KR100200592B1 - Test system for ic - Google Patents
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Abstract
본 발명은 집적 회로 소자의 검사 시스템에 관한 것으로서, 검사될 집적 회로 소자들이 담긴 트레이를 인입 영역에서 로딩 영역으로, 그리고 검사된 집적 회로 소자들이 담긴 트레이를 언로딩 영역에서 배출 영역으로 이송하는 트레이 피더; 사이 로딩 영역 상의 트레이에 담긴 집적 회로 소자들을 검사대의 소켓에 로딩하고, 검사된 집적 회로 소자들을 언로딩하여 배출용 트레이에 담는 로봇; 로딩된 집적 회로 소자에 대하여 전기적 검사를 수행하는 검사기; 및 전체적 제어를 수행하는 제어부; 로 대별되는 집적 회로 소자의 검사 시스템에 있어서,The present invention relates to an inspection system for an integrated circuit device comprising a tray feeder for transferring a tray containing integrated circuit elements to be inspected from an inlet area to a loading area and a tray containing the inspected integrated circuit elements from an unloading area to an outlet area, ; A robot for loading integrated circuit elements contained in a tray on a shedding area into a socket of a test stand, unloading the tested integrated circuit elements and placing the integrated circuit elements in a discharge tray; A tester for performing an electrical test on the loaded integrated circuit device; And a controller for performing overall control; 1. An inspection system for an integrated circuit device,
상기 로딩 영역은 상기 인입 영역의 상부에 위치하고,Wherein the loading region is located above the entry region,
상기 언로딩 영역은 불량품 영역, 빈 트레이 배출 영역, 및 복수의 양품 영역으로 구분되며,Wherein the unloading area is divided into a defective area, a blank tray discharge area, and a plurality of good areas,
상기 배출 영역은 각 언로딩 영역의 하부에 위치하는 것을 그 특징으로 하여,Characterized in that the discharge area is located below each unloading area,
양품 소자들이 여러 등급으로 분류되고, 점유 공간이 상대적으로 줄어들며, 별도의 트래버스 수단 및 트레이 판을 사용하지 않게 된다.The good elements are classified into several grades, the occupied space is relatively reduced, and no separate traverse means and tray plate are used.
Description
제1도는 종래의 집적 회로 소자의 검사 시스템을 나타낸 개략적 평면도이다.FIG. 1 is a schematic plan view showing a conventional integrated circuit element inspection system.
제2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 집적 회로 소자의 검사 시스템을 나타낸 개략적 평면도이다.FIG. 2 is a schematic plan view showing an inspection system of an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention. FIG.
제3도는 제2도의 제어 알고리즘을 나타낸 흐름도이다.FIG. 3 is a flow chart illustrating the control algorithm of FIG. 2; FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS
2 : 집적 회로 소자의 검사시스템 21 : 검사기2: Inspection system of integrated circuit elements 21: Inspector
22 : 핸들러 221 : 로딩용 트레이 피더22: handler 221: tray feeder for loading
222 : 제1양품용 트레이 피더 223 : 제2양품용 트레이 피더222: first good article tray feeder 223: second good article tray feeder
224 : 제3양품용 트레이 피더 225 : 불량품용 트레이 피더224: Tray feeder for the third good article 225: Tray feeder for defective article
226 : 빈 트레이 배출용 트레이 피더 227 : 로봇226: tray feeder for discharging empty tray 227: robot
228 : 제어부 229 : 검사대228: control unit 229: inspection table
230 : 센터링부 231 : 알콜 분사부230: centering part 231: alcohol spraying part
232 : 클리닝부232: Cleaning section
본 발명은 집적 회로(Integrated Circuit) 소자의 검사 시스템에 관한 것으로서, 구체적으로는 제조된 집적 회로 소자의 전기적 성능을 검사하는 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection system for an integrated circuit (IC) device, and more particularly, to a system for checking the electrical performance of a manufactured IC.
집적 회로 소자의 검사 시스템은, 일반적으로 검사기(Tester) 및 핸들러(Handler)로 대별되고, 핸들러는 다시 트레이 피더(Tray feeder) 및 로봇(Robot)으로 구별될 수 있다. 검사기는 로딩(loading)된 집적 회로 소자에 대하여 각종 전기적 검사를 수행한다. 트레이 피더는, 로딩될 집적 회로 소자들이 담긴 트레이를 소정 위치로 이송하고, 언로딩(Unloading)된 집적 회로 소자들이 담긴 트레이를 배출한다. 로봇은 소정 위치의 트레이에 담긴 집적 회로 소자들을 상기 검사기에 로딩하고, 검사된 집적 회로 소자들을 언로딩하여 배출용 트레이에 담는다.An inspection system for an integrated circuit device is generally divided into a tester and a handler, and the handler can be further classified into a tray feeder and a robot. The tester performs various electrical tests on the loaded integrated circuit devices. The tray feeder transports the tray containing the integrated circuit elements to be loaded to a predetermined position and ejects the tray containing the unloaded integrated circuit elements. The robot loads the integrated circuit elements contained in the trays at predetermined positions into the tester, unloads the inspected integrated circuit elements and places them in the discharge tray.
제1도는 종래의 집적 회로 소자의 검사 시스템을 나타낸 개략적 평면도이다. 제1도에 도시된 바와 같이 종래의 검사 시스템 1은, 검사기 11 및 핸들러 12로 되어 있으며, 핸들러 12는 인입용 트레이 피더 121, 배출용 트레이 피더 122, 로봇 123, 제어부 124 및 검사대 125로 되어 있다. 제어부 124는 주 제어기, 로봇 제어기, 및 트레이 피더 제어기로 되어 있다. 제어부 124 내의 주 제어기는 일반적으로 PLC(Programmable Logic Controller)를 이용하여 설계되어 있다. 검사기 11은 RS232C 통신 케이블로써 제어부 124 및 검사대 125와 연결되어 있다. 그리고 검사대 125는 핸들러 12의 일측 하부에 인입되어 있고, 그 주위에는 검사 시점상의 먼지를 제거하기 위한 공기 주입부(도시되지 않음)가 마련되어 있다.FIG. 1 is a schematic plan view showing a conventional integrated circuit element inspection system. 1, the conventional inspection system 1 includes a tester 11 and a handler 12, and the handler 12 includes a feed tray feeder 121, a feed tray feeder 122, a robot 123, a control unit 124, . The control unit 124 includes a main controller, a robot controller, and a tray feeder controller. The main controller in the control unit 124 is generally designed using a PLC (Programmable Logic Controller). The tester 11 is connected to the control unit 124 and the inspection table 125 by an RS232C communication cable. The inspection table 125 is inserted into a lower portion of one side of the handler 12, and an air injection unit (not shown) for removing dust on the inspection time point is provided around the inspection table 125.
제1도의 동작 과정을 살펴보면 다음과 같다. 먼저 로딩될 트레이는 이송 수단 예를 들어, 컨베이어(Conveyer)를 통하여 인입용 트레이 피더 121의 인입 영역으로 이송된다. 다음에 인입용 트레이 피더 121은, 트래버스(Traverse) 수단을 사용하여 인입 영역에 있는 트레이를 로딩 영역으로 이송시킨다. 이와 같은 트래버스 수단을 사용하려면, 트레이가 얹혀질 별도의 트레이 판(Tray plate)이 필요하다. 다음에 로봇 123은 로딩 영역상의 트레이에 담겨진 집적 회로 소자들을 검사대 125의 검사용 소켓에 로딩시킨다. 검사기 11은 소켓에 로딩된 집적 회로 소자에 대한 전기적 성능을 검사한 후, 그 결과를 양품 및 불량품으로 구분하여 제어부 124에 전송한다. 이에 따라 로봇 123은 소켓 내의 양품 소자를 언로딩 영역에 마련된 양품용 트레이로, 불량품 소자를 별도의 불량품 배출 수단(도시되지 않음)으로 이송시킨다. 다음에 언로딩 영역에 있는 트레이의 모든 위치에 양품 소자들이 얹혀지면, 배출용 트레이 피더 122는 트래버스(Traverse) 수단을 사용하여 언로딩 영역에 있는 트레이 피더를 배출 영역으로 이송시킨다. 그리고 상기 불량품 배출 수단(도시되지 않음)은 이송된 불량품들을 별도의 트레이에 배출시킨다.The operation of FIG. 1 will be described below. First, the tray to be loaded is conveyed to a pull-in region of the pull-in tray feeder 121 through a conveying means, for example, a conveyor. Next, the incoming tray feeder 121 uses the traverse means to transport the tray in the incoming area to the loading area. To use such a traverse means, a separate tray plate on which the tray is placed is required. Next, the robot 123 loads the integrated circuit elements contained in the tray on the loading area into the inspection socket of the inspection table 125. The inspector 11 checks the electrical performance of the integrated circuit device loaded in the socket, and then divides the result into a good product and a defective product, and sends the result to the control unit 124. Accordingly, the robot 123 transfers the defective device in the socket to the defective product tray provided in the unloading area, and transfers the defective device to another defective product discharging device (not shown). Next, when the non-load elements are placed at all positions of the tray in the unloading area, the discharging tray feeder 122 uses the traverse means to transport the tray feeder in the unloading area to the discharging area. The defective-item discharging means (not shown) discharges the transferred defective items to a separate tray.
상기와 같은 종래의 집적 회로 소자의 검사 시스템은 다음과 같은 문제점들을 안고 있다. 첫째, 집적 회로 소자들을 양품 및 불량품으로 이원화하는 데에 그침에 따라, 양품들의 성능 등급에 따른 분류를 하지 못한다. 둘째, 인입용 트레이 피더 121의 인입 영역과 로딩 영역이 서로 다르게 위치하며, 배출용 트레이 피더 122의 언로딩 영역과 배출 영역이 서로 다르게 위치함에 따라, 점유 공간이 클 뿐만 아니라, 별도의 트래버스 수단 및 트레이 판을 사용해야 한다.The conventional integrated circuit device inspection system has the following problems. First, as the integrated circuit elements are dumped into good and defective products, they can not be classified according to the performance class of good products. Second, since the loading area and the loading area of the inlet tray feeder 121 are different from each other and the unloading area and the discharging area of the discharging tray feeder 122 are different from each other, the space occupied by the tray feeder 122 is large, Tray plate should be used.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 창안된 것으로서, 양품 소자들의 성능 등급에 따른 분류를 수행할 수 있고, 점유 공간이 작을 뿐만 아니라, 별도의 트래버스 수단 및 트레이 판을 사용하지 않는 집적 회로 소자의 검사 시스템을 제공하는 것에 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an integrated circuit device which can perform classification according to the performance class of the non-defective devices, And an object thereof is to provide an inspection system of the present invention.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 집적 회로 소자의 검사시스템은,검사될 집적 회로 소자들이 담긴 트레이를 인입 영역에서 로딩 영역으로, 그리고 검사된 집적 회로 소자들이 담긴 트레이를 언로딩 영역에서 배출 영역으로 이송하는 트레이 피더; 상기 로딩 영역 상의 트레이에 담긴 집적 회로 소자들을 검사대의 소켓에 로딩하고, 검사된 집적 회로 소자들을 언로딩하여 배출용 트레이에 담는 로봇; 로딩된 집적 회로 소자에 대하여 각종 전기적 검사를 수행하는 검사기; 및 전체적 제어를 수행하는 제어부; 로 대별되는 집적 회로 소자의 검사 시스템에 있어서,In order to accomplish the above object, an inspection system of an integrated circuit device according to the present invention comprises: a tray including an integrated circuit device to be inspected; a loading region in a lead-in area; To the tray feeder; A robot for loading the integrated circuit elements contained in the tray on the loading area into the socket of the inspection table, unloading the inspected integrated circuit elements and loading the unloaded inspection tray into the discharge tray; A tester for performing various electrical tests on the loaded integrated circuit device; And a controller for performing overall control; 1. An inspection system for an integrated circuit device,
상기 로딩 영역은 상기 인입 영역의 상부에 위치하고,Wherein the loading region is located above the entry region,
상기 언로딩 영역은 불량품 영역, 빈 트레이 배출 영역, 및 복수의 양품 영역으로 구분되며,Wherein the unloading area is divided into a defective area, a blank tray discharge area, and a plurality of good areas,
상기 배출 영역은 각 언로딩 영역의 하부에 위치하는 것을 그 특징으로 한다.And the discharge region is located below each unloading region.
이하 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 집적 회로 소자의 검사 시스템을 나타낸 개략적 평면도이다. 제2도에 도시된 바와 같이 본 실시예의 검사 시스템 2는, 검사기 21 및 핸들러 22로 되어 있다. 핸들러 22는 로딩용 트레이 피더 221, 제1 양품용 트레이 피더 222, 제2 양품용 트레이 피더 223, 제3 양품용 트레이 피더 224, 불량품용 트레이 피더 225, 빈 트레이 배출용 트레이 피더 226, 로봇 227, 제어부 228, 검사대 229, 로봇 227에 의하여 픽업된 소자의 중심 위치를 조정하는 센터링부 230, 필요할 때마다 알콜을 분사하는 알콜 분사부 231, 및 알콜 분사부 231로부터 분사되는 알콜을 받아, 재검사될 소자의 중요 부분을 닦기 위하여 사용되는 클리닝부 232를 갖추고 있다. 제어부 228은 주 제어기, 로봇 제어기, 및 트레이 피더 제어기로 되어 있다. 제어부 228 내의 주 제어기는 PLC를 이용하여 설계되어 있다. 검사기 21은 RS232C 통신 케이블로써 제어부 228 및 검사대 229와 연결되어 있다. 검사대 229는 핸들러 22의 일측 하부에 인입되어 있다. 로봇 227은 픽업 헤드가 부착된 다관절 아암(Arm)을 갖추고 있으며, 본 실시예에서는 복수의 아암이 동시에 구동된다. 로딩용 트레이 피더 221의 상부는 로딩 영역이, 그리고 그 하부는 인입 영역이 마련된다. 각 배출용 트레이 피더 222, 223, 224, 225, 226의 상부는 언로딩 영역이, 그리고 그 하부는 배출 영역이 마련된다. 즉, 여섯 개의 트레이 피더들 221, ..., 226은 상향 및 하향 동작만을 수행하면 된다. 따라서 양품 소자들이 3 등급까지 분류될 수 있으며, 점유 공간이 상대적으로 줄어들 뿐만 아니라, 별도의 트래버스 수단 및 트레이 판을 사용하지 않게 된다.FIG. 2 is a schematic plan view showing an inspection system of an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention. FIG. As shown in FIG. 2, the inspection system 2 of this embodiment comprises a tester 21 and a handler 22. The handler 22 includes a loading tray feeder 221, a first good article tray feeder 222, a second good article tray feeder 223, a third good article tray feeder 224, a defective article tray feeder 225, an empty tray discharging tray feeder 226, a robot 227, A control unit 228, a test stand 229, a centering unit 230 for adjusting the center position of the device picked up by the robot 227, an alcohol spraying unit 231 for spraying alcohol whenever necessary, and an alcohol sprayed from the alcohol spraying unit 231, And a cleaning unit 232 used to wipe an important part of the cleaning liquid. The control unit 228 includes a main controller, a robot controller, and a tray feeder controller. The main controller in the control unit 228 is designed using a PLC. The tester 21 is connected to the control unit 228 and the inspection table 229 by an RS232C communication cable. The inspection table 229 is inserted into a lower portion of one side of the handler 22. The robot 227 has a multi-joint arm having a pick-up head. In this embodiment, a plurality of arms are simultaneously driven. An upper portion of the loading tray feeder 221 is provided with a loading region, and a lower portion thereof is provided with a pull-in region. An upper portion of each of the discharging tray feeders 222, 223, 224, 225 and 226 is provided with an unloading region, and a lower portion thereof is provided with a discharging region. That is, the six tray feeders 221, ..., and 226 may perform only upward and downward movements. Therefore, the good elements can be classified up to grade 3, and the occupied space is relatively reduced as well as the separate traverse means and the tray plate are not used.
제3도는 제2도의 제어 알고리즘을 나타낸 흐름도이다. 이를 설명하면 다음과 같다. 먼저 로딩용 트레이 피더 221을 작동시킨다(제1단계). 다음에 로딩용 트레이에 검사될 소자가 있는지를 확인한다(제2단계). 검사될 소자가 없으면 빈 트레이를 로봇 227이 픽업하여, 빈 트레이 배출용 트레이 피더 226의 언로딩 영역으로 이송한다. 다음에 상기 제1단계 이후를 반복한다(제3단계). 한편 검사될 소자가 있으면 이를 픽업하여, 센터링부 230에서 픽업된 소자의 중심 위치를 조정한다(제4단계). 다음에 센터링된 소자를 검사대 229의 소켓에 로딩하여 검사를 수행한다(제5단계). 검사 결과 양품으로 판정되면, 해당되는 성능 등급에 따라, 제1 양품용 트레이 피더 222 또는 제2 양품용 트레이 피더 223 또는 제3 양품용 트레이 피더 224 중 어느 하나의 언로딩 영역으로 검사된 소자를 이송시킨다(제6단계). 검사 결과 불량품으로 판정되면, 첫 번째 불량인지를 확인한다(제7단계). 첫 번째 불량이 아니면 즉, 두 번째 불량이면 해당되는 소자를 불량품용 트레이 피더 225로 언로딩시킨다(제8단계). 다음에 첫 번째 불량이면 해당되는 소자를 픽업한 상태에서 클리닝을 수행한다. 즉, 클리닝부 232를 알콜 분사부 231 전면으로 이동시켜서 분사되는 알콜에 적셔지게 한 후, 재검사될 소자의 중요 부분을 닦게 한다. 그리고 상기 제5단계 이후를 반복하여 두 번째 검사를 실시한다(제9단계). 이와 같이 첫 번째 불량품을 클리닝한 후 두 번째 검사를 실시함으로써, 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다.FIG. 3 is a flow chart illustrating the control algorithm of FIG. 2; FIG. This is explained as follows. First, the loading tray feeder 221 is operated (the first step). Next, it is checked whether there is an element to be inspected in the loading tray (second step). If there is no element to be inspected, the robot 227 picks up the empty tray and transfers it to the unloading area of the empty tray discharging tray feeder 226. Next, the first and subsequent steps are repeated (step 3). On the other hand, if there is a device to be inspected, it is picked up and the center position of the device picked up by the centering unit 230 is adjusted (step 4). Next, the centered device is loaded into the socket of the test stand 229 to perform inspection (step 5). If it is determined as a good product, the inspected element is conveyed to the unloading area of either the first good article tray feeder 222, the second good article tray feeder 223, or the third good article tray feeder 224, (Step 6). If it is determined as a defective product as a result of the inspection, it is checked whether it is the first defect (step 7). If it is not the first defect, that is, if it is the second defect, the corresponding device is unloaded to the reject tray feeder 225 (Step 8). Next, if the first defect is detected, the cleaning is performed while the corresponding device is picked up. That is, the cleaning unit 232 is moved to the front of the alcohol spraying unit 231 to wet the alcohol to be sprayed, and then the important part of the device to be resampled is wiped. Then, the fifth and subsequent steps are repeated to perform the second test (step 9). Thus, by performing a second inspection after cleaning the first defective product, the accuracy of the inspection can be improved.
이상 설명된 바와 같이 본 발명에 따른 집적 회로 소자의 검사 시스템에 의하면, 양품 소자들이 여러 등급으로 분류되고, 점유 공간이 상대적으로 줄어들며, 별도의 트래버스 수단 및 트레이 판을 사용하지 않게 된다.As described above, according to the inspection system of the integrated circuit device according to the present invention, the good elements are classified into various grades, occupied space is relatively reduced, and no separate traverse means and tray plate are used.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 당업자의 수준에서 그 변형 및 개량이 가능하다. 예를 들어, 상기와 같은 제어 수행 과정에 있어서, 제1 양품용 트레이 피더 222 또는 제2 양품용 트레이 피더 223 또는 제3 양품용 트레이 피더 224 또는 불량품용 트레이 피더 225에 있는 트레이에 검사된 소자들이 모두 차있는 경우, 로봇 227이 이를 감지하여 빈 트레이 배출용 트레이 피더 226에 있는 빈 트레이를 해당 트레이 피더(222, 223, 224, 225)의 위치로 옮겨서 사용하게 할 수 있다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and variations and modifications thereof are possible on the level of those skilled in the art. For example, in the above-described control process, the devices inspected in the trays in the first good tray feeder 222, the second good tray feeder 223, or the third good tray feeder 224 or the defective tray feeder 225 The robot 227 senses this, and the empty tray in the empty tray discharging tray feeder 226 can be moved to the position of the tray feeders 222, 223, 224, and 225 for use.
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