KR100208707B1 - 반도체 제조용 오존 발생장치 - Google Patents
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Abstract
반도체 제조설비에 오존을 공급하기 위한 오존 발생장치에 관한 것이다.
본 발명의 구성은 일측의 수직측판(11)과 수평받침판(12)∼(14)으로 이루어진 프레임(15)을 구비하여 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18), 컨트롤카드(19)를 수평받침판상에 상,하로 배치하고, 셀(16)은 제 1 및 제 2 파워서플라이의 후방에 배치하여 제 1 및 제 2 파워서플라이와 전기적으로 접속하며, 복수개의 가스포트(21)가 형성된 모듈(20)은 파워서플라이의 측방에 배치하고 복수개의 가스포트와 셀을 각종 가스라인(22)으로 연결하여 이루어진 것이다.
따라서 주요부품의 과열로 인한 고장이 예방되고, 정기적인 검검이나 고장수리시 작업이 매우 용이하며, 설치공간의 축소로 작업자의 작업공간이 넓어지는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조용 오존 발생장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 내부 주요부품의 과열에 의한 불량을 방지하고 주요부품의 정검 및 수리가 용이하며 설치공간을 축소시킨 반도체 제조용 오존 발생장치에 관한 것이다.
일반적으로 오존 발생장치는 반도체장치 제조에 필요한 오존을 생성시켜 제조설비에 공급하기 위한 장치로서, 그 주요구성은 도1에 도시된 바와 같이 오존을 생성하는 셀(1)과, 상기 셀(1)에 전원을 공급하는 제 1 및 제 2 파워서플라이(2)(3)와, 상기 셀(1), 제 1 및 제 2 파워서플라이(2)(3)를 제어하기 위한 컨트롤카드(4)와, 상기 셀(1)에 연결되는 각종 가스라인(5)과, 상기 가스라인(5)에 설치된 각종 게이지(도시 안됨) 및 필터(6)로 이루어지고, 이러한 주요부품들은 모두 케이스(7)내에 설치된 구성이다.
또한 오존 발생장치는 동작시 셀(1)과 제 1 및 제 2 파워서플라이(2)(3)에 의해 내부에서 열이 발생하게 되고, 이 열에 의한 고장을 방지하기 위해 냉각수단이 구비되어 있다. 즉 셀(1)의 냉각은 별도의 냉각라인(도시 안됨)을 셀(1)에 설치하여 냉각시키도록 되어 있고, 제 1 및 제 2 파워서플라이(2)(3)는 케이스(7) 일측의 흡기구(8)와 대향측의 배기구(9)에 의해 냉각되는 것으로 배기구(9)는 공장의 메인배기라인과 연결되어 공기가 케이스(8) 내부로 강제 순환되도록 한 구성이다.
그러나 종래의 오존 발생장치는 공장 메인배기라인의 배기 압력이 낮아지게 되면, 케이스 내부의 공기가 충분히 배출되지 못하여 냉각효율이 저하되므로 과열에 의해 고장을 유발하게 되고, 내부의 부품을 정검하거나 고장수리를 위한 장치의 분해시 가스라인, 파워케이블, 배기라인, 컨트롤 케이블, 냉각라인, 케이스 등의 일련의 순서에 의해 차례로 분리해야 하는 번거로움이 있으며, 전체 사이즈가 크기 때문에 2대 이상의 오존 발생장치를 설비에 장착할 때 공간의 제약을 받는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 열발생 부품을 자연냉각시킬 수 있도록 하여 주요부품의 과열로 인한 고장을 예방할 수 있는 반도체 제조용 오존 발생장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 주요부품의 점검 및 수리를 위한 분해작업이 매우 간단하게 이루어져 작업성을 향상시킬 수 있으며, 설치위치를 자유롭게 하고 설치공간을 축소시킬 수 있어 사용자의 작업공간을 넓게 활용할 수 있는 반도체 제조용 오존 발생장치를 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 오존 발생장치를 나타낸 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 오존 발생장치의 일실시예를 나타낸 사시도이다.
도3은 본 발명에 따른 오존 발생장치의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 16 : 셀2, 3, 17, 18 : 파워서플라이
4, 19 : 컨트롤카드5, 22 : 가스라인
7 : 케이스8 : 흡기구
9 : 배기구11 : 수직측판
12∼14 : 수평받침판15, 25 : 프레임
20, 30 : 모듈23 : 게이지
상기의 목적은 오존을 생성하는 셀과, 상기 셀에 전원을 공급하는 제 1 및 제 2 파워서플라이와, 상기 셀, 제 1 및 제 2 파워서플라이를 제어하기 위한 컨트롤카드와, 상기 셀에 연결되는 각종 가스라인과, 상기 가스라인에 설치되는 게이지를 구비하는 반도체 제조용 오존 발생장치에 있어서, 일측의 수직측판과 수평받침판으로 이루어진 프레임을 구비하여 상기 제 1 및 제 2 파워서플라이, 컨트롤카드를 수평받침판상에 상,하로 배치하고, 상기 셀은 제 1 및 제 2 파워서플라이의 후방에 배치하여 제 1 및 제 2 파워서플라이와 전기적으로 접속하며, 복수개의 가스포트가 형성된 모듈은 파워서플라이의 측방에 배치하고 복수개의 가스포트와 셀을 가스라인으로 연결하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 오존 발생장치에 의해 달성될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2는 본 발명에 따른 오존 발생장치의 일실시예를 나타낸 것으로, 수직측판(11)과 제 1 내지 제 3 수평받침판(12)∼(14)으로 이루어진 프레임(15)상에 셀(16), 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18), 컨트롤카드(19)가 외부로 노출되도록 설치된다. 상기 셀(16)은 오존을 생성하는 것으로 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18)와 전기적으로 접속연결되어 후방에 배치되고, 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18)는 셀(16)에 전원을 공급하는 것으로 상,하로 배치되며, 컨트롤카드(19)는 상기 셀(16), 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18)를 제어하는 것으로 제 2 파워서플라이(18)의 상부에 배치된다.
이때 제 1 수평받침판(12)은 제 2 및 제 3 수평받침판(13)(14)보다 면적이 크게 형성되고, 제 1 내지 제 3 수평받침판(12)∼(14)은 소정간격으로 이격설치되며, 셀(16), 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18) 사이사이에 소정의 공간부가 형성되도록 하여 공기와의 접촉면적을 크게하는 것이 바람직하다.
또한 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18)의 측방에는 모듈(20)이 배치되는 것으로, 모듈(20)에는 복수개의 가스포트(21)가 형성되어 있고, 이 가스포트(21)는 셀(16)에 냉각라인을 포함하는 각종 가스라인(22)으로 연결된다. 따라서 가스공급원 및 냉각가스공급원(도시 안됨)과 가스포트(21)를 각각 연결하면 가스 및 냉각가스를 셀(16)로 공급할 수 있도록 되어 있으며, 모듈(20)의 상부에는 게이지(23)가 설치되어 각 가스포트(21)로 흐르는 가스의 흐름상태를 확인할 수 있도록 되어 있다.
상기와 같은 일실시예의 오존 발생장치는 열을 발생하는 셀(16), 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18)가 외부에 노출되도록 설치된 것이므로 별도의 메인배기라인과 연결하지 않아도 외부의 공기와 직접 접촉되어 냉각이 이루어지게 되고, 또한 주요부품의 점검 및 고장에 따른 수리작업시에도 주요부품이 외부로 직접 노출된 것이므로 점검 및 작업이 용이하게 되며, 각 주요부품을 사용자의 의도에 따라 배치하는 것이 가능하다.
도3은 본 발명에 따른 오존 발생장치의 다른 실시예를 나타낸 것으로, 2대의 오존 발생장치를 사용하는 경우이다. 즉 전술한 실시예와 마찬가지로 셀(16), 제 1 및 제 2 파워서플라이(17)(18), 컨트롤카드(19)를 프레임(25)에 상,하로 배치하되, 2대분을 대칭되게 배치하고, 그 사이에 하나의 모듈(30)을 배치한 구성이다.
이때 상기 모듈(30)에는 적어도 2대분의 셀(16))과 각종 가스라인(22)으로 연결되는 가스포트(21)가 형성되고, 이 가스포트(21)로 흐르는 가스의 흐름상태를 확인할 수 있도록 게이지(23)가 설치되어 있다.
따라서 하나의 모듈(30)을 공통으로 사용함으로써 설치공간을 축소시킬 수 있는 것이고, 이로써 작업자에게 넓은 작업공간을 제공하게 된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조용 오존 발생장치에 의하면, 주요부품의 과열로 인한 고장이 예방되고, 정기적인 검검이나 고장수리시 작업이 매우 용이하며, 설치공간의 축소로 작업자의 작업공간이 넓어지는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (3)
- 오존을 생성하는 셀과, 상기 셀에 전원을 공급하는 제 1 및 제 2 파워서플라이와, 상기 셀, 제 1 및 제 2 파워서플라이를 제어하기 위한 컨트롤카드와, 상기 셀에 연결되는 가스라인과, 상기 가스라인에 설치되는 게이지를 구비하는 반도체 제조용 오존 발생장치에 있어서,일측의 수직측판과 수평받침판으로 이루어진 프레임을 구비하여 상기 제 1 및 제 2 파워서플라이, 컨트롤카드를 수평받침판상에 상,하로 배치하고, 상기 셀은 제 1 및 제 2 파워서플라이의 후방에 배치하여 제 1 및 제 2 파워서플라이와 전기적으로 접속하며, 복수개의 가스포트가 형성된 모듈은 파워서플라이의 측방에 배치하고 복수개의 가스포트와 셀을 가스라인 및 냉각라인으로 연결하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 오존 발생장치.
- 제 1 항에 있어서,제 2 의 셀, 제 1 및 제 2 파워서플라이, 컨트롤카드가 상기 모듈을 중심으로 하여 대칭되게 배치되어 각종 가스라인으로 연결됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 오존 발생장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 모듈에 가스포트로 흐르는 가스의 압력을 검출하는 게이지가 설치됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 오존 발생장치.
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| KR1019960033603A KR100208707B1 (ko) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 반도체 제조용 오존 발생장치 |
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| KR1019960033603A KR100208707B1 (ko) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 반도체 제조용 오존 발생장치 |
Publications (2)
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| KR19980014574A KR19980014574A (ko) | 1998-05-25 |
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ID=19469509
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| KR1019960033603A KR100208707B1 (ko) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 반도체 제조용 오존 발생장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100208707B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160003885U (ko) | 2015-04-30 | 2016-11-10 | 이성권 | 안대용 끈 조절구 |
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1996
- 1996-08-13 KR KR1019960033603A patent/KR100208707B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR20160003885U (ko) | 2015-04-30 | 2016-11-10 | 이성권 | 안대용 끈 조절구 |
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| KR19980014574A (ko) | 1998-05-25 |
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