KR100190175B1 - 전계 발광표시장치의 제조방법 - Google Patents

전계 발광표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전계발광표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 발명은 기판 글라스와, 기판 글라스의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 제1투명전극층과 이 제1투명전극층의 상부에 형성된 하부절연층과, 이 하부절연층의 상부에 순차적으로 적층된 형광막층과, 상부절연층을 구비하여 된 전계발광 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 상기 상부절연층이 질화물이 증착되어 이루어진 것에 그 특징이 있으며, 이는 화상의 명암대비를 향상시킬 수 있고 그 제조공정을 단순화할 수 있는 이점을 가진다.

Description

전계 발광표시장치의 제조방법
제1도는 종래 전계발광표시장치를 도시한 입단면도.
제2도는 본 발명에 따른 전계발광 표시 장치를 도시한 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
21 : 기판 글라스 22 : 제1투명전극층
23 : 하부 절연층 24 : 형광체층
25 : 상부 절연층 26 : 제2전극층
본 발명은 전계 발광표시소자에 관한 것으로, 더 상세하게는 칼라 EL(electro luminescence)소자의 제조방법에 관한 것이다.
고체소자의 발달로 전자기기는 소형 경량화에 힘입어 PDP(plasma display panel), LCD(liquid crystal display), EL, FIP(fluorescent indicator panel) 등과 같은 많은 평판 표시소자가 개발되었다.
상기 평판 표시소자들은 그 휘도 명암대비, 칼라 색상, 허용시야각과 함께 화질 개선이 이루어져 왔으며, 구동전압, 구동주파수 및 제조기술의 발달이 이루어져 왔다.
제1도에는 이러한 평판 표시소자중 EL 표시소자인 전계발광표시장치의 일 예를 나타내 보였다.
이것은 형광체에 소정의 전위를 인가함으로써 형광체를 여기시켜 화상을 형성하는 것으로, 제1도에 도시된 바와같이 기판글라스(11)의 상면에 소정패턴의 제1투명 전극층(12)이 형성되고, 이 제1투명 전극층(12)의 상부에는 하부 절연층(13)이 스파터링 법에 의해 형성된다. 그리고 상기 하부절연층(13)의 상부에는 형광체층(14)이 형성되고 이 형광체층(14)의 상부에는 상부 절연막(15)이 형성되는데, 이 상부 절연막(15)은 흑색의 절연막으로 페로브스카이트 구조인 삼원화합물 즉, PrMnO3가 세라믹공법으로 제조한 타켓물질을 이용하여 스파터링한 것이다. 그리고 상기 상부절연층(15)의 상부에는 알루미늄을 증착한 후 에칭하여 제2전극층(16)이 제1투명전극(12)의 형성방향과 직각방향으로 형성된다.
이와같이 구성된 종래의 전계발광표시 장치는 상기 제1투명전극(12)과 제2전극(16)에 선택적으로 소정의 전위를 인가하여 상기 형광막을 여기시킴으로써 화상을 형성하게된다. 이러한 전계발광표시 장치는 상기 상부 절연층(15)이 흑색으로 형성되어 있으므로 알루미늄으로 이루어진 제2전극층(16)의 반사율이 줄고 결과적으로 화상의 명암대비가 개선되나 상기 페로브스카이트 구조인 상원화합물 즉, PrMnO3로 흑색의 상부 절연층(15)을 형성하기 위해서는 기판의 온도를 300도 이상 유지하여야 한다. 이러한 온도는 상부절연층(15)의 하부에 위치한 형광체층(14)과 제1투명전극층(12)에 좋지 않은 영향을 미치게 되며, 제조단가 및 재료단가가 고가인 문제점이 내재되어 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 제2절연층의 형성이 간편하고 제조단가를 줄일 수 있으며, 생산성의 향상을 도모할 수 있는 전계발광 표시장치의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명 전계발광표시장치의 제조방법은, 기판글라스의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 제1투명전극층을 형성하는 공정과, 이 제1투명전극층의 상면에 하부절연층을 형성하는 공정과, 이 하부절연층의 상면에 형광막층을 형성하는 공정과, 이 형광체층의 상면에 상부절연층을 형성하는 공정를 포함하여 된 전계발광 표시장치의 제조 방법에 있어서, 이 상부절연층을 형성하는 공정이 N2분위기에서 Mn을 증착하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징은 기판글라스의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 제1투명전극층을 형성하는 공정과, 이 제1투명전극층의 상면에 하부절연층을 형성하는 공정과, 이 하부절연층의 상면에 형광막층을 형성하는 공정과, 이 형광막층의 상면에 상부절연층을 형성하는 공정을 포함하여 된 전계발광 표시장치의 제조방법에 있어서, 이 상부절연층을 형성하는 공정이 Mn을 타켓으로 하고, Ar과 N2분위기에서 스파터링하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 전계 발광표시소자는 제2도에 도시된 바와같이 기판글라스(21)의 상면에 소정패턴의 제1투명전극층(22)이 형성되고, 이 제1투명 전극층(22)의 상부에는 하부 절연층(23)이 스파터링 법에 의해 형성된다. 그리고 상기 하부절연층(23)의 상부에는 형광체층(24)이 형성되고 이 형광체층(24)의 상부에는 상부 절연막(25)이 형성되는데, 이 상부 절연막(25)은 흑색의 절연막으로 본 발명의 특징에 따라 질화물인 MnN으로 제조된다.
그리고 상기 상부절연층(25)의 상부에는 알루미늄을 증착한 후 에칭하여 제2전극층(26)이 제1투명전극(22)의 형성방향과 직각방향으로 형성된다.
그리고 상기 전계발광표시장치를 제조하기 위한 제조방법은 기판글라스(21)의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 제1투명전극층(22)을 형성하는 공정과 이 제1투명전극층(22)의 상면에 스파터링 법에 의배 하부절연층(23)을 형성하는 공정과, 이 하부절연층(23)의 상면에 형광막층(24)을 형성하는 공정과, 이 형광체층의 상면에 스파터링 법에 의해 상부절연층(25)을 형성하는 공정를 포함하여 구성되는데, 상기 상부 절연층(25)의 형성공정은 Mn을 N2분위기에서 증착하거나 67%의 Ar과 33%의 N2분위기에서 Mn을 타켓으로 하여 스파터링 한다. 이때에 상기 기판의 온도는 상온을 유지하고 상기 스파터링 분위기는 4내지 5mtorr 를 유지함이 바람직하다.
상술한 바와 같은 방법으로 제조된 전계발광 표시장치를 이용하여 칼라 화상을 형성하기 위해서는 제1투명 전극층(22)과 제2전극층(26)에 소정의 전위를 선택적으로 인가하여 전위 인가되어 교차된 형광체층에 전기장이 형성되도록 함으로써 형광체층을 여과시켜 화소를 형성하게 된다.
이와같이 화상을 형성하는 전계발광소자는 상부절연층(25)이 질화물 계통의 MnN으로 형성되어 있으므로 흑색의 상부절연층을 치밀한 구조로 형성할 수 있으며, 형광체층(24)과의 계면에서 형광체층이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한 상기 상부절연층을 형성하는 공정이 종래의 삼원화합물인 PrMnO3으로 형성하는 것에 비하여 N2분위기에서 Mn을 증착하면 되므로 매우 간단하며, 기판글라스(21)가 상온인 상태에서 상부절연층의 형성이 가능하여 형광체층(24)과 제1투명전극층이 열에의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명 전계 발광표시 장치 및 그 제조방법은 형광체의 상부 절연층의 형성시 형광체가 열화되는 것을 방지할 수 있고 그 제조공정이 간단하여 생산성의 향상을 도모할 수 있는 이 점을 가진다.

Claims (7)

  1. 기판글라스의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 제1투명전극층을 형성하는 공정과, 이 제1투명전극층의 상면에 하부절연층을 형성하는 공정과, 이 하부절연층의 상면에 형광막층을 형성하는 공정과, 이 형광체층의 상면에 상부절연층을 형성하는 공정을 포함하여 된 전계발광 표시장치의 제조 방법에 있어서, 이 상부절연층을 형성하는 공정이 N2분위기에서 Mn을 증착하는 것을 특징으로 하는 전계발광 표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판이 상온의 상태에서 상부절연층 형성공정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계발광표시장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 N2분위기가 4 내지 5mtorr 인 것을 특징으로 하는 전계발광 표시 장치의 제조방법.
  4. 기판글라스의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 제1투명전극층을 형성하는 공정과, 이 제1투명전극층의 상면에 하부절연층을 형성하는 공정과, 이 하부절연층의 상면에 형광막층을 형성하는 공정과, 이 형강체층의 상면에 상부절연층을 형성하는 공정을 포함하여 된 전계발광 표시장치의 제조 방법에 있어서, 상기 상부절연층을 형성하는 공정이 Mn을 타켓으로 하고 Ar과 N2분위기에서 스파터링하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 전계발광표시장치의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 기판이 상온의 상태에서 상부절연층 형성공정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계발광표시장치의 제조방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기Ar과, N2분위기가 4 내지 5 mtorr 인 것을 특징으로 하는 전계발광 표시 장치의 제조방법.
  7. 제4항 또는 제6항에 있어서, 상기 Ar과 N2이 각각 67% 와 33% 인것을 특징으로 하는 전계발광표시장치의 제조방법.
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