KR0137263B1 - Image display apparatus and manufacturing method therefor - Google Patents

Image display apparatus and manufacturing method therefor

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KR0137263B1
KR0137263B1 KR1019930009968A KR930009968A KR0137263B1 KR 0137263 B1 KR0137263 B1 KR 0137263B1 KR 1019930009968 A KR1019930009968 A KR 1019930009968A KR 930009968 A KR930009968 A KR 930009968A KR 0137263 B1 KR0137263 B1 KR 0137263B1
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control electrode
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테쯔야 시라토리
시게오 스즈키
쯔토무 미타니
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은, 특히 전자빔을 사용한 평판형화상표시장치에 관한 것으로써, 전자빔제어전극을 「휘어짐」, 「꾸불꾸불함」과 같은 현상의 문제가 없고, 또한 구조물로서의 강성을 확보한 상태에서 적층, 고정하는 구조 및 그 공법을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 적어도, 형광체스크린(3)을 형성한 페이스플레이트(1)와 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1),(6-c-1),(6-d-1),(6-e-1)을 각각 가진 복수매의 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),(6-d),(6-e)을 적층하여 고정한 전극유닛(6)과, 전자원과, 내부를 진공으로 유지하는 용기로 이루어진 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극유닛(6)을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은 제N매째의 전자빔제어전극의 전자빔통과구멍사이에 형성된 절연스페이서(10-a)와, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과, 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 용사막(10-b),(10-c),(10-d),(10-e)으로 이루어진 것을 특징으로 한 화상표시장치 및 그 제조방법을 제공한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel image display device using an electron beam, in particular, wherein the electron beam control electrode is not laminated, but has a problem such as "curvature" and "squeezing", and is laminated with a rigidity as a structure. The object of the present invention is to provide a fixing structure and a method thereof, and in the configuration, at least, the face plate 1 on which the phosphor screen 3 is formed, the electron beam passing holes 6a-1, and 6- b-1), (6-c-1), (6-d-1), and a plurality of electron beam control electrodes (6-a), (6-b), (6- A flat panel image display device comprising: an electrode unit 6 having a stack of 6-c), (6-d), and (6-e) fixed thereto, an electron source, and a container holding the inside under vacuum; The stacking and fixing structure of the electron beam control electrodes constituting the unit 6 is formed in the insulating spacer 10-a formed between the electron beam through holes of the N-th electron beam control electrode and the N-th electron beam control electrode. Anchor holes formed in the (N + 1) th electron beam control electrode corresponding to the position of the formed insulation spacer, and the Nth and Nth electron beam control electrodes through the insulation spacer, After the lamination, at least the anchor hole is covered with each other to form a thermal sprayed film 10-b, 10-c, 10-d, and 10-e, and a manufacturing method thereof. To provide.

Description

화상표시장치 및 화상표시장치의 제조방법Image Display Device and Manufacturing Method of Image Display Device

제 1 도는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 전극유닛의 일예의 주요부를 도시한 단면도1 is a cross-sectional view showing main parts of an example of an electrode unit according to a first embodiment of the present invention.

제 2 도는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제조공정중의 전극유닛의 일예의 주요부를 도시한 사시도2 is a perspective view showing main parts of an example of an electrode unit in a manufacturing process according to a first embodiment of the present invention;

제 3 도는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 전극유닛의 일예를 사용한 화상표시 장치의 주요부를 도시한 단면도3 is a cross-sectional view showing main parts of an image display apparatus using an example of an electrode unit according to a first embodiment of the present invention.

제 4 도는 앵커구멍의 주위에만 선택적으로 용사막(thermal spraying film)을 형성하는 제 1 예의 주요부를 도시한 단면도4 is a cross sectional view showing an essential part of the first example in which a thermal spraying film is selectively formed only around the anchor hole;

제 5 도는 앵커구멍의 주위에만 선택적으로 용사막을 형성하는 제 2 예의 주요부를 도시한 단면도5 is a cross sectional view showing a main part of a second example in which a thermal spray coating is selectively formed only around the anchor hole;

제 6 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극모듈의 주요부를 도시한 단면도6 is a cross-sectional view showing main parts of an electrode module according to a second embodiment of the present invention.

제 7 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극유닛의 주요부를 도시한 단면도7 is a cross-sectional view showing main parts of an electrode unit according to a second embodiment of the present invention.

제 8 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 주요부를 도시한 단면도8 is a cross-sectional view showing a main part of an image display apparatus using an electrode unit according to a second embodiment of the present invention.

제 9 도는 종래의 전극유닛의 제 1 예의 주요부를 도시한 단면도9 is a sectional view showing the main part of a first example of a conventional electrode unit;

제10도는 종래의 전극유닛의 제 1 예의 주요부를 도시한 사시도10 is a perspective view showing main parts of a first example of a conventional electrode unit

제11도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 제 2 예의 주요부를 도시한 단면도11 is a sectional view showing the main part of a second example of an image display apparatus using a conventional electrode unit.

제12도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 제 1 예의 주요부를 도시한 단면도12 is a sectional view showing the main part of a first example of an image display apparatus using a conventional electrode unit;

제13도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 제 2 예의 주요부를 도시한 단면도Fig. 13 is a sectional view showing the main part of a second example of an image display apparatus using a conventional electrode unit;

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

(6) : 전극유닛(6): electrode unit

(6-a),(6-b),(6-c),(6-d),(6-e) : 전자빔제어전극(6-a), (6-b), (6-c), (6-d), (6-e): electron beam control electrode

(6-a-1),(6-b-1),(6-c-1),(6-d-1),(6-e-1) : 전자빔통과구멍(6-a-1), (6-b-1), (6-c-1), (6-d-1), (6-e-1): electron beam through hole

(6-a-2),(6-b-2),(6-c-2),(6-d-2),(6-e-2) : 앵커구멍(6-a-2), (6-b-2), (6-c-2), (6-d-2), (6-e-2): anchor hole

(10-a) : 절연스페이서(10-a): Insulation spacer

(10-b),(10-c),(10-d),(10-e) : 용사막(10-b), (10-c), (10-d), (10-e): thermal sprayed coating

본 발명은 특히 전자빔을 사용한 평판형화상표시장치에 관한 것이다.The present invention particularly relates to a flat panel image display device using an electron beam.

이하, 도면을 참조하면서, 종래의 화상표시장치의 구성의 일예에 대해서 설명한다.Hereinafter, an example of the structure of the conventional image display apparatus is demonstrated, referring drawings.

제 9 도는 종래의 전극유닛의 제 1 예의 주요부의 단면을 표시한다. 또, 제10도는 종래의 전극유닛의 일예의 주요부의 사시도를 표시한다. 또, 제11도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 일예의 주요부의 단면도를 표시한다. 제11도에 있어서, (101)은 내면에 R·G·B로 이루어진 형광체스크린(103)을 도포한 표면용기를 겸한 페이스플레이트이고, (102)는 그 내면에 도전막에 의한 배면전극(104)를 형성한 이면용기이고, (105)는 선형상음극이고, (106)은 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c)…(본 종래예에서는 (106e)까지 도시함)을 적층해서 이루어진 전극유닛이다. 상기 화상표시장치는 성형상음극(105)으로부터 발생한 전자빔은, 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c)…에 형성된 전자빔통과구멍(106-a-1),(106-b-1)…을 통과하는 동안에 접속·편향·변조 등의 제어가 행해지고, 그후, R·G·B의 형광체스크린(103)에 충돌·발광시켜서 화상표시를 행하는 것이다.9 shows a cross section of the main part of the first example of the conventional electrode unit. 10 shows a perspective view of an essential part of an example of a conventional electrode unit. 11 shows a cross sectional view of an essential part of an example of an image display apparatus using a conventional electrode unit. In FIG. 11, reference numeral 101 denotes a face plate which also serves as a surface container coated with a phosphor screen 103 made of R, G, and B on its inner surface, and 102 denotes a back electrode 104 made of a conductive film on its inner surface. ) Is a backside container, 105 is a linear phase cathode, and 106 is an electron beam control electrode 106a, 106b, 106c. (In this conventional example, shown to 106e), it is an electrode unit formed by laminating | stacking. In the image display apparatus, the electron beam generated from the shaped image cathode 105 includes electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c,. Electron beam through holes 106-a-1, 106-b-1 formed in the trenches; The control of connection, deflection, modulation, etc. is performed during the passage, and then the image is displayed by colliding and emitting light on the phosphor screen 103 of R, G, and B.

여기서, 전극유닛(106)의 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…상호의 적층·고정방법으로서는 제12도(a)에 도시한 바와 같이, 유리막대(110)를 코어로 사용하고, 그 둘레에 프릿유리(111)를 도포한 것을, 제12도(b)에 도시한 바와 같이, 전자빔통과구멍(106-a-1)사이 및 전자빔통과구멍(106-b-1)사이에 배치하고 제12도(c)에 도시한 바와 같이, 가압·스이온에 의한 프릿을 용해시켜서 접착하고 있다. 여기서, 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…의 상호간의 유리막대(110)의 직경으로 유지된다.Here, the electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c,... Of the electrode unit 106. As a method of laminating and fixing each other, as shown in FIG. 12 (a), the glass rod 110 is used as a core, and the frit glass 111 is coated around it in FIG. 12 (b). As shown, the frit is disposed between the electron beam passing holes 106-a-1 and between the electron beam passing holes 106-b-1, and is pressurized and ions as shown in FIG. 12C. Is dissolved and bonded. Here, electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c,... The diameters of the glass rods 110 are maintained.

이상과 같이 해서 만들어진 전극유닛(106)은, 상기 이면용기(102)에 프릿유리(107)에 의해 접착·고정된 포스트(108)에 의해, 주변부에서 지지·고정되어 있다.The electrode unit 106 produced as described above is supported and fixed at the peripheral portion by a post 108 bonded and fixed to the back container 102 by the frit glass 107.

또, 제13도는 종래의 전극유닛의 제 2 예의 주요부의 단면도를 표시한다.13 shows a cross section of the main part of the second example of the conventional electrode unit.

전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…(본 종래예에서는 (106e)까지 도시함)의 적층·고정방법은, 전자빔제어전극 (106a),(106b),(106c),…의 상호간에는, 간격을 유지하기 위해서, 예를 들면 세라믹스으로 된 절연스페이서(120a),(120b),(120c),(120d),(120e)가 배치되고, 이 상태에서 전자빔제어전극(106a)에 접합된 체결핀(120)에 의해 체결하고 있다. 구체적으로는 체결핀(121)의 말단은 예를 들면 레이저빔에 의해 용해함으로써 확실하게 조여진다.Electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c,... The lamination / fixing method of the present conventional example (shown up to 106e) includes electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c,... The insulating spacers 120a, 120b, 120c, 120d, and 120e, for example, made of ceramics are disposed to maintain the gap therebetween, and in this state, the electron beam control electrode 106a is disposed. It is fastened by the fastening pin 120 joined to. Specifically, the distal end of the fastening pin 121 is reliably tightened by melting with a laser beam, for example.

여기서, 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…은 면형상이며, 따라서 체결핀(121)도 2차원으로 적당한 간격으로 배치된다. 그리고, 체결핀부(121)에 의해 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),(106d),(106e)을 이산적으로 적층·고정된다.Here, electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c,... Is a planar shape, and thus the fastening pins 121 are also arranged at appropriate intervals in two dimensions. Then, the fastening pin portion 121 discretely stacks and fixes the electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c, 106d, and 106e.

그러나 상기와 같은 방법으로는, 이하에 설명하는 바와 같은 문제점을 가지고 있었다.However, with the method as described above, there was a problem as described below.

먼저 제 1 예에서는, 전자빔제어전극을 접합하기 위해서는 프릿유리의 용융온도까지 승온시킬 필요가 있다. 그 때문에, 열팽창한 상태로 접합된 다음, 사온으로 냉각된다. 그러나 이 과정에서 「휘어짐」이 발생하는 경우가 많고, 따라서 완성된 전극유닛은 크게 휘어지는 경우가 많았다. 또 프릿을 용융시키는 공정에서, 온도의 프로필을 엄밀하게 관리할 수 있는 전기로를 사용하여야 하므로, 비용이 상승되고 또한 시스템의 효율이 저하한다고 하는 과제가 있었다.First, in the first example, in order to bond the electron beam control electrodes, it is necessary to raise the temperature to the melting temperature of the frit glass. Therefore, after joining in a state of thermal expansion, it is cooled to room temperature. However, in this process, "warpage" often occurs, and thus, the finished electrode unit is often warped greatly. In addition, in the step of melting the frit, an electric furnace capable of precisely controlling the temperature profile has to be used, and thus there is a problem that the cost is increased and the efficiency of the system is lowered.

또 제 2 예에서는 전자빔제어전극은 핀을 사용하는 구조에 의해 체결되기 때문에, 제 1 예와 같은 열팽창에 기인하는 「휘어짐」은 발생하지 않는다. 그러나, 이 구성의 경우에는, 체결핀부를 제외한 부분에서는 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…의 적층간격을 규제하는 부재가 없기 때문에, 체결핀을 배치한 위치에 대응해서 「꾸불꾸불함」이 발생한다고 하는 과제가 있었다. 또, 전극유닛의 구조물로서의 강성(剛性)은 상당히 낮게 되고, 그 결과, 고정방법으로서 주변만을 고정하는 구성으로는 형상을 유지하여 설치할 수 없었다.In addition, in the second example, since the electron beam control electrode is fastened by the structure using the fin, "warping" caused by thermal expansion as in the first example does not occur. However, in this configuration, the electron beam control electrodes 106a, 106b, 106c,... Except for the fastening pin portion. Since there is no member for regulating the lamination interval of, there has been a problem that "squiggle" occurs corresponding to the position where the fastening pin is arranged. In addition, the rigidity as a structure of the electrode unit becomes considerably low, and as a result, it was not possible to maintain the shape and install it in the configuration of fixing only the periphery as a fixing method.

본 발명은 상기 문제점에 비추어, 전자빔제어전극을 「휘어짐」, 「꾸불꾸불함」이라는 과제를 극복하고, 또한 구조물로서의 강성을 확보한 상태에서 적층·고정하는 구조 및 그 공법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a structure and a method of stacking and fixing an electron beam control electrode in a state of overcoming the problems of "bending" and "inverting" and securing rigidity as a structure. do.

상기 문제점을 해결하기 위해서 본 발명의 전자원은 이하와 같다.In order to solve the above problems, the electron source of the present invention is as follows.

제 1 측면에 따른 본 발명은, 형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와 전자빔통과구멍을 가진 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극유닛과, 전자원과, 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극유닛을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은, 제N매째의 전자빔제어전극의 전자빔통과구멍사이에 형성된 절연스페이서와, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과, 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 형성한 용사막(thermal spraying film)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치를 제공한다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a face plate on which a phosphor screen is formed, an electrode unit in which a plurality of electron beam control electrodes having an electron beam through hole are stacked and fixed, an electron source, and a container for keeping a vacuum inside. In one flat panel image display device, the lamination and fixing arrangement of the electron beam control electrodes constituting the electrode unit includes an insulating spacer formed between the electron beam through holes of the Nth electron beam control electrode, and the Nth electron beam control. Anchor holes formed in the (N + 1) th electron beam control electrode and the Nth and Nth (N + 1) th electron beam control electrodes corresponding to the positions of the insulating spacers formed on the electrodes are formed in the insulating spacer. The present invention provides an image display apparatus comprising a thermal spraying film formed by interposing at least the anchor hole after lamination.

제 2 측면에 따른 본 발명은, 형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와, 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극모듈을 소정의 간격으로 배치해서 이루어진 전극유닛과, 전자원과 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극모듈을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은 제N매째의 전자빔제어전극이 적어도 대략 중앙부에 형성된 절연스페이서와, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아 씌워서 형성한 용사막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치를 제공한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided an electrode unit formed by arranging a face plate on which a phosphor screen is formed, and an electrode module, in which a plurality of electron beam control electrodes are stacked and fixed at predetermined intervals, and an electron source and an inside under vacuum. A flat panel image display device having at least a container, wherein the stacking and fixing arrangement of the electron beam control electrodes constituting the electrode module comprises: an insulating spacer having an Nth electron beam control electrode formed at least approximately at the center thereof; A thermally sprayed film formed by stacking (N + 1) th electron beam control electrodes through the insulating spacers and covering at least the anchor holes, corresponding to the positions of the insulating spacers formed on the electron beam control electrodes Provided is an image display device comprising: a.

제 3 측면에 따른 본 발명은, 복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극유닛을 제조하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극유닛의 제조공정은, 전자빔통과구멍을 가진 제N매째의 전자빔제어전극의 상기 전자빔통과구멍사이에 절연스페이서를 형성하는 공정과, 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 적층하는 공정과, 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법을 제공한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a manufacturing method of an image display apparatus including at least a step of manufacturing an electrode unit formed by stacking and fixing a plurality of electron beam control electrodes. Forming an insulating spacer between the electron beam passing holes of the N-th electron beam control electrode having a hole, and an (N + 1) th electron beam control electrode having an anchor hole corresponding to the position of the insulating spacer; A method of manufacturing an image display apparatus comprising the step of laminating to the N-th electron beam control electrode via the insulating spacer, and the step of forming a sprayed film so as to cover the anchor hole.

제 4 측면에 따른 본 발명은, 복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극모듈을 제조하는 공정과, 상기 모듈을 소정의 간격으로 배치하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극모듈의 제조공정은, 제N매째의 전자빔제어전극의 적어도 대략 중앙부에 절연스페이서를 형성하는 공정과, 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 적층하는 공정과, 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막(thermal spraying film)을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법을 제공한다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an image display apparatus, the method comprising: manufacturing an electrode module formed by stacking and fixing a plurality of electron beam control electrodes; and arranging the modules at predetermined intervals. The manufacturing step of the electrode module includes the steps of forming an insulating spacer in at least substantially the center of the N-th electron beam control electrode, and the (N + 1) -th sheet having an anchor hole corresponding to the position of the insulating spacer. Laminating an electron beam control electrode to the Nth electron beam control electrode via the insulating spacer; and forming a thermal spraying film to cover the anchor hole. A manufacturing method of an image display apparatus is provided.

상기 구성에 의한 작용은 다음과 같이 된다.The action by the above configuration is as follows.

제 1 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극이 적층·고정된 구조를 가진다. N매째의 전자빔제어전극과 (N+1)매째의 전자빔제어전극으로 이루어진 전극유닛은, (N+1)매째의 앵커구멍을 씌워막도록 용사막을 형성하고, 이 용사막이 앵커구멍을 통과해서 N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서와 융착함으로써 적층·고정되는 구성을 가진다. 동시에, (N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 용사막이 (N+2)매째의 전자빔제어전극의 적층·고정을 위한 절연스페이서가 된다. 그리고, 이 구조의 반복에 의해 복수매의 전자빔제어전극이 적층·고정되어, 전극유닛이 구성된다.According to the first aspect of the present invention, there is provided a structure in which a plurality of electron beam control electrodes are stacked and fixed as an electrode unit for driving an electron beam or the like by a flat panel image display device. The electrode unit comprising the N-th electron beam control electrode and the (N + 1) -th electron beam control electrode forms a thermal spray film so as to cover the (N + 1) -th anchor hole, and the thermal spray film passes through the anchor hole. It has a structure laminated and fixed by fusion with an insulating spacer formed on the N-th electron beam control electrode. At the same time, the thermal sprayed coating formed on the (N + 1) th electron beam control electrode becomes an insulating spacer for laminating and fixing the (N + 2) th electron beam control electrode. By repetition of this structure, a plurality of electron beam control electrodes are stacked and fixed to form an electrode unit.

이 구조에 의하면, 전자빔제어전극의 접합수단인 용사막은 프릿유리 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있으며, 따라서 전자빔제어전극의 적층·고정시에, 열팽창에 따른 변형이 발생하지 않는다. 또, 동시에 다음의 전자빔제어전극의 적층·고정의 기준면에서도 겸용할 수 있고, 코스트적으로도 유리하다.According to this structure, the thermal sprayed coating which is the joining means of the electron beam control electrode can be formed at a considerably lower temperature than frit glass or the like, and therefore, deformation due to thermal expansion does not occur when laminating and fixing the electron beam control electrode. At the same time, the present invention can also be used as a reference plane for stacking and fixing the following electron beam control electrodes, which is advantageous in terms of cost.

또, 접합면적, 즉, 앵커구멍의 크기를 적당하게 설정함으로써 적절한 구조물로서의 강성도 확보할 수 있다.In addition, by appropriately setting the joining area, that is, the size of the anchor hole, rigidity as an appropriate structure can be ensured.

제 2 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극이 적층·고정된 구조를 가진 복수의 전극모듈을 소정간격으로 배치한 구성을 가진다.According to the second aspect of the present invention, there is provided an electrode unit for driving an electron beam or the like by a flat panel image display device, wherein a plurality of electrode modules having a structure in which a plurality of electron beam control electrodes are stacked and fixed are arranged at predetermined intervals. Has

제 1 측면에 따른 본 발명의 작용에 부가하여, 특히 대화면일 때 문제가 되는 전극의 정밀도(초기가공의 정밀도 및 열변형 등의 경시변화)에 대해서 영향을 작게 하기 위해 모듈화한 것이다.In addition to the operation of the present invention according to the first aspect, it is modularized in order to reduce the influence on the precision of the electrode (time change such as initial processing precision and thermal deformation) which is a problem, especially when large screen.

제 3 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극을 적층하여 고정하는 제조방법이다. N매째의 전자빔제어전극과 (N+1)매째의 전자빔제어전극으로 이루어진 전극유닛은, (N+1)매째의 앵커구멍을 씌워막도록 형성한 용사막에 의해, 앵커구멍을 통과해서 N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서와 접합시킴으로써 적층·고정이 행해진다. 동시에, (N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 용사막이 (N+2)매째의 전자빔제어전극의 적층·고정을 위한 절연스페이서가 된다. 그리고, 이 공정을 반복함으로서 복수매의 전자빔제어전극의 적층·고정을 행하여, 전극유닛이 구성된다.The present invention according to the third aspect is a manufacturing method for stacking and fixing a plurality of electron beam control electrodes as an electrode unit for driving an electron beam or the like by a flat panel image display device. The electrode unit comprising the N-th electron beam control electrode and the (N + 1) -th electron beam control electrode is formed by passing through the anchor hole and being the N-th sheet by a thermal spray film formed so as to cover the (N + 1) -th anchor hole. The lamination and fixing are performed by joining with an insulating spacer formed on the electron beam control electrode. At the same time, the thermal sprayed coating formed on the (N + 1) th electron beam control electrode becomes an insulating spacer for laminating and fixing the (N + 2) th electron beam control electrode. By repeating this process, a plurality of electron beam control electrodes are laminated and fixed to form an electrode unit.

이 방법에 의하면, 전자빔제어전극의 접합수단인 용사막을 프릿유리 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있고, 따라서 전자빔제어전극의 적층·고정시에, 열팽창에 따른 변형이 발생하지 않는다. 또, 동시에 다음의 전자빔제어전극의 적층·고정의 기준면도 형성할 수 있고, 코스트적으로 유리하다.According to this method, the thermal sprayed coating which is the joining means of the electron beam control electrode can be formed at a considerably lower temperature than the frit glass or the like, and therefore, deformation due to thermal expansion does not occur when laminating and fixing the electron beam control electrode. At the same time, a reference plane for stacking and fixing the following electron beam control electrodes can also be formed, which is advantageous in terms of cost.

또, 접합면적, 즉, 앵커구멍의 크기를 적당하게 설정함으로써, 적절한 구조물로서의 강성도 확보할 수 있다.In addition, by appropriately setting the bonding area, that is, the size of the anchor hole, rigidity as an appropriate structure can be ensured.

제 4 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극이 적층·고정된 구조를 가진 복수의 전극모듈을 소정간격으로 배치한 구조에 대한 제조방법이다.According to the fourth aspect of the present invention, there is provided an electrode unit for driving an electron beam or the like by a flat panel image display device, the structure comprising a plurality of electrode modules having a structure in which a plurality of electron beam control electrodes are stacked and fixed at a predetermined interval. It is a manufacturing method for.

상기 구성에 의한 작용은 제 3 측면에 따른 본 발명의 작용과 마찬가지이다.The action by the above configuration is the same as that of the present invention according to the third aspect.

이하, 본 발명의 일실시예에 의한 화상표시장치 및 그 제조방법에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the image display apparatus which concerns on one Embodiment of this invention, and its manufacturing method are demonstrated, referring drawings.

제 1 도는 본 발명의 제 1 의 실시예에 의한 전극유닛의 일예의 주요부의 단면도이다. 또, 제 2 도는 본 발명의 제 1 의 실시예에 의한 제조공정중의 전극유닛의 일예의 주요부의 사시도이다. 제 3 도는 본 발명의 제 1 의 실시예에 의한 전극유닛의 일예를 사용한 화상표시장치의 일예의 주요부의 단면도이다. 제 3 도에 있어서, (1)은 내면에 R·G·B로 이루어진 형광체스크린(3)을 도포한 표면용기를 겸한 페이스플레이트이고, (2)는 내면에 도전막에 의한 배면전극(4)을 형성한 이면용기이다. (5)는 선형상 음극이고, (6)은 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),…(본 실시예에서는 (6-e)까지 도시함)을 적층해서 이루어진 전극유닛이다. 상기 화상표시장치는, 선형상의 음극(5)으로부터 발생한 전자빔이 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),…에 형성된 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1),…을 통과하는 동시에, 접속·편향·변조 등의 제어가 행해지고, 그후, R·G·B의 형광체스크린(3)에 충돌·발광시켜서 화상표시를 행하는 것이다.1 is a cross-sectional view of an essential part of an example of an electrode unit according to a first embodiment of the present invention. 2 is a perspective view of principal parts of an example of an electrode unit in the manufacturing process according to the first embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of an essential part of an example of an image display apparatus using an example of an electrode unit according to a first embodiment of the present invention. In Fig. 3, reference numeral 1 denotes a face plate which also serves as a surface container coated with a phosphor screen 3 made of R, G, and B on the inner surface, and (2) a back electrode 4 formed of a conductive film on the inner surface. It is a backing container formed. (5) is a linear cathode, (6) electron beam control electrodes 6a, 6b, 6c, 6c,. (In this embodiment, shown to (6-e)), the electrode unit is formed by stacking. In the image display apparatus, the electron beams generated from the linear cathodes 5 are the electron beam control electrodes 6a, 6b, 6c, 6c,. Electron beam through holes formed in the holes 6-a-1, 6-b-1,... While passing through the control panel, control of connection, deflection, modulation, and the like is performed, and then image display is caused by colliding and emitting light on the phosphor screen 3 of R, G, and B.

전극유닛(6)은, 상기 이면용기(2)에 프릿유리(7)에 의해 접착·고정된 포스트(8)에 의해 주변부에서 지지·고정되어 있다.The electrode unit 6 is supported and fixed at the periphery by the post 8 bonded and fixed to the back container 2 by the frit glass 7.

여기서 전극유닛(6)의 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),…의 적층·고정의 구조 및 방법을 설명한다.Herein, electron beam control electrodes 6a, 6b, 6c, ... of the electrode unit 6. The structure and method of lamination and fixation will be described.

먼저, 1매째의 전자빔제어전극(6-a)의 전자빔통과구멍(6-a-1)사이에 소정의 방법에 의해서 형성된 절연막(10-a)에 대하여, 그 위치에 앵커구멍(6-b-2)을 형성한 2매째의 전자빔제어전극(6-b)을 적층하고, 앵커구멍(6-b-2)을 씌워막도록 용사막(10-b)을 형성하고, 그 용사막(10-b)이 앵커구멍(6-b-2)을 통해서 절연막(10-a)과 융착시킴으로써, 1매째의 전자빔제어전극(6-a)과 2매째의 전자빔제어전극(6-b)이 고정된다. 동시에 용사막(10-b)은 3매째의 전자빔제어전극(6-c)의 적층·고정의 기준면이 되는 것이다. 여기서 상기와 같은 접착작용을 행하게 하는 막으로서 용사막을 사용한 이유는, 절연막(10-a)을 형성하기 위해, 용사막에 의한 방법을 사용하는 쪽이 공정의 복잡화를 초래하지 않고 좋으나, 특히 이제 제한되는 것은 아니다.First, with respect to the insulating film 10-a formed by a predetermined method between the electron beam through holes 6a-1 of the first electron beam control electrode 6a, the anchor hole 6b is positioned at that position. The second electron beam control electrode 6-b having the -2) formed thereon is laminated, and the thermal sprayed film 10-b is formed so as to cover the anchor hole 6-b-2, and the thermal sprayed film 10 -b is fused with the insulating film 10-a through the anchor hole 6b-2, so that the first electron beam control electrode 6a and the second electron beam control electrode 6b are fixed. do. At the same time, the thermal sprayed film 10-b serves as a reference plane for stacking and fixing the third electron beam control electrode 6-c. The reason why the thermal spray film is used as the film for performing the above-mentioned adhesion action is that the method using the thermal spray film for forming the insulating film 10-a may be advantageous without incurring the complexity of the process. It doesn't happen.

3매째이후의 전자빔제어전극(6-c),(6-d),(6-e),… (본 실시예에서는 (6-e)까지 도시함)의 적층·고정의 구성 및 제조방법으로서는, 상기의 반복을 행하면 된다.Electron beam control electrodes 6-c, 6-d, 6-e after the third sheet; What is necessary is just to perform said repetition as a structure and manufacturing method of lamination | stacking and fixing (it shows to (6-e) in this Example).

이 구조에 의하면 전자빔제어전극의 접합수단인 용사막은 프릿유리 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있고, 따라서 전자빔제어전극의 적층·고정시에는, 열팽창에 따른 변형이 발생되지 않는다. 또, 동시에 다음의 전자빔제어전극의 적층·고정의 기준면에도 겸용할 수 있어, 공정수와 코스트면에서 유리하다. 또, 접합면적, 즉, 앵커구멍의 크기를 적당하게 설정함으로써 구조물로서 적절한 강성도 확보할 수 있다. 앵커구멍의 형상으로서는 제 2 도에 표시한 바와 같은 둥근구멍형상에 한하지 않고, 슬릿형상 등 적당한 형상을 사용하면 된다. 다만, 그 크기로서는 적층의 기준이 되는 절연스페이서의 접지면보다 크게 해서는 않된다. 이 이유는, 앵커구멍이 적층의 기준이 되는 절연스페이서의 접지면보다 크면 앵커구멍을 씌워막도록 용사막을 형성하는 일이 곤란하며, 또, 용사막의 형성시에 용사물질이 전극사이에 비산(飛散)하는 문제가 발생하고, 전극유닛으로서의 성능을 손상할 염려가 있기 때문이다.According to this structure, the thermal sprayed coating which is the joining means of the electron beam control electrode can be formed at a considerably lower temperature than the frit glass or the like, and therefore, deformation due to thermal expansion does not occur when the electron beam control electrode is laminated and fixed. At the same time, it can also be used as a reference plane for stacking and fixing the following electron beam control electrodes, which is advantageous in terms of the number of steps and the cost. In addition, by appropriately setting the joining area, that is, the size of the anchor hole, it is possible to ensure appropriate rigidity as a structure. The shape of the anchor hole is not limited to the round hole shape as shown in Fig. 2, but may be a suitable shape such as a slit shape. However, the size is not to be larger than the ground plane of the insulation spacer, which is a standard for lamination. For this reason, it is difficult to form a thermal sprayed coating so as to cover the anchor hole when the anchor hole is larger than the ground plane of the insulating spacer, which is a reference for stacking. Also, when the thermal sprayed film is formed, the thermal sprayed material is scattered between the electrodes. This is because there is a possibility that a problem arises, and the performance as an electrode unit may be impaired.

상기와 마찬가지 이유로, 앵커구멍을 씌워막도록 용사막을 형성할 때에 앵커구멍둘레에만 선택적으로 용사막형성을 행하는 방법으로서는, 하나의 밑바탕의 표면거칠기에 따른 용사막의 형성여부를 이용한다. 즉, 제 4 도에 표시한 바와 같이 용사막을 형성하고자 하는 앵커구멍(6-b-2),(6-c-2),… 둘레에 선택적으로 조면화한 영역(6-a-3),(6-b-3),…을 형성하고, 이 상태에서 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1),…을 피해서 용사를 행하여, 적층된 전자빔제어전극사이에 용사입자가 비산하는 것을 방지하는 동시에 조면화된 구멍둘레의 영역에만 용사막을 형성한다고 하는 방법이 있다.For the same reason as described above, as a method of selectively forming the thermal spray coating only around the anchor hole when forming the thermal spray coating so as to cover the anchor hole, the formation of the thermal spray coating according to the surface roughness of one base is used. That is, as shown in FIG. 4, the anchor holes 6b-2, 6c-2,. Area roughened selectively around (6-a-3), (6-b-3),... In this state, the electron beam passing holes 6-a-1, 6-b-1,... There is a method in which the thermal spraying is avoided to prevent the sprayed particles from scattering between the stacked electron beam control electrodes and to form a thermal sprayed coating only in the roughened area of the hole.

이 방법에 의하면 장치는 간단하나, 용사막에 관한 정밀도 등의 상태가 약간 나빠질 가능성이 있다.According to this method, although the apparatus is simple, there is a possibility that the state of the accuracy such as the thermal sprayed coating is slightly worsened.

또, 하나의 방법으로서는, 제 5 도에 표시한 바와 같이, 마스크(20)를 사용하는 방법이다. 이 방법에 의하면 앵커구멍(6-b-2),(6-c-2),…에 형성한 용사막(10-b),(10-c),…의 형상은 제 4 도의 방법에 비해 정밀하게 얻어지며, 그 결과, 전자빔제어전극을 고정밀도로 적층할 수 있다.As one method, as shown in FIG. 5, the mask 20 is used. According to this method, the anchor holes 6-b-2, (6-c-2),... The thermal sprayed coatings 10-b, 10-c formed on the substrate, and the like; The shape of is obtained more precisely than in the method of FIG. 4, and as a result, the electron beam control electrode can be laminated with high precision.

마스크(20)는 몇회라도 다시 이용할 수 있는 것이 바람직하며, 그렇게 하기 위해서는 마스크자체에는 용사막이 부착하지 않아야 한다. 이와 같은 마스크로서, 예를 들면 표면을 거울면으로 마무리한 마스크가 있다.It is preferable that the mask 20 can be used again as many times as possible, and in order to do so, the thermal spray film should not adhere to the mask itself. As such a mask, for example, there is a mask in which a surface is mirror-finished.

또, 앵커구멍(6-b-2),(6-c-2),…을 씌워막는 용사막중에서 전극유닛(6)의 가장바깥쪽에 형성된 용사막(10-e)에 대해서는, 재질로서 절연물을 사용한 경우, 예를 들면 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1), …… (6-e-1)을 통과해온 전자빔의 누설전자 등의 영향에 의해 차아지업 등이 발생하여, 전자빔궤도에 영향을 줄 수 있다. 이와 같은 경우에는, 용사막(10-e)의 재질로서는 도전물질을 사용하면 된다. 용사막(10-e)을 도전물질로 형성하여 전자빔제어전극(10-d)과 (10-e)사이의 절연성은 구조상 유지된다.Further, anchor holes 6-b-2, 6-c-2,... The sprayed film 10-e formed on the outermost side of the electrode unit 6 among the sprayed films over which the film is covered with, for example, an electron beam passing hole 6-a-1, (6- b-1),... … Charge-up or the like may occur due to the leakage electrons or the like of the electron beam passing through (6-e-1), which may affect the electron beam trajectory. In such a case, a conductive material may be used as the material of the thermal sprayed film 10-e. The thermal spraying film 10-e is formed of a conductive material so that insulation between the electron beam control electrodes 10-d and 10-e is maintained in structure.

또 본 발명에 의해, 열팽창에 기인한 과제를 해결하는 효과를 보다 확실하게 하기 위해서는, 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c), … (6-e)의 재질을 저령팽창금속재료인 인버재(36Ni합금)로 하는 동시에, 용사막의 제조공정으로서, 적어도 앵커구멍을 씌워막는 동안 전자빔제어전극기판을 냉각하면서 용사하는 공정을 사용하면 된다.In addition, according to the present invention, in order to more reliably solve the problem caused by thermal expansion, the electron beam control electrodes 6a, 6b, 6c, 6c,. The material of (6-e) is made of an inert material (36Ni alloy), which is a low-expansion metal material, and at the same time, a spraying process is performed while cooling the electron beam control electrode substrate while at least anchor holes are covered. do.

이 방법에 의하면, 열팽창계수가 작은 재료를 사용하는 것과, 냉각에 의해 온도상승을 억제하는 것과의 상승효과에 의해, 전자빔제어전극의 열팽창을 최소한으로 할 수 있고, 용사막의 형성에 의한 접합공정시와 그후에 열팽창의 차이에 의해 휘어지는 것을 한층더 확실하게 방지할 수 있다. 특히, 인버재는 저열팽창특성을 표시하는 것이 실온에서부터 200℃ 전후의 온도영역에서 저열팽창특성을 나타내므로, 기판(앵커구멍을 씌워막는 전자빔제어전극)을 200℃ 이하로 냉각하는 것이 바람직하다.According to this method, the thermal expansion of the electron beam control electrode can be minimized by the synergistic effect of using a material having a small coefficient of thermal expansion and suppressing the temperature rise by cooling, thereby forming a bonding process by forming a thermal sprayed coating. It is possible to more reliably prevent the bending due to the difference in thermal expansion during and after. In particular, the inver material exhibits low thermal expansion characteristics in the temperature range of about 200 ° C from room temperature to about 200 ° C, so that the substrate (electron beam control electrode covering the anchor hole) is preferably cooled to 200 ° C or lower.

또, 제 5 도에 도시한 바와 같이 마스크에 의한 앵커구멍둘레에 용사하는 방법에서는, 마스크에 의해 용사토오치로부터 복사열을 차단하는 효과도 겸해서 가지며, 열에 기인한 과제의 해결에 한층더 효과가 있다.In addition, as shown in Fig. 5, the method of thermal spraying around the anchor hole by the mask also has the effect of blocking radiant heat from the thermal spray torch by the mask, which is further effective in solving the problem caused by heat. .

제 6 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극모듈의 일예의 주요부에 단면도이다. 또, 제 7 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극유닛의 일예의 주요부의 단면도이다. 제 8 도는 본 발명의 제 2 의 실시예에 의한 전극유닛의 일예를 사용한 화상표시장치의 주요부의 단면도이다. 제 1 실시예에서의 구성과 동일한 작용을 가지는 구성에는 동일번호를 붙이고 있다.6 is a sectional view of an essential part of an example of an electrode module according to a second embodiment of the present invention. 7 is a sectional view of principal parts of an example of the electrode unit according to the second embodiment of the present invention. 8 is a sectional view of an essential part of an image display apparatus using an example of an electrode unit according to a second embodiment of the present invention. Components having the same operation as those in the first embodiment are assigned the same numbers.

이 구성은, 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛(6)으로서, 복수의 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c), … 이 적층·고정된 구조를 가진 복수의 전극모듈(6)을 소정의 간격 P로 배치한 것이다. 그리고, 각 모듈사이의 틈새가 전자빔통과용 틈새로 되고, 제 1 실시예에서의 전자빔통과구멍과 동일한 작용을 행한다.This configuration is a plurality of electron beam control electrodes 6a, 6b, 6c, and the like as an electrode unit 6 for driving an electron beam. The plurality of electrode modules 6 having the laminated and fixed structure are arranged at predetermined intervals P. FIG. Then, the gap between the modules becomes an electron beam passing gap, and performs the same operation as the electron beam passing hole in the first embodiment.

전극유닛을 모듈화함으로써, 특히 대화면일 때 문제가 되는 전극의 정밀도(초기가공의 정밀도 및 열변형 등의 경시변화)에 대해서 영향을 작게 할 수 있다.By modularizing the electrode unit, it is possible to reduce the influence on the precision of the electrode (time change such as initial processing accuracy and thermal deformation) which is a problem, especially when it is a large screen.

이 구멍에 있어서, 전극모듈의 구성 및 제조방법은 선행의 제 1 실시예와 마찬가지이고, 또한 절연스페이서, 앵커구멍 등에 관한 구체적인 구성·형상·재질 등도 선행을 제 1 실시예와 마찬가지이다.In this hole, the structure and manufacturing method of the electrode module are the same as in the first embodiment, and the specific configurations, shapes, materials, and the like regarding the insulation spacer, the anchor hole, and the like are the same as in the first embodiment.

이상과 같이 본 발명은, 전자빔제어전극의 접합과 다음의 전자빔제어전극의 적층을 위한 스페이서로서 용사막을 사용하고 있고, 프릿유릿 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있고, 전자빔제어전극의 적층·고정시의 열팽창에 따른 변형이 발생하지 않는다.As described above, the present invention uses a thermal spray film as a spacer for bonding the electron beam control electrode and stacking the next electron beam control electrode, and can be formed at a considerably lower temperature than frit glass and the like, and stacking and fixing the electron beam control electrode. No deformation occurs due to thermal expansion of the city.

또, 이와 같이 해서 접합된 전극유닛은 구조물로서의 강성을 확보할 수 있다.Moreover, the electrode unit joined in this way can ensure rigidity as a structure.

Claims (18)

형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와; 전자빔통과구멍을 가진 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극유닛과; 전자원과; 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극유닛을 구성하는 전자빔통과구멍의 적층·고정구성은, 제N매째의 전자빔제어전극의 전자빔통과구멍사이에 형성된 절연스페이서와; 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과; 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 형성한 용사막(thermal spraying film)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치.A face plate on which a phosphor screen is formed; An electrode unit in which a plurality of electron beam control electrodes having electron beam passage holes are stacked and fixed; An electron source; In a flat panel image display device having at least a container for keeping the interior vacuum, the stacking and fixing arrangement of electron beam through holes constituting the electrode unit is insulated between the electron beam through holes of the Nth electron beam control electrode. A spacer; An anchor hole formed in the (N + 1) th electron beam control electrode corresponding to the position of the insulating spacer formed on the Nth electron beam control electrode; And the thermal spraying film formed by stacking the N-th and the (N + 1) th electron beam control electrodes via the insulating spacer, and then covering at least the anchor hole. An image display device. 형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와; 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극모듈을 소정의 간격으로 배치하여 이루어진 전극유닛과; 전자원과; 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극모듈을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은, 제N매째의 전자빔제어전극의 적어도 대략 중앙부에 형성된 절연스페이서와; 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과; 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 형성한 용사막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치.A face plate on which a phosphor screen is formed; An electrode unit formed by stacking and fixing a plurality of electron beam control electrodes at predetermined intervals; An electron source; In a flat panel image display device having at least a container for keeping the interior vacuum, the stacking / fixing configuration of the electron beam control electrodes constituting the electrode module includes an insulating spacer formed at least in the center of the Nth electron beam control electrode. Wow; An anchor hole formed in the (N + 1) th electron beam control electrode corresponding to the position of the insulating spacer formed on the Nth electron beam control electrode; The N-th and the (N + 1) -th electron beam control electrodes, which are formed by laminating the insulating spacers therebetween and formed by spraying at least the anchor hole to form a thermal spraying film. . 제 1 항에 있어서, 상기 앵커구멍의 크기는 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 상기 절연스페이서와의 접지면보다 작은 것을 특징으로 하는 화상표시장치.2. An image display apparatus according to claim 1, wherein the size of the anchor hole is smaller than the ground plane with the insulating spacer formed on the Nth electron beam control electrode. 복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극유닛을 제조하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극유닛의 제조공정은, 전자빔통과구멍을 가진 제N매째의 전자빔제어전극의 상기 전자빔통과구멍사이에 절연스페이서를 형성하는 공정과; 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제 어전극에 적층하는 공정과; 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.A manufacturing method of an image display apparatus comprising at least a step of manufacturing an electrode unit formed by stacking and fixing a plurality of electron beam control electrodes, wherein the manufacturing step of the electrode unit is the N-th sheet electron beam control having an electron beam through hole. Forming an insulating spacer between the electron beam passing holes of the electrode; Laminating the (N + 1) th electron beam control electrode having the anchor hole corresponding to the position of the insulation spacer to the Nth electron beam control electrode via the insulation spacer; And forming a thermal sprayed coating so as to cover said anchor hole. 복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극모듈을 제조하는 공정과; 상기 전극모듈을 소정의 간격으로 배치하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극모듈의 제조공정은, 제N매째의 전자빔제어전극의 적어도 대략 중앙부에 절연스페이서를 형성하는 공정과; 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 적층하는 공정과; 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.Manufacturing an electrode module formed by stacking and fixing a plurality of electron beam control electrodes; A manufacturing method of an image display apparatus comprising at least a step of arranging the electrode modules at predetermined intervals, wherein the manufacturing step of the electrode module is a step of forming an insulating spacer on at least approximately the center of the Nth electron beam control electrode. and; Laminating the (N + 1) th electron beam control electrode having an anchor hole corresponding to the position of the insulation spacer to the Nth electron beam control electrode via the insulation spacer; And forming a thermal sprayed coating so as to cover said anchor hole. 제 1 항에 있어서, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.The image display apparatus according to claim 1, wherein the thermal spraying coating covering the anchor hole formed in the electron beam control electrode constituting the outermost part of the electrode unit is formed of a conductive material. 제 1 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.A plurality of electron beam control electrodes are formed of an inver material (36Ni alloy), and the thermal sprayed film is formed by thermally spraying at least the (N + 1) th electron beam control electrode while spraying. An image display device. 제 1 항, 제 6 항, 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.The image display apparatus according to any one of claims 1, 6, and 7, wherein the thermal spraying film is formed after forming a mask in an area except for the region where the thermal spraying film is to be formed. 제 2 항에 있어서, 상기 앵커구멍의 크기는 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 상기 절연스페이서와의 접지면보다 작은 것을 특징으로 하는 화상표시장치.3. An image display apparatus according to claim 2, wherein the size of the anchor hole is smaller than the ground plane with the insulating spacer formed on the Nth electron beam control electrode. 제 2 항에 있어서, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.3. An image display apparatus according to claim 2, wherein the thermal sprayed coating covering the anchor hole formed in the electron beam control electrode constituting the outermost part of the electrode unit is formed of a conductive material. 제 2 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.3. The plurality of electron beam control electrodes are formed of an inver material (36Ni alloy), and the thermal sprayed film is formed by thermally spraying at least the (N + 1) th electron beam control electrode while spraying. An image display device. 제 4 항에 있어서, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.5. An image display apparatus according to claim 4, wherein the thermal spraying film covering the anchor hole formed in the electron beam control electrode constituting the outermost part of the electrode unit is formed of a conductive material. 제 4 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.A plurality of electron beam control electrodes are formed of an inver material (36Ni alloy), and the thermal sprayed film is formed by thermally spraying at least the (N + 1) th electron beam control electrode while spraying. An image display device. 제 5 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.6. The plurality of electron beam control electrodes are made of an inver material (36Ni alloy), and the thermal sprayed coating covering the anchor hole formed in the electron beam control electrode constituting the outermost part of the electrode unit is formed of a conductive material. An image display apparatus. 제 5 항에 있어서, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.6. The image display apparatus according to claim 5, wherein the thermal sprayed coating is formed by thermally spraying at least the (N + 1) th electron beam control electrode while thermally spraying. 제 2 항, 제10항, 제11항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.12. The image display apparatus according to any one of claims 2, 10, and 11, wherein the thermal sprayed coating is formed after forming a mask in a region other than the region in which the thermal spraying coating is to be formed. 제 4 항, 제12항, 제13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.The manufacturing method of an image display apparatus according to any one of claims 4, 12, and 13, wherein the thermal sprayed coating is formed after forming a mask in a region other than a region in which the thermal spraying coating is to be formed. 제 5 항, 제14항, 제15항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.The manufacturing method of an image display apparatus according to any one of claims 5, 14, and 15, wherein the thermal spraying film is formed after forming a mask in a region other than a region in which the thermal spraying film is to be formed.
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