍼가 탑재되어 있는 트레이들을 이송시키기 위한 벨트가 설치되어 있는 벨트형 화학기상증착장비에 있어서, 상기 석영판에 관통공을 형성하고, 그 관통공에 삽입됨과 아울러 상기 트레이에 근접되도록 온도검출수단을 설치하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명 트레이 온도측정장치가 설치된 벨트형 화학기상증착장비의 구조를 개략적으로 보인 종단면도이고, 도 4는 본 발명 온도검출수단이 설치된 상태를 개략적으로 보인 사시도이며, 도 5는 본 발명 온도검출수단의 구조를 상세히 보인 단면도로써, 도시된 바와 같이, 히터(11)의 상부에 석영판(12)이 설치되어 있고, 그 석영판(12)의 상부에 웨이퍼(13)가 탑재된 트레이(14)를 이송시키기 위한 벨트(15)가 설치되어 있으며, 그 벨트(15)의 상부에는 공정가스를 분사하기 위한 반응헤드(16)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 석영판(12)에 수개의 관통공(12a)이 형성되어 있고, 그 관통공(12a)에 삽입됨과 아울러 상기 트레이(14)에 근접되도록 온도검출수단(20)이 설치되어 있다.

상기 온도검출수단(20)은 온도를 측정하기 위한 적외선센서(21)와, 그 적외선센서(21)의 외측에 설치되어 열을 차단하기 위한 단열재(22)와, 그 단열재(22)의 외측에 설치되어 적외선센서(21), 단열재(22)를 보호하기 위한 보호커버(23)와, 상기 적외선센서(21)의 상부에 설치되는 투명창(24)로 구성되어 있다.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 온도검출수단(20)의 주변에 포토센서(30)을 설치하여 트레이(14)의 위치를 감지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 트레이 온도측정장치가 구비된 벨트형 화학기상증착장비는 웨이퍼(13)가 탑재된 트레이(14)가 벨트(15)의 상면에서 이동하여 반응헤드(16)의 하부에 위치하면 반응헤드(16)에서 공정가스를 분사하여 웨이퍼(13)의 상면에 증착막을 형성한다.

그리고, 공정진행시 트레이(14)가 이동하여 포토센서(30)에서 감지되면

최초감지시점에서 부터 타이머를 통하여 일정시간 계수한 다음, 상기 온도검출수단(20)의 상부에 트레이(14)의 중심부가 위치하면 트레이(14)의 온도를 측정하게 된다. 모든 트레이(14)의 중심부 온도를 측정하여 디스플레이 하거나, 각 트레이(14)의 온도를 시스템내에 저장하여 진행 웨이퍼(13)에 대한 이력으로 관리한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치는 트레이의 하부에 근접되도록 온도검출수단을 설치하여, 상시 모니터링할 수 있도록 함으로써, 온도조절이 용이하고, 정확한 공정콘트롤이 가능해지는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 히터의 상부에 석영판이 설치되어 있고, 그 석영판의 상부에 웨이퍼가 탑재되어 있는 트레이들을 이송시키기 위한 벨트가 설치되어 있는 벨트형 화학기상증착장비에 있어서, 상기 석영판에 관통공을 형성하고, 그 관통공에 삽입됨과 아울러 상기 트레이에 근접되도록 온도검출수단을 설치하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 온도검출수단은 온도를 측정하기 위한 적외선센서와, 그 적외선센서의 외측에 설치되어 열을 차단하기 위한 단열재와, 그 단열재의 외측에 설치되어 적외선센서, 단열재를 보호하기 위한 보호커버와, 상기 적외선센서의 상부에 설치되는 투명창으로 구성되는 것을 특징으로 하는 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 온도검출수단의 주변에 트레이의 위치를 감지하기 위한 포토센서를 설치하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 벨트형 화학기상증착장비의 트레이 온도측정장치.

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