KR100237742B1 - 스텝퍼 리턱션 렌즈 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스탭퍼 리덕션 렌즈가 오목렌즈와 볼록렌즈가 차례대로 반복되어 적층되되, 그 가장자리 부분이 세로 방향으로 다수개의 분할된 렌즈로 구성되어, 플로팅할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 스텝퍼의 리덕션(Reduction) 렌즈에 관한 것으로, 셀부와 주변회로부 사이에 나타나는 단차에 맞게 플로팅 렌즈를 구동시켜 단차에 적합하도록 초점을 조절함으로써, 빛의 간섭 및 회절현상에 의한 패턴의 불균일 현상을 제거하고, 감광막의 두께 차이에 의한 벅 이펙트를 방지하는 효과가 있다.
Description
제1도는 종래의 스텝퍼에 장착된 리덕션 렌즈의 사시도.
제2도는 종래의 스텝퍼에 장착된 리덕션 렌즈에 의해 형성된 감광막 패턴도.
제3(a)도 내지 제3(b)도는 본 발명의 일실시예에 따른 스텝퍼에 장착된 리덕션 렌즈의 사시도.
제4도는 본 발명의 일실시예에 따른 스텝퍼에 장착된 리덕션 렌즈에 의해 형성된 감광막 패턴도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1,21 : 볼록렌즈 2,22 : 오목렌즈
3,23 : 셀부 4,24 : 주변회로부
5,25 : 감광막
본 발명은 반도체 소자 제조 공정 중 포토리소그래피 공정에 필요한 스텝퍼 리덕션 렌즈에 관한 것이다.
통상적으로, 감광막이 형성되어 있는 웨이퍼 상에 패턴을 남기기 위해서는 우선 마스크에 빛을 투영시켜야 한다. 광원으로부터 나온 빛은 필터를 거치면서 특성 파장의 빛만 통과된 후 컨덴서 렌즈(condenser lens)에 의하여 한곳으로 모여지면서 강도가 증가된다. 이 빛을 패턴이 그려져 있는 마스크를 투영시켜 그 이미지를 웨이퍼에 전달한다. 이때, 웨이퍼 위의 이미지는 마스크 패턴 보다 일정 비율 작아지는데, (약 1/5 축소) 그것은 리덕션 렌즈(reduction lens)에 의해서 이루어진다.
제1(a)도는 노광장비 스텝퍼에 장착된 종래의 렌즈 구조를 나타내는 사시도로서, 다수개의 오목렌즈(1) 및 블록렌즈(2)가 균일하게 장착되어 있음을 보이고 있다.
그러나, 제2도에 도시된 바와 같이 셀부(3)와 주변회로부(4) 사이에 단차가 10000Å 정도로 심한 경우 동일한 파형의 빛이 웨이퍼 상에 적용되면, 셀부(3)와 주변회로부(4)를 구별하여 적절한 포커싱(focusing)을 이루기가 어렵다.
이러한 조건으로 렌즈의 중앙부를 기준으로 포커싱이 되면 가장자리 부분에는 단차에 의해 초점 포인트가 다르기 때문에 각 부분의 감광막 두께(ㄱ, ㄴ, ㄷ)가 차이난다.
상기와 같이 포커싱된 렌즈로 감광막 패턴을 형성할 경우 빛의 간섭과 회절현상에 의해 동일한 패턴일 경우에도 형성될 측면과 임계면적(critical dimension, CD)이 불균일하게 형성되고, 감광막의 두께 차이에 의해 각 부간의 최적 노광 시간(optimum exposure time)이 차이가 나는 벌크 이펙트(bulk effect)가 발생하는 등의 문제점이 있었다.
상기와 같은 종래의 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 서로 다른 차가 지역에서 각각의 단차에 적합하도록 가장자리의 분할렌즈를 구동시켜 초점을 조절함으로써, 빛의 간섭 및 회절 현상에 의한 패턴의 불균일 현상을 제거하고 감광막의 두께 차이에 의한 벌크 이펙트를 방지할 수 있는 노광장비의 스텝퍼 렌즈를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 중심부와 가장자리부의 초점을 별도로 조절할 수 있는 스탭퍼 리덕션 렌즈에 있어서, 그 각각이 다수의 분할렌즈로 이루어지는 오목렌즈와 볼록렌즈가 번갈아 반복 적층되고, 상기 오목렌즈와 상기 볼록렌즈 각각의 가장자리부에 위치하는 상기 분할렌즈는 외부의 제어장치에 의해 이동되는 스탭퍼 리덕션 렌즈를 제공한다.
이하, 첨부된 도면 제3(a)도 및 제3(b)도 그리고 제4도를 참조하여 본 발명의 일실시예를 상술한다.
제3(a)도는 본 발명의 일실시예에 따른 노광장비의 스텝퍼에 장착된 렌즈의 사시도로서, 다수개의 오목렌즈(21) 및 볼록렌즈(22)가 균일하게 장착되되(적정배율 약 1/5 축소), 렌즈의 중앙부는 기존 렌즈와 동일하게 배열하고, 렌즈의 가장자리는 플로팅할 수 있는 분할렌즈로 다양하게 장착된다.
제3(b)도에 도시된 바와 같이 셀부(23)와 주변회로부(24) 사이의 단차가 약 10000Å 정도로 심한 경우, 단차에 맞는 감광막 패턴(25)을 정의(define)하기 위해 셀부(23)와 주변회로부(24)가 구별되도록 가장자리 분할렌즈의 구동량을 결정하여, 각각의 초점 포인트를 조절한다.
이때, 가장자리의 분할렌즈는 외부의 제어장치에 의해 구동된다.
이어서, 상기와 같이 조절된 렌즈를 사용하여 빛을 투과시켜 제4도에 도시된 바와 같이 셀부(23)와 주변회로부(24) 간의 단차에 맞는 감광막 패턴(25)을 형성한다. 제4도에서 도면부호 ‘D’는 렌즈의 중심부, ‘E’ 및 ‘F’는 가장자리부에 대응하는 노광영역을 나타낸다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 셀부와 주변회로부 사이에 나타나는 단차에 맞게 가장자리의 분할렌즈를 구동시켜 단차에 적합하도록 초점을 조절함으로써, 빛의 간섭 및 회절현상에 의한 패턴의 불균일 현상을 제거하고 감광막의 두께 차이에 의한 벌크 이펙트를 방지하는 효과가 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
Claims (1)
- 중심부와 가장자리부의 초점을 별도로 조절할 수 있는 스탭퍼 리덕션 렌즈에 있어서, 그 각각이 다수의 분할렌즈로 이루어지는 오목렌즈와 볼록렌즈가 번갈아 반복 적층되고, 상기 오목렌즈와 상기 볼록렌즈 각각의 가장자리부에 위치하는 상기 분할렌즈는 외부의 제어장치에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 스탭퍼 리덕션 렌즈.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026515A KR100237742B1 (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 스텝퍼 리턱션 렌즈 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026515A KR100237742B1 (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 스텝퍼 리턱션 렌즈 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980003866A KR980003866A (ko) | 1998-03-30 |
| KR100237742B1 true KR100237742B1 (ko) | 2000-01-15 |
Family
ID=19465190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960026515A KR100237742B1 (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 스텝퍼 리턱션 렌즈 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100237742B1 (ko) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0334308A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-02-14 | Canon Inc | 集積回路製造方法及び露光装置 |
-
1996
- 1996-06-29 KR KR1019960026515A patent/KR100237742B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0334308A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-02-14 | Canon Inc | 集積回路製造方法及び露光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR980003866A (ko) | 1998-03-30 |
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