KR100219747B1 - 유체 전달장치용 마이크로밸브 및 유체 전달장치의 형성방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 전자산업에 사용하기에 적합한 가스전달의 유압작동밸브와 같은 유체전 달력 작동방식의 밸브는 압축유체의 힘에 관련없이 밸브를 개방 또는 페쇄하기 위한 발동수단이 사용될 수 있도록 벨로우즈 수단을 채용하고 있다. 본 발명에는 또한 가스와 같은 압축유체 전달을 위한 방법이 공개되어 있다.

Description

유체전달장치용 마이크로 밸브 및 유체전달장치의 형성방법

제 1도는 본 발명에 따른 유체전달력으로 작동되는 밸브의 횡단면도.

제 2도는 제 1도의 유체전 달력으로 작동되는 밸브의 폐쇄된 위치를 도시한 횡단면도.

제 3도는 제 1도의 유체전 달력으로 작동되는 밸브의 개방된 위치를 도시한 횡단면도,

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 밸브 4 : 밸브몸체

6 : 입구 8 : 출구

10, 16, 20 : 통로 12, 18, 40, 50 : 챔버

14 : 벨로우즈 19 : 실(seal)

22 : 포펫(pottet) 24 : 자루

26 : 피스톤 28 : 엑츄에이터 하우징

30 : 공동부 32, 36 : (피스톤의) 앞면

34 : 압축스프링 44 : (하우징의) 내벽

46 : (벨로우즈의) 한쪽단부 48 : (벨로우즈의) 맞은편 단부

47 : 단부 캡 52 : O링

54 : 나선형 핀 56 : 하부내벽

본 발명은 가스전달장치와 같은 압축유체전달 장치에 사용하기에 적합한 유체전 달력으로 작동되는 밸브에 관한것이며, 특히 전송되는 유체의 압력에 관계없이 작동될 수 있도록 벨로우즈(bellows) 수단을 사용하는 밸브에 관한 것이다.

반도체 제조산업과 열러가지 다른 산업분야에서는, 통상적으로 공구위치로 일컬어지는 사용점 위치(point-of-use location)에 고순도의 처리가스클 전달할 목적으로 가스 캐비닛이 사용되고 있다. 이러한 가스 캐비닛에는 고순도의 가스 공급실린더와, 공구위치에 가스를 전달하기 위한 가스 패널이 갖추어져 있다. 고순도의 가스전달을 위해서는, 1백만 불순단계 마다의 부품들이 반도체 및 다른 고순도의 생산품에 악영향을 미치기 때문에, 처리가스가 오염이 가장적은 공구위치로 전송되어야 한다. 그밖에, 가스 캐비닛의 작동자의 건강과 안전을 위협할 수 있는 가스 누출이 없이 가스패널이 안전하게 작동할 수 있도록 보장되어야 한다. 따라서, 가스패널은 가스의 순도와 완전한 안전을 유지하는 동안 바라는 압축단계로 가스를 전송하도록 요구된다. 이러한 가스패널은 가스의 오염이 없이 가스 실린더를 완전하게 교환할 수 있도록 정화기능도 제공하여야 한다.

이러한 목적을 위해서, 통상의 가스패널은 특수밸브, 부품, 고순도의 상호연결된 파이프 및 결합된 본체, 가스패널에 대해서 입구에 부착된 위험한 가스실린더 및 적절한 파이프라인을 통해서 처리반응기에 부착된 가스패널의 출구로 구성되어 있다.

다양한 압력으로 가스를 전송하기 위해서 종래기술에서 사용되는 여러종류의 밸브가 존재하고 있다. 순수하거나 해로운(부식성, 가연성, 독성등) 가스를 사용하는 반도체 및 다른 하이테크 산업에서 발견되는 것과 같이, 순도 또는 안정성이 가장 중요한 응용분야에 벨로우즈 방식의 밸브가 사용되어 오고 있다. 이러한 종래기술의 예는 미합중국 특허 제 4,526,341호, 제 4,634,099호, 제 4,687,017호, 제 4,T12,5T6호, 제 4,T63,690호 및 제4,995,589호에 공개되어 있다.

종래기술의 밸브는 밸브밀봉의 기간을 제한할 수 있고 고압상태의 경우에 불안정 상태를 유발할 수 있는 압력에 따른 밸브의 밀봉력을 가진다. 통상적으로 압축 스프링은 밸브의 실(5531)을 밀폐된 위치로 기울게 한다. 입구에 압력이 가해질때, 실(seal) 구역상에 작용하여 반력을 형성하는 입구의 압력으로. 인해서 스프링(사행)의 힘중의 일부가 상쇄된다. 밸브의 밀봉력은 입구의 압력에 반비례한다. 이것은 입구의 압력이 높을수록 밀폐된위치에 밸브를 유지하려고 하는 사행력(biasing force)이 많아지는 것을 의미한다. 따라서, 실(5031)은 고압 또는 사행력이 작은 상태에서는 양의 밀봉을 제공하기에 충분할 만큼 감도가 우수해야 하고 저압 또는 사행력이 큰 상태에서는 중요한 추진력을 견뎌내기에 충분한 만큼 내구력이 있어야 한다. 입구의 압력이 최대 배율의 압력이상으로 부주의하게 증가되는 경우에는, 밸브가 제대로 개방되지 않아서 불안정한 상태가 형성된다. 미합중국 특허 제4,763,690호에는 밀봉력이 입구압력에 정비례하는 과압의 상태의 경우에 불안정상태의 밀폐를 제공하는 밸브가 공개되어 있다. 종래 기술의 고압방식의 밸브는 유압작동기의 물리적 크기로 인해서 단일 몸체내에 통합하기에는 적합하지 않다. 유압작동기의 크기와 그 밸브의 작도압력도 간에는 비례관계가 존재한다. 2개 이상의 밸브, 특히 고압 밸브를 통합하려는 시도는 잠재적인 순도, 안정성 및 조절의 이익을 감소시킬 수 있음과 동시에 관련 비용, 중량, 제조상의 문제점 및 설치상의 문제점을 증가시킨다. 따라서, 이러한 방식의 밸브를 단일몸체에 통합하기 보다는 각각의 밸브를 공통으로 용접하는 것이 더욱 바람직하다.

본 발명의 목적은 유체의 유입압력에 관계없이 효율적으로 작동하는 유체전달력으로 작동되는 밸브를 제공하려는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 밸브의 작동수단이 유체의 유입압력에 관계없이 작동되도록 유체의 압력을 효율적으로 상쇄시키기 위해서 벨로우즈수단을 채용하고 있는 유체 전 달력으로 작동하는 밸브를 제공하려는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 전자 산업용의로 사용하기에 이상적으로 적합한 가스전달의 유압작동 밸브를 제공하려는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 제조비용면에서 효율적인 유체 전달력으로 작동하는 밸브를 제공하는 것이다.

이러한 여러가지 목적에 의해서 본 발명은 지금부터 보다 상세히 설명되고, 이것이 새로운 특징들은 첨부된 특허청구의 범위에 언급되어 있다.

본 발명은 벨로우즈 수단을 포함하는 제 1 챔버와 소통하는 적어도 하나의 입구와, 제 2 챔버와 소통하는 적어도 하나의 출구와, 제 2 챔버에제 1 챔버를 연결하는 통로와, 이 챔버들 간에 유체가 흐르는 것을 방지하도록 이 통로를 차단하기 위한 가동수단을 포함하고 있는 유체전 달력으로 작동되는 밸브에 관한 것이다. 가동수단은 이 통로를 차단하도록 제 1 위치에 이것을 유지하기 위한 사행력(biasing force)을 가지고 있고, 이 사행력을 초과하는 힘이 사행력의 반대쪽으로 가해질때, 가동수단은 이 통로를 개방하기 위한 제 2 위치로 이동된다. 벨로우즈수단은 가동수단과 결합되어 있어서, 가동수단을 제 2 위치로 이동시키기 위해서 압축유체로 부터의 힘을 이 가동수단에 대해서 제 1 챔버로 이송할때 벨로우즈 수단이 이 압축유체에 의해서 수축된다. 이 벨로우즈 수단은 가동수단을 제 2 위치로 이동시키기 위한 압축유체의 힘이 제 1 위치에 가동수단을 유지하도록 가동수단상에서 작용하는 벨로우즈 수단으로 부터의 힘에 의해서 상쇄되도록 제 f 위치에 가동수단을 유지하기 위해서 가동수단상에 힘을 가한다. 사행력을 초과하여 가동수단에 가해지는 힘은 통로를 차단하지 않도록 가동수단을 제 2 위치로 이동시켜서 압축유체의 힘과 관계없이 챔버들 사이에 유체가 흐르게 한다.

본 발명의 바람직한 실시에는 제 1 챔버쪽으로의 유입유체가 벨로우즈 수단의 상부 또는 윗부분으로 향하도록 위치된 입구와, 이 유체가 벨로무즈 수단의 하부의 제 1 챔버로부터 배출되도록 위치된 출구를 가지는 것이다. 이것은 유체를 벨로우즈의 주위로 이송시킴으로써 제 1 챔버내의 유체의 빠짐을 방지하여 전달되는 유체의 순도를 보장한다.

이러한 유체는 기체 또는 액체일 수 있지만 바람직한 유체는 기체이다. 밸브를 작동시키기 위한 힘은 밸브의 작동수단에 대해서 작용하는 기체, 액체 또는 고체로 부터의 힘과 같은 임의의 힘일 수 있다. 저장탱크 또는 실린더와 작업구역 사이에서 기체와 같은 유체로 사용될 수 있는 비교적 작은 블록내에 조립된 다수의 밸브를 제공하기 위해서 이러한 밸브가 다른 유사한 밸브들과 조합될 수 있다. 본 발명에 따른 기체전달 유압작동밸브의 잇접은,

a) 순도의 증대-습한 표면적 감소, 점화가능한 부피의 감소, 빠짐면적의 감소 및 대기에 대한 밀봉감소(기체 오염원)

b) 안정성 증대-대기, 기계적연결 및 용접 조인트에 대한 밀봉과 같은 소오스로 부터의 누출가능성의 감소,

c) 최소의 유출 또는 체적 감소, 그리고

d) 비용의 효율성-재고의 필요성의 감소조립 및 제조시의 노동력의 감소 및 단순한 설계와 서비스

본 발명은 또한 유체전달장치를 제공하기 위한 방법에 관한 것이며, 이러한 장치에서는 압축유체가 입구로 유입되고 출구로 부터 배출되어 유체의 압력에 관계없이 힘이 가해질때 이 압축 유체가 조절될 수 있으며, 이 방법은,

a) 입력유체를 수용하기 위한 밀폐된 제 1 챔버를 제공하고, 제 1 챔버로 부터 배출되는 유체를 수용하기 위한 밀폐된 제 2 챔버를 제공하며, 그리고 이 제 1 챔버와 제 2 챙버의 사이에 통로를 제공하는 단계와,

b) 이 통로를 밀폐하거나 개방하기 위한 이동 가능한 밸브 밀봉수단을 제공하고, 가동 밸브 밀봉수단을 폐쇄된 위치에 유지하도록 기울어진 수단을 제공하는 단계와,

c) 유입유체가 가동 밸브 밀봉수단을 밀폐위치에 위치시키기 위해서 이 위체서 ·통제되는 힘을 벨로우즈상에 직접가함과 동시에 이 유입유체가 통로를 개방하도록 가동 밸브 밀봉수단상에 직접 힘을 가하도록 가동 밸브밀봉수단에 부착된 제 1 챔버에 벨로우즈를 제공하며, 가동 밸브 밀봉수단상의 벨로우즈에 의해서 가해지는 힘이 유입유체에 의해서 가동 밸브밀봉 수단상의 직접 가해지는 힘과 같거나 이보다 크거나 밸로스를 선택하는 단계와, 그리고

d) 배출을 위해서 제 1 챔버로부터 제 2 챔버로 유입압축 유체가 이송되도록 가동 밀봉수단을 제 2 위치로 이동시키기 위해서 이러한 가동 밀봉수단에 대해서 분력을 제공하며 제 1 챔버쪽으로 유입압력 유체를 공급하고, 이러한 흐름은 유입압축 유체의 힘에 관계없이 가동 밸브 밀봉수단에 대해서 가해지는 분력에 따라서 연속되거나 중단되는 단계를 포함하고 있다.

유체와 관련된 압력의 힘으로부터 상쇄된 효과는 엑츄에이터에 대해서 스프링과 같은 기울어진 수단이 확실한 밀봉을 형성하기에 충분하게 함으로써 그결과 기울어진 수단이 상당히 소형화된다. 따라서, 기울어진 수단을 극복하는데 필요한 구동력이 상당히 감소될 수 있다. 블록내의 밸브조립체는 통상적으로 2개 이상의 밸브인 구 또는 통로를 사용하여 제조될 수 있다. 각각의 밸브의 입구 또는 출구의 챔버는 이 밸브상의 하나의 구가 다른 밸브상의 다른 하나의 구에 연결될 수 있도록 공의 통로로 통해있다. 다라서 상호연결된 매우 다양한 형상이 성취될 수 있다.

제 1도에는 입구(6)와 출구(8)를 갖춘 밸브의 몸체(4)를 포함하는 유체전달력으로 작동하는 밸브(2)가 도시되어 있다. 입구(6)는 통로(10)를 통해서 벨로우즈(bellow)(14)를 수용한 챔버(12)와 연결되어 있다. 출구(8)는 통로(16)를 통해서 챔버(18)와 연결되어 있다. 챔버(12)의 하단에 위치한 통로(20)는 챔버(18)와 통해 있다. 포펫(poppet)(22)은 챔버(18)내에 위치하고, 이 포펫은 통로(20)의 구멍위로 추진될때 유체가 챔버(18)내로 유입되는 것을 방지하기 위해서 통로(20)를 차단할 수 있도록 또는 통로(20)의 구멍으로부터 떨어질때 유체가 흐를수 있게 하도록 통로(20) 위에 위치된 실(seal)(19)을 갖추고 있다. 이 포펫(22)은 엑츄에이터 하우징(28)내에 위치된 엑츄에이터 피스톤에 고정되어 있는 자루(stem)(24)에 고정되어 있다. 엑츄에이터 하우징(28)내의 공동부(30)는 기체, 고체 또는 액체수단으로 부터의 외력이 액츄에이터 피스톤(26)의 피스톤(26)의 앞면(32)과 접촉하게 해서 챔버912)의 통로(20)로 부터 밸브 실(19)을 멀어지게 하기 위해서 포펫(22)에 힘을 가하도록 축선방향의 하부로 포펫을 이동시키게 한다. 통로(20) 위의 밀폐된 위치에 밸브 실(19)을 유지하기 위해서, 압축스프링(34)은 피스톤(26)의앞면(36)과 밸브몸체(4)의 피스톤(26)의 앞면(36)과 밸브몸체(4)의 앞면(38)사이에 배열되어 있다. 바람직하게, 압축스프링(들) (34)은 피스톤(26)에 대해서 수직방향으로 미리 선택된 힘을 가하도록 선택되어서 밸브 실(19)이 통로(20)를 안정상태로 밀폐하도록 기울어진다. 가스와 같은 유체로 부터의힘은 피스톤(26)을 구동시킬 목적으로 사용되고, 엑츄에이터 하우징(28)의 내벽(44)을 체결하는 피스톤(26)내에 배열된 적절한 0링(42)을 사용함으로써 가스가 챔버(40)내에 유지된다. 제 1도에 도시된 나선형 핀(54)은 포핏의 조립중에 벨로우즈(14)의 비틀림을 방지할 목적으로 사용된다. 제 1도에 도시된 바와같이, 밸브몸체(4)의 하부내벽(56)은 포펫(22)을 통해서 하부로 이동할수 있는 자루(24)의 이동거리를 제한한다.

벨로우즈(14)는 챔버(12)내에 배열되어 있고, 그 한쪽단부(46)는 밸브의 몸체(4)에 고정되는 단부캡(47)에 밀봉식으로 고정되어 있으며 맞은편 단부(48)는 자루(24)에 고정되어 있다. 이것은 대기 또는 챔버(50)에 대한 밀봉으로서 벨로우즈(14)를 제공한다. 0링(52)은 벨로우즈(14)를 위해서 챔버(50)에 대한 예비 실로서 도시되어 있다. 따라서, 벨로우즈의 내부압력은 바람직하게 대기압이거나 소정의 바라는 압력이 괼 수 있다. 벨로우즈(14)는, 가스와 같은 고압유체가 챔버(12)로 유입될때 이 고압유체가 밸브실(f9)에대해서 힘을 가하도록 설계되어 있다. 벨로우즈(14)에 가해지는 힘은 이 벨로우즈(14)를 수축시킨다. 벨로우즈(14)의 단부(46)가 단부 캡(47)을 통해서 밸브의 몸체(4)에 고정되어 있기 때문에, 이 단부(46)는 정지상태가 유지된다. 그런데, 벨로우즈(44)의 다른 한쪽단부는 자루(24)에 고정되어서 밸브 실(19)이 통로(20)를 계속 차단하도록 자루(24)를 상방으로 추진시키는 수직방향으로 이동한다. 이 벨로즈(14)는 밸브 실(19)에 대해서 하방으로 유입되는 고압가스의 힘이 자루(24)에 가해지는 수축된 벨로우즈의 힘과 같도록 설계되어 있어서, 유입되는 유체의 힘이 밸브실(19)에 대해서 효율적으로 상쇄된다. 유입되는 유체의 힘이 밸브실(19)에 대해서 효율적으로 상쇄되는 것을 보장하기 위한 바람직한 방법은, 벨로우즈(14)의 유효면적이 밸브 시트의 유효면적과 같거나 이보다 조금 더 크도록 설계하는 것이다. 밸브 시트의 유효면적이 통로(20)의 횡단면적이고, 벨로브(14)의 유효면적은 외부직경과 내부직경간의 평균직경과 거의 같으며 이것의 0,785 배이다. 따라서, 동일한 피스톤의 단면적은 압축 또는 팽창시에 벨로우즈가 배제하는 것과 동일한 양의유체를 배제한다.

제 2도 및 제 3도에는 제 1도의 유체전달력으로 작동되는 밸브가 도시되어 있고 제 1도와 동일한 요소들은 동일한 참조부호로 명시되어 있다.제 2도에서는, 밸브(2)가 폐쇠된 상태로 도시되어 있다. 여기에서, 압축스프링(34)은 포펫(22)을 상방으로 추진시키는 피스톤(26)에 대해서 상방의 힘을가함으로써 밸브 실(19)이 통로(20)위로 얹혀지게 한다. 이것은 챔버(12 및 18) 사이의 유체의 전달을 방지한다. 고압 유체가 입구(6)로 이송되는 경우에도, 이 유체의 힘은 밸브실(19)과 벨로우즈(14)에 대해서 가해진다. 본 발명에 따른 새로운 벨로우즈의 배열에 의해서, 벨로우즈를 상방으로 이동시키기 위해서 자루(24) 상의 수축된 벨로우즈(1꼿에 의해서 가해진 힘은 고압유체에 의해서 밸브 실(19)에 대해서 가해진 힘과 같거나 이보다 조금 더 크다. 따라서, 고압유체가 입구(6)로 유입될때, 이 유체는 밸브 실(19)을 개방하지 않는다. 이 밸브 실(19)을 개방하기 위한 유일한 방법은 압축스프링(34)에 의해서 피스톤(26)상에 작용하는 힘을 견뎌내기에 충분한 하방의 힘을 피스톤(26)에 대해서 가하는 것이다. 제 3도에 도시된 바와같이, 엑츄에이터 하우징(28)의 공동부(30)내로 유입되는 유압과 같은 힘은 압축스프링(34)의 상항력보다 크며, 이 힘이 자루(24)를 하방으로 추진시킴으로써 밸브실(19)을 개방시킨다. 이러한 힘은 가스와 같은 유체를 입구(6)로 부터 출구(8)족으로 유출시킨다.

제 3도에 도시된 바와같이 밸브(2)를 개방시키는데 필요한 힘은 압력, 피스톤의 단면적 또는 스프링의 힘을 바꿈으로써 달라질 수 있다.

바람직하게, 본 발명에 따른 유체전달력으로 작동하는 밸브는 하나의 입구와 출구를 갖추고 있고, 벨로우즈는 이 벨로우즈상에 작용하는 압력이, 밸브 실(19)상에 작용하는 하향력과 같거나 이보다 조금 큰 상향력을 가하도록 설계되어 있어서, 별도의 작동력이 없이는 밸브가 개방되지 않는다.

제 1,2 및 제 3도에 도시된 바와같이, 고압의 유입유체가 상부의 챔버(12)로 유입되어서 벨로즈(14) 주위를 순환하며, 챔버(12)의 하단부로 배출된다. 이것은 챔버(12)내의 유체구멍의 빠짐을 방지하여 고순도의 유체의전달을 방지한다.

Claims (10)

1. 유체전 달력으로 작동되는 밸브에 있어서,

   벨로우즈를 포함하는 제 1 챔버와 통하는 적어도 하나의 입구와, 제2 챔버와 통하는 적어도 하나의 출구와, 상기 제 1 챔버를 상기 제 2 챔버에 연결하는 통로와, 그리고 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버사이에 유체가흐르는 것을 방지하기 위해서 상기 통로를 차단하도록 이동가능한 가동수단을 포함하고 있으며,

   상기 가동수단이 상기 통로를 차단하기 위해서 상기 가동수단을 제 1위치에 유지되게 하는 사행력을 가지고 있고, 상기 사행력을 초과하는 힘이 상기 사행력의 맞은편에 가해질때 상기 가동수단이 제 2 위치로 이동되어서 상기 통로를 개방시키며 상기 가동수단에 대해서 압축유체의 힘이 상기 제1 챔버로 가해져서 상기 가동수단을 상기 제 2 위치로 이동시킬때 상기 벨로우즈 수단이 상기 압축유체에 의해서 수축되고, 상기 벨로우즈 수단은 상기 가동수단을 상기 제 1 위치에 유지시키도록 상기 가동수단상에 힘을 가하며 ,

   상기 압축유체에 의해서 상기 가동수단상으로 가해지는 상기 압축유체의 힘과 상기 벨로우즈 수단에 의해서 상기 가동수단쪽으로 가해지는 상기 힘이 거의 같아서 상기 가동수단을 상기 제 2 위치로 이동시키기 위한상기 압축유체의 힘과 상기 가동수단을 상기 제 1 위치에 유지시키도록 상기 벨로우즈 수단에 의해서 상기 가동수단상에 가해지는 힘이 서로 상쇄되고, 그리고

   상기 가동수단상의 상기 사행력을 초과하여 상기 가동수단상에 가해지는 힘은 상기 가동수단을 상기 제 2 위치로 이동시키고 상기 통로를 차단하지 않아서 상기 압축유체의 힘에 관계없이 상기 제 1 챔버와 상기 제 2챔버사이에 유체가 흐르게 하는 것을 특징으로 하는 밸브.
2. 제 1항에 있어서, 적어도 하나의 상기 입구가 상기 제 1 챔버와 통해 있는 것을 특징으로 하는 밸브.
3. 제 1항에 있어서, 적어도 하나의 상기 출구가 상기 제 2 챔버와 통해 있는 겄을 특징으로 하는 밸브
4. 제 3항에 있어서, 적어도 하나의 상기 입구가 상기 제 1 챔버와 상기 입구는 상기 제 1 챔버의 상기 벨로우즈 수단의 상부로 유입유체를 유출시키도록 위치되어 있으며, 상기 제 1 챔버는 유입유체가 상기 제 1 챔버의 상기 벨로우즈 수단의 주변으로 순환되게 하도록 상기 벨로우즈 수단의 하부에 위치된 통로 쪽으로 출구를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 밸브.
5. 제 1항에 있어서, 상기 가동수단이 밀봉수단에 고정된 피스톤을 포함하고 있고, 상기 밀봉수단은 상기 챔버들 사이의 상기 통로를 차단하도록 상기 제 1 위치쪽으로 이동할 수 있고 상기 통로와 떨어진 상기 제 2 위치로 이동할 수 있는 상기 제 2 챔버내에 위치되어 있어서 상기 입구로 부터 상기 출구쪽으로 유체가 이송되는 것을 특징으로 하는 밸브.
6. 제 1항에 있어서, 상기 벨로우즈 수단은 상기 압축유체의 힘이 상기 제 1 챔버쪽으로 가해질 때 상기 벨로우즈수단이 수축되도록 상기 가동수단과 결합해있고, 상기 벨로우즈수단은 상기 가동수단이 상기 제 1 위치에서 유지되도록 상기 압축유체의 힘보다 큰 힘을 상기 가동수단 상에 직접 가하는 것을 특징으로 하는 밸브.
7. 제 1항에 있어서, 상기 가동수단은 밀봉수단에 고정된 피스톤을 포함하고 있고, 상기 밀봉수단은 제 2 챔버에서는 상기 가동수단이 제 1 위치로 이동해서 상기 챔버들 사이의 통로를 차단하고, 그리고 상기 가동수단이 상기 통로와 떨어진 제 2 위치로 이동해서 상기 입구로 부터 상기 출구로 유체를 유출시키는 것을 특징으로 하는 밸브.
8. 제 6항에 있어서 상기 가동수단은 밀봉수단에 고정된 피스톤을 포함하고 있고, 상기 밀봉수단은 제 2 챙버내에 위치되어 있으며 상기 제 2 챔버에서는 상기 가동수단이 제 1 위치로 이동해서 상기 챔버들 사이의 통로를 차단하고, 그리고 상기 가동수단이 상기 통로와 떨어진 제 2 위치로 이동해서 상기 입구로 부터 상기 출구로 유체를 유출시키는 것을 특징으로 하는 밸브.
9. 입구로 유입되어서 출구로 부터 유출되는 압축유체가 유체의 압력에 관계없는 힘의 적용에 의해서 조절되는 유체전달장치를 형성하는 방법에 있어서,

   (a) 유입유체를 수용하기 위한 밀폐된 제 1 챔버를 제공하고 상기 제 1 챔버로 부터 유입유체를 수용하기 위한 밀폐된 제 2 챔버를 제공하며 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버의 사이에 통로를 제공하는 단계와,

   (b) 상기 통로를 폐쇄 또는 개방하기 위해서 가동 밸브밀봉수단을 제공하고 상기 밸브수단을 밀폐된 위치에 유지하기 위한 기울어진 수단을 제공하는 단게와,

   (c) 유입유체가 상기 가동 밸브밀봉수단상에 가해지는 힘을 상기 벨로우즈 수단상에 직접 가하여 상기 11동 밸브밀봉수단을 개방시키도록 상기가동 밸브밀봉수단에 부착된 상기 제 1 챔버내에 벨로우즈를 제공하고, 상기유입유체로 부터 상기 가동 밸브밀봉수단 쪽으로 상기 벨로우즈수단에 의해서 가해진 힘이 상기 유입유체에 의해서 상기 가동 밸브밀봉수단상에 직접가해진 힘과 같거나 이보다 크도록 상기 벨로우즈수단을 제공하는 단계와,그리고

   (d) 상기 가동 밸브밀봉수단을 개방하기 위해서 상기 제 1 챔버에 유입압축유체를 공급하고 상기 가동 밸브밀봉수단에 대해서 분력을 제공하여 상기 유입유체가 배출을 위해서 상기 제 2 챔버로 이송되고, 상기 유체의 흐름은 상기 유입압축유체의 힘에 관계없이 상기 가동 밸브밀봉수단에 대해서가해지는 분력에 따라서 연속되거나 중단되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
10. 제 9항에 있어서, 상기 제 1 챔버는, 상기 유입유체가 상기 벨로우즈의 주위를 순환해서 상기 제 1 챔버에 유체의 빠짐을 효율적으로 방지하도록 상기 벨로우즈이 위에 위치된 유입유체용 구와, 상기 벨로우즈의 아래에 위치한 유체배출용 구를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 방법.