KR100234491B1 - Optical device for laser machining - Google Patents

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KR100234491B1
KR100234491B1 KR1019950034030A KR19950034030A KR100234491B1 KR 100234491 B1 KR100234491 B1 KR 100234491B1 KR 1019950034030 A KR1019950034030 A KR 1019950034030A KR 19950034030 A KR19950034030 A KR 19950034030A KR 100234491 B1 KR100234491 B1 KR 100234491B1
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후세케이지
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구라우치 노리타카
스미토모덴키고교가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 레이저가공용광학장치, 특히 1개의 레이저빔을 복수의 초점에 집광하는 기능을 가진 다초점집광광학계를 구비한 레이저가공용광학장치에 관한것으로서, 레이저광을 다분할하는 기능을 집광기능과는 분리하므로서 반사경, 집광렌즈등 개개의 광학부품을 제작용이하게 해서 코스트를 저감하고 레이저가공시의 오염파손에 의한 유지비용을 저감시키는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 레이저발진기로부터 전송계를 개재해서 전송되어오는 레이저빔 B1은 가공헤드(1)안에서 평판현상의 반사경(3)에 의해 다분할(도시한 예는 2개)되고, 각각의 레이저빔 b1, b2는 또 1개의 단일의 포물변경(抛物面鏡)으로 이루어진 반사경(4)에 의해 반사되어서 피가공물 W위에서 가로방향으로 분산된 초점 P1, P2에 집광된다. 반사경(3)은, 면의 기울기를 변화시킬 수 있는 2개의 반원거울 (3a) (3b)로 이루어진 것을 특징을 한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing optical device, in particular a laser processing optical device having a multifocal focusing optical system having a function of focusing a single laser beam at a plurality of focal points. The purpose is to make individual optical parts such as a reflector and a condenser lens easy to manufacture by reducing the cost, and to reduce the maintenance cost due to contamination damage during laser processing. The laser beams B 1 transmitted through are divided into two (2 in the example shown) by the reflector 3 of the plate phenomenon in the processing head 1, and each of the laser beams b 1 and b 2 is 1 again. It is reflected by the reflector 4 which consists of four single parabolic changes, and is condensed on the focal points P 1 and P 2 which are horizontally dispersed on the workpiece W. The reflecting mirror 3 is characterized by consisting of two semicircular mirrors 3a and 3b capable of changing the inclination of the surface.

Description

레이저가공용 광학장치Laser processing optical device

제1도는 제1실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도.1 is a schematic perspective view of a processing head of the optical device of the first embodiment.

제2도는 제1도의 상세도면.2 is a detailed view of FIG.

제3도는 작용의 설명도.3 is an explanatory diagram of an operation.

제4도는 제2실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도 및 상세단면도.4 is a schematic perspective and detailed sectional view of a processing head of the optical device of the second embodiment.

제5도는 제 3실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도 및 상세단면도.5 is a schematic perspective and detailed sectional view of a processing head of the optical device of the third embodiment.

제6도는 제4실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도 및 작용설명도.6 is a schematic perspective view and explanatory view of a processing head of the optical apparatus of the fourth embodiment.

제7도는 제5실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도 및 개략단면도.7 is a schematic perspective and schematic sectional view of a processing head of the optical device of the fifth embodiment.

제8도는 제6실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도.8 is a schematic perspective view of a machining head of the optical device of the sixth embodiment.

제9도는 제7실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도 및 개략단면도.9 is a schematic perspective and schematic sectional view of a processing head of the optical device of the seventh embodiment.

제10도는 제7실시예의 가공헤드 윈도의 상세도.10 is a detailed view of a processing head window of the seventh embodiment.

제11도는 제8실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도 및 개략단면도.11 is a perspective view and a schematic cross-sectional view of a processing head of the optical device of the eighth embodiment.

제12도는 제9실시예의 광학장치의 가공헤드 개략단면도.12 is a schematic cross-sectional view of a processing head of the optical device of the ninth embodiment.

제13도는 제12도의 작용 설명도.13 is an explanatory view of the operation of FIG.

제14도는 제10실시예의 광학장치의 가공헤드 개략단면도 및 부분상세도.14 is a schematic sectional view and a partial detail view of a machining head of the optical device of the tenth embodiment.

제15도는 제11실시예의 광학장치의 가공헤드 개략사시도 및 부분상세도.15 is a schematic perspective and partial detail view of a machining head of the optical device of the eleventh embodiment;

제16도는 제15도의 부분확대단면도.16 is a partially enlarged cross-sectional view of FIG.

제17도는 제 12실시예의 부분확대단면도.17 is a partially enlarged cross-sectional view of a twelfth embodiment.

제18도는 원리적작용의 설명도.18 is an explanatory diagram of a principled action.

제19도는 원리적작용의 설명도.19 is an explanatory diagram of a principled action.

제20도는 원리적작용의 설명도.20 is an explanatory diagram of a principled action.

제21도는 원리적작용의 설명도.21 is an explanatory diagram of a principled action.

제22도는 종래예1의 광학장치의 가공헤드 개략단면도.22 is a schematic cross-sectional view of a processing head of the optical apparatus of the prior art example 1. FIG.

제23도는 종래예1의 광학장치의 가공헤드 개략단면도.23 is a schematic cross-sectional view of a processing head of the optical apparatus of the prior art example 1. FIG.

제24는 종래예1의 광학장치의 가공헤드 개략단면도.24 is a schematic cross-sectional view of a processing head of an optical apparatus of the prior art example 1. FIG.

제25도는 종래예1의 광학장치의 가공헤드 개략단면도.25 is a schematic cross-sectional view of a processing head of the optical apparatus of the prior art example 1. FIG.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

(1) : 가공헤드 (2) : 윈도(1): machining head (2): window

(3) : 반사경 (4) : 반사경(3): reflector (4): reflector

(5) : 집광렌즈(5): condensing lens

본 발명은, 레이저가공용 광학장치, 특히 1개의 레이저빔을 복수의 초점에 집광하는 기능을 가진 다초점집광광학계를 구비한 레이저가공용 광학장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing optical apparatus, in particular a laser processing optical apparatus having a multifocal focusing optical system having a function of focusing one laser beam at a plurality of focal points.

레이저의 이용분야의 하나로서, CO2레이저, YAG레이저 등의 여러가지의 레이저 발진기로부터 발생하는 고에너지의 레이저빔을 사용해서, 예를들면 절단, 용접, 구멍뚫기 등을 행하는 레이저가공기술이 있다. 이와같은 레이저가공에 사용되는 레이저가공용 광학장치는, 일반적으로 레이 저를 발진하는 레이저발진기, 이 발진기로부터의 레이저빔을 가공헤드에 인도하는 전송광학계, 및 레이저빔을 높은 에너지밀도로 집광해서 피가공물의 가공부분을 조사하기 위하여 가공헤드내부에 설치되는 집광광학계를 구비하고 있다.As one of the applications of the laser, there is a laser processing technology that performs cutting, welding, drilling, etc. using a high energy laser beam generated from various laser oscillators such as a CO 2 laser and a YAG laser. The laser processing optical apparatus used for such laser processing generally includes a laser oscillator for oscillating a laser, a transmission optical system for guiding a laser beam from the oscillator to a processing head, and a laser beam at a high energy density to concentrate the workpiece. A light converging optical system is provided inside the processing head to irradiate the processed portion of the processing head.

이러한 광학장치는, 절단, 용접, 구멍뚫기 등의 레이저가공에서는 일반적으로 고출력의 레이저빔을 1개의 빔으로서 그대로 피가공물에 조사해서 여러가지의 가공을 행한다. 그러나, 최근의 레이저장치기술의 진전에 의해 레이저빔의 점점더 고출력화가 도모되고, 레이저가공기술에 있어서 1개의 레이저빔을 2개 또는 그 이상의 복수개의 빔으로 분할해서 가공기술의 다양화가 여러가지로 시도되고 있다.In such an optical device, in laser processing such as cutting, welding, and drilling, generally, a high-power laser beam is irradiated onto the workpiece as a single beam to perform various processing. However, recent advances in laser device technology have resulted in higher and higher output power of laser beams. In laser processing technology, diversification of processing technology has been attempted in various ways by dividing one laser beam into two or more beams. have.

레이지빔을 2개의 빔으로 분할해서 이용하는 예로서, 예를들면 일본국 특개소 62-254991호 공보에 개시된 「 레이저용접법 및 장치」가 널리 알려져 있다.As an example of using a laser beam divided into two beams, the "laser welding method and apparatus" disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 62-254991 is known widely, for example.

이 공보에 의한 발명의 목적은 용해가 깊은(키홀)레이저용접을 얻는데 있고, 이와같은 용접법에서는 용접속도가 높아, 입열량이 작고, 열변형이 작아, 용융영역에 근접한 부위의 재료에 대한 열영향이 작은 등의 특징이 있다.The purpose of the invention according to this publication is to obtain a deep melting (keyhole) laser welding. In this welding method, the welding speed is high, the heat input amount is small, the thermal deformation is small, and the thermal effect on the material near the molten region. There are features such as this small.

이 공보에 의한 레이저접법에 사용되는 광학장치는, 제 22도에 표시한 바와 같이 레이저발진기 (CO2레이져)로 부터의 레이저광을 반사경(3)에서 반사하고, 또 다른 반사경(4)에서 2개의 빔으로 분할하는 동시에 각각의 빔스포트를 피가공물의 평면상에서 가로방향으로 일정거리에 격리된 상태에서 피가공물W에 집광조사하는 쌍스포트식 레이저용접장치이다.The optical device used for the laser method according to this publication reflects the laser light from the laser oscillator (CO 2 laser) in the reflector 3, as shown in FIG. A two-spot laser welding device for dividing beams into two beams and concentrating each beam spot onto the workpiece W while being separated at a predetermined distance in the transverse direction from the plane of the workpiece.

상기 공보와 마찬가지인 목적의 레이저가공용 집광장치가 일본국 특개평 4-182087호 공보에 의해 널리 알려져 있다. 이 공보의 집광장치도 거의 마찬가지의 구성이며, 쌍스포트식의 빔스포트를 얻기 위하여 집광계에 2중초점미러를 사용해서 2개의 집광점을 피가공물위에서 가로방향으로 분리하고 있다.A laser processing light collecting device for the same purpose as the above publication is widely known by Japanese Patent Laid-Open No. 4-182087. The condenser of this publication has a similar configuration, and in order to obtain a double-spot beam spot, two focusing points are separated horizontally on the workpiece by using a double focusing mirror.

한편, 상기 2개의 공보의 발명과 마찬가지의 목적, 구성의 광학장치이나, 집광광하계로서 피가공물의 바로앞의 반사경에 의해 레이저빔의 분리 및 집광을 행하는 것이 아니고, 2개의 레이저장치로부터의 2개의 레이저빔을 그대로 2개의 초점에 집광하는 광학장치에 대해서, 기술문헌 「Journal of Materials Science」 (Vol . 28, 1993, p1738)에 「Dual - beam co2laster cutting of think metallic materials」 (P.A. MOLIAN 저작)의 타이틀에 의해 기재되어 있다, 이 광학장치는, 제 23도에 표시한 바와 같이, 2개의 반사경 (4), (4)는 단순한 평면현상의 것이고 그 반사경과 피가공물 W의 사이에 렌즈 (5)를 설치하고, 이 렌즈 (5)에 의해 2개의 레이저빔을 그대로 2개의 초점에 집광하고 있다.On the other hand, the optical device having the same purpose and configuration as the inventions of the two publications and the laser beam are not separated and collected by the reflecting mirror in front of the workpiece as the condensing light beam. For an optical device that condenses two laser beams at two focal points as they are, the technical document Journal of Materials Science (Vol. 28, 1993, p1738) states Dual-beam co 2 laster cutting of think metallic materials (PA MOLIAN). This optical apparatus, as shown in FIG. 23, has two reflecting mirrors 4 and 4, which are simple planar phenomena, and a lens between the reflecting mirror and the workpiece W. (5) is provided, and the two laser beams are condensed into two foci as they are by this lens (5).

이 기술문헌에서는, 후판의 금속재료를 절단할때에 쌍빔에 의해서 절단하는 것의 효용이 학술문헌으로서 논해지고 있고, 레이저빔은 2개의 독립한 레이저장치로부터의 레이저를 그대로 집광하도록 하고 있다.In this technical literature, the utility of cutting with a double beam when cutting a metal plate of a thick plate is discussed as an academic literature, and the laser beam is intended to focus lasers from two independent laser devices as they are.

또, 일본국 특개평5-138385호 공보에 개시된 레이저가공방법 및 그 장치도, 마찬가지의 목적, 구성의 것이나, 이 경우는 복수의 초점을 피가공물W의 두께방향(레이저광의 축방향)으로 어긋나게할 수 있는 집광광학계가 사용되고 있다. 그리고, 이 집광광학계는, 제 24도에 표시한 바와 같이 피가공물W의 바로앞에 설치된 렌즈(5)를 다초점을 형성하는 형식으로 한 것과, 이와같은 렌즈를 설치하지 않고 제 25도에 표시한바와 같이 피가공물W의 바로앞의 반사경 (4)에 다초점을 형성하는 형식의 것을 사용한 것이 사용되고 있다.The laser processing method and the apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-138385 also have the same purpose and configuration, but in this case, a plurality of focal points are shifted in the thickness direction of the workpiece W (the axial direction of the laser light). A condensing optical system that can be used is used. As shown in FIG. 24, the condensing optical system has the lens 5 provided in front of the workpiece W in the form of multifocal, and is shown in FIG. 25 without providing such a lens. As described above, one using a type of forming a multifocal point in the reflecting mirror 4 immediately before the workpiece W is used.

상기한 여러가지의 종래기술에 대해서의 설명으로 부터 알수 있는 바와 같이, 용접 및 절단가공시에 깊은 용해를 실현하기 위해 2개의 레이저광을 조사하는 등 고에너지를 가진 레이저광을 2개 또는 그 이상으로 다분할해서 다초점화된 집광광학계가 주목되고 있다.As can be seen from the description of the various prior arts described above, two or more high-energy laser beams are irradiated, such as irradiating two laser beams to realize deep dissolution during welding and cutting. A condensing optical system that has been divided into multifocals and attracting attention is attracting attention.

다초점화하는 종래의 방법은, 피가공면상에서 광축에 수직인 방향으로 초점위치를 분산하는 수직방향 다초점화와, 광축방향으로 초점위치를 분산하는 축방향다초점화의 어느하나이다.Conventional methods for multifocalization are either vertical multifocals for distributing the focus positions in a direction perpendicular to the optical axis on the surface to be processed and axial multifocals for dispersing the focal positions in the optical axis direction.

그런데, 상기한 수직방향 다초점화 또는 축방향 다초점화의 어느하나의 경우이든, 집광광학부품에 다초점화의 기능을 가지게하면 그것이 집광미러이면 광을 분할반사 시키는 기능과 분할반사된 광을 상이한 복수의 초점에 집광하는 기능, 집광렌즈이면 광을 분할투과시키는 기능과 분할투과된 공을 상이한 복수의 초점에 집광하는 기능을 각각 동시에 가지고 있다. 따라서, 이들의 다초점광학부품은 제작이 어렵고, 매우 높은 정밀도가 요구되고, 이 때문에 일반적으로 이들은 대단히 고가이다.However, in any of the above-described vertical multi-focusing or axial multi-focusing, if the condensing optical part has the function of multi-focusing, if it is a condensing mirror, the function of dividing and reflecting the light and the plurality of divided-reflected light It has a function of focusing at the focus, a function of splitting light into a focusing lens, and a function of focusing the split-transmitted ball at a plurality of different focuses, respectively. Therefore, these multifocal optical parts are difficult to fabricate, and very high precision is required, which is why they are generally very expensive.

한편, 상기한 다초점광학부품을 사용해서 레이저가공할 경우, 다초점광학부품은 반드시 피가공물의 바로앞에 두기 때문에, 용접, 구멍뚫기, 절단 등의 가공시에 피가공물로부터 플라즈마형상으로 입자등 여러가지의 비산물이 발생하고, 이들이 다초점광학부품에 부착한다.On the other hand, in the case of laser processing using the above-mentioned multifocal optical part, since the multifocal optical part is always placed directly in front of the workpiece, the particles such as particles from the workpiece to the plasma shape during processing such as welding, drilling, cutting, etc. Fly-outs occur and they adhere to the multifocal optical component.

이 때문에, 다초점광학부품이 오염되거나, 파손하거나 하는 일이 많고, 실제의 사용에 있어서는 여러가지의 오염대책에 의해 광학부품의 수명연장대책이 도모되고, 종래의 방법은 어느것이나 만족한 것은 없고, 반드시 오염, 파손이 진행되고, 신품으로 교환할 필요가 자주생긴다. 따라서, 결국장치의 유지비용이 높아지며, 가공코스트가 높아진다.For this reason, multifocal optical parts are often contaminated or damaged, and in actual use, various measures for extending the life of the optical parts can be achieved by various pollution measures, and none of the conventional methods are satisfactory. Contamination and damage always occur, and it is often necessary to replace new ones. As a result, the maintenance cost of the apparatus is high, and the processing cost is high.

본 발명은, 상기한 종래의 다초점광학부품을 사용한 레이저가공용 광학장치의 문제점에 유의해서, 레이저광을 다분할하는 기능과 그들을 소정의 초점위치에 집광시키는 기능을 분리해서 설치하고, 피가공물의 바로 앞에 설치하는 광학부품의 정밀도를 높게할 필요가 없는 것으로 해서 신품과의 교환을 저코스트로 가능하게 하고, 또 부가기능을 부가한 레이저가공용 광학장치를 제공하는 일을 과제로 하는 것이다.The present invention takes note of the problems of the above-described conventional laser processing optical apparatus using a multifocal optical component, and separately installs a function of dividing the laser light and a function of condensing them at a predetermined focal position, It is a problem to provide an optical device for laser processing with low cost that can be exchanged with a new product by not having to increase the precision of the optical component installed immediately in front, and to add an additional function.

상기 과제를 해결하는 수단으로서 본 발명은, 레이저발진기와, 상기 발진기에 의해 사출된 레이저빔을 전송하는 전송광학계와, 레이저빔을 복수의 초점에 집광하는 집광광학계로 이루어지고, 집광광학계가 레이저빔을 복수의 빔으로 분할하는 단분할광학부품과 이들의 빔을 피가공물에 집광하는 집과부품을 분리해서 구비하고, 또한 다분할광학부품은 집광부품의 적어도 하나 바로앞쪽에 설치되어서 이루어진 레이저가공용 광학장치로 한 것이다.As a means for solving the above problems, the present invention comprises a laser oscillator, a transmission optical system for transmitting a laser beam emitted by the oscillator, and a condensing optical system for condensing the laser beam at a plurality of focal points. A single split optical component for dividing the beam into a plurality of beams and a collector and a component for condensing these beams on a workpiece, and the multi split optical component is provided in front of at least one of the light converging components. It was made with a device.

이 경우, 조사되는 레이저빔의 초점을 피가공물의 표면에서 광측과 직교하는 방향으로 분리하기 위하여, 상기 다분할광학부품이 직선형상의 분할선에서 분할된 복수의 광분할부재를 조합시킨 것으로 이루어지록 할수 있다.In this case, in order to separate the focus of the laser beam to be irradiated in a direction orthogonal to the light side on the surface of the workpiece, the multi-part optical component may be formed by combining a plurality of light split members divided in a straight dividing line. have.

이와같은 분할부재를 사용할 경우는, 상기 광분할부재가 복수평판형상의 반사경부재를 조합시킨 다분할반사경으로 이루어진 것으로 하는 것이 바람직하다.In the case of using such a dividing member, it is preferable that the light dividing member is made of a multi-division reflector combining a plurality of flat reflector members.

상기 다분할 반사경을 사용할 경우는, 상기 다분할반사경의 반사경부재를 각각 소정의 방향으로 각도변화가능한 구성으로 할 수 있다.In the case of using the multi-split reflector, the reflector members of the multi-split reflector can be configured to be angle-variable in predetermined directions, respectively.

또, 어느하나의 상기 다분할반사경을 소정방향으로 이동가능하게 구성할수도 있다.In addition, any one of the multi-division reflecting mirrors can be configured to be movable in a predetermined direction.

그 경우, 상기 다분할반사경을 그 중심축을 중심으로 회전가능하게 구성하도록 해도 된다.In this case, the multi-spread reflector may be configured to be rotatable about its central axis.

레이저빔의 초점을 광축과 직교방향으로 분리하는 다른 수단으로서는, 상기 광분할부재가 복수평판현상의 광투과부재를 조합시킨 다분할윈도로 이루어진 것으로 해도 된다.As another means for separating the focus of the laser beam in the direction orthogonal to the optical axis, the light splitting member may consist of a multisplitting window in which the light transmitting members of the plural flat phenomenon are combined.

이 경우, 상기 다분할윈도를 소정방향으로 이동가능하게 구성, 또는 상기 다분할윈도를 그 중심축을 중심으로 회전가능하게 구성, 또는 그 어느것의 구성도 구비하는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the multi-splitting window is configured to be movable in a predetermined direction, or the multi-splitting window is configured to be rotatable about its central axis, or any configuration thereof is also provided.

또, 레이저빔의 초점을 광축방향으로 어긋나게 하기 위하여, 상기 다분할광학부품이 동심원형상의 복수의 광분할부재를 조합시킨 것으로 이루어지도록 하는 것도 가능하다.In addition, in order to shift the focus of the laser beam in the optical axis direction, it is also possible that the multisplitting optical part is made of a combination of a plurality of concentric circular light splitting members.

이 경우는, 상기 광분할부재가 요철, 또는 평탄형상의 동심원형상의 반사경부재의 몇개인가를 조합시킨 다분할반사경으로 이루어진 것으로 할수 있다.In this case, the light splitting member can be made of a multi-specular reflector combining the unevenness or the number of flat concentric reflector members.

또는, 상기 광분할부재가 요철, 또는 평탄형상의 동심원형상의 광투과부재를 조합시킨 다분할윈도로 이루어진 것으로 할수도 있다.Alternatively, the light splitting member may be formed of a multi-splitting window in which uneven or flat concentric circular light transmitting members are combined.

상기의 구성으로 한 제 1발명의 광학장치는, 레이저빔을 가공헤드내에서 복수빔으로 분할한다. 그 분할방법은, 평행직선형상 또는 방사형상의 분할선에서 분할하는 방법과, 동심형상으로 분할하는 방법이 있다. 전자에서는 피가공물의 표면에서 광축과 직교하는 방향으로 초점이 집광된다. 후자에서는 광축방향으로 초점을 어긋나게 해서 집광된다. 이와같은, 다초점레이저가공의 유용성에 대해서 통상의 단초점에서는 얻을 수 없는 에너지밀도의 분포를 실현하는 방법으로서 여러가지의 이용방법이 있다.The optical device of the first aspect of the above-described configuration divides a laser beam into a plurality of beams in a processing head. The dividing methods include a dividing line in a parallel or radial dividing line and a dividing line in a concentric shape. In the former, the focus is focused in a direction orthogonal to the optical axis on the surface of the workpiece. In the latter case, light is focused by shifting the focus in the optical axis direction. As a method of realizing the distribution of energy densities which cannot be obtained in a normal single focal point with respect to the utility of such a multifocal laser processing, there are various methods of use.

상기 어느분할방법의 경우이든, 다분할광학부품에 의해 분할된 복수의 레이저빔은, 접근된 상태에서 통상적인 1초점의 집광학부품에 인도된다. 이들 복수의 레이저빔은 입사각이나 확대각등의 특성이 서로 다르기 때문에, 집광광학부품이 통상의 1초점의 집광광학부품이라도 상이한 복수의 초점에 집광하는 것을 가능하게 한다.In any of the division methods described above, the plurality of laser beams divided by the multi-part optical parts are guided to the conventional one-focus condensing optical part in the approached state. Since the plurality of laser beams have different characteristics such as the incident angle and the magnification angle, it is possible to condense the focusing optical part at a plurality of different focal points even if the focusing optical part is a conventional one-focus focusing optical part.

다분할 광학부품은, 상기 다초점집광광학부품보다도 제작이 비교적 용이하며, 제작비용이 값싸다. 또, 다분할광학부품은, 집광광학부품보다 바로 앞에 배치되고 있으므로, 상기 종래의 다초점집광광학부품과 같이 피가공물로부터의 비산용융물이나 증기에 노출되어 광학부품표면이 오염, 파손되는 일은 없으므로, 광학부품교환등의 유지비용을 저감할 수 있다. 따라서, 상기 다분할 광학부품을 사용한 다초점레이저가공용 광학장치는, 도입비용 및 유지비용 다같이 낮게 억제되는 것이 가능하게 된다.The multi-part optical component is relatively easy to manufacture than the multifocal condensing optical component, and the manufacturing cost is low. In addition, since the multi-part optical parts are disposed directly in front of the condensing optical part, the surface of the optical part is not contaminated or damaged due to exposure to fugitive melt or vapor from the workpiece as in the conventional multifocal condensing optical part. The maintenance cost of optical parts replacement etc. can be reduced. Accordingly, the optical apparatus for multifocal laser processing using the multi-part optical component can be suppressed to low as both the introduction cost and the maintenance cost.

상기한 다초점화하는 일의 유용성을 더구체적으로 설명하면, 상기 제2내지 제 9의 발명과 같이 광축에 수직인 방향의 다초점화에 대해서는, 제 18도(a)에 표시한바와 같이, 2초점의 경우는, P.A.MOLIAN의 문헌에 기재되어있는 바와 같이, 예를 들면 절단, 용접시에 선행하는 레이저빔에 의해서의 가공을 후방의 레이저빔에 의해서 더욱더 깊게 절단 또는 용접을 할수 있다고 하는 키홀효과와, 제 18도(b)와 같이 맞대기 용접시의 피가공물의 맞대기정밀도의 완화를 들수 있다.More specifically, the usefulness of the above-mentioned multifocalization will be explained more specifically. As shown in Fig. 18A, multifocals in a direction perpendicular to the optical axis, as in the second to ninth inventions, are shown in two-focused lines. In the case of PAMOLIAN, as described in the PAMOLIAN literature, for example, the keyhole effect that the processing by the preceding laser beam at the time of cutting and welding can be more deeply cut or welded by the rear laser beam. As shown in Fig. 18 (b), the butt precision of the workpiece during butt welding can be exemplified.

3초점이상의 다초점에 대해서는, 예를 들면 상기 2개의 효과를 병용하기 위하여 제 18도(c)와 같이 4초점으로 할 수도 있다. 또, 이들과는 목적이 완전히 다르나, 제 20도에 표시한 바와같이, 동일형상패턴의 가공을 동시에 행하기 위한 다초점화라고 하는 이용도 가능하다.For multifocals with three or more focal points, for example, in order to use the above two effects in combination, it may be set to four focal points as shown in FIG. 18C. Moreover, although the objective is completely different from these, as shown in FIG. 20, multifocalization for processing simultaneously the same shape pattern is also possible.

또한, 상기 초점계는, 어떤 1차원의 가공방향에서 가공할 때에 유효하나, 실제의 2차원, 3차원의 가공에서는, 가공방향에 따라서 각 초점의 위치관계를 바꾸지 않고 초점계를 회전하는 것이 필요하게 된다.(단, 다초점화의 방향이 광축방향뿐인 경우는 이 문제는 생기지 않는다). 이와같은 경우, 제 6 또는 제 9의 발명에서는 제 21도(a), (b)에 표시한 바와 같이 다분할반사경이나 다분할윈도를 회전(기호fc)시키므로서 대응할 수 있으나 종래기술에서는, 다초점집광광학부품을 회전시켜도 이와같은 일은 할수 없는 것이다.In addition, the focusing system is effective when processing in any one-dimensional processing direction, but in actual two-dimensional and three-dimensional processing, it is necessary to rotate the focusing system without changing the positional relationship of each focus depending on the processing direction. (However, this problem does not occur when the multifocal direction is only in the optical axis direction). In such a case, in the sixth or ninth invention, as shown in Figs. 21 (a) and (b), it is possible to cope by rotating the multi-division reflector or the multi-division window (symbol fc). Rotating a focusing optical component does not do this.

또, 이 회전을 고속으로 행하면, 제 21도(c)에 표시한 바와 같이 다초점의 빔스피닝도 가능하다. 다초점의 스피닝에서는, 복수초점은 스피니의 주파수를 높게하지 않아도 빈틈이 작은 조밀한 궤도를 그리므로, 보다 효과적으로 레이저에너지를 피가공물에 공급하는 것이 가능하게 된다.If the rotation is performed at high speed, as shown in Fig. 21C, multi-focus beam spinning is also possible. In multifocal spinning, plural focal points draw a dense orbit with small gaps without increasing the frequency of the spiny, so that the laser energy can be supplied to the workpiece more effectively.

또, 제 21도(d)에 표시한 바와같이, 빔스캔도 가르바노미터(Galvanometer)등에 의해 다분할 반사경이나 다분할윈도를 요동(기호 fd)시키므로서 할 수 있다.In addition, as shown in Fig. 21 (d), the beam scan can also be performed by swinging a multi-split reflector or a multi-split window by a galvanometer or the like (symbol fd).

제 10의 발명에 있어서의 광축방향의 다초점화의 이점에 대해서는 상기 특개평 5-138385호 공보에도 기재되어있는바와 같이, 후판의 가공에 있어서 뛰어난 성능을 발휘할 수 있는 것 등이다. 이 경우, 제 20도 (a)와 같이, 짧은 초점거리의 집광광학부품을 사용하면 레이저를 작은 스포트로 좁힐 수 있으나, 초점심도 L가 짧게 되기 때문에 후판가공에는 적합하지 않다. 그렇다고해서 제 20(b)와 같이 긴초점거리의 집광광학부품을 사용하면 초점심도L은 길게되나, 스프트직경도 크게되어 작게 좁히는 것을 할수 없다. 그래서, 본 발명에서는 제 20도 (c)와 같이, 광축방향으로 다초점화하고, 외관상 작은 스포트와 긴 초점심도 L'의 양쪽을 달성할려고 하는 것이다. 이에 의해 후판가공을 가능하게 하는 것, 피가공물쪽에 요구되는 위치정밀도의 여유도를 높이고 (광축방향으로 피가공물이 변동하는등), 피가공물위에서의 초점위치변동에 의한 가공불량을 방지할 수 있다. 이와같은 광축방향의 다초절화를 행하는 수단으로서는, 제 11 또는 제 12의 발명과 같이, 동심원형상의 반사경부재에 의한 다분할반사경, 또는 동심원형상의 광투과 부재에 의한 다분할 윈도의 어느것이라도 가능하며, 경제적코스트에 의해서 실현할 수 있게 된다.As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-138385, the advantages of multifocalization in the optical axis direction in the tenth aspect of the invention are excellent performances in the processing of thick plates. In this case, as shown in FIG. 20 (a), when a light converging optical component having a short focal length is used, the laser is spotted. It can be narrowed down, but it is not suitable for thick plate processing because the depth of focus L becomes short. However, if a long focusing light converging optical part is used as in Article 20 (b), the depth of focus L becomes long, but the shaft diameter It is too big and cannot be narrowed down. Therefore, in the present invention, as shown in FIG. 20 (c), multifocalization occurs in the optical axis direction, and the spot is small in appearance. And long focal depth is to achieve both L '. As a result, it is possible to enable thick plate processing, to increase the margin of positional accuracy required for the workpiece (the workpiece is fluctuated in the optical axis direction, etc.), and to prevent machining defects caused by the focal position change on the workpiece. . As the means for performing the multi-segmentation in the optical axis direction as described in the eleventh or twelfth invention, any of a multi-split reflector by a concentric reflector or a multi-split window by a concentric circular light transmitting member can be used. This can be realized by economic cost.

이하 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조해서 설명한다.Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

제 1도는 제 1실시예의 가동헤드부분의 개략사시도를 표시한다. 도면표시의 예에서는, 도면표시를 생략하고 있으나, 레이저가공용광학장치는, 예를 들면 CO2레이저등 의 고에너지레이저를 출력하는 발진기 및 레이저빔을 도면표시의 가공헤드부분까지 전송하는 전송계를 구비하고 있다. 이것은, 해당업자에는 주지의 사실이므로 도면을 간략화하기 위해 생략하고 있다.1 shows a schematic perspective view of the movable head portion of the first embodiment. In the drawing display example, the drawing display is omitted, but the laser processing optical apparatus includes, for example, an oscillator for outputting a high energy laser such as a CO 2 laser and a transmission system for transmitting a laser beam to the processing head portion of the drawing display. Equipped. Since this is a fact well known to the person concerned, it is abbreviate | omitted in order to simplify drawing.

상기 전송계에서 전송되는 레이저빔B가 가공헤드(1)에 입사하는 경계부에는 윈도라고 불리우는 광학부품이 배치되어 있으나, 이것도 간략화를 위해 도면생략하고 있다. 이 윈도는, 피가공물로부터 용융물, 증기가 비산하고, 전송광로에 진입하는 것을 차단하기 위해 또는 가공헤드내의 가스의 압력을 차단하기 위하여 설치된다.An optical component called a window is disposed at the boundary portion where the laser beam B transmitted from the transmission system is incident on the processing head 1, but this is also omitted for simplicity. This window is provided to block the flow of melt and vapor from the workpiece and to enter the transmission path or to block the pressure of the gas in the processing head.

가공헤드(1)에 입사된 레이저빔B1은 반사경(3)에서 경사방향으로 반사되나, 이 반사경(3)은 레이저빔B1을 2개의 빔으로 분할해서 반사하는 다분할반사경이다. 그리고, 반경(3)은 레이저빔 B1을 2개의 빔으로 분할하기 위해 경사각도가 다른 서로 평행하지 않는 2개의 평판형상의 반원거울(3a), (3b)로 이루어지고, 각각의 반원거울 (3a), (3b)는 회전가능하게 배치되어 있다.The laser beam B 1 incident on the processing head 1 is reflected in the oblique direction by the reflecting mirror 3, but the reflecting mirror 3 is a multi-division reflecting mirror which splits and reflects the laser beam B 1 into two beams. The radius 3 is composed of two flat mirror-shaped semicircular mirrors 3a and 3b which are not parallel to each other with different inclination angles for dividing the laser beam B 1 into two beams, and each semicircular mirror ( 3a) and 3b are rotatably arranged.

반사경(3)에서 2개로 분할해서 반사된 레이저빔 b1, b2는 또 1개의 반사경(4)에서 반사되는 동시에 각각의 b'1,b'2를 초점 P1, P2에 집광해서 피가공물W를 가공하도록 반사경(4)가 설치되어 있다. 반사경(4)는 통상적인 1초점의 포물면(抛物面)으로 이루어진 오묵면거울이며, 이에 의해 반사된 빔의 P1, P2는 피가공물W의 표면위에서 분리된 위치에 설정된다.The laser beams b 1 and b 2 which are split into two at the reflecting mirror 3 and reflected are reflected by one reflecting mirror 4 at the same time, converging the respective b ' 1 and b' 2 at the focal points P 1 and P 2 and avoiding them. The reflector 4 is provided so that the workpiece W may be processed. The reflecting mirror 4 is a mirror surface mirror made of a conventional one-focus parabolic surface, whereby P 1 and P 2 of the reflected beam are set at positions separated on the surface of the workpiece W. As shown in FIG.

또한, 이것도 도면표시 생략하고 있으나, 가공헤드(1)은 상기 윈도, 반사경(3), 반사경(4)를 포함하는 케이스로 이루어지고, 레이저빔b'1, b'2가 사출(射出)되는 형상에 적합한 노즐부를 하단부에 가지고, 케이스옆부분으로부터 도입되는 고압의 어시스트가스(절단에서는 O2가스, 용접에서는 불활성가스(N2, He등))를 노즐로부터 분출시키면서 레이저빔 b'1, b'2에 의해서 가공이 행하여진다.Although the drawings are also omitted, the processing head 1 is made of a case including the window, the reflecting mirror 3, and the reflecting mirror 4, and the laser beams b ' 1 and b' 2 are ejected. It has a nozzle part suitable for the shape at the lower end, and the laser beams b ' 1 , b are blown out with high pressure assist gas (O 2 gas in cutting, inert gas (N 2 , He, etc. in welding)) introduced from the side of the case. Machining is carried out by ' 2 .

제 2도의 확대단면도에 표시한바와 같이, 반사경(3)의 하부에는 베이스판(10)이 설치되고, 이 베이스판(10)의 사이에는 피에조압전소자(11)이 복수개 배치되어 있다. 피에조압전소자(11)은 반원거울(3a), (3b)의 각각을 도면중의 화살표방향으로 회전가능하게 하기 위한 것이며, 직류전압을 인가하면 상하방향으로 신축하므로서 반원거울(3a), (3b)를 미소각도회전시킬 수 있다.As shown in the enlarged cross-sectional view of FIG. 2, a base plate 10 is provided below the reflecting mirror 3, and a plurality of piezoelectric piezoelectric elements 11 are disposed between the base plates 10. The piezoelectric piezoelectric element 11 is for rotating each of the semicircular mirrors 3a and 3b in the direction of the arrow in the drawing, and when the DC voltage is applied, the piezoelectric mirrors 3a and 3b expand and contract in the vertical direction. ) Can be rotated at a small angle.

베이스판(10)은, 슬라이드판(12)와 고정판(13)으로 이루어지고, 그 단부에는 마이크로미터(14)가 설치되어 있다. 마이크로미터(14)를 구동하면 슬라이드판(12)가 고정판(13)에 대해서 슬라이드하고, 이에 의해 반사경(3)이 레이저빔 B1의 광축에 대해서 위치가 어긋나고, 반원거울 (3a), (3b)에 의한 b'1, b'2의 반사비율이 변화한다.The base plate 10 consists of the slide plate 12 and the fixed plate 13, and the micrometer 14 is provided in the edge part. When the micrometer 14 is driven, the slide plate 12 slides with respect to the fixed plate 13, whereby the reflector 3 is displaced with respect to the optical axis of the laser beam B 1 , and the semicircle mirrors 3a and 3b. ), The reflection ratio of b ' 1 and b' 2 changes.

또한, 상기 실시예에서는 베이스판(10)은 가공헤드의 케이스에 고정하는 것으로 하고 있으나, 베이스판(10)의 하부에 회전판을 설치하는 것이 바람직하다. 회전판은 모터등으로 임의의 각도 회전할 수 있도록 한다. 베이스판(10)을 회전하므로서 가공방향을 바꾸거나, 빔스피닝을 실시하는데에 유리하게 되기 때문이다.In addition, in the above embodiment, the base plate 10 is fixed to the case of the processing head, but it is preferable to provide a rotating plate below the base plate 10. The rotating plate may be rotated at an arbitrary angle by a motor or the like. This is because it is advantageous to change the machining direction or to perform beam spinning by rotating the base plate 10.

제 2도 (b)는 베이스판(10)을 이동시키는 다른 수단을 표시하고 있다. 이 예에서는, 슬라이드판(12)는 3각 형상의 슬라이드기판(12')와 일체로 형성되고, 이것이 고정판(13)에 대해서 이동가능하게 배치되고 있는 점만이 다르게 되어 있다.2B shows another means for moving the base plate 10. In this example, the slide plate 12 is formed integrally with the triangular slide substrate 12 'and differs only in that it is arranged to be movable relative to the fixed plate 13.

이상의 구성으로 된 제 1실시예의 광학장치는 다음과 같이 작용한다.The optical device of the first embodiment having the above configuration works as follows.

가공헤드(1)내에서 레이저빔 B1은 반사경(3)에 의해 2개의 방향으로 분할되어서 반사되고, 2개의 레이저빔 b'1, b'2는 반사경(4)에서 반사되고 또한 피가공물W의 표면상의 2개의 초점 P1, P2에 초점을 가지도록 집광된다.In the processing head 1, the laser beam B 1 is split and reflected in two directions by the reflector 3, and the two laser beams b ' 1 and b' 2 are reflected by the reflector 4 and the workpiece W It is focused to have focus on two focal points P 1 and P 2 on the surface of.

반사경(3)에서 레이저빔B1을 2개로 분할할 경우, 제 3도(a)에 표시한 바와 같이 반사경(3)의 2개의 반원거울 (3a), (3b)는 반사경(3)의 중앙분할라인에 가까운쪽의 피에조소자(11)에 고전압을 인가해서 팽창시키고, 예를들면, 0.2°정도의 기울기를 부여하므로서 분할된다.When dividing the laser beam B 1 into two in the reflector 3, the two semicircular mirrors 3a and 3b of the reflector 3 are centered in the reflector 3 as shown in FIG. The piezoelectric element 11 close to the dividing line is applied with a high voltage to expand, and is divided while giving an inclination of about 0.2 degrees, for example.

도면표시의 예에서는, 레이저빔 B1은 반사경(3)의 유효반사면의 정면에 정확히 조사되고, 이 때문에 2개의 레이저빔b'1, b'2는 제 3도(b)에 표시한 바와 같이 동일에너지분포의 레이저빔으로서 분할되어있다.In the example of the drawing, the laser beam B 1 is accurately irradiated to the front surface of the effective reflection surface of the reflector 3, so that the two laser beams b ' 1 and b' 2 are shown in FIG. 3 (b). Similarly, they are divided as laser beams of the same energy distribution.

상기 균등한 에너지분포(반드시 균등하지 않아도 된다)의 레이저빔b'1. b'2를 조사하고, 피가공물W를 제1도의 화살표방향으로 이동시키고, 예를들면 용접가공을 할 경우, 초점 P2의 광에 의해서 선행용접하고, 그후 초점 P1의 광에 의해서 마무리용접을 하므로서 완전한 용접이 행하여 진다.Laser beam b ' 1 of the equal energy distribution (not necessarily equal). When b ' 2 is irradiated, the workpiece W is moved in the direction of the arrow in FIG. 1, for example, in the case of welding, preliminary welding is performed by the light of the focus P 2 , and then the final welding is performed by the light of the focus P 1 . The complete welding is performed by doing this.

상기 용접등의 가공작업중에 피가공물W로부터 용융물, 증기등의 티끌, 먼지가 발생하여 가공헤드내에서 비산한다. 그러나, 본 실시예에서는 피가공물W의 바로앞에 설치되고 있는 반사경(4)는 단일의 포물면을 가진 오목면거울이기 때문에, 종래의 반사경과 같은 레이저광의 분할기능과 복수초점에의 집광기능을 병유하는 것에 비해서 제작이용이하기 때문에 코스트가 값싸며, 따라서 반사경(4)를 교환하므로서 생기는 러닝코스트를 낮게 억제할 수 있다.During processing such as welding, dust and dust such as melt and steam are generated from the workpiece W and scattered in the processing head. However, in the present embodiment, since the reflecting mirror 4 provided in front of the workpiece W is a concave mirror having a single parabolic surface, it has a function of splitting the laser light and condensing function of multiple focuses as in the conventional reflecting mirror. Compared with the above, the manufacturing cost is low, so the running cost caused by replacing the reflector 4 can be reduced.

또, 종래의 반사경에서는 레어저광의 분할기능과 집광기능을 고정된 거울면형상으로 발생시키는 구조이기 때문에, 분할비나 집광위치, 또는 집광점을 회전시킬 수 없는 데에 대해, 본 실시예에서는 이들 3개의 변화를 자유자재하게 실현할 수 있다.In the conventional reflecting mirror, since the splitting function and the condensing function of the rare light are generated in a fixed mirror plane shape, the split ratio, the condensing position, or the condensing point cannot be rotated. Can change dogs freely.

제 4도는 제 2실시예의 광학장치의 가공헤드 및 그 부분확대도를 표시한다.4 shows a machining head and a partially enlarged view of the optical device of the second embodiment.

본 실시예는, 레이저빔B1을 반사경(3)에 의해서 3개의 빔으로 분할하는 예를 표시하고 있는 점만이 다르고, 다른것은 제 1실시예와 마찬가지이다. 다만, 반사경(3)의 분할방법은 평행한 2개의 분할선에서 3개의 반사경부분(3a), (3b), (3c)로 분할되어 있다.The present embodiment differs only in that the example of dividing the laser beam B 1 into three beams by the reflector 3 differs from others in the same manner as in the first embodiment. However, the dividing method of the reflecting mirror 3 is divided into three reflecting mirror portions 3a, 3b, and 3c in two parallel dividing lines.

또한, 도면표시생략되어 있는 주요부재(레이저발진기, 전송계 등)이나 반사경(3)의 이동, 회전수단등도 제 1실시예와 마찬가지로 배설되고 있는 점은 물론이다.It is a matter of course that the main members (laser oscillator, transmission system, etc.), the movement of the reflecting mirror 3, the rotation means, etc., which are not shown in the drawings, are also provided in the same manner as in the first embodiment.

또, 본 실시예에서는 평행한 분할선에서 3개의 반사경부분으로 분할하고 있으나, 마찬가지인 분할선에서 4, 5, ...로 다분할 할수 있는 것은 말할것도 없다.Incidentally, in the present embodiment, the dividing line is divided into three reflecting mirror portions, but it goes without saying that the same dividing line can be divided into 4, 5, ....

제 5도는 제 3실시예의 광학장치의 가공헤드 및 반사경(평면경)의 개략도이다. 또한, 본 실시예를 포함하여 이하 제 6까지의 실시예에서는, 특별히 설명하지 않는한, 제 1실시예와 마찬가지인 주요부재, 조정부재를 구비하고 있다. 본 실시예는, 제 2실시에에 있어서의 반사경(3)의 분할방법과는, 반사경(3)의 중심점을 중심으로해서 방사형상으로 형성된 분할선에 의해서 3개의 반사경부분 (3a), (3b), (3c)로 분할되고 있는 점에서 다르게 되어 있다.5 is a schematic diagram of a processing head and a reflecting mirror (planar mirror) of the optical device of the third embodiment. In addition, in the following embodiments up to the sixth including the present embodiment, the main member and the adjusting member are provided in the same manner as in the first embodiment unless otherwise described. The present embodiment is different from the dividing method of the reflecting mirror 3 in the second embodiment by using three dividing mirror portions 3a and 3b by a dividing line formed radially about the center point of the reflecting mirror 3. ) And (3c).

따라서, 제 2실시예에서는 초점P1, P2,P3이 일직선상에 병렬배치되는 데에 대해서, 본 실시예에서는 3개의 초점P1, P2,P3이 3각형의 정점에 위치하고 있다. 3개의 초점 P1, P2,P3은 서로 위치를 조정할 수 있는 것은 말할 것도 없다. 본 실시예의 광학장치는, 3개의 초점P1, P2,P3이 3각형상으로 위치하므로, 구멍뚫기, 스피닝, 빔스캔등에 적합하다.Therefore, in the second embodiment, the focal points P 1 , P 2, and P 3 are arranged in parallel in a straight line. In the present embodiment, the three focal points P 1 , P 2, and P 3 are located at the vertices of the triangle. . It goes without saying that the three focal points P 1 , P 2 and P 3 can be adjusted to each other. In the optical device of this embodiment, since three focal points P 1 , P 2, and P 3 are located in a triangular shape, they are suitable for drilling, spinning, beam scanning, and the like.

제 6도는 제 4실시예의 광학장치의 가공헤드의 개략도를 표시한다. 본 실시예에서는, 제 5도의 실시예와 마찬가지로, 레이저빔B1을 반사경(3)의 중심점을 중심으로 방사형상으로 분할한 반사경부분 (3a), (3b), (3c), (3d)에 의해 4개의 레이저빔 b1, b2, b3, b4로 분할하고 있다.6 shows a schematic diagram of a processing head of the optical apparatus of the fourth embodiment. In the present embodiment, similarly to the embodiment of FIG. 5, the reflector portions 3a, 3b, 3c, and 3d are formed by dividing the laser beam B 1 radially about the center point of the reflector 3. by and divided into four laser beams b 1, b 2, b 3 , b 4.

제 6도(b)에 표시한 바와 같이, 반사경(3)의 정면위치에 레이저빔B1이 인도되어서 반사했을 때는 4개의 레이저빔은 균등한 빔으로서 분할되나, 상하C, D좌우 A, B에 반사경(3)을 이동시키면 그 분할상태가 변화하는 것을 알수 있다.As shown in FIG. 6 (b), when the laser beam B 1 is guided and reflected at the front position of the reflector 3, the four laser beams are divided into equal beams, but the upper and lower C, D right and left A, B It can be seen that when the reflecting mirror 3 is moved, the division state changes.

또한, 이와같은 빔의 분할비를 변화시키는 것은 다른 실시예에서도 실시 가능한 것은 특별히 설명하지않아도 명백할 것이다.In addition, it will be apparent that changing the splitting ratio of such a beam can be implemented in other embodiments without any particular description.

또, 본 실시예와 같이 반사경의 분할을 방사형상으로 형성하는 방법에 의해서, 4개이상으로 다분할 할수 있는 것은 설명할 필요 없이 가능하다.In addition, it is possible to divide into four or more parts by the method of forming a division of a reflecting mirror radially like this embodiment, without needing to demonstrate.

제 7도는 제 5실시예의 광학장치의 가공헤드의 개략도를 표시한다. 본 실시예에서는, 평판형상의 반사경(3)에서 레이저빔B1은 반사된 레이저빔B2로서 또 1개의 반사경(4)에 입사된다. 반사경(4)는, 제 1내지 제 4실시예의 반사경(3)과 마찬가지로, 레이저빔B2를 다분할하는 (본 실시예에서는 3개)평판형상의 다분할 반사경으로 이루어진다.7 shows a schematic diagram of a machining head of the optical apparatus of the fifth embodiment. In the present embodiment, the laser beam B 1 is incident on the one reflector 4 as the reflected laser beam B 2 in the flat reflector 3. The reflecting mirror 4 is made of a flat-split multi-split reflector that divides the laser beam B 2 (three in this embodiment) in the same manner as the reflector 3 of the first to fourth embodiments.

반사경(4)는, 실시예(2)와 마찬가지로, 평행한 분할선에서 다분할하는 반사경부분 (4a), (4b), (4c)로 이루어지고, 분할, 반사기능만을 가진 평판형상의 반사경부분을 가진다. 반사경(4)의 반대쪽에서는 반사경부분 (4a), (4b), (4c)의 기울기를 조정하는 수단(11), 베이스판(10)등의 배설되어 있다.The reflector 4 is made up of reflector portions 4a, 4b, and 4c which are divided into parallel dividing lines in the same manner as in the embodiment 2, and has a flat reflector portion having only a dividing and reflecting function. Has On the opposite side of the reflector 4, the means 11 for adjusting the inclination of the reflector portions 4a, 4b, 4c, the base plate 10, and the like are disposed.

분할된 레이저빔 b1, b2, b3은, 그 후 집광렌즈(5)를 통과하고, 이에 의해 피가공물W의 표면상에 초점 P1, P2, P3을 결상(結像)하도록 집광된다.The divided laser beams b 1 , b 2 , b 3 then pass through the condenser lens 5, thereby imaging the focal points P 1 , P 2 , P 3 on the surface of the workpiece W. Condensed

본 실시예의 광학장치에서도, 제 4실시예까지의 경우와 마찬가지로, 레이저빔의 분할기능과 집광기능은 분리되어 있고, 레이저빔의 분할기능을 가진 반사경(4)의 쪽이 집광렌즈(5)보다 바로 앞쪽에 설치되어 있다. 제 8도는 제 6실시예의 가공헤드의 개략사시도를 표시한다. 본 실시예는 제 7도의 제 5실시예의 변형예를 표시한 것이며 레이저빔 B2를 반사경(4)에서 3개의 레이저빔b1, b2, b3으로 분할하는 방법이 다르게되어 있다. 즉, 반사경(4)에서의 레이저빔의 분할은, 반사경(4)의 중심점으로부터 방사형상의 분할선에서 분할하도록 반사경(4)를 구성하고 있다. P1, P2, P3은 3각형의 정점상에 집광한다.Also in the optical device of this embodiment, as in the case of the fourth embodiment, the splitting function and the condensing function of the laser beam are separated, and the reflecting mirror 4 having the splitting function of the laser beam is more than the condensing lens 5. It is installed in front of you. 8 shows a schematic perspective view of the machining head of the sixth embodiment. This embodiment shows a modification of the fifth embodiment in FIG. 7 and the method of dividing the laser beam B 2 into three laser beams b 1 , b 2 , and b 3 in the reflector 4 is different. That is, the splitting of the laser beam in the reflecting mirror 4 constitutes the reflecting mirror 4 so as to divide the radial beam from the central point of the reflecting mirror 4. P1, P2, and P3 condense on the vertex of a triangle.

반사경(4)에서 반사, 분할된 레이저빔b1, b2, b3은 집광렌즈(5)에서 각각의 P1, P2, P3에 집광조사된다. 따라서, 집광렌즈(5)도 제 7도의 경우와 마찬가지의 것이 사용되고 있다.The laser beams b1, b2, b3 reflected and split by the reflector 4 are focused on the respective P1, P2, P3 by the condenser lens 5. Therefore, the same thing as the case of FIG. 7 is used also for the condensing lens 5.

제 9도는 제 7실시예의 가공헤드의 개략단면도를 표시한다. 본 실시예에서는 레이저빔B1은 가공헤드입구에 설치되는 윈도(2)에의해 분할(도면표시의 예에서는 3개로 분할)되고, 단일의 평판형상의 반사경(3)에 의해 반사된 후, 또 1개의 단일포물면으로 이루어진 반사경(4)에서 반사되는 동시에 피가공물W위의 초점P1, P2, P3에 집광조사된다.9 shows a schematic sectional view of the machining head of the seventh embodiment. In the present embodiment, the laser beam B1 is divided by the window 2 provided at the processing head inlet (divided into three in the example of the drawing) and reflected by a single flat reflector 3, and then 1 It is reflected by the reflector 4 consisting of two single parabolic surfaces and simultaneously focused on the focal points P 1 , P 2 , and P 3 on the workpiece W.

본 실시예에서는, 레이저광의 분할기능은 윈도(2)가 가지고, 반사경(3)은 단일평판형상의 반사경이며, 반사경(4)는 단일포 물면거울에서 반사집광기능만을 가진다. 윈도(2)는, 피가공물W로부터 가장 먼 위치에 있고, 가공시에 이물의 비산에 의해 오염, 파손될 가능성은 거의 없다.In this embodiment, the splitting function of the laser light is provided by the window 2, the reflecting mirror 3 is a single flat reflecting mirror, and the reflecting mirror 4 has only a reflecting condensing function in a single surface mirror. The window 2 is located farthest from the workpiece W, and there is little possibility that the window 2 will be contaminated or broken by scattering of foreign matter during processing.

제 10도에 상기 실시예의 윈도(2)의 단면형상 및 사시도를 표 시한다. (a)에 표 시한 바와 같이 , 윈도 (2)는 평행한 직선형상의 분할선에서 경사면(2A) , 평탄면 (2B), 경사면(2C)의 3개로 분할형성 되어 있다. (a')로 부터 그 경사면, 평탄면과의 관계가 이해될 것이다. 또한, (b)와 같이 분할면은 (a)와 반대방향으로 형성해도 된다 .10 shows a cross-sectional shape and a perspective view of the window 2 of the embodiment. As shown in (a), the window 2 is divided into three parts of the inclined surface 2A, the flat surface 2B, and the inclined surface 2C in parallel parallel dividing lines. From (a ') the relationship between the inclined plane and the flat plane will be understood. In addition, the division surface may be formed in the opposite direction to (a) like (b).

또한, 윈도(2)에 대해서도 제 1실시예와 마찬가지로 이것을 소정방향으로 이동 가능 하게, 또 그 중심축을 중심으로 회전기능 하게 설치할 수 있다 . 이 경우는, 도면표시생략하고 있으나, 윈도 (2)를 유지하는 홀더를 제 1실시예와 같은 마이크로미터에 의해 이동 가능하게 구성한다 . 또, 홀더를 스테핑모터와 같은 미소각도의 회전을 가능하게 하는 모터에 의해 회전 가능하게 하면 된다.Similarly to the first embodiment, the window 2 can also be installed so as to be movable in a predetermined direction and rotate about its central axis. In this case, although drawing is abbreviate | omitted, the holder holding the window 2 is comprised so that a movement is possible by the micrometer like 1st Example. Moreover, what is necessary is just to make a holder rotatable by the motor which enables rotation of a small angle like a stepping motor.

제 11도는 제 8실시예의 가공헤드의 개략단면도이다. 도면표시한 바와 같이 ,본 실시예에서는 반사경은 사용되어 있지 않고, 레이저빔 Bl은 윈도 (2)에서 분할되고, 각각의 레이저빔 b1, b2, b3이 집광렌즈(5)에서 초점 P1, P2, P3에 집광된다.11 is a schematic cross-sectional view of the machining head of the eighth embodiment. As shown, the reflector is not used in this embodiment, the laser beam B 1 is split in the window 2, and each laser beam b 1 , b 2 , b 3 is focused in the condensing lens 5. Condensed on P 1 , P 2 and P 3 .

윈도 (2)는 단순한 평판형상의 광투과창이 아니라, 광을 투광시키는 방향이 다른 3개의 평판형상투과부로 이루어진 창이다. 그러나, 집광렌즈 (5)는, 단일의 볼록렌즈로 이루어지고, 레이저광을 분할하는 기능은 없다 .The window 2 is not a simple flat light transmitting window, but a window composed of three flat light transmitting parts having different directions for transmitting light. However, the condenser lens 5 is composed of a single convex lens and does not have a function of dividing the laser light.

상기 설명으로부터 알수 있는 바와 같이, 본 실시예에서도, 레이저광을 분할하 는 기능과 집광하는 기능은 따로 따로 설치 되어 있고, 집광렌즈 (5)는 오염, 파손할 가능성 있으나, 윈도 (2)는 오염, 파손되는 일은 없다.As can be seen from the above description, also in this embodiment, the function of dividing the laser light and the function of condensing are provided separately, and the condenser lens 5 may be contaminated or damaged, but the window 2 is contaminated. It is not broken.

제 12도는 제 9실시예의 가공헤드의 개략단면도이다 . 제 1실시예 내지 제 8실시예까지는, 분할된 레이저광의 모두는 피가공물W의 표면상에서 가로 방향으로 분리, 즉 광축에 수직인 방향으로 분리하도록 레이저광은 분할, 집광시키고 있었으나, 본 실시예에서는 중심선의 축방향으로 상이한 초점을 가지도록 분할, 집광되는 점에서 이제까지의 실시예와는 전혀 다르게되어 있다 .12 is a schematic sectional view of the machining head of the ninth embodiment. Until the first to eighth embodiments, all of the divided laser lights were split and focused so as to be separated in the horizontal direction on the surface of the workpiece W, that is, in a direction perpendicular to the optical axis. It is completely different from the previous embodiments in that the light is divided and condensed to have different focal points in the axial direction of the center line.

레이저빔Bl은, 반사경(3)에서 반사되나, 제 12도의 A-A선 단면도 및 제 13도에 표시한 바와 같이, 이 반사경 (3)은 동심윈형상의 반사경부분 (3A),(3B),(3C)로 이루어 진다. 예를들면, 제 12도에 표시한 바와 같은 초점 P1, P2, P3을 가지는 반사경(3)은, 제 12도와 같이, 중앙의 반사경부분(3A)가 볼록하고, 중간의 (3B)가 평판링형상이고, 외주의 (3C)가 오목한 단면을 가진 것이고, 이들 반사경부분이 일체적으로 형성되어 있다Although the laser beam B 1 is reflected by the reflector 3, as shown in the cross-sectional view taken along line AA of FIG. 12 and FIG. 13, the reflector 3 has concentric reflector portions 3A, 3B, It consists of (3C). For example, in the reflector 3 having the focal points P 1 , P 2 , and P 3 as shown in FIG. 12, the central reflector portion 3A is convex, as shown in FIG. 12, and the middle (3B) Has a flat ring shape, the outer periphery 3C has a concave cross section, and these reflecting mirror portions are integrally formed.

반사경(3)에서 분할된 레이저빔 b1, b2, b3은, 또 1개의 반사경(4)에서 반사되어 b'1, b'2, b'3으로 되고, 또한 이들이 집광되어서 초점P1, P2, P3으로 된다.The laser beams b 1 , b 2 , b 3 divided by the reflector 3 are also reflected by one reflector 4 to be b'1, b'2, b'3, and they are focused to focus P 1. , P 2 , P 3 .

따라서, 본 실시예에서도 레이저빔의 분할기능과 반사기능은 분리해서 행하여 진다. 반사경 (4)는, 가공시에 비산하는 이물에 의해 오염, 파손될 가능성이 있으나,반사경 (3)은 오염, 파손될 가능성은 극히 낮아진다.Therefore, also in this embodiment, the division function and the reflection function of the laser beam are performed separately. The reflector 4 may be contaminated or broken by foreign matters scattered during processing, but the reflector 3 is extremely low in contamination and breakage.

또한, 제 13도의 (a)에 있어서 반사경 (3)에 의해 반사되는 레이저빔 b1, b2, b3은 볼록면 또는 오목면에서 직경이 약간 확대 또는 축소되나, 이 도면에 있어서는 그 기울기를 약간 과장해서 표시하고 있다.In addition, in FIG. 13A, the laser beams b 1 , b 2 , b 3 reflected by the reflector 3 are slightly enlarged or reduced in diameter in the convex or concave surface, but in this figure, the inclination is It is slightly exaggerated.

제 14도는 제 10실시예의 가공헤드의 개략단면도 및 그 부분 분해도이다.14 is a schematic cross-sectional view and a partial exploded view of the machining head of the tenth embodiment.

본 실시예는, 2개의 평판형상 또는 대략 평판형상의 반사경(3),(4)를 사용하고 있고, 포물면형상의 반사경은 사용하고 있지 않다. 다만, 반사경 (4)는 제 9실시예 (제12도 )의 반사경 (3)과 마찬가지로 볼록면(중앙), 평면(중간), 오목면 (외부쪽)으로 이루어진 복합곡면을 가지고, 볼록면, 오목면에 의한 레이저빔의 확대, 축소는 얼마안되는 각도이다.In this embodiment, two flat or substantially flat reflectors 3 and 4 are used, and no parabolic reflectors are used. However, the reflecting mirror 4 has a compound curved surface consisting of a convex surface (center), a plane (middle), and a concave surface (outer side) similarly to the reflecting mirror 3 of the ninth embodiment (Fig. 12). Magnification and reduction of the laser beam by the concave surface is a slight angle.

반사경 (4)에서 분할된 레이저빔 b1, b2, b3은, 집광렌즈(5)에서 각각 초점Pl, P2, P3에 집광된다. 초점 Pl, P2, P3은 중심선방향으로 초점위치가 어긋나서 설정되고 있다. 레이저빔 b1, b2, b3은, 제 13도에서는 평행광으로 보이나, 실제로는 b1은 조금 확대되고, b3은 조금 축소되어 있다 .The laser beams b 1 , b 2 , b 3 divided by the reflector 4 are condensed at the focal points P 1 , P 2 , P 3 in the condenser lens 5, respectively. The focal points P l , P 2 , and P 3 are set by shifting the focus position in the center line direction. Although the laser beams b 1 , b 2 and b 3 appear to be parallel light in FIG. 13, b 1 is actually slightly enlarged and b 3 is slightly reduced.

제 15도는 제 11실시예의 가공헤드의 개략단면도이다. 본 실시예는, 윈도 (2)와 평판형상의 반사경(3)와 포물면의 반사경(4)를 사용한 예이다. 윈도(2)는, 단순한 평판형상의 창이 아니라, 제 16도에 표시한 바와 같은 오목면(중앙)(2A), 평면(중간)(2B), 볼록면 (외부쪽) (2C)를 가진 복합면으로 이루어진 투과창으로서 형성되어 있다. 반사경(3)은 단일의 평판형상의 반사경이며, 반사경(4)는 단일포물면으로 이루어진 반사경이다 .15 is a schematic sectional view of the machining head of the eleventh embodiment. In this embodiment, the window 2, the flat reflector 3 and the parabolic reflector 4 are used. The window 2 is not a simple flat window, but a compound having a concave surface (center) 2A, a plane (middle) 2B, and a convex surface (outer side) 2C as shown in FIG. It is formed as a transmission window made of cotton. The reflector 3 is a single flat reflector, and the reflector 4 is a reflector consisting of a single parabolic surface.

또한, 제 16도(a), (b)에 표시한 바와 같이 , 윈도 (2)의 복합면은 레이저빔Bl에 대해서 순방향, 역방향의 어느것이라도 된다 .As shown in Figs. 16A and 16B, the composite surface of the window 2 may be either forward or reverse with respect to the laser beam B l .

분할된 레이저빔 b1, b2, b3은 반사경(3)에서 반사되어서 b'1, b'2, b'3으로 되고, 또 다른 반사경(4)에서 반사집광되어서 b"1, b"2, b"3로 되어 초점Pl, P2, P3에 집광조사된다.The divided laser beams b 1 , b 2 , b 3 are reflected by the reflector 3 to be b ' 1 , b' 2 , b ' 3 , and are reflected by another reflector 4 to be b " 1 , b " 2 , b " 3 is focused on the focal points P l , P 2 and P 3 .

제 17도는 제 12실시예의 가공헤드의 개략단면도이다. 본 실시예는, 제 11실시 예의 반사경 (3)과 (4)가 생략되고, 레이저빔 Bl을 윈도 (2)에서 분할하여, 이들을 집 광렌즈 (5)에서 집광하는 구성의 것이다.17 is a schematic sectional view of the machining head of the twelfth embodiment. In this embodiment, the reflecting mirrors 3 and 4 of the eleventh embodiment are omitted, and the laser beam B 1 is divided in the window 2 to condense them by the condenser lens 5.

윈도 (2)는, 제 11실시예의 것과 완전히 동일하며, 집광렌즈 (5)는 제 10실시예의 것과 완전히 동일하다.The window 2 is exactly the same as that of the eleventh embodiment, and the condenser lens 5 is exactly the same as that of the tenth embodiment.

본 실시예에서는, 레이저빔Bl은 윈도(2)에서 분할(3개의 빔)되고, 각각의 레이저빔 bl, b2, b3은 집광렌즈(5)에서 초점 Pl, P2, P3에 집광된다.In the present embodiment, the laser beam B l is divided (three beams) in the window 2, and each laser beam b l , b 2 , b 3 is the focal point P l , P 2 , P in the condenser lens 5. Condensed on 3

이상 상세히 설명한 바와 같이 본 발명의 제 1발명에 의하면, 1개의 레이저빔을 다분할 광학부품에 의해 복수의 레이저빔으로 분할하고, 통상의 1초점의 집광광학부품에 의해 상이한 복수의 초점에 집광하므로, 레이저가공분야에 있어서, 다초점레이저가공용 광학장치로서 이용하면 효과적이다. 그 경우, 피가공물의 바로 앞에 배치되는 집광광학부품은 정밀도가 높게 요구되지 않으므로 제작이 용이하며, 따라서 오염, 파손되더라도 신품으로 고환하는 비용은 종래보다 훨씬 저코스트로 되고 유지비용, 가공비용을 낮게 억제할 수 있다. 또, 다분할 광학부품은 집광광학부품에서 부터 바로 앞에 배설되므로, 오염, 파손할 가능성이 휠씬낮아진다.As described in detail above, according to the first invention of the present invention, one laser beam is divided into a plurality of laser beams by a multi-splitting optical part, and condensed on a plurality of different focal points by a conventional focusing optical part of one focus. In the laser processing field, it is effective to use it as an optical device for multifocal laser processing. In this case, the condensing optical parts placed directly in front of the workpiece do not require high precision and are easy to manufacture. Therefore, even if they are contaminated or damaged, the cost of testimonials to new products is much lower than before, and maintenance and processing costs are lower. It can be suppressed. In addition, since the multi-part optical component is disposed immediately before the light converging optical component, the possibility of contamination and damage is much lower.

다분할광학부품은, 제 2의 발명에 의하면 광축방향으로 레이저빔를 분할하는 광분할부재의 조합으로 할수 있고, 이 경우는 초점을 피가공물의 표면위에서 광축방향과 직교방향으로 분리할 수 있다.According to the second aspect of the present invention, the multi-part optical component can be a combination of light splitting members for dividing the laser beam in the optical axis direction. In this case, the focus can be separated in the direction perpendicular to the optical axis direction on the surface of the workpiece.

광축 방향으로 레이저빔을 분할하는 광분할부재의 조합에 의한 다분할광학부품은, 제 3발명에 의하면, 다분할반사경으로 할수 있고, 제 7의 발명에 의하면 다분할 윈도로 할수 있다. 어느 부품도 분할기능이 있으면 되므로, 부품의 코스트도 저코스트로 제작할 수 있다.According to the third aspect of the present invention, a multi-split optical component by a combination of light splitting members for dividing a laser beam in the optical axis direction can be a multi-spread reflector, and according to the seventh invention, it can be a multi-split window. Since any part needs to have a division function, the cost of the part can be produced at a low cost.

다분할 광학부품으로서 다분할반사경을 사용할 경우, 제 4발명과 같이, 복수의반사면이 독립으로 방향가변하게 장비되므로서, 복수의 초점위치를 독립적으로 이동하는 것이 가능하게 되므로, 각 초점위치를 이동해서 레이저가공조건을 변화시키는데에이용하면 효과적이다. 마찬가지로, 제 5발명과 같이 , 다분할반사경이 그 자체로 이동가능하게 장비되므로서, 레이저빔의 에너지분할비율을 바꾸는 것이 가능하게 되므로,에너지분할비율을 바꾸어서 레이저가공조건을 변화시키는데에 이용하려면 효과적이다.When the multi-division reflector is used as the multi-division optical part, as in the fourth invention, since the plurality of reflecting surfaces are equipped to change directions independently, it is possible to move the plurality of focus positions independently. It is effective to move and change the laser processing condition. Similarly, as in the fifth invention, the multi-reflector reflector is equipped to be movable by itself, so that it is possible to change the energy splitting ratio of the laser beam, so that it is effective to use it to change the laser processing conditions by changing the energy splitting ratio. to be.

또, 제 6발명과 같이, 다분할반사경을 회전가능하게 하면 스피닝가공이, 요동가능하게 하면 스캔처리도 자유자재하게 된다. 또, 다분할반사경은, 다초점집광광학부품보다도 제작비용이 비교적 값싸며, 또 다초점집광광학부품과 같이 피가공물로부터의 비산용융물이나 증기에 노출되어 광학부품표면을 오염, 파손되는 위치에는 없으므로, 다초점레이저가공 광학장치의 도입비용 및 유지비용을 억제하는 효과가 있다 .In addition, as in the sixth aspect of the present invention, when the multi-division reflector is rotatable, the spinning processing becomes free, and when the oscillation is enabled, the scanning process is freely available. In addition, the multi-spliced reflector has a relatively lower manufacturing cost than the multifocal condensing optical component, and like the multifocal condensing optical component, it is not in a position where the surface of the optical component is contaminated or damaged due to exposure to fugitive melt or vapor from the workpiece. In addition, the cost of introducing and maintaining the multifocal laser processing optics can be reduced.

제 8발명과 같이, 레이저빔을 동심원형상으로 상이한 곡면에서 분할하는 광분할 부재의 조합으로 이루어진 다분할 광학부름을 사용할 경우는, 복수의 초점을 광축방향으로 어긋나게 해서 집광하는 것이 가능하게 되고, 가공처리의 정밀도 향상에 다대한 효과를 얻을 수 있다.As in the eighth invention, in the case of using a multi-part optical call composed of a combination of light dividing members for dividing a laser beam in a concentric circular shape, a plurality of focal points can be shifted in the optical axis direction and condensed. A great effect can be obtained in improving the processing precision.

Claims (10)

레이저발진기와, 상기 발진기에 의해 사출된 레이저빔을 전송하는 전송광학계와, 레이저빔을 복수의 초점에 집광하는 집광광학계로 이루어지고, 집광광학계가 레이저빔을 복수의 빔으로 분할하는 다분할광학부품과 이들의 빔을 피가공물에 집광하는 집광부품을 분리해서 구비하고, 또한 다분할광학부품은 집광부품의 바로 앞쪽에 설치되어서 이루어지고, 상기 다분할광학부품이 직선형상의 분할선에서 분할된 복수의 광분할부재를 조합시킨 것으로 이루어지고, 상기 다분할광학부품이 레이저빔을 광축과 동심원형상으로 분할하는 복수의 광분할부재를 조합시킨 것으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.A multi-segmented optical component comprising a laser oscillator, a transmission optical system for transmitting the laser beam emitted by the oscillator, and a condensing optical system for condensing the laser beam at a plurality of focal points, wherein the condensing optical system divides the laser beam into a plurality of beams. And condensing parts for condensing the beams to the workpiece, and the multi-part optical parts are provided directly in front of the light-collecting part, and the multi-part optical parts are divided in a straight dividing line. And a plurality of light splitting members for dividing a laser beam into an optical axis and a concentric circle. 제1항에 있어서, 상기 광분할부재가 복수평판형상의 반사경부재이며, 상기 다분할광학부품이 이 반사경부재를 조합해서 이루어진 다분할반사경인 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.The optical device for laser processing according to claim 1, wherein the light splitting member is a plural flat reflector member, and the multisplit optical component is a multisplitting reflector made by combining the reflector members. 제2항에 있어서, 상기 다분할반사경의 반사경부재를 각각 광축에 수직인 방향으로 각도변화가능하게 구성한 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.3. The laser processing optical apparatus as set forth in claim 2, wherein the reflector members of the multi-division reflecting mirror are configured to be changeable in angle in a direction perpendicular to the optical axis, respectively. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 다분할반사경을 광축에 수직인 방향으로 이동가능하게 구성한 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.The optical device for laser processing according to claim 2 or 3, wherein the multi-division reflecting mirror is configured to be movable in a direction perpendicular to the optical axis. 제2항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다분할반사경을, 그 중심축을 중심으로 회전가능하게 구성한 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.The optical device for laser processing according to any one of claims 2 to 4, wherein the multi-division reflecting mirror is configured to be rotatable about its central axis. 제1항에 있어서, 상기 광분할부재가 복수평편형상의 광투과부재이며, 상기 다분할광학부품이 이 광투과부재를 조합해서 이루어진 다분할윈도인 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.The optical device for laser processing according to claim 1, wherein the light splitting member is a plurality of flat light transmitting members, and the multisplitting optical component is a multisplitting window formed by combining the light transmitting members. 제6항에 있어서, 상기 다분할윈도를 광축에 수직인 방향으로 이동가능하게 구성하는 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.The optical device for laser processing according to claim 6, wherein the multi-splitting window is configured to be movable in a direction perpendicular to the optical axis. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 다분할윈도를, 그 중심축을 중심으로 회전가능하게 구성한 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.The optical device for laser processing according to claim 6 or 7, wherein the multi-splitting window is configured to be rotatable about a central axis thereof. 제1항에 있어서, 상기 광분할부재가 요철, 또는 평탄형상의 동심원형상의 반사경부재이며, 상기 다분할광학부품이 이 반사경부재의 몇 개인가를 조합해서 이루어진 다분할반사경인 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.2. The laser processing optics according to claim 1, wherein the light splitting member is a concave-convex or flat concentric reflector member, and the multisplit optical component is a multi-spray reflector made by combining some of the reflecting mirror members. Device. 제1항에 있어서, 상기 광분할부재가 요철, 또는 평탄형상의 동심원형상의 광투과부재이며, 상기 다분할광학부재이 이 광투과부재를 조합해서 이루어진 다분할윈도인 것을 특징으로 하는 레이저가공용 광학장치.The optical device for laser processing according to claim 1, wherein the light splitting member is an uneven or flat concentric light transmitting member, and the multisplitting optical member is a multisplitting window formed by combining the light transmitting members.
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